KR20230030222A - 버퍼 트레이 - Google Patents

버퍼 트레이 Download PDF

Info

Publication number
KR20230030222A
KR20230030222A KR1020210112177A KR20210112177A KR20230030222A KR 20230030222 A KR20230030222 A KR 20230030222A KR 1020210112177 A KR1020210112177 A KR 1020210112177A KR 20210112177 A KR20210112177 A KR 20210112177A KR 20230030222 A KR20230030222 A KR 20230030222A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
guide
pair
axis direction
axis
buffer tray
Prior art date
Application number
KR1020210112177A
Other languages
English (en)
Inventor
강진호
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020210112177A priority Critical patent/KR20230030222A/ko
Publication of KR20230030222A publication Critical patent/KR20230030222A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67333—Trays for chips
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
    • G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
    • G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
    • G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays

Abstract

본 발명의 일 실시예에 의하면, 다양한 크기의 반도체 소자를 수납할 수 있는 버퍼 트레이가 제공될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 의한 버퍼 트레이는, 복수의 고정 가이드를 구비하는 베이스 플레이트와, 베이스 플레이트의 상부에 배치되고 Y축 방향으로 이동 가능하게 구비되는 가이드 플레이트와, 가이드 플레이트와 결합되고 X축 방향으로 이동 가능하게 구비되는 구동 플레이트와, 가이드 플레이트의 상면에 결합되고 X축 방향으로 이동 가능하게 구비되는 이동 유닛을 포함할 수 있다. 반도체 소자를 수납하는 복수의 포켓은 고정 가이드들과 가이드 플레이트에 의해 정의되며, 이동 유닛에 의하여 가이드 플레이트의 X축 위치 이동과 Y축 위치 이동이 동시에 수행되어 포켓의 크기가 조절될 수 있다.

