KR100953125B1 - 프로세스 정보 관리 장치, 프로그램이 기록된 기록 매체 및 프로세스 정보 관리 방법 - Google Patents

프로세스 정보 관리 장치, 프로그램이 기록된 기록 매체 및 프로세스 정보 관리 방법 Download PDF

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Abstract

(과제) 종래의 프로세스 정보 관리 장치에 있어서는, 2개 이상의 레시피의 이동에 관한 정보에 대하여, 동일한지 상위한지라는 2종류의 정보 밖에, 얻을 수 없었다는 과제가 있었다.
(해결 수단) 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 1이상의 처리 장치를 각각 제어하는 1이상의 제어 장치가 보유하고 있는 프로세스에 관한 정보인 1이상의 레시피를, 상기 1이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납되고, 그리고, 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피가 격납되는 레시피 격납부와, 상기 마스터 레시피와 상기 1이상의 레시피의 이동에 관한 정보로서, 3종류 이상 있는 이동에 관한 정보 중의 하나의 이동에 관한 정보인 이동 정보를, 상기 1이상의 레시피마다 취득하고, 취득한 이동 정보를, 레시피마다 출력하는 프로세스 정보 관리 장치에 의해, 3종류 이상의 정보를 얻을 수 있다.
마스터 레시피, 프로세스 정보 관리

Description

프로세스 정보 관리 장치, 프로그램이 기록된 기록 매체 및 프로세스 정보 관리 방법{PROCESS INFORMATION MANAGING DEVICE, RECORDING MEDIUM HAVING A PROGRAM THEREON AND PROCESS INFORMATION MANAGING METHOD}
본 발명은, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 처리 장치에 대한 제어에 관한 정보인 프로세스 정보를 관리하는 프로세스 정보 관리 장치 등에 관한 것이다.
종래, 반도체 웨이퍼 등의 피처리 기판을 처리하는 복수의 처리 장치를 일원 관리 하에서 제어하는 시스템으로, 제조 시스템 전체의 보수성(保守性)의 향상을 도모하는 제어 시스템이 있었다(특허 문헌 1 참조). 본 제어 시스템은, 처리 장치마다의 레시피(recipe; 프로세스 조건치)의 집중 관리나 레시피에 기초하는 각 처리 장치의 프로세스 컨트롤을 비롯하여, 각 처리 장치로부터 얻어지는 모든 프로세스 데이터의 해석 처리를 행하여, 그 해석 결과나 프로세스 데이터의 집중 모니터링 처리, 나아가서는 해석/통계 결과를 레시피에 반영시키는 처리 등을 행하는 AGC(어드밴스 그룹 컨트롤러)를 접속하는 시스템이다. 본 제어 시스템에 있어서, 각 처리 장치로부터 얻어지는 모든 프로세스 데이터나 그 해석 결과를 모니터링할 수 있음으로써, 처리 장치의 이상이나 열화 상태를 보다 상세히 그리고 조기에 발견할 수 있다.
또한, 시판의 프로세스 정보 관리 장치(예를 들면, 복수의 반도체 제조 장치의 프로세스를 관리하는 군관리 시스템을 구성하는 서버 장치)에 있어서, 2개의 레시피를 구성하는 1이상의 스텝 중의 각 스텝이 동일한지 다른지를 표시하는 기능을 갖고 있는 것이 있었다.
또한, 최근, 반도체 웨이퍼나 액정 패널 등의 제조 시스템의 대규모화에 의해, 피처리 기판에 대하여 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등의 처리(프로세스)를 행하는 다수의 처리 장치를 일원 관리하는 요구가 점점 높아지고 있다. 구체적으로는, 예를 들면, 수십이라는 수의 처리 장치, 제어 장치를 일원 관리할 필요가 생겨 나오고 있다.
[특허 문헌 1] 일본공개특허공보 평11-16797호(제1 페이지, 제1 도 등)
(발명의 개시)
(발명이 해결하고자 하는 과제)
한편, 처리 장치를 적절히 동작시키기 위해, 제어 시스템에 포함되는 프로세스 정보 관리 장치측에서, 마스터 레시피라는 동작이 어느 정도는 보장된 레시피와, 다른 레시피의 차이를 체크할 필요가 있다.
그러나, 종래의 장치에 있어서는, 마스터 레시피와 다른 레시피의 차이를 제시할 때에, 2개의 레시피를 구성하는 1이상의 스텝 중의 각 스텝이 동일한지 상위(相違)한지를 표시할 수 있을 뿐이라는 과제가 있었다.
그 때문에, 프로세스 정보 관리 장치의 유저는, 2개의 레시피 간의 상위한 사정을 정확히 알 수 없어, 정밀도 높은 다음의 액션을 행할 수 없었다.
구체적으로는, 예를 들면, 종래의 제어 시스템에 있어서, 비교를 행할 수 있는 복수의 제어 장치의 레시피는, 그 시점에서 제어 장치가 온라인으로 되어 있고, 그리고 제어 장치 상에 존재하고 있고, 그리고 프로세스 정보 관리 장치로부터 제어 장치로 액세스 가능한 것이 필요했다. 그러나, 비교의 대상이 되지 않는 레시피에 주목한 경우, 종래의 제어 시스템에서는 비교할 수 없는 이유(제어 장치가 오프라인인지, 제어 장치는 온라인이지만 레시피가 존재하지 않는 것인지, 제어 장치로의 액세스 권한이 없는 것인지 등)를 알 수 없었다.
또한, 한번에 비교 표시할 수 있는 레시피의 차이는, 2개이며, 수십이라는 수의 처리 장치, 제어 장치를 일원 관리하고 있는 요즘, 한번에 마스터 레시피와 다른 제어 장치에서 이용되고 있는 레시피와의 차이의 유무를 알 수 없었다.
(과제를 해결하기 위한 수단)
본 발명의 프로세스 정보 관리 장치는, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 1이상의 처리 장치를 각각 제어하는 1이상의 제어 장치가 보유하고 있는 프로세스에 관한 정보인 1이상의 레시피를, 상기 1이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납하고 있고, 그리고 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피가 격납되는 레시피 격납부와, 상기 마스터 레시피와 상기 1이상의 레시피의 이동(異同)에 관한 정보이며, 3종류 이상 있는 이동에 관한 정보 중 하나의 이동에 관한 정보인 이동 정보를, 상기 1이상의 레시피마다 취득하는 레시피 이동 정보 취득부와, 상기 레시피 이동 정보 취득부가 취득한 이동 정보를, 상기 2이상의 레시피마다 출력하는 이동 정보 출력부를 구비하는 프로세스 정보 관리 장치이다.
도1 은 실시 형태에 있어서의 제어 시스템의 개념도이다.
도2 는 동(同) 반도체 웨이퍼 제조 장치의 예를 나타내는 도면이다.
도3 은 프로세스 정보 관리 장치의 구성을 나타내는 블록도이다.
도4 는 동 프로세스 정보 관리 장치의 동작에 대하여 설명하는 플로우 차트이다.
도5 는 동 이동 정보 출력 처리에 대하여 설명하는 플로우 차트이다.
도6 은 동 상세 출력 처리에 대하여 설명하는 플로우 차트이다.
도7 은 동 제어 시스템의 개념도이다.
도8 은 동 레시피 관리표를 나타내는 도면이다.
도9 는 동 제어 장치 정보 관리표를 나타내는 도면이다.
도10 은 동 유저 인증 정보 관리표를 나타내는 도면이다.
도11 은 동 프로세스 정보 관리 장치를 나타내는 도면이다.
도12 는 동 레시피 관리표를 나타내는 도면이다.
도13 은 동 출력예를 나타내는 도면이다.
도14 는 동 출력예를 나타내는 도면이다.
(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)
이하, 프로세스 정보 관리 장치 등의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 실시 형태에 있어서 동일 부호를 붙인 구성 요소는 동일한 동작을 행하기 때문에, 재차의 설명을 생략하는 경우가 있다.
(실시 형태)
도1 은, 본 실시 형태에 있어서의 제어 시스템의 개념도이다. 제어 시스템은, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치를 제어하는 시스템이다. 또한, 제어 시스템은, 1이상의 처리 장치(11)(처리 장치(11(1))부터 처리 장치(11(n))), 1이상의 제어 장치(12)(제어 장치(12(1))부터 제어 장치(12(n))) 및, 프로세스 정보 관리 장치(13)를 갖는다.
