CN219321320U - 取片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了取片装置，该取片装置用于从载具中获取片材，包括：取片部，具有第一驱动部以及第一载置部，第一载置部具有第一支撑件以及第一定位件，第一支撑件以线接触片材的方式支撑片材，第一定位件对片材进行定位。缓存部，具有第二驱动部以及第二载置部，第二载置部具有第二支撑件以及第二定位件，第二支撑件以线接触片材的方式支撑片材，第二定位件对片材进行定位。在第一载置部处在载具的位置时，第一载置部可载置来自载具的片材。在第一载置部处在与缓存部相对的位置时，第二载置部可抵接并支撑片材并使片材脱离第一载置部。本实用新型的取片装置，能够更高精度地取放片材并抑制片材的表面受到污染。

Description

取片装置

技术领域

本实用新型涉及但不限于光伏电池用生产设备技术领域，尤其涉及取片装置。

背景技术

在光伏电池的生产设备当中，为了使电池片在各工艺设备之间转移，需要使用到较多的上下料装置。例如，在镀膜工艺中，硅片被保持在料篮中，并通过物料车转移到PECVD设备的上料位置的升降机，然后取片装置插入到料篮中进行取料，并转移到PECVD设备中。

在现有的PECVD设备中，取片装置主要通过同步带或者皮带进行取片以及转移硅片。但是，通过同步带转移硅片有时会导致硅片滑动、偏移等，进而导致硅片的定位不准。此外，由于硅片直接被支撑在皮带上，有时候会导致硅片出现皮带印，导致硅片的表面受到污染。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术的问题。为此，本实用新型提出了一种取片装置，能够更高精度地取放片材并抑制片材的表面受到污染。

根据本实用新型第一方面的取片装置，用于从载具中获取片材，包括：

取片部，具有沿第一方向驱动的第一驱动部以及被所述第一驱动部驱动的第一载置部，所述第一载置部具有第一支撑件以及第一定位件，所述第一支撑件以线接触所述片材的方式支撑所述片材，所述第一定位件对所述片材进行定位。

缓存部，具有沿与所述第一方向正交的第二方向驱动的第二驱动部以及被所述第二驱动部驱动的第二载置部，所述第二载置部具有第二支撑件以及第二定位件，所述第二支撑件以线接触所述片材的方式支撑所述片材，所述第二定位件对所述片材进行定位。

所述第一载置部被所述第一驱动部驱动而在所述载具以及所述缓存部之间转移。

在所述第一载置部处在所述载具的位置时，所述第一载置部可载置来自所述载具的所述片材。

在所述第一载置部处在与所述缓存部相对的位置时，所述第二载置部可被所述第二驱动部驱动而沿所述第二方向抵接并支撑所述片材，并使所述片材脱离所述第一载置部。

根据本实用新型第一方面的取片装置，具有如下有益效果：能够更高精度地取放片材并抑制片材的表面受到污染。

在一些实施方式中，所述取片部具有多个，多个所述取片部沿分别与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向排列。

在一些实施方式中，所述缓存部具有多个，多个所述缓存部沿所述第一方向排列。

在一些实施方式中，一个所述第二载置部具有多个所述第二支撑件以及多个所述第二定位件，多个所述第二支撑件以及多个所述第二定位件分别与沿所述第三方向排列的多个所述取片部对应。

在一些实施方式中，所述第二载置部沿第三方向与所述第一载置部错开，其中，所述第三方向为分别与所述第一方向以及所述第二方向正交的方向；所述第一支撑件支撑所述片材的所述第一方向的两端，并且，所述第一定位件沿所述第一方向对所述片材进行定位；所述第二支撑件支撑所述片材的所述第一方向和/或所述第三方向的两端，并且，所述第二定位件沿所述第一方向以及所述第三方向对所述片材进行定位。

在一些实施方式中，在一个所述第一载置部中，一片所述片材的所述第一方向的两端分别被多个所述第一支撑件支撑；各所述第一支撑件的外侧分别设置有与其对应的所述第一定位件。

在一些实施方式中，在一个所述第二载置部中，一片所述片材的所述第三方向的两端分别被多个所述第二支撑件支撑；所述第二定位件包括多个，多个所述第二定位件中的一部分，分别设置在与其对应的所述第二支撑件的外侧，并且，多个所述第二定位件中的另一部分，分别从所述片材的所述第一方向的两端对所述片材进行定位。

