JPH08306765A - ハンドラ装置用トレイ装着台 - Google Patents

ハンドラ装置用トレイ装着台

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JPH08306765A
JPH08306765A JP7129848A JP12984895A JPH08306765A JP H08306765 A JPH08306765 A JP H08306765A JP 7129848 A JP7129848 A JP 7129848A JP 12984895 A JP12984895 A JP 12984895A JP H08306765 A JPH08306765 A JP H08306765A
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JP
Japan
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tray
elevator
bar
mounting table
handler
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JP7129848A
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Toshiyuki Kiyokawa
敏之 清川
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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/0084—Containers and magazines for components, e.g. tube-like magazines

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トレイの外形に影響されないで吸着やハンド
リングを正確にするためトレイを水平に保つハンドラ装
置用トレイ装着台を供給する。 【構成】 ハンドラ装置用トレイ装着台に複数のトレイ
９０をトレイ・スライドベース５に置く、位置決め用の
トレイ・ガイドバー１５を２方向に配置して、トレイ９
０の外形に合わせてトレイ調節バー２５はＸ−Ｙ方向の
位置決めをして、トレイ・プッシャ２６はトレイ９０を
押しつける。トレイ９０を押し上げるエレベータ３５の
平面はトレイ・調節バー２５が移動する部分を除き凸凹
の平面と広くした。ハンドラ装置のメイン・ベース８０
に複数のトレイ・基準バー５０、５１、５２、５３を設
け、トレイ９０をエレベータ３５で押し上げ挿入してト
レイ・基準バー５０、５１、５２、５３に乗換てトレイ
９０は水平に保たれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被試験用半導体ＩＣ
（以下ＤＵＴと称する）の試験を行う際ＤＵＴを収納し
たトレイをトレイ装着台に置きＤＵＴをＩＣテストシス
テムに供給し易くするハンドラ装置用トレイ装着台に関
する。
【０００２】
【従来の技術】ＤＵＴを収納したトレイをトレイ装着台
に置きＤＵＴを自動的にＩＣテストシステムに供給し、
テストの結果に基づいて自動的に分類収納するハンドラ
装置用トレイ装着台はＤＵＴの外形がさまざまであるた
め、ＤＵＴを収納したトレイの外形が大きくなったり、
小さくなったりするためトレイ装着台でトレイを水平に
保てない場合があった。
【０００３】ハンドラ装置用トレイ装着台はトレイが大
きくても、小さくても対応できるよようにトレイ調節バ
ーによって行われたがトレイを水平に保てない場合があ
った。図３によってハンドラ装置用トレイ装着台を説明
する、図３はトレイ装着台の一実施例で（ａ）は平面図
で、（ｂ）は斜視図である。ハンドラ装置がＤＵＴをピ
ック・アップ出来るようにトレイ９０を水平に指定の位
置まで持ち上げるためのトレイ装着台はトレイ・スライ
ドベース１にトレイ９０の位置決め用のトレイ・ガイド
バー１０を配置して、トレイ・ガイドバー１０に沿って
置かれたトレイ９０はトレイ・調節バー２０によってＸ
−Ｙの方向から押しつけて位置決めをする。トレイを水