처리 장치(11)는, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 장치이다. 더욱 구체적으로는, 처리 장치(11)는, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 제조 장치이다. 처리 장치(11)는, 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등의 피처리 기판에 대한 각종 처리를 행한다. 처리 장치(11)는, 예를 들면, 복합 프로세스형의 반도체 웨이퍼 제조 장치이다. 본 반도체 웨이퍼 제조 장치의 예를 도2 에 나타낸다. 도2 에 나타내는 바와 같이, 본 반도체 웨이퍼 제조 장치는, 반도체 웨이퍼에 대하여 각종의 처리, 예를 들면, 성막 처리나 에칭 처리나 열산화 처리 등을 행하는 복수(예를 들면, 3개)의 프로세스 챔버(1, 2, 3)와, 다수매(예를 들면, 50매)의 웨이퍼(W)를 수납할 수 있는 카세트(C1, C2)를 수용하는 카세트 챔버(4, 5)와, 프로세스 챔버(1, 2, 3)와 카세트 챔버(4, 5)와의 사이에서 웨이퍼(W)의 인도를 행하는 반송 챔버(6)를 구비하여 구성된다. 각 챔버 간은, 게이트 밸브(G)를 통하여 개폐가 자유롭게 연결되어 있다. 반송 챔버(6) 내에는, 굴 신(屈伸) 동작 및 회전 동작이 가능한 예를 들면 다관절식의 반송 아암(7)이 형성되어 있고, 이 반송 아암(7)에 의해 챔버 간에서의 웨이퍼(W)의 반송이 행해진다. 카세트(C1, C2)는, 카세트 챔버(4, 5) 내에 취입될 때에 90도 반전됨과 함께, 그 카세트(C1, C2)의 웨이퍼 삽입이탈구가 반송 챔버(6) 내의 중심을 향하도록 회전되어, 반송 아암(7)에 의한 웨이퍼(W)의 출납이 가능한 자세로 설치된다.
또한, 제어 장치(12)는, 처리 장치(11)를 제어하는 장치로서, 통상, 처리 장치(11)에 대응하여 형성되어 있다. 제어 장치(12)는, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보인 레시피(통상, 프로세스 조건치의 집합)를 격납하고 있고, 당해 레시피를 이용하여, 처리 장치(11)를 제어한다. 제어 장치(12)는, 예를 들면, 각 처리 장치(11)의 상위 제어계인 ECC 제어부, 각 처리 장치(11)의 하위 제어계인 MC(머신 컨트롤러)를 구비한다. 이러한 경우, ECC 제어부는, 예를 들면, 프로세스 정보 관리 장치(13)와의 논리적인 인터페이스 수단인 RAP(Remote Agent Process)를 가지며, 이 RAP에 의해 프로세스 정보 관리 장치(13)와의 사이에서의 각종 데이터의 송수신이 행해진다. 또한, 처리 장치(11)와 제어 장치(12)는, 일체로 되어 있어도 좋고, 분리되어 있어도 좋다.
프로세스 정보 관리 장치(13)는, 예를 들면, 소위 군관리 시스템을 구성하는 서버 장치이다.
도3 은, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 구성을 나타내는 블록도이다. 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 접수부(131), 유저 정보 격납부(132), 레시피 격납부(133), 레시피 이동 정보 취득부(134), 이동 정보 출력부(135), 제어 장치 정보 격납부(136), 레시피 수신부(137), 레시피 축적부(138), 상세 출력부(139)를 구비한다.
레시피 이동 정보 취득부(134)는, 이동 취득 수단(1341), 부존재 정보 취득 수단(1342), 통신 불가 정보 취득 수단(1343), 출력 불가 정보 취득 수단(1344)을 구비한다.
접수부(131)는, 유저로부터의 지시나 유저 정보를 접수한다. 지시란, 마스터 레시피를 포함하는 2이상의 레시피의 지정인 레시피 지정 지시, 이동 정보를 출력하는 지시인 이동 정보 출력 지시, 2개 이상의 레시피 간에서, 다른 취지를 나타내는 출력이 이루어진 경우에, 추가로 상위점의 상세를 알기 위한 지시인 상세 출력 지시 등이다. 레시피 지정 지시는, 하나의 레시피 식별자를 가져도 좋다. 이러한 경우, 레시피 지정 지시는, 동일한 레시피 식별자를 갖는 1이상의 제어 장치의 레시피 및, 마스터 레시피를 지정한 것으로 된다. 또한, 레시피 지정 지시는, 2이상의 레시피 식별자를 가져도 좋다. 이러한 경우, 레시피 지정 지시는, 당해 레시피 지정 지시가 갖는 2이상의 레시피 식별자로 식별되는 2이상의 레시피를 지정한 것으로 된다. 유저 정보란, 유저를 식별하는 정보로서, 예를 들면, 유저 ID나, 유저 ID와 패스워드의 조(組)이다. 상세 출력 지시는, 예를 들면, 마스터 레시피와 하나의 레시피의 지시를 포함한다. 이러한 경우, 상세 출력 지시는, 마스터 레시피와 당해 하나의 레시피와의 차이의 상세를 출력하는 지시이다. 지시 등의 입력 수단은, 텐 키나 키보드나 마우스나 메뉴 화면에 의한 것 등, 어느 것이라도 좋다. 또한, 지시는, 외부 장치로부터 송신된 것이어도 좋고, 이러한 경우, 접 수부(131)는, 수신 수단을 갖는다. 접수부(131)는, 텐 키나 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버나, 메뉴 화면의 제어 소프트웨어나, 통신 수단 등으로 실현될 수 있다.
유저 정보 격납부(132)는, 접수부(131)가 접수한 유저 정보를, 적어도 일시 격납하고 있다. 유저 정보 격납부(132)는, RAM 등의 휘발성의 기록 매체가 매우 적합하지만, 하드디스크 등의 불휘발성의 기록 매체에서도 실현 가능하다.
레시피 격납부(133)에는, 마스터 레시피와 1이상의 레시피(마스터 레시피가 아닌 레시피)가 격납된다. 레시피란, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 처리 장치(11)를 제어하는 1이상의 제어 장치(12)가 보유하고 있는 프로세스에 관한 정보이다. 여기에서, 레시피는, 프로세스 정보의 일종이다. 프로세스 정보는, 레시피 이외의 프로세스를 제어하는 명령열(命令列)이라도 좋다. 레시피 격납부(133)에는, 레시피가 제어 장치(12)에 각각 대응지어 격납된다. 또한, 마스터 레시피는, 하나의 제어 장치(12)에 대응지어져 있는 정보라도 좋고, 가상적인 정보라도 좋다. 또한, 마스터 레시피는 고정이 아니어도 좋다. 유저가 마스터 레시피를 지정할 수 있어도 좋다. 레시피 격납부(133)는, 불휘발성의 기록 매체가 매우 적합하지만, 휘발성의 기록 매체에서도 실현 가능하다.
레시피 이동 정보 취득부(134)는, 마스터 레시피와 1이상의 레시피(마스터 레시피가 아닌 레시피)의 이동에 관한 정보이며, 3종류 이상 있는 이동에 관한 정보 중 하나의 이동에 관한 정보인 이동 정보를, 1이상의 레시피마다 취득한다. 또한, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 마스터 레시피와, 후술하는 제어 장치 정보 격납부(136)의 1이상의 제어 장치 정보가 나타내는 1이상의 제어 장치(12)에 대응하는 1이상의 레시피의 이동 정보를, 1이상의 레시피마다 취득하는 것은 매우 적합하다. 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 네트워크에 접속되어 있는 1이상의 제어 장치를 검출하고, 마스터 레시피와 당해 1이상의 제어 장치의 레시피의 이동에 관한 정보이며, 3종류 이상 있는 이동에 관한 정보 중 하나의 이동에 관한 정보인 이동 정보를, 1이상의 레시피마다 취득해도 좋다. 이동 정보는, 3종류 이상의 값을 취할 수 있다. 3종류 이상의 값이란, 비교되는 레시피가 동일한 것을 나타내는 정보인 동일 정보(예를 들면, 값「0」), 비교되는 레시피가 다른 것을 나타내는 정보인 상위 정보(예를 들면, 값「1」), 비교되는 레시피가 존재하지 않는 것을 나타내는 부존재 정보(예를 들면, 값「2」), 비교되는 레시피에 대응하는 제어 장치(12)가 프로세스 정보 관리 장치(13)와 통신 불가의 상태인 것을 나타내는 통신 불가 정보(예를 들면, 값「3」), 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 것을 나타내는 정보인 출력 불가 정보(예를 들면, 값「4」) 중의 어느 하나의 정보이다. 이동 정보는, 통상, 동일 정보, 상위 정보를 포함한다. 3종류 이상의 이동 정보란, 동일 정보, 상위 정보 및, 다른 1이상의 이동 정보이다. 다른 1이상의 이동 정보는, 예를 들면, 부존재 정보이다. 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 통상, 접수부(131)가 지정을 접수한 마스터 레시피와, 지정을 접수한, 마스터 레시피를 제외하는 1이상의 레시피와의 이동 정보를 취득한다. 또한, 2개의 레시피가 동일한지 상위한지의 판단 방법은 묻지 않는다. 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 통상, 2개의 각 레시피가 갖는 1이상의 스텝의 상세(내용)를 모두 비교하여, 2개의 레시피가 모두 동일 한지 아닌지를 판단하고, 하나의 스텝 중의 하나의 프로세스 조건치가 달라도, 이동 정보를 상위 정보로 한다(레시피가 다르다고 한다). 또한, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 레시피의 내용을 비교하지 않고, 2개의 각 레시피의 속성치(갱신 일시나 갱신자 등)를 비교하여, 속성치가 하나라도 다른 경우에, 이동 정보를 상위 정보로 해도 좋다. 속성치의 비교에 의해 이동 정보를 얻는 경우에는, 처리의 고속화가 도모된다. 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 레시피 이동 정보 취득부(134)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