Description

버퍼 트레이{BUFFER TRAY}
본 발명은 반도체 소자들을 임시 수납하기 위한 버퍼 트레이에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자들은 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 반도체 기판으로 사용되는 실리콘 웨이퍼 상에 형성될 수 있으며, 이렇게 형성된 반도체 소자들은 다이싱 공정과 본딩 공정 및 패키징 공정 등을 통하여 완성될 수 있다.
반도체 소자들은 전기적 특성 검사를 통하여 양품 또는 불량품으로 판정될 수 있다. 전기적 특성 검사에는 반도체 소자들을 핸들링하는 테스트 핸들러와 반도체 소자들을 검사하기 위한 테스터가 사용될 수 있다.
반도체 소자들은 외부 접속용 단자들을 가질 수 있으며, 외부 접속용 단자들과 테스터를 전기적으로 연결한 상태에서 전기적인 검사 공정을 수행할 수 있다. 테스트 핸들러는 반도체 소자들의 외부 접속용 단자들과 전기적으로 접속되는 콘택핀들을 구비하는 복수의 테스트 소켓들을 구비할 수 있다.
테스트 핸들러는 일반적인 메모리 소자들에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 테스트 핸들러와 LSI(Large scale integrated circuit) 소자들에 대한 검사 공정을 수행하기 위한 테스트 핸들러로 구분될 수 있다.
일반적으로, 테스트 핸들러는 반도체 소자들에 대한 검사 공정이 수행되는 테스트 모듈을 사이에 두고 반도체 소자들의 로드를 위한 로드 모듈과 반도체 소자들의 언로드를 위한 언로드 모듈이 양측에 각각 배치될 수 있다.
로드 모듈은 테스트 모듈에 제공될 반도체 소자들을 임시 수납하기 위한 로드 버퍼 트레이를 구비할 수 있다. 언로드 모듈은 테스트 모듈에서 검사가 완료된 반도체 소자들을 임시 수납하기 위한 언로드 버퍼 트레이를 구비할 수 있다.
로드 버퍼 트레이와 언로드 버퍼 트레이와 같이 반도체 소자들을 임시 수납하는 버퍼 트레이는 반도체 소자들이 수납되는 복수의 포켓을 구비할 수 있다. 포켓들은 어레이(array) 형태로 배치되며, 각 포켓에는 하나의 반도체 소자가 수납된다.
이렇게 포켓들은 반도체 소자들을 개별적으로 수납하기 때문에, 포켓의 크기는 수납할 반도체 패키지의 크기에 따라 결정된다. 또한, 버퍼 트레이에 수납된 반도체 소자의 정렬 상태는 버퍼 트레이로부터 반도체 소자들을 언로딩하는 이송 피커의 픽업 동작에 영향을 주기 때문에, 포켓의 크기가 반도체 소자의 크기에 맞아야 한다.
그러나 종래의 버퍼 트레이는 한번 제작되면 포켓의 크기를 변경할 수 없기 때문에, 반도체 소자들의 크기 별로 전용 버퍼 트레이들 제작해야는 문제점이 있다. 또한, 테스트하기 위한 반도체 소자들의 품종이 달라질 때마다 테스트 핸들러의 버퍼 트레이를 교체해야하기 때문에 교체 시간이 소요되는 번거로움이 있다.
본 발명은 수납할 반도체 패키지의 크기에 따라 포켓의 크기가 조절되는 반도체 소자 수납용 버퍼 트레이를 제공하고자 한다.
본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의하여 이해될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 복수의 반도체 소자가 어레이 형태로 배치되어 안착되고, 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드하기 위한 복수의 고정 가이드가 장착되는 베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트의 상측에 배치되고, 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위해 Y축 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 가이드 플레이트; 상기 한 쌍의 가이드 플레이트를 연결하고, 상기 가이드 플레이트의 위치를 가이드 하기 위해 X축 방향으로 이동 가능한 이동 유닛; 상기 베이스 플레이트의 상면에 X축 방향으로 이동 가능하게 결합되고, 상기 한 쌍의 가이드 플레이트를 X축 방향으로 이동시키는 구동 플레이트; 포함하고, 상기 고정 가이드들과 상기 가이드 플레이트에 의하여 상기 반도체 소자를 각각 수납하는 복수의 포켓이 정의되며, 상기 포켓의 크기는 상기 가이드 플레이트에 의하여 조절 가능한 버퍼 트레이가 제공될 수있다.
일 실시예에서, 상기 고정 가이드들은 어레이 형태로 배치되고, 각 고정 가이드는 하나의 반도체 소자를 가이드 하고, 상기 반도체 소자의 4개의 변 중에서 서로 인접한 2개의 변을 가이드할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 한 쌍의 가이드 플레이트는 상기 반도체 소자의 4개의 변 중에서 상기 고정 가이드에 의해 가이드 되지 않는 나머지 2개의 변을 가이드할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 한 쌍의 가이드 플레이트는, 서로 X축 대칭 관계를 갖도록 형성되고 Y축 방향으로 서로 이격되어 배치되며, 각 가이드 플레이트가 상기 베이스 플레이트에서 상기 반도체 소자들이 적재될 수 있는 부분을 노출시키기 위해 X축 방향으로 일정 간격으로 이격된 복수의 홈을 갖고, 상기 홈은 상기 고정 가이드와 인접한 면에 형성되고 상기 고정 가이드와 조합되어 상기 반도체 소자가 수납되는 복수의 포켓을 형성할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 이동 유닛은 X축 대칭 관계를 갖고 사선 방향으로 형성된 한 쌍의 슬롯 및 상기 슬롯을 관통하는 한 쌍의 결합 부재를 포함하고, 상기 결합 부재에 의하여 상기 한 쌍의 가이드 플레이트와 각각 결합될 수 있다.
