JP2006040930A - 自動レシピ作成装置及び作成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 レシピ作成に必要な情報を共有でき、レシピ作成時の入力作業量を削減可能な自動レシピ作成装置及び作成方法を提供する。
【解決手段】 製品の製造に用いる製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのレシピを作成する自動レシピ作成装置１ａであって、製品ごとに設定される製品情報と、製品に適用される製造工程ごとに設定されるプロセス情報とをマージして、レシピ中間データを作成するデータマージ部１１と、レシピ中間データの情報と、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎの動作をそれぞれ規定するパラメータについて製造工程で共通に設定される情報を記述したベースレシピの情報とをマージして、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎごとにレシピを作成するレシピ作成部１２とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、製品の製造に使用されるレシピの作成方法に係り、特に自動レシピ作成装置及び作成方法に関する。

製品の製造に用いられる製造装置について、製造工程ごとに製造装置の動作を規定するパラメータが設定される。このパラメータの集合を、以下において「レシピ」という。そして、レシピに基づいてパラメータが設定された製造装置を使用して、製品が製造される（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１で開示された方法では、製造工程ごとに使用される複数の製造装置について、多数のパラメータが設定されてレシピは作成される。又、同一製造工程に使用される製造装置であっても、製造装置の製造会社や機種が異なる場合は、製造装置ごとにパラメータの種類や、パラメータの設定で使用する座標や単位系が異なることが多い。そのため、それぞれの製造装置についてレシピを作成する必要がある。その結果、レシピ作成のためのパラメータの入力に時間がかかる、及び入力ミスが生じる等の問題が発生している。レシピの情報の入力にミスがあると、不適切なパラメータの設定で製品が製造されてしまい、所望の特性が得られない。

一方、製品の特性改善や歩留まり向上のためにレシピの変更が行われる。しかし、製造装置の担当者が異なる場合等は、同一機種の製造装置であっても、製造装置ごとにレシピが変更される。そして、変更された情報やノウハウが共有されないため、レシピ変更の効果が、他の同一機種の製造装置のレシピに反映されない。更に、新規に開発する製品用のレシピを作成する場合に、変更された情報を利用できないという問題があった。
特開平０５−２８３３０８号公報

本発明は、レシピ作成に必要な情報を共有でき、レシピ作成時の入力作業量を削減可能な自動レシピ作成装置及び作成方法を提供する。

本発明の第１の特徴は、製品の製造に用いる複数の製造装置のレシピを作成する自動レシピ作成装置であって、（イ）製品ごとに設定される製品情報と、製品に適用される複数の製造工程ごとに設定されるプロセス情報とをマージして、レシピ中間データを作成するデータマージ部と、（ロ）レシピ中間データの情報と、複数の製造装置の動作をそれぞれ規定する複数のパラメータについて製造工程で共通に設定される情報を記述したベースレシピの情報とをマージして、複数の製造装置ごとにレシピを作成するレシピ作成部とを備える自動レシピ作成装置であることを要旨とする。

本発明の第２の特徴は、製品の製造に用いる複数の製造装置のレシピを作成する自動レシピ作成方法であって、（イ）データマージ部が、製品ごとに設定される製品情報と、製品に適用される複数の製造工程ごとに設定されるプロセス情報とをマージして、レシピ中間データを作成するステップと、（ロ）レシピ作成部が、レシピ中間データの情報と、複数の製造装置の動作をそれぞれ規定する複数のパラメータについて製造工程で共通に設定される情報を記述したベースレシピの情報とをマージして、複数の製造装置ごとにレシピを作成するステップとを含む自動レシピ作成方法であることを要旨とする。

本発明によれば、レシピ作成に必要な情報を共有でき、レシピ作成時の入力作業量を削減可能な自動レシピ作成装置及び作成方法を提供することができる。

次に、図面を参照して、本発明の第１乃至第３の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。また、以下に示す第１乃至第３の実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成部品の構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の技術的思想は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置は、図１に示すように、製品の製造に用いる複数の製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのレシピを作成する自動レシピ作成装置１ａであって（ｎ：２以上の整数）、処理装置１０、記憶装置２０、データベース部３０、入力装置４０、出力装置５０を備える。

処理装置１０は、製品ごとに設定される製品情報と、製品に適用される複数の製造工程ごとに設定されるプロセス情報とをマージして、レシピ中間データを作成するデータマージ部１１と、レシピ中間データの情報と、複数の製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎの動作をそれぞれ規定する複数のパラメータについて複数の製造工程で共通に設定される情報を記述したベースレシピの情報とをマージして、複数の製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎごとにレシピを作成するレシピ作成部１２とを備える。更に、処理装置１０は、プロセス情報データベース３１、製品情報データベース３２及びベースレシピ対応データベース３３に格納された情報から、変更を行う情報を抽出する抽出部１３を備える。「レシピ中間データ」は、製品及び製造工程ごとに設定される、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎの動作をそれぞれ規定する複数のパラメータの情報の集合である。したがって、レシピ中間データは、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのレシピ作成に必要な情報である。