이동 취득 수단(1341)은, 마스터 레시피의 내용과, 당해 마스터 레시피와의 이동이 비교되는 레시피의 내용을 비교하여, 2개의 레시피가 동일한지 상위한지를 판단하고, 동일 정보(예를 들면, 값「0」) 또는 상위 정보(예를 들면 값「1」)를 취득한다. 또한, 레시피는, 통상, 1이상의 스텝을 갖는다. 스텝이란, 처리 장치(11)를 제어하기 위한 프로세스 조건치의 집합이다. 이동 취득 수단(1341)은, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 이동 취득 수단(1341)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
부존재 정보 취득 수단(1342)은, 이동이 비교되는 레시피가 존재하지 않는다고 판단하여, 부존재 정보를 취득한다. 부존재 정보 취득 수단(1342)은, 예를 들면, 접수부(131)가 레시피 지정 지시를 접수한 경우, 당해 레시피 지정 지시에 포 함되는 레시피를 식별하는 레시피 식별자에 대응하는 레시피가, 레시피 격납부(133)에 존재하는지 아닌지를 판단하고, 레시피 격납부(133)에 존재하지 않는다고 판단한 경우에, 부존재 정보(예를 들면, 값「2」)를 얻는다. 부존재 정보 취득 수단(1342)은, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 부존재 정보 취득 수단(1342)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, 제어 장치(12)와의 통신이 가능한지 아닌지를 판단하여, 통신 불가의 경우에, 통신 불가 정보를 취득한다. 제어 장치(12)와의 통신이 가능하지 않는 경우란, 제어 장치(12)가 셧다운(shutdown)하고 있는 경우나, 제어 장치(12)가 네트워크에 접속되어 있지 않은 경우 등이다. 통신 가(可)인지 불가(不可)인지의 판단은, 공지 기술에 의해 가능하기 때문에, 상세한 설명은 생략한다. 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 통신 불가 정보 취득 수단(1343)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 접수부(131)가 접수하고, 유저 정보 격납부(132)에 격납되어 있는 유저 정보를 이용하여, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 유저가, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인지 아닌지를 판단하고, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 경우에, 출력 불가 정보를 취득한다. 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 예를 들면, 이동 정보를 얻을 수 있는 1이상의 유저 정보를 격납하고 있고, 당해 격납하고 있는 1이상의 유저 정보 중에, 유저 정보 격납부(132)에 격납되어 있는 유저 정보가 존재하는지 안하는지를 판단하고, 존재하지 않은 경우에, 이동 정보를 출력 불가 정보(예를 들면, 값「4」)로 한다. 또한, 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 예를 들면, 레시피나 제어 장치마다 이동 정보를 얻을 수 있는 1이상의 유저 정보를 격납하고 있고, 지정된 레시피나 제어 장치에 대하여 이동 정보를 얻을 수 있는 유저인지 아닌지를, 당해 격납하고 있는 유저 정보와, 접수한 유저 정보를 이용하여 판단하고, 접수한 유저 정보로 식별되는 유저가 이동 정보를 얻을 수 없는 유저라고 판단한 경우에, 이동 정보를 출력 불가 정보로 한다. 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 출력 불가 정보 취득 수단(1344)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
이동 정보 출력부(135)는, 레시피 이동 정보 취득부(134)가 취득한 이동 정보를, 레시피마다 출력한다. 이동 정보의 출력 형태는 묻지 않는다. 이동 정보의 출력 형태의 예에 대해서는 후술한다. 여기서, 출력이란, 디스플레이로의 표시, 프린터로의 인자(printing), 음출력, 외부의 장치로의 송신, 기록 매체로의 축적 등을 포함하는 개념이다. 이동 정보 출력부(135)는, 디스플레이 등의 출력 디바이스를 포함한다고 생각해도 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 이동 정보 출력부(135)는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현될 수 있다.
제어 장치 정보 격납부(136)는, 1이상의 제어 장치(12)에 관한 정보인 1이상의 제어 장치 정보를 격납하고 있다. 제어 장치 정보란, 예를 들면, 제어 장치(12)를 식별하는 ID나, 제어 장치(12)의 이름 등이다. 제어 장치 정보 격납부(136)는, 불휘발성의 기록 매체가 매우 적합하지만, 휘발성의 기록 매체에서도 실현 가능하다.
레시피 수신부(137)는, 제어 장치(12)로부터 레시피를 수신한다. 레시피 수신부(137)는, 예를 들면, 각 제어 장치(12)에서 레시피가 갱신된 타이밍으로, 제어 장치(12)로부터 레시피를 수신한다. 이러한 경우, 제어 장치(12)는, 레시피의 갱신을 접수하는 레시피 갱신 접수부, 레시피를 갱신하는 레시피 갱신부, 레시피의 갱신을 검지하는 레시피 갱신 검지부, 레시피 갱신 검지부가 레시피의 갱신을 검지한 경우에, 레시피를 프로세스 정보 관리 장치로 송신하는 레시피 송신부를 구비한다. 또한, 제어 장치(12)는, 레시피에 기초하여 처리 장치를 제어하는 제어부를 구비하는 것은 말할 필요도 없다. 단, 레시피 수신부(137)가, 정기적으로 제어 장치(12)와 통신을 하고, 레시피를 취득하는 등이라도 좋다. 즉, 레시피 수신부(137)가 레시피를 수신하는 타이밍은 묻지 않는다. 레시피 수신부(137)는, 통상, 무선 또는 유선의 통신 수단으로 실현되지만, 방송을 수신하는 수단으로 실현되어도 좋다.
레시피 축적부(138)는, 레시피 수신부(137)가 수신한 레시피를 레시피 격납부(133)에 축적한다. 레시피 축적부(138)는, 통상, 레시피 수신부(137)가 수신한 레시피를, 당해 레시피를 송신한 제어 장치(12)에 대응지어, 레시피 격납부(133)에 축적한다. 제어 장치(12)에 대응지은 레시피의 축적이란, 예를 들면, 제어 장치(12)를 식별하는 제어 장치 정보와 레시피를 쌍으로 하여 축적하는 것이다. 레시피 축적부(138)는, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 레시피 축적부(138)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.
상세 출력부(139)는, 지정된 레시피의 상세한 정보인 1이상의 스텝의 상위에 관한 정보인 스텝 상위 정보를 취득하여, 출력한다. 스텝 상위 정보의 출력의 형태는 묻지 않는다. 상세 출력부(139)의 처리 순서는, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 여기서, 출력이란, 디스플레이로의 표시, 프린터로의 인자, 외부의 장치로의 송신, 기록 매체로의 축적 등을 포함하는 개념이다. 상세 출력부(139)는, 디스플레이 등의 출력 디바이스를 포함한다고 생각해도 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 상세 출력부(139)는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현될 수 있다.
다음으로, 프로세스 정보 관리 장치의 동작에 대하여 도4 내지 도6 의 플로우 차트를 이용하여 설명한다.
(스텝 S401) 접수부(131)는, 입력을 접수했는지 하지 않았는지를 판단한다. 입력을 접수하면 스텝 S402로 가고, 입력을 접수하지 않으면 스텝 S411로 간다.
(스텝 S402) 접수부(131)는, 스텝 S401에서 접수한 입력이 유저 정보인지 아닌지를 판단한다. 유저 정보이면 스텝 S403으로 가고, 유저 정보가 아니면 스텝 S404로 간다.
(스텝 S403) 접수부(131)는, 스텝 S401에서 접수한 유저 정보를, 유저 정보 격납부(132)에 축적한다. 또한, 도시하지 않는 수단에 의해, 유저 정보를 이용하여, 인증 처리를 행해도 좋다. 또한, 인증 처리는 공지 기술이기 때문에 상세한 설명은 생략한다. 스텝 S401로 되돌아간다.
(스텝 S404) 접수부(131)는, 스텝 S401에서 접수한 입력이 레시피 지정 지시인지 아닌지를 판단한다. 레시피 지정 지시이면 스텝 S405로 가고, 레시피 지정 지시가 아니면 스텝 S407로 간다.
(스텝 S405) 도시하지 않는 출력 수단은, 레시피 지정 지시에 포함되는 레시피 식별자를 취득하여, 일시 격납한다.
(스텝 S406) 도시하지 않는 출력 수단은, 예를 들면, 스텝 S405에서 취득한 레시피 식별자로 식별되는 레시피 식별자의 표시를 변경한다. 예를 들면, 도시하지 않는 출력 수단은, 스텝 S405에서 취득한 레시피 식별자의 표시를, 다른 레시피 식별자와 비교하여 눈에 띄는 형태로 표시한다(레시피 식별자를 포커싱한다). 또한, 레시피 지정 지시가 입력되기 전에, 2이상의 레시피 식별자의 리스트가 표시되어 있다고 한다. 또한, 예를 들면, 도시하지 않는 출력 수단은, 스텝 S405에서 취득한 레시피 식별자로 식별되는 레시피이며, 등록되어 있는 1이상의 제어 장치 정보에 대응하는 1이상의 레시피 식별자를 판독하여, 당해 1이상의 레시피 식별자를 리스트 출력해도 좋다. 스텝 S401로 되돌아간다.