상기 이동 유닛이 X축 방향으로 이동하면, 상기 결합 부재의 위치가 상기 슬롯을 따라 이동되며 상기 한 쌍의 가이드 플레이트가 이동될 수 있다.
상기 결합 부재의 위치가 상기 슬롯을 따라 이동됨에 따라 상기 구동 플레이트가 상기 이동 유닛과 같은 방향으로 이동되고 상기 한 쌍의 가이드 플레이트가 서로 반대되는 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 버퍼 트레이는 상기 베이스 플레이트 상에 구비되고, X축 방향으로 연장되며, 상기 구동 플레이트와 결합되는 한 쌍의 X축 LM 가이드; 및 상기 구동 플레이트 상에 구비되고, Y축 방향으로 연장되며, 상기 한 쌍의 가이드 플레이트가 결합되는 한 쌍의 Y축 LM 가이드를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 버퍼 트레이는 상기 이동 유닛의 이동을 제어하는 제어 유닛을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 버퍼 트레이는 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동 가능한 가이드 플레이트를 구비하고, 가이드 플레이트를 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동시켜 수납하고자 하는 반도체 패키지의 크기에 따라 포켓의 크기를 조절할 수 있다. 이에 따라, 하나의 버퍼 트레이는 다양한 크기의 반도체 패키지들을 수납할 수 있으므로 제조 원가를 절감하고, 트레이 교체 공정이 생략되어 공정 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 가변 트레이는 X축 방향으로 이동하고 서로 반대인 사선 방향으로 형성된 한 쌍의 슬롯을 포함하는 이동 유닛을 구비하고, 이동 유닛에 의하여 가이드 플레이트가 X축 방향과 Y축 방향으로 동시에 이동될 수 있다. 이에 따라, 버퍼 트레이는 작업 효율을 향상시키고, 공정 시간을 단축시키며, 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 버퍼 트레이의 포켓 사이즈가 조절되는 과정을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(또는 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결(또는 결합)"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결(또는 결합)"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 소자 수납용 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 버퍼 트레이를 설명하기 위한 개략적인 분해 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 트레이(100)는 복수의 반도체 소자를 수납하기 위한 트레이로서, 반도체 소자들을 검사하기 위한 검사 장치, 예를 들어, 테스트 핸들러 등에 구비되어 이용될 수 있다. 특히, 버퍼 트레이(100)는 반도체 소자들이 수납되는 복수의 포켓을 구비할 수 있으며, 수납할 반도체 소자들의 크기에 따라 포켓들의 크기를 조절할 수 있다.
버퍼 트레이는(100) 반도체 소자들이 어레이 형태로 배치될 수 있는 베이스 플레이트(110), 베이스 플레이트(110)에 로드된 반도체 소자들의 위치를 가이드하기 위한 구동 플레이트(120), 가이드 플레이트(130) 및 이동 유닛(140)을 포함할 수 있다.
베이스 플레이트(110)는 대체로 사각형의 플레이트 형상을 가질 수 있으며, 반도체 소자들의 위치를 가이드하기 위한 복수의 고정 가이드(112)를 구비할 수 있다. 고정 가이드들(112)은 이동이 불가능하도록 위치는 고정되어 반도체 소자들의 스토퍼 역할을 할 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 고정 가이드들(112)은 베이스 플레이트(110)의 중앙 영역에 어레이 형태로 배치될 수 있으며, 각각 하나의 반도체 소자를 가이드할 수 있다. 베이스 플레이트(110)는 가이드 플레이트(130)와 고정 가이드(112)들의 높이가 대응될 수 있도록 고정 가이드들(112)이 배치되는 중앙 영역이 X축 방향으로 길게 형성된 육면체 형태로 돌출되도록 형성될 수 있다.
베이스 플레이트(110)의 상면에는 구동 플레이트(120)가 배치될 수 있다. 구동 플레이트(120)는 반도체 소자들이 수납될 포켓의 크기를 조절하기 위해 X축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있으며, 베이스 플레이트(110)보다 작은 크기의 사각 플레이트 형상을 가질 수 있고, 베이스 플레이트(110)의 중앙 영역 수용하기 위하여 중앙 영역이 상기 육면체의 상면과 대응하는 크기의 사각형으로 관통된 형상을 가질 수 있다.
