JP2007293683A - 群管理システム、プロセス情報管理装置、およびプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】従来の群管理システムにおいては、多数の制御装置の固有の情報を、一度に取得できない、という課題があった。
【解決手段】被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と通信するための設定情報である通信設定情報を２以上受け付ける通信設定情報受付部と、前記２以上の通信設定情報を蓄積する通信設定情報蓄積部と、前記通信設定情報蓄積部が蓄積した２以上の通信設定情報を用いて、前記２以上の制御装置とそれぞれ通信をし、各制御装置から制御装置固有情報を受信する制御装置固有情報受信部と、前記制御装置固有情報受信部が受信した制御装置固有情報を蓄積する制御装置固有情報蓄積部を具備するプロセス情報管理装置により、多数の制御装置の固有の情報を一度に取得できる。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えば、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システム等に関するものである。

従来の群管理システムは、レシピをコピーする場合に、同一の膜種を製造する半導体製造装置を選択し自動的にそれらの間でコピーを実行できるなどの機能を有する（例えば、特許文献１参照）。

また、かかる従来の群管理システムにおいて、制御装置または半導体製造装置と、プロセス情報管理装置は通信可能である。ただし、制御装置または半導体製造装置と、プロセス情報管理装置と通信するために、ユーザは、プロセス情報管理装置に、制御装置または半導体製造装置ごとに、通信するためのＩＰアドレス等の通信設定情報を入力し、登録していた。

さらに、プロセス情報管理装置が、制御装置または半導体製造装置固有の情報を得るために、個別に、ユーザが制御装置または半導体製造装置にアクセスし、アラームリストなどの装置固有の情報を取得していた。
特開平１１−３４０１１１号公報（第１頁、第１図等）

しかしながら、従来の群管理システムにおいては、プロセス情報管理装置は、多数の制御装置とほとんど同時に接続し、ほぼ同時期の装置固有の情報を得ることが困難であり、時には装置固有の情報を得ることができない、という課題があった。また、群管理システムにおいては、数十から数百台の制御装置が接続される場合もある。かかる場合、１台の制御装置の登録操作が煩雑なため、一度にたくさんの制御装置を接続するには、多くの時間を要する。また、ネットワークアドレスは手入力のためミスが発生しやすい。

本第一の発明の群管理システムは、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムであって、前記制御装置は、当該制御装置固有の情報である制御装置固有情報を格納している制御装置固有情報格納部と、前記制御装置固有情報を前記プロセス情報管理装置に送信する制御装置固有情報送信部を具備し、前記プロセス情報管理装置は、前記２以上の制御装置と通信するための設定情報である通信設定情報を２以上受け付ける受付部と、前記２以上の通信設定情報を蓄積する通信設定情報蓄積部と、前記通信設定情報蓄積部が蓄積した２以上の通信設定情報を用いて、前記２以上の制御装置とそれぞれ通信をし、各制御装置から制御装置固有情報を受信する制御装置固有情報受信部と、前記制御装置固有情報受信部が受信した制御装置固有情報を蓄積する制御装置固有情報蓄積部を具備する群管理システムである。

かかる構成により、多数の制御装置の固有の情報を、一度に取得できる。また、一度にたくさんの制御装置をプロセス情報管理装置に接続することが容易に確実に行える。

また、本第二の発明の群管理システムは、第一の発明に対して、前記制御装置固有情報は、前記処理装置で発生したアラームについての情報であるアラームリストを含む情報である群管理システムである。

かかる構成により、多数の制御装置のアラームリストを、一度に取得できる。

本発明による群管理システムによれば、多数の制御装置の固有の情報を、一度に取得できる。

以下、群管理システム等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
（実施の形態）

図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムである。また、群管理システムは、１以上の処理装置１１（処理装置１１（１）から処理装置１１（ｎ））、1以上の制御装置１２（制御装置１２（１）から制御装置１２（ｎ））、およびプロセス情報管理装置１３を有する。

処理装置１１は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。さらに具体的には、処理装置１１は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置である。処理装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。処理装置１１は、例えば、複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置である。本半導体ウエハ製造装置の例を図２に示す。図２に示すように、本半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエハに対して各種の処理、例えば、成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数（例えば、３つ）のプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚（例えば、５０枚）のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２は、カセットチャンバ４、５内に取り込まれる際に９０度反転されると共に、そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、搬送アーム７によるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。

