JP2003100585A - 基板処理装置および基板処理プログラム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板の処理において処理レシピの変数の値が
変更できるとともに、処理レシピの変数の値を容易に追
跡することができる基板処理装置および基板処理プログ
ラムを提供することである。 【解決手段】 実行領域には、ジョブデータに基づい
て、ジョブ識別子１に関連付けられたフローレシピ識別
子１、フローレシピデータおよび処理条件群が編集領域
より複写されるとともに、ジョブ識別子１に関連付けら
れたパラメータ識別子１、パラメータデータ群が複写さ
れている。ジョブ識別子１に関連付けられた処理条件群
の各ライブラリには、ジョブ識別子１に関連付けられた
パラメータ識別子１に基づいて実際の値が格納される。
また、ジョブ識別子２に関連付けられた処理条件群の各
ライブラリには、ジョブ識別子２に関連付けられたパラ
メータ識別子２に基づいて実際の値が格納される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板に所定の処理
を行う基板処理装置および基板処理プログラムに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基
板、液晶表示装置用ガラス基板、光ディスク用基板等の
基板の処理工程では、一連の処理を行う複数の処理ユニ
ットを備えた基板処理装置が用いられている。

【０００３】図１２は従来の基板処理装置の構成を示す
模式的平面図である。図１２に示す従来の基板処理装置
は、レジスト塗布ユニットＳＣ１、現像ユニットＳＤ
１，ＳＤ２、加熱ユニットＨＰ１〜ＨＰ８，ＨＨ１〜Ｈ
Ｈ４、冷却ユニットＣＰ１〜ＣＰ４、基板搬送路ＴＲお
よび基板搬入搬出装置ＩＮＤを含む。基板搬送路ＴＲに
は、搬送ロボット（図示せず）が設けられている。

【０００４】従来の基板処理装置では、基板搬入搬出装
置ＩＮＤに基板Ｗの搬入が行われる。そして、基板搬送
路ＴＲに設けられた搬送ロボットにより、処理すべき基
板Ｗが各処理ユニットに搬入および搬出される。レジス
ト塗布ユニットＳＣ１では、基板Ｗに対してレジストが
回転塗布され、現像ユニットＳＤ１，ＳＤ２では、基板
Ｗに対して現像処理が行われる。加熱ユニットＨＰ１〜
ＨＰ８，ＨＨ１〜ＨＨ４では、基板Ｗに対して加熱処理
が行われる。そして、冷却ユニットＣＰ１〜ＣＰ４で
は、基板Ｗに対して冷却処理が行われる。最後に、基板
搬入搬出装置ＩＮＤにより基板Ｗの搬出が行われる。こ
のように、従来の基板処理装置では、基板Ｗに所定の処
理が行われる。

【０００５】作業者は、搬入される基板Ｗに応じて従来
の基板処理装置に設けられているメインコントローラ
（図示せず）を操作して各処理ユニットの処理条件を指
示する。そして、基板処理装置の各処理ユニットが、作
業者により指示された処理条件に基づいて処理を行う。
この作業者により指示される処理条件は、処理レシピに
含まれる。

【０００６】図１３は従来の処理レシピのデータ構造を
示す説明図である。図１３の処理レシピは、９９通りの
フローレシピデータ群を備える。各フローレシピデータ
は、基板Ｗの搬送順を示す搬送手順番号（「フロー番
号」）と、搬送先の処理ユニットを示す識別データ
（「搬送先ユニットデータ」）および各処理ユニットに
おける処理条件を含む。

【０００７】図１３に示すように、搬送先ユニットデー
タにおいて「ＩＮＤ」は基板搬入搬出装置ＩＮＤを示
し、「ＳＣ１」は回転塗布ユニットＳＣ１を示し、「Ｈ
Ｐ１」は加熱ユニットＨＰ１を示し、「ＣＰ１」は冷却
ユニットＣＰ１を示し、「ＳＤ１」は現像ユニットＳＤ
１を示し、さらに「ＳＤ２」は現像ユニットＳＤ２を示
す。

【０００８】また、各フローレシピデータの処理条件
は、基板処理装置の各処理ユニットごとに設定される。
例えば、回転塗布ユニットＳＣ１の処理条件としては、
回転数、処理時間、薬液の吐出量等が設定される。ま
た、現像ユニットＳＤ１の処理条件としては、回転数、
処理時間等が設定される。処理条件は、各処理ユニット
に設けられたコントローラ（図示せず）に出力され、こ
の処理条件に基づいて各処理ユニットで基板処理が行わ
れる。

【０００９】このように、従来の基板処理装置において
は、作業者が、基板Ｗに応じて処理レシピを指示するこ
とにより、搬入された基板Ｗに対して指示された処理レ
シピに従う処理が行われる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
基板処理装置を用いて基板Ｗに所定の処理条件の処理を
施す場合、処理レシピの処理条件を変更して実行するに
は、その変更する処理条件の数の処理レシピを予め作成
して実行しなければならなかった。

【００１１】例えば、複数のジョブを実行しており、予
め希望する処理レシピの処理条件を備えた処理レシピが
作成されていない場合、１の処理レシピの処理条件を変
更すると、１の処理レシピと同一の処理レシピを用いた
他のジョブ全ての処理レシピの処理条件に変更が反映さ
れて、設定した際のジョブの処理条件と異なる処理条件
が実行されてしまう。

