KR100189179B1 - 핸들러 장치용 트레이 장착대 - Google Patents

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Abstract

DUT를 장착한 트레이를 정확한 위치 결정으로 핸들러 장치에 공급하고, 더구나, 트레이의 출납 작업을 용이하게 행할 수 있는 핸들러 장치용 트레이 장착대를 실현한다. 이 때문에, 트레이 조절 바(25)의 길이에 대하여 트레이 가이드 바(15)의 길이를 짧게 하고, 그 트레이 가이드 바(15)의 상부에 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)를 배치한다. 따라서, 트레이(90)가 엘리베이터(35)로 밀어올려져서 최상부에 달하면, 트레이 기준 바에 의한 위치 결정을 옮겨 타서 바꾼다. 트레이 기준 바의 높이에 대응한 위치에 트레이 푸셔(26)가 X방향 및 Y방향의 각 트레이 조절 바(25)에 장치한다. 그리고, 트레이 푸셔(26)의 공압 실린더의 작용에 의해 이 최상부의 트레이를 트레이 기준 바에 누른다. 또한, 트레이 장착대를 트레이(90)와 함께 인출하는 것이 가능하고, 트레이 장착대를 인출한 상태로 트레이를 출납할 수 있다.

Description

핸들러 장치용 트레이 장착대
제1도는 본 발명의 핸들러 장치용 트레이 장착대의 일실시예를 도시하는 사시도.
제2도는 본 발명의 핸들러 장치용 트레이 장착대의 일실시예를 도시하는 측면도.
제3도는 종래 기술의 제1실시예에 의한 트레이 장착대의 사시도.
제4도는 종래 기술의 제1실시예에 의한 트레이 장착대의 측면도.
제5도는 트레이를 장착한 엘리베이터의 평면도.
제6도는 종래 기술의 제2실시예에 의한 트레이 장착대의 사시도.
제7도는 종래 기술의 제2실시예에 의한 트레이 장착대의 측면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
5 : 트레이 슬라이드 베이스 6 : 슬라이드 팩
15 : 트레이 가이드 바 25 : 트레이 조절 바
26 : 트레이 푸셔 35 : 엘리베이터
45 : 리니어 가이드 50, 51, 52, 53 : 트레이 기준 바
75 : 엘리베이터 톱니바퀴 76 : 리니어 헤드
80 : 메인 베이스 90 : 트레이
본 발명은 피시험용 반도체 IC(이하 DUT라 한다)의 시험을 행할 때, DUT를 장착한 트레이가 정확하고 용이한 출납이 가능하도록 IC 테스트 시스템에 공급하는 핸들러 장치용 트레이 장착대에 관한 것이다.
DUT를 수납한 트레이를 트레이 장착대에 위치시키면, DUT가 자동적으로 IC 테스트 시스템에 공급되고, 테스트 결과에 기초하여 자동적으로 분류 수납하는 핸들러 장치용 트레이 장착대는 DUT를 장착한 트레이의 정확한 출납과 정확한 위치 결정이 요구된다.
또한, IC 테스트 시스템에서는 다수의 DUT나 트레이를 취급할 필요가 있고, 용이하고 안전하게 출납할 수 있는 것이 요구된다.
종래 기술의 제1실시예를 제3도, 제4도 및 제5도에 도시한다.
이 실시예는 정확한 위치 결정을 행하는 것을 목적으로 설치된 핸들러 장치용 트레이 장착대이다.
제3도는 트레이 장착대의 사시도이다. 제4도는 트레이 장착대의 측면도이다.
DUT는 트레이(90)의 내부에 다수 배치되고, 핸들러 장치는 이 각 DUT를 픽업하여 전기적 시험이 행해지는 위치로 이동시킨다. 이 트레이(90)가 다수 포개어져서 트레이 장착대에 수납되지만, 엘리베이터 기구에 의하여 높이 방향으로 소정 위치까지 들어올려진다.
또한, DUT의 종류에 따라서 크기가 다른 트레이도 있으며, 이 다른 종류의 트레이의 크기를 취급하기 위하여 X 방향과 Y 방향에 위치 결정을 행하기 위한 위치 결정 기구가 제공된다.
핸들러 장치의 메인 베이스(80)는 핸들러 장치의 위치 기준을 정한다.
핸들러 장치의 메인 베이스(80)의 X 방향의 한면과 Y 방향의 한면을 따라 배치된 트레이(90)는 이동가능한 트레이 조절 바(25)에 의하여 X 방향 및 Y 방향에서 각각 가압되어 위치 결정된다.
