JPH0311100B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置の製造工程に使用される
半導体ウエハ処理装置に関する。

（従来の技術） 半導体ウエハを拡散炉で処理する場合、長尺状
のウエハボート上に載置された状態で炉内への搬
入および搬出を行なつている。このウエハボート
を拡散炉内に搬出入するには、一旦、ワーキング
ステーシヨンの受皿上に載置し、エレベータによ
つて空らのフオーク上に移送する必要がある。こ
のウエハボートの受渡しが確実に行なえるよう、
ウエハボートを受皿上に正確に位置決めするた
め、従来から位置決め装置が使用されている。

以下、添付図面の第５図乃至第７図を参照して
従来技術を説明する。なお図面の説明において同
一要素には同一符号を付している。

第５図は半導体ウエハ１を載置したウエハボー
ト２の斜視図であり、第６図はこのウエハボート
２をワーキングステーシヨンの受皿３に位置決め
するための従来の一例を示している。

第５図において、ウエハボート２は左右の脚
４，４間に２本の支持バー５，５が跨設されてお
り、これらの支持バー５，５上に多数の半導体ウ
エハ１，１，……が載置されている。又、脚４，
４には上端部が外方に折曲されたフツク６，６が
取り付けられており、このフツク６，６を持ち上
げることによりフオークや受皿等への移送が行な
われる。

次に、第６図により、ウエハボート２を受皿３
上で位置決めする場合を説明する。第６図Ａの如
く、上下動するエレベータ（図示せず）のチヤツ
ク７がウエハボート２のフツク６に係合し、エレ
ベータの下降によつてウエハボート２は受皿３上
に載置される。そして、チヤツク７がフツク６か
ら外れ、第６図Ｂの如く位置決め装置１０によつ
てウエハボート２の位置決めが行なわれる。この
位置決め装置１０は受皿３の一側の側方に設けら
れており、回転するカム１１と、カム１１の回転
に追随して受皿３に向けて進退するロツド１２
と、ロツド１２に取り付けられウエハボート２の
側面に当接するプツシヤ１３と、このプツシヤ１
３を支持するアーム１４と、ロツド１２に外挿さ
れロツドを図中右方へ復帰させるリターンスプリ
ング１５とを有する。

受皿３上にウエハボート２が載置されると、ロ
ツド１２が左方向に進出して、プツシヤ１３がウ
エハボート２を左方向に押圧する。これにより、
ウエハボート２は受皿３上を左方へスライドして
受皿３の左側の側壁に押し付けられ、位置決めが
なされる。この位置決めの後に半導体ウエハの移
し替えが行なわれ、再びエレベータのチヤツクが
ウエハボート２のフツク６に係合しウエハボート
２を持ち上げ、フオークに移送する。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記従来の位置決め装置におい
ては、ウエハボートの受皿上への載置位置がずれ
たり、ウエハボートや受皿の精度にずれがあつた
りすると、第７図のようにウエハボート２が受皿
３の側壁上に乗り上げて傾き、ウエハボートが倒
れたり、半導体ウエハが脱落して破損するという
不都合がある。又、ウエハボート２を受皿３の側
壁に押し付けるまでスライドさせるため、ウエハ
ボートの受皿との摩耗によつて埃等が発生し、好
ましくない。このため、ウエハボートを受皿の中
央部分に載せること好ましいが、従来装置ではこ
のための正確な位置決めができず、半導体ウエハ
は移し替えが円滑にできない問題点がある。

本発明は、上記事情を考慮してなされもので、
ウエハボートを受皿の所定の位置に正確に位置決
めすることができる半導体ウエハ処理装置を提供
することを目的としている。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明の半導体ウエハ処理装置は、処理対象と
しての半導体ウエハを載置する長尺状のウエハボ
ートと、このウエハボートをワーキングステーシ
ヨン上に位置決めする位置決め手段と、前記ウエ
ハボートを前記位置決めの後に移送する移送手段
と、前記移送手段から受けとつた前記ウエハボー
トを処理室内へ搬入し、処理後に搬出する搬送手
段と、を備えた半導体ウエハ処理装置において、
前記位置決め手段は、前記ワーキングステーシヨ
ン上の前記ウエハボートを幅方向に挟む両側に互
いに対向して位置するボート押圧手段を有し、前
記各ボート押圧手段は、動力源としての駆動手段
と、その駆動手段からの力を伝える力伝達リンク
と、その力伝達リンクからの力によつて前記ウエ
ハボートの側面に向けて進退させられるプツシヤ
と、を有し、さらに、前記一対のボート押圧手段
の一方における前記力伝達リンクは、前記駆動手
段と前記プツシヤとの間において力を剛性をもつ
て伝える剛性リンクであり、他方の前記ボート押
圧手段における前記力伝達リンクは前記駆動手段
と前記プツシヤとの間において力を弾性をもつて
伝える弾性リンクであり、この他方の前記ボート
押圧手段は前記弾性リンクによつて前記駆動手段
と前記プツシヤとが相対的に横ぶれするのを防止
するガイド手段を有し、さらに、前記一対のボー
ト押圧手段の少なくとも一方においては、前記プ
ツシヤは前記ウエハボートの長手方向に沿つた側
面の２個所に当接する一対の押圧子を有するもの
として構成される。