【００１２】そのため、１の処理レシピの処理条件を実
行している場合には、同一の処理レシピを用いた他の処
理レシピの処理条件を変更することを禁止しなければな
らなかった。

【００１３】また、予め作成された処理レシピの処理条
件が変更されるたびに書き換えられてしまい、必要な処
理レシピの処理条件が消失するという問題があった。さ
らに、予め作成された処理レシピの処理条件が変更する
たびに書き換えられるため、実行したジョブの処理レシ
ピの処理条件が不明となる問題があった。

【００１４】本発明の目的は、基板の処理において処理
レシピの変数の値が変更できるとともに、基板処理の効
率化および作業の効率化が可能な基板処理装置および基
板処理プログラムを提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段および発明の効果】本発明
に係る基板処理装置は、基板に所定の処理を行う基板処
理装置であって、処理手順を規定するとともに処理条件
を特定するための変数を含む処理レシピを処理レシピ識
別子と関連付けて記憶する第１の記憶手段と、第１の記
憶手段に記憶される処理レシピにおける変数の値を変数
識別子と関連付けて記憶する第２の記憶手段と、ジョブ
を識別するジョブ識別子、処理レシピ識別子および変数
識別子を関連付けて記憶する第３の記憶手段と、第１の
記憶手段に記憶される処理レシピ、第２の記憶手段に記
憶される変数の値および第３の記憶手段に記憶されるジ
ョブ識別子、処理レシピ識別子および変数識別子の関連
付けを編集のために保持する編集用記憶手段と、編集用
記憶手段に保持される処理レシピのうち指定されたジョ
ブ識別子に関連付けられた処理レシピを実行のために保
持する実行用記憶手段と、編集用記憶手段に保持される
処理レシピのうち指定されたジョブ識別子に関連付けら
れた処理レシピを実行用記憶手段に複写するとともに、
ジョブ識別子に関連付けられた変数識別子に基づいて処
理レシピの変数に値を格納する制御手段と、実行用記憶
手段に記憶された処理レシピに従って基板に処理を行う
処理部とを備えたものである。

【００１６】本発明係る基板処理装置においては、処理
手順を規定するとともに処理条件を特定するための変数
を含む処理レシピが処理レシピ識別子と関連付けて記憶
される。また、第１の記憶手段に記憶される処理レシピ
における変数の値が変数識別子と関連付けて第２の記憶
手段に記憶される。さらに、ジョブを識別するジョブ識
別子、処理レシピ識別子および変数識別子が関連付けて
第３の記憶手段に記憶される。

【００１７】処理レシピの編集時には、第１の記憶手段
に記憶される処理レシピ、第２の記憶手段に記憶される
変数の値、および第３の記憶手段に記憶されるジョブ識
別子、処理レシピ識別子および変数識別子の関連付けが
編集用記憶手段に保持される。また、処理レシピの実行
時には、編集用記憶手段に保持される処理レシピのうち
指定されたジョブ識別子に関連付けられた処理レシピが
制御手段により実行用記憶手段に複写されるるととも
に、ジョブ識別子に関連付けられた変数識別子に基づい
て処理レシピの変数に値が格納される。それより、処理
部において実行用記憶手段に記憶された処理レシピに従
って基板に処理が行われる。

【００１８】このように、処理レシピは処理条件を変数
として含み、ジョブ識別子、処理レシピ識別子および変
数識別子が関連付けられているので、変数識別子に関連
付けられて記憶される変数の値を変更することによりジ
ョブごとに処理レシピの値を容易に変更することができ
る。この場合、変数識別子に関連付けられて記憶される
値を変更しても、処理レシピは影響を受けない。

【００１９】また、ジョブごとに異なる変数識別子に関
連付けることにより同じ処理レシピを異なる処理条件で
複数のジョブで使用することができる。

【００２０】さらに、実行用記憶手段に複写された処理
レシピに従って処理部における処理が実行されるので、
処理の実行中に編集用記憶手段に保持された処理レシピ
を編集することができる。また、実行用記憶手段に複数
のジョブ識別子に関連付けられた処理レシピを複写する
ことにより、複数のジョブを連続的に実行することがで
きる。これらの結果、基板処理の効率化および作業の効
率化が図られる。

【００２１】第２の発明に係る基板処理装置は、第１の
発明に係る基板処理装置の構成において、実行用記憶手
段に複写された処理レシピに格納された変数の値を変更
する変更手段と、変更手段により変更された値に基づい
て第２の記憶手段に記憶された変数の値を更新する更新
手段とをさらに備えたものである。

【００２２】この場合、実行用記憶領域に複写された処
理レシピに格納された変数の値を変更することにより、
ジョブの実行中に処理レシピの処理条件を変更すること
ができる。変数の値の変更後には、処理部において変更
後の処理条件で処理が実行される。また、複数のジョブ
の実行中に特定のジョブの処理レシピの処理条件を変更
することができる。さらに、変更された値に基づいて第
２の記憶手段に記憶された変数の値が変更されるので、
以後は変更後の処理条件でジョブを実行することができ
る。