在一些实施方式中，所述第一支撑件和与其对应的所述第一定位件为一体成型的部件；和/或，所述第二支撑件和与其对应的所述第二定位件为一体成型的部件。

在一些实施方式中，所述第一支撑件形成有第一倾斜部，所述第一倾斜部以线接触所述片材的方式支撑所述片材；和/或，所述第二支撑件形成有第二倾斜部，所述第二倾斜部以线接触所述片材的方式支撑所述片材。

根据本实用新型第二方面的取片装置，用于从载具中获取片材，包括：

取片部，具有第一驱动部、第二驱动部以及第一载置部，其中，所述第一驱动部沿第一方向驱动，所述第二驱动部搭载在所述第一驱动部并沿与所述第一方向正交的第二方向驱动，所述第一载置部搭载在所述第二驱动部，所述第一载置部具有第一支撑件以及第一定位件，所述第一支撑件以线接触所述片材的方式支撑所述片材，所述第一定位件对所述片材进行定位。

缓存部，具有第二载置部，所述第二载置部具有第二支撑件以及第二定位件，所述第二支撑件以线接触所述片材的方式支撑所述片材，所述第二定位件对所述片材进行定位。

所述第一载置部被所述第一驱动部驱动而在所述载具以及所述缓存部之间转移。

在所述第一载置部处在所述载具的位置时，所述第一载置部可载置来自所述载具的所述片材。

在所述第一载置部处在与所述缓存部相对的位置时，所述第一载置部可被所述第二驱动部驱动以使所述片材脱离所述第一载置部并被支撑在所述第二载置部。

根据本实用新型第二方面的取片装置，具有如下有益效果：能够更高精度地取放片材并抑制片材的表面受到污染。

附图说明

图1是本实用新型的取片装置在与载具对接的状态下的一种实施方式的立体图。

图2是取片装置的一种实施方式的立体图。

图3是图2的取片部以及缓存部的一种状态的示意图。

图4是图的取片部以及缓存部的另一种状态的示意图。

图5是图2中的取片部的第一载置部的要部的示意图。

图6是图2中的缓存部的示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实施方式的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实施方式，而不能理解为对本实施方式的限制。

在本实施方式的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实施方式和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实施方式的限制。

在本实施方式的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实施方式的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实施方式中的具体含义。

参照图1至图6，根据第1实施方式的取片装置100，用于从载具200中获取片材201。该取片装置100包括：取片部101以及缓存部102。

取片部101具有沿第一方向(附图中的前后方向)驱动的第一驱动部103以及被第一驱动部103驱动的第一载置部104。第一载置部104具有第一支撑件105以及第一定位件106。第一支撑件105以线接触片材201的方式支撑片材201。第一定位件106对片材201进行定位。

缓存部102具有沿与第一方向正交的第二方向(附图中的上下方向)驱动的第二驱动部107以及被第二驱动部107驱动的第二载置部108。第二载置部108具有第二支撑件109以及第二定位件110。第二支撑件109以线接触片材201的方式支撑片材201。第二定位件110对片材201进行定位。

第一载置部104被第一驱动部103驱动而在载具200以及缓存部102之间转移。在第一载置部104处在载具200的位置时，第一载置部104可载置来自载具200的片材201。在第一载置部104处在与缓存部102相对的位置(例如沿上下方向相对的位置)时，第二载置部108可被第二驱动部107驱动而沿上下方向抵接并支撑片材201，并使片材201脱离第一载置部104。

根据本实施方式的取片装置100，能够更高精度地取放片材201并抑制片材201的表面受到污染。具体来说，相比于以往的使用皮带线或者同步带载置片材201(例如硅片)的技术方案，在本实施方式的取片装置100中，由于通过具有第一支撑件105以及第一定位件106的第一载置部104和具有第二支撑件109以及第二定位件110的第二载置部108来载置片材201，因此能够更高精度地取放片材201。此外，由于第一支撑件105以及第二支撑件109分别以线接触片材201的方式支撑片材201，因此能够尽可能地减少第一支撑件105以及第二支撑件109与片材201接触的面积，由此，能够抑制片材201的表面受到污染等。

