JP5062806B2 - 群管理システム、プロセス情報管理装置、制御装置、およびプログラム - Google Patents

Description

本発明は、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の処理装置に対する制御についての情報であるレシピを管理する群管理システム等に関するものである。

従来の群管理システムは、レシピをコピーする場合に、同一の膜種を製造する半導体製造装置を選択し自動的にそれらの間でコピーを実行できるなどの機能を有する（例えば、特許文献１参照）。

また、従来の群管理システムを構成する制御装置（半導体製造装置など）のレシピには、装置機差を吸収するためにプロセスパラメータと呼ぶ変数が記述されている。また、本プロセスパラメータは、複数のレシピで共通に記述されている。そして、処理装置や制御装置のメンテナンスなどで性能が変わった場合に、ユーザは、プロセスパラメータの値を変更していた。
特開平１１−３４０１１１号公報（第１頁、第１図等）

プロセスパラメータの値の変更の際に、そのプロセスパラメータを使っているレシピを知ることにより、プロセスパラメータの変更の妥当性を確認する必要がある。しかしながら、従来の群管理システムにおいては、プロセスパラメータの変更の妥当性を確認するために、ユーザは、全てのレシピをオープンし、レシピの内容を、逐一参照し、判断していた。また、ユーザが、レシピの内容を確認せずに、プロセスパラメータの変更を行ったために、不適切なプロセスパラメータの変更となり、その結果、制御装置や処理装置において好適に動作しない、ということが発生していた。

本第一の発明のプロセス情報管理装置は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムを構成するプロセス情報管理装置であって、前記２以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である２以上のレシピを、前記２以上の制御装置に各々対応付けて格納しているレシピ格納部と、レシピに含まれるプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を受け付ける受付部と、前記プロセスパラメータ情報を用いて、前記レシピ格納部からレシピを検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得するレシピ情報取得部と、前記レシピ情報取得部が取得したレシピ情報を出力する出力部を具備するプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、プロセスパラメータの変更が影響し得る１以上のレシピを容易に知ることができる。

また、本第二の発明のプロセス情報管理装置は、第一の発明に対して、前記プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名を含み、前記レシピ情報取得部は、前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しているレシピを前記レシピ格納部から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得するプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、プロセスパラメータの変更が影響し得る１以上のレシピを容易に知ることができる。

また、本第三の発明のプロセス情報管理装置は、第一の発明に対して、前記プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名とプロセスパラメータの値を含み、前記レシピ情報取得部は、前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しており、かつ、当該プロセスパラメータの値が、前記受付部が受け付けたプロセスパラメータ情報に含まれる値と所定の関係にある値であるレシピを前記レシピ格納部から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得するプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、プロセスパラメータの変更が影響し得る１以上のレシピを容易に知ることができる。

また、本第四の発明のプロセス情報管理装置は、第一のから第三の発明に対して、前記レシピは、プロセスパラメータに対するリンクの情報であるリンク情報を含み、複数のレシピが一のプロセスパラメータに対するリンク情報を有するプロセス情報管理装置である。

かかる構成により、プロセスパラメータの変更が直接的に影響し得る１以上のレシピを容易に知ることができる。

また、本第五の発明の群管理システムは、被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムであって、前記制御装置は、前記処理装置を制御するために使用されるレシピを格納している制御装置側レシピ格納部と、前記制御装置側レシピ格納部のレシピを前記プロセス情報管理装置に送信するレシピ送信部と、前記制御装置側レシピ格納部のレシピを使用して、前記処理装置を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる制御部と、レシピ内のプロセスパラメータの変更指示を受け付ける変更受付部と、前記変更受付部が受け付けた変更指示に応じて、前記制御装置側レシピ格納部のレシピを変更するレシピ変更部と、前記変更の対象のプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を取得するプロセスパラメータ情報取得部と、前記プロセスパラメータ情報取得部が取得したプロセスパラメータ情報を前記プロセス情報管理装置に送信するプロセスパラメータ情報送信部と、前記プロセスパラメータ情報の送信に対応して、当該プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更により影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を前記プロセス情報管理装置から受信するレシピ情報受信部と、前記レシピ情報受信部が受信したレシピ情報を出力するレシピ情報出力部を具備し、前記プロセス情報管理装置は、レシピを格納できるレシピ格納部と、前記２以上の制御装置からレシピを受信するレシピ受信部と、前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ格納部に蓄積するレシピ蓄積部と、前記制御装置からプロセスパラメータ情報を受信するプロセスパラメータ情報受信部と、前記プロセスパラメータ情報受信部が受信したプロセスパラメータ情報を用いて、前記レシピ格納部の１以上のレシピを検索し、前記プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更が影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を取得するレシピ情報取得部と、前記レシピ情報取得部が取得したレシピ情報を前記制御装置に送信するレシピ情報送信部を具備する群管理システムである。

かかる構成により、ユーザは、プロセスパラメータ情報を変更する際、変更の妥当性を容易に、かつ確実に確認することができる。その結果、不用意にレシピが修正され、製造に悪影響を及ぼすことを防止できる。

また、本第六の発明の群管理システムは、第五の発明に対して、前記プロセスパラメータ情報送信部は、前記変更受付部がレシピ内のプロセスパラメータの変更の指示を受け付けた後、前記レシピ変更部がレシピを変更する前に、プロセスパラメータ情報を前記プロセス情報管理装置に送信する群管理システムである。

かかる構成により、ユーザは、プロセスパラメータ情報を変更する際、変更の妥当性を容易に、かつ確実に確認することができる。その結果、不用意にレシピが修正され、製造に悪影響を及ぼすことを防止できる。

また、本第七の発明の群管理システムは、第五、第六いずれかの発明に対して、前記プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名を含み、前記レシピ情報取得部は、前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しているレシピを前記レシピ格納部から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する群管理システムである。

かかる構成により、ユーザは、プロセスパラメータ情報を変更する際、変更の妥当性を容易に、かつ確実に確認することができる。その結果、不用意にレシピが修正され、製造に悪影響を及ぼすことを防止できる。

また、本第八の発明の群管理システムは、第五、第六いずれかの発明に対して、前記プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名とプロセスパラメータの値を含み、前記レシピ情報取得部は、前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しており、かつ、当該プロセスパラメータの値が、前記プロセスパラメータ情報受信部が受信したプロセスパラメータ情報に含まれる値と所定の関係にある値であるレシピを前記レシピ格納部から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する群管理システムである。

かかる構成により、ユーザは、プロセスパラメータ情報を変更する際、変更の妥当性を容易に、かつ確実に確認することができる。その結果、不用意にレシピが修正され、製造に悪影響を及ぼすことを防止できる。

また、本第九の発明の群管理システムは、第五のから第八の発明に対して、前記レシピは、プロセスパラメータに対するリンクの情報であるリンク情報を含み、複数のレシピが一のプロセスパラメータに対するリンク情報を有する群管理システムである。

