JP6483971B2

JP6483971B2 - 生産システム

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Publication number: JP6483971B2
Application number: JP2014152602A
Authority: JP
Inventors: 茂倉田
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2014-07-28
Filing date: 2014-07-28
Publication date: 2019-03-13
Anticipated expiration: 2034-07-28
Also published as: CN105320055A; CN105320055B; JP2016031573A

Description

本発明は、複数の処理装置によって処理対象物に対する所定の処理を行って複数種類の製品を生産する生産システムに関する。

従来、処理対象物に所定の処理を行って半導体等の製品を生産する生産システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の生産システムは、処理対象物が格納されるキャリアと、処理対象物に対して処理を行う複数の製造装置とを備えている。キャリアは、生産される製品に応じた情報が記憶されるＩＤキャリアを備えている。各製造装置は、ＩＤキャリアに記憶される情報の読取や更新を行うＩＤリーダライタ装置を備えるとともに、各製造装置には、工程レシピ対応表と登録レシピ群とが記憶されている。工程レシピ対応表は、工程フローＩＤ番号、工程番号、レシピおよび次工程番号が登録されたテーブルである。

特許文献１に記載の生産システムでは、キャリアが製造装置に搬入されると、ＩＤキャリアに記憶された工程フローＩＤ番号および工程番号をＩＤリーダライタ装置が読み取る。また、この生産システムでは、ＩＤリーダライタ装置が読み取った工程フローＩＤ番号および工程番号に対応するレシピを工程レシピ対応表で検索し、工程レシピ対応表に登録されているレシピに応じた処理を処理対象物に対して行っている。

特開平１１−５３４３９号公報

特許文献１に記載の生産システムでは、工程レシピ対応表が複数の製造装置ごとに記憶されているため、この生産システムで新たな種類の製品の生産が行われる場合や処理対象物の処理条件が変更される場合（すなわち、新たな生産工程フローが追加される場合や、生産工程フローが変更される場合）に、全ての製造装置ごとに工程レシピ対応表を変更しなければならない。そのため、この生産システムでは、新たな種類の製品の生産が行われる際や処理対象物の処理条件が変更される際の変更作業が煩雑になる。

そこで、本発明の課題は、処理対象物に所定の処理を行って複数種類の製品を生産する生産システムにおいて、新たな種類の製品の生産が行われる際や処理対象物の処理条件が変更される際の変更作業を容易に行うことが可能な生産システムを提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明の生産システムは、処理対象物に所定の処理を行って複数種類の製品を生産する生産システムにおいて、複数種類の製品のそれぞれを生産するための処理対象物の複数の処理条件のそれぞれに対応付けられた複数のホストレシピ番号が記憶されるホストコンピュータと、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置と、ネットワークを介してホストコンピュータと接続されるとともにネットワークを介して複数の処理装置と接続される中継コンピュータと、処理対象物が格納されるキャリアとを備え、中継コンピュータは、パーソナルコンピュータと、プログラマブルロジックコントローラとを備え、キャリアには、キャリアを識別するためのキャリアＩＤが記憶され、ホストレシピ番号は、キャリアＩＤに対応付けられ、複数の処理装置のそれぞれには、処理対象物に対する処理装置ごとの処理条件である複数の装置レシピが、複数の装置レシピを識別するための装置レシピ番号と対応付けられて記憶され、プログラマブルロジックコントローラには、複数のホストレシピ番号のそれぞれに対応する複数の処理装置ごとの装置レシピ番号が規定される対応テーブルが記憶され、処理対象物に対して最初に処理を行う処理装置を第１処理装置とすると、第１処理装置は、第１処理装置にキャリアが搬入されると、キャリアＩＤを読み取るとともに、読み取ったキャリアＩＤを中継コンピュータを介してホストコンピュータに送信し、キャリアＩＤを受信したホストコンピュータは、受信したキャリアＩＤに対応するホストレシピ番号を中継コンピュータを介して第１処理装置に送信し、ホストレシピ番号を受信した第１処理装置は、受信したホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、ホストレシピ番号を受信したプログラマブルロジックコントローラは、受信したホストレシピ番号に対応する第１処理装置用の装置レシピ番号を第１処理装置に送信し、第１処理装置は、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行い、処理対象物に対する処理が終了すると、処理対象物に対して２番目に処理を行う処理装置に処理対象物およびホストレシピ番号を引き渡し、ｎを２以上の整数とし、処理対象物に対してｎ番目に処理を行う処理装置を第ｎ処理装置とすると、第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から処理対象物およびホストレシピ番号を受け取るとともに、受け取ったホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、第ｎ処理装置からのホストレシピ番号を受信したプログラマブルロジックコントローラは、受信したホストレシピ番号に対応する第ｎ処理装置用の装置レシピ番号を第ｎ処理装置に送信し、第ｎ処理装置は、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行い、処理対象物に対する処理が終了すると、第ｎ＋１処理装置に処理対象物およびホストレシピ番号を引き渡すことを特徴とする。