平に指定の位置に持ち上げるためエレベータ３０を設け
た。トレイ・スライドベース１をハンドラ装置より引き
出したり、押し込んだりするためにスライド・パック３
を設けた。
【０００４】トレイ９０を水平に指定の位置まで持ち上
げた状況を図４で説明する。トレイ・スライドベース１
にトレイ・ガイドバー１０とトレイ・調節バー２０を設
け、トレイ９０を押さえるためにトレイ・調節バー２０
にトレイ・プッシャ２１を設けた。リニア・ヘッド７１
はエレベータ３０を持ち上げられるように接続され、エ
レベータ・歯車７０の回転によって持ち上げられる。エ
レベータ３０を水平に保つためにリニア・ガイド４０を
接続して設けた。トレイ９０の面積に対してエレベータ
３０の面積が小さくなると、トレイ９０が指定の位置で
水平を保てなくなった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】大きなトレイに対し
て、エレベータの面積が相対的に小さいためトレイの水
平度がハンドラ装置に対して保てないので、ＤＵＴを吸
着しようとした際、吸着ミスを起こしてしまう。トレイ
装着台のトレイ・スライドベースの位置決めの基準はハ
ンドラ装置に対しては無いため、トレイの位置決めが正
確に出来ないという問題があった。トレイ・スライドベ
ースの正確な位置をだすにはトレイ・スライドベースに
スライド・パックのかわりに 高価なリニア・モーショ
ンガイドを使用しなければならないいう問題があった。
トレイの水平が保て、トレイの位置決めが正確に行える
ハンドラ装置用トレイ装着台を目的とした。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のハンドラ装置用トレイ装着台は大きくて
も、小さくても水平に保てる手段を設けた。トレイ装着
台の位置決めの基準はハンドラ装置に対しては無いた
め、トレイの位置決めが正確に出来なかったのでハンド
ラ装置側にもトレイの位置決めができる手段を設けた。
【０００７】
【実施例】実施例について図面を参照して説明する。図
１、２によってハンドラ装置用トレイ装着台を説明す
る、図１はトレイ装着台の一実施例で（ａ）は平面図
で、（ｂ）は斜視図である。図２はトレイ装着台の一実
施例である側面図を示す。図１において、複数のトレイ
９０を置くトレイ・スライドベース５に位置決め用のト
レイ・ガイドバー１５を２方向に配置して、トレイ９０
の外形に合わせてトレイ・調節バー２５はＸ−Ｙ方向の
位置決めをして、トレイ・プッシャ２６はトレイ９０を
押しつける。トレイ９０を押し上げるエレベータ３５の
平面はトレイ・調節バー２５が移動する部分を除き広く
した、それは凸凹の平面ａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ、ｆ、ｇ、
ｈ、ｉ、ｊ、ｋ、ｌの平面を持って、トレイ・調節バー
２５の移動する部分ｄ、ｅ、ｆ、ｇとｉ、ｊ、ｋ、ｌを
除いた平面を設けたので、トレイ９０が小さくても、大
きくても水平に押し上げることが出来た。複数のトレイ
９０をトレイ・スライドベース５に置くためにハンドラ
装置のトレイ・スライドベース５を引き出したり、押し
込んだりするレールとなるスライド・パック６を設け
た。
【０００８】ＤＵＴをピック・アップしたり、吸着する
ハンドラ装置のメイン・ベース８０に複数のトレイ・基
準バー５０、５１、５２、５３を設け、トレイ９０をエ
レベータ３５で押し上げてトレイ・基準バー５０、５
１、５２、５３に挿入してトレイ・ガイドバー１５より
乗り換えさせるので水平を保ちＸ−Ｙ方向の位置決めが
容易となった。挿入する状態を図２で説明する。トレイ
・スライドベース５上のトレイ・ガイドバー１５とトレ
イ・調節バー２５は上記で説明した通りである。エレベ
ータ３５の水平補強としてリニア・ガイド４５を設け
た。エレベータ３５の平面は広く設定され、エレベータ
３５に乗せたトレイ９０はリニア・ヘッド７６のエレベ
ータ・歯車７５の回転で上に押し上げられ、トレイ９０
はトレイ・ガイドバー１５からトレイ・基準バー５０、
５１、５２、５３に乗り換えられ正確に位置決めされ
る。
【０００９】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【００１０】トレイを設置するエレベータの平面はトレ
