CN220103989U - 一种陶瓷基片检测装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 36
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 41
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 claims description 18
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 241000252254 Catostomidae Species 0.000 claims 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Abstract
本实用新型提供一种陶瓷基片检测装置,包括基座;物料载台,载台平面下设置背光源机构;X轴移动模组,其上设置有两组移栽运料手,移栽运料手可在X轴移动模组的驱动下在物料载台上方进行水平移动;Z轴移动模组,其上设置相机模块,可在Z轴移动模组上进行升降运动,所述相机模块通过固定支架设置在Z轴移动模组上,所述相机模块包括两组相机,两组相机对称的设置在所述固定支架上。该装置可以高效、准确的检测出陶瓷基片的尺寸,适用性、兼容性更强,易于集成在生产线上。
Description
技术领域
本实用新型属于自动化检测领域,具体涉及一种陶瓷基片检测装置。
背景技术
陶瓷基片,又称陶瓷基板,是以电子陶瓷为基底,对膜电路元件及外贴切元件形成一个支撑底座的片状材料。根据不同电子产品或是元件的需求陶瓷基片分为不同大小尺寸的基片,相应的在切割时需要着重注意切割精度,防止出现误差太大的情况而影响到基片的使用效果,因此还需要对切割后的陶瓷基片进行精确的尺寸检测,现有检测装置适用性差,不能很好的兼容多种尺寸基片的检测,而且精度不高。
实用新型内容
鉴于以上,本实用新型提供一种陶瓷基片检测装置,可以高效、准确的检测出陶瓷基片的尺寸,适用性、兼容性更强,易于集成在生产线上。具体技术方案如下。
一种陶瓷基片检测装置,其特征在于:包括基座;物料载台,载台平面下设置背光源机构;X轴移动模组,其上设置有两组移栽运料手,移栽运料手可在X轴移动模组的驱动下在物料载台上方进行水平移动;Z轴移动模组,其上设置相机模块,可在Z轴移动模组上进行升降运动,所述相机模块通过固定支架设置在Z轴移动模组上,所述相机模块包括两组相机,两组相机对称的设置在所述固定支架上。
进一步,所述物料载台包括光学玻璃平台、限位框架和产品平台,限位框架设置在产品平台上,光学玻璃平台设置在限位框架和产品平台之间,背光源机构位于光学玻璃平台的下方。
进一步,所述光学玻璃平台上设置有四个相机mark点,相机mark点呈矩形分布;所述光学玻璃平台上还设置有四个导向定位PIN,也呈矩形分布且不与相机mark点重叠。
进一步,所述固定支架上设置第一支撑座和第二支撑座两组,其中第一支撑座固定在固定支架上的一端,第二支撑座通过导向机构平行的设置在固定支架上的另一端。
进一步,所述导向机构包括滑杆和固定块,固定块固定在固定支架上相对第一支撑座的另一端,滑杆于第一支撑座和固定块中间连接固定,所述第二支撑座穿插设置在所述滑杆上。
进一步,所述第一支撑座和第二支撑座上均架设两排导向连接杆,两组所述相机分别通过安装座设置在所述导向连接杆上,所述安装座上贯穿两侧壁设有连接孔,导向连接杆从连接孔穿过。
进一步,所述连接孔一侧的安装座侧壁上设置有装夹固定块,装夹固定块中心开设有夹口,从夹口的一侧向装夹固定块外延伸的开设有一条槽缝,所述夹口供导向连接杆穿过,所述装夹固定块的槽缝一端设置有调节螺丝,通过旋拧调节螺丝可以调节夹口夹持导向连接杆的松紧度。
进一步,两组所述移栽运料手结构相同,平行的设置在X轴移动模组上,所述移栽运料手包括运料吸盘和吸盘支架,所述吸盘支架通过位移气缸垂直设置在X轴移动模组的滑台上,并可在X轴移动模组的滑台上进行升降运动。
进一步,所述吸盘支架一侧设置有缓冲器。
进一步,所述X轴移动模组通过X轴支架设置在所述基座上且位于所述物料载台的一侧,所述X轴支架的底部设置有缓冲垫;所述Z轴移动模组通过Z轴支架固定在所述基座上,且位于所述X轴支架的一侧。
本实用新型的陶瓷基片检测装置,配置多组相机,可以不受相机视野范围的限制,测量多种尺寸规格的基片材料,极大的提高装置的适用性,而且本申请通过定位结构、支架缓冲结构等进一步提高了装置的检测精度,精度可达±0.005㎜,满足高精度检测的需求。
本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
图1所示为本实用新型装置整体结构示意图;
图2所示为本实用新型装置平面示意图;
图3所示为本实用新型的相机模块结构示意图;
图4所示为本实用新型的物料载台结构示意图;
图5所示为相机mark点和导向定位PIN位置分布示意图;