本発明の生産システムでは、ホストコンピュータに、複数のホストレシピ番号が記憶され、複数の処理装置のそれぞれに、処理対象物に対する処理装置ごとの処理条件である複数の装置レシピが、複数の装置レシピを識別するための装置レシピ番号と対応付けられて記憶され、プログラマブルロジックコントローラに、複数のホストレシピ番号のそれぞれに対応する複数の処理装置ごとの装置レシピ番号が規定される対応テーブルが記憶されている。また、本発明では、第１処理装置は、ホストコンピュータから受信したホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、このホストレシピ番号に対応する第１処理装置用の装置レシピ番号をプログラマブルロジックコントローラから受信して、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行うとともに、第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から受け取ったホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、このホストレシピ番号に対応する第ｎ処理装置用の装置レシピ番号をプログラマブルロジックコントローラから受信して、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行っている。すなわち、本発明では、処理装置は、ホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、このホストレシピ番号に対応する装置レシピ番号をプログラマブルロジックコントローラから受信するとともに、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行っている。

そのため、本発明では、新たな種類の製品の生産が行われる場合に、ホストコンピュータに新たなホストレシピ番号を追加で記憶するとともに、プログラマブルロジックコントローラに記憶されている対応テーブルを変更すれば良い。また、必要に応じて、いくつかの処理装置に記憶される装置レシピを変更したり、いくつかの処理装置に新たな装置レシピを追加で記憶すれば良い。また、処理対象物の処理条件が変更される場合には、プログラマブルロジックコントローラに記憶されている対応テーブルを変更するとともに、必要に応じて、いくつかの処理装置に記憶される装置レシピを変更したり、いくつかの処理装置に新たな装置レシピを追加で記憶すれば良い。したがって、本発明では、特許文献１に記載の生産システムと比較して、新たな種類の製品の生産が行われる際や処理対象物の処理条件が変更される際の変更作業を容易に行うことが可能になる。

また、本発明では、処理装置ごとに、ホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、このホストレシピ番号に対応する装置レシピ番号をプログラマブルロジックコントローラから受信しているため、処理装置間でホストレシピ番号を受け渡せば、処理装置ごとに、適切な装置レシピで処理対象物に対する処理を行うことが可能になる。したがって、本発明では、処理装置間でのデータの受渡し処理を簡素化することが可能になる。また、本発明では、各処理装置の記憶手段に要求される記憶容量を低減することが可能になる。

また、本発明では、処理装置ごとに、ホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、このホストレシピ番号に対応する装置レシピ番号をプログラマブルロジックコントローラから受信しているため、たとえば、製品の試作を行っているときに、製品の生産工程の途中で生産システムを停止して、処理対象物の処理条件を比較的容易に変更することが可能になる。

また、本発明では、中継コンピュータは、パーソナルコンピュータと、プログラマブルロジックコントローラとを備え、対応テーブルは、プログラマブルロジックコントローラに記憶され、処理装置は、ホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、ホストレシピ番号を受信したプログラマブルロジックコントローラは、受信したホストレシピ番号に対応する装置レシピ番号を処理装置に送信しており、きわめて信頼性、安定性の高い（すなわち、故障しにくい）プログラマブルロジックコントローラに対応テーブルが記憶され、プログラマブルロジックコントローラと処理装置との間で、ホストレシピ番号と装置レシピ番号との通信を行うため、第１処理装置で処理対象物への最初の処理を開始した後に、ホストコンピュータやパーソナルコンピュータが故障しても、処理が開始された処理対象物に全ての処理を行って、製品を完成させることが可能になる。

また、上記の課題を解決するため、本発明の生産システムは、処理対象物に所定の処理を行って複数種類の製品を生産する生産システムにおいて、複数種類の製品のそれぞれを生産するための処理対象物の複数の処理条件のそれぞれに対応付けられた複数のホストレシピ番号が記憶されるホストコンピュータと、処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置と、ネットワークを介してホストコンピュータと接続されるとともにネットワークを介して複数の処理装置と接続される中継コンピュータと、処理対象物が格納されるキャリアとを備え、中継コンピュータは、パーソナルコンピュータと、プログラマブルロジックコントローラとを備え、キャリアには、キャリアを識別するためのキャリアＩＤが記憶され、ホストレシピ番号は、キャリアＩＤに対応付けられ、複数の処理装置のそれぞれには、処理対象物に対する処理装置ごとの処理条件である複数の装置レシピが、複数の装置レシピを識別するための装置レシピ番号と対応付けられて記憶され、プログラマブルロジックコントローラには、複数のホストレシピ番号のそれぞれに対応する複数の処理装置ごとの装置レシピ番号が規定される対応テーブルが記憶され、処理対象物に対して最初に処理を行う処理装置を第１処理装置とすると、第１処理装置は、第１処理装置にキャリアが搬入されると、キャリアＩＤを読み取るとともに、読み取ったキャリアＩＤを中継コンピュータを介してホストコンピュータに送信し、キャリアＩＤを受信したホストコンピュータは、受信したキャリアＩＤに対応するホストレシピ番号を中継コンピュータを介して第１処理装置に送信し、ホストレシピ番号を受信した第１処理装置は、受信したホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、ホストレシピ番号を受信したプログラマブルロジックコントローラは、受信したホストレシピ番号に対応する全ての処理装置用の装置レシピ番号を第１処理装置に送信し、第１処理装置は、受信した装置レシピ番号のうちの第１処理装置用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行い、処理対象物に対する処理が終了すると、処理対象物に対して２番目に処理を行う処理装置に処理対象物および装置レシピ番号を引き渡し、ｎを２以上の整数とし、処理対象物に対してｎ番目に処理を行う処理装置を第ｎ処理装置とすると、第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から処理対象物および装置レシピ番号を受け取るとともに、受け取った装置レシピ番号のうちの第ｎ処理装置用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行い、処理対象物に対する処理が終了すると、第ｎ＋１処理装置に処理対象物および装置レシピ番号を引き渡すことを特徴とする。

