JP2000252178A - 半導体装置製造ラインの生産制御方法及び装置 - Google Patents

半導体装置製造ラインの生産制御方法及び装置

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JP2000252178A JP11054831A JP5483199A JP2000252178A JP 2000252178 A JP2000252178 A JP 2000252178A JP 11054831 A JP11054831 A JP 11054831A JP 5483199 A JP5483199 A JP 5483199A JP 2000252178 A JP2000252178 A JP 2000252178A
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俊洋 佐田
Junji Orimoto
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数工程の実験水準を一度に把握することが
でき、ウエハ毎の処理条件表示が可能であり、実験水準
データの設定と管理が容易である半導体装置製造ライン
の生産制御方法及び装置を提供する。 【解決手段】 ロットベース管理ホストコンピュータ１
１がロット毎の処理条件、キャリアＩＤとロットＩＤと
の対応関係及びロット毎のスロットＩＤとウエハＩＤと
の対応関係を管理しロット単位の管理を行う。ウエハベ
ース管理ホストコンピュータ１２はロット内のウエハ番
号に対応した処理条件を管理しロットのウエハ単位の管
理を行う。また、変換条件指示部１３はロットベース管
理ホストコンピュータ１１及びウエハベース管理ホスト
コンピュータ１２から取得したデータを半導体製造装置
１４に与える。ウエハベース管理ホストコンピュータ１
２は、水準毎の処理条件と使用する半導体製造装置の号
機を実験工程とウエハ番号のマトリクスの形で実験水準
マスタとして保持し、この実験水準マスタに従って、変
換条件指示部１３を介して半導体製造装置１４に処理条
件を与える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は複数枚の半導体ウエ
ハを１ロットとして管理し、生産設備（半導体製造装
置）に処理条件を自動的に指示し、更に例えば測定器か
ら測定結果をオンラインで収集する生産制御システムに
関し、特に、複数の実験工程で自動的に水準振りのため
のデータ入力及び修正が容易である半導体装置製造ライ
ンの生産制御方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造ラインにおいて、各製
造設備を固定的に量産品と、実験品（試作品）とに振り
分けることなく、量産品の製造予定に実験品の製造予定
を組み込み、単一の生産ラインにおいて、各製造設備を
流動的に共用して量産品の製造と実験品の製造とを両立
させた生産制御システムが採用されている（例えば、特
開平１０−１１１０８号公報）。
【０００３】図６は従来のこの種の量産品と実験品とが
混在した生産管理システムを示す図である。即ち、ロッ
トベース管理ホストコンピュータ１は、ロット単位の管
理を行うホストコンピュータであり、ロット毎の処理条
件、ロット毎の進捗管理、キャリアＩＤとロットＩＤと
の対応関係、ロット毎のスロットＩＤとウエハＩＤとの
対応関係等を管理する。また、各半導体製造装置２は、
処理対象のロットのウエハに対し、ロットベース管理ホ
ストコンピュータから与えられる条件に従ってエッチン
グ、イオン注入及び酸化膜形成等の処理を行う。
【０００４】作業ステップが実験品を含む特殊作業の場
合は、キャリアを処理条件毎に、ロット：処理条件＝
１：１になるように分割する。この場合は、仕掛かりキ
ャリアが半導体製造装置２に移載される。半導体製造装
置２は、移載されたキャリアＩＤをキーにしてロット情
報をロットベース管理ホストコンピュータ１に問い合わ
せる。ロットベース管理ホストコンピュータ１は各半導
体製造装置２に対して該当ロットに対応した処理条件を
送信する。半導体製造装置２は指示された処理条件どお
りにウエハの処理を進めることにより、ロット全体の作
業を行う。
【０００５】一方、作業ステップが通常作業、即ち量産
品のみの場合は、先ず、仕掛かりキャリアが半導体製造