继续参照图1，本实施方式的取片装置100例如可以与层叠型的载具200对接。例如，本实施方式的取片装置100能够对接料篮(载具200的一个具体的实施例)和例如PECVD设备的上料装置。具体来说，本实施方式的取片装置100可以与用于载置硅片(片材201的一个具体的实施例)的料篮对接，以获得被载置在料篮的硅片。料篮沿竖直方向载置了多层的硅片。在取片之前，料篮通过例如搬运小车等搬运到升降机300上。取片装置100的第一驱动部103驱动第一载置部104伸到料篮内，并位于竖直方向最下面的一片硅片的下面。然后，升降机300驱动料篮下降，并且随着料篮的下降，硅片落到第一载置部104上。在硅片落到第一载置部104时，通过第一定位件106进行定位之后，落到第一支撑件105上，由此，能够确保硅片更高精度地被转移到第一载置部104。

在硅片被转移到第一载置部104之后，硅片脱离料篮，升降机300停止下降，并且第一驱动部103驱动载置有硅片的第一载置部104移动到缓存部102的第二载置部108的上方。在第一载置部104处在第二载置部108的上方之后，第二载置部108被第二驱动部107驱动而沿竖直方向顶起硅片，并使硅片脱离第一载置部104。在硅片被第二载置部108顶起时，硅片被第二定位件110定位然后被第二支撑件109支撑，或者硅片直接与第二支撑件109接触并被第二支撑件109顶起(例如硅片精确地位于预设的范围内)。由此，在硅片被第二载置部108顶起时，通过第二定位件110进行定位之后落到第二支撑件109上，由此，能够确保硅片更高精度地被转移到第二载置部108。

在硅片从第一载置部104被转移到第二载置部108之后，硅片被缓存在第二载置部108，并且，第一载置部104继续被第一驱动部103驱动而伸到料篮内，并继续载置料篮的硅片。与此同时，被载置在缓存部102的第二载置部108的硅片则等待例如其他装置进行搬运。例如，上料机械手将第二载置部108的硅片转移到卧式PECVD设备的托盘中。

继续参照图1、图2，在一些实施方式中，取片部101可以具有多个，多个取片部101沿分别与前后方向以及上下方向正交的第三方向(附图中的左右方向)排列。取片部101的数量不特别限定，根据料篮的一格所安装的片材201的数量确定即可，例如，可以包括两个取片部101。两个取片部101沿左右方向间隔排列。

继续参照图1、图2，在一些实施方式中，缓存部102具有多个，多个缓存部102沿前后方向排列。沿前后方向排列的缓存部102例如可以根据PECVD设备中的托盘的一行(或者一列)所载置的硅片所确定。例如，在PECVD设备中的托盘一行载置有六片硅片的情况下，缓存部102也沿前后方向排列有六个。此外，在取片部101具有多个的情况下，各取片部101分别配置有多个缓存部102。例如，在取片部101具有两个的情况下，每个取片部101分别配置有六个缓存部102。或者，也可以是一个缓存部102与沿左右方向排列的多个取片部101对应。

继续参照图2，取片部101的第一驱动部103例如可以包括电机驱动的单轴的滑台模组(未标记附图标记)。滑台模组为沿前后方向直线地驱动的滑台模组。滑台模组的行程的长度设置为容许第一载置部104被驱动到料篮内以及分别被驱动到与各缓存部102对应的位置。第一载置部104搭载在滑台模组的滑块(未标记附图标记)上。第一载置部104包括第一安装座111，第一安装座111安装到滑台模组的滑块上。

参照图5并辅助参照图2至图4，第一支撑件105设置在第一安装座111上。第一支撑件105既可以与第一安装座111一体地加工出来，也可以作为独立的部件安装到第一安装座111。在作为独立的部件安装到第一安装座111的情况下，第一支撑件105可以通过例如螺纹连接、卡扣连接、焊接以及粘接等各种方式安装到第一安装座111。第一支撑件105支撑片材201的前后方向的两端。例如，在硅片被载置在料篮的情况下，硅片通常是左右方向的两端被支撑在料篮，而硅片相对于料篮可以沿前后方向被拆卸。因此，通过使第一支撑件105支撑硅片的前后方向的两端，能够容易地获得硅片。