구동 플레이트(120)는 베이스 플레이트(110)의 상면에 X축 방향으로만 이동 가능하게 결합되어 가이드 플레이트(130)를 지지할 수 있다. 따라서, 구동 플레이트(120)는 베이스 플레이트(110)에 결합되었을 때 베이스 플레이트(110)의 돌출부로부터 Y축 양 방향으로 연장된 사이드 단차부를 포함할 수 있다. 구동 플레이트(120)가 X축 방향으로 이동함에 따라 가이드 플레이트(130)의 위치를 X축 방향으로 이동시킬 수 있다.
구동 플레이트(120)의 상면에는 한 쌍의 가이드 플레이트(130)가 배치될 수 있다. 가이드 플레이트(130)는 반도체 소자들이 수납될 포켓의 크기를 조절하기 위해 Y축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있고, X축 방향으로 길게 형성된 직사각형 플레이트 형상을 가질 수 있으며, 베이스 플레이트(110)보다 작은 크기로 형성될 수 있다. 한 쌍의 가이드 플레이트(130)는 X축 대칭 관계를 갖도록 형성되고 Y축 방향으로 서로 이격되어 배치될 수 있다. 한 쌍의 가이드 플레이트(130)는 서로 반대 방향으로 이동하도록 구비될 수 있다.
하나의 가이드 플레이트(130)에는 반도체 소자들이 적재될 수 있는 부분들을 노출시키기 위한 복수의 홈이 형성될 수 있다. 복수의 홈은 X축 방향으로 서로 이격되어 형성될 수 있다. 복수의 홈은 고정 가이드와 인접한 면에 형성되며, 고정 가이드와 홈이 조합되어 반도체 소자가 수납되는 복수의 포켓을 형성할 수 있다.
가이드 플레이트(130)의 상면에는 한 쌍의 가이드 플레이트(130)를 연결하는 이동 유닛(140)이 배치될 수 있다. 이동 유닛(140)은 가이드 플레이트(130)의 위치를 가이드하기 위해 X축 방향으로 이동 가능하게 구비될 수 있다. 이동 유닛(140)은 X축 대칭 관계를 갖고 사선 방향으로 형성된 한 쌍의 슬롯(144)과 슬롯(144)을 관통하여 가이드 플레이트(130)와 결합되는 한 쌍의 결합 부재(142)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 슬롯(144)은 이동 유닛(140)의 X축 중심선을 기준으로 각각 외측 방향으로 하향 경사지게 형성될 수 있다. 슬롯(144)의 폭은 결합 부재(142)의 상면보다 작게 형성될 수 있고, 결합 부재(142)의 위치는 이동 유닛(140)의 이동에 의하여 슬롯(144)을 따라 이동될 수 있다.
이동 유닛(140)이 X축 방향으로 이동하면, 결합 부재(142)의 위치가 슬롯(144)을 따라 사선 방향으로 이동되며 구동 플레이트(120)가 이동 유닛(140)과 동일한 X축 방향으로 이동되고 한 쌍의 가이드 플레이트(130)가 서로 반대되는 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라 반도체 소자가 수납되는 포켓의 크기가 조절될 수 있다. 한편, 이동 유닛(140)은 결합 부재(142)의 위치를 고정하기 위한 별도의 고정 장치를 더 포함할 수 있고, 상기 고정 장치는 결합 부재(142)와 함께 이동하며 결합 부재(142)의 위치를 고정하거나 위치 고정을 해제할 수 있도록 구성될 수 있다.
도 4 및 도 5는 도 1에 도시된 버퍼 트레이(100)의 포켓 사이즈가 조절되는 과정을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
반도체 소자의 네 변은 고정 가이드(112)와 고정 플레이트(130)에 의하여 가이드되며, 고정 가이드(112)와 고정 플레이트(130)는 반도체 소자의 서로 다른 네 변을 각각 가이드할 수 있다.
고정 가이드(112)는 반도체 소자(10)의 네 변 중에서 서로 인접한 2개의 변을 가이드한다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 고정 가이드(112)는 십자 형상을 가질 수 있고, 반도체 소자(10)의 'ㄴ'형상으로 인접한 2개의 변 또는 'ㄱ'자 형상으로 인접한 2개의 변을 가이드할 수 있다. 고정 플레이트(130)는 반도체 소자의 네 변 중에서 고정 가이드(112)에 의하여 가이드 되지 않는 나머지 두 변을 가이드 할 수 있다. 구체적으로, 고정 플레이트(130)에 고정 가이드(112)에 대응하도록 형성된 홈에 의하여 고정 가이드(112)에 의하여 가이드되는 인접한 두 변에 대응하는 위치의 나머지 두 변을 가이드 할 수 있다. 즉, 고정 플레이트(130)에 형성된 하나의 홈과 그 홈에 대응하는 하나의 고정 가이드(112)는 하나의 반도체 소자(10)를 가이드할 수 있다.
특히, 포켓들의 크기는 이동 유닛(140)의 이동에 의하여 결정될 수 있다. 이동 유닛(140)은 이동 유닛(140)의 X축 중심선으로부터 외측 방향으로 하향 경사지도록 사선으로 형성된 슬롯(144)과 슬롯(144)을 관통하는 결합 부재(142)에 의하여 포켓의 크기를 조절할 수 있다. 이동 유닛(140)이 X축 방향으로 이동함에 따라, 결합 부재(142)의 위치가 슬롯(144)을 따라 이동되고, 슬롯(144)의 위치 이동에 수반되는 가이드 플레이트(130)의 X축 및 Y축 이동에 의하여 포켓의 크기가 조절될 수 있다. 이동 유닛(140)에 의하여 이동되는 가이드 플레이트(130)는 베이스 플레이트(110)에 로드된 반도체 소자를 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 대응하는 고정 가이드(112) 측으로 가이드할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 트레이(10)에 수납될 수 있는 가장 작은 사이즈의 반도체 소자(D)를 수납하도록 포켓 사이즈가 최소화 된 예를 도시한 것이다. 