装置２に移載される。半導体製造装置２は移載されたキ
ャリアＩＤキーにしてロット情報をロットベース管理ホ
ストコンピュータ１に問い合わせる。ロットベース管理
ホストコンピュータ１は各半導体製造装置２に対して該
当ロットに対応した処理条件を送信する。半導体製造装
置２は指示された処理条件どおりにウエハの処理を進め
ることにより、ロット全体の作業を行う。
【０００６】また、図７は従来の生産制御システムを示
すフローチャート図である。先ず、１キャリア内に複数
水準の実験工程がある場合（ステップＳ１）、ウエハソ
ータにおいて、ロットベース管理ホストコンピュータの
情報を確認し、水準毎にキャリアを分割する（ステップ
Ｓ２）。即ち、ロットベース管理ホストコンピュータか
ら取得したデータを基に、ウエハソータでは水準毎にウ
エハをキャリアに並べ替える。また、１キャリア＝１水
準として水準毎にキャリアを分ける（ステップＳ３）。
その後、処理対象キャリアを半導体製造装置にロードす
る（ステップＳ４）。そして、ロットベース管理ホスト
コンピュータから処理情報を半導体製造装置にダウンロ
ードし（ステップＳ５）、半導体製造装置においてキャ
リア内のウエハの処理を行う（ステップＳ６）。これを
分割したキャリアの全てについて処理する（ステップＳ
７）。その後、ウエハソータにおいて、ロットベース管
理ホストコンピュータの情報を確認し、水準毎にキャリ
アを統合し、同じ条件の場合にウエハを１つのキャリア
にまとめる（ステップＳ８）。
【０００７】図８は従来の実験水準マスタを示す図であ
る。ロットＡの工程手順が、工程ａ・・・工程ｂ・・・
工程ｃ・・・と１工程につき複数回繰り返しつつ、工程
がシリアルに実施される場合、従来のシステムにおいて
は、ウエハ番号と各工程の実験水準マスタが作られて、
これらの実験水準マスタがロットベース管理ホストコン
ピュータに格納されて各半導体製造装置に指示されてい
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来技術においては、ホストコンピュータはロット単位で
しか管理していないので、複雑な処理条件を指示するこ
とができない。また、ロット内での複数条件を持つもの
は、１ロットに対して１条件になるようにロットを処理
条件毎に分割する必要があるため、工数＋搬送の面から
みて効率が悪いという難点がある。
【０００９】また、図８に示すように、従来のシステム
においては、ウエハ毎の処理条件と測定の規格のデータ
が各工程毎にバラバラに存在しているため、工程間の関
係をウエハ毎に把握することが困難である。このよう
に、実験を構成する複数の工程間の設定データをウエハ
毎に表示することができなかったので、個々の工程毎に
水準分けデータを入力しなければならず、実験の全体像
を把握しにくく、入力が容易ではなかった。更に、把握
を補助する役目を有する総合水準を自動的に計算できな
かったため、これが入力ミスを誘引する原因となった。
【００１０】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、複数工程の実験水準を一度に把握すること
ができ、ウエハ毎の処理条件表示が可能であり、実験水
準データの設定と管理が容易である半導体装置製造ライ
ンの生産制御方法及び装置を提供することを目的とす
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る半導体装置
製造ラインの生産制御方法は、ロット毎の処理条件、キ
ャリアＩＤとロットＩＤとの対応関係及びロット毎のス
ロットＩＤとウエハＩＤとの対応関係を管理しロット単
位の管理を行うロットベース管理ホストコンピュータ
と、ロット内のウエハ番号に対応した処理条件を管理し
ロットのウエハ単位の管理を行うウエハベース管理ホス
トコンピュータと、前記ロットベース管理ホストコンピ
ュータ及びウエハベース管理ホストコンピュータから取
得したデータを半導体製造装置に与える変換条件指示部
とにより半導体製造ラインの生産を制御する方法であっ
て、前記半導体製造装置が、移載されたキャリアのＩＤ
を基にロット情報を前記変換条件指示部に問い合わせる
工程と、前記変換条件指示部が、前記ロットベース管理
ホストコンピュータから該当ロットの条理条件、スロッ
トＩＤ情報、及びウエハＩＤ情報を取得し、仕掛かりウ