일반적으로 트레이(90)를 장착하는 엘리베이터(35)는 클수록 트레이의 수평위치의 확보가 용이하다. 제5도는 트레이(90)를 장착하는 엘리베이터(35)의 평면도이다. 트레이(90)를 밀어올리는 엘리베이터(35)의 평면은 트레이 조절 바(25)가 이동하는 부분을 제외하고는 넓은 평면을 가진다. 즉 요철 평면 a, b, c, d, e, f, g, h, i, j, k, l의 평면을 가지고, 트레이 조절 바(25)의 이동하는 부분 d, e, f, g와 i, j, k, l을 제외한 평면이 제공된다. 그리고, 트레이 조절 바(25)는 최소 트레이 치수 위치까지 X 방향 및 Y 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 엘리베이터(35)의 평면 a, b, c, h는 최대 트레이 치수까지 커버할 수 있는 넓이로 되어 있다. 따라서, 트레이(90)가 작거나 크더라도 엘리베이터(35)에 충분한 면적이 확보되기 때문에, 트레이(90)를 항상 수평으로 밀어올릴 수 있다.
트레이(90)는 엘리베이터(35)에 의해 다음과 같이 소정의 위치로 상승 또는 하강한다.
리니어 헤드(76)는 엘리베이터(35)를 상하로 움직이도록 접속되고, 엘리베이터 톱니바퀴(75)의 회전에 의해서 상승 또는 하강한다. 또한 엘리베이터(35)를 수평으로 유지하기 위해서 리니어 가이드(45)가 접속된다.
소정의 높이로 들어올려진 트레이(90)를 고정하기 위하여 트레이 조절 바(25)에 트레이 푸셔(26)가 제공된다.
트레이푸셔(26)는 제4도에 도시된 바와 같이, 최상부의 트레이를 눌러 고정하고, 핸들러 장치가 DUT를 흡착할 때의 흡착 불량을 방지하며, DUT가 트레이에 수납될 때, 트레이의 DUT 수납 부분에 정확하게 수납될 수 있다.
또한, 통상의 핸들러 장치는 다수의 DUT를 취급하기 위하여 다수의 트레이(90)가 사용된다. 그리고, 이들 트레이(90)의 트레이 장착대내로의 반입이나 반출은 수동으로 행해진다.
상기와 같이, 이 종래 기술의 제1실시예에 의하면, 정확히 핸들러 장치의 메인 베이스(80)에 위치 결정된 위치에 트레이(90)를 고정할 수 있다. 그러나, 트레이(90)의 트레이 장착대내로의 반입이나 반출은 수동에 의해서 행해지고 있고, 이 트레이 장착대의 상부에는 핸들러 장치의 가동부가 있기 때문에, 넓은 공간을 확보할 수 없으며, 트레이(90)의 교환 작업은 용이하지 않은 문제점이 있다.
다음에, 종래 기술의 제2실시예를 제6도, 제7도에 도시한다.
이 실시예는 트레이의 반입이나 반출을 용이하게 행하는 것을 목적으로 설치된 핸들러 장치용 트레이 장착대이다.
제6도는 트레이 장착대의 사시도이다. 제7도는 트레이 장착대의 측면도이다.
트레이 장착대에는 트레이 슬라이드 베이스(5)에 트레이(90)의 위치 결정용 트레이 가이드 바(15)가 배치되어 있다. 트레이 가이드 바(15)를 따라 배치된 트레이(90)는 트레이 조절 바(25)에 의하여 X 방향 또는 Y 방향으로부터 가압되어 위치 결정된다.
트레이를 수평으로 지정된 위치에 상승 또는 하강하기 위하여 엘리베이터(35)가 제공되어 있다.
본 종래기술에서는 트레이 슬라이드 베이스(5)를 핸들러 장치에서 인출하거나, 핸들러 장치에 밀어넣기 위한 슬라이드 팩(6)이 설치되어 있다.
이 때문에, 트레이 장착대를 트레이(90)와 함께 인출하는 것이 가능하고, 트레이 장착대를 인출한 상태에서 트레이를 출납할 수 있다. 이 때문에, 트레이(90)의 출납시에는 이 트레이 장착대 상부에는 넓은 공간이 확보되어 있고, 트레이(90)의 교환 작업은 용이하게 행해질 수 있다. 또, 이 경우, 트레이 장착대 주변에는 핸들러 장치 등의 가동부가 없기 때문에, 작업을 안전하게 행할 수 있다.
다음에, 트레이(90)를 수평으로 소정 위치까지 들어올린 상황을 제7도에서 설명한다. 트레이 슬라이드 베이스(5)에 트레이 가이드 바(15)와 트레이 조절 바(25)를 설치하고, 트레이(90)를 누르기 위하여 트레이 조절 바(25)에 트레이 푸셔(26)가 설치되어 있다.
리니어 헤드(76)는 엘리베이터(35)를 상하로 움직이도록 접속되고, 엘리베이터 톱니바퀴(75)의 회전에 의하여 상승 또는 하강한다.