图中,1-基座,2-物料载台,21-背光源机构,22-光学玻璃平台,23-限位框架,24-产品平台,221-相机mark点,222-导向定位PIN,3-X轴移动模组,31-移栽运料手,32-X轴支架,33-缓冲垫,311-运料吸盘,312-吸盘支架,313-位移气缸,314-缓冲器,4-Z轴移动模组,41-相机模块,42-固定支架,43-第一支撑座,44-第二支撑座,45-导向机构,46-导向连接杆,47-安装座,48-装夹固定块,49-Z轴支架,411-相机,451-滑杆,452-固定块,481-夹口,482-槽缝。
实施方式
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能解释为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“连接”等应做广义理解,对于本领域的技术人员而言,是可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义的。
参照图1-图2,本实施例提供的一种陶瓷基片检测装置,包括基座1、物料载台2、X轴移动模组3和Z轴移动模组4。在本实施例中,X轴移动模组和Z轴移动模组采用现有技术中精密的直线运动模组,提供直线驱动力。物料载台2平面下设置背光源机构21。X轴移动模组3上设置有两组移栽运料手31,两组所述移栽运料手31结构相同,平行的设置在X轴移动模组3上,优选的,移栽运料手31包括运料吸盘311和吸盘支架312,吸盘支架312通过位移气缸313垂直设置在X轴移动模组3的滑台上,并可在X轴移动模组3的滑台上进行升降运动,从而可带动运料吸盘311升降取放基片产品,吸盘支架312可在X轴移动模组3的驱动下在物料载台2上方进行水平移动,吸盘支架312一侧还设置有缓冲器314。两组移栽运料手31的设置可以提高上料、下料的速度,提高整体检测效率。X轴移动模组3通过X轴支架32设置在所基座1上且位于所述物料载台2的一侧,X轴支架32的底部设置有缓冲垫33,优选聚氨酯缓冲垫,增加X轴移动模组3的防抖缓冲功能,进一步提高检测的稳定性和精度。
参照图1-图3,Z轴移动模组4通过Z轴支架49固定在基座1上,且位于X轴支架32的一侧。Z轴移动模组4上设置相机模块41,可在Z轴移动模组4上进行升降运动,相机模块41通过固定支架42设置在Z轴移动模组4上,固定支架42固定在Z轴移动模组4的滑台上,相机模块41包括两组相机411,两组相机411对称的设置在固定支架42上,优选每组内有两个相机,即在本实施例中相机模块41为四个配备镜头的相机,相机为面阵相机,镜头为远心镜头,四个相机对应检测基片的四角。
进一步,参照图3,固定支架42上设置第一支撑座43和第二支撑座44两组,其中第一支撑座43固定在固定支架42上的一端,第二支撑座44通过导向机构45平行的设置在固定支架42上的另一端。导向机构45包括滑杆451和固定块452,固定块452固定在固定支架42上相对第一支撑座43的另一端,滑杆451于第一支撑座43和固定块452中间连接固定,第二支撑座44穿插设置在滑杆451上,并可在滑杆451上进行滑动调整。第一支撑座43和第二支撑座44上均架设两排导向连接杆46,两组相机411分别通过安装座47设置在导向连接杆46上,安装座47两侧设有连接孔,导向连接杆46从连接孔穿过。连接孔一侧的安装座侧壁上设置有装夹固定块48,装夹固定块48通过固定螺丝固定在安装座47上。装夹固定块48中心开设有夹口481,从夹口481的一侧向装夹固定块外延伸的开设有一条槽缝482,夹口481供导向连接杆46穿过,装夹固定块48的槽缝482一端设置有调节螺丝,通过旋拧调节螺丝可以调节夹口481夹持导向连接杆46的松紧度,调松后可以改变相机在导向连接杆46上的位置,然后在调紧固定。优选的,在其他实施例中第二支撑座44与滑杆451的连接处也可设置装夹固定块48结构,对第二支撑座44在滑杆451起调节固定作用。本实施例四相机拍照模组,不受相机视野范围的限制,可以测量多种尺寸的基片材料,再搭配通过调整第一支撑座43和第二支撑座44的间距,相机411在导向连接杆46上的位置,可以更好的适用于任意尺寸规格基片的检测。
参照图5,物料载台2通过载台支架固定在底座上,物料载台2包括光学玻璃平台22、限位框架23和产品平台24,限位框架23设置在产品平台24上,光学玻璃平台22设置在限位框架23和产品平台24之间,背光源机构21位于光学玻璃平台22的下方,正常使用时背光源机构21四周外围设遮光板(附图中未示出,不影响理解),避免其他光线的干扰,背光源光线直接照射至光学玻璃平台22上,用于给光学玻璃平台22上放置的待检测基片打光。光学玻璃平台22上设置有四个相机mark点221,相机mark点221呈矩形分布。光学玻璃平台22上还设置有四个导向定位PIN222,也呈矩形分布且不与相机mark点221重叠。相机mark点221是相机自我校正、建立坐标系的基准点,便于相机工作一段时间自我校正,保证、检验四个相机精度的稳定性。导向定位PIN222是在陶瓷基片放下时候,起到粗定位陶瓷基片,防止陶瓷基片飘出相机视野的作用。
尽管参照本实用新型的示意性实施例对本实用新型的具体实施方式进行了详细的描述,但是必须理解,本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例,这些改进和实施例将落在本发明原理的精神和范围之内。具体而言,在前述公开、附图以及权利要求的范围之内,可以在零部件和/或者从属组合布局的布置方面作出合理的变型和改进,而不会脱离本实用新型的精神。除了零部件和/或布局方面的变型和改进,其范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种陶瓷基片检测装置,其特征在于:包括基座;
