JP2003100586A - 基板処理装置、基板処理システム、基板処理プログラムおよびジョブデータのデータ構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業者による処理レシピの指示誤りによる処
理不良の発生が防止されるとともに作業の効率化が図ら
れる基板処理装置、基板処理システム、基板処理プログ
ラムおよびジョブデータのデータ構造を提供することで
ある。 【解決手段】 各ジョブデータは、ジョブ識別子、キャ
リア識別子、基板識別子およびフローレシピ識別子を含
む。ジョブ識別子には、キャリア識別子、基板識別子お
よびフローレシピ識別子が関連付けられ、キャリア識別
子には基板識別子が関連付けられる。基板を収納したキ
ャリアが搬入されると、そのキャリアに対応するキャリ
ア識別子が制御部により検出され、検出されたキャリア
識別子に基づいて該当するジョブデータが特定され、そ
のジョブデータに含まれるフローレシピ識別子が特定さ
れ、特定されたフローレシピ識別子に関連付けられたフ
ローレシピデータの処理条件に基づいて基板に処理が行
われる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板に所定の処理
を行う処理部を備えた基板処理装置、基板処理システム
および基板処理プログラムおよびジョブデータのデータ
構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基
板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用基板等の
基板の処理工程では、一連の処理を行う複数の処理ユニ
ットを備えた基板処理装置が用いられている。

【０００３】図９は従来の基板処理装置の構成を示す模
式的平面図である。図９に示す従来の基板処理装置は、
レジスト塗布ユニットＳＣ１、現像ユニットＳＤ１，Ｓ
Ｄ２、加熱ユニットＨＰ１〜ＨＰ８，ＨＨ１〜ＨＨ４、
冷却ユニットＣＰ１〜ＣＰ４、基板搬送路ＴＲおよび基
板搬入搬出装置ＩＮＤを含む。基板搬送路ＴＲには、搬
送ロボット（図示せず）が設けられている。

【０００４】従来の基板処理装置では、基板搬入搬出装
置ＩＮＤに基板Ｗの搬入が行われる。そして、基板搬送
路ＴＲに設けられた搬送ロボットにより、処理すべき基
板Ｗが各処理ユニットに搬入および搬出される。レジス
ト塗布ユニットＳＣ１では、基板Ｗに対してレジストが
回転塗布され、現像ユニットＳＤ１，ＳＤ２では、基板
Ｗに対して現像処理が行われる。加熱ユニットＨＰ１〜
ＨＰ８，ＨＨ１〜ＨＨ４では、基板Ｗに対して加熱処理
が行われる。そして、冷却ユニットＣＰ１〜ＣＰ４で
は、基板Ｗに対して冷却処理が行われる。最後に、基板
搬入搬出装置ＩＮＤにより基板Ｗの搬出が行われる。こ
のように、従来の基板処理装置では、基板Ｗに所定の処
理が行われる。

【０００５】作業者は、搬入される基板Ｗに応じて従来
の基板処理装置に設けられているメインコントローラ
（図示せず）を操作して各処理ユニットの処理条件を指
示する。そして、基板処理装置の各処理ユニットが、作
業者により指示された処理条件に基づいて処理を行う。
この作業者により指示される処理条件は、処理レシピに
含まれる。

【０００６】図１０は従来の処理レシピのデータ構造を
示す説明図である。図１０の処理レシピは、９９通りの
フローレシピデータを備える。各フローレシピデータ
は、基板Ｗの搬送順を示す搬送手順番号（「フロー番
号」）と、搬送先の処理ユニットを示す識別データ
（「搬送先ユニットデータ」）および各処理ユニットに
おける処理条件を含む。

【０００７】図１０に示すように、搬送先ユニットデー
タにおいて「ＩＮＤ」は基板搬入搬出装置ＩＮＤを示
し、「ＳＣ１」は回転塗布ユニットＳＣ１を示し、「Ｈ
Ｐ１」は加熱ユニットＨＰ１を示し、「ＣＰ１」は冷却
ユニットＣＰ１を示し、「ＳＤ１」は現像ユニットＳＤ
１を示し、さらに「ＳＤ２」は現像ユニットＳＤ２を示
す。

【０００８】また、フローレシピデータの処理条件は、
基板処理装置の各処理ユニットごとに設定される。例え
ば、回転塗布ユニットＳＣ１の処理条件としては、回転
数、処理時間、薬液の吐出量等が設定される。また、現
像ユニットＳＤ１の処理条件としては、回転数、処理時
間等が設定される。処理条件は、各処理ユニットに設け
られたコントローラ（図示せず）に出力され、この処理
条件に基づいて各処理ユニットで基板処理が行われる。

【０００９】このように、従来の基板処理装置において
は、作業者が、基板Ｗに応じて処理レシピを指示するこ
とにより、搬入された基板Ｗに対して指示された処理レ
シピに従う処理が行われる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、作業者
が、基板Ｗに応じて処理レシピを指示して所定の処理を
行う方法では、作業者によって誤った処理レシピの指示
が行われて不良な基板Ｗが製造されるという問題があ
る。

【００１１】例えば、作業者が基板Ｗに応じて処理レシ
ピを指示する際、基板Ｗに応じていない誤った処理レシ
ピを指示することや、または処理レシピを誤って変更す
ることがある。

【００１２】このような場合、後工程において基板Ｗの
不良が検出されても不良な基板Ｗの処理レシピおよびそ
の処理レシピが保存されていないため、不良な基板Ｗが
製造された原因の追求が困難となり、再度、不良な基板
Ｗを製造する要因となっている。

【００１３】さらに、複数の基板処理装置を保有する場
合においては、一の基板処理装置の処理レシピおよびそ
の処理レシピの処理条件を他の基板処理装置に複製して
も、再度他の基板処理装置に搬入される基板Ｗに応じて
処理レシピを設定しなければならない。この場合、一の
基板処理装置と同じように作業者が誤った処理レシピを
指示する可能性がある。さらに、処理レシピは、膨大な
データ容量となるため複製して他の基板処理装置に読み
込ませるのに膨大な時間がかかる。

