CN218849445U - 硅片堆垛机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种硅片堆垛机构，包括位于堆垛位置用于放置硅片的层架；所述层架内至少设有至少多组平行设置的立柱组成，每个立柱于同样高度的位置分别设置用于固定硅片边缘的卡槽形成用於存放硅片的位置；所述层架安装于驱动层架沿立柱延伸方向移动的第一纵向平移机构上。硅片通过取出机构从层架底部逐片取出，取出时只会碰触到硅片的边缘而不会直接接触到硅片的表面，从而避免硅片在取出过程中被污染或损坏，第一纵向平移机构会根据取出硅片的位置自动移动层架至与取出机构向对应的位置，从而提高整体的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种电子元件生产设备，尤其是一种用于硅片生产过程中存放硅片设备。
背景技术
用于生产电子元气件的硅片被分片机构分割后需要进行存放及转移到生产线。分割后的硅片需要保持分隔并放置在花篮中进行运送。将进入自动化的生产线时需要将硅片从花篮中取出，目前较为通用的做法是通过机械手将硅片用吸盘取出。如公开号为CN108305846B的一种硅片上料/下料传输系统及其工作方法，通过上料机械臂上的吸盘，控制吸盘对硅片进行吸起或放置，对于不同高度的硅片通过控制系统移动上料机械臂的移动来取出相应的硅片，其对控制系统的运作精度要求较高，一旦机械臂与待取出硅片的位置存在偏差，则有可能划伤硅片，而且整体的取出效率也不高。
实用新型内容
本实用新型的目在于提供一种硅片堆垛机构，改变现有采用机械臂配合吸盘取出的方式，而是通过调整花篮的位置使硅片能够方便的从从花篮底部推出，只需要简单的结构即可调整花篮的位置来自动适应取出机构的操作。
本实用新型是通过以下技术方案实现的：
硅片堆垛机构，包括位于堆垛位置用于放置硅片的层架；所述层架内设有至少多组平行设置的立柱组成，每个立柱于同样高度的位置分别设置用于固定硅片边缘的卡槽形成用於存放硅片的位置；所述层架安装于驱动层架沿立柱延伸方向移动的第一纵向平移机构上。
进一步，所述第一纵向平移机构设置有用于装夹层架的夹持机构，其包括安装在滑动机构上的夹持爪，夹持爪与层架顶面夹持固定。
进一步，所述堆垛位置的层架下方还设置有用于承托层架的堆垛平台，堆垛平台安装在第二纵向平移机构上。
进一步，还设有对层架进行搬运的水平平移机构，所述第一纵向平移机构安装于水平平移机构上，水平平移机构将层架移动至堆垛位置。
进一步，所述堆垛平台上设有定位装置，包括一组沿对角线设置的定位夹，定位夹沿对角线运动并与层架的一对对角触碰，将层架定位至堆垛位置。
进一步，所述层架的数量为两组或以上，每组层架对应一组第一纵向平移机构及水平平移机构，在堆垛位置的两侧设有输送机构，所述平移机构将层架从输送机构搬运至堆垛位置。
进一步，所述输送机构包括传输带，传输带两侧分别设有用于限定层架移动方向的护栏。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：硅片通过取出机构从层架底部逐片取出，取出时只会碰触到硅片的边缘而不会直接接触到硅片的表面，从而避免硅片在取出过程中被污染或损坏，第一纵向平移机构会根据取出硅片的位置自动移动层架至与取出机构相对应的位置，从而提高整体的效率，而且结构也比较简单，易于实现精确控制。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面结合附图作进一步说明。
图1是本实用新型的立体图；
图2是本实用新型的右视图；
图3是图2中A处的局部放大图；
图4是本实用新型增加输送机构的立体图。
具体实施方式
为了使本实用新型要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
参照图1及图2，硅片堆垛机构，包括位于堆垛位置用于放置硅片1的层架2。层架2内至少设有多组平行设置的立柱3组成，所述立柱3构成用于存放硅片1的空间，具体立柱3如何排布可以实际按照硅片1的轮廓进行设定，即立柱3是沿硅片1的轮廓排布的。在每个立柱3于同样高度的位置分别设置用于固定硅片1边缘的卡槽4形成该层用於存放硅片1的位置，硅片1插入卡槽4放置，参照图3。随着硅片1被取出机构取出层架2后，为保证取出机构在同样高度能够取出下一片硅片1，设置有第一纵向平移机构5，其包括滑轨及滑块，滑块与驱动机构相连，而层架2安装在第一纵向平移机构5的滑块上并由其带动沿立柱3延伸方向移动。当最下面一片硅片1被取出后，第一纵向平移机构5则带动层架2向下移动至下一层硅片1，以方便取出机构取出该硅片1。