本発明の生産システムでは、ホストコンピュータに、複数のホストレシピ番号が記憶され、複数の処理装置のそれぞれに、処理対象物に対する処理装置ごとの処理条件である複数の装置レシピが、複数の装置レシピを識別するための装置レシピ番号と対応付けられて記憶され、プログラマブルロジックコントローラに、複数のホストレシピ番号のそれぞれに対応する複数の処理装置ごとの装置レシピ番号が規定される対応テーブルが記憶されている。また、本発明では、第１処理装置は、ホストコンピュータから受信したホストレシピ番号をプログラマブルロジックコントローラに送信し、このホストレシピ番号に対応する全ての処理装置用の装置レシピ番号をプログラマブルロジックコントローラから受信して、受信した装置レシピ番号のうちの第１処理装置用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行うとともに、第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から処理対象物および装置レシピ番号を受け取り、受け取った装置レシピ番号のうちの第ｎ処理装置用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで処理対象物に対する処理を行っている。

以上のように、本発明の生産システムでは、新たな種類の製品の生産が行われる際や処理対象物の処理条件が変更される際の変更作業を容易に行うことが可能になる。

本発明の実施の形態にかかる生産システムの概略構成を説明するためのブロック図である。図１に示すプログラマブルロジックコントローラに記憶されている対応テーブルを説明するための図である。図１に示す生産システムで処理対象物を処理する際の制御フローの一例を示すフローチャートである。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（生産システムの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる生産システム１の概略構成を説明するためのブロック図である。図２は、図１に示すプログラマブルロジックコントローラ１２に記憶されている対応テーブルＴを説明するための図である。

本形態の生産システム１は、処理対象物に所定の処理を行って複数種類の製品を生産するシステムである。具体的には、本形態の生産システム１は、処理対象物としての基板２に所定の処理を行って、複数種類の半導体を製品として生産するためのシステムである。この生産システム１は、複数の基板２が格納されるキャリア３と、基板２に対して所定の処理を行う複数の処理装置４〜７と、ホストコンピュータ８と、ネットワークを介して処理装置４〜７と接続されるとともにネットワークを介してホストコンピュータ８と接続される中継コンピュータ９とを備えている。本形態の生産システム１は、４個の処理装置４〜７を備えている。

キャリア３には、キャリア３を識別するためのキャリアＩＤが記憶されている。キャリアＩＤは、たとえば、キャリア３に格納される基板２に所定の処理を行うことで生産される製品の種類に応じて製品の種類ごとに設定されている。

処理装置４〜７のそれぞれには、基板２に対する処理装置４〜７ごとの処理条件である複数の装置レシピが記憶されている。また、処理装置４〜７のそれぞれには、記憶される複数の装置レシピを識別するための装置レシピ番号と装置レシピとが対応付けられて記憶されている。たとえば、処理装置４では、４種類の処理条件で基板２に対する処理を行うことが可能になっており、４つの装置レシピのそれぞれが４つの装置レシピ番号Ａ１〜Ａ４（図２参照）のそれぞれと対応付けられて処理装置４に記憶されている。すなわち、処理装置４には、装置レシピ番号Ａ１に対応する装置レシピと、装置レシピ番号Ａ２に対応する装置レシピと、装置レシピ番号Ａ３に対応する装置レシピと、装置レシピ番号Ａ４に対応する装置レシピとの４つの装置レシピが記憶されている。

また、たとえば、処理装置５では、３種類の処理条件で基板２に対する処理を行うことが可能になっており、３つの装置レシピのそれぞれが３つの装置レシピ番号Ｂ１〜Ｂ３（図２参照）のそれぞれと対応付けられて処理装置５に記憶されている。さらに、たとえば、処理装置６では、２種類の処理条件で基板２に対する処理を行うことが可能になっており、２つの装置レシピのそれぞれが２つの装置レシピ番号Ｃ１、Ｃ２（図２参照）のそれぞれと対応付けられて処理装置６に記憶されている。また、たとえば、処理装置７では、５種類の処理条件で基板２に対する処理を行うことが可能になっており、５つの装置レシピのそれぞれが５つの装置レシピ番号Ｄ１〜Ｄ５（図２参照）のそれぞれと対応付けられて処理装置７に記憶されている。

本形態では、処理装置４において、キャリア３に格納された基板２に対する最初の処理が行われ、処理装置５において、処理装置４で処理された後の基板２に対する処理が行われ、処理装置６において、処理装置５で処理された後の基板２に対する処理が行われ、処理装置７において、処理装置６で処理された後の基板２に対する最後の処理が行われる。本形態の処理装置４は、基板２に対して最初に処理を行う第１処理装置であり、処理装置５は、基板２に対して２番目に処理を行う第２処理装置であり、処理装置６は、基板２に対して３番目に処理を行う第３処理装置であり、処理装置７は、基板２に対して４番目に処理を行う第４処理装置である。