(스텝 S407) 접수부(131)는, 스텝 S401에서 접수한 입력이 이동 정보 출력 지시인지 아닌지를 판단한다. 이동 정보 출력 지시이면 스텝 S408로 가고, 이동 정보 출력 지시가 아니면 스텝 S409로 간다.
(스텝 S408) 레시피 이동 정보 취득부(134) 및, 이동 정보 출력부(135)는, 이동 정보 출력 처리를 행한다. 이동 정보 출력 처리에 대하여, 도5 의 플로우 차트를 이용하여 후술한다. 스텝 S401로 되돌아간다.
(스텝 S409) 접수부(131)는, 스텝 S401에서 접수한 입력이 상세 출력 지시인지 아닌지를 판단한다. 상세 출력 지시이면 스텝 S410으로 가고, 상세 출력 지시가 아니면 스텝 S401로 되돌아간다.
(스텝 S410) 상세 출력부(139)는, 상세 출력 처리를 행한다. 상세 출력 처리에 대하여, 도6 의 플로우 차트를 이용하여 후술한다. 스텝 S401로 되돌아간다.
(스텝 S411) 레시피 수신부(137)는, 제어 장치(12)로부터 레시피를 수신했는지 하지 않았는지를 판단한다. 레시피를 수신하면 스텝 S412로 가고, 레시피를 수신하지 않으면 스텝 S401로 되돌아간다.
(스텝 S412) 레시피 축적부(138)는, 스텝 S411에서 수신한 레시피를 레시피 격납부(133)에 축적한다. 레시피 축적부(138)는, 통상, 레시피를 수신한 제어 장치(12)를 식별하는 제어 장치 정보에 대응지어 레시피를 축적한다. 스텝 S401로 되돌아간다.
또한, 도4 의 플로우 차트에 있어서, 예를 들면, 유저 정보를 접수하고, 인증 처리를 행하여, 인증 허가였던 경우에, 유저 정보를 일시 축적함과 함께, 제어 장치 정보 격납부(136)로부터 1이상의 제어 장치 정보를 판독하고, 당해 판독한 1 이상의 제어 장치 정보에 대응하는 레시피 식별자와 마스터 레시피의 식별자를 리스트 형식으로 출력해도 좋다. 그리고, 레시피 지정 지시는, 당해 리스트 형식으로 출력된 2이상의 레시피 식별자(마스터 레시피의 식별자를 포함함) 중의, 2이상의 레시피 식별자를 갖는다. 즉, 유저가, 리스트 형식으로 출력된 2이상의 레시피 식별자 중, 마우스 등으로, 2이상의 레시피 식별자를 지시해도 좋다.
또한, 도4 의 플로우 차트에 있어서, 전원 오프나 처리 종료의 끼어듦에 의해 처리는 종료한다.
다음으로, 스텝 S408의 이동 정보 출력 처리에 대하여 도5 의 플로우 차트를 이용하여 설명한다.
(스텝 S501) 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 초기 처리를 행하는, 초기 처리란, 예를 들면, 스텝 S405에서 취득한 레시피 식별자로 식별되는 레시피를 보유하고 있는 제어 장치 정보를, 제어 장치 정보 격납부(136)로부터 판독하는 처리이다. 또한, 초기 처리란, 카운터 i에 1을 대입하는 처리도 포함한다. 또한, 스텝 S405에서 레시피 식별자를 취득하고 있지 않은 경우, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 제어 장치 정보 격납부(136)의 전(全) 레시피를 판독해도 좋다.
(스텝 S502) 레시피 이동 정보 취득부(134)는, i번째의 레시피(i번째의 제어 장치 정보의 레시피)가 존재하는지 존재하지 않는지를 판단한다. i번째의 레시피가 존재하면 스텝 S503으로 가고, i번째의 레시피가 존재하지 않으면 스텝 S524로 간다. 또한, i번째의 레시피란, 마스터 레시피와의 이동 판단 대상의 레시피 중의, i번째의 레시피이다.
(스텝 S503) 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 유저 정보 격납부(132)로부터 유저 정보를 판독한다.
(스텝 S504) 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 스텝 S503에서 판독한 유저 정보를 이용하여, 당해 유저 정보로 식별되는 유저가, i번째의 레시피에 대하여 액세스 가능한지 아닌지를 판단한다.
(스텝 S505) 스텝 S504에 있어서의 판단이, 액세스 가능하면 스텝 S508로 가고, 액세스 가능하지 않으면 스텝 S506으로 간다.
(스텝 S506) 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 이동 정보를 출력 불가 정보로 한다. 구체적으로는, 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 예를 들면, 변수「이동 정보」에 출력 불가 정보를 대입한다.
(스텝 S507) 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 카운터 i를 1 증분(increment)하여, 스텝 S502로 되돌아간다.
(스텝 S508) 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, i번째의 레시피에 대응하는 제어 장치 정보를 취득한다.
(스텝 S509) 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, 스텝 S508에서 취득한 제어 장치 정보를 이용하여, 제어 장치 정보로 식별되는 제어 장치와 프로세스 정보 관리 장치(13)의 통신 상태를 취득한다. 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, 예를 들면, 「ping IP 어드레스」라는 명령을 발행하고, 리턴값을 얻음으로써, 제어 장치와 프로세스 정보 관리 장치(13)의 통신 상태를 취득한다.
(스텝 S510) 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, 스텝 S509에서 취득한 통신 상태(예를 들면, 스텝 S509의 리턴값)가 통신 불가의 상태인지 아닌지를 판단한다. 통신 불가의 상태이면 스텝 S511로 가고, 통신 불가의 상태가 아니면 스텝 S512로 간다.
(스텝 S511) 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, 이동 정보를 통신 불가 정보로 한다. 구체적으로는, 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, 예를 들면, 변수「이동 정보」에 통신 불가 정보를 대입한다. 스텝 S507로 간다.
(스텝 S512) 부존재 정보 취득 수단(1342)은, i번째의 레시피를 판독한다.
(스텝 S513) 부존재 정보 취득 수단(1342)은, i번째의 레시피가 존재하는지 아닌지를 판단한다. i번째의 레시피가 존재하면 스텝 S515로 가고, i번째의 레시피가 존재하지 않으면 스텝 S514로 간다.
(스텝 S514) 부존재 정보 취득 수단(1342)은, 이동 정보를 부존재 정보로 한다. 구체적으로는, 부존재 정보 취득 수단(1342)은, 예를 들면, 변수「이동 정보」에 부존재 정보를 대입한다. 스텝 S507로 간다.
(스텝 S515) 이동 취득 수단(1341)은, 레시피 격납부(133)로부터 마스터 레시피를 판독한다. 또한, 마스터 레시피를 식별하는 마스터 레시피 식별자는, 레시피 지정 지시에 포함된다.
(스텝 S516) 이동 취득 수단(1341)은, 카운터 j에 1을 대입한다.
(스텝 S517) 이동 취득 수단(1341)은, i번째의 레시피 중에 j번째의 스텝이 존재하는지 아닌지를 판단한다. j번째의 스텝이 존재하면 스텝 S518로 가고, j번째의 스텝이 존재하지 않으면 스텝 S522로 간다.
(스텝 S518) 이동 취득 수단(1341)은, i번째의 레시피 중에 j번째의 스텝의 정보와, 당해 스텝에 대응하는(동일한 스텝 식별자를 갖는) 마스터 레시피의 스텝의 정보를 판독하고, 당해 2개의 스텝의 정보를 비교한다. 또한, j번째의 스텝에 대응하는 마스터 레시피의 스텝이 존재하지 않는 경우, 스텝 S519에 있어서의 비교 결과는 동일하지 않다는 비교 결과가 된다.
(스텝 S519) 이동 취득 수단(1341)은, 스텝 S518에 있어서의 비교 결과가, 동일한지 아닌지를 판단한다. 동일하면 스텝 S520로 가고, 동일하지 않으면 스텝 S521로 간다.
(스텝 S520) 이동 취득 수단(1341)은, 카운터 j를 1 증분하여, 스텝 S517로 되돌아간다.
(스텝 S521) 이동 취득 수단(1341)은, 이동 정보를 상위(相違) 정보로 한다. 구체적으로는, 이동 취득 수단(1341)은, 예를 들면, 변수「이동 정보」에 상위 정보를 대입한다. 스텝 S507로 간다.
(스텝 S522) 이동 취득 수단(1341)은, i번째의 레시피 또는 마스터 레시피에 이동이 비교되어 있지 않은 스텝이 존재하는지 아닌지를 판단한다. 이동이 비교되어 있지 않은 스텝이 존재하면 스텝 S521로 가고, 이동이 비교되어 있지 않은 스텝이 존재하지 않으면 스텝 S523으로 간다.
