JPS622615A - 半導体ウェハ処理装置 - Google Patents

半導体ウェハ処理装置

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Publication number
JPS622615A
JPS622615A JP14206485A JP14206485A JPS622615A JP S622615 A JPS622615 A JP S622615A JP 14206485 A JP14206485 A JP 14206485A JP 14206485 A JP14206485 A JP 14206485A JP S622615 A JPS622615 A JP S622615A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wafer boat
pusher
positioning device
pushers
tray
Prior art date
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Application number
JP14206485A
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English (en)
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JPH0311100B2 (ja
Inventor
Tatsuo Oketa
桶田 立夫
Naoki Kato
直樹 加藤
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Toshiba Corp
Tokuda Seisakusho Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokuda Seisakusho Co Ltd
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Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokuda Seisakusho Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
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Publication of JPS622615A publication Critical patent/JPS622615A/ja
Publication of JPH0311100B2 publication Critical patent/JPH0311100B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体装置の製造工程に使用され、例えば、ウ
ェハボートに載置された状態の半導体ウェハを拡散炉等
の処理装置に搬入、搬出するに際して、ウェハボートを
正確にワーキングステーションの受皿上に載置するウェ
ハボート位置決め装置に関する。
(発明の技術的背景とその問題点) 半導体ウェハを拡散炉で処理する場合、ウェハボート上
に載置された状態で炉内への搬入および搬出を行なって
いる。このウェハボートを拡散炉内に搬出入するには、
一旦、ワーキングステーションの受皿上に載置し、エレ
ベータによって空位のフォーク上に移送する必要がある
。このウェハボートの受渡しが確実に行なえるよう、ウ
ェハボートを受皿上に正確に位置決めするため、従来か
ら位置決め装置が使用されている。
以下、添付図面の第5図乃至第7図を参照して従来技術
を説明する。なお図面の説明において同一要素は同一符
号を付す。
第5図は半導体ウェハ1を載置したウェハボート2の斜
視図であり、第6図はこのウェハボート2をワーキング
ステーションの受皿3に位置決めするための作動の従来
例を示している。第5図において、ウェハボート2は左
右のm4間に2本の支持バー5が掛は渡されており、こ
の支持バー5上に多数の半導体ウェハ1が載置されてい
る。又、脚4には上端部が外方に折曲されたフック6が
取り付けられており、このフック6を介してフォーク、
受皿等への移送が行なわれるようになっている。
次に、第6図によりウェハボート2を受皿3上に載置し
、位置決りする場合を説明する。第6図(A)の如く、
エレベータ(図示Uず)のチャック7がウェハボート2
のフック6に係着し、エレベータの下降でつ1ハボー1
−2は受皿3上に載置される。そして、チャック7がフ
ック6から外れ、第2図(B)の如く位置決め装置10
によってウェハボー1−2の位置決めが行なわれる。こ
の位置決め装置10は受皿3の一側の側部に設けられて
おり、偏心軸と共に回転するカム11と、カム11の回
転に追随して受皿3の方向に進出するロッド12と、ロ
ッド12に取り付【ノられウェハボート2の側部に当接
するプッシャ13を支持するアーム14と、ロッド12
に外挿されロッドを退出させるリターンスプリング15
とからなっている。受皿3上にウェハボート2が載置さ
れるとロッド′12が左方向に進出してプツシF13が
ウェハボート2を左方向に押圧する。これにより、ウェ
ハボート2は受皿3上をスライドして受II 3の片側
の側壁に押し付けられ、位置決めがなされる。
この位置決めの後に半導体つ1ハの移し昌えが行なわれ
、再びエレベータのチャックがウェハボー“  ト2の
7ツク6に係合しウェハボート2を持ち−ヒげ、フォー
クに移送する。
しかしながら、従来の位置決め装置においては、受皿上
への載置位置が異なったりウェハボートや受皿の精度の
ずれ等が生じると、第7図のようにウェハボート2が受
皿3の側壁上に乗り上げて傾き、ウェハボートが倒れた
り、半導体ウェハが脱落して破損するという不都合があ
る。又、ウェハボート2を受皿3の側壁に押し付けるま
でスライドさせるため、ウェハボートと受皿との摩耗に
よって埃等が発生し、好ましくない。このため、ウェハ
ボートを受皿の中央部分に位置決めすることが好ましい
が、従来装置ではこの正確な位置決めができず、半導体
ウェハの移し替えが円滑にできない問題点がある。
〔発明の目的〕
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、ウェハボ
ートを受皿の所定の位置に正確に位置決めすることがで
きるウェハボート位置決め装置を提供することを目的と
している。
(発明の概要〕 上記目的を達成するため本発明は、ウェハボートを両方