【００２３】第３の発明に係る基板処理装置は、第１ま
たは第２の発明に係る基板処理装置の構成において、実
行用記憶手段に複写された処理レシピに従うジョブの実
行時に、処理レシピに格納された変数の値を変数履歴と
して保存する履歴保存手段をさらに備えたものである。

【００２４】この場合、ジョブの実行時に、処理レシピ
に格納された変数の値が変数履歴として保存されるの
で、ジョブの実行時に使用された処理レシピの変数の値
を容易に追跡することができる。

【００２５】第４の発明に係る基板処理装置は、第１〜
第３のいずれかに係る基板処理装置の構成において、履
歴保存手段により保存された変数履歴に基づいて第２の
記憶手段に記憶された変数の値を修正する修正手段をさ
らに備えたものである。

【００２６】この場合、編集用記憶手段に保持された処
理レシピの編集時に変数履歴として保存された値のうち
適切な値を選択し、第２の記憶手段に記憶された変数の
値を修正することができる。

【００２７】第５の発明に係る基板処理装置は、第１〜
第４のいずれかに係る基板処理装置の構成において、実
行用記憶手段に複写された処理レシピに従うジョブの実
行後に、実行用記憶手段に複写された処理レシピのうち
実行後の処理レシピを削除する削除手段をさらに備えた
ものである。

【００２８】この場合、ジョブの実行後に実行後の処理
レシピが削除されるので、複数のジョブを効率的に実行
することができる。

【００２９】第６の発明に係る基板処理装置は、コンピ
ュータ読取可能な基板処理プログラムであって、処理手
順を規定するとともに処理条件を特定するための変数を
含む処理レシピを処理レシピ識別子と関連付けて記憶す
る処理と、記憶される処理レシピにおける変数の値を変
数識別子と関連付けて記憶する処理と、ジョブを識別す
るジョブ識別子、処理レシピ識別子および変数識別子を
関連付けて記憶する処理と、記憶される処理レシピ、記
憶される変数の値および記憶されるジョブ識別子、処理
レシピ識別子および変数識別子の関連付けを編集のため
に編集用記憶手段に保持する処理と、編集用記憶手段に
保持される処理レシピのうち指定されたジョブ識別子に
関連付けられた処理レシピを実行用記憶手段に複写する
とともに、ジョブ識別子に関連付けられた変数識別子に
基づいて処理レシピの変数に値を格納する処理と、実行
用記憶手段に記憶された処理レシピに従って基板の処理
を制御する処理とを、コンピュータに実行させるもので
ある。

【００３０】本発明係る基板処理プログラムによれば、
処理手順を規定するとともに処理条件を特定するための
変数を含む処理レシピが処理レシピ識別子と関連付けて
記憶される。また、記憶される処理レシピにおける変数
の値が変数識別子と関連付けて記憶される。さらに、ジ
ョブを識別するジョブ識別子、処理レシピ識別子および
変数識別子が関連付けて記憶される。

【００３１】処理レシピの編集時には、記憶される処理
レシピ、記憶される変数の値、および記憶されるジョブ
識別子、処理レシピ識別子および変数識別子の関連付け
が編集用記憶手段に保持される。また、処理レシピの実
行時には、編集用記憶手段に保持される処理レシピのう
ち指定されたジョブ識別子に関連付けられた処理レシピ
が制御処理により実行用記憶手段に複写されるるととも
に、ジョブ識別子に関連付けられた変数識別子に基づい
て処理レシピの変数に値が格納される。それより、処理
部において実行用記憶手段に記憶された処理レシピに従
って基板に処理が行われる。

【００３２】このように、処理レシピは処理条件を変数
として含み、ジョブ識別子、処理レシピ識別子および変
数識別子が関連付けられているので、変数識別子に関連
付けられて記憶される値を変更することによりジョブご
とに処理レシピの値を容易に変更することができる。こ
の場合、変数識別子に関連付けられて記憶される値を変
更しても、処理レシピは影響を受けない。

【００３３】また、ジョブごとに異なる変数識別子に関
連付けることにより同じ処理レシピを異なる処理条件で
複数のジョブで使用することができる。

【００３４】さらに、実行用記憶処理に複写された処理
レシピに従って処理部における処理が実行されるので、
処理の実行中に編集用記憶処理に保持された処理レシピ
を編集することができる。また、実行用記憶処理に複数
のジョブ識別子に関連付けられた処理レシピを複写する
ことにより、複数のジョブを連続的に実行することがで
きる。これらの結果、基板処理の効率化および作業の効
率化が図られる。

【００３５】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
る基板処理装置を備えた基板処理システムの構成を示す
模式図であり、図２は図１の基板処理システムに含まれ
る基板処理装置の一例を示す模式的斜視図である。

【００３６】図１に示すように、基板処理システム１０
１は、ホストコンピュータ１１０および複数の基板処理
装置１１１〜１１６および記憶装置１２０を備える。

【００３７】図１の基板処理システム１０１において
は、ホストコンピュータ１１０および複数の基板処理装
置１１１〜１１６が、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワ
ーク）ケーブル１４０により相互に通信可能な状態に接
続されており、各基板処理装置１１１〜１１６の間にお
いてローカルエリアネットワークが形成されている。