【００１４】本発明の目的は、作業者による処理レシピ
の指示誤りによる処理不良の発生が防止されるとともに
作業の効率化が図られる基板処理装置、基板処理システ
ム、基板処理プログラムおよびジョブデータのデータ構
造を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段および発明の効果】本発明
に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う処理部
と、ジョブを識別するジョブ識別子と、基板を収納する
基板収納容器を識別するための容器識別子と、基板収納
容器に収納される基板を識別するための基板識別子と、
処理手順および処理条件を規定する処理レシピとを関連
付けてジョブデータとして記憶する記憶手段と、搬入さ
れる基板収納容器に対応する容器識別子を検出するため
の検出手段と、検出手段により検出された容器識別子に
基づいて記憶手段から該当するジョブデータを読み出し
て処理部に与える制御手段とを備え、処理部は、制御手
段により与えられたジョブデータに含まれる容器識別
子、基板識別子および処理レシピに基づいて基板に処理
を行うものである。

【００１６】本発明に係る基板処理装置においては、ジ
ョブを識別するジョブ識別子と、基板を収納する基板収
納容器を識別するための容器識別子と、基板収納容器に
収納される基板を識別するための基板識別子、処理手順
および処理条件を規定する処理レシピとが関連付けられ
てジョブデータとして記憶手段に記憶される。基板を収
納する基板収納容器が搬入されると、その基板収納容器
に対応する容器識別子が検出手段により検出される。検
出された容器識別子に基づいて制御手段により記憶手段
から該当するジョブデータが読み出され、処理部に与え
られる。それより、処理部において、ジョブデータに含
まれる容器識別子、基板識別子および処理レシピに基づ
いて各基板に処理が行われる。

【００１７】このように、容器識別子に基づいてジョブ
データが特定されるとともに、そのジョブデータに含ま
れる容器識別子、基板識別子および処理レシピが特定さ
れるので、各基板に適切な処理が行われる。したがっ
て、作業者による処理レシピの指示誤りによる処理不良
の発生が防止される。

【００１８】また、ジョブ識別子、容器識別子、基板識
別子および処理レシピが関連付けられて記憶されている
ので、記憶されたジョブデータを容易に再利用すること
ができる。したがって、他の基板に同一の処理を行う場
合に処理レシピを再度指定する必要がない。その結果、
作業の効率化が図られる。

【００１９】第２の発明に係る基板処理装置は、第１の
発明に係る基板処理装置の構成において、処理部は、与
えられたジョブデータに含まれる基板識別子に関連付け
て基板の処理内容を制御手段に与え、制御手段は、処理
部により与えられた基板の処理結果をジョブデータに関
連付けて処理履歴として記憶手段に記憶させるものであ
る。

【００２０】この場合、基板の処理内容が処理部により
ジョブデータに含まれる基板識別子に関連付けられて制
御手段に与えられ、基板の処理結果が制御手段によりジ
ョブデータに関連付けられて処理履歴として記憶手段に
記憶される。それにより、基板ごとの処理履歴をジョブ
単位で追跡することができる。

【００２１】第３の発明に係る基板処理装置は、第１ま
たは第２の発明に係る基板処理装置の構成において、ジ
ョブ識別子に基づいて記憶手段に記憶されたジョブデー
タに関連付けられた処理履歴を参照する履歴参照手段を
さらに備えたものである。

【００２２】この場合、履歴参照手段によってジョブ識
別子に基づいて記憶手段に記憶されたジョブデータに関
連付けられた処理履歴を参照することができる。それに
より、基板ごとの処理履歴を処理の実行中または処理の
実行後にジョブ単位で容易に参照することができる。

【００２３】第４の発明に係る基板処理装置は、第１〜
第３のいずれかの発明に係る基板処理装置の構成におい
て、ジョブ識別子に基づいて記憶手段に記憶されたジョ
ブデータを読み出して修正するジョブデータ修正手段を
さらに備えたものである。

【００２４】この場合、ジョブデータ修正手段によりジ
ョブ識別子に基づいて記憶手段に記憶されたジョブデー
タを読み出して修正することができる。それにより、ジ
ョブデータに含まれる容器識別子または基板識別子を容
易に修正することができるので、ジョブデータを他の基
板の処理に容易に再利用することができる。

【００２５】第５の発明に係る基板処理装置は、第１〜
第４のいずれかの発明に係る基板処理装置の構成におい
て、ジョブ識別子に基づいて記憶手段に記憶されたジョ
ブデータを他の装置に送信するジョブデータ通信手段を
さらに備えたものである。

【００２６】この場合、ジョブデータ通信手段によりジ
ョブ識別子に基づいて記憶手段に記憶されたジョブデー
タを他の装置に送信することができる。それにより、ジ
ョブデータを他の装置において容易に再利用することが
できる。

【００２７】第６の発明に係る基板処理システムは、１
または複数の基板処理装置と、１または複数の基板処理
装置にネットワークで介して接続されるとともに１また
は複数の基板処理装置を統合管理する管理装置と、管理
装置または１または複数の基板処理装置に接続された記
憶手段とを備え、記憶手段は、ジョブを識別するジョブ
識別子と、基板を収納する基板収納容器を識別するため
の容器識別子と、基板収納容器に収納される基板を識別
するための基板識別子、処理手順および処理条件を規定
する処理レシピとを関連付けてジョブデータとして記憶
し、基板処理装置は、基板に所定の処理を行う処理部
と、搬入される基板収納容器に対応する容器識別子を検
出するための検出手段と、検出手段により検出された容
器識別子に基づいて記憶手段から該当するジョブデータ
を読み出して処理部に与える制御手段とを備え、処理部
は、制御手段により与えられたジョブデータに含まれる
容器識別子、基板識別子および処理レシピに基づいて基
板に処理を行うものである。