側部から押圧して受皿の所定位置に正確に位置決めする
ようにしたものである。すなわち本発明は、ウェハボー
トの一方の側部を抑圧する少なくとも1以上の第1のプ
ッシャと、ウェハボートの他方の側部を押圧する少なく
とも2以上の第2のブッシレとを備え、これらのプッシ
ャの押圧による衝撃を吸収するためいずれか一方のプッ
シャに!!!衝手衝合段けたことを特徴としている。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を第1図ないし第4図を参照し
て具体的に説明する。
第4図は本発明が適用される半々体製造装置の斜視図で
ある。この装置は拡散炉の入口側に設けられ、炉内への
半導体ウェハ1の搬出入を行なう多段のフォーク21と
、受[[113上に位置決めされたウェハボート上の半
導体ウェハの移し替えを行なう移is構22と、ウェハ
ボート2を)A−り21および受皿3に受は渡しするエ
レベータ23等とからなっている。
フォーク21は水平方向にスライドし、拡散炉側に開設
された出入孔24を介して、ウェハボートに載置された
半導体ウェハを拡散炉内に搬入し、又、炉内での処理後
の半導体ウェハの搬出を行なう。エレベータ23は上下
動するリンク26と、リンク26に取り付けられウェハ
ボート2のフック6に係着するチ1シック25とを具備
しており、受皿3とフォーク21の間を昇降して受皿上
のウェハボートをフォーク21上に載置したり、フォー
ク 21から取り外して受皿3上にtiさせるものであ
る。ウェハボート2を受皿3上に位置決めする位置決め
vln30はワーギングステーション20に配設される
第1図および第2図はこの位置決め装置の斜視図および
側面図を示している。
この位置決め装置は、受皿3の両側に設けられた第1の
プッシャ31および第2のプッシャ32と、これらを受
皿3方向に進退させる駆動手段33.34とを具備して
いる。第1のプッシャ31は図示の実施例では受皿3す
なわちウェハボート2の右側に1基だけ配設されている
。そして第1のプッシャ31はアーム35の上部端面に
取り付けられ、エアシリンダ等の駆動手段33に連結さ
れている。すなわら、駆動手段33のロッドに連結板3
6が取り付けられ、この連結板36に連結棒37が取り
付けられており、この連結棒37が前記アーム35に挿
通し、さらに連結板36とアーム35との間にコイルば
ねからなる緩衝手段38が設けられている。従って、駆
動手段33が作動すると、連結板36、コイルばね38
を介してアーム35にスラオドカが伝達し、第1のプッ
シャ31がウェハボート2の一方の側部を押圧するよう
になっている。ここで、連結板36の進退はガイド39
によって横ぶれしないようになっている。
第2のプッシャ32はこの第1のプッシャ31の反対側
に対向して設けられており、エアシリンダ等の駆動手段
34のロッドに取り付けられた連結板40に取り付けら
れている。この場合、第2のプッシャ32は2基だけ設
けられており、この2基のプツシv32の間に第1のプ
ッシャ31が位置するようになっている。
以上の位置決め装置によってウェハボート2の位置決め
を行なうには、エレベータ23によってウェハボート2
が受皿3上に載置された後にウェハボートの両側の駆動
手段33.34が同時に駆動して第1のプッシャ31お
よび第2のプッシャ32でウェハボートを左右両側から
押圧する。この第1のプッシャ31、第2のプッシャ3
2の押圧力の均衡により、ウェハボー1〜は受皿3の中
央部分に正確に位置決めされる。ここで、第1のプッシ
ャ31側に設けられたコイルばね38は第2のプッシャ
32の抑圧による衝撃を吸収する作用があるため、精巧
な制御をすることなく押圧力の均衡が図られる。
第3図は本発明の別の実施例の平面図であり、第1のプ
ツシtI31、第2のプッシャ32がいずれも2基づつ
配設、されている。この場合にも、同図(8)のように
ウェハボート2が受皿3に対して斜めに傾いた状態で載
置されても、その正確な位置決めが可能である。
なお、上記実施例においてはばね手段にコイルばねを使
用したが、板ばねを使用してもよい。この場合には、例
えば第1のプツシt731を支持するアーム35を板ば
ねとすることで、コイルばねを省略することができる。
又、プツシ1tの数も図示するものに限らず、適宜増加
させることも可能である。
〔発明の効果〕
以上のとおり本発明によれば、ウェハボートの両側にプ
ッシャを配設すると共に、プッシャの押圧による衝撃を
吸収するばね(緩衝)手段を設けたので、ウェハボート
を受皿の所定位置に正確に位置決めすることがでるウェ
ハボート位置決め装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の要部の斜視図、第2図はそ
の側面図、第3図は別の実施例の平面図、第4図は本発
明が適用される半導体製造装置の斜視図、第5図はウェ
ハボートの斜視図、第6図は従来装・置の作動を示す側
面図、第7図は従来装置による位置決め例を示す側面図
である。 2・・・ウェハボート、3・・・受皿、20・・・ワー
キングステーション、23・・・エレベータ、31・・
・第1のプッシャ、32・・・第2のプツシtν、33
.34・・・駆動手段、38・・・ばね(緩衝手段)。 出願人代理人  猪  股    清 第1図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、半導体ウェハを載置するウェハボートをワーキング
    ステーションの受皿上に位置決めするウェハボート位置
    決め装置において、 前記ウェハボートの一方の側部を押圧する少なくとも1
    以上の第1のプッシャと、前記ウェハボートの他方の側
    部を押圧する少なくとも2以上の第2のプッシャと、前
    記第1および第2のプッシャをそれぞれ進退させる駆動
    手段と、前記第1および第2のプッシャのいずれか一方
    に設けられ他方のプッシャの押圧による衝撃を吸収する
    緩衝手段とを備えることを特徴とするウェハボート位置
    決め装置。 2、前記緩衝手段は前記プッシャを前記駆動手段に連結
    する部分に設けられたコイルばねである特許請求の範囲
    第1項記載のウェハボート位置決め装置。 3、前記緩衝手段は前記プッシャを前記駆動手段に連結
    する部分に設けられた板ばねである特許請求の範囲第1
    項記載のウェハボート位置決め装置。
JP14206485A 1985-06-28 1985-06-28 半導体ウェハ処理装置 Granted JPS622615A (ja)