ホストコンピュータ８には、複数種類の製品のそれぞれを生産するための基板２の複数の処理条件のそれぞれに対応付けられた複数のホストレシピ番号が記憶されている。たとえば、本形態の生産システム１では、６種類の製品を生産することが可能になっており、基板２の６種類の処理条件のそれぞれに対応付けされた６つのホストレシピ番号００１〜００６（図２参照）がホストコンピュータ８に記憶されている。すなわち、本形態の生産システム１では、ホストレシピ番号００１に対応する処理条件と、ホストレシピ番号００２に対応する処理条件と、ホストレシピ番号００３に対応する処理条件と、ホストレシピ番号００４に対応する処理条件と、ホストレシピ番号００５に対応する処理条件と、ホストレシピ番号００６に対応する処理条件との６種類の処理条件で基板２を処理して、６種類の製品を生産することが可能になっている。また、ホストレシピ番号００１〜００６のそれぞれは、キャリア３に記憶されるキャリアＩＤと１対１で対応付けられている。

中継コンピュータ９は、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）１１と、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）１２とから構成されている。ＰＣ１１は、ネットワークを介して処理装置４〜７と接続されるとともにネットワークを介してホストコンピュータ８と接続されている。ＰＬＣ１２は、ネットワークを介して処理装置４〜７と接続されるとともにネットワークを介してホストコンピュータ８と接続されている。また、ＰＣ１１とＰＬＣ１２とは、ネットワークを介して接続されている。なお、ＰＬＣ１２は、ホストコンピュータ８と接続されていなくても良い。

ＰＬＣ１２には、６つのホストレシピ番号００１〜００６のそれぞれに対応する４個の処理装置４〜７ごとの装置レシピ番号が規定される対応テーブルＴが記憶されている。対応テーブルＴでは、たとえば、ホストレシピ番号００１に対応する４個の処理装置４〜７ごとの装置レシピ番号として装置レシピ番号Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１が規定され、ホストレシピ番号００２に対応する４個の処理装置４〜７ごとの装置レシピ番号として装置レシピ番号Ａ２、Ｂ２、Ｃ２、Ｄ２が規定されている。また、対応テーブルＴでは、たとえば、ホストレシピ番号００３に対応する４個の処理装置４〜７ごとの装置レシピ番号として装置レシピ番号Ａ３、Ｂ３、Ｃ１、Ｄ３が規定され、ホストレシピ番号００４に対応する４個の処理装置４〜７ごとの装置レシピ番号として装置レシピ番号Ａ４、Ｂ１、Ｃ２、Ｄ４が規定され、ホストレシピ番号００５に対応する４個の処理装置４〜７ごとの装置レシピ番号として装置レシピ番号Ａ１、Ｂ２、Ｃ１、Ｄ５が規定され、ホストレシピ番号００６に対応する４個の処理装置４〜７ごとの装置レシピ番号として装置レシピ番号Ａ２、Ｂ３、Ｃ２、Ｄ１が規定されている。

そのため、たとえば、ホストレシピ番号００１に対応する処理条件で基板２が処理される際には、処理装置４では、装置レシピ番号Ａ１に対応する装置レシピで基板２の処理が行われ、処理装置５では、装置レシピ番号Ｂ１に対応する装置レシピで基板２の処理が行われ、処理装置６では、装置レシピ番号Ｃ１に対応する装置レシピで基板２の処理が行われ、処理装置７では、装置レシピ番号Ｄ１に対応する装置レシピで基板２の処理が行われる。また、たとえば、ホストレシピ番号００４に対応する処理条件で基板２が処理される際には、処理装置４では、装置レシピ番号Ａ４に対応する装置レシピで基板２の処理が行われ、処理装置５では、装置レシピ番号Ｂ１に対応する装置レシピで基板２の処理が行われ、処理装置６では、装置レシピ番号Ｃ２に対応する装置レシピで基板２の処理が行われ、処理装置７では、装置レシピ番号Ｄ４に対応する装置レシピで基板２の処理が行われる。

（生産システムの制御方法）
図３は、図１に示す生産システム１で基板２を処理する際の制御フローの一例を示すフローチャートである。

上述のように、生産システム１では、処理装置４において、キャリア３に格納された基板２に対する最初の処理が行われる。図示を省略する搬送機構によって搬送されるキャリア３が第１処理装置である処理装置４に搬入されると（ステップＳ１）、処理装置４は、キャリア３に記憶されたキャリアＩＤを読み取り、読み取ったキャリアＩＤを中継コンピュータ９に送信する（ステップＳ２）。具体的には、ステップＳ２では、処理装置４は、読み取ったキャリアＩＤをＰＣ１１に送信する。また、ステップＳ２では、処理装置４は、キャリア３から基板２を受け取る。キャリアＩＤを受信したＰＣ１１は、受信したキャリアＩＤをホストコンピュータ８に送信する（ステップＳ３）。すなわち、処理装置４は、処理装置４にキャリア３が搬入されると、キャリアＩＤを読み取るとともに、読み取ったキャリアＩＤをＰＣ１１を介してホストコンピュータ８に送信する。

