JP2007299823A - プロセス情報管理装置、およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被処理基板に対する所定のプロセスを行う2以上の処理装置をそれぞれ制御する2以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である2以上のレシピを、前記2以上の制御装置に各々対応付けて格納しており、かつ基準となるレシピであるマスターレシピを格納しており、前記マスターレシピと前記2以上のレシピの異同に関する情報である異同情報を、前記2以上のレシピごとに取得し、前記取得した異同情報を、前記2以上のレシピごとに出力し、かつ、前記2以上のレシピの内容であるステップの差分の情報について出力しないプロセス情報管理装置により、多数の制御装置の多数のレシピの内容が同じかどうかを、ユーザは一度に概観することができる。
【選択図】図3
Description
(実施の形態1)
12 制御装置
13 プロセス情報管理装置
131 受付部
132 ユーザ情報格納部
133 レシピ格納部
134 レシピ異同情報取得部
135 ステップ異同取得部
136 異同情報出力部
137 制御装置情報格納部
138 レシピ受信部
139 レシピ蓄積部
1341 異同取得手段
1342 不存在情報取得手段
1343 通信不可情報取得手段
1344 出力不可情報取得手段
Claims (6)
- 被処理基板に対する所定のプロセスを行う2以上の処理装置をそれぞれ制御する2以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である2以上のレシピを、前記2以上の制御装置に各々対応付けて格納しており、かつ基準となるレシピであるマスターレシピを格納しているレシピ格納部と、
前記マスターレシピと前記2以上のレシピの異同に関する情報である異同情報を、前記2以上のレシピごとに取得するレシピ異同情報取得部と、
前記レシピ異同情報取得部が取得した異同情報を、前記2以上のレシピごとに出力する異同情報出力部を具備するプロセス情報管理装置。 - 前記異同情報出力部が前記2以上のレシピごとに異同情報を出力した後、一のレシピに対する指示を受け付ける受付部と、
前記受付部が受け付けた前記指示に対応するレシピが有する1以上のステップと、前記マスターレシピが有する1以上のステップとを比較し、ステップごとの異同であるステップ異同情報をステップごとに取得するステップ異同取得部をさらに具備し、
前記異同情報出力部は、前記ステップ異同取得部が取得した1以上のステップ異同情報をも出力する請求項1記載のプロセス情報管理装置。 - 前記制御装置からレシピを受信するレシピ受信部をさらに具備し、
前記レシピ格納部のレシピの少なくとも一部は、前記レシピ受信部が受信したレシピである請求項1または請求項2記載のプロセス情報管理装置。 - 前記2以上の制御装置に関する情報である2以上の制御装置情報を格納している制御装置情報格納部と、
前記レシピ異同情報取得部は、
前記マスターレシピと、前記制御装置情報格納部の2以上の制御装置情報が示す前記2以上の制御装置に対応する2以上のレシピの異同情報を、前記2以上のレシピごとに取得する請求項1から請求項3いずれか記載のプロセス情報管理装置。 - 前記受付部は、
2以上のレシピの指定をも受け付け、
前記レシピ異同情報取得部は、
マスターレシピと、前記レシピの指定を受け付けた2以上のレシピとの異同情報を取得する請求項2から請求項4いずれか記載のプロセス情報管理装置。 - コンピュータに、
被処理基板に対する所定のプロセスを行う2以上の処理装置をそれぞれ制御する2以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である2以上のレシピを、前記2以上の制御装置に各々対応付けて格納しており、かつ基準となるレシピであるマスターレシピを格納しており、
前記マスターレシピと前記2以上のレシピの異同に関する情報である異同情報を、2以上のレシピごとに取得するレシピ異同情報取得ステップと、
前記レシピ異同情報取得ステップで取得した異同情報を、前記2以上のレシピごとに出力する異同情報出力ステップを実行させるためのプログラム。
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