도 4를 참조하면, 이동 유닛(140)이 버퍼 트레이(100) 내측 방향으로 X축 운동함에 따라 결합 부재(142)의 위치가 이동 유닛(140)의 X축 중심선에 가까운 위치로 이동된다. 결합 부재(142)가 X축 중심선에 가까운 위치로 이동됨에 따라, 구동 플레이트(120)는 이동 유닛(140)과 동일한 방향으로 이동하며 가이드 플레이트(130)의 위치를 X축 방향으로 이동시킬 수 있고, 한 쌍의 가이드 플레이트(130)는 서로 가까워지도록 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 이동 유닛(140)에 의하여 서로 가까워진 한 쌍의 가이드 플레이트(130)와 고정 가이드(112)에 의하여 가장 작은 사이즈의 반도체 소자(D)에 대응하는 크기로 포켓의 크기가 조절될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 버퍼 트레이(10)에 수납될 수 있는 가장 큰 사이즈의 반도체 소자(D')를 수납하도록 포켓 사이즈가 최대화 된 예를 도시한 것이다. 도 5를 참조하면, 이동 유닛(140)이 버퍼 트레이(100) 외측 방향으로 X축 운동함에 따라 결합 부재(142)의 위치가 이동 유닛(140)의 X축 중심선으로부터 멀어지도록 이동된다. 결합 부재(142)가 X축 중심선으로부터 멀어지도록 이동됨에 따라, 구동 플레이트(120)는 이동 유닛(140)과 동일한 방향으로 이동하며 가이드 플레이트(130)의 위치를 X축 방향으로 이동시킬 수 있고, 한 쌍의 가이드 플레이트(130)가 서로 멀어지도록 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 이동 유닛(140)에 의하여 서로 멀어진 한 쌍의 가이드 플레이트(130)와 고정 가이드(112)에 의하여 가장 큰 사이즈의 반도체 소자(D)에 대응하는 크기로 포켓의 크기가 조절될 수 있다.
버퍼 트레이(100)가 수용할 수 있는 반도체 소자의 범위는 버퍼 트레이(100) 제작시 가이드 플레이트(130)에 형성되는 홈의 크기, 고정 가이드(112)의 크기, 이동 유닛(140)에 형성되는 슬롯(144)의 길이 등을 제어함으로써 수용 범위를 제어할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 버퍼 트레이(100)는 사선 방향으로 슬롯(144)이 형성된 이동 유닛(140)과, 슬롯(144)을 관통하는 결합 부재(142)에 의하여 결합된 가이드 플레이트(130)와, 가이드 플레이트(130)를 X축 방향으로 이동시키는 구동 플레이트(120)를 구비함으로써, X축 방향으로 이동 가능한 이동 유닛(140)에 의하여 가이드 플레이트(130)를 X축 방향 및 Y축 방향으로 동시에 이동시켜 반도체 소자의 크기에 따라 포켓의 크기를 조절할 수 있다. 이에 따라, 하나의 버퍼 트레이(100)로 다양한 크기의 반도체 소자들을 수납할 수 있고, 한 번의 이동으로 포켓의 크기가 조절되므로, 제조 원가를 절감하고 공정 시간을 단축시켜 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 버퍼 트레이(100)는 구동 플레이트(120)의 X축 이동을 가이드하는 한 쌍의 X축 LM 가이드(122, 124)와 가이드 플레이트(130)의 Y축 이동을 가이드하는 한 쌍의 Y축 LM 가이드(132, 134)와 이동 유닛(140)을 이동시키는 구동부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
X축 LM 가이드(122, 124)들은 베이스 플레이트(110) 상에 구비되고, X축 방향으로 연장되며, 구동 플레이트(120)에 형성된 사이드 단차부 하면에 배치되어 구동 플레이트(120)에 결합될 수 있다.
Y축 LM 가이드(132, 134)들은 구동 플레이트(120) 상에 구비되고, Y축 방향으로 연장되며, 가이드 플레이트(130)에 결합될 수 있다.
구동부(미도시)는 이동 유닛(140)에 연결되어 이동 유닛(140)을 X축 방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 이동 유닛(140)의 X축 이동을 가이드하기 위한 X축 LM 가이드가 더 구비될 수 있다.
상술한 바와 같이, 버퍼 트레이(100)가 X축 LM 가이드(122, 124), Y축 LM 가이드(132, 134), 구동부(미도시)를 구비함으로써 구동 플레이트(120)와 가이드 플레이트(130)를 보다 정밀하고 용이하게 이동시킬 수 있다.
또한, 상세히 도시하지는 않았지만, 버퍼 트레이(100)는 이동 유닛(140)의 이동을 제어하기 위한 제어 유닛을 더 포함할 수 있다. 제어 유닛은 입력값을 수신받아 이동 유닛(140)을 제어할 수 있도록 구성될 수 있고 이에 따라 버퍼 트레이(100)의 포켓 사이즈가 자동으로 제어될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100: 버퍼 트레이
110: 베이스 플레이트
112: 고정 가이드
120: 구동 플레이트
122, 124: X축 LM 가이드
130: 가이드 플레이트
132, 134: Y축 LM 가이드
140: 이동 유닛
142: 결합 부재
144: 슬롯