【００２８】本発明に係る基板処理システムにおいて
は、管理装置により１または複数の基板処理装置が統合
管理される。ジョブを識別するジョブ識別子と、基板を
収納する基板収納容器を識別するための容器識別子と、
基板収納容器に収納される基板を識別するための基板識
別子、処理手順および処理条件を規定する処理レシピと
が関連付けられてジョブデータとして記憶手段に記憶さ
れる。

【００２９】基板処理装置に基板を収納する基板収納容
器が搬入されると、その基板収納容器に対応する容器識
別子が検出手段により検出される。検出された容器識別
子に基づいて制御手段により記憶手段から該当するジョ
ブデータが読み出され、処理部に与えられる。それよ
り、処理部において、ジョブデータに含まれる容器識別
子、基板識別子および処理レシピに基づいて各基板に処
理が行われる。

【００３０】このように、容器識別子に基づいてジョブ
データが特定されるとともに、そのジョブデータに含ま
れる容器識別子、基板識別子および処理レシピが特定さ
れるので、各基板に適切な処理が行われる。したがっ
て、作業者による処理レシピの指示誤りによる処理不良
の発生が防止される。

【００３１】また、ジョブ識別子、容器識別子、基板識
別子および処理レシピが関連付けられて記憶されている
ので、記憶されたジョブデータを容易に再利用すること
ができる。したがって、他の基板に同一の処理を行う場
合に処理レシピを再度指定する必要がない。その結果、
作業の効率化が図られる。

【００３２】第７の発明に係る基板処理プログラムは、
コンピュータ読取可能な基板処理プログラムであって、
ジョブを識別するジョブ識別子と、基板を収納する基板
収納容器を識別するための容器識別子と、基板収納容器
に収納される基板を識別するための基板識別子、処理手
順および処理条件を規定する処理レシピとを関連付けて
ジョブデータとして記憶する処理と、搬入される基板収
納容器に対応する容器識別子を検出する処理と、検出さ
れた容器識別子に基づいて記憶されたジョブデータから
該当するジョブデータを抽出する処理と、抽出されたジ
ョブデータに含まれる容器識別子、基板識別子および処
理レシピに基づいて基板の処理を指示する処理とを、コ
ンピュータに実行させるものである。

【００３３】本発明に係る基板処理プログラムによれ
ば、ジョブを識別するジョブ識別子と、基板を収納する
基板収納容器を識別するための容器識別子と、基板収納
容器に収納される基板を識別するための基板識別子、処
理手順および処理条件を規定する処理レシピとが関連付
けられてジョブデータとして記憶される。基板を収納す
る基板収納容器が搬入されると、その基板収納容器に対
応する容器識別子が検出される。検出された容器識別子
に基づいて記憶されたジョブデータから該当するジョブ
データが抽出される。そして、抽出されたジョブデータ
に含まれる容器識別子、基板識別子および処理レシピに
基づいて各基板に処理が行われる。

【００３４】このように、容器識別子に基づいてジョブ
データが特定されるとともに、そのジョブデータに含ま
れる容器識別子、基板識別子および処理レシピが特定さ
れるので、各基板に適切な処理が行われる。したがっ
て、作業者による処理レシピの指示誤りによる処理不良
の発生が防止される。

【００３５】また、ジョブ識別子、容器識別子、基板識
別子および処理レシピが関連付けられて記憶されている
ので、記憶されたジョブデータを容易に再利用すること
ができる。したがって、他の基板に同一の処理を行う場
合に処理レシピを再度指定する必要がない。その結果、
作業の効率化が図られる。

【００３６】第８の発明に係るジョブデータのデータ構
造は、基板に所定の処理を行う処理部を備えた基板処理
装置の動作を規定するジョブデータのデータ構造であっ
て、ジョブを識別するジョブ識別子と、基板を収納する
基板収納容器を識別するための容器識別子と、基板収納
容器に収納される基板を識別するための基板識別子と、
処理手順および処理条件を規定する処理レシピとを含
み、ジョブ識別子、容器識別子、基板識別子および処理
レシピがジョブごとに相互に関連付けられたものであ
る。

【００３７】本発明に係るジョブデータのデータ構造に
よれば、容器識別子に基づいてジョブデータが特定され
るとともに、そのジョブデータに含まれる容器識別子、
基板識別子および処理レシピが特定される。すなわち、
容器識別子を検出することにより処理レシピが特定され
る。したがって、作業者による処理レシピの指示誤りに
よる処理不良の発生が防止される。

【００３８】また、ジョブ識別子、容器識別子、基板識
別子および処理レシピが関連付けられているので、ジョ
ブデータを容易に再利用することができる。したがっ
て、他の基板に同一の処理を行う場合に処理レシピを再
度指定する必要がない。その結果、作業の効率化が図ら
れる。

【００３９】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
る基板処理装置を備えた基板処理システムの構成を示す
模式図であり、図２は図１の基板処理システムに含まれ
る基板処理装置の一例を示す模式的斜視図である。

【００４０】図１に示すように、基板処理システム１０
１は、ホストコンピュータ１１０および複数の基板処理
装置１１１〜１１６および記憶装置１２０を備える。

【００４１】図１の基板処理システム１０１において
は、ホストコンピュータ１１０、複数の基板処理装置１
１１〜１１６が、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワー
ク）ケーブル１４０により相互に通信可能な状態に接続
されており、各基板処理装置１１１〜１１６の間におい
てローカルエリアネットワークが形成されている。

【００４２】ホストコンピュータ１１０は、ネットワー
ク管理、通信および処理レシピのアップロード／ダウン
ロードなどの転送処理を行う演算部を備え、ホストコン
ピュータ１１０には、磁気ディスクなどの記憶装置１２
０が接続される。

【００４３】また、ホストコンピュータ１１０は、ネッ
トワークサーバ用オペレーションシステムで動作可能な
コンピュータシステムである。後述する基板処理装置１
１１〜１１６は、同様にネットワークステーション用オ
ペレーションシステムで動作するコンピュータシステム
を備えている。