【００３８】ホストコンピュータ１１０は、ネットワー
ク管理、通信および処理レシピのアップロード／ダウン
ロードなどの転送処理を行う演算部を備え、ホストコン
ピュータ１１０には、磁気ディスクなどの記憶装置１２
０が接続される。

【００３９】また、ホストコンピュータ１１０は、ネッ
トワークサーバ用オペレーションシステムで動作可能な
コンピュータシステムである。後述する基板処理装置１
１１〜１１６は、同様にネットワークステーション用オ
ペレーションシステムで動作するコンピュータシステム
を備えている。

【００４０】なお、本実施の形態においては、ホストコ
ンピュータ１１０および各基板処理装置１１１〜１１６
がＬＡＮケーブル１４０により相互通信可能に接続され
ているとしたが、これに限らず、他のネットワークまた
はメディアなどにより相互通信可能に接続されてもよ
い。

【００４１】次に、図２に示すように、図１の基板処理
システム１０１に含まれる基板処理装置１１１は、処理
領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃを有する。処理領域Ａに
は、基板Ｗに処理液の塗布処理を行う回転式塗布ユニッ
ト（スピンコータ）ＳＣ１および基板Ｗに現像処理を行
う回転式現像ユニット（スピンデベロッパ）ＳＤ１が並
設されている。また、処理領域Ｂには、基板Ｗに加熱処
理を行う加熱ユニット（ホットプレート）ＨＰ１〜ＨＰ
３および基板Ｗに冷却処理を行う冷却ユニット（クーリ
ングプレート）ＣＰ１〜ＣＰ３が複数段に配置されてい
る。

【００４２】搬送領域Ｃには、基板Ｗを搬送する搬送ロ
ボット１０が設けられている。搬送ロボット１０は、処
理領域Ａと処理領域Ｂとの間に配置され、矢印Ｘ方向に
移動可能に形成されている。搬送ロボット１０は、基板
Ｗを保持するアーム１１およびそのアーム１１を進退移
動させるアーム駆動部１２を有している。

【００４３】処理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃの一端部
側には、基板Ｗを収納するキャリア２０を支持するとと
もに基板Ｗの搬入および搬出を行う搬入搬出装置（イン
デクサ）ＩＮＤが設けられている。搬入搬出装置ＩＮＤ
は、キャリア２０から基板Ｗの取り出しおよび収納を行
う移載ロボット４０を有している。

【００４４】キャリア２０内の基板Ｗは、移載ロボット
４０および搬送ロボット１０により、各処理ユニットに
搬送されて後述する処理レシピに従い処理が行われる。
そして、処理された基板Ｗは、搬送ロボット１０および
移載ロボット４０によりキャリア２０内に再び収納され
る。

【００４５】図３は図２の基板処理装置１１１の内部構
成の一例を示すブロック図である。図３に示す基板処理
装置１１１は、メインコントローラ部５０、移載ロボッ
ト４０および処理ユニット部３０を備える。

【００４６】メインコントローラ部５０は、演算部（Ｃ
ＰＵ）およびメモリ５５（ＲＡＭ：ランダムアクセスメ
モリ５５およびＲＯＭ：リードオンリメモリ５５）を備
えた制御部５１、ハードディスク等の外部記憶装置５
２、ディスプレイ５３および入力装置５４を有してい
る。また、制御部５１は、ホストコンピュータ１１０と
通信可能なネットワークステーション用オペレーション
システムで動作するコンピュータシステムを備え、ＬＡ
Ｎケーブル１４０を介してホストコンピュータ１１０に
接続されている。外部記憶装置５２には、後述する基板
処理装置のプログラムが記憶される。

【００４７】処理ユニット部３０は、加熱ユニットＨＰ
１〜ＨＰ３、冷却ユニットＣＰ１〜ＣＰ３、回転式塗布
ユニットＳＣ１、回転式現像ユニットＳＤ１、搬送ロボ
ット１０、加熱ユニットコントローラ（以下、ＨＰコン
トローラと呼ぶ）３１ａ〜３１ｃ、冷却ユニットコント
ローラ（以下、ＣＰコントローラと呼ぶ）３２ａ〜３２
ｃ、回転式塗布ユニットコントローラ（以下、ＳＣコン
トローラと呼ぶ）３３および回転式現像ユニットコント
ローラ（以下、ＳＤコントローラと呼ぶ）３４を有す
る。

【００４８】加熱ユニットＨＰ１〜ＨＰ３には、それぞ
れＨＰコントローラ３１ａ〜３１ｃが設けられ、冷却ユ
ニットＣＰ１〜ＣＰ３には、それぞれＣＰコントローラ
３２ａ〜３２ｃが設けられている。さらに、回転式塗布
ユニットＳＣ１には、ＳＣコントローラ３３が設けら
れ、回転式現像ユニットＳＤ１には、ＳＤコントローラ
３４が設けられている。

【００４９】処理ユニット部３０のＨＰコントローラ３
１ａ〜３１ｃ、ＣＰコントローラ３２ａ〜３２ｃ、ＳＣ
コントローラ３３およびＳＤコントローラ３４は、制御
部５１に相互通信可能に接続されている。制御部５１
は、後述するジョブデータに従って処理ユニット部３０
および移載ロボット４０の動作を制御する。