(스텝 S523) 이동 취득 수단(1341)은, 이동 정보를 동일 정보로 한다. 구체적으로는, 이동 취득 수단(1341)은, 예를 들면, 변수「이동 정보」에 동일 정보를 대입한다. 스텝 S507로 간다.
(스텝 S524) 이동 정보 출력부(135)는, 마스터 레시피와, 비교된 1이상의 레시피의 이동 정보를, 당해 1이상의 레시피에 대응지어 출력한다. 상위(上位) 함수로 리턴한다.
또한, 도5 의 플로우 차트에 있어서, 레시피의 이동 정보의 출력 형태는 묻지 않는다. 또한, 5종류의 이동 정보를 취득하는 경우의 처리 순서는, 전술한 처리 순서에 한정되지 않는다. 단, 상기의 처리 순서는, 매우 적합하다. 상기의 처리 순서는, 처리의 고속화가 도모되는 판단 순서이기 때문이다.
다음으로, 스텝 S410의 상세 출력 처리에 대하여 도6 의 플로우 차트를 이용하여 설명한다.
(스텝 S601) 상세 출력부(139)는, 카운터 i에 1을 대입한다.
(스텝 S602) 상세 출력부(139)는, 지시된 레시피가 i번째의 스텝을 갖는지 아닌지를 판단한다. i번째의 스텝을 가지면 스텝 S603으로 가고, i번째의 스텝을 갖지 않으면 상위 함수로 리턴한다.
(스텝 S603) 상세 출력부(139)는, 지시된 레시피의 i번째의 스텝과 당해 스텝에 대응하는 마스터 레시피의 스텝의 정보를 판독한다.
(스텝 S604) 상세 출력부(139)는, 양 스텝의 정보가 모두 동일한지 아닌지를 판단한다. 양자가 동일하면 스텝 S605로 가고, 동일하지 않으면 스텝 S606으로 간다.
(스텝 S605) 상세 출력부(139)는, 지시된 레시피의 i번째의 스텝이 마스터 레시피의 스텝과 동일한 것을 나타내는 형태로 출력한다. 스텝 S607로 간다.
(스텝 S606) 상세 출력부(139)는, 지시된 레시피의 i번째의 스텝이 마스터 레시피의 스텝과 다른 것을 나타내는 형태로 출력한다.
(스텝 S607) 상세 출력부(139)는, 카운터 i를 1 증분한다. 스텝 S602로 되돌아간다.
또한, 도6 의 플로우 차트에 있어서, 스텝의 이동을 출력하는 형태는 묻지 않는다.
또한, 도4 내지 도6 의 플로우 차트에 있어서, 이동을 결정할 때의 마스터 레시피를, 레시피 지정 지시에 의해 지정했지만, 지정하지 않아도 좋다. 이러한 경우, 레시피에 대응하여, 미리 마스터 레시피가 결정되어져 있다.
이하, 본 실시 형태에 있어서의 프로세스 정보 관리 장치의 구체적인 동작에 대하여 설명한다. 프로세스 정보 관리 장치를 포함하는 제어 시스템의 개념도는 도7 이다. 본 제어 시스템은, 프로세스 정보 관리 장치(13), 클라이언트 단말(101), 제어 장치(E1, E2, E3, E4, E5, E6), 각 제어 장치에 대응하는 처리 장치(P1 내지 P6)를 구비한다. 본 제어 시스템에 있어서, 제어 장치(E3)는, 현재, 네트워크에 접속되어 있지 않다.
또한, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 레시피 격납부(133)에는, 도8 에 나타내는 레시피 관리표를 보유하고 있다. 레시피 관리표는,「ID」「레시피 식별자」「제어 장치 정보」「레시피 그룹」「편집자」「갱신 일시」「버전」등의 속성을 갖는다. 「ID」는, 레코트를 식별하는 정보이며, 표에 있어서의 레코트 관리를 위해 존재한다. 「레시피 식별자」는, 여기에서는, 레시피명이다. 「제어 장치 정 보」는, 레시피가 이용되는 제어 장치명이다. 또한, 「레시피 식별자」와 「제어 장치 정보」에 의해, 하나의 레시피가 특정된다. 「레시피 그룹」은, 레시피의 속성치이며, 그룹을 나타낸다. 「편집자」는 레시피를 마지막으로 편집한 자를 식별하는 정보, 「갱신 일시」는 레시피를 마지막으로 갱신한 일시, 「버전」은 레시피의 버전 번호를 나타낸다. 또한, 도시하지 않지만, 레시피 격납부(133)에는, 「레시피 식별자」와 「제어 장치 정보」에 의해 특정되는 레시피의 실체가 격납되어 있다. 또한, 레시피는, 1이상의 스텝에서 이루어진다고 한다.
도9 는, 제어 장치 정보 격납부(136)에 격납되어 있는 제어 장치 정보 관리표이다. 제어 장치 정보 관리표는, 「ID」「제어 장치 정보」의 속성을 갖는다. 「제어 장치 정보」는, 여기에서는, 레시피가 이용되는 제어 장치명이다. 또한, 제어 장치 정보 격납부(136)에 격납되어 있는 제어 장치 정보를, 도8 의 속성치「제어 장치 정보」라고 생각해도 좋다.
또한, 도10 은, 출력 불가 정보 취득 수단(1344)이 보유하고 있는 유저 인증 정보 관리표이다. 유저 인증 정보 관리표는, 유저의 프로세스 정보 관리 장치(13)의 로그인의 허가/불허가를 결정할 때에 이용된다. 또한, 유저 인증 정보 관리표는, 유저가 액세스할 수 있는 제어 장치에 대응하는 레시피를 결정하기 위해 이용된다. 유저 인증 정보 관리표는, 「ID」「유저 식별자」「패스워드」「제어 장치 정보」의 속성을 갖는다. 「유저 식별자」는 유저명이다. 「패스워드」는 「유저 식별자」와 함께 프로세스 정보 관리 장치(13)로의 로그인의 허가/불허가의 결정을 위해(인증 처리) 이용된다. 「제어 장치 정보」는, 「유저 식별자」로 식별되는 유저가, 출력 가능한 레시피에 대응하는 제어 장치 정보이다. 「제어 장치 정보」는, 「유저 식별자」로 식별되는 유저가, 출력 가능한 레시피를 나타내는 정보라고도 말할 수 있고, 출력 가능한 레시피에 대응하는 제어 장치에 관한 정보라고도 말할 수 있다.
이러한 상황에 있어서, 클라이언트 단말(101)의 유저는, 유저 식별자 「Tanaka」, 패스워드「0912」를 대입하여, 프로세스 정보 관리 장치(13)로의 로그인을 시도했다고 한다.
다음으로, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 접수부(131)는, 유저 정보(유저 식별자 「Tanaka」, 패스워드「0912」)를 접수한다.
다음으로, 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 도시하지 않는 수단에 의해, 인증 처리를 행하여, 인증 허가로 판단하고, 클라이언트 단말(101)로부터 프로세스 정보 관리 장치(13)로의 로그인을 허가한다. 도10 의 정보에 의해, 유저 정보(유저 식별자 「Tanaka」, 패스워드「0912」)는 관리되어 있기 때문이다. 그리고, 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 유저 정보(유저 식별자 「Tanaka」, 패스워드「0912」)를, 유저 정보 격납부(132)에 일시 격납한다.
다음으로, 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 도8 의 레시피 관리표의 「레시피 식별자」를 판독하고, 유니크(unique) 처리하여, 중복하지 않는 1이상의 레시피 식별자를 취득한다. 그리고, 프로세스 정보 관리 장치(13)는, 중복하지 않는 1이상의 레시피 식별자를 갖는 레시피 일람을, 클라이언트 단말(101)에 출력하고, 클라이언트 단말(101)은, 레시피 일람을 도11 에 나타내는 바와 같이 표시한다고 한 다.
다음으로, 유저 식별자 「Tanaka」로 식별되는 유저는, 클라이언트 단말(101)로부터, 마우스로, 레시피 식별자 「RCP1」를 지정하고, 「이동 정보 출력」버튼을 눌렀다고 한다.
다음으로, 프로세스 정보 관리 장치(13)의 접수부(131)는, 레시피 식별자 「RCP1」을 갖는 이동 정보 출력 지시를 접수한다.
다음으로, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 레시피 식별자 「RCP1」로 식별되는 레시피이며, 그리고, 제어 장치 정보 격납부(136)의 「제어 장치 정보」로 나타나는 제어 장치 정보를 포함하는 레코드를, 도8 의 레시피 관리표로부터 검색하고, 도12 의 일시적인 표를 얻는다.
도12 의 일시적인 표에 있어서, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 「ID=1」의 레코드에 대응하는 레시피가 마스터 레시피라고 알고 있는 것으로 한다. 또한, 마스터 레시피는 유저가 지정해도 좋은 것은 말할 필요도 없다.
다음으로, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 마스터 레시피와, 「ID=2」에서 「ID=7」의 레코드에 대응하는 레시피를 순서대로 비교해 간다.