【００４４】なお、本実施の形態においては、ホストコ
ンピュータ１１０および各基板処理装置１１１〜１１６
がＬＡＮケーブル１４０により相互通信可能に接続され
ているとしたが、これに限らず、他のネットワークまた
はメディアなどにより相互通信可能に接続されてもよ
い。

【００４５】次に、図２に示すように、図１の基板処理
システム１０１に含まれる基板処理装置１１１は、処理
領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃを有する。処理領域Ａに
は、基板Ｗに処理液の塗布処理を行う回転式塗布ユニッ
ト（スピンコータ）ＳＣ１および基板Ｗに現像処理を行
う回転式現像ユニット（スピンデベロッパ）ＳＤ１が並
設されている。また、処理領域Ｂには、基板Ｗに加熱処
理を行う加熱ユニット（ホットプレート）ＨＰ１〜ＨＰ
３および基板Ｗに冷却処理を行う冷却ユニット（クーリ
ングプレート）ＣＰ１〜ＣＰ３が複数段に配置されてい
る。

【００４６】搬送領域Ｃには、基板Ｗを搬送する搬送ロ
ボット１０が設けられている。搬送ロボット１０は、処
理領域Ａと処理領域Ｂとの間に配置され、矢印Ｘ方向に
移動可能に形成されている。搬送ロボット１０は、基板
Ｗを保持するアーム１１およびそのアーム１１を進退移
動させるアーム駆動部１２を有している。

【００４７】処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃの一端部
側には、基板Ｗを収納するキャリア２０を支持するとと
もに基板Ｗの搬入および搬出を行う搬入搬出装置（イン
デクサ）ＩＮＤが設けられている。搬入搬出装置ＩＮＤ
は、キャリア２０から基板Ｗの取り出しおよび収納を行
う移載ロボット４０を有している。

【００４８】キャリア２０内の基板Ｗは、移載ロボット
４０および搬送ロボット１０により、各処理ユニットに
搬送されて後述する処理レシピに従い処理が行われる。
そして、処理された基板Ｗは、搬送ロボット１０および
移載ロボット４０によりキャリア２０内に再び収納され
る。

【００４９】図３は図２の基板処理装置１１１の内部構
成の一例を示すブロック図である。図３に示す基板処理
装置１１１は、メインコントローラ部５０、移載ロボッ
ト４０および処理ユニット部３０を備える。

【００５０】メインコントローラ部５０は、演算部（Ｃ
ＰＵ）およびメモリ（ＲＡＭ：ランダムアクセスメモリ
およびＲＯＭ：リードオンリメモリ）を備えた制御部５
１、ハードディスク等の外部記憶装置５２、ディスプレ
イ５３および入力装置５４を有している。また、制御部
５１は、ホストコンピュータ１１０と通信可能なネット
ワークステーション用オペレーションシステムで動作す
るコンピュータシステムを備え、ＬＡＮケーブル１４０
を介してホストコンピュータ１１０に接続されている。

【００５１】処理ユニット部３０は、加熱ユニットＨＰ
１〜ＨＰ３、冷却ユニットＣＰ１〜ＣＰ３、回転式塗布
ユニットＳＣ１、回転式現像ユニットＳＤ１、搬送ロボ
ット１０、加熱ユニットコントローラ（以下、ＨＰコン
トローラと呼ぶ）３１ａ〜３１ｃ、冷却ユニットコント
ローラ（以下、ＣＰコントローラと呼ぶ）３２ａ〜３２
ｃ、回転式塗布ユニットコントローラ（以下、ＳＣコン
トローラと呼ぶ）３３および回転式現像ユニットコント
ローラ（以下、ＳＤコントローラと呼ぶ）３４を有す
る。

【００５２】加熱ユニットＨＰ１〜ＨＰ３には、それぞ
れＨＰコントローラ３１ａ〜３１ｃが設けられ、冷却ユ
ニットＣＰ１〜ＣＰ３には、それぞれＣＰコントローラ
３２ａ〜３２ｃが設けられている。さらに、回転式塗布
ユニットＳＣ１には、ＳＣコントローラ３３が設けら
れ、回転式現像ユニットＳＤ１には、ＳＤコントローラ
３４が設けられている。

【００５３】処理ユニット部３０のＨＰコントローラ３
１ａ〜３１ｃ、ＣＰコントローラ３２ａ〜３２ｃ、ＳＣ
コントローラ３３およびＳＤコントローラ３４は、制御
部５１に相互通信可能に接続されている。制御部５１
は、後述するジョブデータに従って処理ユニット部３０
および移載ロボット４０の動作を制御する。

【００５４】本実施の形態においては、キャリア２０が
基板収納容器に相当し、処理ユニット部３０が処理部に
相当し、制御部５１が制御手段および検出手段に相当
し、外部記憶装置５２および記憶装置１２０が記憶手段
に相当し、ホストコンピュータ１１０が管理装置および
ジョブ通信手段に相当し、制御部５１およびホストコン
ピュータ１１０が履歴参照手段およびジョブデータ修正
手段に相当する。

【００５５】以下、本実施の形態に係る基板処理装置１
１１を用いて予め作成される処理レシピおよびジョブデ
ータについて説明し、予め作成される処理レシピおよび
ジョブデータを用いて基板Ｗに所定の処理を行う場合の
基板処理装置１１１の制御部５１およびホストコンピュ
ータ１１０の動作について説明する。

【００５６】図４は処理レシピのデータ構造を示す説明
図である。処理レシピは、図４（ａ）に示すフローレシ
ピデータ群および図４（ｂ）に示す処理ユニットの種別
ごとに作成された処理条件群を含む。

【００５７】図４（ｂ）の処理条件群は、同種の処理を
行う処理ユニットの処理条件を格納したライブラリ構造
を有している。以下、各処理条件群をそれぞれＳＣライ
ブラリ２、ＳＤライブラリ３、ＨＰライブラリ４および
ＣＰライブラリ５と呼ぶ。

