KR100521995B1 - 카세트 탑재장치 - Google Patents

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KR100521995B1
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장영철
박병주
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주식회사 에스에프에이
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
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    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Abstract

본 발명은 다수장의 기판이 적재된 카세트를 탑재하는 카세트 탑재장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 적재되는 기판 사이의 간격이 최소화된 컴팩트형 카세트를 탑재하고, 이 카세트에 기판을 반입하고 반출할 수 있는 카세트 탑재장치에 관한 것이다.
본 발명은, 다수장의 기판이 적재된 카세트를 탑재시키고, 그 기판을 반출입할 수 있는 카세트 탑재장치에 있어서, 상기 카세트 탑재장치의 외형을 이루는 프레임; 상기 프레임의 상부 양 측에 각각 마련되며, 카세트의 하면 양 측을 지지하여 카세트를 탑재시키는 카세트 탑재대; 상기 프레임과 결합되어 마련되며, 상기 카세트를 상하 방향으로 이동시키는 카세트 상하 이동부; 상기 프레임의 중앙 부분에 마련되며, 상기 카세트에 적재된 기판의 하면과 접촉하여 기판을 반출하거나, 반입하는 기판 반출입부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치를 제공한다.

Description

카세트 탑재장치{APPARATUS FOR LOADING A CASSETTE}
본 발명은 다수장의 기판이 적재된 카세트를 탑재하는 카세트 탑재장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 적재되는 기판 사이의 간격이 최소화된 컴팩트형 카세트를 탑재하고, 이 카세트에 기판을 반입하고 반출할 수 있는 카세트 탑재장치에 관한 것이다.
최근 정보화사회로 급격하게 진화되면서 정보화기기의 중요성이 커지고 있다. 이러한 정보화기기에는 정보표시장치가 필수적으로 사용되는데, 최근에는 LCD, PDP, OLED 등의 평판표시소자가 많이 사용된다.
이러한 평판표시소자의 제조 공정에서는 매우 얇은 두께의 기판을 취급하게 되는데, 이 기판은 쉽게 손상될 수 있으므로 그 취급에 주의해야 한다. 따라서 평판표시소자 제조공정에서는, 기판 운송의 효율성과 안전성을 위하여 기판을 낱장으로 운반하지 않고, 별도의 카세트에 적재된 상태로 이송한다. 이때 카세트라 함은, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수장의 기판이 수평방향으로 적재되는 구조체로서, 상하 방향으로 다수 장의 기판을 적재할 수 있도록 기판 적재봉(12)이 소정 간격이격되어 마련되며, 기판은 이 카세트 단위로 이송된다. 이때 카세트(10)에 적재되는 기판 사이의 간격은, 기판 운송의 효율성을 고려하여 최소화되는 것이 바람직하다. 즉, 기판 사이의 간격을 최소화하면, 하나의 카세트에 많은 수의 기판을 적재한 상태로 이송할 수 있어서 기판 운송의 효율화를 도모할 수 있는 것이다.
그런데 종래에는 카세트 탑재장치(20)에 탑재되어 있는 카세트(10)에 적재되어 있는 기판(S)을 반출 또는 반입하기 위해서는 별도의 기판 운송 로봇을 이용하므로, 종래의 카세트의 이웃한 기판 적재봉(12) 사이의 간격(ℓ1)은, 로봇의 핸드가 상하 방향으로 이동할 수 있을 정도로 이격되어 마련된다. 즉 기판(S)을 들고 기판 적재봉(12) 사이로 진입한 로봇 핸드(R)가 기판을 기판 적재봉(12)에 전달하기 위하여 약간 하강하여야 하고, 카세트에 적재되어 있는 기판을 반출하기 위하여 카세트로 진입한 로봇 핸드가 기판을 전달받기 위하여 약간 상승하야여야 하므로, 기판 적재봉 사이의 간격( ℓ1)이 기판(S) 자체의 두께보다 휠씬 큰 간격으로 이격되어 마련된다. 그러므로 하나의 카세트에 적재되는 기판의 수가 적은 문제점이 있다. 한편 하나의 카세트에 적재되는 기판의 수를 늘리기 위해서는 카세트의 높이를 증가시켜야 하는 문제점이 있다.
이러한 문제점은 평판표시소자의 기판이 대형화되면서 카세트 및 평판표시소자 제조장치가 클린룸에서 차지하는 면적이 확대되어 더욱 심각해지고 있다.