우선, 「ID=2」의 레코드에 대응하는 레시피의 처리이다. 즉, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 「ID=2」의 레코드가 갖는 제어 장치 정보 「E1」로 식별되는 제어 장치에 대응하는 레시피에 대하여, 유저 식별자 「Tanaka」로 식별되는 유저가 액세스 가능한지 아닌지를 판단한다. 즉, 도10 의 유저 인증 정보 관리표로부터 유저 식별자 「Tanaka」와 제어 장치 정보 「E1」이 쌍이 되는 레코드가 존재하 는지 아닌지를 판단한다. 여기서, 도10 에 있어서, 유저 식별자 「Tanaka」와 제어 장치 정보 「E1」이 쌍으로 되는 레코드가 존재하기 때문에, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 제어 장치 정보 「E1」로 식별되는 제어 장치에 대응하는 레시피에 대하여, 유저 식별자 「Tanaka」로 식별되는 유저가 액세스 가능하다고 판단한다.
다음으로, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 제어 장치 정보 「E1」로 식별되는 제어 장치와, 통신 가능한지 아닌지를 판단한다. 여기에서는, 도7 의 상황이며, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 통신 가능하다고 판단한다.
다음으로, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E1」로 식별되는 레시피의 실체(예를 들면, 파일)가, 레시피 격납부(133)에 존재하는지 아닌지를 판단한다. 여기서, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E1」로 식별되는 레시피의 실체가 존재된다고 판단한다고 한다.
다음으로, 레시피 이동 정보 취득부(134)는, 마스터 레시피의 실체(예를 들면, 파일)와, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E1」로 식별되는 레시피의 실체(예를 들면, 파일)를 레시피 격납부(133)로부터 판독한다. 그리고, 2개의 레시피의 전(全) 스텝이 동일한지 아닌지를 판단한다. 여기서, 2개의 레시피(파일)의 내용이 완전히 동일하다고, 레시피 이동 정보 취득부(134)는 판단한다고 한다. 그리고, 이동 취득 수단(1341)은, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E1」로 식별되는 레시피에 대응하는 이동 정보에, 「동일 정보(예를 들면, 「0」)」를 대입한다. 또한, 2개의 레시피(통상, 각 레시피는 1이상의 파일로 이루어짐)가 동일한지 아닌지를 판단하는 처리는 공지 기술에 의해 가능하기 때문에, 상 세한 설명은 생략한다.
다음으로, 「ID=3」의 레코드에 대응하는 레시피의 처리이다. 여기에서도 상기와 동일하게, 이동 취득 수단(1341)은, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E2」로 식별되는 레시피에 대응하는 이동 정보에, 「동일 정보(예를 들면, 「0」)」를 대입한다.
다음으로, 「ID=4」의 레코드에 대응하는 레시피의 처리이다. 여기에서는, 제어 장치 정보 「E3」으로 식별되는 제어 장치에, 유저 식별자 「Tanaka」로 식별되는 유저가 액세스 가능하지만, 도7 에서, 제어 장치 정보 「E3」으로 식별되는 제어 장치가, 네트워크에 접속되어 있지 않다고 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은 검지한다. 그리고, 통신 불가 정보 취득 수단(1343)은, 레시피 식별자 「RCR1」, 제어 장치 정보 「E3」으로 식별되는 레시피에 대응하는 이동 정보에, 「통신 불가 정보(예를 들면, 「3」)」를 대입한다. 또한, 장치가 네트워크에 접속되어 있는지 아닌지의 검출은 공지 기술에 의해 가능하기 때문에, 상세한 설명을 생략한다.
다음으로, 「ID=5」의 레코드에 대응하는 레시피의 처리이다. 여기에서는, 제어 장치 정보 「E4」로 식별되는 제어 장치에, 유저 식별자 「Tanaka」로 식별되는 유저가 액세스 가능하며, 제어 장치 정보 「E4」로 식별되는 제어 장치는 네트워크에 접속되어 있다고 한다. 또한, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E4」로 식별되는 레시피가, 레시피 격납부(133)에 존재한다고 한다. 그러나, 이동 취득 수단(1341)은, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E4」로 식별되는 레시피가, 마스터 레시피와 다르다고 판단했다고 한다. 이것은, 이동 취득 수 단(1341)이, 2개의 레시피의 내용의 차이를 취득하여, 차이가 존재하기 때문에, 2개의 레시피가 다르다고 판단했다고 한다. 이러한 상황에 있어서, 이동 취득 수단(1341)은, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E4」로 식별되는 레시피에 대응하는 이동 정보에, 「상위 정보(예를 들면, 「1」)」를 대입한다.
다음으로, 「ID=6」의 레코드에 대응하는 레시피의 처리이다. 여기에서는, 제어 장치 정보 「E5」로 식별되는 제어 장치에, 유저 식별자 「Tanaka」로 식별되는 유저가 액세스 가능하며, 제어 장치 정보 「E5」로 식별되는 제어 장치는 네트워크에 접속되어 있다고 한다. 그러나, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E5」로 식별되는 레시피가, 레시피 격납부(133)에 존재하지 않는다고 한다. 이러한 상황에 있어서, 부존재 정보 취득 수단(1342)은, 이동이 비교되는 레시피가 존재하지 않는다고 판단하여, 부존재 정보를 취득한다. 즉, 부존재 정보 취득 수단(1342)은, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E5」로 식별되는 레시피에 대응하는 이동 정보에, 「부존재 정보(예를 들면, 「2」)」를 대입한다.
다음으로, 「ID=7」의 레코드에 대응하는 레시피의 처리이다. 여기서, 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 유저 식별자 「Tanaka」로 식별되는 유저가 제어 장치 정보 「E6」으로 식별되는 제어 장치에 대하여, 도10 에서 액세스 불가이기 때문에, 출력 불가 정보를 취득한다. 그리고, 출력 불가 정보 취득 수단(1344)은, 레시피 식별자 「RCP1」, 제어 장치 정보 「E6」으로 식별되는 레시피에 대응하는 이동 정보에, 「출력 불가 정보(예를 들면, 「4」)」를 대입한다.
다음으로, 이동 정보 출력부(135)는, 레시피 이동 정보 취득부(134)가 취득 한 이동 정보를, 레시피마다 출력한다. 이동 정보 출력부(135)의 출력예를 도13 에 나타낸다.
도13 에 있어서, 마스터 레시피의 「결과」란에는, 「Master」가 출력된다. 또한, 도13 에 있어서, 「결과」란에는, 이동 정보가 동일 정보인 경우는 「Same」, 이동 정보가 상위 정보인 경우는 「Different」, 이동 정보가 부존재 정보인 경우는 「Not Found」,이동 정보가 통신 불가 정보인 경우는 「Offline」, 이동 정보가 출력 불가 정보인 경우는 「Disable」이 출력된다. 또한, 이동 정보 출력부(135)는, 이동 정보가 부존재 정보, 통신 불가 정보, 출력 불가 정보 중 어느 하나의 경우, 레시피의 속성치의 일부를 출력하지 않는 것으로 한다. 도13 에 있어서, 「편집자」「갱신 일시」「버전」의 속성치가 출력되어 있지 않다. 이것은, 이동 정보 출력부(135)가 도12 의 정보로부터, 이동 정보가 부존재 정보, 통신 불가 정보, 출력 불가 정보 중 어느 하나의 「편집자」「갱신 일시」「버전」을 출력한 경우, 불확실한 정보를 출력하는 것으로 되어 타당하지 않다.
다음으로, 유저는, 도13 의 출력을 보면서, 상세 출력 지시를 입력했다고 한다. 상세 출력 지시의 입력이란, 예를 들면, 도13 의 제어 장치 정보 「E4」를 더블 클릭하는 것으로 한다. 즉, 유저는, 마스터 레시피(AGC_RCP로 식별되는 레시피)와, 이동 정보가 상위 정보인 레시피(E4로 식별되는 레시피)의 차이의 상세를 얻으려고 한다.
다음으로, 접수부(131)는, 「E4」를 포함하는 상세 출력 지시를 접수한다. 다음으로, 상세 출력부(139)는, 마스터 레시피(AGC_RCP로 식별되는 레시피)와, 이 동 정보가 상위 정보인 레시피(E4로 식별되는 레시피)를 판독하고, 각 대응하는 스텝에 대하여, 스텝 상위 정보를 취득하여, 출력한다. 이러한 출력예를 도14 에 나타낸다. 도14 에 있어서, 화면의 좌측이 스텝의 일람이며, 사선을 칠한 행이 2개의 레시피가 갖는 스텝이 다른 것을 나타낸다. 도14 에 있어서, 레시피의 「스텝 C」「스텝 D」가 다른 것을 나타낸다. 또한, 도14 의 우측은, 2개의 레시피에 대하여, 포커스되어 있는 스텝(화면 우측의 화살표로 지시되어 있는 「스텝 C」)이 갖는 프로세스 조건치 등이며, 사선을 칠한 프로세스 조건치 등이, 다른 프로세스 조건치 등인 것을 나타낸다. 도14 에 있어서, 「Main Set」이 다르다.