【００５８】例えば、ＳＣライブラリ２は、回転式塗布
ユニットの９９通りの処理条件、例えば回転数、処理時
間、薬液の吐出量等のデータを格納している。ＳＤライ
ブラリ３は、回転式現像ユニットの９９通りの処理条
件、例えば回転数、処理時間等のデータを格納してい
る。さらに、ＨＰライブラリ４およびＣＰライブラリ５
は、それぞれ加熱ユニットおよび冷却ユニットのそれぞ
れ９９通りの処理条件、例えばプレートの温度、処理時
間等のデータを格納している。なお、上記以外の処理ユ
ニットのライブラリも適宜作成される。

【００５９】また、図４（ａ）のフローレシピデータ群
には複数のフローレシピデータが含まれる。各フローレ
シピデータには、フローレシピ識別子１〜９９が関連付
けられる。さらに、各フローレシピデータには、フロー
番号（基板を搬送する順序）に対応した基板Ｗの搬送先
を示す搬送先ユニットデータ（処理ユニットの識別デー
タ）が含まれる。例えば、「ＩＮＤ」は図２の基板搬入
搬出装置ＩＮＤを示し、「ＳＣ１」、「ＨＰ１」および
「ＣＰ１」はそれぞれ回転式塗布ユニットＳＣ１、加熱
ユニットＨＰ１および冷却ユニットＣＰ１を示す。ま
た、搬送先ユニットデータに対応して処理データが規定
されている。この処理データは、搬送先ユニットの処理
条件が格納された処理条件群のライブラリ内の格納位置
を示している。例えば、フローレシピ識別子１のフロー
レシピデータにおいて、搬送先ユニット「ＳＣ１」の処
理データ「ＳＣＬ１」は、ＳＣライブラリ２の１番目の
格納位置に回転式塗布ユニットＳＣ１の処理条件が格納
されていることを示している。

【００６０】次に、基板Ｗが収納されるキャリア２０ご
とにキャリア識別子が付与される。また、キャリア２０
に収納される基板ごとに基板識別子が付与され、キャリ
ア識別子に関連付けられる。例えば、キャリア２０には
複数枚の基板Ｗが収納でき、本実施の形態においてはキ
ャリア２０に基板Ｗを２６段に収納可能であるため、キ
ャリア２０内の基板Ｗに基板識別子０１〜２６が付与さ
れる。またキャリア２０には、例えば１００通りのキャ
リア識別子５００〜５９９が付与される。この場合、キ
ャリア識別子５００〜５９９ごとに、基板識別子０１〜
２６が関連付けられる。例えば、キャリア２０の上から
５段目に収納されている基板Ｗは、基板識別子０５とな
る。キャリア識別子５００〜５９９および基板識別子０
１〜２６は、キャリア２０に添付されているタグに表示
される。

【００６１】次いで、図５はジョブデータの構造の一例
を示す説明図である。図５に示すように、各ジョブデー
タは、ジョブ識別子、キャリア識別子、基板識別子およ
びフローレシピ識別子を含む。ジョブ識別子には、キャ
リア識別子、基板識別子およびフローレシピ識別子が関
連付けられ、キャリア識別子には、基板識別子が関連付
けられる。

【００６２】例えば、ジョブ識別子４００には、キャリ
ア識別子５００〜５０４、基板識別子０１〜２６および
フローレシピ識別子１が関連付けられ、キャリア識別子
５００には、基板識別子０１〜２６が関連付けられる。

【００６３】また、図４の処理レシピおよび図５のジョ
ブデータは、予め作業者が図１のホストコンピュータ１
１０または図３の入力装置５４および制御部５１を用い
て作成している。そして、これらの作成された処理レシ
ピおよびジョブデータは、図１の記憶装置１２０に記憶
される。さらに、図５に示すジョブデータは、図３の外
部記憶装置５２にも記憶される。

【００６４】なお、上記実施の形態においては、処理レ
シピおよびジョブデータを図１の記憶装置１２０に記憶
するとしたが、これに限らず、処理レシピおよびジョブ
データを図３の外部記憶装置５２または基板処理装置１
１１と通信可能な他の記憶装置に記憶させてもよい。

【００６５】図６は基板Ｗに所定の処理を行った後に記
憶装置１２０に記憶されるジョブデータおよび処理履歴
の状態を示す模式図である。

【００６６】図６に示すように、各ジョブデータは、ジ
ョブ識別子、キャリア識別子、基板識別子およびフロー
レシピ識別子を含み、処理履歴は、基板識別子ごとに関
連付けられる。この処理履歴とは、処理ユニット部３０
を通過する基板Ｗの位置および処理ユニット部３０での
処理結果を示す。

【００６７】例えば、図６のジョブ識別子４００には、
キャリア識別子５００〜５０４、基板識別子０１〜２６
およびフローレシピ識別子１が関連付けられており、基
板識別子０１〜２６に処理履歴０１〜２６がそれぞれ関
係付けられる。

【００６８】次いで、図７および図８は基板Ｗに所定の
処理を行う場合の基板処理装置１１１の制御部５１およ
び基板処理システム１０１のホストコンピュータ１１０
の動作を示すフローチャートである。

【００６９】まず、図２の基板処理装置１１１の基板搬
入搬出装置ＩＮＤに未処理の複数の基板Ｗを収納するキ
ャリア２０が搬入される。そして、基板処理装置１１１
の制御部５１は、キャリア２０に添付されたタグを読み
込む（ステップＳ７１）。タグには、キャリア２０に付
与されたキャリア識別子５００〜５９９のいずれか１つ
と基板識別子０１〜２６とが表示されている。