본 발명의 목적은 별도의 기판 운송 로봇 없이도 그 카세트에서 기판을 반출하거나 반입할 수 있어서, 적재된 기판 사이의 간격이 최소화된 컴팩트형 카세트를 탑재할 수 있는 카세트 탑재장치를 제공함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 다수장의 기판이 적재된 카세트를 탑재시키고, 그 기판을 반출입할 수 있는 카세트 탑재장치에 있어서, 상기 카세트 탑재장치의 외형을 이루는 프레임; 상기 프레임의 상부 양 측에 각각 마련되며, 카세트의 하면 양 측을 지지하여 외부에서 도입되는 카세트를 탑재시키는 카세트 탑재대; 상기 프레임과 결합되어 마련되며, 상기 카세트 탑재대에 탑재된 카세트를 상하 방향으로 이동시키는 카세트 상하 이동부; 상기 프레임의 중앙 부분에 마련되며, 상기 카세트에 적재된 기판의 하면과 접촉하여 기판을 반출하거나, 반입하는 기판 반출입부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치를 제공한다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 일 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 카세트 탑재장치(100)는 프레임(110); 카세트 탑재대(120); 카세트 상하 이동부(130); 기판 반출입부(140);를 포함하여 구성된다.
여기에서 프레임(110)은 카세트 탑재장치(100)의 외형을 이루는 구성요소로서, 도 3에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 카세트 탑재장치(100)의 뼈대를 이루고, 각 구성요소들이 결합될 수 있는 구조로 마련된다.
다음으로 카세트 탑재대(120)는 카세트(C)의 하면 양 측을 지지하여 카세트를 탑재시키는 구성요소이다. 본 실시예에서 이 카세트 탑재대(120)는 전술한 프레임(110)의 상부 양 측에 각각 마련된다. 이 카세트 탑재대(120)는 카세트(C)의 하면과 접촉하여 카세트를 지지하는 단순한 구조일 수도 있고, 카세트의 하면과 접촉하되, 카세트를 용이하게 위치 이동시킬 수 있는 볼 캐스터 구조일 수도 있다. 다만, 종래에는 이 카세트 탑재대가 상기 프레임과 분리되어 별도로 마련될 필요가 없으나, 본 실시예에서는 이 카세트 탑재대(120) 자체가 전후 방향으로 이동가능하게 마련되어야 하므로, 상기 프레임(110)과 분리되어 별도로 마련되는 것이다.
다음으로 카세트 상하 이동부(130)는 상기 카세트 탑재대(120)에 탑재되어 있는 카세트를 상하 방향으로 이동시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 카세트를 상하 방향으로 이동시키면서 기판을 반입하거나 반출하게 된다. 따라서 카세트가 카세트 탑재장치(100)에 탑재된 상태에서 상하 방향으로 이동할 수 있어야 하므로, 전술한 카세트 탑재대(120)에 탑재된 카세트를 상하 방향으로 이동시키기 위한 카세트 상하 이동부(130)가 마련되는 것이다. 카세트를 카세트 상하 이동부(130)에 직접 탑재시키지 않고, 카세트 탑재대(120)를 이용하는 것은, 카세트의 탑재시에 큰 충격이 가해지므로 카세트 상하 이동부(130)에 직접 올려 놓는 경우에는 카세트 상하 이동부(130)에 무리가 올 수 있기 때문이다. 따라서 카세트 탑재대(120)에 카세트를 미리 탑재시켜 탑재 과정에서 발생하는 충격을 흡수한 후, 카세트 상하 이동부(130)가 이 카세트를 이동시키는 것이다. 따라서 상기 카세트 탑재대(120)는 카세트 상하 이동부(130)에 의하여 카세트가 상하 방향으로 이동하는 것을 방해하지 않기 위하여 외측으로 물러날 수 있도록 전후 방향으로 이동가능하게 마련되는 것이다. 이 카세트 상하 이동부(130)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(110)과 결합되어 마련되고, 카세트를 직선 방향으로 이동시키기 위하여 상기 프레임(110)에 결합되어 마련되는 리니어 가이드(112)를 따라 이동하도록 마련되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 이 카세트 상하 이동부를 전술한 카세트 탑재대에 각각 대응되도록 마련한다. 그리고 이 카세트 상하 이동부는 상기 카세트를 상기 카세트에 마련된 기판 적재봉 간의 간격(이하에서는 1 피치라고 함)만큼 씩 이동시키도록 제어되는 것이 바람직하다. 기판의 반출이나 반입시에 카세트에 마련되는 기판 적재봉에 순서대로 기판을 적재하거나 적재된 기판을 반출하므로, 기판의 반출입과정에서 카세트를 1 피치 단위로 상하 이동시키는 것이 유리한 것이다. 이때 카세트의 상하 위치 이동 제어는 매우 정확하게 이루어지는 것이 요구되므로 카세트 상하 이동부(130)는 정밀한 제어가 가능한 서보 모터(servo motor)로 구성되는 것이 바람직하다.