記憶装置２０は、製品名記憶領域２０１、製品情報記憶領域２０２、プロセス情報記憶領域２０３、データ記憶領域２０４、ベースレシピ記憶領域２０５、抽出パラメータ記憶領域２０６、更新プロセス記憶領域２０７、更新ベースレシピ記憶領域２０８を備える。

製品名記憶領域２０１には、レシピ中間データを作成する製品の製品名が格納される。製品情報記憶領域２０２には、レシピ中間データを作成する製品の製品情報が格納される。プロセス情報記憶領域２０３には、レシピ中間データを作成する製品に適用される工程のプロセス情報が格納される。データ記憶領域２０４には、レシピ作成に必要なデータが格納される。ベースレシピ記憶領域２０５には、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのベースレシピが格納される。抽出パラメータ記憶領域２０６には、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのレシピ中間データから抽出されるパラメータが格納される。更新プロセス記憶領域２０７には、更新された製造工程の製造工程名が格納される。更新ベースレシピ記憶領域２０８には、更新されたベースレシピのベースレシピ名が格納される。

更に、データベース部３０は、プロセス情報データベース３１、製品情報データベース３２、ベースレシピ対応データベース３３、レシピ中間データベース３４、データマージログデータベース３５を備える。

プロセス情報データベース３１は、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎの動作をそれぞれ規定する複数のパラメータの、製造工程ごとに設定されるプロセス情報を格納する記憶装置である。又、プロセス情報は、製品に適用される設計ルールに対応する製造条件（以下において、「プロセス条件」という。）等を含む。同一製造工程で同一機種の製造装置を使用する場合でも、例えば０．１μｍ設計ルールのプロセス条件で製造される製品と、０．５μｍ設計ルールのプロセス条件で製造される製品では、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのパラメータの設定が異なる場合がある。そのため、製品に適用されるプロセス条件がプロセス情報の１つとしてプロセス情報データベース３１に格納される。図２に、プロセス情報データベース３１に格納される情報の例を示す。図２は、プロセス条件α、製造工程Ａにおける、図１に示す製造装置１０１の設定条件の例を示している。図２において、例えば製造装置１０１が露光装置である場合、パラメータ１〜５はアライメントマークレイヤー、アライメント方式、フォーカスセンサ、及び光量等である。

製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのうち少なくとも２台で共通のパラメータは、プロセス情報データベース３１に１つのパラメータとして格納される。図３は、図１に示す製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのうち、製造装置１０１〜１０３の設定が必要なパラメータの例を示している。図３では、設定の必要なパラメータを丸印で示す。即ち、製造装置１０１は、パラメータ１、２、３を設定することが必要である。又、製造装置１０２は、パラメータ１、３、４を設定することが必要であり、製造装置１０３は、パラメータ１、４、５を設定することが必要である。したがって、製造装置１０１〜１０３で共通のパラメータは、パラメータ１、４である。そのため、製造装置１０１〜１０３のそれぞれの設定に必要なパラメータ１の情報は、１つの情報にまとめられて、プロセス情報データベース３１に格納される。パラメータ１と同様に、製造装置１０１〜１０３のそれぞれの設定に必要なパラメータ４の情報は、１つの情報にまとめられて、プロセス情報データベース３１に格納される。

ただし、上記の共通のパラメータは、パラメータの情報の単位及び座標系が統一されてプロセス情報データベース３１に格納される。例えば、パラメータ１において製造装置１０１〜１０３によって使用される単位が異なる場合は、共通の単位に換算して、パラメータ１の情報がプロセス情報データベース３１に格納される。更に、例えば製造装置１０１及び１０３ではチップ中心を原点として座標が設定され、製造装置１０２ではチップのコーナー部を原点として座標が設定される等、製造装置１０１〜１０３によってパラメータ１で使用する座標系が異なる場合は、座標系の統一を行う。即ち、例えばチップのコーナー部を原点として座標を設定する製造装置１０２の座標を、チップ中心を原点とする座標系の座標に変換した後、パラメータ１の情報がプロセス情報データベース３１に格納される。パラメータ４において、製造装置１０１〜１０３によって使用される単位や座標系が異なる場合も同様にして、単位及び座標系の統一を行った後、パラメータ４の情報がプロセス情報データベース３１に格納される。以上のように、製造装置１０１〜１０３で共通のパラメータを単位や座標系を統一して管理することにより、製造装置１０１〜１０３ごとに管理する必要がない。そのため、製造工程の変更等に伴うプロセス情報データベース３１に格納された情報の更新の手間を低減することができる。

一方、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのうち１台のみで設定が必要なパラメータについては、設定が必要な製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎの情報のみがプロセス情報データベース３１に入力される。例えば、図３に示したパラメータ２は、製造装置１０１のみで設定が必要なパラメータである。そのため、製造装置１０１の設定に必要な情報が、パラメータ２の情報としてプロセス情報データベース３１に入力される。パラメータ３、パラメータ５も同様に、それぞれ製造装置１０２、製造装置１０３の設定に必要な情報が、パラメータ３、パラメータ５の情報としてプロセス情報データベース３１に入力される。