【００７０】次いで、制御部５１は、予め図３の外部記
憶装置５２に記憶されているジョブデータを制御部５１
のメモリ上に読み込む（ステップＳ７２）。なお、本実
施の形態においては、制御部５１は、外部記憶装置５２
に記憶されたジョブデータを読み込むこととしたが、こ
れに限らず、ホストコンピュータ１１０と通信し、記憶
装置１２０に予め記憶されているジョブデータを読み込
んでもよい。

【００７１】次いで、制御部５１は、キャリア２０のタ
グに表示されるキャリア識別子と、読み込んだジョブデ
ータのジョブ識別子に関連付けられるキャリア識別子と
を比較し、キャリア識別子が一致するジョブデータを抽
出する（ステップＳ７３）。

【００７２】例えば、図５に示すように、キャリア２０
のタグにキャリア識別子５００が表示される場合、制御
部５１は、予め外部記憶装置５２に記憶されたジョブデ
ータのキャリア識別子と比較することにより、キャリア
識別子５００を含むジョブデータを抽出する。この場合
のキャリア識別子５００を含むジョブデータはジョブ識
別子４００を含む。

【００７３】ジョブデータが抽出されることにより、そ
のジョブデータに含まれるジョブ識別子に関連付けられ
たフローレシピ識別子が決定する。そして、後述するよ
うにフローレシピ識別子が決定することにより、基板処
理装置１１１に搬入された基板Ｗに対するフローレシピ
データが一義的に決定することとなる。

【００７４】例えば、ジョブ識別子４００を含むジョブ
データが抽出された場合、ジョブ識別子４００に関連付
けられたフローレシピ識別子１が決定し、さらにフロー
レシピ識別子１に関連付けられたフローレシピデータが
一義的に決定する。

【００７５】続いて、制御部５１は、決定したフローレ
シピ識別子に関連付けられたフローレシピデータおよび
フローレシピデータに関連付けられた処理条件を予め図
１の記憶装置１２０に記憶された処理レシピの中から抽
出して読み込む。

【００７６】すなわち、制御部５１は、決定したフロー
レシピ識別子をホストコンピュータ１１０にＬＡＮケー
ブル１４０を介して送信する（ステップＳ７４）。一
方、ホストコンピュータ１１０は、制御部５１により送
信されたフローレシピ識別子を受信し、記憶装置１２０
に予め記憶されたフローレシピデータ群を読み込む（ス
テップＳ７５）。ホストコンピュータ１１０は、フロー
レシピデータ群の各フローレシピデータに関連付けられ
たフローレシピ識別子と、受信したフローレシピ識別子
とを比較する。そして、ホストコンピュータ１１０は、
受信したフローレシピ識別子と一致するフローレシピ識
別子に関連付けられたフローレシピデータを抽出する
（ステップＳ７６）。次いで、ホストコンピュータ１１
０は、読み込んだ処理条件群の中から、抽出されたフロ
ーレシピデータの処理データに対応する処理条件を読み
込む（ステップＳ７７）。

【００７７】そして、ホストコンピュータ１１０は、フ
ローレシピ識別子、抽出されたフローレシピデータおよ
びそのフローレシピデータに対応する処理条件を制御部
５１にＬＡＮケーブル１４０を介して送信する（ステッ
プＳ７８）。

【００７８】制御部５１は、送信されたフローレシピ識
別子、抽出されたフローレシピデータおよびそのフロー
レシピデータに対応する処理条件を受信する（ステップ
Ｓ７９）。そして、制御部５１は、受信したフローレシ
ピ識別子、抽出されたフローレシピデータおよびそのフ
ローレシピデータに対応する処理条件をメモリに記憶す
る（ステップＳ８０）。また、制御部５１は、受信した
フローレシピデータの搬送先ユニットデータに基づい
て、受信した処理条件を処理ユニット部３０のＨＰコン
トローラ３１ａ〜３１ｃ、ＣＰコントローラ３２ａ〜３
２ｃ、ＳＣコントローラ３３およびＳＤコントローラ３
４に送信する（ステップＳ８１）。その後、処理ユニッ
ト部３０において、未処理の基板Ｗの処理が、処理条件
に従って開始される。

【００７９】例えば、制御部５１が、フローレシピ識別
子１に関連付けられたフローレシピデータおよびそのフ
ローレシピデータに対応する処理条件を受信した場合、
抽出されたフローレシピデータの搬送先ユニットデータ
には、「ＩＮＤ」、「ＳＣ１」、「ＨＰ１」および「Ｃ
Ｐ１」が含まれるとする。ここで、制御部５１は、図３
のＳＣコントローラ３３に受信したＳＣライブラリ２の
格納位置ＳＣＬ１の処理条件ａ１，ｂ１，ｃ１を送信
し、ＨＰ１コントローラ３１ａに受信したＨＰライブラ
リ４の格納位置ＨＰＬ１の処理条件ｄ１，ｅ１を送信
し、ＣＰ１コントローラ３２ａに受信したＣＰライブラ
リ５の格納位置ＣＰＬ１の処理条件ｆ１，ｇ１を送信す
る。これにより、ＳＣコントローラ３３が格納位置ＳＣ
Ｌ１の処理条件ａ１，ｂ１，ｃ１を実行させ、ＨＰ１コ
ントローラ３１ａが格納位置ＨＰＬ１の処理条件ｄ１，
ｅ１を実行させ、ＣＰ１コントローラ３２ａが格納位置
ＣＰＬ１の処理条件ｆ１，ｇ１を実行させる。これによ
り、フローレシピ識別子１に関連付けられたフローレシ
ピデータに対応する処理条件に従い基板Ｗの処理が行な
われる。

【００８０】次いで、処理が施された基板Ｗは、移載ロ
ボット４０により基板搬入搬出装置ＩＮＤのキャリア２
０内に再び収納される。一方、処理ユニット部３０のＨ
Ｐコントローラ３１ａ〜３１ｃ、ＣＰコントローラ３２
ａ〜３２ｃ、ＳＣコントローラ３３およびＳＤコントロ
ーラ３４は、処理ユニット部３０を通過する基板Ｗの位
置および処理ユニット部３０での処理結果を基板Ｗごと
に制御部５１に随時送信する。制御部５１は、処理ユニ
ット部３０のＨＰコントローラ３１ａ〜３１ｃ、ＣＰコ
ントローラ３２ａ〜３２ｃ、ＳＣコントローラ３３およ
びＳＤコントローラ３４により送信される処理履歴を随
時受信する（ステップＳ８２）。