이상, 본 실시 형태의 프로세스 정보 관리 장치에 의하면, 2개 이상의 레시피를 비교할 경우에, 동일하다, 상위하다라는 2개의 상태 이외의 상태도 취득하여, 출력할 수 있다. 그 때문에, 유저는, 2개의 레시피간의 상위한 사정을 정확히 알 수 있다. 즉, 유저는, 보다 상세하게 2개의 레시피의 상태의 상위 등을 알 수 있어, 다음의 적절한 대응을 취할 수 있다. 구체적으로는, 유저는, 1개의 마스터 레시피와 다수의 제어 장치의 레시피를 비교할 때, 오프라인의 제어 장치나 레시피가 제어 장치에 존재하지 않는 것 및, 제어 장치로의 액세스 권한이 없는 것 등을 알 수 있다. 이것은, 반도체 제조 공장에 의해서는 수십대의 제어 장치 및 처리 장치가 가동하고 있는 케이스도 있고, 이들의 제어 장치 및 처리 장치간의 레시피 일치성을 보장하는데 있어서 효과적이다. 또한, 더욱 구체적으로는, 유저는, 유저가 액세스할 수 없는 출력 불가 정보로 판정된 레시피에 대하여, 예를 들면, 작업을 중단하거나, 유저 등록(출력 허가를 얻기 위한 등록)의 신청을 행한다. 또한, 유 저는, 통신 불가인 통신 불가 정보로 판정된 레시피에 대하여, 당해 레시피를 처리하는 제어 장치를 통신 불가인 상태로 하도록 제어 장치의 유저에 연락하거나, 당해 유저에 제어 장치의 시동을 지시하거나 한다. 또한, 유저는, 존재하지 않는 부존재 정보로 판정된 레시피에 대하여, 예를 들면, 최신의 당해 레시피를 복사하거나 한다. 또한, 유저는, 마스터 레시피와 다른 상위 정보로 판정된 레시피에 대하여, 예를 들면, 최신의 당해 레시피를 복사하거나 한다.
또한, 본 실시 형태의 구체예에 있어서, 유저는, 클라이언트 단말로부터 조작했지만, 직접, 프로세스 정보 관리 장치(13)로부터 조작해도 좋은 것은 말할 필요도 없다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 처리는, 소프트웨어로 실현해도 좋다. 그리고, 이 소프트웨어를 소프트웨어 다운로드 등에 의해 배포해도 좋다. 또한, 이 소프트웨어를 CD-ROM 등의 기록 매체에 기록하여 유포해도 좋다. 또한, 이것은, 본 명세서에 있어서의 다른 실시 형태에 있어서도 해당한다. 또한, 본 실시 형태에 있어서의 프로세스 정보 관리 장치를 실현하는 소프트웨어는, 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터에, 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 1이상의 처리 장치를 각각 제어하는 1이상의 제어 장치가 보유하고 있는 프로세스에 관한 정보인 1이상의 레시피를, 상기 1이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납하고, 그리고, 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피를 격납하고 있고, 상기 마스터 레시피와 상기 1이상의 레시피의 이동에 관한 정보이며, 3종류 이상 있는 이동에 관한 정보 중 하나의 이동에 관한 정보인 이동 정보를, 상기 1이상의 레시피 마다 취득하는 레시피 이동 정보 취득 스텝과, 상기 레시피 이동 정보 취득 스텝에서 취득한 이동 정보를, 상기 레시피마다 출력하는 이동 정보 출력 스텝을 실행시키기 위한 프로그램이다.
또한, 상기 프로그램은, 컴퓨터에, 상기 제어 장치로부터 레시피를 수신하는 레시피 수신 스텝을 추가로 실행시키고, 상기 레시피의 적어도 일부는, 상기 레시피 수신 스텝에서 수신한 레시피인 것은 매우 적합하다.
또한, 상기 1이상의 제어 장치에 관한 정보인 1이상의 제어 장치 정보를 격납하고 있고, 상기 프로그램에 있어서의 상기 레시피 이동 정보 취득 스텝은, 상기 마스터 레시피와, 상기 1이상의 제어 장치 정보가 나타내는 상기 1이상의 제어 장치에 대응하는 1이상의 레시피의 이동 정보를, 상기 1이상의 레시피마다 취득하는 것은 매우 적합하다.
또한, 상기 프로그램에 있어서, 상기 이동 정보는, 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 동일한 것을 나타내는 정보인 동일 정보, 또는 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 달라 있는 것을 나타내는 정보인 상위 정보, 또는 비교되는 레시피가 존재하지 않는 것을 나타내는 부존재 정보, 또는 비교되는 레시피에 대응하는 제어 장치가 프로세스 정보 관리 장치와 통신 불가의 상태인 것을 나타내는 통신 불가 정보, 또는 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 것을 나타내는 정보인 출력 불가 정보 중 어느 하나의 정보를 취득할 수 있고, 상기 레시피 이동 정보 취득 스텝은, 상기 마스터 레시피의 내용과, 상기 이동이 비교되는 레시피의 내용을 비교하여, 2개의 레시피가 동일한지 상위한지를 판단하여, 동일 정보 또는 상위 정보를 취득하는 이동 취득 스텝과, 상기 이동이 비교되는 레시피가 존재하지 않는다고 판단하여, 부존재 정보를 취득하는 부존재 정보 취득 스텝과, 상기 제어 장치와의 통신이 가능한지 아닌지를 판단하여, 통신 불가의 경우에, 통신 불가 정보를 취득하는 통신 불가 정보 취득 스텝과, 프로세스 정보 관리 장치를 조작하는 유저에 관한 정보인 유저 정보를 접수하고, 당해 유저 정보에 기초하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인지 아닌지를 판단하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 경우에, 출력 불가 정보를 취득하는 출력 불가 정보 취득 스텝을 구비하는 것은 매우 적합하다.
또한, 상기 프로그램은, 컴퓨터에, 마스터 레시피를 포함하는 2이상의 레시피의 지정을 접수하는 접수 스텝을 추가로 실행시키고, 상기 레시피 이동 정보 취득 스텝에 있어서, 상기 지정을 접수한 마스터 레시피와, 상기 레시피의 지정을 접수한, 마스터 레시피를 제외하는 1이상의 레시피와의 이동 정보를 취득하는 것은 매우 적합하다.
또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 각 처리(각 기능)는, 단일의 장치(시스템)에 의해 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 또는, 복수의 장치에 의해 분산 처리됨으로써 실현되어도 좋다.
또한, 상기 프로그램에 있어서, 정보를 송신하는 스텝이나, 정보를 수신하는 스텝 등에서는, 하드웨어에 의해 행해지는 처리, 예를 들면, 송신하는 스텝에 있어서의 모뎀이나 인터페이스 카드 등으로 행해지는 처리(하드웨어로밖에 행해지지 않는 처리)는 포함되지 않는다.
또한, 상기 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 단수여도 좋고, 복수여도 좋다. 즉, 집중 처리를 행해도 좋고, 또는 분산 처리를 행해도 좋다.
또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 하나의 장치에 존재하는 2이상의 통신 수단은, 물리적으로 하나의 매체로 실현되어도 좋은 것은 말할 필요도 없다.
본 발명은, 이상의 실시 형태에 한정되는 일 없이, 여러 가지의 변경이 가능하며, 그들도 본 발명의 범위 내에 포함되는 것인 것은 말할 필요도 없다.
또한, 2006년 4월 28일에 출원된 일본국 특허 출원 번호 2006-124733의 상세한 설명, 도면, 특허 청구의 범위를 포함하는 개시는, 그 전체의 참조에 의해, 이 개시에 포함된다.
이상과 같이, 본 발명에 따른 프로세스 정보 관리 장치는, 2개의 레시피 간의 상위한 사정을 정확히 알 수 있다는 효과를 가져, 예를 들면, 반도체 제조 장치, 액정 패널 제조 장치 등의 처리 장치에 대한 제어에 관한 정보인 프로세스 정보를 관리하는 프로세스 정보 관리 장치 등으로서 유용하다.