Claims (9)

  1. 복수의 반도체 소자가 어레이 형태로 배치되어 안착되고, 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드하기 위한 복수의 고정 가이드가 장착되는 베이스 플레이트;
    상기 베이스 플레이트의 상측에 배치되고, 상기 반도체 소자들의 위치를 가이드 하기 위해 Y축 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 가이드 플레이트;
    상기 한 쌍의 가이드 플레이트를 연결하고, 상기 가이드 플레이트의 위치를 가이드 하기 위해 X축 방향으로 이동 가능한 이동 유닛;
    상기 베이스 플레이트의 상면에 X축 방향으로 이동 가능하게 결합되고, 상기 한 쌍의 가이드 플레이트를 X축 방향으로 이동시키는 구동 플레이트; 포함하고,
    상기 고정 가이드들과 상기 가이드 플레이트에 의하여 상기 반도체 소자를 각각 수납하는 복수의 포켓이 정의되며,
    상기 포켓의 크기는 상기 가이드 플레이트에 의하여 조절 가능한 버퍼 트레이.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정 가이드들은 어레이 형태로 배치되고,
    각 고정 가이드는 하나의 반도체 소자를 가이드 하고, 상기 반도체 소자의 4개의 변 중에서 서로 인접한 2개의 변을 가이드하는 버퍼 트레이.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 한 쌍의 가이드 플레이트는 상기 반도체 소자의 4개의 변 중에서 상기 고정 가이드에 의해 가이드 되지 않는 나머지 2개의 변을 가이드하는 버퍼 트레이.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 한 쌍의 가이드 플레이트는,
    서로 X축 대칭 관계를 갖도록 형성되고 Y축 방향으로 서로 이격되어 배치되며,
    각 가이드 플레이트가 상기 베이스 플레이트에서 상기 반도체 소자들이 적재될 수 있는 부분을 노출시키기 위해 X축 방향으로 일정 간격으로 이격된 복수의 홈을 갖고,
    상기 홈은 상기 고정 가이드와 인접한 면에 형성되고 상기 고정 가이드와 조합되어 상기 반도체 소자가 수납되는 복수의 포켓을 형성하는 버퍼 트레이.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이동 유닛은
    X축 대칭 관계를 갖고 사선 방향으로 형성된 한 쌍의 슬롯 및 상기 슬롯을 관통하는 한 쌍의 결합 부재를 포함하고,
    상기 결합 부재에 의하여 상기 한 쌍의 가이드 플레이트와 각각 결합되는 버퍼 트레이.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 이동 유닛이 X축 방향으로 이동하면,
    상기 결합 부재의 위치가 상기 슬롯을 따라 이동되며 상기 한 쌍의 가이드 플레이트가 이동되는 버퍼 트레이.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 결합 부재의 위치가 상기 슬롯을 따라 이동됨에 따라
    상기 구동 플레이트가 상기 이동 유닛과 같은 방향으로 이동되고 상기 한 쌍의 가이드 플레이트가 서로 반대되는 Y축 방향으로 이동되는 버퍼 트레이.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 베이스 플레이트 상에 구비되고, X축 방향으로 연장되며, 상기 구동 플레이트와 결합되는 한 쌍의 X축 LM 가이드; 및
    상기 구동 플레이트 상에 구비되고, Y축 방향으로 연장되며, 상기 한 쌍의 가이드 플레이트가 결합되는 한 쌍의 Y축 LM 가이드를 더 포함하는 버퍼 트레이.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 이동 유닛의 이동을 제어하는 제어 유닛을 더 포함하는 버퍼 트레이.
KR1020210112177A 2021-08-25 2021-08-25 버퍼 트레이 KR20230030222A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210112177A KR20230030222A (ko) 2021-08-25 2021-08-25 버퍼 트레이