다음으로 기판 반출입부(140)는 카세트에 기판을 반입하거나 카세트에 적재된 기판을 반출하는 구성요소이다. 이 기판 반출입부(140)는 상기 프레임(110)의 중앙 부분에 마련되며, 고정된 높이로 마련된다. 본 실시예에서는 이 기판 반출입부(140)를 컨베이어로 마련한다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 기판의 하면과 접촉한 상태에서 회전하여 기판을 수평 방향으로 이동시키는 롤러(142)와 상기 롤러(142)를 회전시키는 회전부(144)로 구성되는 컨베이어로 마련하는 것이다. 이때 기판의 접촉면적을 최소화하여 기판의 오염을 방지하기 위해 롤러 중 기판과 접촉하는 부위는 최소화하는 것이 바람직하다.
그리고 본 실시예에서는 카세트(C)가 이 기판 반출입부(140)를 함입하면서 하강하여야 하므로 카세트(C)의 상하 운동시 카세트가 기판 반출입부(140)와 간섭되지 않아야 한다. 따라서 본 실시예에서는 이 기판 반출입부(140)를 상기 카세트(C)의 형상과 대응되는 형상으로 마련한다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 기판 반출입부를 하나의 부재로 마련하는 것이 아니라, 여러 조각으로 분리된 구조로 마련하되, 각 조각 사이를 소정 간격 이격시키고, 이 공간으로 카세트(C)의 프레임이 통과하도록 하는 것이다. 그러면 카세트(C)가 이 기판 반출입부(140)를 통과하여 하강하더라도 양자가 간섭되는 일은 없다.
그리고 본 실시예에 따른 카세트 탑재장치(100)에는 카세트를 수평 방향으로 이동시켜서 얼라인(align)하는 카세트 얼라인부(150)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 카세트 얼라인부(150)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(110)의 상부에 마련되며, 카세트 탑재장치(100)에 최초로 탑재된 카세트(C)의 위치를 이동시켜 카세트가 정확한 위치에 위치되도록 하는 구성요소이다.
본 실시예에서 이 카세트 얼라인부(150)는 도 3에 도시된 바와 같이, 프레임(110)의 상부에 마주보는 모서리에 각각 마련되어, 상기 카세트를 대각선 방향으로 밀어서 얼라인하는 구조로 마련될 수도 있다.
한편으로는 카세트의 얼라인을 용이하게 하기 위하여 볼 캐스터 방식의 카세트 얼라인부를 마련할 수도 있다. 이 경우에는 도 9, 10에 도시된 바와 같이, 카세트 얼라인부(150)가, 지지플레이트(153); 업다운플레이트(154); 베이스플레이트(151); 업다운수단(155); 위치조정수단(도면에 미도시);을 포함하여 구성된다.
여기에서 지지플레이트(153)는 이송된 카세트(C)가 올려놓여지는 받침대로써, 상기 카세트(C)의 네 모서리 밑면에 각각 마련되어 상기 카세트(C)의 각 모서리 밑면을 지탱한다. 그리고, 상기 지지플레이트(153)는 내부에 소정공간이 형성되어 후술할 업다운수단(155)들이 설치되고 이동할 수 있는 공간을 제공한다.
상기 카세트(C) 각 모서리 밑면을 지탱하는 상기 지지플레이트(153)는 단차를 가지는 니은(ㄴ)자 형상을 가진다. 상기 지지플레이트(153)의 높은단(153a)에는 상기 이송된 카세트(C)가 올려놓여지고 낮은단(153b)에는 업다운플레이트(154)가 올려놓여진다.
상기 지지플레이트(153)의 낮은단(153b)에 올려놓여지는 업다운플레이트(154)는 소정형상으로 마련되어 상기 카세트(C)의 네 모서리 밑면에 각각 설치된다. 상기 업다운플레이트(154)는 상기 카세트(C)가 처음 이송되어 상기 지지플레이트(153)에 올려놓여진 상태에서는 상기 카세트(C)의 밑면과 닿지 않은 상태로 위치하다가 상기 카세트(C)를 정렬하기 위하여 상기 업다운수단(155)에 의하여 상승되는 경우에 상기 카세트(C) 모서리 밑면을 떠받치게 된다.