かかる構成により、プロセスパラメータの変更が直接的に影響し得る１以上のレシピを容易に知ることができる。

本発明による群管理システムによれば、プロセスパラメータの変更が影響し得る１以上のレシピを容易に知ることができ、プロセスパラメータの変更が適切にできる。その結果、制御装置や処理装置の動作を良好に担保できる。

以下、群管理システム等の実施形態について図面を参照して説明する。なお、実施の形態において同じ符号を付した構成要素は同様の動作を行うので、再度の説明を省略する場合がある。
（実施の形態１）

図１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。群管理システムは、例えば、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシステムである。また、群管理システムは、１以上の処理装置１１（処理装置１１（１）から処理装置１１（ｎ））、1以上の制御装置１２（制御装置１２（１）から制御装置１２（ｎ））、およびプロセス情報管理装置１３、クライアント装置１４を有する。

処理装置１１は、被処理基板に対する所定のプロセスを行う装置である。さらに具体的には、処理装置１１は、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置である。処理装置１１は、例えば、成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処理基板に対する各種処理を行う。処理装置１１は、例えば、複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置である。本半導体ウエハ製造装置の例を図２に示す。図２に示すように、本半導体ウエハ製造装置は、半導体ウエハに対して各種の処理、例えば、成膜処理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数（例えば、３つ）のプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚（例えば、５０枚）のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容するカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各チャンバ間は、ゲートバルブＧを介して開閉自在に連結されている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられており、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷの搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２は、カセットチャンバ４、５内に取り込まれる際に９０度反転されると共に、そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ６内の中心を向くように回転され、搬送アーム７によるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。

また、制御装置１２は、処理装置１１を制御する装置であり、通常、処理装置１１に対応して設けられている。制御装置１２は、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であるレシピ（通常、プロセス条件値の集合）を格納しており、当該レシピを用いて、処理装置１１を制御する。制御装置１２は、処理装置１１を制御した際に発生するアラームの情報の集合であるアラームリスト等の制御装置固有の情報である制御装置固有情報を取得し、格納している。なお、処理装置１１と制御装置１２は、一体となっていても良いし、分離されていても良い。

図３は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。群管理システムは、処理装置１１、制御装置１２、プロセス情報管理装置１３、クライアント装置１４を具備する。なお、図３において、処理装置１１は省略している。

制御装置１２は、制御装置側レシピ格納部１２１、レシピ送信部１２２、制御部１２３を具備する。

プロセス情報管理装置１３は、レシピ格納部１３１、レシピ受信部１３２、レシピ蓄積部１３３、受付部１３４、レシピ情報取得部１３５、出力部１３６を具備する。

クライアント装置１４は、プロセスパラメータ情報入力部１４１、プロセスパラメータ情報送付部１４２、レシピ情報受付部１４３、レシピ情報表示部１４４を具備する。

制御装置側レシピ格納部１２１は、処理装置１１を制御するために使用されるレシピを格納している。レシピとは、被処理基板に対する所定のプロセスに関する情報であり、通常、プロセスパラメータの情報の集合を含むである。レシピは、例えば、プロセスパラメータに対するリンクの情報であるリンク情報を含む。なお、レシピは、プロセスパラメータの情報を直接的に有しても良い。プロセスパラメータの情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名、値を含む。カテゴリー名とは、プロセスパラメータの種類を示す名称であり、例えば、「温度」「ガス流量」「ボートエレベーターのスピード」などである。アイテム名は、プロセスパラメータの属性を示す名称であり、例えば、「上下速度」「回転速度」などである。パラメータ名は、プロセスパラメータの名称であり、例えば、「Ｃ」「Ａ」などである。値は、プロセスパラメータという変数に与える値である。制御装置側レシピ格納部１２１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。

レシピ送信部１２２は、制御装置側レシピ格納部１２１のレシピをプロセス情報管理装置１３に送信する。レシピ送信部１２２は、無線または有線の通信手段等で実現され得る。

制御部１２３は、制御装置側レシピ格納部１２１のレシピを使用して、処理装置１１を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる。制御部１２３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。制御部１２３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

レシピ格納部１３１は、２以上の制御装置１２が保持しているプロセスに関する情報である２以上のレシピを、２以上の制御装置１２に各々対応付けて格納している。上述したようにレシピは、例えば、プロセスパラメータに対するリンクの情報であるリンク情報を含む。そして、複数のレシピが一のプロセスパラメータに対するリンク情報を有する。かかる場合、一のレシピの一のプロセスパラメータの情報の変更が、他のレシピに直接的に影響を及ぼす。他のレシピが、リンク情報により、当該一のプロセスパラメータの情報を参照しているからである。レシピ格納部１３１のレシピは、通常、２以上の制御装置１２から受信したレシピであるが、可搬型の記録媒体から読み出されたレシピでも良い。レシピ格納部１３１は、不揮発性の記録媒体が好適であるが、揮発性の記録媒体でも実現可能である。

レシピ受信部１３２は、２以上の制御装置１２からレシピを受信する。レシピ受信部１３２は、通常、無線または有線の通信手段で実現されるが、放送を受信する手段で実現されても良い。

レシピ蓄積部１３３は、レシピ受信部１３２が受信したレシピをレシピ格納部１３１に蓄積する。レシピ蓄積部１３３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。レシピ蓄積部１３３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

受付部１３４は、レシピに含まれるプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を受け付ける。ここでのプロセスパラメータ情報の受け付けとは、受信や、ユーザからの入力受付などである。プロセスパラメータ情報は、レシピに含まれるプロセスパラメータについての情報である。プロセスパラメータ情報は、例えば、プロセスパラメータ名を含む。また、例えば、プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名とプロセスパラメータの値を含む。プロセスパラメータ情報の入力手段は、例えば、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等である。受付部１３４は、受信手段（無線または有線の通信手段）や、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。

レシピ情報取得部１３５は、受付部１３４が受け付けたプロセスパラメータ情報を用いて、レシピ格納部１３１からレシピを検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する。さらに具体的には、レシピ情報取得部１３５は、受付部１３４が受け付けたプロセスパラメータ情報を含む、または受付部１３４が受け付けたプロセスパラメータ情報と所定の関係にあるプロセスパラメータ情報を含むレシピを検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する。レシピ情報とは、例えば、レシピ名や、レシピ名とレシピの内容中のプロセスパラメータ情報を含む箇所を示す情報（行番号など）である。また、例えば、レシピ情報取得部１３５は、プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しているレシピをレシピ格納部１３１から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する。また、例えば、レシピ情報取得部１３５は、プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しており、かつ、当該プロセスパラメータの値が、受付部１３４が受け付けたプロセスパラメータ情報に含まれる値と所定の関係にある値であるレシピをレシピ格納部１３１から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する。レシピ情報取得部１３５は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。レシピ情報取得部１３５の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

出力部１３６は、レシピ情報取得部１３５が取得したレシピ情報を出力する。出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。出力部１３６は、例えば、無線または有線の通信手段で実現される。また、出力部１３６は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。かかる場合、出力部１３６は、ディスプレイやスピーカー等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。