また、制御装置１２は、処理装置１１を制御する装置であり、通常、処理装置１１に対応して設けられている。制御装置１２は、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であるレシピ（通常、プロセス条件値の集合）を格納しており、当該レシピを用いて、処理装置１１を制御する。制御装置１２は、処理装置１１を制御した際に発生するアラームの情報の集合であるアラームリスト等の制御装置固有の情報である制御装置固有情報を取得し、格納している。なお、処理装置１１と制御装置１２は、一体となっていても良いし、分離されていても良い。

図３は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。

制御装置１２は、制御装置固有情報格納部１２１、制御装置固有情報送信部１２２を具備する。

プロセス情報管理装置１３は、受付部１３１、通信設定情報格納部１３２、通信設定情報蓄積部１３３、制御装置固有情報受信部１３４、制御装置固有情報蓄積部１３５、出力部１３６を具備する。

制御装置固有情報格納部１２１は、制御装置固有の情報である制御装置固有情報を格納している。制御装置固有情報は、例えば、処理装置１１で発生したアラームについての情報であるアラームリストや、ＦＤＣライセンスの情報などである。ＦＤＣライセンスとは、オプション機能の一つであるＦＤＣ（Ｆａuｌｔ Ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ ａｎｄ Ｃｌａｓｓｉｆｉｃａｔｉｏｎ）について、装置毎に設けるライセンスである。なお、例えば、ＦＤＣライセンスには２つのレベルがあり、基本レベルであるライセンス１と、多変量解析が使用可能になるライセンス２がある。また、それぞれについて試用期間が設定できる。制御装置固有情報格納部１２１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。

制御装置固有情報送信部１２２は、制御装置固有情報をプロセス情報管理装置１３に送信する。制御装置固有情報送信部１２２は、通常、プロセス情報管理装置１３からの要求に応じて、制御装置固有情報を送信するが、自発的に、定期的に、プロセス情報管理装置１３との通信状態をチェックし、通信可能であれば、制御装置固有情報を送信する、という制御を行っても良い。制御装置固有情報送信部１２２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。

受付部１３１は、２以上の制御装置１２と通信するための設定情報である通信設定情報を２以上受け付ける。通信設定情報は、例えば、ＩＰアドレス、制御装置１２の名前または処理装置１１の名前、ノード名、ＧＦＣ名称、ＤＮＳサーバのＩＰアドレスなどである。ノード名とは、ネットワーク上のノードの名称である。ＧＦＣ名称とは、拡散炉のガス配管とバルブ、ＭＦＣの接続図（ＧａｓｓＦｌｏｗＣｈａｒｔ）の名称である。ＭＦＣ（ＭａｓｓＦｌｏｗＣｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）とは、ガスの流量を制御する機器である。受付部１３１は、ユーザからの指示を受け付けても良い。ユーザからの指示とは、例えば、後述する制御装置固有情報を制御装置１２から取得する取得指示や、格納されている制御装置固有情報を出力する出力指示などである。通信設定情報や取得指示等の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。受付部１３１は、記録媒体に記録された２以上の通信設定情報を読み込むことにより、２以上の通信設定情報を受け付けても良い。また、受付部１３１は、ファイルやデータベースに格納されている２以上の通信設定情報を読み込んでも良い。つまり、受け付けとは、読み込みも含む。なお、ファイルの形式は、ＣＳＶ形式等、問わない。また、受付部１３１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。

通信設定情報格納部１３２は、２以上の通信設定情報を格納し得る。なお、通信設定情報格納部１３２内の通信設定情報は、制御装置固有情報受信部１３４に読み込まれ、制御装置１２と通信されるために使用される。通信設定情報格納部１３２は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。プロセス情報管理装置１３は、通信設定情報格納部１３２から通信設定情報を読み込み、制御装置１２と通信を行う。

通信設定情報蓄積部１３３は、受付部１３１が受け付けた２以上の通信設定情報を蓄積する。通信設定情報蓄積部１３３は、通信設定情報格納部１３２に、２以上の通信設定情報を蓄積する。通信設定情報蓄積部１３３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。通信設定情報蓄積部１３３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