【００５０】以下、本実施の形態に係る基板処理装置１
１１において用いる処理レシピ、パラメータデータおよ
びジョブデータについて説明する。

【００５１】図４は処理レシピのデータ構造を示す説明
図である。処理レシピは、図４（ａ）に示すフローレシ
ピデータ群および図４（ｂ）に示す処理ユニットの種別
ごとに作成された処理条件群を含む。

【００５２】図４（ｂ）の処理条件群は、同種の処理を
行う処理ユニットの処理条件を格納したライブラリ構造
を有している。以下、各処理条件群をそれぞれＳＣライ
ブラリ２、ＨＰライブラリ３およびＣＰライブラリ４と
呼ぶ。

【００５３】例えば、ＳＣライブラリ２は、回転式塗布
ユニットの９９通りの処理条件、例えば回転数等の変数
を格納している。さらに、ＨＰライブラリ３およびＣＰ
ライブラリ４は、それぞれ加熱ユニットおよび冷却ユニ
ットのそれぞれ９９通りの処理条件、例えばプレートの
温度等の変数を格納している。なお、上記以外の処理ユ
ニットのライブラリも適宜作成される。

【００５４】また、図４（ａ）のフローレシピデータ群
には複数のフローレシピデータが含まれる。各フローレ
シピデータには、フローレシピ識別子１〜９９が関連付
けられる。さらに、各フローレシピデータには、フロー
番号（基板を搬送する順序）に対応した基板Ｗの搬送先
を示す搬送先ユニットデータ（処理ユニットの識別デー
タ）が含まれる。例えば、「ＩＮＤ」は図２の基板搬入
搬出装置ＩＮＤを示し、「ＳＣ１」、「ＨＰ１」および
「ＣＰ１」はそれぞれ回転式塗布ユニットＳＣ１、加熱
ユニットＨＰ１および冷却ユニットＣＰ１を示す。ま
た、搬送先ユニットデータに対応して処理データが規定
されている。この処理データは、搬送先ユニットの処理
条件が格納された処理条件群のライブラリ内の格納位置
を示している。例えば、フローレシピ識別子１のフロー
レシピデータにおいて、搬送先ユニット「ＳＣ１」の処
理データ「ＳＣＬ１」は、ＳＣライブラリ２の１番目の
格納位置に回転式塗布ユニットＳＣ１の処理条件が格納
されていることを示している。

【００５５】次いで、図５はパラメータデータの構造の
一例を示す説明図である。図５に示すように、パラメー
タデータ群は、図４の処理条件群に含まれる変数および
実際の値を含む。また、各パラメータデータごとにパラ
メータ識別子が関連付けられる。例えば、パラメータ識
別子１の場合は、回転数を示す変数ａ１の実際の値は１
００であり、温度を示す変数ｂ１の実際の値は５０であ
り、温度を示す変数ｃ１の実際の値は５０である。

【００５６】次いで、図６はジョブデータの構造の一例
を示す説明図である。図６に示すように、各ジョブデー
タは、ジョブ識別子、パラメータ識別子およびフローレ
シピ識別子を含む。ジョブ識別子には、パラメータ識別
子およびフローレシピ識別子が関連付けられる。例え
ば、ジョブ識別子１には、パラメータ識別子１およびフ
ローレシピ識別子１が関連付けられ、ジョブ識別子２に
は、パラメータ識別子２およびフローレシピ識別子１が
関連付けられる。図６の例では、ジョブ識別子１，２に
同じフローレシピ識別子１が関連付けられている。

【００５７】また、図４の処理レシピ、図５のパラメー
タデータおよび図６のジョブデータは、予め作業者が図
１のホストコンピュータ１１０または図３の入力装置５
４および制御部５１を用いて作成している。そして、こ
れらの作成された処理レシピ、パラメータデータおよび
ジョブデータは、図１の記憶装置１２０に記憶される。
さらに、図６に示すジョブデータは、図３の外部記憶装
置５２にも記憶される。

【００５８】なお、上記実施の形態においては、処理レ
シピ、パラメータデータおよびジョブデータを図１の記
憶装置１２０に記憶するとしたが、これに限らず、処理
レシピ、パラメータデータおよびジョブデータを図３の
外部記憶装置５２または基板処理装置１１１と通信可能
な他の記憶装置に記憶させてもよい。

【００５９】次に、図７は制御部５１のメモリの編集領
域および実行領域の状態を示す説明図である。

【００６０】図７に示すように、制御部５１のメモリ５
５は、編集領域５６および実行領域５７を有している。
このメモリ５５の編集領域５６には、ホストコンピュー
タ１１０、記憶装置１２０または外部記憶装置５２より
受信した図４の処理レシピ、図５のパラメータデータお
よび図６のジョブデータが保持される。一方、実行領域
５７には、編集領域５６に記憶される処理レシピのうち
指定されたジョブに対するフローレシピデータおよび処
理条件群が複写されるとともにジョブ識別子に関連付け
られ、さらに図６のジョブデータに含まれるパラメータ
識別子に基づいて各ライブラリの変数に実際の値が格納
される。