【００８１】そして、これらの処理履歴は、外部記憶装
置５２に累積的に記憶される。制御部５１は、処理を施
した基板Ｗがキャリア２０に収納される際、累積的に記
憶された処理履歴を外部記憶装置５２から読み出し、図
６に示すように、基板識別子に関連付ける（ステップＳ
８３）。

【００８２】なお、上記実施の形態においては、処理履
歴が外部記憶装置５２に累積的に記憶されるとしたが、
これに限定されず、基板Ｗの処理中または処理後に処理
履歴がディスプレイ５３に表示されるようにしてもよ
い。

【００８３】次いで、制御部５１は、ジョブ識別子、フ
ローレシピ識別子、キャリア識別子および基板識別子を
含むジョブデータと、その基板識別子に関連付けられた
処理履歴とをホストコンピュータ１１０にＬＡＮケーブ
ル１４０を介して送信する（ステップＳ８４）。

【００８４】一方、ホストコンピュータ１１０は、受信
したジョブ識別子、フローレシピ識別子、キャリア識別
子および基板識別子を含むジョブデータと、その基板識
別子に関連付けられた処理履歴とを記憶装置１２０に送
信する（ステップＳ８５）。記憶装置１２０は、ジョブ
データおよび処理履歴を記憶する。

【００８５】最後に、制御部５１は、ジョブ識別子、フ
ローレシピ識別子、キャリア識別子および基板識別子を
含むジョブデータを外部記憶装置５２に記憶させる（ス
テップＳ８６）。そして、制御部５１は、キャリア識別
子、基板識別子、フローレシピ識別子およびジョブ識別
子を含むジョブデータ、そのフローレシピ識別子に関連
付けられたフローレシピデータ、およびそのフローレシ
ピデータに対応する処理条件を制御部５１のメモリから
消去する（ステップＳ８７）。

【００８６】なお、図１の他の基板処理装置１１２〜１
１６が、基板処理装置１１１と同じ処理条件で処理を実
行したい場合、図１のホストコンピュータ１１０が、記
憶装置１２０に記憶されたジョブ識別子をＬＡＮケーブ
ル１４０を介して他の基板処理装置１１２〜１１６にダ
ウンロードする。

【００８７】また、基板処理装置１１１〜１１６におい
て、、ジョブデータまたは処理レシピを修正する場合、
図１の記憶装置１２０に記憶されているジョブデータま
たは処理レシピを基板処理装置１１１〜１１６にダウン
ロードし、修正したジョブデータまたは処理レシピをＬ
ＡＮケーブル１４０を介して記憶装置１２０にアップロ
ードしてもよい。

【００８８】以上のことにより、記憶装置１２０または
外部記憶装置５２にジョブ識別子、キャリア識別子、基
板識別子および処理レシピ識別子とを含むジョブデータ
が記憶される。基板Ｗを収納するキャリア２０が搬入さ
れると、そのキャリア２０に対応するキャリア識別子お
よび基板識別子が制御部５１により検出される。制御部
５１により検出されたキャリア識別子および基板識別子
に基づいて記憶装置１２０または外部記憶装置５２から
該当するジョブデータが読み出され、処理ユニット部３
０の各コントローラに与えられる。それより、処理ユニ
ット部３０において、ジョブデータに含まれるキャリア
識別子、基板識別子およびフローレシピ識別子に関連付
けられたフローレシピデータの処理条件に基づいて基板
Ｗに処理が行われる。

【００８９】このように、キャリア識別子に基づいてジ
ョブデータが特定されるとともに、そのジョブデータに
含まれるキャリア識別子、基板識別子およびフローレシ
ピ識別子が特定され、フローレシピ識別子に関連付けら
れたフローレシピデータおよびフローレシピデータに対
応する処理条件が特定され、各基板Ｗに適切な処理が行
われる。したがって、作業者による処理レシピの指示誤
りによる処理不良の発生が防止される。

【００９０】また、ジョブ識別子、キャリア識別子、基
板識別子およびフローレシピ識別子が関連付けられて記
憶されているので、記憶されたジョブデータを容易に再
利用することができる。したがって、他の基板Ｗに同一
の処理を行う場合に処理レシピを再度指定する必要がな
い。その結果、作業の効率化が図られる。

【００９１】また、基板Ｗの処理結果が処理ユニット部
３０によりジョブデータに含まれる基板識別子に関連付
けられて制御部５１に与えられ、制御部５１によりジョ
ブデータに関連付けられて処理履歴として記憶装置１２
０に記憶される。それにより、基板Ｗごとの処理履歴を
ジョブ単位で追跡することができる。

【００９２】さらに、制御部５１またはホストコンピュ
ータ１１０によってジョブ識別子に基づいて記憶装置１
２０に記憶されたジョブデータに関連付けられた処理履
歴を参照すること、または、記憶装置１２０および外部
記憶装置５２に記憶されたジョブデータを読み出して修
正することができる。それにより、基板Ｗごとの処理履
歴を処理の実行中または処理の実行後にジョブ単位で容
易に参照すること、または、ジョブデータに含まれるキ
ャリア識別子または基板識別子を容易に修正してジョブ
データを他の基板Ｗの処理に容易に再利用することがで
きる。

【００９３】また、ホストコンピュータ１１０によりジ
ョブ識別子に基づいて記憶装置１２０に記憶されたジョ
ブデータを他の基板処理装置１１２〜１１６に送信する
ことができる。それにより、ジョブデータを他の基板処
理装置１１２〜１１６において容易に再利用することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態に係る基板処理装置を備えた基板
処理システムの構成の一例を示す模式図である。