図１に示す製品情報データベース３２は、製品の製造における、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎの動作をそれぞれ規定する複数のパラメータの、製品ごとに設定される製品情報を格納する記憶装置である。製品情報は、製品名、製品に適用されるすべての製造工程、製造装置等のパラメータの情報である。図４〜６に製品情報データベース３２に格納される情報の例を示す。図４は、製品Ｘに適用される製造工程Ａにおける製造装置１０１のパラメータの例を示す。例えば製造装置１０１が露光装置である場合は、パラメータ１１〜１５はアライメントマークレイヤーや露光量、フォーカスオフセット等である。又、図５は、製造装置１０１が露光装置である場合に、製品情報データベース３２に格納される製造装置１０１の位置合わせマークの情報の例である。即ち、製造装置１０１を製品Ｘに適用する場合の、位置合わせマークＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄそれぞれが配置される座標及び位置合わせマークの寸法等が、位置合わせマークの情報に含まれる。位置合わせマークの情報はデータ量が多く、且つ製造装置固有の仕様として設定される値である。そのため、一般に、位置合わせマークの情報は、位置合わせマークを自動的に配置するマーク自動配置ツールから製品情報データベース３２に入力装置４０を介して直接入力される。図６は、製造装置１０１が露光装置である場合に、製品情報データベース３２に格納されるショットマップの情報の例である。製造装置１０１を製品Ｘに適用する場合の、ステップピッチやマップオフセット等のショットの設定やショット座標等が、ショットマップの情報に含まれる。

更に、図１に示すベースレシピ対応データベース３３は、ベースレシピ対応表を格納する記憶装置である。ベースレシピ対応表は、例えば図７に示すように、プロセス条件名、製造工程名、製造装置名等を指定することにより、ベースレシピ名が一意に決定されるように作成される。

又、図１に示すレシピ中間データベース３４は、作成されたレシピ中間データを格納する記憶装置である。データマージログデータベース３５は、レシピ中間データを作成する際に使用された情報を格納する記憶装置である。

入力装置４０よりレシピ作成者は、レシピを作成する製品や製造装置等を指定することが可能で、レシピ作成の実行や中止等の指示の入力も可能である。更に、プロセス情報データベース３１、製品情報データベース３２、ベースレシピ対応データベース３３等に格納される情報を、レシピ作成者が入力装置４０を介して入力及び変更できる。又、図示を省略する他のデータベースや製造装置等から、通信回線及び入力装置４０を介して上記データベースに格納される情報の入力を行うこともできる。そのため、入力装置４０はキーボード、マウス、ライトペン又はフレキシブルディスク装置などで構成される。

又、出力装置５０は、レシピの内容や変更履歴等を表示するディスプレイやプリンタ、或いはコンピュータ読み取り可能な記録媒体に保存する記録装置等を備える。ここで、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、例えばコンピュータの外部メモリ装置、半導体メモリ、磁気ディスク、光ディスク、光磁気ディスク、磁気テープなどの電子データを記録することができるような媒体等を意味する。具体的には、フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯディスク、カセットテープ、オープンリールテープなどが「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」に含まれる。

製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのレシピは、製品及び製造工程ごとに作成される。そのため、図１に示す自動レシピ作成装置１ａでは、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのレシピはプロセス情報データベース３１と製品情報データベース３２の情報に基づいて作成される。プロセス情報データベース３１と製品情報データベース３２に分けてレシピ作成に必要な情報を管理することにより、製品と製造工程のすべての組み合わせを用意した情報を１つのデータベースに格納する場合に比べて、全体のデータ量を減らすことができる。又、例えば製品の仕様の変更があった場合や製品の種類が増えた場合には、製品情報データベース３２の情報のみを更新すればよく、プロセス情報データベース３１の情報を更新する必要がない。同様に、製造工程の追加や変更があった場合、プロセス情報データベース３１の情報だけを更新すればよい。したがって、製品と製造工程のすべての組み合わせの情報を管理する場合に比べて、更新するデータ量を少なくでき、更新に要する時間を抑制することができる。

一方、ウェハを載せるステージの設定位置からのずれ量等、製造工程に依存しない、即ち製造装置１０１、１０２、・・・・・１０ｎごとの製造工程で共通のパラメータの情報は、ベースレシピとして製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎが備えるベースレシピ記憶部１２１、１２２、・・・・・、１２ｎにそれぞれ格納される。ベースレシピを製造装置１０１、１０２、・・・・・１０ｎ及び製造工程ごとに用意し、プロセス情報データベース３１に格納することも可能である。しかし、ベースレシピの情報は、製造工程や適用する製品による違いがないため、プロセス情報データベース３１に格納して一括して管理する必要がない。

ただし、製造装置１０１、１０２、・・・・・１０ｎごとの製造工程で共通のパラメータの情報が、プロセス条件の違いによって異なる場合がある。その場合は、プロセス条件によって、ベースレシピの情報を変える必要がある。そのため、製造装置１０１、１０２、・・・・・１０ｎごとの製造工程で共通で、且つプロセス条件で違いがあるパラメータの情報は、プロセス情報データベース３１に格納される。或いは、ベースレシピ記憶部１２１、１２２、・・・・・、１２ｎに、製造装置１０１、１０２、・・・・・１０ｎの複数のプロセス条件に対応する複数のベースレシピを格納してもよい。しかし、ベースレシピ記憶部１２１、１２２、・・・・・、１２ｎにそれぞれ格納された情報は、一括して変更することができない。そのため、プロセス条件に依存するパラメータは、プロセス情報データベース３１に格納することが望ましい。なお、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのレシピは、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎが備えるレシピ記憶部１１１、１１２、・・・・・、１１ｎにそれぞれ格納される。