【００６１】図８は編集領域５６に保持される処理レシ
ピの一例を示す図である。図８に示すように、編集領域
５６には、全ての処理レシピ、全てのパラメータデータ
および全てのジョブデータが保持される。処理レシピ
は、フローレシピ識別子１に関連付けられたフローレシ
ピデータおよび処理条件群が保持される。処理条件群の
ＳＣライブラリ２、ＨＰライブラリ３およびＣＰライブ
ラリ４には、処理条件として変数ａ１，ｂ１およびｃ１
が格納されている。

【００６２】図９は実行領域にジョブ識別子と関連付け
られて複写された処理レシピの例を示す図である。

【００６３】図９の例では、図６のジョブデータに基づ
いて、ジョブ識別子１に関連付けられたフローレシピ識
別子１、フローレシピデータおよび処理条件群が複写さ
れるとともに、ジョブ識別子１に関連付けられたパラメ
ータ識別子１、パラメータデータ群が複写されている。
ジョブ識別子１に関連付けられた処理条件群の各ライブ
ラリには、ジョブ識別子１に関連付けられた図５のパラ
メータ識別子１に基づいて実際の値が格納される。ま
た、ジョブ識別子２に関連付けられた処理条件群の各ラ
イブラリには、ジョブ識別子２に関連付けられた図５の
パラメータ識別子２に基づいて実際の値が格納される。

【００６４】本実施の形態においては、編集領域５６が
編集用記憶手段に相当し、実行領域５７が実行用記憶手
段に相当し、パラメータ識別子が変数識別子に相当し、
記憶装置１２０および外部記憶装置５２が第１の記憶手
段、第２の記憶手段および第３の記憶装置に相当し、処
理ユニット部３０が処理部に相当し、制御部５１が修正
手段、変更手段および更新手段に相当する。

【００６５】次いで、図１０および図１１は基板Ｗに所
定の処理を行う場合の制御部５１の動作を示すフローチ
ャートである。制御部５１は、外部記憶装置５２に記憶
される基板処理プログラムに従って動作する。

【００６６】まず、制御部５１は、図３の外部記憶装置
５２に予め記憶されているジョブデータを編集領域５６
に読み込む（ステップＳ１０）。

【００６７】次いで、制御部５１は、図１のホストコン
ピュータ１１０と通信し、記憶装置１２０に予め記憶さ
れているフローレシピ識別子、フローレシピデータ群お
よび処理条件群と、パラメータ識別子およびパラメータ
データ群とを編集領域５６に読み込む（ステップＳ１
１）。

【００６８】なお、本実施の形態においては、制御部５
１は、外部記憶装置５２に記憶されたジョブデータを受
信することとしたが、これに限らず、ホストコンピュー
タ１１０と通信し、記憶装置１２０に予め記憶されてい
るジョブデータを受信してもよい。

【００６９】次に、図２の基板処理装置１１１の基板搬
入搬出装置ＩＮＤに未処理の複数の基板Ｗを収納するキ
ャリア２０が搬入され、作業者が実行すべきジョブデー
タに関連付けられたジョブ識別子を指定する。

【００７０】制御部５１は、作業者によって指定された
ジョブ識別子を認識する（ステップＳ１２）。そして、
制御部５１は、作業者によって指定されたジョブ識別子
と関連付けられた編集領域のフローレシピ識別子のフロ
ーレシピデータの複写を作成する（ステップＳ１３）。
この場合、制御部５１は、複写されたフローレシピデー
タの処理条件に実際の値を格納し、実行領域に送信する
（ステップＳ１４）。

【００７１】そして、制御部５１は、実行領域５７に複
写された処理レシピのフローレシピデータを処理ユニッ
ト部３０に送信する（ステップＳ１５）。処理ユニット
部３０の各コントローラは、制御部５１により送信され
るフローレシピデータの処理条件に基づいて処理を実行
する。

【００７２】次いで、処理が施された基板Ｗは、移載ロ
ボット４０により基板搬入搬出装置ＩＮＤのキャリア２
０内に再び収納される。一方、処理ユニット部３０のＨ
Ｐコントローラ３１ａ〜３１ｃ、ＣＰコントローラ３２
ａ〜３２ｃ、ＳＣコントローラ３３およびＳＤコントロ
ーラ３４は、処理ユニット部３０を通過する基板Ｗの位
置、処理の終了時刻および処理ユニット部３０での処理
結果を基板Ｗごとに制御部５１に随時送信する。制御部
５１は、処理ユニット部３０のＨＰコントローラ３１ａ
〜３１ｃ、ＣＰコントローラ３２ａ〜３２ｃ、ＳＣコン
トローラ３３およびＳＤコントローラ３４により送信さ
れる処理結果を随時受信する（ステップＳ１６）。

【００７３】制御部５１は、受信した処理結果に、フロ
ーレシピデータを実行した日時および実行したジョブ識
別子を付して外部記憶装置５２または記憶装置１２０に
記憶させる(ステップＳ１７）。

【００７４】次いで、制御部５１は、パラメータ変更信
号を受信したか否かを判定する（ステップＳ１８）。こ
のパラメータ変更信号とは、現在処理しているジョブの
処理レシピの処理条件の変数に格納されている実際の値
を変更したい場合、作業者が、入力部５４を操作して制
御部５１に送信されるものである。