制御装置固有情報受信部１３４は、通信設定情報蓄積部１３３が蓄積した２以上の通信設定情報を用いて、２以上の制御装置１２とそれぞれ通信をし、各制御装置１２から制御装置固有情報を受信する。制御装置固有情報受信部１３４は、通信設定情報格納部１３２から２以上の通信設定情報を読み込み、当該２以上の通信設定情報を用いて、２以上の制御装置１２とそれぞれ呼を開き、各制御装置１２から制御装置固有情報を受信する。制御装置固有情報受信部１３４は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。

制御装置固有情報蓄積部１３５は、制御装置固有情報受信部１３４が受信した制御装置固有情報を蓄積する。制御装置固有情報蓄積部１３５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。制御装置固有情報蓄積部１３５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

出力部１３６は、出力指示で示される制御装置固有情報を読み込み、出力する。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、音声出力、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。また、出力指示は、制御装置固有情報を特定する情報を含む。出力指示は、例えば、「出力 制御装置ＩＤ，アラームリスト」である。かかる場合、出力部１３６は、制御装置ＩＤで識別される制御装置のアラームリストを出力する。さらに、制御装置固有情報は、制御装置固有情報蓄積部１３５が図示しない記録媒体に蓄積した情報である。この記録媒体は、ハードディスクやＲＯＭ等の不揮発性の記録媒体でも、ＲＡＭ等の揮発性の記録媒体でも良い。出力部１３６は、ディスプレイやスピーカー等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。出力部１３６は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。

次に、群管理システムの動作について説明する。まず、制御装置１２の動作について説明する。制御装置１２の制御装置固有情報送信部１２２は、プロセス情報管理装置１３のリクエストに応じて、制御装置固有情報格納部１２１から制御装置固有情報を読み出し、プロセス情報管理装置１３に送信する。

次に、プロセス情報管理装置１３の動作について図４のフローチャートを用いて説明する。

（ステップＳ４０１）受付部１３１は、入力を受け付けたか否かを判断する。入力を受け付ければステップＳ４０２に行き、入力を受け付けなければステップＳ４０１に戻る。

（ステップＳ４０２）受付部１３１は、ステップＳ４０１で受け付けた入力が取得指示であるか否かを判断する。取得指示であればステップＳ４０３に行き、取得指示でなければステップＳ４１８に行く。

（ステップＳ４０３）受付部１３１は、２以上の制御装置１２と通信するための設定情報である通信設定情報を２以上受け付ける。さらに具体的には、受付部１３１は、例えば、ユーザがキーボードやマウス等で指定したファイルをオープンし、当該ファイルに格納されている２以上の通信設定情報を読み込む。

（ステップＳ４０４）通信設定情報蓄積部１３３は、カウンタｉに１を代入する。

（ステップＳ４０５）通信設定情報蓄積部１３３は、ステップＳ４０３で読み込んだ２以上の通信設定情報のうち、ｉ番目の通信設定情報が存在するか否かを判断する。ｉ番目の通信設定情報が存在すればステップＳ４０６に行き、ｉ番目の通信設定情報が存在しなければステップＳ４０８に行く。

（ステップＳ４０６）通信設定情報蓄積部１３３は、ｉ番目の通信設定情報を通信設定情報格納部１３２に登録する。ここで、登録とは、通常、追記である。

（ステップＳ４０７）通信設定情報蓄積部１３３は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ４０５に戻る。

（ステップＳ４０８）制御装置固有情報受信部１３４は、カウンタｉに１を代入する。

（ステップＳ４０９）制御装置固有情報受信部１３４は、通信設定情報格納部１３２に、ｉ番目の通信設定情報が存在するか否かを判断する。ｉ番目の通信設定情報が存在すればステップＳ４１０に行き、ｉ番目の通信設定情報が存在しなければ処理を終了する。

（ステップＳ４１０）制御装置固有情報受信部１３４は、通信設定情報格納部１３２から、ｉ番目の通信設定情報を読み込む。

（ステップＳ４１１）制御装置固有情報受信部１３４は、ステップＳ４１０で読み込んだｉ番目の通信設定情報を用いて、ｉ番目の制御装置１２と通信を行う（呼を開く）。

（ステップＳ４１２）制御装置固有情報受信部１３４は、制御装置固有情報受信部１３４は、ｉ番目の制御装置１２に対して、制御装置固有情報の送信をリクエストする。

（ステップＳ４１３）制御装置固有情報受信部１３４は、ｉ番目の制御装置１２から制御装置固有情報を受信したか否かを判断する。制御装置固有情報を受信すればステップＳ４１４に行き、制御装置固有情報を受信しなければステップＳ４１６に行く。