図１に示す自動レシピ作成装置１ａにより、レシピ中間データを作成する例を図８に示すフローチャートを用いて説明する。レシピ中間データには、製品に適用されるプロセス条件及び製造工程で使用される製造装置１０１、１０２、・・・・・１０ｎのそれぞれのパラメータの情報が、製品ごとに記述される。以下では、製品Ｘのレシピ中間データを作成する例を説明する。

（イ）図８のステップＳ１１において、レシピ中間データを作成する製品Ｘの製品名が、図１に示す入力装置４０を介して、製品名記憶領域２０１に格納される。

（ロ）ステップＳ１２において、データマージ部１１が、製品名記憶領域２０１に格納された製品名を読み出す。そして、データマージ部１１は読み出した製品名に基づいて、製品Ｘの製品情報を製品情報データベース３２から抽出する。抽出された製品情報は、製品情報記憶領域２０２に格納される。

（ハ）ステップＳ１３において、データマージ部１１が、製品情報記憶領域２０２に格納された製品Ｘの製品情報を読み出す。そして、データマージ部１１は、製品Ｘの製品情報に基づき、製品Ｘに適用される製造工程及び製造装置等のプロセス情報を、プロセス情報データベース３１から抽出する。抽出されたプロセス情報は、プロセス情報記憶領域２０３に格納される。

（ハ）ステップＳ１４において、データマージ部１１が、製品情報記憶領域２０２に格納された製品情報とプロセス情報記憶領域２０３に格納されたプロセス情報を読み出す。そして、データマージ部１１は、製品情報とプロセス情報をマージして、製品Ｘのレシピ作成に必要なデータを作成する。作成された製品Ｘのレシピ作成に必要なデータは、データ記憶領域２０４に格納される。

（ニ）ステップＳ１５において、データマージ部１１が、データ記憶領域２０４に格納されたレシピ作成に必要なデータを読み出す。次いで、データマージ部１１は、レシピ作成に必要なデータに記述されたそれぞれのパラメータのプロセス条件名、製造工程名、製造装置名に基づき、対応するベースレシピ名を、ベースレシピ対応データベース３３からそれぞれ抽出する。そして、データマージ部１１は、抽出したデータベース名を、レシピ作成に必要なデータの対応するパラメータにそれぞれ追加し、レシピ中間データを作成する。作成されたレシピ中間データは、レシピ中間データベース３４に格納される。

（ホ）ステップＳ１６において、データマージ部１１が、レシピ中間データを作成する際に使用した情報をデータマージログデータベース３５に格納する。具体的には、図９に例示するような、プロセス条件名、製造工程名、製品名、製造装置名、ベースレシピ名等の情報がデータマージログデータベース３５に格納される。

以上においては、製品に適用されるプロセス条件、製造工程、製造装置等のレシピ中間データを作成するために必要な情報が、プロセス情報データベース３１、製品情報データベース３２及びベースレシピ対応データベース３３に格納されている場合について説明した。レシピ中間データを作成するために必要な情報が、上記データベースに格納されていない場合は、予めレシピ中間データを作成するために必要な情報を、入力装置４０を介してそれぞれのデータベースに格納する。

既に述べたように、プロセス情報データベース３１に格納された製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎで共通のパラメータの情報は、共通の単位、座標系に統一されている。そのため、レシピ中間データに含まれる、複数の製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎで共通のパラメータは、共通の単位、座標系に統一されている。レシピ中間データは、例えばＸＭＬ（エクステンシブル・マークアップ言語）等で記述される。

レシピ中間データを使用して、図１に示す自動レシピ作成装置１ａにより新規レシピを作成する方法を、図１０に示すフローチャートを用いて説明する。以下の説明では、図１に示す製造装置１０１のレシピを作成する場合を例示的に説明する。製造装置１０１のベースレシピは、ベースレシピ記憶部１２１に格納されている。

（イ）図１０のステップＳ２１において、図１に示すレシピ作成部１２が、製造装置１０１のベースレシピ記憶部１２１から製造装置１０１のベースレシピを読み出す。読み出したベースレシピのデータは、ベースレシピ記憶領域２０５に格納される。

（ロ）ステップＳ２２において、レシピ作成部１２がレシピ中間データベース３４から製造装置１０１に適用するパラメータを抽出する。ここで、レシピ中間データの製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎで共通のパラメータは、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのそれぞれのパラメータの情報と共に記述されている。そのため、レシピ作成部１２は、製造装置１０１のパラメータの情報だけを抽出する。抽出された製造装置１０１に適用するパラメータは、製造装置１０１で使用される単位、座標系に変換され、抽出パラメータ記憶領域２０６に格納される。

（ニ）ステップＳ２３において、レシピ作成部１２が、ベースレシピ記憶領域２０５に格納されたベースレシピと、抽出パラメータ記憶領域２０６に格納された抽出されたパラメータを読み出す。そして、レシピ作成部１２は、ベースレシピの情報と抽出されたパラメータの情報をマージし、新規レシピを作成する。作成された新規レシピは、製造装置１０１のレシピ記憶部１１１に格納される。