キャリアＩＤを受信したホストコンピュータ８は、受信したキャリアＩＤに対応するホストレシピ番号を選択して、選択したホストレシピ番号をＰＣ１１に送信する（ステップＳ４）。また、ステップＳ４では、ホストコンピュータ８は、受信したキャリアＩＤに対応する基板ＩＤやロットＩＤ等の基板情報を選択して、選択した基板情報をＰＣ１１に送信する。ホストレシピ番号および基板情報を受信したＰＣ１１は、受信したホストレシピ番号および基板情報を処理装置４に送信する（ステップＳ５）。すなわち、キャリアＩＤを受信したホストコンピュータ８は、受信したキャリアＩＤに対応するホストレシピ番号および基板情報をＰＣ１１を介して処理装置４に送信する。たとえば、ホストコンピュータ８は、ホストレシピ番号００１をＰＣ１１を介して処理装置４に送信する。なお、ステップＳ５において、ホストレシピ番号および基板情報を受信したＰＣ１１がこのホストレシピ番号および基板情報をＰＬＣ１２に送信するとともに、ホストレシピ番号および基板情報を受信したＰＬＣ１２がこのホストレシピ番号および基板情報を処理装置４に送信しても良い。

ホストレシピ番号を受信した処理装置４は、受信したホストレシピ番号をＰＬＣ１２に送信する（ステップＳ６）。ホストレシピ番号を受信したＰＬＣ１２は、受信したホストレシピ番号に対応する処理装置４用の装置レシピ番号を対応テーブルＴから取得して（ステップＳ７）、取得した処理装置４用の装置レシピ番号を処理装置４に送信する（ステップＳ８）。たとえば、ＰＬＣ１２がホストレシピ番号００１を受信した場合には、ステップＳ７、Ｓ８において、ＰＬＣ１２は、受信したホストレシピ番号００１に対応する処理装置４用の装置レシピ番号Ａ１を取得して処理装置４に送信する（図２参照）。

装置レシピ番号を受信した処理装置４は、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行う（ステップＳ９）。たとえば、ステップＳ９では、装置レシピ番号Ａ１を受信した処理装置４は、装置レシピ番号Ａ１に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行う。処理装置４での基板２に対する処理が終了すると、処理装置４は、処理終了時に、処理装置４での処理時のプロセス情報をＰＬＣ１２に送信する（ステップＳ１０）。このプロセス情報には、ホストレシピ番号、装置レシピ番号、基板ＩＤおよびロットＩＤ等が含まれている。プロセス情報を受信したＰＬＣ１２は、受信したプロセス情報を記憶するとともにＰＣ１１へ送信する（ステップＳ１１）。プロセス情報を受信したＰＣ１１は、プロセス情報を記憶するとともにホストコンピュータ８へ処理結果を送信する（ステップＳ１２）。

また、処理装置４での基板２に対する処理が終了すると、処理装置４は、処理装置５へ基板２およびホストレシピ番号を引き渡す（ステップＳ１３）。また、ステップＳ１３では、処理装置４は、ホストレシピ番号と一緒に基板情報を処理装置５へ引き渡す。本形態では、たとえば、ホストレシピ番号および基板情報を記憶する記憶部が基板２に設けられており、基板２が引き渡されると、基板２と一緒にホストレシピ番号および基板情報が引き渡される。なお、ホストレシピ番号および基板情報がネットワークを介して処理装置４から処理装置５へ送信されても良い。

基板２およびホストレシピ番号を処理装置５が受け取ると、処理装置５に対して、ステップＳ６〜Ｓ１３と同じステップが実行される。すなわち、ホストレシピ番号を受け取った処理装置５は、受け取ったホストレシピ番号をＰＬＣ１２に送信し、ホストレシピ番号を受信したＰＬＣ１２は、受信したホストレシピ番号に対応する処理装置５用の装置レシピ番号を対応テーブルＴから取得して、取得した処理装置５用の装置レシピ番号を処理装置５に送信する。たとえば、ＰＬＣ１２がホストレシピ番号００１を受信した場合には、ＰＬＣ１２は、受信したホストレシピ番号００１に対応する処理装置５用の装置レシピ番号Ｂ１を取得して処理装置５に送信する（図２参照）。装置レシピ番号を受信した処理装置５は、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行い、処理装置５での基板２に対する処理が終了すると、処理装置５は、処理装置５での処理時のプロセス情報をＰＬＣ１２に送信する。プロセス情報を受信したＰＬＣ１２は、受信したプロセス情報を記憶するとともにＰＣ１１へ送信し、プロセス情報を受信したＰＣ１１は、プロセス情報を記憶するとともにホストコンピュータ８へ処理結果を送信する。

また、処理装置５での基板２に対する処理が終了すると、処理装置５は、処理装置６へ基板２、ホストレシピ番号および基板情報を引き渡す。基板２およびホストレシピ番号を処理装置６が受け取ると、同様に、処理装置６に対して、ステップＳ６〜Ｓ１３と同じステップが実行される。また、処理装置６に対して、ステップＳ６〜Ｓ１３と同じステップが実行されて、基板２およびホストレシピ番号を処理装置７が受け取ると、同様に、処理装置７に対して、ステップＳ６〜Ｓ１３と同じステップが実行されて、基板２に対する処理が完了し、製品が完成する。