物料载台,载台平面下设置背光源机构;
X轴移动模组,其上设置有两组移栽运料手,移栽运料手可在X轴移动模组的驱动下在物料载台上方进行水平移动;
Z轴移动模组,其上设置相机模块,可在Z轴移动模组上进行升降运动,所述相机模块通过固定支架设置在Z轴移动模组上,所述相机模块包括两组相机,两组相机对称的设置在所述固定支架上。
2.根据权利要求1所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,所述物料载台包括光学玻璃平台、限位框架和产品平台,限位框架设置在产品平台上,光学玻璃平台设置在限位框架和产品平台之间,背光源机构位于光学玻璃平台的下方。
3.根据权利要求2所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,所述光学玻璃平台上设置有四个相机mark点,相机mark点呈矩形分布;所述光学玻璃平台上还设置有四个导向定位PIN,也呈矩形分布且不与相机mark点重叠。
4.根据权利要求1所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,所述固定支架上设置第一支撑座和第二支撑座两组,其中第一支撑座固定在固定支架上的一端,第二支撑座通过导向机构平行的设置在固定支架上的另一端。
5.根据权利要求4所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,所述导向机构包括滑杆和固定块,固定块固定在固定支架上相对第一支撑座的另一端,滑杆于第一支撑座和固定块中间连接固定,所述第二支撑座穿插设置在所述滑杆上。
6.根据权利要求4所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,所述第一支撑座和第二支撑座上均架设两排导向连接杆,两组所述相机分别通过安装座设置在所述导向连接杆上,所述安装座上贯穿两侧壁设有连接孔,导向连接杆从连接孔穿过。
7.根据权利要求6所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,所述连接孔一侧的安装座侧壁上设置有装夹固定块,装夹固定块中心开设有夹口,从夹口的一侧向装夹固定块外延伸的开设有一条槽缝,所述夹口供导向连接杆穿过,所述装夹固定块的槽缝一端设置有调节螺丝,通过旋拧调节螺丝可以调节夹口夹持导向连接杆的松紧度。
8.根据权利要求1所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,两组所述移栽运料手结构相同,平行的设置在X轴移动模组上,所述移栽运料手包括运料吸盘和吸盘支架,所述吸盘支架通过位移气缸垂直设置在X轴移动模组的滑台上,并可在X轴移动模组的滑台上进行升降运动。
9.根据权利要求1所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,所述X轴移动模组通过X轴支架设置在所述基座上且位于所述物料载台的一侧,所述X轴支架的底部设置有缓冲垫;所述Z轴移动模组通过Z轴支架固定在所述基座上,且位于所述X轴支架的一侧。
10.根据权利要求8所述的陶瓷基片检测装置,其特征在于,所述吸盘支架一侧设置有缓冲器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202321342997.XU CN220103989U (zh) | 2023-05-30 | 2023-05-30 | 一种陶瓷基片检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202321342997.XU CN220103989U (zh) | 2023-05-30 | 2023-05-30 | 一种陶瓷基片检测装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN220103989U true CN220103989U (zh) | 2023-11-28 |
Family
ID=88873162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202321342997.XU Active CN220103989U (zh) | 2023-05-30 | 2023-05-30 | 一种陶瓷基片检测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN220103989U (zh) |
-
2023
- 2023-05-30 CN CN202321342997.XU patent/CN220103989U/zh active Active
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