JP3243745B2

JP3243745B2 - 装置制御コンピュータおよび装置制御方法

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Publication number: JP3243745B2
Application number: JP21361291A
Authority: JP
Inventors: 正浩 ▲吉▼沢; 康和田
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1991-08-26
Filing date: 1991-08-26
Publication date: 2002-01-07
Anticipated expiration: 2017-01-07
Also published as: JPH0553607A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、製造ライン内で用いら
れ、複数のプログラムが相互に連携しながら実行される
ことにより、製造装置や検査装置などの前記製造ライン
を構成する複数の装置を制御する装置制御コンピュータ
と、この装置制御コンピュータを用いた製造ラインにお
ける装置制御方法とに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、製造工場での製造ラインの自動化
に関する関心が高まり、コンピュータによって製造ライ
ンの制御を行なうシステムが実用化されつつある。例え
ば、ＬＳＩの製造ラインの自動化について、米国電気化
学会（Electrochemical Society）主催の国際会議「Aut
omated IC Manufacturing」において報告されている（"
ECS Fall Meeting", Vol. 88-2, p566(1988)）。図４
は、このような自動化された製造ラインの構成の一例を
示すブロック図である。

【０００３】この製造ラインは集積回路を製造するシス
テムであって、企業全体としての制御を行なう企業レベ
ル91、１工場全体の制御を行なう工場制御レベル92、各
個別の装置を制御するセル制御レベル93、各個別の装置
のおかれている場所を意味するステーションレベル94、
最下位の装置群レベル95の５層の階層構造で表わされる
ものである。工場制御レベル92では、スケジューラ73
と、ＥＷＳ（エンジニアリング・ワーク・ステーショ
ン）76の接続されたデータ解析コンピュータ77と、生産
管理用データベース74の接続された生産管理コンピュー
タ75が、イーサネットなどのＬＡＮ（ローカル・エリア
・ネットワーク）78によって相互に接続されている。生
産管理コンピュータ75は、ネットワーク70を介して、企
業レベル91にある経営管理コンピュータ72とＣＡＤコン
ピュータ71に接続されている。

【０００４】干渉膜厚計80a、ＲＩＥ（リアクティブイ
オンエッチング）装置80b、スパッタ装置80c、拡散炉80
d、露光装置80eなどの製造装置や検査装置、これら製造
装置や検査装置にウェハを出し入れするためのストッカ
82、各ストッカ82間をウェハを搬送するための搬送系80
fは、それぞれ、セル制御レベル93にある装置制御コン
ピュータ（検査エリア制御コンピュータ81a、エッチン
グ／洗浄エリア制御コンピュータ81b、ＣＶＤ／ＰＶＤ
エリア制御コンピュータ81c、拡散エリア制御コンピュ
ータ81d、露光エリア制御コンピュータ81e、搬送制御コ
ンピュータ81f）によって制御されている。これら装置
制御コンピュータは、前述のＬＡＮ78に接続され、スケ
ジューラ73によってスケジューリングが行なわれ、生産
管理コンピュータ75からの情報に基づいて、製造装置や
検査装置、搬送系を制御し、これらの装置のデータ収集
を行なう。

【０００５】このシステムでは、装置制御コンピュータ
は、同種の複数台の装置を制御し、異なる種類の装置の
制御は行なっていない。例えば、露光・現像、熱処理、
膜膜付け、エッチング、検査の各工程ごとに装置制御コ
ンピュータを設けて、その工程のブロック内にある同種
の装置の制御および工程管理を行なっている。各装置の
内部制御は、装置制御コンピュータの下につながる各装
置の内蔵コンピュータが実行する。