엘리베이터(35)를 수평으로 유지하기 위하여 리니어 가이드(45)가 접속되어 있다.
트레이(90)의 위치 결정은 트레이 가이드 바(15)에 의해서 행해진다. 그러나, 슬라이드 팩(6)은 슬라이드 기구에 의해 이동가능하기 때문에, 일반적으로 미세한 반동 등이 존재하며, 핸들러 본체에 대한 위치를 알기 어렵고, 핸들러 장치의 메인 베이스(80)에 대하여 트레이(90)의 위치는 오차 x가 생긴다.
이와 같이, 트레이 장착대의 트레이 슬라이드 베이스의 위치 결정의 기준은 핸들러 장치에 대해서는 없기 때문에, 트레이의 위치 결정이 정확히 나올 수 없다고 하는 문제가 있었다.
만약, 트레이 슬라이드 베이스의 정확한 위치를 내기 위해서는 트레이 슬라이드 베이스에 슬라이드 팩 대신에 고가인 리니어 모션 가이드를 사용하지 않으면 안된다고 하는 문제가 있었다.
본 발명은 DUT를 장착한 트레이를 정확한 위치 결정으로 핸들러 장치에 공급하고, 특히 트레이 장착대에서의 트레이의 출납 작업이 용이하고 안전하게 행할 수 있는 핸들러 장치용 트레이 장착대를 실현하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 트레이 조절 바(25)의 길이에 대하여 트레이 가이드 바(15)의 길이를 짧게 한다. 이 트레이 가이드 바(15)의 상부에 핸들러 장치의 메인 베이스(80)와 일체로서 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)를 배치한다.
따라서, 트레이(90)가 엘리베이터(35)에 의해 밀어올려져서 최상부에 이르면, 거기까지 트레이 가이드 바(15)에 의해 위치 결정되어 있던 트레이(90)는 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)에 의한 위치 결정으로 바뀐다. 트레이 기준 바의 높이에 대응하는 위치에 트레이 푸셔(26)를 X 방향 및 Y 방향의 각 트레이 조절 바(25)에 장치한다. 그리고, 트레이 푸셔(26)의 공압 실린더의 작용에 의해 이 최상부의 트레이 기준 바에 가압된다. 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)는 핸들러 장치의 메인 베이스(80)에 일체가 되어 장치되어 있으므로, 트레이(90)는 핸들러 본체와 정확하게 위치 결정된다. 또한, 트레이 장착대를 트레이(90)와 함께 인출하는 것이 가능하고, 트레이 장착대를 인출한 상태로 트레이를 출납할 수 있다. 이 때문에, 트레이(90)의 출납시에는 이 트레이 장착대 상부에는 넓은 공간이 확보되어, 트레이(90)의 교환 작업을 용이하게 행할 수 있다.
실시예에 관하여 도면을 참조하여 설명한다.
핸들러 장치용 트레이 장착대를 설명하는 제1도는 트레이 장착대의 일실시예를 도시하는 사시도이다. 제2도는 트레이 장착대의 일실시예를 도시하는 측면도이다.
제1도에 도시된 바와 같이, 복수의 트레이(90)가 위치하는 트레이 슬라이드 베이스(5) 상에 위치 결정용 트레이 가이드 바(15)를 대체로 90도로 교차하는 X 방향 및 Y 방향의 두 방향에 배치한다. 트레이 조절 바(25)는 X 방향 및 Y 방향에 이 각 트레이 가이드 바(15)를 향하게 하여 트레이(90)를 가압하여 고정한다. 즉, 트레이 슬라이드 베이스(5) 상의 트레이 가이드 바(15)에 대한 위치 결정을 행한다.
트레이 슬라이드 베이스(5)에는 트레이 슬라이드 베이스(5)를 인출하거나, 밀어넣을 수 있는 레일이 있는 슬라이드 팩(6)이 제공된다. 따라서, 트레이 슬라이드 베이스(5)는 핸들러 전면으로 인출할 수 있고, 장착한 트레이(90)의 출납이 가능하다.
또한, 트레이(90)를 밀어올리는 엘리베이터(35)의 평면은 트레이 조절 바(25)가 이동하는 부분을 제외하고는 넓게 되어 있다. 즉 요철 평면 a, b, c, d, e, f, g, h, i, j, k, l의 평면을 가지고, 트레이 조절 바(25)의 이동하는 부분 d, e, f, g와 i, j, k, l을 제외한 평면을 설치하고 있으므로, 트레이(90)가 작거나 크더라도 수평으로 밀어올릴 수 있다.
DUT를 픽업하거나 흡착하는 핸들러 장치의 메인 베이스(80)에는 X 방향 및 Y 방향에, 최종적인 트레이 위치 결정을 위한 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)를 설치한다.