【００７５】制御部５１がパラメータ変更信号を受信し
ていない場合、図２の基板処理装置１１１の基板搬入搬
出装置ＩＮＤに未処理の複数の基板Ｗを収納するキャリ
ア２０が搬入されたか否かを判定し（ステップＳ２
３）、搬入された場合には、制御部５１が、ステップＳ
１５に戻り処理を繰り返す。搬入されない場合には、終
了する。

【００７６】一方、制御部５１がパラメータ変更信号を
受信した場合、制御部５１は、ディスプレイ５３に現在
のジョブのパラメータ識別子、パラメータデータ群の変
数および実際の値を表示する（ステップＳ１９）。そし
て、作業者は、ディスプレイ５３に表示された実際の値
を希望する値に変更する。例えば、現在処理しているジ
ョブが、ジョブ識別子１のジョブデータであり、ジョブ
データ１に関連付けられたパラメータ識別子１の変数ａ
１，ｂ１およびｃ１のうち変数ａ１の実際の値１００を
実際の値１５０に変更した場合、現在のジョブの処理条
件の変数ａ１に実際の値１５０が格納される。

【００７７】そして、制御部５１は、変更されたパラメ
ータデータ群の変数の実際の値を認識する（ステップＳ
２０）。また、制御部５１は、変更されたパラメータデ
ータ群の変数の実際の値を編集領域５６に送信する（ス
テップＳ２１）。ここで、制御部５１は、変更されたパ
ラメータデータ群の変数の実際の値を外部記憶装置５２
および記憶装置１２０に記憶されたパラメータデータに
反映する（ステップＳ２２）。そして、ステップＳ１８
に戻り処理を行う。

【００７８】作業者は、実行領域５７のフローレシピデ
ータに従って基板の処理が実行されている間にも、編集
領域５６に保持されたジョブデータ、フローレシピデー
タおよびパラメータデータを随時編集することができ
る。また、ジョブの実行後には、実行領域５７から実行
後のフローレシピデータが削除される。

【００７９】なお、制御部５１は、ステップＳ１５の処
理ユニット部３０の各コントローラに処理条件に格納さ
れた実際の値を送信した後、次に図２の基板処理装置１
１１の基板搬入搬出装置ＩＮＤに搬入される未処理の複
数の基板Ｗに対して、図９のジョブ識別子２のジョブデ
ータを実行領域５７に移行して所定の処理を行う。

【００８０】また、実行領域５７のステップＳ１６〜Ｓ
１７の処理の間に編集領域５６において、新たなジョブ
データを作成することができる。

【００８１】さらに、制御部５１は、実行領域５７にお
いて変数の実際の値が変更された場合に、変更された年
月日、時間および変更した変数の実際の値を外部記憶装
置５２またはＬＡＮケーブル、ホストコンピュータ１１
０を介して記憶装置１２０に履歴として記憶させる。

【００８２】このように、フローレシピデータは処理条
件を変数として含み、ジョブ識別子、フローレシピ識別
子およびパラメータ識別子が関連付けられているので、
パラメータ識別子に関連付けられて記憶される実際の値
を変更することによりジョブごとにフローレシピデータ
の処理条件の実際の値を容易に変更することができる。
この場合、実行領域５７に複写されたフローレシピデー
タに格納された変数の値を変更することにより、ジョブ
の実行中にフローレシピデータの処理条件を変更するこ
とができる。また、変数の値の変更後には、処理ユニッ
ト部３０において変更後の処理条件で処理が実行され
る。

【００８３】さらに、フローレシピデータをジョブごと
に異なるパラメータ識別子に関連付けることにより同じ
フローレシピデータを異なる処理条件で複数のジョブに
おいて使用することができるため、複数のジョブの実行
中に特定のジョブのフローレシピデータの処理条件を変
更することができる。また、変更された値に基づいて記
憶装置１２０または外部記憶装置５２に記憶された変数
の値が変更されるので、以後は変更後の処理条件でジョ
ブを実行することができる。

【００８４】さらに、ジョブの実行後に実行後のフロー
レシピデータが削除されるので、複数のジョブを効率的
に実行することができる。また、実行領域５７に複写さ
れたフローレシピデータに従って処理ユニット部３０に
おける処理が実行されるので、処理の実行中に編集領域
５６に保持されたフローレシピデータを編集することが
できる。さらに、実行領域５７に複数のジョブ識別子に
関連付けられたフローレシピデータを複写することによ
り、複数のジョブを連続的に実行することができる。こ
れらの結果、基板処理の効率化および作業の効率化が図
られる。

【００８５】また、ジョブの実行時に、フローレシピデ
ータに格納された変数の値が履歴として保存されるの
で、ジョブの実行時に使用されたフローレシピデータの
変数の値を容易に追跡することができる。また、編集領
域５６に保持されたフローレシピデータの編集時に、履
歴として保存された値のうち適切な値を選択し、外部記
憶装置５２および記憶装置１２０に記憶された変数の値
を修正することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態に係る基板処理装置を備えた基板
処理システムの構成の一例を示す模式図である。