【０００６】ところで、半導体製造装置とこの半導体製
造装置の制御を行なうホストコンピュータとの通信に関
し、物理レイヤの伝送方式としてＲＳ２３２Ｃを用いた
ＳＥＣＳ（半導体製造装置通信スタンダード）が、業界
標準の規格として発行されている。上述のシステム（製
造ライン）にあっては、装置制御コンピュータと各製造
装置、検査装置とのメッセージのやりとりにこのＳＥＣ
Ｓ規格が適用されることになる。しかしながらこの規格
は、規格としてゆるいものであるため、製造ラインを構
成する各種の市販装置では、通信メッセージの使い方
（メッセージの種類の選択、フォーマットなど）や制御
手順が装置ごとに異なるだけではなく、送受信可能なメ
ッセージにも差がある。また、データをメッセージの形
式にせず生の形式でＲＳ２３２Ｃのポートに出力する装
置（ＳＥＣＳのメッセージ規格に合致しない通信仕様の
装置）、イーサネットなどのＬＡＮに接続することを前
提とする装置など、ＳＥＣＳの規格に準拠しない通信イ
ンターフェースを有する装置も同一の製造ラインに組み
込む場合が多々ある。さらに、通信インターフェースか
らは出力されないデータであってフロッピーディスクに
蓄えられたものをデータベースに格納したいこともあ
る。

【０００７】ＳＥＣＳ規格に準拠していても、各装置で
送受信可能なメッセージが異なるため、装置制御コンピ
ュータで想定している標準的な制御手順をサポートでき
ない場合がある。一般に装置における処理の開始後に異
常が発生した場合（装置自体の異常、誤ったウェハがセ
ットされたなど）は、ユーザであるオペレータが手動で
一時停止などの操作を行ない、異常原因を除去したのち
に再処理を行なうが、このときの実施記録情報は装置か
ら逐次、ホストである装置制御コンピュータにメッセー
ジにより報告されることになっている。しかしこのよう
な逐次のメッセージを送信できない種類の装置もある。

【０００８】以上のように装置と装置を制御する装置制
御コンピュータとのあいだにインターフェースの不整合
がある場合、装置制御コンピュータによる個々の装置の
円滑な制御を実施するために、個々の装置内の制御プロ
グラムを上記の標準制御手順に合うように修正するか、
装置制御コンピュータ側で、個々の装置に合致するよう
に、装置を制御するための装置制御プログラムを作成す
るかのいずれかを行なう必要がある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】個々の装置と装置制御
コンピュータとの間にインターフェースの不整合がある
場合、個々の装置内の制御プログラムを修正するとして
も、装置の物理的構成のために修正には限界がある。そ
こで、装置制御コンピュータ内の装置制御プログラムを
装置に合わせるように作成することになるが、このとき
も装置側の機能不足により、サポートできない機能が残
るという問題点がある。

【００１０】本発明の目的は、製造ラインにおいて、装
置側の機能不足によりサポートできない機能を疑似的に
実行できる装置制御コンピュータと、この装置制御コン
ピュータによる装置制御方法とを提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の装置制御コンピ
ュータは、送受信すべきコマンドの種別と前記コマンド
の番号と宛先とを定義するコマンド定義ファイルと、前
記各コマンドごとに通信フォーマットを定義するフォー
マット定義ファイルと、応答すべき表示内容がある前記
各コマンドごとに当該表示内容を定義する応答表示定義
ファイルと、入力装置と表示装置とを備え、前記コマン
ド定義ファイルを参照して前記表示装置に前記コマンド
の一覧を表示し、前記入力装置を介して前記コマンドの
いずれかが選択されたとき前記フォーマット定義ファイ
ルを参照して前記選択されたコマンドに付随するパラメ
ータの項目を前記表示装置に表示し、前記入力装置を介
して前記項目に対応するパラメータが入力されたとき前
記フォーマット定義ファイルを参照して前記入力された
パラメータを含めて前記選択されたコマンドを対応する
前記通信フォーマットで組み立て、前記コマンド定義フ
ァイル内の対応する宛先を参照して当該宛先に前記組み
立てたコマンドを送信し、前記送信に対応する応答があ
る場合には応答表示定義ファイルを参照して前記表示装
置に応答の表示を行なわせる、ユーザインターフェース
手段とを有する。

【００１２】本発明の装置制御方法は、本発明の装置制
御コンピュータを使用し、前記装置制御コンピュータに
接続された装置において前記装置制御コンピュータに送
信できないメッセージがあるときには、前記装置制御コ
ンピュータのユーザインタフェース手段を使用して前記
メッセージに対応するコマンドを選択し当該コマンドに
ついてのパラメータを入力し、前記ユーザインターフェ
ース手段によって当該コマンドを組み立て前記組み立て
たコマンドを前記メッセージの代替として前記メッセー
ジに対応する宛先に送信し、前記メッセージがあったも
のとして疑似的に処理を続行させる。