プロセスパラメータ情報入力部１４１は、プロセスパラメータ情報を入力する。プロセスパラメータ情報入力部１４１は、例えば、キーボードとマウスとそれらのドライバーソフトにより実現され得る。

プロセスパラメータ情報送付部１４２は、プロセスパラメータ情報入力部１４１を用いてユーザが入力したプロセスパラメータ情報を、プロセス情報管理装置１３に送付する。ここで、送付とは、例えば、送信である。プロセスパラメータ情報送付部１４２は、例えば、無線または有線の通信手段で実現される。

レシピ情報受付部１４３は、レシピ情報をプロセス情報管理装置１３から受け付ける。ここで、受け付けとは、例えば、受信である。レシピ情報受付部１４３は、例えば、無線または有線の通信手段で実現される。

レシピ情報表示部１４４は、レシピ情報受付部１４３が受信したレシピ情報をディスプレイに表示する。レシピ情報表示部１４４は、例えば、ディスプレイのドライバーソフトにより実現され得る。

次に、群管理システムの動作について説明する。まず、制御装置１２の動作の例について説明する。制御装置１２のレシピ送信部１２２は、制御装置１２とプロセス情報管理装置１３が接続されたことを検知し、または、プロセス情報管理装置１３からの要求に応じて、制御装置側レシピ格納部１２１のレシピを読み出し、プロセス情報管理装置１３に送信する。また、制御装置１２の制御部１２３は、制御装置側レシピ格納部１２１のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって、処理装置１１を制御する。そして、処理装置１１は、制御装置１２の指示にしたがって、被処理基板に対するプロセスを行う。

次に、プロセス情報管理装置１３の動作について、図４のフローチャートを用いて説明する。

（ステップＳ４０１）レシピ受信部１３２は、制御装置１２からレシピを受信したか否かを判断する。レシピを受信すればステップＳ４０２に行き、レシピを受信しなければステップＳ４０３に行く。

（ステップＳ４０２）レシピ蓄積部１３３は、ステップＳ４０１で受信したレシピをレシピ格納部１３１に蓄積する。

（ステップＳ４０３）受付部１３４は、プロセスパラメータ情報を受け付けたか否かを判断する。プロセスパラメータ情報を受け付ければステップＳ４０４に行き、プロセスパラメータ情報を受け付けなければステップＳ４０１に戻る。

（ステップＳ４０４）レシピ情報取得部１３５は、カウンタｉに１を代入する。

（ステップＳ４０５）レシピ情報取得部１３５は、ｉ番目のレシピが存在するか否かを判断する。ｉ番目のレシピが存在すればステップＳ４０６に行き、ｉ番目のレシピが存在しなければステップＳ４１５に行く。

（ステップＳ４０６）レシピ情報取得部１３５は、カウンタｊに１を代入する。

（ステップＳ４０７）レシピ情報取得部１３５は、ｉ番目のレシピ（例えば、ファイル）をオープンする。

（ステップＳ４０８）レシピ情報取得部１３５は、ｉ番目のレシピのｊ番目のプロセスパラメータ情報が存在するか否かを判断する。ｊ番目のプロセスパラメータ情報が存在すればステップＳ４０９に行き、ｊ番目のプロセスパラメータ情報が存在しなければステップＳ４１４に行く。

（ステップＳ４０９）レシピ情報取得部１３５は、ｊ番目のプロセスパラメータ情報を読み出す。

（ステップＳ４１０）レシピ情報取得部１３５は、ステップＳ４０３で受け付けたプロセスパラメータ情報と、ステップＳ４０９で読み出したｊ番目のプロセスパラメータ情報を比較し、所定の条件に合致するか否かを判断する。所定の条件に合致すればステップＳ４１１に行き、所定の条件に合致しなければステップＳ４１２に行く。なお、所定の条件とは、例えば、完全一致することである。また、所定の条件とは、例えば、プロセスパラメータ情報のうち、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名の３つの情報が一致することである。また、所定の条件とは、例えば、プロセスパラメータ情報のうち、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名、値の４つの情報が一致することである。また、所定の条件とは、例えば、プロセスパラメータ情報のうち、カテゴリー名、アイテム名、パラメータ名の３つの情報が一致し、かつ、値の差は所定以下であることである。

（ステップＳ４１１）レシピ情報取得部１３５は、カウンタｊを１、インクリメントする。そして、ステップＳ４０８に戻る。

（ステップＳ４１２）レシピ情報取得部１３５は、ｉ番目のレシピの情報であるレシピ情報を取得する。レシピ情報とは、例えば、レシピの名称である。また、レシピ情報とは、例えば、レシピの名称と、ｊ番目のプロセスパラメータ情報の箇所（行番号や、ファイルの最初からのオフセット等）の情報である。なお、レシピ情報が、条件に合致するプロセスパラメータの箇所の情報を含む場合、レシピ情報取得部１３５は、条件に合致するプロセスパラメータ情報をすべて見つけるように処理を行うことが好適である。

（ステップＳ４１３）レシピ情報取得部１３５は、ステップＳ４１２で取得したレシピ情報を、メモリ等に一時格納する。

（ステップＳ４１４）レシピ情報取得部１３５は、カウンタｉを１、インクリメントする。そして、ステップＳ４０５に戻る。

（ステップＳ４１５）出力部１３６は、レシピ情報取得部１３５が取得し、一時格納したレシピ情報を読み出し、出力する。出力部１３６のレシピ情報の出力態様は問わない。

なお、図４のフローチャートにおいて、電源オフや処理終了の割り込みにより処理は終了する。

次に、クライアント装置１４の動作について説明する。クライアント装置１４のプロセスパラメータ情報入力部１４１は、ユーザからのプロセスパラメータ情報の入力を受け付ける。そして、プロセスパラメータ情報送付部１４２は、入力されたプロセスパラメータ情報をプロセス情報管理装置１３に送信する。そして、レシピ情報受付部１４３は、プロセスパラメータ情報の送信に対応して、レシピ情報を受信する。次に、レシピ情報表示部１４４は、受信したレシピ情報を表示する。

以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１である。

また、プロセス情報管理装置１３は、２以上の制御装置１２からレシピを受信し、レシピ格納部１３１には、図５に示すような多数のレシピが格納されている、とする。図５に示す各レシピは、複数のステップを有する。また、各ステップは、「ステップＮｏ」「ステップ名」「ステップタイム」「カテゴリー名」「アイテム名」「パラメータ名」「値」などの情報を有する。「ステップＮｏ」は、ステップを識別するＩＤである。「ステップ名」は、ステップに付された名称である。「ステップタイム」は、ステップを実行する時刻を示す。「カテゴリー名」は、プロセスパラメータ情報を構成するカテゴリーの名前である。「アイテム名」は、プロセスパラメータ情報を構成するアイテムの名前である。「パラメータ名」は、プロセスパラメータ情報を構成するパラメータの名前である。「値」は、「パラメータ名」で示される変数に与える値である。各ステップは、プロセスパラメータ情報を含む。プロセスパラメータ情報は、「カテゴリー名」「アイテム名」「パラメータ名」「値」の情報を含む。プロセスパラメータ情報は、「カテゴリー名」「アイテム名」「パラメータ名」「値」以外の情報を含んでも良いことは言うまでもない。