（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図ないし第４図
を参照して具体的に説明する。

第４図は本発明が適用される半導体ウエハ処理
装置の斜視図である。この装置は拡散炉の入口側
に設けられ、炉内への半導体ウエハ１の搬出入を
行なう多段のフオーク（搬送手段）２１と、受皿
３上に位置決めされたウエハボート２上の半導体
ウエハ１の移し替えを行なう移替機構２２と、ウ
エハボート２をフオーク２１および受皿３に受け
渡しするエレベータ（移送手段）２３等とからな
つている。

フオーク２１は水平方向にスライドし、拡散炉
側に開設された出入孔２４を介して、ウエハボー
ト２に載置された半導体ウエハ１を拡散炉内に搬
入し、又、炉内での処理後の半導体ウエハ１の搬
出を行なう。エレベータ２３は上下動するリンク
２６と、リンク２６に取り付けられウエハボート
２のフツク６に係合するチヤツク２５とを具備し
ており、受皿３とフオーク２１の間を昇降して受
皿上のウエハボートをフオーク２１上に載置した
り、フオーク２１から取り外して受皿３上に載置
させるものである。ウエハボート２を受皿３上に
位置決めする位置決め装置３０はワーキングステ
ーシヨン２０に配設される。

第１図および第２図はこの位置決め装置の斜視
図および側面図を示している。

この位置決め装置は、受皿３の両側に設けられ
た第１のプツシヤ３１および第２のプツシヤ３２
と、これらを受皿３に向けて進退させる駆動手段
３３，３４とを具備している。第１のプツシヤ３
１は図示の実地例では受皿３すなわちウエハボー
ト２の右側に１基だけ配設されている。つまり、
第１のプツシヤ３１は１つの押圧子によつて構成
されている。そして第１のプツシヤ３１はアーム
３５の上部端面に取り付けられ、エアシリンダ等
の駆動手段３３に連結されている。すなわち、駆
動手段３３のロツドに連結板３６が取り付けら
れ、この連結板３６に連結棒３７が取り付けられ
ており、この連結棒３７が前記アーム３５に挿通
し、さらに連結板３６とアーム３５との間にコイ
ルばねからなる緩衝手段３８が設けられている。
つまり、第１のプツシヤ３１と駆動手段３３との
間における力の伝達は弾性リンクを介して行われ
る。従つて、駆動手段３３が作動すると、連結板
３６、コイルばね３８を介してアーム３５にスラ
イド力が伝達し、第１のプツシヤ３１がウエハボ
ート２の一方の側部を押圧するようになつてい
る。ここで、連結板３６の進退はガイド（ガイド
手段）３９によつて横ぶれしないようになつてい
る。

第２のプツシヤ３２はこの第１のプツシヤ３１
の反対側に対向して設けられており、エアシリン
ダ等の駆動手段３４のロツドに取り付けられた連
結板４０に取り付けられている。つまり、第２の
プツシヤ３２は、剛性リンクによつて支持されて
いる。この場合、第２のプツシヤ３２は２基だけ
設けられており、この２基のプツシヤ３２の間に
第１のプツシヤ３１が位置するようになつてい
る。つまり、第２のプツシヤ３２は、２つの押圧
子を有する。

以上の位置決め装置によつてウエハボート２の
位置決めを行なうには、エレベータ２３によつて
ウエハボート２が受皿３上に載置された後にウエ
ハボートの両側の駆動手段３３，３４が同時に駆
動して第１のプツシヤ３１および第２のプツシヤ
３２でウエハボートを左右両側から押圧する。こ
の第１のプツシヤ３１、第２のプツシヤ３２の押
圧力の均衡により、ウエハボートは受皿３の中央
部分に正確に位置決めされる。ここで、第１のプ
ツシヤ３１側に設けられたコイルばね３８は第２
のプツシヤ３２の押圧による衝撃を吸収する作用
があるため、精巧な制御をすることなく押圧力の
均衡が図られる。

第３図は本発明の別の実施例の平面図であり、
第１のプツシヤ３１、第２のプツシヤ３２がいず
れも２基づつ配設されている。この場合にも、同
図Ｂのようにウエハボート２が受皿３に対して斜
めに傾いた状態で載置されても、その正確な位置
決めが可能である。