继续参照图2，另外，在一个第一载置部104中，一片片材201的前后方向的两端分别被多个第一支撑件105支撑。具体来说，例如，一个第一载置部104中包括四个第一支撑件105，四个第一支撑件105分别通过螺丝可拆卸地安装到第一安装座111，并且，其中两个第一支撑件105支撑片材201的前后方向的一端，另外两个第一支撑件105支撑片材201的前后方向的另一端。

参照图5并辅助参照图2至图4，第一支撑件105形成有第一倾斜部112，第一倾斜部112以线接触片材201的方式支撑片材201。第一倾斜部112例如是在第一支撑件105的上部所形成的呈平面状的倾斜面。片材201的前后方向的两端分别抵接第一支撑件105的作为第一倾斜部112的倾斜面，由此，能够实现第一支撑件105以线接触片材201的方式，支撑片材201的前后方向的两端。此外，由于第一支撑件105具有第一倾斜部112，因此在片材201被支撑在第一支撑件105时，能够自适应地调节其抵接第一支撑件105的位置，由此，能够一定程度上提高片材201的定位精度。

此外，第一支撑件105也可以是一体的部件，例如，第一支撑件105在前后方向的两端，分别具有沿上下方向突起的第一支撑部(未图示)，第一支撑部分布在第一支撑件105的前后方向的两端，并以线接触片材201的方式支撑片材201的前后方向的两端。由此，能够尽可能地减少第一支撑件105与片材201接触的面积，抑制片材201的表面受到污染等。

另外，上面虽然说明了第一支撑件105通过呈平面状的倾斜面(第一倾斜部112)来支撑片材201，从而以线接触片材201的方式支撑片材201的例子，但是并不限于此。例如，作为以线接触片材201的其他例子，第一支撑件105也可以形成有例如用于支撑片材201的弧形部等。

继续参照图5并辅助参照图2，如上所述，第一载置部104具有第一定位件106，第一定位件106对片材201进行定位。具体来说，第一定位件106设置在第一安装座111上，第一定位件106与第一支撑件105对应并设置在第一支撑件105的外侧。第一定位件106既可以与第一安装座111以及第一支撑件105一体地加工出来，也可以作为独立的部件安装到第一安装座111。此外，第一定位件106也可以与第一支撑件105一体地加工出来。在作为独立的部件安装到第一安装座111的情况下，第一定位件106可以通过例如螺纹连接、卡扣连接以及粘接等各种方式安装到第一安装座111。此外，在第一定位件106和第一支撑件105一体地加工出来的情况下，第一定位件106和第一支撑件105则可以通过螺丝等可拆卸地安装到第一安装座111。

另外，在第一支撑件105具有多个的情况下，第一定位件106也具有多个，且分别与第一支撑件105对应并分别设置在第一支撑件105的外侧。例如，一个第一支撑件105的前后方向的外侧，分别配置有一个第一定位件106。此外，在一个优选的实施例中，第一支撑件105和与其对应的第一定位件106为一体成型的部件。由此，能够一体、高精度地加工出第一定位件106以及第一支撑件105，能够高精度地对片材201进行定位，并使片材201高精度地被支撑在第一支撑件105上。

第一定位件106例如从片材201的前后方向的两侧，对片材201的前后方向的两侧进行定位。第一定位件106例如可以具有引导部(未标记附图标记)和与引导部圆滑过渡的限位部(未标记附图标记)，引导部呈倾斜状，对片材201进行引导，限位部与第一倾斜部112连接并对片材201的前后方向的两侧进行定位。由此，在升降机300驱动料篮下降时，硅片落到第一载置部104上，更加具体地，硅片可能落到第一定位件106的引导部上，并随着料篮的进一步下降，而沿着引导部以及限位部落到第一支撑件105上。由此，能够确保硅片更高精度地被转移到第一载置部104。