かかる状況において、制御装置１２のユーザは、例えば、制御装置１２のメンテナンスなどで制御装置１２の性能が変わった場合に、プロセスパラメータの値を変更しようとする、とする。

次に、ユーザは、プロセスパラメータの値の変更が、他のプロセスパラメータに与える影響を知るために、変更対象のプロセスパラメータの情報を、クライアント装置１４から入力する。例えば、ユーザは、図６に示す画面からプロセスパラメータ情報を入力する。ここで、プロセスパラメータ情報は、「カテゴリー名」「アイテム名」「パラメータ名」からなる。そして、ユーザは、「実行」ボタンを、マウスで押下した、とする。

次に、クライアント装置１４のプロセスパラメータ情報入力部１４１は、「カテゴリー名＝"ボートエレベーター"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ｃ"」からなるプロセスパラメータ情報を受け付ける。

次に、プロセスパラメータ情報送付部１４２は、「カテゴリー名＝"ボートエレベーター"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ｃ"」からなるプロセスパラメータ情報をプロセス情報管理装置１３に送信する。

次に、プロセス情報管理装置１３の受付部１３４は、「カテゴリー名＝"ボートエレベーター"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ｃ"」からなるプロセスパラメータ情報を受信する。

そして、レシピ情報取得部１３５は、レシピ格納部１３１のすべてのレシピに対して、「カテゴリー名＝"ボートエレベーター"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ｃ"」からなるプロセスパラメータ情報を含むステップを検索し、当該ステップを含むレシピ名（例えば、「レシピＸＹ」など）を取得する。また、プロセスパラメータ情報を含むステップを識別する「ステップＮｏ」も取得する。

そして、レシピ情報取得部１３５は、例えば、図７に示す取得レシピ情報管理表を、メモリ上に得る。取得レシピ情報管理表は、「ＩＤ」「レシピ名」「ステップＮｏ」の属性を有する。「ＩＤ」は、レコードを識別する情報であり、表におけるレコード管理のために存在する。

次に、出力部１３６は、図７に示す取得レシピ情報管理表を用いて、取得したレシピ情報を出力する。ここでの出力は、クライアント装置１４への送信である。

次に、クライアント装置１４のレシピ情報受付部１４３は、プロセス情報管理装置１３からレシピ情報を受信する。そして、レシピ情報表示部１４４は、受信したレシピ情報を表示する。ここで、レシピ情報の出力例を図８に示す。図８において、「レシピ名」と「レシピ名」で識別されるレシピの属性値（編集者、更新日時など）を表示している。つまり、ここでのレシピ情報は、レシピ名と、レシピの属性値（編集者、更新日時など）を含む。

また、一のレシピ名を指定すれば（例えば、マウスでクリックすれば）、そのレシピ名で識別されるレシピに対応するステップＮｏ（影響を受け得るステップの識別情報）を用いて、ステップの情報（プロセスパラメータの情報）が表示される。その表示例を図９に示す。図９によれば、影響を受け得るステップの行がフォーカシングされて、他のステップと区別されている。

以上、本実施の形態によれば、ユーザは、プロセスパラメータ情報を変更する際、変更の妥当性を容易に確認することができる。また、レシピの検索は制御装置と同期したレシピを持つプロセス情報管理装置で行われるため、制御装置のＣＰＵの負荷に影響を与えることがなく、半導体の製造等の処理に影響を及ぼさない。また、プロセス情報管理装置と制御装置がオフラインの場合もレシピ情報の検索が実行できる。

なお、本実施の形態の具体例によれば、ユーザが入力するプロセスパラメータ情報は、「カテゴリー名」「アイテム名」「パラメータ名」であったが、他の情報でも良い。かかることは、他の実施の形態においても同様である。例えば、ユーザが入力するプロセスパラメータ情報は、「カテゴリー名」「アイテム名」「パラメータ名」「値」でも良い。かかる場合のクライアント装置１４における入力画面例を図１０に示す。そして、図１０において入力した「カテゴリー名」「アイテム名」「パラメータ名」「値」を用いて、プロセス情報管理装置１３のレシピ情報取得部１３５は、レシピ情報を検索し、出力する。ここでは、例えば、レシピ情報取得部１３５は、「カテゴリー名＝"温度"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ａ"」「値＝"１２０"」を有するステップを含むレシピ名、および１以上のステップＮｏを、レシピ情報として取得する。なお、レシピ情報取得部１３５は、「値＝"１２０"」の「１２０」から「＋−１０」の範囲（ｔまり、「１１０〜１３０」までの値を有するステップ（レシピ）を条件に合致すると判断する場合もあり得る。

また、本実施の形態によれば、プロセス情報管理装置１３は、レシピ受信部１３２、レシピ蓄積部１３３を具備し、レシピ格納部１３１のレシピを制御装置１２から受信する態様であったが、予めレシピをレシピ格納部１３１に格納していても良い。かかることも他の実施の形態においても同様である。

また、本実施の形態において、クライアント装置１４のユーザが、プロセス情報管理装置１３のレシピ格納部１３１のレシピのプロセスパラメータ情報を変更することができても良い。かかる場合、プロセス情報管理装置１３は、図示しない手段（例えば、更新受付部）により、プロセスパラメータ情報の変更を受け付け、レシピ情報取得部１３５は、当該プロセスパラメータ情報の変更が影響を及ぼすレシピ（プロセスパラメータ情報を用いているレシピ）を検索し、レシピ情報を取得しても良い。そして、プロセス情報管理装置１３の図示しない手段（例えば、サーバ側レシピ送信部）が、レシピ情報取得部１３５の検索したレシピ情報を格納する制御装置１２に対して、更新されたプロセスパラメータ情報または更新されたレシピ全体を送信しても良い。この場合、制御装置１２の図示しない手段（例えば、制御装置側レシピ受信部）が、更新されたプロセスパラメータ情報または更新されたレシピ全体を受信し、図示しない手段（例えば、制御装置側レシピ更新部）が制御装置側レシピ格納部１２１に上書き更新する。なお、上記の処理を行う場合、プロセス情報管理装置１３は、各レシピを元々保持している制御装置１２と通信するための通信情報（例えば、制御装置１２のＩＰアドレスなど）を格納しており、当該通信情報を用いて、更新されたプロセスパラメータ情報または更新されたレシピ全体を制御装置１２に送信する。さらに、かかる場合、クライアント装置１４のユーザが、プロセス情報管理装置１３のレシピ格納部１３１のレシピのプロセスパラメータ情報を変更する指示を行った場合に、当該プロセスパラメータ情報の変更が影響を及ぼし得るレシピのレシピ情報を、プロセス情報管理装置１３のレシピ情報取得部１３５が取得し、出力部１３６がレシピ情報取得部１３５の取得したレシピ情報を出力しても良い。そして、クライアント装置１４のユーザは、プロセスパラメータ情報の変更が影響を及ぼし得るレシピのレシピ情報をチェックした後、更新許可の指示を入力し、その後、レシピの更新を行っても良い。