【図２】図１の基板処理システムに含まれる基板処理装
置の一例を示す模式的斜視図である。

【図３】図２の基板処理装置の内部構成の一例を示すブ
ロック図である。

【図４】処理レシピのデータ構造を示す説明図である。

【図５】パラメータデータの構造の一例を示す説明図で
ある。

【図６】図６はジョブデータの構造の一例を示す説明図
である。

【図７】制御部のメモリの編集領域および実行領域の状
態を示す説明図である。

【図８】編集領域に保持される処理レシピの一例を示す
図である。

【図９】実行領域にジョブ識別子と関連付けられて複写
された処理レシピの例を示す図である。

【図１０】基板に所定の処理を行う場合の制御部の動作
を示すフローチャートである。

【図１１】基板に所定の処理を行う場合の制御部の動作
を示すフローチャートである。

【図１２】従来の基板処理装置の構成を示す模式的平面
図である。

【図１３】従来の処理レシピのデータ構造を示す説明図
である。

【符号の説明】

Ｗ 基板 １０ 搬送ロボット ２０ キャリア ３０ 処理ユニット ４０ 移載ロボット ５０ メインコントローラ ５１ 制御部 ５２ 外部記憶装置 ５３ ディスプレイ ５４ 入力装置 １０１ 基板処理システム １１０ ホストコンピュータ １１１〜１１６ 基板処理装置 １２０ 記憶装置 １４０ ＬＡＮケーブル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱田 哲也 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 5F046 AA28

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板に所定の処理を行う基板処理装置で
   あって、 処理手順を規定するとともに処理条件を特定するための
   変数を含む処理レシピを処理レシピ識別子と関連付けて
   記憶する第１の記憶手段と、 前記第１の記憶手段に記憶される処理レシピにおける変
   数の値を変数識別子と関連付けて記憶する第２の記憶手
   段と、 ジョブを識別するジョブ識別子、処理レシピ識別子およ
   び変数識別子を関連付けて記憶する第３の記憶手段と、 前記第１の記憶手段に記憶される処理レシピ、前記第２
   の記憶手段に記憶される変数の値および前記第３の記憶
   手段に記憶されるジョブ識別子、処理レシピ識別子およ
   び変数識別子の関連付けを編集のために保持する編集用
   記憶手段と、 前記編集用記憶手段に保持される処理レシピのうち指定
   されたジョブ識別子に関連付けられた処理レシピを実行
   のために保持する実行用記憶手段と、 前記編集用記憶手段に保持される処理レシピのうち指定
   されたジョブ識別子に関連付けられた処理レシピを実行
   用記憶手段に複写するとともに、前記ジョブ識別子に関
   連付けられた変数識別子に基づいて前記処理レシピの変
   数に値を格納する制御手段と、 前記実行用記憶手段に記憶された処理レシピに従って基
   板に処理を行う処理部とを備えたことを特徴とする基板
   処理装置。
2. 【請求項２】 前記実行用記憶手段に複写された処理レ
   シピに格納された変数の値を変更する変更手段と、 前記変更手段により変更された値に基づいて前記第２の
   記憶手段に記憶された変数の値を更新する更新手段とを
   さらに備えたことを特徴とする請求項１記載の基板処理
   装置。
3. 【請求項３】 前記実行用記憶手段に複写された処理レ
   シピに従うジョブの実行時に、前記処理レシピに格納さ
   れた変数の値を変数履歴として保存する履歴保存手段を
   さらに備えたことを特徴とする請求項１または２記載の
   基板処理装置。
4. 【請求項４】 前記履歴保存手段により保存された変数
   履歴に基づいて第２の記憶手段に記憶された値を修正す
   る修正手段をさらに備えたことを特徴とする請求項３記
   載の基板処理装置。
5. 【請求項５】 前記実行用記憶手段に複写された処理レ
   シピに従うジョブの実行後に、前記実行用記憶手段に複
   写された処理レシピのうち実行後の処理レシピを削除す
   る削除手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜
   ４のいずれかに記載の基板処理装置。
6. 【請求項６】 コンピュータ読取可能な基板処理プログ
   ラムであって、 処理手順を規定するとともに処理条件を特定するための
   変数を含む処理レシピを処理レシピ識別子と関連付けて
   記憶する処理と、 前記記憶される処理レシピにおける変数の値を変数識別
   子と関連付けて記憶する処理と、 ジョブを識別するジョブ識別子、処理レシピ識別子およ
   び変数識別子を関連付けて記憶する処理と、 前記記憶される処理レシピ、前記記憶される変数の値お
   よび前記記憶されるジョブ識別子、処理レシピ識別子お
   よび変数識別子の関連付けを編集のために編集用記憶手
   段に保持する処理と、 前記編集用記憶手段に保持される処理レシピのうち指定
   されたジョブ識別子に関連付けられた処理レシピを実行
   用記憶手段に複写するとともに、前記ジョブ識別子に関
   連付けられた変数識別子に基づいて前記処理レシピの変
   数に値を格納する処理と、 前記実行用記憶手段に記憶された処理レシピに従って基
   板の処理を制御する処理とを、前記コンピュータに実行
   させることを特徴とする基板処理プログラム。