（ステップＳ４１４）制御装置固有情報受信部１３４は、ステップＳ４１３で受信した制御装置固有情報を、ｉ番目の制御装置１２と対応付けて蓄積する。

（ステップＳ４１５）制御装置固有情報受信部１３４は、カウンタｉを１、インクリメントする。ステップＳ４０９に戻る。

（ステップＳ４１６）制御装置固有情報受信部１３４は、タイムアウトか否かを判断する。タイムアウトであればステップＳ４１７に行き、タイムアウトでなければステップＳ４１３に戻る。なお、タイムアウトとは、ステップＳ４１２で制御装置固有情報の送信リクエストを出してから所定の時間を経過して制御装置固有情報を受信していないことである。

（ステップＳ４１７）制御装置固有情報受信部１３４は、制御装置固有情報を受信できなかった旨を示す情報（未受信情報）を、ｉ番目の制御装置１２と対応付けて蓄積する。ステップＳ４１５に行く。

（ステップＳ４１８）受付部１３１は、ステップＳ４０１で受け付けた入力が出力指示であるか否かを判断する。出力指示であればステップＳ４１０に行き、出力指示でなければステップＳ４０１に戻る。

（ステップＳ４１９）出力部１３６は、出力指示で示される制御装置固有情報を読み込む。

（ステップＳ４２０）出力部１３６は、ステップＳ４１９で読み込んだ制御装置固有情報を出力する。ステップＳ４０１に戻る。

なお、図４のフローチャートにおいて、各制御装置に対応して、通信設定情報を登録した後、直ちに、制御装置固有情報を取得するようなアルゴリズムでも良い。

また、図４のフローチャートにおいて、プロセス情報管理装置１３と制御装置１２との通信のためのプロトコルは、ＴＣＰ／ＩＰ、ＨＴＴＰ等、問わない。

以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１である。プロセス情報管理装置１３は、多数（例えば、数十）の制御装置１２とネットワーク（インターネット、専用回線等、問わない）で接続されている。

また、プロセス情報管理装置１３が各制御装置１２と通信するための２以上の通信設備情報を管理する通信設定情報管理表を図５に示す。図５において、通信設定情報管理表は、「ＩＤ」「装置名」「ノード名」「ＩＰアドレス」「ＧＦＣ名称」などの属性を有する。「ＩＤ」は、レコードを識別する情報であり、表におけるレコード管理のために存在する。「装置名」は、制御装置の名称である。「ノード名」は、制御装置に対応するノードの名称である。「ＩＰアドレス」は、制御装置に付されたＩＰアドレスである。「ＧＦＣ名称」は、〜。

また、各制御装置が有する制御装置固有情報の例を図６に示す。図６において、「ＩＤ」「アラームＩＤ」「パラメータの個数」「ランク」「アラームの意味」の属性を有する。「アラームＩＤ」とは、処理装置１１または制御装置１２で発生し得るアラームを識別する情報である。「パラメータの個数」とは、アラームに対応するパラメータ数である。「ランク」はアラームの重要度（緊急度）を示す情報である。「アラームの意味」は、アラームの意味を示す文言である。図６における制御装置固有情報は、制御装置１２が保持しているアラームリストである。なお、図６はアラームリストの例であり、アラームリストは他のデータ構造でも良い。

かかる場合、ユーザは、プロセス情報管理装置１３または、プロセス情報管理装置１３を操作可能なクライアント装置から、制御装置固有情報を制御装置から取得する取得指示を入力する。

次に、プロセス情報管理装置１３の受付部１３１は、取得指示（例えば、命令「取得 ｆｉｌｅＡ」を受け付ける。ここで、「ｆｉｌｅＡ」は、２以上の制御装置１２と通信するための２以上の通信設定情報が格納されているファイルであり、その内容は、例えば、図５である。

次に、受付部１３１は、取得指示「取得 ｆｉｌｅＡ」を受け付ける。そして、受付部１３１は、ファイル「ｆｉｌｅＡ」をオープンし、「ｆｉｌｅＡ」内の通信設定情報を「ＩＤ＝１」のレコードから、「ＩＤ＝２」のレコード、「ＩＤ＝３」のレコード等と、順次読み込む。