エハが試験ウエハの場合に前記ウエハベース管理ホスト
コンピュータから該当ロット内のウエハ毎の情報を取得
すると共に、前記半導体製造装置に対して前記スロット
ＩＤに対応する条理条件を送信する工程とを有すること
を特徴とする。
【００１２】本発明に係る他の半導体装置製造ラインの
生産制御方法は、ロット毎の処理条件、キャリアＩＤと
ロットＩＤとの対応関係及びロット毎のスロットＩＤと
ウエハＩＤとの対応関係を管理しロット単位の管理を行
うロットベース管理ホストコンピュータと、ロット内の
ウエハ番号に対応した処理条件を管理しロットのウエハ
単位の管理を行うウエハベース管理ホストコンピュータ
と、前記ロットベース管理ホストコンピュータ及びウエ
ハベース管理ホストコンピュータから取得したデータを
半導体製造装置に与える変換条件指示部と、を有し、前
記変換条件指示部は、前記半導体製造装置が、移載され
たキャリアのＩＤを基にロット情報を前記変換条件指示
部に問い合わせると、前記ロットベース管理ホストコン
ピュータから該当ロットの条理条件、スロットＩＤ情
報、及びウエハＩＤ情報を取得し、仕掛かりウエハが試
験ウエハの場合に前記ウエハベース管理ホストコンピュ
ータから該当ロット内のウエハ毎の情報を取得すると共
に、前記半導体製造装置に対して前記スロットＩＤに対
応する条理条件を送信することを特徴とする。
【００１３】また、本発明に係る半導体装置製造ライン
の生産制御装置は、ロット毎の処理条件、キャリアＩＤ
とロットＩＤとの対応関係及びロット毎のスロットＩＤ
とウエハＩＤとの対応関係を管理しロット単位の管理を
行うロットベース管理ホストコンピュータと、ロット内
のウエハ番号に対応した処理条件を管理しロットのウエ
ハ単位の管理を行うウエハベース管理ホストコンピュー
タと、前記ロットベース管理ホストコンピュータ及びウ
エハベース管理ホストコンピュータから取得したデータ
を半導体製造装置に与える変換条件指示部と、を有し、
前記ウエハベース管理ホストコンピュータは、水準毎の
処理条件と使用する半導体製造装置の号機を実験工程と
ウエハ番号のマトリクスの形で実験水準マスタとして保
持し、この実験水準マスタに従って、前記変換条件指示
部を介して前記半導体製造装置に処理条件を与えること
を特徴とする。
【００１４】この半導体装置製造ラインの生産制御装置
において、キャリアのスロットに格納されたウエハのＩ
Ｄを読み取り、そのスロットのＩＤと共に前記ウエハの
ＩＤを前記ロットベース管理コンピュータに送信するソ
ータを有するか、又はキャリアのスロットに格納された
ウエハのＩＤを読み取り、その結果を前記ロットベース
管理ホストコンピュータに送信し、ロットベース管理ホ
ストコンピュータに格納されたスロットＩＤとウエハＩ
Ｄとの関係から外れている場合に、前記ウエハを正しい
スロットに移すソータを有するように構成することがで
きる。
【００１５】また、前記実験水準マスタは、処理条件に
加えてウエハ毎の管理特性規格を含むことができる。更
に、前記実験水準マスタを表示する表示手段と、この表
示された実験水準マスタの構成を修正する修正手段とを
有するように構成することができる。更にまた、複数の
実験工程の水準分けの結果として総合水準数を判断して
表示する表示手段を有することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について添
付の図面を参照して具体的に説明する。図１は本発明の
実施例に係る生産制御装置を示すブロック図である。本
発明は処理対象ロットのウエハＩＤ毎に指示した処理条
件を、スロットＩＤ毎に変換して処理条件を半導体製造
装置に伝える変換条件指示部１３と、ロット内のウエハ
ベースで情報を管理するウエハベース管理ホストコンピ
ュータ１２とを設けた点に特徴がある。即ち、図１にお
いて、ロットベース管理ホストコンピュータ１１はロッ
ト毎の処理条件、ロット毎の進捗管理、キャリアＩＤと
ロットＩＤとの対応関係、ロット毎のスロットＩＤとウ
エハＩＤ（ウエハ番号）との対応関係等を管理してい
る。ウエハベース管理ホストコンピュータ１２はロット
内のウエハ番号に対応した処理条件等を管理している。
また、変換条件指示部１３はロットベース管理ホストコ
ンピュータ１１、ウエハベース管理ホストコンピュータ
１２及び半導体製造装置１４との通信及び情報の変換等