继续参照图6，并辅助参照图2至图4，如上所述，缓存部102具有第二驱动部107以及第二载置部108。缓存部102的第二驱动部107例如可以包括沿上下方向直线地驱动的气缸(未标记附图标记)。气缸的行程的长度设置为容许第二载置部108被驱动到沿上下方向的上方向高于第一载置部104的位置以及沿上下方向的下方向低于第一载置部104的位置。第二载置部108沿左右方向与第一载置部104错开。当第二载置部108处在沿上下方向的上方向高于第一载置部104的位置时(参照图2)，第二载置部108顶升片材201，以使片材201脱离第一载置部104。当第二载置部108处在沿上下方向的下方向低于第一载置部104的位置时(参照图3,)，第二载置部108能够避让片材201，以使片材201能够随着第一载置部104沿前后方向自由地被驱动。

第二载置部108安装到例如沿上下方向导向的线性滑轨(未标记附图标记)，并与气缸的输出端连接。第二载置部108包括第二安装座113，第二安装座113安装到该线性滑轨上。第二安装座113沿左右方向与第一安装座111错开。例如，第二安装座113具有分别位于第一驱动部103的滑动模组的左右方向的两侧的安装支架114，两个安装支架114分别位于第一安装座111的左右方向的两侧。由此，能够实现第二安装座113沿左右方向与第一安装座111错开。第二支撑件109设置在第二安装座113上。第二支撑件109既可以与第二安装座113一体地加工出来，也可以作为独立的部件安装到第二安装座113。在作为独立的部件安装到第二安装座113的情况下，第二支撑件109可以通过例如螺纹连接、卡扣连接、焊接以及粘接等各种方式安装到第二安装座113。第二支撑件109支撑片材201的前后方向的两端和/或左右方向的两端。

在一些实施方式中，在一个第二载置部108中具有多个第二支撑件109。多个第二支撑件109分别与沿左右方向排列的多个取片部101对应。例如，在取片部101具有两个的情况下，第二载置部108的多个第二支撑件109分别两组，两组第二支撑件109沿左右方向间隔地安装到第二安装座113。每一组第二支撑件109支撑片材201的前后方向和/或左右方向的两端。

例如，在一个第二载置部108中，一片片材201的左右方向的两端分别被多个第二支撑件109支撑。具体来说，例如，一片片材201可以被四个第二支撑件109支撑，四个第二支撑件109分别通过螺丝可拆卸地安装到第二安装座113，并且，一片片材201的左右方向的两端分别被两个第二支撑件109支撑。由此，能够尽可能地减少第二支撑件109与片材201接触的面积，由此，能够抑制片材201的表面受到污染等。

在一些实施方式中，第二支撑件109形成有第二倾斜部115，第二倾斜部115以线接触片材201的方式支撑片材201。第二倾斜部115例如是在第二支撑件109的上部所形成的呈平面状的倾斜面。片材201的左右方向的两端分别抵接第二支撑件109的作为第二倾斜部115的倾斜面。由此，能够实现第二支撑件109以线接触片材201的方式支撑片材201。此外，由于第二支撑件109具有第二倾斜部115，因此在片材201被支撑在第二支撑件109时，能够自适应地调节其抵接第二支撑件109的位置，由此，能够一定程度上提高片材201的定位精度。

此外，用于支撑一片片材201的第二支撑件109也可以是一体的部件。第二支撑件109在前后方向的两端和/或左右方向的两端，分别具有沿上下方向突起的第二支撑部，第二支撑部分别以线接触片材201的方式支撑片材201的前后方向的两端和/或左右方向的两端。由此，能够尽可能地减少第二支撑件109与片材201接触的面积，由此，能够抑制片材201的表面受到污染等。具体来说，例如，在一片片材201被一个第二支撑件109支撑的情况下，第二支撑件109可以具有沿左右方向间隔设置和/或沿前后方向间隔设置的多个第二倾斜部115作为第二支撑部。此外，在一片片材201被多个第二支撑件109支撑的情况下，各第二支撑件109分别形成有第二倾斜部115。

另外，上面虽然说明了第二支撑件109通过呈平面状的倾斜面(第二倾斜部115)来支撑片材201，从而以线接触片材201的方式支撑片材201的例子，但是并不限于此。例如，作为以线接触片材201的其他例子，第二支撑件109也可以形成有例如用于支撑片材201的弧形部等。