イ・調節バーの移動する部分を除いた平面としたので、
トレイを押し上げた場合、大きなトレイでも傾きが発生
することが無くなりＤＵＴをピック・アップしたり、吸
着する場合のＤＵＴ搬送ミスが無くなった。
【００１１】ＤＵＴをピック・アップしたり、吸着する
ハンドラ装置のメイン・ベースに複数のトレイ基準バー
を設けたので、トレイをエレベータで押し上げてトレイ
基準バーに挿入して乗換えるので水平を保ちＸ−Ｙ方向
の位置決めが容易となり、トレイにＤＵＴを置く際トレ
イの位置決めポケットにＤＵＴが入らないとか、トレイ
からＤＵＴを吸着する際ＤＵＴの中心を吸着しないとい
う問題は無くなった。
【００１２】トレイ・スライドベースの正確な位置をだ
すにはトレイ・スライドベースにスライド・パックのか
わりに高価なリニア・モーションガイドを使用しなけれ
ばならないいう問題があったが、ハンドラ装置のメイン
・ベースに複数のトレイ基準バーを設けたので高価なリ
ニア・モーションガイドは不用となった。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のハンドラ装置用トレイ装着台の一実施
例で（ａ）は平面図で、（ｂ）は斜視図を示す。
【図２】本発明のハンドラ装置用トレイ装着台の一実施
例で側面図を示す。
【図３】従来の技術のハンドラ装置用トレイ装着台の一
実施例で（ａ）は平面図で、（ｂ）は斜視図を示す。
【図４】従来の技術のンドラ装置用トレイ装着台の一実
施例で側面図を示す。
【符号の説明】
１、５ トレイ・スライドベース ３、６ スライド・パック １０、１５ トレイ・ガイドバー ２０、２５ トレイ・調節バー ２１、２６ トレイ・プッシャ ３０、３５ エレベータ ４０、４５ リニア・ガイド ５０、５１、５２、５３ トレイ・基準バー ６０、６５ エレベータ・ベース ７０、７５ エレベータ・歯車 ７１、７６ リニア・ヘッド ８０ ハンドラ装置のメインベース ９０ トレイ
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 59/02 Ｂ６５Ｇ 59/02 Ｚ Ｇ０１Ｒ 31/26 Ｇ０１Ｒ 31/26 Ｊ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 複数のトレイ（９０）を置くトレイ・ス
    ライドベース（５）の上に長方形の複数のトレイ（９
    ０）を重ねて置き、下方より押し上げるエレベータ（３
    ５）を有するトレイ装着台において、 トレイ・スライドベース（５）の２辺に固定配置された
    複数のトレイ（９０）の位置決め用トレイ・ガイドバー
    （１５）と、 トレイ・スライドベース（５）の他の２辺に移動可能に
    設置され複数のトレイ（９０）の外形の大きさに合わせ
    て位置決めするトレイ・調整バー（２５）と、 最大のトレイ（９０）外形の面積（ａ、ｂ、ｃ、ｈ）を
    基準とし２つのトレイ・調整バー（２５）の移動可能な
    範囲（ｄ、ｅ、ｆ、ｇ及びｉ、ｊ、ｋ、ｌ）のみを切り
    取られた平面を有するエレベータ（３５）と、 を具備することを特徴とするハンドラ装置用トレイ装着
    台。
  2. 【請求項２】 請求項１記載構成手段に加えて、 ハンドラ装置のメイン・ベース８０にトレイ（９０）を
    エレベータ（３５）で押し上げてトレイ・ガイドバー
    （１５）より乗換えて水平を保ちＸ−Ｙ方向の位置を保
    つトレイ・基準バー（５０、５１、５２、５３）を設
    け、 以上の構成を具備することを特徴とするハンドラ装置用
    トレイ装着台。
  3. 【請求項３】 請求項１、２記載構成手段に加えて、 トレイ（９０）の位置決めをするトレイ・調整バー（２
    ５）の上部にトレイ基準バー（５０、５１、５２、５
    ３）とトレイ（９０）を挟んだ位置で押しつけるトレイ
    ・プッシャ（２６）を設け、 以上の構成を具備することを特徴とするハンドラ装置用
    トレイ装着台。
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