次に、通信設定情報蓄積部１３３は、読み込まれた通信設定情報を予め決められた領域（通信設定情報格納部１３２）に、順次、書き込み、２以上の制御装置１２と通信するための通信設定情報を登録していく。

そして、通信設定情報蓄積部１３３は、「ｆｉｌｅＡ」に定義されたすべての通信設定情報を登録する。

次に、制御装置固有情報受信部１３４は、通信設定情報蓄積部１３３が蓄積した通信設定情報を順に読み込む。そして、制御装置固有情報受信部１３４は、読み込んだ通信設定情報を用いて、通信設定情報で通信可能な制御装置１２と通信を行う。つまり、制御装置固有情報受信部１３４は、制御装置１２に対して、制御装置固有情報の送信を要求する。

次に、制御装置固有情報の送信を要求された制御装置１２の制御装置固有情報送信部１２２は、要求された制御装置固有情報（例えば、図６のアラームリスト）を、制御装置固有情報格納部１２１から読み出す。そして、制御装置固有情報送信部１２２は、読み出した制御装置固有情報（例えば、図６のアラームリスト）をプロセス情報管理装置１３に送信する。

次に、プロセス情報管理装置１３の制御装置固有情報受信部１３４は、制御装置固有情報（例えば、図６のアラームリスト）を受信する。そして、制御装置固有情報蓄積部１３５は、制御装置１２を識別する情報（例えば、制御装置名や制御装置ＩＤなど）と対応付けて、受信した制御装置固有情報を蓄積する。

具体的には、制御装置固有情報蓄積部１３５は、図７に示すような制御装置固有情報管理表を得る。制御装置固有情報管理表は、「ＩＤ」「制御装置名」「制御装置固有情報ファイル名」の属性を有する。「制御装置名」は、制御装置を特定する情報であり、図５の通信設定情報管理表から取得される。「制御装置固有情報ファイル名」は、制御装置１２が送信した制御装置固有情報が格納されているファイル名である。なお、制御装置固有情報蓄積部１３５は、「制御装置固有情報ファイル名」で識別される制御装置固有情報が格納されたファイルを蓄積することは言うまでもない。

次に、例えば、ユーザは、多数の制御装置固有情報のリストを出力する指示を、プロセス情報管理装置１３に対して、入力する。

すると、図示しない手段により、図８に示すような制御装置固有情報リスト（アラームリストのリスト）が表示される。図８において、制御装置Ｂのアラームリストがフォーカシングされている。

次に、ユーザは、入力手段から出力指示を入力した、とする。そして、受付部１３１は、出力指示を受け付け、出力部１３６は、ファイル「制御装置Ｂアラームリスト．ｃｓｖ」を読み込み、例えば、図６に示すようなアラームリストを出力する。

また、ユーザは、事前にプロセス情報管理装置１３が確実に取得したアラームリストを用いて、制御装置１２等から送信されたアラームの情報を処理できる。例えば、プロセス情報管理装置１３が取得したアラームリストを「ランク」の値により分類し、ランク別のグラフを生成する処理を行う場合、制御装置１２等から送信され、プロセス情報管理装置１３が受信したアラームの情報に、取得したアラームリストに照らして、「ランク」の値を付与し、蓄積する。そして、プロセス情報管理装置１３は、アラームの情報と「ランク」の値を用いて、ランク別にグラフ化（例えば、棒グラフなどを作成）する。

以上、本実施の形態によれば、プロセス情報管理装置１３は、多数の制御装置の固有の情報を、制御装置を管理下に置いた直後に、一度に取得できる。そして、制御装置の固有の情報を用いた、処理（例えば、上述の、アラームの情報のランク別のグラフ化）が容易にできる。

また、群管理システムにおいては、数十から数百台の制御装置１２が接続される場合もある。そのような場合、本実施の形態によれば、制御装置１２の登録が確実かつ迅速に行え、プロセス情報管理装置１３は確実に多数の制御装置と接続可能になる。