を行う。半導体製造装置１４は処理対象のロット（ウエ
ハ）を変換条件指示部１３からの指示に従って処理す
る。ウエハソータ１５はキャリアのスロットに格納され
たウエハのＩＤを読み取り、ウエハＩＤをスロットＩＤ
に対応させてロットベース管理ホストコンピュータ１１
に送信する。また、ウエハソータ１５はウエハＩＤを読
み取り、ロットベース管理ホストコンピュータ１１から
与えられたウエハＩＤとスロットＩＤとの関係から外れ
ている場合に、ウエハを取り出して正規のスロットに格
納し直すように構成することもできる。
【００１７】次に、上述の如く構成された本実施例装置
の動作について説明する。先ず、仕掛かりキャリアが半
導体製造装置１４に移載される。半導体製造装置１４は
移載されたキャリアＩＤをキーにしてロット情報を変換
条件指示部１３に問い合わせる。変換条件指示部１３は
ロットベース管理ホストコンピュータ１１から該当ロッ
ト情報及び処理条件等を取得する。この場合に、実験品
のように、仕掛かりステップが特殊作業の場合、更に、
ウエハベース管理ホストコンピュータ１２から該当ロッ
ト内のウエハ毎の情報を取得する。次いで、ロットベー
ス管理ホストコンピュータ１１から該当ロットのスロッ
トＩＤ情報とウエハＩＤ情報を取得する。その後、半導
体製造装置１４に対して変換条件指示部１３がスロット
ＩＤに対応した処理条件を送信する。半導体製造装置１
４は指示された処理条件どおりにウエハの処理を進める
ことにより、ロット全体の作業を行う。
【００１８】一方、処理対象のウエハが量産品であって
作業ステップが通常作業の場合には、仕掛かりキャリア
が半導体製造装置１４に移載されると、半導体製造装置
１４は移載されたキャリアＩＤをキーにしてロット情報
を変換条件指示部１３に問い合わせる。変換条件指示部
１３はロットベース管理ホストコンピュータ１１から該
当ロット情報及び処理条件等を取得する。変換条件指示
部１３は半導体製造装置１４に対して該当ロットに対応
した処理条件を送信する。半導体製造装置１４は指示さ
れた処理条件どおりにウエハの処理を進めることによ
り、ロット全体の作業を行う。
【００１９】上述の如く構成された本実施例において
は、予め、処理ロットのスロットＩＤとウエハＩＤとの
間の対応データをロットベース管理ホストコンピュータ
１１に記憶させておき、そのデータを基に、変換条件指
示部１３にて、ウエハＩＤに対する条件指示を、スロッ
トＩＤに対する条件指示に変換し、変換条件指示部１３
が半導体製造装置１４に条件指示を行う。
【００２０】半導体製造装置１４には、ウエハ認識の機
能がないものが殆どであり、ウエハＩＤで条件を指示し
たとしても、半導体製造装置１４はスロットＩＤの指示
でしか処理を行うことができないため、ウエハＩＤとス
ロットＩＤの情報が異なっていた場合には、処理したも
のが無駄になってしまう。このため、変換条件支持部１
３にてウエハＩＤからスロットＩＤの条件指示に変換し
て半導体製造装置１４に処理条件を伝えることにより、
ウエハＩＤで条件指示したとおりのウエハが指示どおり
の条件で処理されることになる。このように、本実施例
においては、ウエハ毎の処理条件の指示が可能になる。
また、半導体製造装置において確認しなくても、ウエハ
ＩＤに対応した処理条件を指示することができる。
【００２１】更に、ロットベース管理のホストコンピュ
ータ１１のみでは、処理ロットに対して条件は１つし
か、管理できない。このため、処理条件毎にロットを分
割する必要があるが、本実施例においては、複数条件指
示が可能であるので、ロット分割を行わなくてすむ。こ
のため、物理的にロットを発生させなくてもすむので、
搬送効率が高い。
【００２２】次に、本発明の第２実施例について説明す
る。図２乃至４は本実施例の自動実験システムを示す図
であり、図２はキャリアを号機振りする場合、図３はキ
ャリアを条件振りする場合の模式図であり、図４は本実
施例の水準分けマスタを示す模式図である。
【００２３】図２，３に示す本実施例の生産制御装置
は、複数枚数の半導体ウエハを１ロットとして管理し、
生産設備に処理条件を自動的に指示し、測定器から測定
結果をオンラインで収集する。そして、本実施例は、複
数の実験工程で自動的に水準振りのためのデータを入力
しやすくしたものである。
【００２４】ロットベース管理ホストコンピュータ（図
２，３に図示せず）はロットの進捗状況を記憶する進捗