ステップＳ２３において、ベースレシピの情報と抽出されたパラメータの情報をマージする際に、ベースレシピと抽出されたパラメータに同一のパラメータがある場合は、ベースレシピのパラメータが上書きされ、新規レシピが作成される。つまり、ベースレシピに変更を加えたいパラメータ及び追加したいパラメータを有するレシピ中間データを作成すればよい。図１１を用いて、ベースレシピと抽出されたパラメータをマージして新規レシピを作成する例を説明する。図１１（ａ）に示すパラメータを有するベースレシピと、図１１（ｂ）に示す抽出されたパラメータをマージして新規レシピを作成する場合、パラメータＢが同一のパラメータである。そのため、図１１（ａ）に示したパラメータＢのデータが、図１１（ｂ）に示したパラメータＢのデータに上書きされた図１１（ｃ）に示すデータを有する新規レシピが作成される。

次に、図１に示すプロセス情報データベース３１の情報が更新された場合の例を、図１２のフローチャートを用いて説明する。

（イ）図１２のステップＳ３１において、図１の入力装置４０を介してプロセス情報データベース３１に格納されたプロセス条件或いは製造工程が更新される。更新されたプロセス条件名或いは製造工程名が、更新プロセス記憶領域２０７に格納される。以下において、更新プロセス記憶領域２０７に格納された情報を「更新プロセス名」、更新されたプロセス条件或いは製造工程を「更新プロセス」という。

（ロ）ステップＳ３２において、抽出部１３が、更新プロセス記憶領域２０７に格納された更新プロセス名を読み出す。そして、抽出部１３は、読み出した更新プロセス名に基づき、更新プロセスを使用するすべての製品名を、データマージログデータベース３５から抽出する。抽出された製品名は製品名記憶領域２０１に格納される。

（ハ）ステップＳ３３において、データマージ部１１が、図８で説明した方法等を用いて、製品名記憶領域２０１に格納されたすべての製品名の製品のレシピ中間データを作成する。即ち、データマージ部１１が製品名記憶領域２０１に格納された製品名の製品情報を製品情報データベース３２の情報から抽出する。そして抽出された製品情報と、更新されたプロセス情報データベース３１の情報、及びベースレシピ対応データベース３３の情報から、更新プロセスを使用するすべての製品のレシピ中間データが作成される。作成されたレシピ中間データは、レシピ中間データベース３４に格納される。更に、レシピ中間データを作成する際に使用した情報がデータマージログデータベース３５に格納される。

（ニ）ステップＳ３４において、レシピ作成部１２が、図１０で説明した方法等を用いて、ステップＳ３３で作成されたレシピ中間データとベースレシピをマージして新規レシピを作成する。

以上に説明したように、図１に示した自動レシピ作成装置１ａによれば、プロセス情報データベース３１に格納された情報が更新された場合に、更新されたプロセス条件或いは製造工程を使用するすべての製品のレシピを自動的に更新できる。

図１に示す製品情報データベース３２が更新された場合の例を、図１３のフローチャートを用いて説明する。

（イ）図１３のステップＳ４１において、図１の入力装置４０を介して製品情報データベース３２に格納された製品の情報が更新される。情報が更新された製品の製品名が、製品名記憶領域２０１に格納される。

（ロ）ステップＳ４２において、データマージ部１１が、図８で説明した方法等を用いて、製品名記憶領域２０１に格納された製品名の製品のレシピ中間データを作成する。即ち、データマージ部１１が製品名記憶領域２０１に格納された製品名の製品情報を製品情報データベース３２の情報から抽出する。そして、抽出した製品情報と、プロセス情報データベース３１の情報、及びベースレシピ対応データベース３３の情報から、ステップＳ４１において情報が更新された製品のレシピ中間データが作成される。作成されたレシピ中間データは、レシピ中間データベース３４に格納される。更に、レシピ中間データを作成する際に使用した情報がデータマージログデータベース３５に格納される。

（ハ）ステップＳ４３において、レシピ作成部１２が、図１０で説明した方法等を用いて、ステップＳ４２で作成されたレシピ中間データとベースレシピをマージして情報が更新された製品のレシピを作成する。

以上に説明したように、図１に示した自動レシピ作成装置１ａによれば、製品情報データベース３２に格納された情報が更新された場合に、情報が更新された製品の製造に使用するすべてのレシピを自動的に更新できる
次に、ベースレシピが更新された場合の例を、図１４のフローチャートを用いて説明する。なお、図１に示した製造装置１０１のベースレシピを更新する場合について例示的に説明する。

（イ）図１４のステップＳ５１において、図１に示す入力装置４０を介して製造装置１０１のベースレシピ記憶部１２１に格納されたベースレシピが更新される。更新されたベースレシピのベースレシピ名が、更新ベースレシピ記憶領域２０８に格納される。

（ロ）ステップＳ５２において、抽出部１３が、更新ベースレシピ記憶領域２０８に格納されたベースレシピ名を読み出す。そして、データマージ部１１は、読み出したベースレシピ名に基づき、更新されたベースレシピを使用するすべての製品の製品名を、データマージログデータベース３５から抽出する。抽出された製品名は製品名記憶領域２０１に格納される。