트레이(90)는 상기한 바와 같이, 먼저 트레이 가이드 바(15)에 의해 위치 결정된다. 다음에, 엘리베이터(35)로 밀어올려진다. 제2도에 도시된 바와 같이, 트레이 조절 바(25)의 길이에 대하여 트레이 가이드 바(15)의 길이를 짧게 한다. 이 트레이 가이드 바(15)의 상부에 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)를 배치한다.
따라서, 트레이(90)가 엘리베이터(35)로 밀어올려져서 최상부에 달하면, 거기까지 트레이 가이드 바(15)에 의해 위치 결정되어 있던 트레이(90)는 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)에 의해 위치 결정된다. 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)의 높이에 대응한 위치에 트레이 푸셔(26)를 X 방향 및 Y 방향의 각 트레이 조절 바(25)에 장착한다. 그리고, 트레이 푸셔(26)의 공압 실린더의 작용에 의해, 이 최상부의 트레이가 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)에 의해 눌려진다. 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)는 핸들러 장치의 메인 베이스(80)에 일체가 되어 장착되고 있으므로, 트레이(90)는 핸들러 본체와 정확하게 위치 결정된다.
상술한 바와 같이, 트레이 가이드 바(15)는 트레이(90)를 어느 정도 위치 결정하는 기능을 가질 뿐이므로, 고가의 리니어 모션 가이드 등을 사용하지 않아도 가능하다.
또한, 상술의 트레이 기준 바는 핸들러 장치의 메인 베이스(80)와의 위치 맞춤을 확보할 수 있는 것이면 좋고, 트레이 조절 바와 대면하는 X 방향 및 Y 방향으로 한면에 설치해도 좋고 복수개로 세분하여 설치해도 좋다.
또한, 상술의 트레이 푸셔(26)는 트레이를 누르기 위한 압력을 부여하는 것이면 좋고, 탄성을 가지는 것이면 좋다.
본 발명은 이상 설명한 바와 같이 구성되어 있으므로, 이하에 기재되는 효과를 가진다.
DUT를 픽업하거나 흡착하는 핸들러 장치의 메인 베이스의 X 방향 및 Y방향에 트레이 기준 바를 설치하였다. 이 때문에, 트레이를 엘리베이터에서 밀어올리면 트레이 기준 바로 이동하므로 수평을 유지하여 X 방향 및 T 방향의 위치 결정이 정확해지고, 트레이에 DUT를 둘 때 트레이의 위치 결정 포켓에 DUT가 들어가지 않거나, 트레이로부터 DUT를 흡착할 때 DUT의 중심을 흡착하지 않는다고 하는 문제를 해결하였다. 또한, 트레이 장착대를 트레이(90)와 함께 인출하는 것이 가능하며, 트레이 장착대를 인출한 상태로 트레이를 출납할 수 있다. 이 때문에, 트레이(90)의 출납시에는 이 트레이 장착대 상부에는 넓은 공간이 확보되어 있고, 트레이(90)의 교환 작업이 용이하게 행해진다. 또, 이 경우, 트레이 장착대 주변에는 핸들러 장치 등의 가동부가 없기 때문에, 작업을 안전하게 행할 수 있다.

Claims (3)

  1. 트레이 슬라이드 베이스(5)상에 겹쳐서 배치된 복수의 트레이(90)와 상하로 이동하는 엘리베이터(35)를 구비하는 트레이 장착대에 있어서, 상기 트레이 슬라이드 베이스(5)를 출납할 수 있도록 구성된 슬라이드 팩(6)과, 상기 트레이 슬라이드 베이스(5)의 두변에 고정 배치되어 트레이(90)의 위치를 결정하는 복수의 트레이 가이드 바(15)와, 상기 트레이 슬라이드 베이스(5)의 다른 두변에 이동가능하게 배치되어 복수의 트레이(90)의 외형의 크기에 맞추어 위치를 결정하는 트레이 조정 바(25)와, 상기 트레이 가이드 바(15)의 상부에 각각 배치되어, 상기 핸들러 장치의 메인 베이스(80)와 일체로 상기 트레이(90)를 상기 엘리베이터(35)에 의해 밀어올려서 상기 트레이 가이드 바(15)로 이동하여 두 방향의 위치를 결정하는 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)를 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치용 트레이 장착대.
  2. 제1항에 있어서, 상기 트레이 기준 바(50, 51, 52, 53)의 높이에 대응한 위치인 상기 각각의 트레이 조절 바(25)는 탄성체로 형성된 트레이 푸셔(26)를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 핸들러 장치용 트레이 장착대.
  3. 제2항에 있어서, 상기 트레이 푸셔(26)는 공압 실린더로 이루어진 것을 특징으로 하는 핸들러 장치용 트레이 장착대.
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