また、本実施の形態において、処理装置１１と制御装置１２は分離していたが、一の装置でも良い。かかることも他の実施の形態においても同様である。

さらに、本実施の形態における処理は、ソフトウェアで実現しても良い。そして、このソフトウェアをソフトウェアダウンロード等により配布しても良い。また、このソフトウェアをＣＤ−ＲＯＭなどの記録媒体に記録して流布しても良い。なお、このことは、本明細書における他の実施の形態においても該当する。なお、本実施の形態におけるプロセス情報管理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、レシピに含まれるプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を受け付ける受付ステップと、前記プロセスパラメータ情報を用いて、記録媒体に格納されているレシピを検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得するレシピ情報取得ステップと、前記レシピ情報取得ステップで取得したレシピ情報を出力する出力ステップを実行させるためのプログラム、である。

また、上記プログラムにおいて、前記プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名を含み、前記レシピ情報取得ステップにおいて、前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しているレシピを記録媒体から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得することは好適である。

また、上記プログラムにおいて、前記プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名とプロセスパラメータの値を含み、前記レシピ情報取得ステップにおいて、前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しており、かつ、当該プロセスパラメータの値が、前記受付ステップで受け付けたプロセスパラメータ情報に含まれる値と所定の関係にある値であるレシピを記録媒体から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得することは好適である。
（実施の形態２）

図１１は、本実施の形態における群管理システムの概念図である。本群管理システムは、レシピのプロセスパラメータ情報の変更指示が入力される制御装置１２から、プロセス情報管理装置１３に、プロセスパラメータ情報の変更の影響についての問い合わせがあり、プロセスパラメータ情報の変更が影響を与える可能性のあるレシピの情報がプロセス情報管理装置１３から制御装置１２に送信され、制御装置１２で出力される群管理システムである。図１１において、群管理システムは、１以上の処理装置１１（処理装置１１（１）から処理装置１１（ｎ））、1以上の制御装置１１２（制御装置１１２（１）から制御装置１１２（ｎ））、およびプロセス情報管理装置１１３を有する。

図１２は、本実施の形態における群管理システムのブロック図である。なお、図１２において、処理装置１１は省略している。

制御装置１１２は、制御装置側レシピ格納部１２１、レシピ送信部１２２、制御部１２３、変更受付部１１２１、レシピ変更部１１２２、プロセスパラメータ情報取得部１１２３、プロセスパラメータ情報送信部１１２４、レシピ情報受信部１１２５、レシピ情報出力部１１２６を具備する。

プロセス情報管理装置１１３は、レシピ格納部１３１、レシピ受信部１３２、レシピ蓄積部１３３、プロセスパラメータ情報受信部１１３１、レシピ情報取得部１１３２、レシピ情報送信部１１３３を具備する。

変更受付部１１２１は、レシピ内のプロセスパラメータの変更指示を受け付ける。さらに具体的には、変更受付部１１２１は、レシピ内のプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報の変更の指示である変更指示を受け付ける。変更指示は、例えば、プロセスパラメータ名と、変更後の値を含む。変更指示の入力手段は、テンキーやキーボードやマウスやメニュー画面によるもの等、何でも良い。変更受付部１１２１は、テンキーやキーボード等の入力手段のデバイスドライバーや、メニュー画面の制御ソフトウェア等で実現され得る。

レシピ変更部１１２２は、変更受付部１１２１が受け付けたプロセスパラメータの変更の指示に応じて、制御装置側レシピ格納部１２１のレシピを変更する。例えば、レシピ変更部１１２２は、変更受付部１１２１が受け付けた変更指示が含むプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータの値を、変更指示が含む値に変更する。レシピ変更部１１２２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。レシピ変更部１１２２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

プロセスパラメータ情報取得部１１２３は、変更の対象のプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を取得する。プロセスパラメータ情報は、例えば、プロセスパラメータ名のみである。また、プロセスパラメータ情報は、例えば、プロセスパラメータ名と値である。プロセスパラメータ情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、プロセスパラメータ名である。また、プロセスパラメータ情報は、例えば、カテゴリー名、アイテム名、プロセスパラメータ名、値である。プロセスパラメータ情報取得部１１２３は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。プロセスパラメータ情報取得部１１２３の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。

プロセスパラメータ情報送信部１１２４は、プロセスパラメータ情報取得部１１２３が取得したプロセスパラメータ情報をプロセス情報管理装置１１３に送信する。プロセスパラメータ情報送信部１１２４は、変更受付部１１２１がレシピ内のプロセスパラメータの変更の指示を受け付けた後、レシピ変更部１１２２がレシピを変更する前に、プロセスパラメータ情報をプロセス情報管理装置１１３に送信することが好適である。プロセスパラメータ情報送信部１１２４は、通常、無線または有線の通信手段で実現されるが、放送手段で実現されても良い。

レシピ情報受信部１１２５は、プロセスパラメータ情報の送信に対応して、当該プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更により影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報をプロセス情報管理装置１１３から受信する。レシピ情報受信部１１２５は、通常、無線または有線の通信手段で実現されるが、放送を受信する手段で実現されても良い。

レシピ情報出力部１１２６は、レシピ情報受信部１１２５が受信したレシピ情報を出力する。ここで、出力とは、ディスプレイへの表示、プリンタへの印字、音出力、外部の装置への送信、記録媒体への蓄積等を含む概念である。レシピ情報出力部１１２６は、ディスプレイやスピーカー等の出力デバイスを含むと考えても含まないと考えても良い。レシピ情報出力部１１２６は、出力デバイスのドライバーソフトまたは、出力デバイスのドライバーソフトと出力デバイス等で実現され得る。

プロセスパラメータ情報受信部１１３１は、制御装置１１２からプロセスパラメータ情報を受信する。プロセスパラメータ情報受信部１１３１は、無線の通信手段が好適であるが、放送を受信する手段や有線の通信手段でも実現可能である。

レシピ情報取得部１１３２は、プロセスパラメータ情報受信部１１３１が受信したプロセスパラメータ情報を用いて、レシピ格納部１３１の１以上のレシピを検索し、プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更が影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を取得する。レシピ情報取得部１１３２は、例えば、プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しているレシピをレシピ格納部１３１から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する。また、レシピ情報取得部１１３２は、例えば、プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しており、かつ、当該プロセスパラメータの値が、プロセスパラメータ情報受信部１１３１が受信したプロセスパラメータ情報に含まれる値と所定の関係にある値であるレシピをレシピ格納部１３１から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する。レシピ情報取得部１１３２は、通常、ＭＰＵやメモリ等から実現され得る。レシピ情報取得部１１３２の処理手順は、通常、ソフトウェアで実現され、当該ソフトウェアはＲＯＭ等の記録媒体に記録されている。但し、ハードウェア（専用回路）で実現しても良い。また、レシピ情報取得部１１３２の検索処理については、レシピ情報取得部１３５と同様である。