（ハ）ステップＳ５３において、データマージ部１１が、図８で説明した方法等を用いて、製品名記憶領域２０１に格納されたすべての製品名の製品のレシピ中間データを作成する。即ち、データマージ部１１が製品名記憶領域２０１に格納された製品名の製品情報を製品情報データベース３２の情報から抽出する。そして抽出された製品情報と、プロセス情報データベース３１の情報、及びベースレシピ対応データベース３３の情報から、更新されたベースレシピを使用するすべての製品のレシピ中間データが作成される。作成されたレシピ中間データは、レシピ中間データベース３４に格納される。更に、レシピ中間データを作成する際に使用した情報がデータマージログデータベース３５に格納される。

（ニ）ステップＳ５４において、レシピ作成部１２が、図１０で説明した方法等を用いて、ステップＳ５３で作成されたレシピ中間データと更新されたベースレシピをマージして新規レシピを作成する。

以上に説明したように、図１に示した自動レシピ作成装置１ａによれば、ベースレシピが更新された場合に、更新されたベースレシピを使用するすべての製品のレシピを自動的に更新できる。

以上の説明では、ステップＳ５１における製造装置１０１のベースレシピの更新は、図１に示す入力装置４０を介して行う場合を示したが、図示を省略する製造装置１０１の入力装置を介して製造装置１０１のベースレシピの更新行ってもよい。その場合は、ステップＳ５１において、図１に示す入力装置４０を介して、更新されたベースレシピのベースレシピ名を、更新ベースレシピ記憶領域２０８に入力する。

本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置１ａによれば、製品の製造に適用されるプロセス条件及び製造工程で使用される製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのパラメータの情報を、製品ごとにレシピ中間データとして作成する。そして、レシピ中間データを使用してレシピの作成及び変更を行うことにより、レシピの作成及び更新時の入力作業量を削減できる。そのため、レシピの作成及び変更に要する時間及び入力ミスを削減可能である。その結果、入力ミス等による不良品の発生を低減して、歩留まりを向上できる。更に、製品の製造において、レシピの再設定に要する時間を削減でき、全体のスループットを向上できる。又、プロセス情報データベース３１では、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎで共通のパラメータの情報の単位及び座標系が統一されているため、製造装置ごとに共通のパラメータの情報を管理する必要がない。更に、データマージログデータベース３５の情報を利用することにより、プロセス情報データベース３１、製品情報データベース３２、ベースレシピ等が更新された場合に、更新の影響を受けるすべてのレシピに、更新の内容を自動的に反映させることができる。又、レシピ中間データベース３４に格納された、レシピ作成に必要な情報を複数の製造装置間で共有することにより、レシピ変更の効果及びノウハウを共有できる。

（第２の実施の形態）
本発明の第２の実施の形態に係る自動レシピ作成装置１ｂは、図１５に示すように、設定部１４、ばらつき記憶領域２０９、設定条件記憶領域２１０、測定結果データベース３６を更に備える点が、図１に示す自動レシピ作成装置１ａと異なる。その他の構成については、図１に示す第１の実施の形態と同様である。設定部１４は、製造工程で取得される検査測定データ等から計算されるばらつきに基づき、製造装置のパラメータを設定する。ばらつき記憶領域２０９には、計算されたばらつきが格納される。設定条件記憶領域２１０には、設定部１４が参照する条件が格納される。測定結果データベース３６は、検査測定データを格納する記憶装置である。図１５に示す自動レシピ作成装置１ｂによれば、検査測定データ等に基づきレシピを更新できる。

一般に、新たな製造工程を適用し始める時期は、製造工程が安定しない。例えばフォトリソグラフィ工程でアライメントを行うショットの数（以下において、「サンプリングショット数」という。）を多めに設定する必要がある。しかし、サンプリングショット数が増加するとスループットが下がるため、製造工程が安定した後は、サンプリングショット数を減らす必要がある。

以下に、図１５に示す自動レシピ作成装置１ｂにより、フォトリソグラフィ工程である製造工程Ｄにおけるサンプリングショット数を変更する例を示す。以下の説明では、製造工程Ｄで取得される検査測定データを用いて、製造工程Ｄでのサンプリングショット数を設定し、更にレシピを更新する方法の例を、図１６のフローチャートを用いて説明する。

（イ）図１６のステップＳ６１において、図示を省略する検査装置が、製造工程Ｄにおいてアライメントを行った複数のショットにおける、それぞれの合わせズレ量を測定する。「合わせズレ量」とは、製造工程Ｄにおいてステッパでマスクパターンをウェハ上に転写する際にウェハ上に形成されるアライメントマークの位置と、既に形成されているウェハ上のアライメントマークの位置とのズレ量をいう。アライメントが正確に行われるほど、一般に合わせズレ量はゼロに近づく。測定された各ショットの合わせズレ量は、入力装置４０を介して測定結果データベース３６に格納される。