상기 이송된 카세트(C)를 지탱하는 지지플레이트(153)는 베이스플레이트(151) 상에 올려놓여진다. 상기 베이스플레이트(151)는 후술할 업다운수단(155)의 구조물(151b)을 설치하기 위하여 지면에서 소정높이 이격되어 설치된다.
상기 업다운수단(155)은 상기 업다운플레이트(154)와 상기 베이스플레이트(151) 사이에 마련되어 상기 지지플레이트에 마련된 내부 공간을 통하여 상기 업다운플레이트(154)를 업다운시킨다. 또한 상기 카세트(C)를 상기 지지플레이트(153)로부터 미세 이격시키기 위하여 상승된 상기 업다운플레이트(154)를 최초의 위치로 복원시키도록 한다.
상기 업다운수단(155)은 상기 업다운플레이트(154)와 접촉된 상태로 상기 업다운플레이트(154)를 지지하는 볼캐스터(155a)와, 상기 볼캐스터(155a)에 연결되어 상기 볼캐스터(155a)를 상하이동시키는 구동수단과, 상기 업다운플레이트(154)와 상기 베이스플레이트(151)에 각 일단이 매달려서 마련됨으로써 상기 구동수단에 의하여 상기 업다운플레이트(154)가 상하이동함에 따라 신축할 수 있는 인장스프링(155b)을 포함하여 구성된다.
상기 볼캐스터(155a)는 도 12에 도시된 바와 같이 형성되어 상부에 하중이 있는 물체가 올려놓여진 경우 상기 물체가 마찰력이 없이 적은 힘으로도 용이하게 위치이동할 수 있게 한다. 따라서, 상기 볼캐스터(155a)에 올려놓여진 업다운플레이트(154)는 외부의 힘에 의하여 용이하게 위치이동할 수 있다.
상기 볼캐스터(155a)는 상기 카세트(C)의 각 모서리 밑면마다 6개로 구성된다. 따라서, 상기 카세트(C)를 정렬하기 위하여 필요한 총 볼캐스터(155a)는 24개이다. 상기 각 모서리 밑면에 마련되는 볼캐스터(155a)는 도 9에 도시된 바와 같이 3개씩 2열로 배치되는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 하나의 열을 구성하는 3개의 볼캐스터(155a)가 한 조를 이루어 하나의 에어공급장치(155c)에 의하여 상하이동한다.
상기 볼캐스터(155a)를 상하이동시키는 구동수단은 상기 에어공급장치(155c)로부터 에어를 공급받아 동작하는 에어실린더(미도시)이다. 따라서, 상기 에어실린더(미도시)는 상기 에어공급장치(155c)로부터 소정의 압력으로 공급되는 에어에 의하여 상기 볼캐스터(155a)를 소정의 거리만큼 상하 이동시킬 수 있다.
상기 에어실린더(미도시)에 의하여 상기 볼캐스터(155a)가 상하이동함에 따라 상기 볼캐스터(155a)가 지지하고 있는 상기 업다운플레이트(154)도 상하이동한다. 그러나, 상기 업다운플레이트(154)는 상기 인장스프링(155b)에 의하여 복원될려고 하는 특징을 가지고 있다.
상기 인장스프링(155b)은 도 10에 도시된 바와 같이, 일단은 상기 업다운플레이트(154)에 매달리고 타단은 상기 베이스플레이트(151)에 매달린다. 상기 베이스플레이트(151)에는 상기 인장스프링(155b)의 일단을 매달기 위하여 소정의 구조물(151b)이 형성되고, 상기 인장스프링(155b)의 이동궤적을 허용하기 위하여 소정 형상의 홀(151a)이 형성되어 있다.
즉, 상기 인장스프링(155b)은 상기 업다운플레이트(154)가 상기 볼캐스터(155a) 상에서 위치이동할 때, 상기 업다운플레이트(154) 이동방향으로 소정각도 기울어지면서 이동하는데, 이때 소정각도로 이동되는 상기 인장스프링(155b)의 이동궤적을 허용하기 위하여 업다운플레이트(154)에 홀(151a)이 형성되는 것이다.