【００１３】

【作用】ユーザインタフェース手段は、コマンド定義テ
ーブルとフォーマット定義テーブルを参照して送受信で
きるコマンドと入力できるパラメータの項目を表示し、
コマンドが選択されパラメータが入力されたとき、コマ
ンド定義テーブルで指定されている宛先に当該コマンド
を組み立てて送信するので、装置制御コンピュータに接
続された装置から送信できないメッセージがあったとし
ても、この組み立てたコマンドを対応する宛先に送信す
ることによって、このメッセージが送信されたのと同様
の処理を続行させることができる。したがって、装置が
メッセージを送信することができないことによって実現
できなかった機能を、実質的に実現できるようになる。
この場合、ユーザインターフェース手段が送信するコマ
ンドの通信フォーマットが、他のプログラムや装置から
送信されるメッセージのフォーマットを同じになるよう
に、各コマンドごとの通信フォーマットをフォーマット
定義テーブルに格納しておくことにより、装置制御コン
ピュータ内の装置制御プログラムを修正する必要がなく
なる。

【００１４】ここで宛先について説明する。ここでいう
宛先とは、一般的には装置制御コンピュータの装置制御
プログラムのことであるが、ＬＡＮなどを介して装置制
御コンピュータが上位のコンピュータやスケジューラな
どに接続されているときには、これら上位のコンピュー
タやスケジューラであってもよい。また、装置制御プロ
グラムは、全体に共通な共通装置制御プログラムと、個
別の装置ごとに設けられる個別装置制御プログラムや通
信制御プログラムなどとからなる複数のプログラムに分
割され、かつこれら複数のプログラムが連携して実行さ
れて装置の制御を行なうようになっていることが一般的
であるから、宛先として共通装置制御プログラム、個別
制御プログラム、通信制御プログラムなどを選択して指
定することが可能である。さらに、必要に応じて、個別
の装置に内蔵されたコンピュータの制御プログラムも宛
先として選択することが可能である。

【００１５】コマンド定義ファイルに格納された１のコ
マンドに対し複数の装置が対応するときは、装置制御コ
ンピュータに接続された装置の装置名を格納する装置一
覧テーブルを設け、ユーザインターフェース手段が、コ
マンドの選択が行なわれたのちに前記装置一覧テーブル
を参照して宛先として選択し得る装置名を表示装置に表
示し、入力装置を介して特定の装置が選択されたとき当
該装置を宛先として以後の処理を実行させるものである
ようにすればよい。

【００１６】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の一実施例の装置制御コンピ
ュータの構成を示すブロック図、図２は各ファイルの内
容と相互の関係を説明する図、図３はユーザインターフ
ェース手段の動作を説明するフローチャートである。

【００１７】この装置制御コンピュータ３は、製造ライ
ンで使用され、半導体製造装置や半導体検査装置などの
ｎ台の装置８₁〜８_nを制御するためのものであって、こ
れら装置８₁〜８_nを制御するための装置制御プログラム
４、装置８₁〜８_nの制御に必要なデータを格納するデー
タベース９、後述するユーザインターフェース手段１
０、接続された装置８₁〜８_nの名称を格納する装置一覧
テーブル１１、コマンド定義ファイル１２、フォーマッ
ト定義ファイル１３、名称ファイル１４、応答表示定義
ファイル１５とからなっている。装置制御プログラム４
は、この装置制御コンピュータ３全体としての総括的制
御を行なう共通装置制御プログラム５と、各装置８₁〜
８_nごとに設けられた個別装置制御プログラム６₁〜６_n
および通信制御プログラム７₁〜７_nからなっている。共
通装置制御プログラム５は、ＬＡＮ２に接続されてこの
ＬＡＮ２を介してスケジューラ１ａや生産管理コンピュ
ータであるホストコンピュータ１ｂと通信し、また、デ
ータベース９とデータのやりとりを行ない、ユーザイン
ターフェース手段１０とコマンドの送受信を行なうもの
である。個別装置制御プログラム６₁〜６_nは共通装置制
御プログラム５の下位に設けられ、個別の装置８₁〜８_n
に特有の制御を行なうためのものである。通信制御プロ
グラム７₁〜７_nは、個別装置制御プログラム６₁〜６_nと
対応する装置８₁〜８_nとの通信を仲介するものである。