Claims (7)

  1. 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 1이상의 처리 장치를 각각 제어하는 1이상의 제어 장치가 보유하고 있는 프로세스에 관한 정보인 1이상의 레시피를, 상기 1이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납되고, 그리고 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피가 격납되는 레시피 격납부와,
    상기 마스터 레시피와 상기 1이상의 레시피의 이동(異同)에 관한 정보로서, 3종류 이상 있는 이동에 관한 정보 중 하나의 이동에 관한 정보인 이동 정보를, 상기 1이상의 레시피마다 취득하는 레시피 이동 정보 취득부와,
    상기 레시피 이동 정보 취득부가 취득한 이동 정보를, 상기 레시피마다 출력하는 이동 정보 출력부
    를 구비하는 프로세스 정보 관리 장치로서,
    상기 3종류 이상 있는 이동 정보는, 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 동일한 것을 나타내는 정보인 동일 정보, 또는 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 다른 것을 나타내는 정보인 상위(相違) 정보를 포함하고, 그리고, 비교되는 레시피가 존재하지 않는 것을 나타내는 부존재 정보, 또는 비교되는 레시피에 대응하는 제어 장치가 프로세스 정보 관리 장치와 통신 불가의 상태인 것을 나타내는 통신 불가 정보, 또는 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 것을 나타내는 정보인 출력 불가 정보 중 1이상의 이동 정보를 포함하고,
    상기 레시피 이동 정보 취득부는,
    상기 마스터 레시피의 내용과, 상기 이동이 비교되는 레시피의 내용을 비교하여, 2개의 레시피가 동일한지 상위한지를 판단하고, 동일 정보 또는 상위 정보를 취득하는 이동 취득 수단을 가지며, 그리고, 상기 이동이 비교되는 레시피가 존재하지 않는다고 판단하여, 부존재 정보를 취득하는 부존재 정보 취득 수단과, 상기 제어 장치와의 통신이 가능한지 아닌지를 판단하여, 통신 불가의 경우에, 통신 불가 정보를 취득하는 통신 불가 정보 취득 수단과, 유저에 관한 정보인 유저 정보를 접수하고, 당해 유저 정보에 기초하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인지 아닌지를 판단하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 경우에, 출력 불가 정보를 취득하는 출력 불가 정보 취득 수단 중 1이상의 수단을 구비하는 프로세스 정보 관리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어 장치로부터 레시피를 수신하는 레시피 수신부
    를 추가로 구비하고,
    상기 레시피 격납부의 레시피의 적어도 일부는, 상기 레시피 수신부가 수신한 레시피인 프로세스 정보 관리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 1이상의 제어 장치에 관한 정보인 1이상의 제어 장치 정보를 격납하고 있는 제어 장치 정보 격납부
    를 추가로 구비하고,
    상기 레시피 이동 정보 취득부는,
    상기 마스터 레시피와, 상기 제어 장치 정보 격납부의 1이상의 제어 장치 정보가 나타내는 상기 1이상의 제어 장치에 대응하는 1이상의 레시피의 이동 정보를, 상기 1이상의 레시피마다 취득하는 프로세스 정보 관리 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 이동 정보는,
    상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 동일하다는 것을 나타내는 정보인 동일 정보,
    또는, 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 다르다는 것을 나타내는 정보인 상위(相違) 정보,
    또는, 비교되는 레시피가 존재하지 않는 것을 나타내는 부존재 정보,
    또는, 비교되는 레시피에 대응하는 제어 장치가 프로세스 정보 관리 장치와 통신 불가의 상태인 것을 나타내는 통신 불가 정보,
    또는, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 것을 나타내는 정보인 출력 불가 정보 중 어느 하나의 정보를 취득할 수 있고,
    상기 레시피 이동 정보 취득부는,
    상기 마스터 레시피의 내용과, 상기 이동이 비교되는 레시피의 내용을 비교하여, 2개의 레시피가 동일한지 상위한지를 판단하여, 동일 정보 또는 상위 정보를 취득하는 이동 취득 수단과,
    상기 이동이 비교되는 레시피가 존재하지 않는다고 판단하여, 부존재 정보를 취득하는 부존재 정보 취득 수단과,
    상기 제어 장치와의 통신이 가능한지 아닌지를 판단하여, 통신 불가의 경우에, 통신 불가 정보를 취득하는 통신 불가 정보 취득 수단과,
    유저에 관한 정보인 유저 정보를 접수하고, 당해 유저 정보에 기초하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인지 아닌지를 판단하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 경우에, 출력 불가 정보를 취득하는 출력 불가 정보 취득 수단
    을 구비하는 프로세스 정보 관리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    마스터 레시피를 포함하는 2이상의 레시피의 지정을 접수하는 접수부
    를 추가로 구비하고,
    상기 레시피 이동 정보 취득부는,
    상기 지정을 접수한 마스터 레시피와, 상기 레시피의 지정을 접수한, 마스터 레시피를 제외하는 1이상의 레시피와의 이동 정보를 취득하는 프로세스 정보 관리 장치.
  6. 컴퓨터에,
    피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 1이상의 처리 장치를 각각 제어하는 1이상의 제어 장치가 보유하고 있는 프로세스에 관한 정보인 1이상의 레시피를, 상기 1이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납하고, 그리고, 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피를 격납하고 있고,
    상기 마스터 레시피와 상기 1이상의 레시피의 이동에 관한 정보로서, 3종류 이상 있는 이동에 관한 정보 중 하나의 이동에 관한 정보인 이동 정보를, 상기 1이상의 레시피마다 취득하는 레시피 이동 정보 취득 스텝과,
    상기 레시피 이동 정보 취득 스텝에서 취득한 이동 정보를, 상기 레시피마다 출력하는 이동 정보 출력 스텝
    을 실행시키기 위한 프로그램이 기록된 기록 매체로서,
    상기 3종류 이상 있는 이동 정보는, 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 동일한 것을 나타내는 정보인 동일 정보, 또는 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 다른 것을 나타내는 정보인 상위(相違) 정보를 포함하고, 그리고, 비교되는 레시피가 존재하지 않는 것을 나타내는 부존재 정보, 또는 비교되는 레시피에 대응하는 제어 장치가 프로세스 정보 관리 장치와 통신 불가의 상태인 것을 나타내는 통신 불가 정보, 또는 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 것을 나타내는 정보인 출력 불가 정보 중 1이상의 이동 정보를 포함하고,
    상기 레시피 이동 정보 취득 스텝은,
    상기 마스터 레시피의 내용과, 상기 이동이 비교되는 레시피의 내용을 비교하여, 2개의 레시피가 동일한지 상위한지를 판단하여, 동일 정보 또는 상위 정보를 취득하는 이동 취득 스텝을 가지며, 그리고,
    상기 이동이 비교되는 레시피가 존재하지 않는다고 판단하여, 부존재 정보를 취득하는 부존재 정보 취득 스텝과, 상기 제어 장치와의 통신이 가능한지 아닌지를 판단하여, 통신 불가의 경우에, 통신 불가 정보를 취득하는 통신 불가 정보 취득 스텝과, 유저에 관한 정보인 유저 정보를 접수하고, 당해 유저 정보에 기초하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인지 아닌지를 판단하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 경우에, 출력 불가 정보를 취득하는 출력 불가 정보 취득 스텝 중 1이상의 스텝을 구비하는 프로그램이 기록된 기록 매체.
  7. 피처리 기판에 대한 소정의 프로세스를 행하는 1이상의 처리 장치를 각각 제어하는 1이상의 제어 장치가 보유하고 있는 프로세스에 관한 정보인 1이상의 레시피를, 상기 1이상의 제어 장치에 각각 대응지어 격납하고, 그리고 기준이 되는 레시피인 마스터 레시피를 격납하고 있고,
    상기 마스터 레시피와 상기 1이상의 레시피의 이동에 관한 정보로서, 3종류 이상 있는 이동에 관한 정보 중의 하나의 이동에 관한 정보인 이동 정보를, 상기 1이상의 레시피마다 취득하는 레시피 이동 정보 취득 스텝과,
    상기 레시피 이동 정보 취득 스텝에서 취득한 이동 정보를, 상기 레시피마다 출력하는 이동 정보 출력 스텝
    을 구비하는 프로세스 정보 관리 방법으로서,
    상기 3종류 이상 있는 이동 정보는, 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 동일한 것을 나타내는 정보인 동일 정보, 또는 상기 마스터 레시피와 이동이 비교되는 레시피가 다른 것을 나타내는 정보인 상위 정보를 포함하고, 그리고, 비교되는 레시피가 존재하지 않는 것을 나타내는 부존재 정보, 또는 비교되는 레시피에 대응하는 제어 장치가 프로세스 정보 관리 장치와 통신 불가의 상태인 것을 나타내는 통신 불가 정보, 또는 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 것을 나타내는 정보인 출력 불가 정보 중 1이상의 이동 정보를 포함하고,
    상기 레시피 이동 정보 취득 스텝은,
    상기 마스터 레시피의 내용과, 상기 이동이 비교되는 레시피의 내용을 비교하고, 2개의 레시피가 동일한지 상위한지를 판단하여, 동일 정보 또는 상위 정보를 취득하는 이동 취득 스텝을 가지며, 그리고,
    상기 이동이 비교되는 레시피가 존재하지 않는다고 판단하여, 부존재 정보를 취득하는 부존재 정보 취득 스텝과, 상기 제어 장치와의 통신이 가능한지 아닌지를 판단하여, 통신 불가의 경우에, 통신 불가 정보를 취득하는 통신 불가 정보 취득 스텝과, 유저에 관한 정보인 유저 정보를 접수하고, 당해 유저 정보에 기초하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인지 아닌지를 판단하여, 이동 정보를 얻을 수 없는 유저인 경우에, 출력 불가 정보를 취득하는 출력 불가 정보 취득 스텝 중 1이상의 스텝을 구비하는 프로세스 정보 관리 방법.
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