（ロ）ステップＳ６２において、設定部１４が測定結果データベース３６に格納された合わせズレ量を読み出し、アライメントを行ったショット間の合わせズレ量のばらつきを計算する。計算されたばらつきは、ばらつき記憶領域２０９に格納される。合わせズレ量のばらつきを製造工程Ｄの安定の目安として使用できる。即ち、合わせズレ量のばらつきが小さいほど、製造工程Ｄが安定していると判断できる。

（ハ）ステップＳ６３において、設定部１４が、設定条件記憶領域２１０に格納される、例えば図１７に示す条件に基づき、合わせズレ量のばらつきからサンプリングショット数を設定する。即ち、図１７に示すばらつきσ１、σ２を基準にして、サンプリングショット数ｋ１、ｋ２、ｋ３のいずれかにサンプリングショット数が設定される。合わせズレ量のばらつきが小さいほど、サンプリングショット数を少なく設定する。

（ニ）ステップＳ６４において、設定部１４がステップＳ６３で設定したサンプリングショット数をプロセス情報データベース３１に入力して、製造工程Ｄのサンプリングショット数を更新する。

（ホ）ステップＳ６５において、例えば図１２で説明した方法等を用いて、製造工程Ｄを使用する製品のレシピを更新する。即ち、更新されたプロセス情報データベース３１の情報と、データマージログデータベース３５の情報に基づき、製造工程Ｄを使用するすべての製品のレシピを更新する。

したがって、図１５に示す自動レシピ作成装置１ｂによれば、合わせズレ量を実際に測定した製品以外の、製造工程Ｄを使用するすべてのレシピの更新を同時に行うことができる。又、以上の説明では、アライメントのサンプリングショット数を変更する例を示したが、他のプロセス情報データベース３１に格納されるパラメータの変更にも適用可能である。更に、検査測定データを用いてレシピを変更するだけでなく、例えばシミュレーションによって合わせズレ量を解析し、その解析結果を用いてレシピを変更することができる。

以上に説明したように、本発明の第２の実施の形態に係る自動レシピ作成装置１ｂによれば、合わせズレ量等の検査測定データのばらつきを算出することにより、製造工程の安定さに合わせてプロセス情報データベース３１に格納されたプロセス情報を更新できる。そして、更新されたプロセス情報に基づきレシピを更新することにより、検査測定データのばらつきをレシピにフィードバックできる。検査測定データを用いて変更したレシピを使用して製品の製造を行うことにより、歩留まりの向上、製品性能のばらつきの低減を実現できる。他は、第１の実施の形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。

（第３の実施の形態）
本発明の第３の実施の形態に係る自動レシピ作成装置１ｃは、図１８に示すように、ログデータベース３７を更に備える点が、図１５に示す自動レシピ作成装置１ｂと異なる。その他の構成については、図１５に示す第２の実施の形態と同様である。ログデータベース３７は、レシピの作成及び更新の履歴を格納する記憶装置である。即ち、プロセス情報データベース３１、製品情報データベース３２、ベースレシピ対応データベース３３のデータの追加・更新処理時、及びベースレシピの新規作成、更新処理時にそれぞれの処理の履歴として生成されるログが、ログデータベース３７に格納される。ログデータベース３７には、例えば図１９に示すような、情報を更新した日付、更新したパラメータ名、更新前後の値等が格納される。図１８に示す自動レシピ作成装置１ｃによれば、ログデータベース３７に格納された情報に基づき、レシピの変更履歴と製品の検査測定データ等との相関調査を行うことができる。

製品の不良解析等では、測定結果データベース３６に格納された合わせズレ量等の検査測定データを、ロットやウェハの時系列グラフとして作成することがある。その時系列グラフに、ログデータベース３７に格納されたレシピ変更の履歴データのグラフを重ねることにより、例えば図２０に示すようなグラフを作成できる。図２０の縦軸は合わせズレ量の測定データであり、横軸は時系列に並べたロット番号である。図２０から、変更後のレシピを適用したロットの合わせズレ量が増加したことがわかる。レシピ変更が適用されたロットやウェハは、ログデータベース３７に格納された情報を更新した日付から決定できる。即ち、ロットやウェハの検査測定データが変化する時期と、製品や製造工程のレシピ変更の時期の比較が可能である。そのため、レシピ変更によるロットやウェハの検査測定データへの影響の有無を容易に確認できる。

又、例えば図２０に示す時系列グラフを出力装置５０のディスプレイ上に表示し、更に、ログデータベース３７に格納されたレシピ変更の履歴データの製品名、製造工程名、適用ウェハ等を出力装置５０のディスプレイ上に表示させること等が可能である。又、図１９に示したログデータベース３７に格納される情報の一覧表を出力装置５０に表示させる。そして、表示させた一覧表から任意にパラメータを選択して、選択したパラメータの情報に関するロットの時系列グラフを出力装置５０に出力させることも可能である。その結果、ロットやウェハの検査測定データに影響を与えるレシピ変更の内容を短時間で調査することができる。

又、レシピ変更の前後でウェハの検査測定データを分割し、ボックスプロット表示すること等により、レシピ変更によるウェハの検査測定データへの影響を定量的に調査することができる。例えば図２１は、レシピ変更前後での合わせズレ量の測定データを比較したボックスプロットのグラフである。図２１から、レシピ変更前より、レシピ変更後の合わせズレ量の分布が小さいことが確認できる。又、複数のレシピ変更のそれぞれについて、レシピ変更前後で検査測定データの分割を行うことにより、レシピ変更の検査測定データへの影響の大きさの順位付け等が可能である。