なお、本実施の形態によれば、制御装置の固有の情報は、処理装置固有の情報も含む。

また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。

また、上記各実施の形態において、各構成要素は専用のハードウェアにより構成されてもよく、あるいは、ソフトウェアにより実現可能な構成要素については、プログラムを実行することによって実現されてもよい。例えば、ハードディスクや半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェア・プログラムをＣＰＵ等のプログラム実行部が読み出して実行することによって、各構成要素が実現され得る。なお、上記各実施の形態におけるプロセス情報管理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、２以上の制御装置と通信するための設定情報である通信設定情報を２以上受け付ける通信設定情報受付ステップと、前記２以上の通信設定情報を蓄積する通信設定情報蓄積ステップと、前記通信設定情報蓄積ステップで蓄積した２以上の通信設定情報を用いて、前記２以上の制御装置とそれぞれ通信をし、各制御装置から制御装置固有情報を受信する制御装置固有情報受信ステップと、前記制御装置固有情報受信ステップで受信した制御装置固有情報を蓄積する制御装置固有情報蓄積ステップを実行させるためのプログラム、である。

また、上記プログラムにおいて、前記制御装置固有情報は、例えば、前記処理装置で発生したアラームについての情報であるアラームリストを含む情報である。

なお、上記プログラムにおいて、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する受信ステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。

また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。

また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（制御装置固有情報受信部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。

本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。

以上のように、本発明にかかる群管理システムは、多数の制御装置の固有の情報を、一度に取得できる、という効果を有し、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の処理装置に対する制御についての情報であるプロセス情報を管理するプロセス情報管理装置を含む群管理システムとして有用である。

実施の形態における群管理システムの概念図を示す図 同半導体ウエハ製造装置の例を示す図 同群管理システムのブロック図 同プロセス情報管理装置の動作について説明するフローチャート 同通信設定情報管理表を示す図 同制御装置固有情報の例を示す図 同制御装置固有情報管理表を示す図 同制御装置固有情報リストの表示例を示す図

符号の説明

１１ 処理装置
１２ 制御装置
１３ プロセス情報管理装置
１２１ 制御装置固有情報格納部
１２２ 制御装置固有情報送信部
１３１ 受付部
１３２ 通信設定情報格納部
１３３ 通信設定情報蓄積部
１３４ 制御装置固有情報受信部
１３５ 制御装置固有情報蓄積部
１３６ 出力部

Claims (5)

1. 被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムであって、
   前記制御装置は、
   当該制御装置固有の情報である制御装置固有情報を格納している制御装置固有情報格納部と、
   前記制御装置固有情報を前記プロセス情報管理装置に送信する制御装置固有情報送信部を具備し、
   前記プロセス情報管理装置は、
   前記２以上の制御装置と通信するための設定情報である通信設定情報を２以上受け付ける通信設定情報受付部と、
   前記２以上の通信設定情報を蓄積する通信設定情報蓄積部と、
   前記通信設定情報蓄積部が蓄積した２以上の通信設定情報を用いて、前記２以上の制御装置とそれぞれ通信をし、各制御装置から制御装置固有情報を受信する制御装置固有情報受信部と、
   前記制御装置固有情報受信部が受信した制御装置固有情報を蓄積する制御装置固有情報蓄積部を具備する群管理システム。
2. 前記制御装置固有情報は、
   前記処理装置で発生したアラームについての情報であるアラームリストを含む請求項１記載の群管理システム。
3. 被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と通信するための設定情報である通信設定情報を２以上受け付ける通信設定情報受付部と、
   前記２以上の通信設定情報を蓄積する通信設定情報蓄積部と、
   前記通信設定情報蓄積部が蓄積した２以上の通信設定情報を用いて、前記２以上の制御装置とそれぞれ通信をし、各制御装置から制御装置固有情報を受信する制御装置固有情報受信部と、
   前記制御装置固有情報受信部が受信した制御装置固有情報を蓄積する制御装置固有情報蓄積部を具備するプロセス情報管理装置。
4. 前記制御装置固有情報は、
   前記処理装置で発生したアラームについての情報であるアラームリストを含む請求項３記載のプロセス情報管理装置。
5. コンピュータに、
   ２以上の制御装置と通信するための設定情報である通信設定情報を２以上受け付ける通信設定情報受付ステップと、
   前記２以上の通信設定情報を蓄積する通信設定情報蓄積ステップと、
   前記通信設定情報蓄積ステップで蓄積した２以上の通信設定情報を用いて、前記２以上の制御装置とそれぞれ通信をし、各制御装置から制御装置固有情報を受信する制御装置固有情報受信ステップと、
   前記制御装置固有情報受信ステップで受信した制御装置固有情報を蓄積する制御装置固有情報蓄積ステップを実行させるためのプログラム。
   
   

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