すなわち、本形態では、ｎを２以上の整数とし、基板２に対してｎ番目に処理を行う処理装置５〜７を第ｎ処理装置とすると、第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から基板２およびホストレシピ番号を受け取るとともに、受け取ったホストレシピ番号をＰＬＣ１２に送信する。また、第ｎ処理装置からのホストレシピ番号を受信したＰＬＣ１２は、受信したホストレシピ番号に対応する第ｎ処理装置用の装置レシピ番号を第ｎ処理装置に送信し、第ｎ処理装置は、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行い、基板２に対する処理が終了すると、第ｎ＋１処理装置に基板２およびホストレシピ番号を引き渡す。なお、本形態では、ｎは、２から４までの整数である。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、たとえば、ホストコンピュータ８に、６つのホストレシピ番号００１〜００６が記憶され、処理装置４〜７のそれぞれに、基板２に対する処理装置４〜７ごとの処理条件である複数の装置レシピが、複数の装置レシピを識別するための装置レシピ番号と対応付けられて記憶され、ＰＬＣ１２に、６つのホストレシピ番号００１〜００６のそれぞれに対応する４個の処理装置４〜７ごとの装置レシピ番号が規定される対応テーブルＴが記憶されている。また、本形態では、処理装置４は、ホストコンピュータ８から受信したホストレシピ番号をＰＬＣ１２に送信し、このホストレシピ番号に対応する処理装置４用の装置レシピ番号をＰＬＣ１２から受信して、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行い、第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から受け取ったホストレシピ番号をＰＬＣ１２に送信し、このホストレシピ番号に対応する第ｎ処理装置用の装置レシピ番号をＰＬＣ１２から受信して、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行っている。すなわち、本形態では、処理装置４〜７は、ホストレシピ番号をＰＬＣ１２に送信し、このホストレシピ番号に対応する装置レシピ番号をＰＬＣ１２から受信するとともに、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行っている。

そのため、本形態では、新たな種類の製品の生産が行われる場合に、ホストコンピュータ８に新たなホストレシピ番号を追加で記憶するとともに、ＰＬＣ１２に記憶されている対応テーブルＴを変更すれば良い。また、必要に応じて、いくつかの処理装置４〜７に記憶される装置レシピを変更したり、いくつかの処理装置４〜７に新たな装置レシピを追加で記憶すれば良い。また、基板２の処理条件が変更される場合には、ＰＬＣ１２に記憶されている対応テーブルＴを変更するとともに、必要に応じて、いくつかの処理装置４〜７に記憶される装置レシピを変更したり、いくつかの処理装置４〜７に新たな装置レシピを追加で記憶すれば良い。したがって、本形態では、上述の特許文献１に記載の生産システムと比較して、新たな種類の製品の生産が行われる際や基板２の処理条件が変更される際の変更作業を容易に行うことが可能になる。

また、本形態では、対応テーブルＴは、ＰＬＣ１２に記憶され、処理装置４〜７は、ホストレシピ番号をＰＬＣ１２に送信し、ホストレシピ番号を受信したＰＬＣ１２は、受信したホストレシピ番号に対応する装置レシピ番号を処理装置４〜７に送信している。すなわち、本形態では、きわめて信頼性、安定性の高い（すなわち、故障しにくい）ＰＬＣ１２に対応テーブルＴが記憶され、ＰＬＣ１２と処理装置４〜７との間で、ホストレシピ番号と装置レシピ番号との通信を行っている。そのため、本形態では、処理装置４で基板２への最初の処理を開始した後に、ホストコンピュータ８やＰＣ１１が故障しても、処理が開始された基板２に全ての処理を行って、製品を完成させることが可能になる。

（生産システムの制御方法の変形例）
上述した形態では、ホストレシピ番号を受信したＰＬＣ１２は、ステップＳ７において、受信したホストレシピ番号に対応する処理装置４用の装置レシピ番号を対応テーブルＴから取得して、ステップＳ８において、取得した処理装置４用の装置レシピ番号を処理装置４に送信している。この他にもたとえば、ホストレシピ番号を受信したＰＬＣ１２が、ステップＳ７において、受信したホストレシピ番号に対応する全ての処理装置４〜７用の装置レシピ番号を対応テーブルＴから取得して、ステップＳ８において、取得した処理装置４〜７用の装置レシピ番号を処理装置４に送信しても良い。たとえば、ＰＬＣ１２がホストレシピ番号００１を受信した場合には、ＰＬＣ１２は、処理装置４〜７用の装置レシピ番号Ａ１、Ｂ１、Ｃ１、Ｄ１を処理装置４に送信しても良い。

この場合には、処理装置４は、受信した装置レシピ番号のうちの処理装置４用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行い、基板２に対する処理が終了すると、処理装置５に基板２および装置レシピ番号を引き渡す。また、処理装置５は、受け取った装置レシピ番号のうちの処理装置５用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行い、基板２に対する処理が終了すると、処理装置６に基板２および装置レシピ番号を引き渡す。同様に、処理装置６は、受け取った装置レシピ番号のうちの処理装置６用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行って、基板２に対する処理が終了すると、処理装置７に基板２および装置レシピ番号を引き渡し、処理装置７は、受け取った装置レシピ番号のうちの処理装置７用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行う。また、処理装置７において、基板２に対する処理が終了すると、基板２に対する処理が完了して、製品が完成する。

