KR100679155B1 - 테스트 핸들러 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (4)
- 제1 피치로 이격된 다수의 반도체 디바이스 적재부를 구비하는 유저 트레이 및 상기 제1 피치와 상이한 제2 피치로 이격된 다수의 반도체 디바이스 적재부를 구비하는 테스트 트레이를 포함하는 테스트 핸들러에 있어서,상기 유저 트레이의 반도체 디바이스를 상기 테스트 트레이로 이송 적재하는 로딩 핸드와,상기 테스트 트레이를 수용하여 테스트 온도 환경을 제공함으로써 반도체 디바이스에 대한 테스트를 가능하게 하는 테스트 챔버와,테스트 종료 후에 상기 테스트 트레이의 반도체 디바이스를 테스트 결과에 따라 등급별로 분류하여 임시 적재할 수 있도록 조합된 적어도 한 조의 소터 핸드 및 소터 테이블과,상기 소터 테이블에 임시 적재된 반도체 디바이스를 빈 유저 트레이로 이송 적재하는 언로딩 핸드를 포함하며,상기 소터 테이블은 상기 제2 피치로 이격된 다수의 반도체 소자를 적재하도록 구성되어 있고,상기 언로딩 핸드는 상기 소터 테이블로부터 다수의 반도체 소자를 흡착한 상태에서 상기 다수의 반도체 소자 사이의 간격을 상기 제2 피치로부터 상기 제1 피치로 변환할 수 있도록 구성되어 있는테스트 핸들러.
- 제 1 항에 있어서,상기 소터 핸드는 X축 방향으로 직선운동할 수 있고, 상기 소터 테이블은 Y축 방향으로 직선운동할 수 있는 것을 특징으로 하는테스트 핸들러.
- 제 1 항에 있어서,상기 소터 핸드 및 소터 테이블은 총 4조이고,각각의 소터 핸드는 4 개의 피커를 구비한 4연 1조 구조인 것을 특징으로 하는테스트 핸들러.
- 제 3 항에 있어서,각각의 소터 테이블은 대응하는 소터 핸드와 1:1로 조를 이루어 동작하는 것을 특징으로 하는테스트 핸들러.
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