レシピ情報送信部１１３３は、レシピ情報取得部１１３２が取得したレシピ情報を制御装置１１２に送信する。レシピ情報送信部１１３３は、通常、無線または有線の通信手段で実現されるが、放送手段で実現されても良い。

次に、群管理システムの動作について説明する。まず、制御装置１１２の動作の例について説明する。制御装置１１２のレシピ送信部１２２は、制御装置１１２とプロセス情報管理装置１１３が接続されたことを検知し、または、プロセス情報管理装置１１３からの要求に応じて、制御装置側レシピ格納部１２１のレシピを読み出し、プロセス情報管理装置１１３に送信する。また、制御装置１１２の制御部１２３は、制御装置側レシピ格納部１２１のレシピを読み出し、当該レシピにしたがって、処理装置１１を制御する。そして、処理装置１１は、制御装置１１２の指示にしたがって、被処理基板に対するプロセスを行う。また、制御装置１１２や処理装置１１のメンテナンスなどで性能が変わった場合、プロセスパラメータの値を変更する場合があるが、その変更の際の制御装置１１２の処理について、図１３のフローチャートを用いて説明する。

（ステップＳ１３０１）変更受付部１１２１は、レシピ内のプロセスパラメータの変更指示を受け付けたか否かを判断する。変更指示を受け付ければステップＳ１３０２に行き、変更指示を受け付けなければステップＳ１３０1に戻る。

（ステップＳ１３０２）プロセスパラメータ情報取得部１１２３は、ステップＳ１３０１で受け付けた変更指示に応じて、変更の対象のプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を取得する。

（ステップＳ１３０３）プロセスパラメータ情報送信部１１２４は、プステップＳ１３０２で取得したプロセスパラメータ情報をプロセス情報管理装置１１３に送信する。

（ステップＳ１３０４）レシピ情報受信部１１２５は、ステップＳ１３０３におけるプロセスパラメータ情報の送信に対応して、当該プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更により影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報をプロセス情報管理装置１１３から受信したか否かを判断する。レシピ情報を受信すればステップＳ１３０５に行き、レシピ情報を受信しなければステップＳ１３０４に戻る。

（ステップＳ１３０５）レシピ情報出力部１１２６は、ステップＳ１３０４で受信したレシピ情報を出力する。

（ステップＳ１３０６）図示しない手段が、レシピ情報の変更許可の指示を受け付けたか否かを判断する。レシピ情報の変更許可の指示を受け付ければステップＳ１３０７に行き、レシピ情報の変更許可の指示を受け付けなければ処理を終了する。

（ステップＳ１３０７）レシピ変更部１１２２は、ステップＳ１３０１で受け付けたプロセスパラメータの変更の指示に応じて、制御装置側レシピ格納部のレシピを変更する。

なお、図１３のフローチャートにおいて、レシピ変更部１１２２がプロセスパラメータの変更を行ってから、その変更に影響を及ぼされる可能性のあるレシピ情報をプロセス情報管理装置１１３から受信し、出力しても良い。かかる場合、変更を取り消す処理を行えることが好ましい。

次に、プロセス情報管理装置１１３の動作について、図１４のフローチャートを用いて説明する。図１４のフローチャートにおいて、図４のフローチャートと同じステップについて、その説明は省略する。

（ステップＳ１４０１）プロセスパラメータ情報受信部１１３１は、制御装置１１２からプロセスパラメータ情報を受信したか否かを判断する。プロセスパラメータ情報を受信すればステップＳ４０４に行き、プロセスパラメータ情報を受信しなければステップＳ４０１に戻る。

（ステップＳ１４０２）レシピ情報取得部１１３２は、ステップＳ４１２で取得したレシピ情報を、メモリ等に追記する。

なお、図１４のフローチャートにおいて、一のレシピ内に、プロセスパラメータ変更の影響が及ぶ箇所が２箇所以上ある場合に、レシピ情報は２以上の当該箇所の情報が含まれることとなる。

以下、本実施の形態における群管理システムの具体的な動作について説明する。群管理システムの概念図は図１１である。

また、プロセス情報管理装置１１３は、２以上の制御装置１１２からレシピを受信し、レシピ格納部１３１には、図５に示すような多数のレシピが格納されている、とする。

かかる状況において、制御装置１１２のユーザは、例えば、制御装置１１２のメンテナンスなどで制御装置１１２の性能が変わった場合に、プロセスパラメータの値を変更しようとする、とする。そして、ユーザは、図１５の画面例のように、プロセスパラメータの変更を指示する、とする。図１５において、レシピＸＹというレシピを開き、「ステップＮｏ＝００」のステップの「値」を「１２０」から「１３０」に修正し、「変更」ボタンを押下した、とする。

次に、制御装置１１２のプロセスパラメータ情報取得部１１２３は、「カテゴリー名＝"温度"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ａ"」からなるプロセスパラメータ情報を取得する。

そして、プロセスパラメータ情報送信部１１２４は、「カテゴリー名＝"温度"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ａ"」からなるプロセスパラメータ情報をプロセス情報管理装置１１３に送信する。

次に、プロセス情報管理装置１１３のプロセスパラメータ情報受信部１１３１は、「カテゴリー名＝"温度"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ａ"」からなるプロセスパラメータ情報を受信する。

そして、レシピ情報取得部１１３２は、「カテゴリー名＝"温度"」「アイテム名＝"Ｕｐ／Ｄｏｗｎ"」「パラメータ名＝"Ａ"」のプロセスパラメータ情報を有するレシピを、レシピ格納部１３１から検索し、レシピ名と、当該プロセスパラメータ情報を有する箇所（ここでは、ステップＮｏ）を取得する。この取得したレシピ名とステップＮｏの組であるレシピ情報の例を、図１６に示す。

次に、レシピ情報送信部１１３３は、図１６のレシピ情報を、制御装置１１２に送信する。

そして、次に、制御装置１１２のレシピ情報受信部１１２５は、図１６のレシピ情報を受信する。

次に、レシピ情報出力部１１２６は、図１７に示すように、図１６のレシピ情報を出力する。図１７において、レシピ情報出力部１１２６は、レシピ情報の中のレシピ名のみ出力している。ただし、レシピ情報出力部１１２６は、ステップＮｏも出力しても良い。また、ユーザからの詳細出力指示を受け付け、当該詳細出力指示で示されるレシピ名に対応するステップＮｏ、または／およびステップの内容を出力しても良い。

次に、ユーザは、図１７の「変更する」ボタンを押下する、とする。すると、レシピ変更部１１２２は、レシピＸＹの「ステップＮｏ＝００」の値を「１３０」に変更する。なお、ここで、ユーザは、図１７の出力をチェックし、「変更しない」ボタンを押下した場合には、レシピは変更されない。

以上、本実施の形態によれば、ユーザは、プロセスパラメータ情報を変更する際、変更の妥当性を容易に、かつ確実に確認することができる。その結果、不用意にレシピが修正され、製造に悪影響を及ぼすことを防止できる。