すなわち、この場合には、ｎを２以上の整数とし、基板２に対してｎ番目に処理を行う処理装置５〜７を第ｎ処理装置とすると、第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から基板２および装置レシピ番号を受け取るとともに、受け取ったホストレシピ番号のうちの第ｎ処理装置用の装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行い、基板２に対する処理が終了すると、第ｎ＋１処理装置に基板２および装置レシピ番号を引き渡している。

この変形例においても、上述した形態と同様に、新たな種類の製品の生産が行われる場合に、ホストコンピュータ８に新たなホストレシピ番号を追加で記憶するとともに、ＰＬＣ１２に記憶されている対応テーブルＴを変更すれば良い。また、必要に応じて、いくつかの処理装置４〜７に記憶される装置レシピを変更したり、いくつかの処理装置４〜７に新たな装置レシピを追加で記憶すれば良い。また、基板２の処理条件が変更される場合には、ＰＬＣ１２に記憶されている対応テーブルＴを変更するとともに、必要に応じて、いくつかの処理装置４〜７に記憶される装置レシピを変更したり、いくつかの処理装置４〜７に新たな装置レシピを追加で記憶すれば良い。したがって、上述の特許文献１に記載の生産システムと比較して、新たな種類の製品の生産が行われる際や基板２の処理条件が変更される際の変更作業を容易に行うことが可能になる。

なお、この変形例では、全ての処理装置４〜７用の装置レシピ番号が処理装置４に送信され、全ての処理装置４〜７用の装置レシピ番号が処理装置４〜７の間で受け渡されるため、処理装置４〜７の間のデータの受渡し処理が煩雑になるおそれがある。また、各処理装置４〜７の記憶手段に要求される記憶容量を大きくしなければならないおそれがある。これに対して、上述した形態では、処理装置４〜７の間でホストレシピ番号を受け渡せば良いため、処理装置４〜７の間でのデータの受渡し処理を簡素化することが可能になる。また、各処理装置４〜７の記憶手段に要求される記憶容量を低減することが可能になる。

また、この変形例では、全ての処理装置４〜７用の装置レシピ番号が処理装置４に送信されるため、たとえば、基板２に所定の処理を行って製品の試作を行っているときに、製品の生産工程の途中で生産システム１を停止して、基板２の処理条件を変更する場合の変更作業が煩雑になるが、上述した形態では、処理装置４〜７ごとに、ホストレシピ番号をＰＬＣ１２に送信し、このホストレシピ番号に対応する装置レシピ番号をＰＬＣ１２から受信しているため、たとえば、基板２に所定の処理を行って製品の試作を行っているときに、製品の生産工程の途中で生産システム１を停止して、基板２の処理条件を比較的容易に変更することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、対応テーブルＴは、ＰＬＣ１２に記憶されているが、対応テーブルＴは、ＰＣ１１に記憶されても良い。この場合には、処理装置４〜７は、ホストレシピ番号をＰＣ１１に送信し、このホストレシピ番号に対応する装置レシピ番号をＰＣ１１から受信するとともに、受信した装置レシピ番号に対応する装置レシピで基板２に対する処理を行う。また、この場合には、中継コンピュータ９は、ＰＬＣ１２を備えていなくても良い。また、上述した形態では、処理装置４は、キャリアＩＤをＰＣ１１を介してホストコンピュータ８に送信するとともに、ホストレシピ番号をＰＣ１１を介して受信しているが、処理装置４は、キャリアＩＤをＰＬＣ１２を介してホストコンピュータ８に送信するとともに、ホストレシピ番号をＰＬＣ１２を介して受信しても良い。この場合には、中継コンピュータ９は、ＰＣ１１を備えていなくても良い。

上述した形態では、生産システム１は、基板２に所定の処理を行って、複数種類の半導体を製品として生産するためのシステムであるが、生産システム１は、基板２に所定の処理を行って、液晶パネルや太陽光パネル等を生産するためのシステムであっても良い。また、上述した形態では、生産システム１で処理される処理対象物は基板２であるが、本発明の生産システム１で処理される処理対象物は、基板２以外のものであっても良い。

１生産システム
２基板（処理対象物）
３キャリア
４処理装置（第１処理装置）
５〜７処理装置
８ホストコンピュータ
９中継コンピュータ
１１ＰＣ（パーソナルコンピュータ）
１２ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）
Ｔ対応テーブル