한편, 상기 인장스프링(155b)은 상기 고정플레이트에 타단이 고정되어 매달려 있고, 일단이 볼캐스터(155a)에 의하여 용이하게 위치이동할 수 있는 상기 업다운플레이트(154)에 매달려 있어서, 상기 업다운플레이트(154) 상에 하중이 존재하지 않거나 외부 힘이 가해지지 않는 경우에 상기 업다운플레이트(154)를 최초 위치로 복원시킬 수 있다.
상기 업다운수단(155)의 에어실린더(미도시)에 의하여 상기 볼캐스터(155a)가 상승하여 상기 업다운플레이트(154)가 상승하면, 상기 업다운플레이트(154)는 상기 카세트(C) 밑면을 떠받치게 되고 상기 카세트(C)는 상기 지지플레이트(153)에서 미세 이격된다. 이때 상기 카세트(C)는 정렬위치로 이동되어 정렬되는데, 상기 카세트(C)의 위치정렬은 카세트(C) 주변에 마련되는 위치조정수단(도면에 미도시)에 의하여 수행된다.
상기 위치조정수단( 도면에 미도시)은 상기 카세트(C)의 모서리 부분을 클램핑할 수 있는 클램프(도면에 미도시)와 상기 클램프(도면에 미도시)를 미리 세팅된 정렬위치로 이동시키는 이동수단(도면에 미도시)을 포함하여 이루어져 있다. 따라서, 상기 카세트(C)가 지지플레이트(153) 상측으로 소정 간격 떠있는 상태에서 상기 클램프(도면에 미도시)에 의하여 상기 카세트(C)를 클램프(도면에 미도시)를 하고, 상기 클램프(도면에 미도시)를 사전에 세팅된 위치만큼 이동시켜 상기 카세트(C)가 정확하게 정렬위치로 이동될 수 있도록 한다.
이하에서는 본 실시예에 따른 카세트 탑재장치(100)에 탑재된 카세트에서 기판을 반출하거나 반입하는 과정을 설명한다.
먼저 기판을 반출하는 과정을 설명한다. 우선 카세트를 상기 카세트 탑재대(120)에 올려 놓는다. 이때 카세트 탑재대(120)는 중앙 방향으로 전진하여 카세트 하측을 지지한다. 그리고 카세트 얼라인부(150)를 구동시켜 카세트(C)의 위치를 정렬시킨다. 다음으로 상기 카세트 상하 이동부(130)를 구동시켜 상기 카세트를 하강시킨다. 카세트의 하강시에는 상기 카세트 탑재대(120)가 외측으로 물러나서 카세트의 하강에 간섭되지 않도록 한다. 이때 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 카세트에 적재된 다수개의 기판 중 가장 아래쪽에 적재된 기판의 하면과 상기 기판 반출입부(140)가 접촉되어 기판이 기판 적재봉으로 부터 소정 간격 이격되면 상기 카세트 상하 이동부(130)를 정지시킨다. 그리고 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 기판 반출입부(140)를 구동시켜 그 기판을 카세트 외부로 반출한다.
그 후 가장 아래쪽의 기판에 대한 반출작업이 완료되면 상기 카세트 상하 이동부(130)를 다시 가동시켜 카세트를 한 피치 하강시킨다. 그리고 두번째 기판의 하면이 기판 반출입부(140)와 접촉하여 소정 간격 이격되면 상기 카세트 상하 이동부(130)를 정지시키고, 상기 기판 반출입부(140)를 구동시켜 그 기판을 반출한다.
이러한 과정을 반복하면서 카세트에 적재된 모든 기판을 반출하는 것이다.
다음으로 기판의 반입과정을 설명한다. 기판의 반입과정에서는 먼저 카세트를 가장 낮은 높이로 하강시켜 카세트의 최상측의 기판 적재봉이 기판 반출입부(140)와 동일한 높이에 위치되도록 한다. 그리고 외부에서 공급되는 기판을 상기 기판 반출입부(140)가 받아서 카세트 내로 반입한다. 기판이 완전히 반입되면 상기 기판 반출입부(140)를 정지시키고 상기 카세트 상하 이동부(130)를 가동시켜 카세트를 한 피치 상승 시킨다. 그 후에는 다시 외부로 기판을 반입시키고 상기 기판 반출입부(140)가 기판을 최상측 기판 적재봉과 두번째 기판 적재봉 사이로 진입시킨다. 이러한 과정을 반복하여 카세트의 모든 기판 적재봉에 기판을 적재시키는 것이다.