如上所述，第二载置部108具有第二定位件110，第二定位件110对片材201进行定位。第二定位件110设置在第二安装座113上。第二定位件110与第二支撑件109对应并设置在第二支撑件109的外侧。第二定位件110既可以与第二安装座113以及第二支撑件109一体地加工出来，也可以作为独立的部件安装到第二安装座113。此外，第二定位件110也可以与第二支撑件109一体地加工出来。在作为独立的部件安装到第二安装座113的情况下，第二定位件110可以通过例如螺纹连接、卡扣连接以及粘接等各种方式安装到第二安装座113。此外，在第二定位件110和第二支撑件109一体地加工出来的情况下，第二定位件110和第二支撑件109则可以通过螺丝等可拆卸地安装到第二安装座113。

另外，在第二支撑件109具有多个的情况下，第二定位件110也具有多个，并且，第二定位件110的数量可以多于第二支撑件109的数量。例如，多个第二定位件110的一部分分别设置在第二安装座113的左右方向的两侧并设置在与其对应的第二支撑件109的外侧，并且和与其对应的第二支撑件109为一体成型的部件。由此，能够一体、高精度地加工出第二定位件110以及第二支撑件109，能够高精度地对片材201进行定位，并使片材201高精度地被支撑在第二支撑件109上。进一步地，多个第二定位件110的另一部分分别配置在第二安装座113的前后方向的两侧。由此，第二定位件110能够从片材201的前后方向以及左右方向的两侧，对片材201的前后方向以及左右方向的两侧进行定位。第二定位件110的结构可以参照第一定位件106来进行设计。由此，能够确保硅片更高精度地从第一载置部104被转移到第二载置部108。

需要说明的是，第一载置部104和第二载置部108既可以相互参考而以大致一样的结构进行设置，也可以分别独立地进行设置。例如，第一载置部104的第一支撑件105和与其对应的第一定位件106为一体成型的部件，并且，第二支撑件109和与其对应的第二定位件110也为一体成型的部件。此外，也可以是第一支撑件105和与其对应的第一定位件106为一体成型的部件，而第二支撑件109和与其对应的第二定位件110根据实际的需要为单独的部件。或者，也可以是第一支撑件105和与其对应的第一定位件106根据需要为单独的部件，而第二支撑件109和与其对应的第二定位件110则为一体成型的部件。

同样地，第一支撑件105以及第二支撑件109既可以相互参考而以大致一样的结构进行设置，也可以分别独立地进行设置。例如，可以是第一支撑件105形成有第一倾斜部112，第一倾斜部112以线接触片材201的方式支撑片材201，并且第二支撑件109形成有第二倾斜部115，第二倾斜部115以线接触片材201的方式支撑片材201。也可以是，第一支撑件105和第二支撑件109当中的其中一个形成弧形部，而另一个形成倾斜部的方式等。

此外，上面虽然说明了取片部101具有第一驱动部103、缓存部102具有第二驱动部107的例子。但是并不限于此。例如，与第1实施方式的取片装置100的主要不同在于，第2实施方式的取片装置100的第二驱动部107搭载在第一驱动部103上。具体来说，该取片装置100也包括：取片部101以及缓存部102。

取片部101具有第一驱动部103、第二驱动部107以及第一载置部104。第一驱动部103沿前后方向驱动。第二驱动部107搭载在第一驱动部103并沿与前后方向正交的上下方向驱动。第一载置部104搭载在第二驱动部107。第一载置部104具有第一支撑件105以及第一定位件106。第一支撑件105以线接触片材201的方式支撑片材201。第一定位件106对片材201进行定位。

缓存部102具有第二载置部108。第二载置部108具有第二支撑件109以及第二定位件110，第二支撑件109以线接触片材201的方式支撑片材201，第二定位件110对片材201进行定位。

第一载置部104被第一驱动部103驱动而在载具200以及缓存部102之间转移。在第一载置部104处在载具200的位置时，第一载置部104可载置来自载具200的片材201。在第一载置部104处在与缓存部102相对的位置，第一载置部104可被第二驱动部107驱动以使片材201脱离第一载置部104并被支撑在第二载置部108。

根据第2实施方式的取片装置100，同样能够更高精度地取放片材201并抑制片材201的表面受到污染。

尽管已经示出和描述了本实施方式的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实施方式的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实施方式的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.取片装置，用于从载具中获取片材，其特征在于，包括：