なお、本実施の形態において、一の制御装置１１２のレシピ変更部１１２２がプロセスパラメータ情報またはレシピを変更した場合、制御装置１１２の図示しない手段（例えば、変更情報送信部）が、当該プロセスパラメータ情報またはレシピをプロセス情報管理装置１１３に送信しても良い。そして、プロセス情報管理装置１１３の図示しない手段（例えば、変更情報受信部）が、制御装置１１２から変更されたプロセスパラメータ情報またはレシピを受信し、プロセス情報管理装置１１３の図示しない手段（例えば、サーバ側レシピ更新部）が、プロセスパラメータ情報またはレシピを更新しても良い。そして、当該プロセスパラメータの更新が影響を及ぼすレシピのレシピ情報を、レシピ情報取得部１１３２が取得し、図示しない手段（例えば、更新レシピ送信部）が、当該レシピ情報に対応する１以上の制御装置１１２（元々、レシピ情報を変更された制御装置１１２を除く）に、更新されたプロセスパラメータまたはレシピを送信しても良い。そして、１以上の制御装置１１２は、プロセスパラメータまたはレシピを受信し、蓄積して、レシピを更新しても良い。

また、本実施の形態における制御装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、記録媒体に格納されているレシピを使用して、処理装置を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる制御ステップと、レシピ内のプロセスパラメータの変更指示を受け付ける変更受付ステップと、前記変更受付ステップで受け付けた変更指示に応じて、前記記録媒体のレシピを変更するレシピ変更ステップと、前記変更の対象のプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を取得するプロセスパラメータ情報取得ステップと、前記プロセスパラメータ情報取得ステップで取得したプロセスパラメータ情報をプロセス情報管理装置に送信するプロセスパラメータ情報送信ステップと、前記プロセスパラメータ情報の送信に対応して、当該プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更により影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を前記プロセス情報管理装置から受信するレシピ情報受信ステップと、前記レシピ情報受信ステップで受信したレシピ情報を出力するレシピ情報出力ステップを実行させるためのプログラム、である。

また、上記プログラムにおいて、前記プロセスパラメータ情報送信ステップにおいて、
前記変更受付ステップでレシピ内のプロセスパラメータの変更の指示を受け付けた後、前記レシピ変更ステップでレシピを変更する前に、プロセスパラメータ情報を前記プロセス情報管理装置に送信することは好適である。

また、本実施の形態におけるプロセス情報管理装置を実現するソフトウェアは、以下のようなプログラムである。つまり、このプログラムは、コンピュータに、制御装置からプロセスパラメータ情報を受信するプロセスパラメータ情報受信ステップと、前記プロセスパラメータ情報受信ステップで受信したプロセスパラメータ情報を用いて、記録媒体の１以上のレシピを検索し、前記プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更が影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を取得するレシピ情報取得ステップと、前記レシピ情報取得ステップで取得したレシピ情報を前記制御装置に送信するレシピ情報送信ステップを実行させるためのプログラム、である。

また、上記プログラムにおいて、前記プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名を含み、前記レシピ情報取得ステップにおいて、前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しているレシピを記録媒体から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得することは好適である。

また、上記プログラムにおいて、前記プロセスパラメータ情報は、プロセスパラメータ名とプロセスパラメータの値を含み、前記レシピ情報取得ステップにおいて、前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しており、かつ、当該プロセスパラメータの値が、前記受付ステップで受け付けたプロセスパラメータ情報に含まれる値と所定の関係にある値であるレシピを記録媒体から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得することは好適である。

また、上記各実施の形態において、各処理（各機能）は、単一の装置（システム）によって集中処理されることによって実現されてもよく、あるいは、複数の装置によって分散処理されることによって実現されてもよい。

なお、上記プログラムにおいて、情報を送信する送信ステップや、情報を受信する受信ステップなどでは、ハードウェアによって行われる処理、例えば、送信ステップにおけるモデムやインターフェースカードなどで行われる処理（ハードウェアでしか行われない処理）は含まれない。

また、上記プログラムを実行するコンピュータは、単数であってもよく、複数であってもよい。すなわち、集中処理を行ってもよく、あるいは分散処理を行ってもよい。

また、上記各実施の形態において、一の装置に存在する２以上の通信手段（情報送信部など）は、物理的に一の媒体で実現されても良いことは言うまでもない。

本発明は、以上の実施の形態に限定されることなく、種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることは言うまでもない。

以上のように、本発明にかかる群管理システムは、プロセスパラメータの変更が影響し得る１以上のレシピを容易に知ることができるという効果を有し、半導体製造装置、液晶パネル製造装置等の製造装置の群管理システム等として有用である。

実施の形態１における群管理システムの概念図 同半導体ウエハ製造装置の例を示す図 同群管理システムのブロック図 同プロセス情報管理装置の動作について説明するフローチャート 同レシピの例を示す図 同プロセスパラメータ情報の入力画面例を示す図 同取得レシピ情報管理表を示す図 同出力例を示す図 同出力例を示す図 同プロセスパラメータ情報の入力画面例を示す図 実施の形態２における群管理システムの概念図 同群管理システムのブロック図 同制御装置の動作について説明するフローチャート 同プロセス情報管理装置の動作について説明するフローチャート 同プロセスパラメータの変更指示の画面例を示す図 同取得レシピ情報管理表を示す図 同出力例を示す図

符号の説明

１１ 処理装置
１２、１１２ 制御装置
１３、１１３ プロセス情報管理装置
１４ クライアント装置
１２１ 制御装置側レシピ格納部
１２２ レシピ送信部
１２３ 制御部
１３１ レシピ格納部
１３２ レシピ受信部
１３３ レシピ蓄積部
１３４ 受付部
１３５、１１３２ レシピ情報取得部
１３６ 出力部
１４１ プロセスパラメータ情報入力部
１４２ プロセスパラメータ情報送付部
１４３ レシピ情報受付部
１４４ レシピ情報表示部
１１２１ 変更受付部
１１２２ レシピ変更部
１１２３ プロセスパラメータ情報取得部
１１２４ プロセスパラメータ情報送信部
１１２５ レシピ情報受信部
１１２６ レシピ情報出力部
１１３１ プロセスパラメータ情報受信部
１１３３ レシピ情報送信部

Claims (14)