본 발명에 따르면 기판의 반입 및 반출에 로봇을 사용하지 않으므로, 도 7에 도시된 바와같이, 기판 적재봉 사이의 간격(ℓ2)이 최소화된 컴팩트형 카세트를 사용할 수 있는 장점이 있다. 또한 별도의 기판 운송 로봇이 없이도 자체적으로 기판을 반출입할 수 있는 장점이 있다. 따라서 하나의 카세트에 많은 수의 기판을 적재할 수 있어서 기판 운송의 효율성을 제고할 수 있다.
도 1은 종래의 카세트와 카세트 탑재장치의 모습을 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래의 카세트에서 기판을 반출하는 모습을 나타내는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 탑재장치의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 탑재대 및 카세트 상하 이동부의 구동 모습을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반출입부의 구조를 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반출입부와 카세트의 대응관계를 보여주는 도면이다.
도 7은 컴팩트형 카세트에서 기판을 반출하는 모습을 나타내는 정면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반출입부를 이용하여 기판을 반출하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 얼라인부의 평면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 얼라인부의 일측면도이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 카세트 정렬방법을 설명하기 위한 사시도이다.
도 12는 본 발명에 적용되는 볼캐스터를 보여주는 예시도이다.

Claims (13)

  1. 다수장의 기판이 적재된 카세트를 탑재시키고, 그 기판을 반출입할 수 있는 카세트 탑재장치에 있어서,
    상기 카세트 탑재장치의 외형을 이루는 프레임;
    상기 프레임의 상부 양 측에 각각 마련되며, 카세트의 하면 양 측을 지지하여 외부에서 도입되는 카세트를 탑재시키는 카세트 탑재대;
    상기 프레임과 결합되어 마련되며, 상기 카세트 탑재대에 탑재된 카세트를 상하 방향으로 이동시키는 카세트 상하 이동부;
    상기 프레임의 중앙 부분에 마련되며, 상기 카세트에 적재된 기판의 하면과 접촉하여 기판을 반출하거나, 반입하는 기판 반출입부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임의 상부에 마련되며, 상기 카세트를 수평 방향으로 이동시켜서 카세트를 얼라인(align)하는 카세트 얼라인부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 카세트 상하 이동부는,
    상기 카세트를, 상기 카세트에 마련된 기판 적재봉 간의 간격 만큼 씩 이동시키도록 제어되는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 기판 반출입부는,
    상기 기판의 하면과 접촉하여 기판을 수평 이동시키는 컨베이어인 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 컨베이어는,
    상기 카세트 하부의 형상과 대응되도록 마련되어, 상기 카세트 하부를 관통할 수 있도록 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 카세트 얼라인부는,
    상기 카세트를 대각선 방향으로 밀어서 얼라인하는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  7. 제2항에 있어서, 상기 카세트 얼라인부는,
    상기 카세트의 네 모서리 각각에 대응되게 마련되어 상기 카세트의 각 모서리를 지탱하되, 그 내부에 공간이 마련되는 지지플레이트;
    상기 지지플레이트의 소정 부분에 의하여 지지되는 업다운플레이트;
    상기 지지플레이트가 올려 놓여지는 베이스플레이트;
    상기 업다운플레이트와 베이스플레이트 사이에 마련되어 상기 지지플레이트의 내부 공간을 통하여 상기 업다운플레이트를 업다운시켜 상기 카세트를 미세승강시키고, 상기 업다운플레이트의 위치를 복원시키는 업다운수단;
    상기 업다운수단에 의하여 상기 카세트가 미세 상승할 때, 상기 카세트의 위치정렬을 수행하는 위치조정수단;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 지지플레이트는,
    단차를 가지는 니은(ㄴ)자 형상으로 마련되되, 높은단에는 상기 카세트가 올려놓여지고 낮은단에는 상기 업다운플레이트가 올려놓여지는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 업다운수단은,
    상기 업다운플레이트와 접촉되는 볼캐스터와, 상기 볼캐스터에 연결되어 상기 볼캐스터를 상하이동시키는 구동수단과, 상기 업다운플레이트와 상기 베이스플레이트에 매달려 마련되는 인장스프링을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 볼캐스터는 총 6개로 구성되되, 3개씩 2열로 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 구동수단은 에어실린더인 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  12. 제7항에 있어서,
    상기 위치조정수단은 상기 카세트를 클램핑하는 클램프와 상기 클램프를 세팅된 위치로 이동시키는 이동수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
  13. 제5항에 있어서, 상기 카세트 탑재대는,
    전후 방향으로 이동가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 카세트 탑재장치.
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KR100717358B1 (ko) 2005-07-12 2007-05-10 (주)상아프론테크 기판 적재용 카세트

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