管理部と、ロットの各工程の順序とその工程が実験工程
であるか否かを示す工程手順マスタと、水準毎の処理条
件を水準分け工程（実験工程）とウエハ番号とのマトリ
クスの形で示す実験水準マスタと、この実験水準マスタ
のデータを入力し、表示し、更新するための入力端末
（図示せず）とを有する。
【００２５】図２，３において、ウエハソータ１５は搬
送されてきたキャリア２０に格納されたウエハ１をキャ
リアのスロットから一旦引き出し、どのスロットにどの
ウエハが入っているかを認識するために、ウエハからバ
ーコードをカメラにより読み出し、そのまま元のスロッ
トに戻す。ウエハソータ１５は認識したウエハＩＤとス
ロットＩＤとの関係をロットベース管理ホストコンピュ
ータに伝えるか、又はロットベース管理ホストコンピュ
ータから取得したウエハＩＤ−スロットＩＤの関係か
ら、引き出したウエハが正規ではない違うスロットに入
っていると認識した場合に、アラームを出して人為的に
この誤りの位置にあるウエハを正しい位置に戻す。
【００２６】ロットベース管理ホストコンピュータに
は、図４に示す実験水準マスタが格納されている。ウエ
ハ番号毎に、工程ａ、ｂ、ｃ…でどのような処理を受け
るかが記述され、ウエハ番号と各工程における処理条件
とがマトリクスの形で保持された実験水準マスタがロッ
トベース管理ホストコンピュータに格納されている。こ
の実験水準マスタにおいて、同一の工程で同一の処理条
件の場合に、同一水準として表示される。従って、図４
に示す例においては、２５個のウエハについて、例え
ば、ウエハ番号３と、ウエハ番号４とが同一の工程で同
一の処理を受け、水準３の処理を受けるというように、
同一水準のウエハが複数存在するので、水準パターンと
しては１３種類になる。
【００２７】この実験水準マスタにおいて、工程ａにお
いて表示されている処理内容は、ＩＩＭＰで表されるイ
オン注入の工程であり、工程ｂ、ｃにおいて表示されて
いる処理は、ＤＩが拡散工程、ＬＰＨが減圧ＣＶＤ（Ｌ
ＰＣＶＤ）工程である。これらのアルファベット記号に
続く数値が処理条件である。
【００２８】ウエハベース管理ホストコンピュータには
この実験水準マスタを表示する表示器と、この実験水準
マスタにデータを入力したり、訂正したりする入力装置
が接続されている。また、総合水準は、工程ａ、ｂ、
ｃ、・・・における処理条件が同一のものを同一水準と
して計算機上で選別され、前記表示器に表示される。
【００２９】このように構成された本実施例の生産管理
システムにおいては、ロットベース管理ホストコンピュ
ータの進捗管理部によってロットの現在の工程を把握
し、工程手順マスタと、ロットの現在工程とによって、
現在工程が実験工程か、又は量産品の処理に当たる通常
工程かの判断をする。そして、通常工程である場合、工
程手順で示される処理条件に従ってロットを処理するよ
うに、半導体製造装置１４に処理条件を指示する。
【００３０】一方、実験工程であった場合、工程手順の
その工程に記述された水準表のＩＤと、その水準表にお
ける工程名とによって、実験水準マスタ（図４）を検索
し、その内容に従ってウエハ毎の条件を半導体製造装置
１４に指示する。又は、実験工程の前でウエハソータに
よりロットを分離するようにキャリアの搬送システムと
ウエハソータに指示し、ロット分離後、複数の号機で別
々の処理を行うように、半導体製造装置１４に指示す
る。この場合は、実験工程終了後に、再度、ウエハソー
タ１５においてロットを自動合成するように、搬送シス
テムとウエハソータに指示する。
【００３１】前述の如く、本実施例においては、入力端
末に実験水準マスタを表の形で表示させる。その際、複
数工程で水準振りした結果として、全体で１ロット内の
ウエハが何水準に振られたかを判断し、各ウエハの水準
番号を自動的に計算して表示する。これにより、入力者
は各実験工程間の関係を容易に把握することができ、実
験水準マスタの入力と、訂正（更新）作業が著しく容易
になる。特に、実験水準マスタに処理条件のみではな
く、管理特性規格も入力するようにすれば、水準に応じ
た管理特性規格を設定することができる。この場合に、
生産設備の工程における処理条件の入力と測定器の工程
における管理特性の入力をウエハ毎に対応つけて入力す
ることが容易になる。入力者が入力端末上で実験水準マ
スタを訂正した場合は、その結果はロットベース管理ホ