1. 被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムを構成するプロセス情報管理装置であって、
   前記２以上の制御装置が保持しているプロセスに関する情報である２以上のレシピを、前記２以上の制御装置に各々対応付けて格納しているレシピ格納部と、
   レシピが変更される前に、当該レシピに含まれるプロセスパラメータについての情報であり、変更対象の情報であるプロセスパラメータ情報を受け付ける受付部と、
   前記プロセスパラメータ情報を用いて、前記レシピ格納部からレシピを検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得するレシピ情報取得部と、
   前記レシピ情報取得部が取得したレシピ情報を出力する出力部を具備し、
   前記出力されたレシピ情報がユーザにより確認された後、前記プロセスパラメータ情報が変更されるプロセス情報管理装置。
2. 前記プロセスパラメータ情報は、
   プロセスパラメータ名を含み、
   前記レシピ情報取得部は、
   前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しているレシピを前記レシピ格納部から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する請求項１記載のプロセス情報管理装置。
3. 前記プロセスパラメータ情報は、
   プロセスパラメータ名とプロセスパラメータの値を含み、
   前記レシピ情報取得部は、
   前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しており、かつ、当該プロセスパラメータの値が、前記受付部が受け付けたプロセスパラメータ情報に含まれる値と所定の関係にある値であるレシピを前記レシピ格納部から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する請求項１記載のプロセス情報管理装置。
4. 前記レシピは、
   プロセスパラメータに対するリンクの情報であるリンク情報を含み、
   複数のレシピが一のプロセスパラメータに対するリンク情報を有する請求項１から請求項３いずれか記載のプロセス情報管理装置。
5. 被処理基板に対する所定のプロセスを行う２以上の処理装置をそれぞれ制御する２以上の制御装置と、前記制御装置と接続されるプロセス情報管理装置を具備する群管理システムであって、
   前記制御装置は、
   前記処理装置を制御するために使用されるレシピを格納している制御装置側レシピ格納部と、
   前記制御装置側レシピ格納部のレシピを前記プロセス情報管理装置に送信するレシピ送信部と、
   前記制御装置側レシピ格納部のレシピを使用して、前記処理装置を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる制御部と、
   レシピ内のプロセスパラメータの変更指示を受け付ける変更受付部と、
   前記変更受付部が受け付けた変更指示に応じて、前記制御装置側レシピ格納部のレシピを変更するレシピ変更部と、
   前記変更の対象のプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を取得するプロセスパラメータ情報取得部と、
   前記プロセスパラメータ情報取得部が取得したプロセスパラメータ情報を前記プロセス情報管理装置に送信するプロセスパラメータ情報送信部と、
   前記プロセスパラメータ情報の送信に対応して、当該プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更により影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を前記プロセス情報管理装置から受信するレシピ情報受信部と、
   前記レシピ情報受信部が受信したレシピ情報を出力するレシピ情報出力部を具備し、
   前記レシピ変更部は、
   前記レシピ情報の出力後、レシピ情報の変更許可の指示が受け付けられた場合に、前記変更受付部が受け付けた変更指示に応じて、前記制御装置側レシピ格納部のレシピを変更し、
   前記プロセス情報管理装置は、
   レシピを格納できるレシピ格納部と、
   前記２以上の制御装置からレシピを受信するレシピ受信部と、
   前記レシピ受信部が受信したレシピを前記レシピ格納部に蓄積するレシピ蓄積部と、
   レシピが変更される前に、前記制御装置からプロセスパラメータ情報を受信するプロセスパラメータ情報受信部と、
   前記プロセスパラメータ情報受信部が受信したプロセスパラメータ情報を用いて、前記レシピ格納部の１以上のレシピを検索し、前記プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更が影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を取得するレシピ情報取得部と、
   前記レシピ情報取得部が取得したレシピ情報を前記制御装置に送信するレシピ情報送信部を具備する群管理システム。
6. 前記プロセスパラメータ情報送信部は、
   前記変更受付部がレシピ内のプロセスパラメータの変更の指示を受け付けた後、前記レシピ変更部がレシピを変更する前に、プロセスパラメータ情報を前記プロセス情報管理装置に送信する請求項５記載の群管理システム。
7. 前記プロセスパラメータ情報は、
   プロセスパラメータ名を含み、
   前記レシピ情報取得部は、
   前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しているレシピを前記レシピ格納部から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する請求項５または請求項６記載の群管理システム。
8. 前記プロセスパラメータ情報は、
   プロセスパラメータ名とプロセスパラメータの値を含み、
   前記レシピ情報取得部は、
   前記プロセスパラメータ情報に含まれるプロセスパラメータ名で識別されるプロセスパラメータを使用しており、かつ、当該プロセスパラメータの値が、前記プロセスパラメータ情報受信部が受信したプロセスパラメータ情報に含まれる値と所定の関係にある値であるレシピを前記レシピ格納部から検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得する請求項５または請求項６記載の群管理システム。
9. 前記レシピは、
   プロセスパラメータに対するリンクの情報であるリンク情報を含み、
   複数のレシピが一のプロセスパラメータに対するリンク情報を有する請求項５から請求項８いずれか記載の群管理システム。
10. 請求項５から請求項９いずれか記載の群管理システムを構成するプロセス情報管理装置。
11. 請求項５から請求項９いずれか記載の群管理システムを構成する制御装置。
12. コンピュータに、
    レシピが変更される前に、当該レシピに含まれるプロセスパラメータについての情報であり、変更対象の情報であるプロセスパラメータ情報を受け付ける受付ステップと、
    前記プロセスパラメータ情報を用いて、記録媒体に格納されているレシピを検索し、当該検索したレシピについての情報であるレシピ情報を取得するレシピ情報取得ステップと、
    前記レシピ情報取得ステップで取得したレシピ情報を出力する出力ステップを実行させるためのプログラムであって、
    前記出力されたレシピ情報がユーザにより確認された後、前記プロセスパラメータ情報が変更されるプログラム。
13. コンピュータに、
    記録媒体に格納されているレシピを使用して、処理装置を制御し、被処理基板に対する所定のプロセスを実行させる制御ステップと、
    レシピ内のプロセスパラメータの変更指示を受け付ける変更受付ステップと、
    前記変更受付ステップで受け付けた変更指示に応じて、前記記録媒体のレシピを変更するレシピ変更ステップと、
    前記変更の対象のプロセスパラメータについての情報であるプロセスパラメータ情報を取得するプロセスパラメータ情報取得ステップと、
    前記レシピ変更ステップにより前記レシピが変更される前に、前記プロセスパラメータ情報取得ステップで取得したプロセスパラメータ情報をプロセス情報管理装置に送信するプロセスパラメータ情報送信ステップと、
    前記プロセスパラメータ情報の送信に対応して、当該プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更により影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を前記プロセス情報管理装置から受信するレシピ情報受信ステップと、
    前記レシピ情報受信ステップで受信したレシピ情報を出力するレシピ情報出力ステップを実行させるためのプログラムであって、
    前記レシピ変更ステップにおいて、
    前記レシピ情報の出力後、レシピ情報の変更許可の指示が受け付けられた場合に、前記変更受付ステップで受け付けられた変更指示に応じて、前記レシピを変更するプログラム。
14. コンピュータに、
    レシピが変更される前に、制御装置からプロセスパラメータ情報を受信するプロセスパラメータ情報受信ステップと、
    前記プロセスパラメータ情報受信ステップで受信したプロセスパラメータ情報を用いて、記録媒体の１以上のレシピを検索し、前記プロセスパラメータ情報に対するプロセスパラメータの変更が影響を受け得るレシピについての情報であるレシピ情報を取得するレシピ情報取得ステップと、
    前記レシピ情報取得ステップで取得したレシピ情報を前記制御装置に送信するレシピ情報送信ステップを実行させるためのプログラムであって、
    前記レシピ情報の送信後、レシピ情報の変更許可の指示が受け付けられた場合に、レシピが変更されるプログラム。

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