取片部，具有沿第一方向驱动的第一驱动部以及被所述第一驱动部驱动的第一载置部，所述第一载置部具有第一支撑件以及第一定位件，所述第一支撑件以线接触所述片材的方式支撑所述片材，所述第一定位件对所述片材进行定位；

缓存部，具有沿与所述第一方向正交的第二方向驱动的第二驱动部以及被所述第二驱动部驱动的第二载置部，所述第二载置部具有第二支撑件以及第二定位件，所述第二支撑件以线接触所述片材的方式支撑所述片材，所述第二定位件对所述片材进行定位；

所述第一载置部被所述第一驱动部驱动而在所述载具以及所述缓存部之间转移；

在所述第一载置部处在所述载具的位置时，所述第一载置部可载置来自所述载具的所述片材；

在所述第一载置部处在与所述缓存部相对的位置时，所述第二载置部可被所述第二驱动部驱动而沿所述第二方向抵接并支撑所述片材，并使所述片材脱离所述第一载置部。

2.根据权利要求1所述的取片装置，其特征在于，所述取片部具有多个，多个所述取片部沿分别与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向排列。

3.根据权利要求1所述的取片装置，其特征在于，所述缓存部具有多个，多个所述缓存部沿所述第一方向排列。

4.根据权利要求2所述的取片装置，其特征在于，一个所述第二载置部具有多个所述第二支撑件以及多个所述第二定位件，多个所述第二支撑件以及多个所述第二定位件分别与沿所述第三方向排列的多个所述取片部对应。

5.根据权利要求1所述的取片装置，其特征在于，所述第二载置部沿第三方向与所述第一载置部错开，其中，所述第三方向为分别与所述第一方向以及所述第二方向正交的方向；

所述第一支撑件支撑所述片材的所述第一方向的两端，并且，所述第一定位件沿所述第一方向对所述片材进行定位；

所述第二支撑件支撑所述片材的所述第一方向和/或所述第三方向的两端，并且，所述第二定位件沿所述第一方向以及所述第三方向对所述片材进行定位。

6.根据权利要求5所述的取片装置，其特征在于，在一个所述第一载置部中，一片所述片材的所述第一方向的两端分别被多个所述第一支撑件支撑；

各所述第一支撑件的外侧分别设置有与其对应的所述第一定位件。

7.根据权利要求6所述的取片装置，其特征在于，在一个所述第二载置部中，一片所述片材的所述第三方向的两端分别被多个所述第二支撑件支撑；

所述第二定位件包括多个，多个所述第二定位件中的一部分，分别设置在与其对应的所述第二支撑件的外侧，并且，多个所述第二定位件中的另一部分，分别从所述片材的所述第一方向的两端对所述片材进行定位。

8.根据权利要求7所述的取片装置，其特征在于，所述第一支撑件和与其对应的所述第一定位件为一体成型的部件；和/或，

所述第二支撑件和与其对应的所述第二定位件为一体成型的部件。

9.根据权利要求1或5所述的取片装置，其特征在于，所述第一支撑件形成有第一倾斜部，所述第一倾斜部以线接触所述片材的方式支撑所述片材；和/或，

所述第二支撑件形成有第二倾斜部，所述第二倾斜部以线接触所述片材的方式支撑所述片材。

10.取片装置，用于从载具中获取片材，其特征在于，包括：

取片部，具有第一驱动部、第二驱动部以及第一载置部，其中，所述第一驱动部沿第一方向驱动，所述第二驱动部搭载在所述第一驱动部并沿与所述第一方向正交的第二方向驱动，所述第一载置部搭载在所述第二驱动部，所述第一载置部具有第一支撑件以及第一定位件，所述第一支撑件以线接触所述片材的方式支撑所述片材，所述第一定位件对所述片材进行定位；

缓存部，具有第二载置部，所述第二载置部具有第二支撑件以及第二定位件，所述第二支撑件以线接触所述片材的方式支撑所述片材，所述第二定位件对所述片材进行定位；

所述第一载置部被所述第一驱动部驱动而在所述载具以及所述缓存部之间转移；

在所述第一载置部处在所述载具的位置时，所述第一载置部可载置来自所述载具的所述片材；

在所述第一载置部处在与所述缓存部相对的位置时，所述第一载置部可被所述第二驱动部驱动以使所述片材脱离所述第一载置部并被支撑在所述第二载置部。

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