ストコンピュータに接続された表示器上に表示されてい
る表に反映される。そして、入力者が表の内容を確認し
て確認ボタンを押すと、その表のデータがロットベース
管理ホストコンピュータに通知され、実験水準マスタが
更新される。
【００３２】本実施例においては、水準毎の処理条件を
実験工程とウエハ番号のマトリクスの形で表現した実験
水準マスタを持ち、入力装置に表の形で表示するので、
複数工程の実験水準を一目で把握することができ、実験
水準データの設定と管理が著しく容易になる。
【００３３】以上の動作を図５に示すフローチャート図
を参照して説明する。先ず、１キャリア内のウエハに複
数の水準の工程があり、これが実験工程である場合（ス
テップＱ１）、この処理対象のキャリアをウエハソータ
１５にロードし（ステップＱ２）、ウエハソータ１５は
ウエハ番号をスロットＩＤに対応させて読みとる。そし
て、ウエハソータ１５はスロットＩＤとウエハ番号との
対応情報をロットベース管理ホストコンピュータ１１に
アップロードする（ステップＱ３）。
【００３４】次いで、処理対象キャリアを半導体製造装
置１４にロードする（ステップＱ４）。その後、ロット
ベース管理ホストコンピュータ１１から処理情報（ウエ
ハ番号とスロットＩＤとの対応情報）を変換条件指示部
１３にダウンロードする（ステップＱ５）。次いで、ウ
エハベース管理ホストコンピュータ１２から処理情報
（ウエハ番号と水準条件との対応情報）を変換条件指示
部１３にダウンロードする（ステップＱ６）。その後、
ウエハ処理条件の変換条件指示部１３から半導体製造装
置１４にウエハ毎の水準情報（スロットＩＤと水準条件
との対応情報）がダウンロードされ（ステップＱ７）、
ロットベース管理ホストコンピュータから処理情報をダ
ウンロードする（ステップＱ８）。その後、各半導体製
造装置１４にてキャリア内のウエハが所定の処理を受け
る（ステップＱ９）。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、ウエハ毎の処理条
件の表示が可能であり、半導体製造装置で確認しなくて
もウエハのＩＤに対応した処理条件の指示が可能であ
る。また、本発明によれば、複数条件の指示が可能であ
るので、ロット分割を行わなくても済み、搬送効率が向
上する。そして、本発明において、実験水準マスタを持
てば、複数工程の実験水準を一画面で把握することがで
き、実験水準データの設定と、管理が極めて容易であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係る半導体装置製造ラインの
生産制御装置を示す図である。
【図２】本発明の実施例に係る半導体装置製造ワインの
生産制御装置の号機振りの動作を示す図である。
【図３】同じく条件振りの動作を示す図である。
【図４】本実施例の実験水準マスタを示す図である。
【図５】本実施例の動作を示すフローチャート図であ
る。
【図６】従来の生産制御装置を示す図である。
【図７】同じくその動作を示すフローチャート図であ
る。
【図８】同じく従来の水準分けのマスタを示す図であ
る。
【符号の説明】
１，１１：ロットベース管理ホストコンピュータ １２：ウエハベース管理ホストコンピュータ １３：変換条件指示部 ２，１４：半導体製造装置 １５：ウエハソータ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ロット毎の処理条件、キャリアＩＤとロ
    ットＩＤとの対応関係及びロット毎のスロットＩＤとウ
    エハＩＤとの対応関係を管理しロット単位の管理を行う
    ロットベース管理ホストコンピュータと、ロット内のウ
    エハ番号に対応した処理条件を管理しロットのウエハ単
    位の管理を行うウエハベース管理ホストコンピュータ
    と、前記ロットベース管理ホストコンピュータ及びウエ
    ハベース管理ホストコンピュータから取得したデータを
    半導体製造装置に与える変換条件指示部とにより半導体
    製造ラインの生産を制御する方法であって、前記半導体
    製造装置が、移載されたキャリアのＩＤを基にロット情
    報を前記変換条件指示部に問い合わせる工程と、前記変
    換条件指示部が、前記ロットベース管理ホストコンピュ
    ータから該当ロットの条理条件、スロットＩＤ情報、及