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210112177A KR20230030222A (ko) 2021-08-25 2021-08-25 버퍼 트레이

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230030222A true KR20230030222A (ko) 2023-03-06

Family

ID=85509777

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210112177A KR20230030222A (ko) 2021-08-25 2021-08-25 버퍼 트레이

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230030222A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6304073B1 (en) IC testing apparatus
TWI797879B (zh) 具有堆疊式封裝(pop)結構的裝置之攜載式大量系統級測試技術
US5872458A (en) Method for electrically contacting semiconductor devices in trays and test contactor useful therefor
US6764272B1 (en) Adjustable coarse alignment tooling for packaged semiconductor devices
WO2018154941A1 (ja) テストシステム
KR102123989B1 (ko) 테스터 및 이를 구비하는 반도체 소자 검사 장치
CN107533102B (zh) 元件处理器
TWI429930B (zh) 用於測試分選機的插入件
KR20180055452A (ko) 인서트 조립체들의 래치들을 개방하기 위한 장치
KR20160146328A (ko) 교체용 트레이 이송 장치
US5192908A (en) Semiconductor device testing apparatus with positioning mechanism
KR102430477B1 (ko) 반도체 소자 수납용 가변 버퍼 트레이
KR101957961B1 (ko) 소켓 보드 조립체
KR20230030222A (ko) 버퍼 트레이
US5950802A (en) IC package transfer and relocation mechanism
KR101362546B1 (ko) 인서트 조립체 및 이를 포함하는 전자 부품 수납 장치
JP4408690B2 (ja) 半導体パッケージのテストシステム及びテスト方法
KR102270542B1 (ko) 검사 시스템
KR100958278B1 (ko) 에스에스디（ｓｓｄ） 언로딩장치
KR102220334B1 (ko) 전자 부품을 수납하기 위한 인서트 조립체
WO2021149330A1 (ja) ウェハ搬送ユニット及びウェハ搬送方法
KR20030088289A (ko) 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈
JP4726472B2 (ja) 半導体製造装置および半導体検査システム
KR20020020421A (ko) 오토 테스트 핸들러의 메모리 모듈 푸싱 유니트
KR20220017680A (ko) 반도체 소자 테스트 장치