Claims

処理対象物に所定の処理を行って複数種類の製品を生産する生産システムにおいて、
複数種類の前記製品のそれぞれを生産するための前記処理対象物の複数の処理条件のそれぞれに対応付けられた複数のホストレシピ番号が記憶されるホストコンピュータと、前記処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置と、ネットワークを介して前記ホストコンピュータと接続されるとともにネットワークを介して複数の前記処理装置と接続される中継コンピュータと、前記処理対象物が格納されるキャリアとを備え、
前記中継コンピュータは、パーソナルコンピュータと、プログラマブルロジックコントローラとを備え、
前記キャリアには、前記キャリアを識別するためのキャリアＩＤが記憶され、
前記ホストレシピ番号は、前記キャリアＩＤに対応付けられ、
複数の前記処理装置のそれぞれには、前記処理対象物に対する前記処理装置ごとの処理条件である複数の装置レシピが、複数の前記装置レシピを識別するための装置レシピ番号と対応付けられて記憶され、
前記プログラマブルロジックコントローラには、複数の前記ホストレシピ番号のそれぞれに対応する複数の前記処理装置ごとの前記装置レシピ番号が規定される対応テーブルが記憶され、
前記処理対象物に対して最初に処理を行う前記処理装置を第１処理装置とすると、
前記第１処理装置は、前記第１処理装置に前記キャリアが搬入されると、前記キャリアＩＤを読み取るとともに、読み取った前記キャリアＩＤを前記中継コンピュータを介して前記ホストコンピュータに送信し、
前記キャリアＩＤを受信した前記ホストコンピュータは、受信した前記キャリアＩＤに対応する前記ホストレシピ番号を前記中継コンピュータを介して前記第１処理装置に送信し、
前記ホストレシピ番号を受信した前記第１処理装置は、受信した前記ホストレシピ番号を前記プログラマブルロジックコントローラに送信し、
前記ホストレシピ番号を受信した前記プログラマブルロジックコントローラは、受信した前記ホストレシピ番号に対応する前記第１処理装置用の前記装置レシピ番号を前記第１処理装置に送信し、
前記第１処理装置は、受信した前記装置レシピ番号に対応する前記装置レシピで前記処理対象物に対する処理を行い、前記処理対象物に対する処理が終了すると、前記処理対象物に対して２番目に処理を行う前記処理装置に前記処理対象物および前記ホストレシピ番号を引き渡し、
ｎを２以上の整数とし、前記処理対象物に対してｎ番目に処理を行う前記処理装置を第ｎ処理装置とすると、
前記第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から前記処理対象物および前記ホストレシピ番号を受け取るとともに、受け取った前記ホストレシピ番号を前記プログラマブルロジックコントローラに送信し、
前記第ｎ処理装置からの前記ホストレシピ番号を受信した前記プログラマブルロジックコントローラは、受信した前記ホストレシピ番号に対応する前記第ｎ処理装置用の前記装置レシピ番号を前記第ｎ処理装置に送信し、
前記第ｎ処理装置は、受信した前記装置レシピ番号に対応する前記装置レシピで前記処理対象物に対する処理を行い、前記処理対象物に対する処理が終了すると、第ｎ＋１処理装置に前記処理対象物および前記ホストレシピ番号を引き渡すことを特徴とする生産システム。
処理対象物に所定の処理を行って複数種類の製品を生産する生産システムにおいて、
複数種類の前記製品のそれぞれを生産するための前記処理対象物の複数の処理条件のそれぞれに対応付けられた複数のホストレシピ番号が記憶されるホストコンピュータと、前記処理対象物に対して処理を行う複数の処理装置と、ネットワークを介して前記ホストコンピュータと接続されるとともにネットワークを介して複数の前記処理装置と接続される中継コンピュータと、前記処理対象物が格納されるキャリアとを備え、
前記中継コンピュータは、パーソナルコンピュータと、プログラマブルロジックコントローラとを備え、
前記キャリアには、前記キャリアを識別するためのキャリアＩＤが記憶され、
前記ホストレシピ番号は、前記キャリアＩＤに対応付けられ、
複数の前記処理装置のそれぞれには、前記処理対象物に対する前記処理装置ごとの処理条件である複数の装置レシピが、複数の前記装置レシピを識別するための装置レシピ番号と対応付けられて記憶され、
前記プログラマブルロジックコントローラには、複数の前記ホストレシピ番号のそれぞれに対応する複数の前記処理装置ごとの前記装置レシピ番号が規定される対応テーブルが記憶され、
前記処理対象物に対して最初に処理を行う前記処理装置を第１処理装置とすると、
前記第１処理装置は、前記第１処理装置に前記キャリアが搬入されると、前記キャリアＩＤを読み取るとともに、読み取った前記キャリアＩＤを前記中継コンピュータを介して前記ホストコンピュータに送信し、
前記キャリアＩＤを受信した前記ホストコンピュータは、受信した前記キャリアＩＤに対応する前記ホストレシピ番号を前記中継コンピュータを介して前記第１処理装置に送信し、
前記ホストレシピ番号を受信した前記第１処理装置は、受信した前記ホストレシピ番号を前記プログラマブルロジックコントローラに送信し、
前記ホストレシピ番号を受信した前記プログラマブルロジックコントローラは、受信した前記ホストレシピ番号に対応する全ての前記処理装置用の前記装置レシピ番号を前記第１処理装置に送信し、
前記第１処理装置は、受信した前記装置レシピ番号のうちの前記第１処理装置用の前記装置レシピ番号に対応する前記装置レシピで前記処理対象物に対する処理を行い、前記処理対象物に対する処理が終了すると、前記処理対象物に対して２番目に処理を行う前記処理装置に前記処理対象物および前記装置レシピ番号を引き渡し、
ｎを２以上の整数とし、前記処理対象物に対してｎ番目に処理を行う前記処理装置を第ｎ処理装置とすると、
前記第ｎ処理装置は、第ｎ−１処理装置から前記処理対象物および前記装置レシピ番号を受け取るとともに、受け取った前記装置レシピ番号のうちの前記第ｎ処理装置用の前記装置レシピ番号に対応する前記装置レシピで前記処理対象物に対する処理を行い、前記処理対象物に対する処理が終了すると、第ｎ＋１処理装置に前記処理対象物および前記装置レシピ番号を引き渡すことを特徴とする生産システム。