【図２】図１の基板処理システムに含まれる基板処理装
置の一例を示す模式的斜視図である。

【図３】図２の基板処理装置の内部構成の一例を示すブ
ロック図である。

【図４】処理レシピのデータ構造を示す説明図である。

【図５】ジョブデータの構造の一例を示す説明図であ
る。

【図６】基板に所定の処理を行った後に記憶装置に記憶
されるジョブデータおよび処理履歴の状態を示す模式図
である。

【図７】基板に所定の処理を行う場合の基板処理装置の
制御部および基板処理システムのホストコンピュータの
動作を示すフローチャートである。

【図８】基板に所定の処理を行う場合の基板処理装置の
制御部および基板処理システムのホストコンピュータの
動作を示すフローチャートである。

【図９】従来の基板処理装置の構成を示す模式的平面図
である。

【図１０】従来の処理レシピのデータ構造を示す説明図
である。

【符号の説明】 Ｗ 基板 １０ 搬送ロボット ２０ キャリア ３０ 処理ユニット ４０ 移載ロボット ５０ メインコントローラ ５１ 制御部 ５２ 外部記憶装置 ５３ ディスプレイ ５４ 入力装置 １０１ 基板処理システム １１０ ホストコンピュータ １１１〜１１６ 基板処理装置 １２０ 記憶装置 １４０ ＬＡＮケーブル

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/30 ５０２Ｊ (72)発明者 濱田 哲也 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA01 CA02 CA05 EA16 JA49 MA24 MA26 PA04 5F046 AA28

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に所定の処理を行う処理部と、 ジョブを識別するジョブ識別子と、基板を収納する基板
   収納容器を識別するための容器識別子と、前記基板収納
   容器に収納される基板を識別するための基板識別子と、
   処理手順および処理条件を規定する処理レシピとを関連
   付けてジョブデータとして記憶する記憶手段と、 搬入される基板収納容器に対応する容器識別子を検出す
   るための検出手段と、 前記検出手段により検出された容器識別子に基づいて前
   記記憶手段から該当するジョブデータを読み出して前記
   処理部に与える制御手段とを備え、 前記処理部は、前記制御手段により与えられたジョブデ
   ータに含まれる容器識別子、基板識別子および処理レシ
   ピに基づいて基板に処理を行うことを特徴とする基板処
   理装置。
2. 【請求項２】 前記処理部は、与えられたジョブデータ
   に含まれる基板識別子に関連付けて基板の処理内容を前
   記制御手段に与え、 前記制御手段は、前記処理部により与えられた基板の処
   理結果をジョブデータに関連付けて処理履歴として前記
   記憶手段に記憶させることを特徴とする請求項１記載の
   基板処理装置。
3. 【請求項３】 ジョブ識別子に基づいて前記記憶手段に
   記憶されたジョブデータに関連付けられた処理履歴を参
   照する履歴参照手段をさらに備えたことを特徴とする請
   求項１または２記載の基板処理装置。
4. 【請求項４】 ジョブ識別子に基づいて前記記憶手段に
   記憶されたジョブデータを読み出して修正するジョブデ
   ータ修正手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１
   〜３のいずれかに記載の基板処理装置。
5. 【請求項５】 ジョブ識別子に基づいて前記記憶手段に
   記憶されたジョブデータを他の装置に送信するジョブデ
   ータ通信手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１
   〜４のいずれかに記載の基板処理装置。
6. 【請求項６】 １または複数の基板処理装置と、 前記１または複数の基板処理装置にネットワークで介し
   て接続されるとともに前記１または複数の基板処理装置
   を統合管理する管理装置と、 前記管理装置または前記１または複数の基板処理装置に
   接続された記憶手段とを備え、 前記記憶手段は、ジョブを識別するジョブ識別子と、基
   板を収納する基板収納容器を識別するための容器識別子
   と、前記基板収納容器に収納される基板を識別するため
   の基板識別子、処理手順および処理条件を規定する処理
   レシピとを関連付けてジョブデータとして記憶し、 前記基板処理装置は、 基板に所定の処理を行う処理部と、 搬入される基板収納容器に対応する容器識別子を検出す
   るための検出手段と、 前記検出手段により検出された容器識別子に基づいて前
   記記憶手段から該当するジョブデータを読み出して前記
   処理部に与える制御手段とを備え、 前記処理部は、前記制御手段により与えられたジョブデ
   ータに含まれる容器識別子、基板識別子および処理レシ
   ピに基づいて基板に処理を行うことを特徴とする基板処
   理システム。
7. 【請求項７】 コンピュータ読取可能な基板処理プログ
   ラムであって、 ジョブを識別するジョブ識別子と、基板を収納する基板
   収納容器を識別するための容器識別子と、前記基板収納
   容器に収納される基板を識別するための基板識別子、処
   理手順および処理条件を規定する処理レシピとを関連付
   けてジョブデータとして記憶する処理と、 搬入される基板収納容器に対応する容器識別子を検出す
   る処理と、 前記検出された容器識別子に基づいて前記記憶されたジ
   ョブデータから該当するジョブデータを抽出する処理
   と、 前記抽出されたジョブデータに含まれる容器識別子、基
   板識別子および処理レシピに基づいて基板の処理を指示
   する処理とを、前記コンピュータに実行させることを特
   徴とする基板処理プログラム。
8. 【請求項８】 基板に所定の処理を行う処理部を備えた
   基板処理装置の動作を規定するジョブデータのデータ構
   造であって、 ジョブを識別するジョブ識別子と、 基板を収納する基板収納容器を識別するための容器識別
   子と、 前記基板収納容器に収納される基板を識別するための基
   板識別子と、処理手順および処理条件を規定する処理レ
   シピとを含み、 前記ジョブ識別子、前記容器識別子、前記基板識別子お
   よび前記処理レシピがジョブごとに相互に関連付けられ
   たことを特徴とするジョブデータのデータ構造。