    びウエハＩＤ情報を取得し、仕掛かりウエハが試験ウエ
    ハの場合に前記ウエハベース管理ホストコンピュータか
    ら該当ロット内のウエハ毎の情報を取得すると共に、前
    記半導体製造装置に対して前記スロットＩＤに対応する
    条理条件を送信する工程とを有することを特徴とする半
    導体装置製造ラインの生産制御方法。
  2. 【請求項２】 ロット毎の処理条件、キャリアＩＤとロ
    ットＩＤとの対応関係及びロット毎のスロットＩＤとウ
    エハＩＤとの対応関係を管理しロット単位の管理を行う
    ロットベース管理ホストコンピュータと、ロット内のウ
    エハ番号に対応した処理条件を管理しロットのウエハ単
    位の管理を行うウエハベース管理ホストコンピュータ
    と、前記ロットベース管理ホストコンピュータ及びウエ
    ハベース管理ホストコンピュータから取得したデータを
    半導体製造装置に与える変換条件指示部と、を有し、前
    記変換条件指示部は、前記半導体製造装置が、移載され
    たキャリアのＩＤを基にロット情報を前記変換条件指示
    部に問い合わせると、前記ロットベース管理ホストコン
    ピュータから該当ロットの条理条件、スロットＩＤ情
    報、及びウエハＩＤ情報を取得し、仕掛かりウエハが試
    験ウエハの場合に前記ウエハベース管理ホストコンピュ
    ータから該当ロット内のウエハ毎の情報を取得すると共
    に、前記半導体製造装置に対して前記スロットＩＤに対
    応する条理条件を送信することを特徴とする半導体装置
    製造ラインの生産制御方法。
  3. 【請求項３】 ロット毎の処理条件、キャリアＩＤとロ
    ットＩＤとの対応関係及びロット毎のスロットＩＤとウ
    エハＩＤとの対応関係を管理しロット単位の管理を行う
    ロットベース管理ホストコンピュータと、ロット内のウ
    エハ番号に対応した処理条件を管理しロットのウエハ単
    位の管理を行うウエハベース管理ホストコンピュータ
    と、前記ロットベース管理ホストコンピュータ及びウエ
    ハベース管理ホストコンピュータから取得したデータを
    半導体製造装置に与える変換条件指示部と、を有し、前
    記ウエハベース管理ホストコンピュータは、水準毎の処
    理条件と使用する半導体製造装置の号機を実験工程とウ
    エハ番号のマトリクスの形で実験水準マスタとして保持
    し、この実験水準マスタに従って、前記変換条件指示部
    を介して前記半導体製造装置に処理条件を与えることを
    特徴とする半導体装置製造ラインの生産制御装置。
  4. 【請求項４】 キャリアのスロットに格納されたウエハ
    のＩＤを読み取り、そのスロットのＩＤと共に前記ウエ
    ハのＩＤを前記ロットベース管理コンピュータに送信す
    るソータを有することを特徴とする請求項３に記載の半
    導体装置製造ラインの生産制御装置。
  5. 【請求項５】 キャリアのスロットに格納されたウエハ
    のＩＤを読み取り、その結果を前記ロットベース管理ホ
    ストコンピュータに送信し、ロットベース管理ホストコ
    ンピュータに格納されたスロットＩＤとウエハＩＤとの
    関係から外れている場合に、前記ウエハを正しいスロッ
    トに移すソータを有することを特徴とする請求項３に記
    載の半導体装置製造ラインの生産制御装置。
  6. 【請求項６】 前記実験水準マスタは、処理条件に加え
    てウエハ毎の管理特性規格を含むことを特徴とする請求
    項３乃至５のいずれか１項に記載の半導体装置製造ライ
    ンの生産制御装置。
  7. 【請求項７】 前記実験水準マスタを表示する表示手段
    と、この表示された実験水準マスタの構成を修正する修
    正手段とを有することを特徴とする請求項３乃至６のい
    ずれか１項に記載の半導体装置製造ラインの生産制御装
    置。
  8. 【請求項８】 複数の実験工程の水準分けの結果として
    総合水準数を判断して表示する表示手段を有することを
    特徴とする請求項３乃至７のいずれか１項に記載の半導
    体装置製造ラインの生産制御装置。
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