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JP14206485A JPS622615A (ja) 1985-06-28 1985-06-28 半導体ウェハ処理装置

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JP14206485A JPS622615A (ja) 1985-06-28 1985-06-28 半導体ウェハ処理装置

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Publication Number Publication Date
JPS622615A true JPS622615A (ja) 1987-01-08
JPH0311100B2 JPH0311100B2 (ja) 1991-02-15

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ID=15306589

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JP14206485A Granted JPS622615A (ja) 1985-06-28 1985-06-28 半導体ウェハ処理装置

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JP (1) JPS622615A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01199445A (ja) * 1987-10-07 1989-08-10 Teru Yamanashi Kk 支持装置
CN1078013C (zh) * 1995-04-28 2002-01-16 株式会社爱德万测试 处理器装置用托盘安装台
CN103286839A (zh) * 2013-05-06 2013-09-11 集保物流设备(中国)有限公司 托盘加工装置

Cited By (3)

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JPH01199445A (ja) * 1987-10-07 1989-08-10 Teru Yamanashi Kk 支持装置
CN1078013C (zh) * 1995-04-28 2002-01-16 株式会社爱德万测试 处理器装置用托盘安装台
CN103286839A (zh) * 2013-05-06 2013-09-11 集保物流设备(中国)有限公司 托盘加工装置

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