当层架2内的硅片1被完全取出后，需要对层架2进行更换。为了便于层架2的更换，在第一纵向平移机构5设置有用于装夹层架2的夹持机构，其包括安装在滑动机构上的夹持爪6，夹持爪6与层架2顶面夹持固定，参照图2。由于层架2本身具有较大的重量，为了保持层架2能够稳妥的固定，并放置使用是产生摇摆或不稳，因此需要在层架2下方设置用于承托层架2的堆垛平台7，堆垛平台7安装在第二纵向平移机构8上，通过第一纵向平移机构5以及第二纵向平移机构8的加持，能够很好的固定整个层架2，以保持工作过程更加稳定可靠，而且两者的配合还能够适应各种高度的层架2使用，更加灵活方便。
为更好的将层架2从堆垛机构外搬运至堆垛位置，还加设了水平平移机构9，参照图1及图2，水平平移机构9一般是有滑轨及滑块组成,滑块与驱动机构相连使其沿滑轨滑动。然后将第一纵向平移机构5的滑轨安装于水平平移机构9的滑块上。水平平移机构9将夹持爪6移动至存放层架2的位置，然后通过夹持爪6将层架2夹持并移动至堆垛位置，然后第一纵向平移机构5将层架2下移以及第二纵向平移机构8上移将层架2中的第一片硅片1与取出机构匹配的位置。
由于层架2在平移过程中会产生晃动，放置在第二纵向平移机构8时会偏离堆垛位置或产生扭转等，为了能够提高精确度，堆垛平台7上设有定位装置。定位装置为一组沿对角线设置的定位夹10，当层架2放置到第二纵向平移机构8后，定位夹10会沿对角线运动并与层架2的一对对角触碰，将层架2精确定位至堆垛位置，参照图1及图2。这个定位夹10一般包括两组，分别设置于层架2的顶面和底面。
进一步为了提高生产的自动化，层架2是通过传输机构传送到硅片堆垛机构的。而且层架2的数量为两组或以上，每组层架2对应一组第一纵向平移机构5及水平平移机构9，在堆垛位置的两侧设有输送机构11，参照图4，所述平移机构将层架2从输送机构11搬运至堆垛位置。输送机构11包括传输带12，传输带12两侧分别设有用于限定层架2移动方向的护栏13。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.硅片堆垛机构，其特征在于：包括位于堆垛位置用于放置硅片（1）的层架（2）；所述层架（2）内至少设有多组平行设置的立柱（3）组成，每个立柱（3）于同样高度的位置分别设置用于固定硅片（1）边缘的卡槽（4）形成用于存放硅片（1）的位置；所述层架（2）安装于驱动层架（2）沿立柱（3）延伸方向移动的第一纵向平移机构（5）上。
2.根据权利要求1所述的硅片堆垛机构，其特征在于：所述第一纵向平移机构（5）设置有用于装夹层架（2）的夹持机构，其包括安装在滑动机构上的夹持爪（6），夹持爪（6）与层架（2）顶面夹持固定。
3.根据权利要求1所述的硅片堆垛机构，其特征在于：所述堆垛位置的层架（2）下方还设置有用于承托层架（2）的堆垛平台（7），堆垛平台（7）安装在第二纵向平移机构（8）上。
4.根据权利要求1所述的硅片堆垛机构，其特征在于：还设有对层架（2）进行搬运的水平平移机构（9），所述第一纵向平移机构（5）安装于水平平移机构（9）上，水平平移机构（9）将层架（2）移动至堆垛位置。
5.根据权利要求3所述的硅片堆垛机构，其特征在于：所述堆垛平台（7）上设有定位装置，包括一组沿对角线设置的定位夹（10），定位夹（10）沿对角线运动并与层架（2）的一对对角触碰，将层架（2）定位至堆垛位置。
6.根据权利要求4所述的硅片堆垛机构，其特征在于：所述层架（2）的数量为两组或以上，每组层架（2）对应一组第一纵向平移机构及水平平移机构（9），在堆垛位置的两侧设有输送机构（11），所述水平平移机构将层架（2）从输送机构（11）搬运至堆垛位置。
7.根据权利要求6所述的硅片堆垛机构，其特征在于：所述输送机构（11）包括传输带（12），传输带（12）两侧分别设有用于限定层架（2）移动方向的护栏（13）。
Priority Applications (1)
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2022
- 2022-11-23 CN CN202223113447.9U patent/CN218849445U/zh active Active
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