なお、上記実施例においてはばね手段（弾性リ
ンク）にコイルばねを使用したが、板ばねを使用
してもよい。この場合には、例えば第１のプツシ
ヤ３１を支持するアーム３５を板ばねとすること
で、コイルばねを省略することができる。又、プ
ツシヤの数も図示するものに限らず、適宜増加さ
せることも可能である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、ウエハボートをワーキングス
テーシヨン上に位置決め手段によつて位置決めし
た後に移送手段によつて搬送手段へ向けて移送
し、その搬送手段によつて半導体ウエハを載置し
たウエハボートを処理室へ搬入、搬出するように
した半導体ウエハ処理装置において、前記位置決
め手段を、長尺状のウエハボートの幅方向両側に
それぞれ位置するボート押圧手段を備えるものと
し、それらのボート押圧手段の一方においては駆
動手段からの力を剛性リンクを介して、他方にお
いては剛性リンクを介して伝えるようにしたの
で、特別に精巧な制御をしなくとも、上記の如く
ウエハボートをワーキングステーシヨン上におい
て位置決めする必要のある半導体ウエハ処理装置
において、そのウエハボートをワーキングステー
シヨン上に適正に位置決めすることができ、この
適正な位置決めによりウエハボートを移送手段に
よつて次段の搬送手段に適正に移送することが可
能となり、しかも一対のボート押圧手段の少なく
とも一方をウエハボートの長手方向に沿つた側面
の２箇所に当接する一対の押圧子を有するものと
したので、ウエハボートは長尺状であつてもその
幅方向に適正な位置決めができ、さらに、一対の
力伝達リンクの一方は弾性リンクとしたので、両
側からのプツシヤがウエハボートに当接、挟持す
るときにあつても、その際の衝撃は弾性リンクで
吸収され、これによりウエハボートに大きな衝撃
が伝わるのを防止してウエハボート上からウエハ
を落下するのを防ぐことができ、また弾性リンク
を有する一方のボート押圧手段においてはガイド
を設けるようにしたので、弾性リンクを介して駆
動手段からの力をプツシヤに伝えるようにしたに
も拘らず、プツシヤを駆動手段に対して横ずれし
ない状態でウエハボートに当接、押圧させること
ができ、これによつてもウエハボートをその両側
からプツシヤで挟んだ状態において弾性リンクの
変形によりウエハボートが位置ずれするのを防い
で、ウエハボートの適正な位置決めができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部の斜視図、第
２図はその側面図、第３図は別の実施例の平面
図、第４図は本発明が適用される半導体製造装置
の斜視図、第５図はウエハボートの斜視図、第６
図は従来装置の作動を示す側面図、第７図は従来
装置による位置決め例を示す側面図である。 ２……ウエハボート、３……受皿、２０……ワ
ーキングステーシヨン、２３……エレベータ、３
１……第１のプツシヤ、３２……第２のプツシ
ヤ、３３，３４……駆動手段、３８……ばね（緩
衝手段）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 処理対象としての半導体ウエハを載置する長
   尺状のウエハボートと、 このウエハボートをワーキングステーシヨン上
   に位置決めする位置決め手段と、 前記ウエハボートを前記位置決めの後に移送す
   る移送手段と、 前記移送手段から受けとつた前記ウエハボート
   を処理室内へ搬入し、処理後に搬出する搬送手段
   と、 を備えた半導体ウエハ処理装置において、 前記位置決め手段は、前記ワーキングステーシ
   ヨン上の前記ウエハボートを幅方向に挟む両側に
   互いに対向して位置するボート押圧手段を有し、 前記各ボート押圧手段は、動力源としての駆動
   手段と、その駆動手段からの力を伝える力伝達リ
   ンクと、その力伝達リンクからの力によつて前記
   ウエハボートの側面に向けて進退させられるプツ
   シヤと、を有し、 さらに、前記一対のボート押圧手段の一方にお
   ける前記力伝達リンクは、前記駆動手段と前記プ
   ツシヤとの間において力を剛性をもつて伝える剛
   性リンクであり、他方の前記ボート押圧手段にお
   ける前記力伝達リンクは前記駆動手段と前記プツ
   シヤとの間において力を弾性をもつて伝える弾性
   リンクであり、この他方の前記ボート押圧手段は
   前記弾性リンクによつて前記駆動手段と前記プツ
   シヤとが相対的に横ぶれするのを防止するガイド
   手段を有し、 さらに、前記一対のボート押圧手段の少なくと
   も一方においては、前記プツシヤは前記ウエハボ
   ートの長手方向に沿つた側面の２箇所に当接する
   一対の押圧子を有するものであることを特徴とす
   る、半導体ウエハ処理装置。