更に、レシピ変更が検査測定データに与える影響だけでなく、レシピ変更とロットやウェハの歩留まり、或いは製品の性能ばらつきとの相関調査等も可能であり、ログデータベース３７に格納された情報を不良解析等に利用できる。

以上に説明したように、本発明の第３の実施の形態に係る自動レシピ作成装置１ｃによれば、レシピの変更履歴と製品の検査測定データ等との相関調査を行うことが可能である。そして、検査測定データに影響を及ぼすレシピを変更して、製品の歩留まり向上、性能のばらつきの減少を実現することができる。更に、新規製品の開発に、レシピと製品の性能の相関情報等を利用することができる。他は、第１の実施の形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。

（その他の実施の形態）
上記のように、本発明は第１乃至第３の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。

既に述べた第１乃至第３の実施の形態の説明においては、ベースレシピを製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎにそれぞれ格納する例を示したが、製造装置１０１、１０２、・・・・・、１０ｎのそれぞれベースレシピを１つのデータベースにまとめて格納して管理してもよい。又、第１乃至第３の実施の形態では、半導体装置の製造装置のレシピ作成方法について例示したが、本発明は、自動車の製造装置、化学薬品の製造装置、建築部材の製造装置等のレシピ作成に適用できることは、上記説明から容易に理解できるであろう。

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。

本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置を示す模式的な構成図である。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のプロセス情報データベースに格納される情報の例を示す表である。 製造装置の設定が必要なパラメータの例を示す表である。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置の製品情報データベースに格納される情報の例を示す表である（その１）。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置の製品情報データベースに格納される情報の例を示す表である（その２）。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置の製品情報データベースに格納される情報の例を示す表である（その３）。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のベースレシピ対応データベースに格納されるベースレシピ対応表の例である。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のレシピ中間データ作成方法を説明するためのフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のデータマージログデータベースに格納される情報の例を示す表である。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のレシピ作成方法を説明するためのフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のレシピ作成方法を説明するための表であり、図１１（ａ）はベースレシピのパラメータを示す表、図１１（ｂ）はレシピ中間データから抽出されたパラメータを示す表、図１１（ｃ）は作成されるレシピのパラメータを示す表である。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のプロセス情報データベースが更新された場合のレシピ作成方法を説明するためのフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置の製品情報データベースが更新された場合のレシピ作成方法を説明するためのフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のベースレシピが更新された場合のレシピ作成方法を説明するためのフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態に係る自動レシピ作成装置を示す模式的な構成図である。 本発明の第２の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のレシピ作成方法を説明するためのフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のレシピ変更時に参照する条件の例を示す表である。 本発明の第３の実施の形態に係る自動レシピ作成装置を示す模式的な構成図である。 本発明の第３の実施の形態に係る自動レシピ作成装置のログデータベースに格納される情報の例を示す表である。 本発明の第３の実施の形態に係る自動レシピ作成装置により作成されるグラフの例である（その１）。 本発明の第３の実施の形態に係る自動レシピ作成装置により作成されるグラフの例である（その２）。

符号の説明

１ａ、１ｂ、１ｃ…自動レシピ作成装置
１１…データマージ部
１２…レシピ作成部
１４…設定部
３１…プロセス情報データベース
３２…製品情報データベース
３７…ログデータベース

Claims (5)

1. 製品の製造に用いる複数の製造装置のレシピを作成する自動レシピ作成装置であって、
   前記製品ごとに設定される製品情報と、前記製品に適用される複数の製造工程ごとに設定されるプロセス情報とをマージして、レシピ中間データを作成するデータマージ部と、
   前記レシピ中間データの情報と、前記複数の製造装置の動作をそれぞれ規定する複数のパラメータについて製造工程で共通に設定される情報を記述したベースレシピの情報とをマージして、前記複数の製造装置ごとにレシピを作成するレシピ作成部
   とを備えることを特徴とする自動レシピ作成装置。
2. 前記製品情報を格納する製品情報データベースと、
   前記プロセス情報を格納するプロセス情報データベース
   とを更に備えることを特徴とする請求項１に記載の自動レシピ作成装置。
3. 前記複数の製造工程で取得される検査測定データに基づき、前記複数のパラメータを設定する設定部を更に備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の自動レシピ作成装置。
4. 前記レシピの作成及び更新の履歴が格納されるログデータベースを更に備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の自動レシピ作成装置。
5. 製品の製造に用いる複数の製造装置のレシピを作成する自動レシピ作成方法であって、
   データマージ部が、前記製品ごとに設定される製品情報と、前記製品に適用される複数の製造工程ごとに設定されるプロセス情報とをマージして、レシピ中間データを作成するステップと、
   レシピ作成部が、前記レシピ中間データの情報と、前記複数の製造装置の動作をそれぞれ規定する複数のパラメータについて製造工程で共通に設定される情報を記述したベースレシピの情報とをマージして、前記複数の製造装置ごとにレシピを作成するステップ
   とを含むことを特徴とする自動レシピ作成方法。
   

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