【００１８】コマンド定義ファイル１２、フォーマット
定義ファイル１３、名称ファイル１４、応答表示定義フ
ァイル１５の関係が図２に示されている。コマンド定義
ファイル１２は、送信するコマンド種別とそのコマンド
番号、受信すなわち応答されるコマンドの種別とそのコ
マンド番号、宛先を定義する。この場合、例えば「装置
状態確認」であれば、この「装置状態確認」を要求する
コマンドとこの要求に応じた応答コマンド（受信コマン
ド）とは対になっているから、「装置状態確認」に対し
て送信コマンド番号と応答コマンド番号の両方を指定し
ておけばよい。送信のみあるいは応答のみが考えられる
コマンドに対しては、送信コマンド番号あるいは応答コ
マンド番号の一方のみを指定しておけばよい。表１にこ
のコマンド定義ファイルの構成例を示す。表１において
「アラーム」のコマンドは、応答を要しないので、応答
コマンド番号が指定されていない。なお、宛先の詳細に
ついては、後述する。

【００１９】

【表１】フォーマット定義ファイル１３は、コマンド定義ファイ
ル１２で定義したコマンドごとに送受信（送信と応答）
の別により設けられ、そのコマンドと１対１でその通信
フォーマットを定義する。すなわち、フォーマット定義
ファイル１３では、送信コマンド番号および応答コマン
ド番号ごとに、送受信するコマンド内の全パラメータの
データ型およびデータ長を定義し、さらに各パラメータ
の変換指定値と名称テーブル番号、当該パラメータにつ
いてのコメントを格納する。ここでは、データ型とデー
タ長をあわせてパラメータの型と呼ぶことにする。この
変換指定値は、後述するユーザインターフェース手段１
０がこのフォーマット定義ファイル１３を参照してパラ
メータの入力を促すときの入力方法を規定したりするた
めに使用されるものである。名称テーブル番号は、後述
する名称ファイル１４を参照するためのものである。フ
ォーマット定義ファイル１３の構成例が表２に示されて
いる。

【００２０】

【表２】名称ファイル１４は、ユーザインターフェース手段１０
によってパラメータが入力されるとき、ユーザ（オペレ
ータ）が指定する装置名やロット名を内部で使用される
番号に変換する際などに使用されるものであり、装置名
やロット名などの名称と内部で使用される番号とが対照
表となったものである。この名称ファイル１３は、装置
あるいはロットの種別に応じて設けられ、それぞれに名
称テーブル番号が付けられ、名称テーブル番号によって
参照することができるようになっている。

【００２１】応答表示定義ファイル１５は、応答がある
コマンドごとに設けられ、応答すべきメッセージを表わ
す応答コードと、そのメッセージによる実際の表示内容
との対照表となっている。応答表示定義ファイル１５の
構成例を表３に示す。

【００２２】

【表３】ユーザインターフェース手段１０は、入力装置（不図
示）と表示装置であるＣＲＴ（不図示）とを備え、コマ
ンド定義ファイル１２を参照して前記ＣＲＴに選択し得
るコマンドの一覧を表示し、コマンドの一覧の表示後、
前記入力装置を介してコマンドのいずれかが選択された
とき、装置名の指定が必要であれば装置一覧テーブル１
１を参照してＣＲＴに装置名の一覧を表示し、装置名の
選択を待ち、フォーマット定義ファイル１３を参照して
前記選択されたコマンドに付随するパラメータの項目を
ＣＲＴに表示するものである。さらにこのユーザインタ
ーフェース手段１０は、前記入力装置を介して前記項目
に対応するパラメータが入力されたとき前記フォーマッ
ト定義ファイル１３を参照して前記入力されたパラメー
タを含めて前記選択されたコマンドを対応するフォーマ
ットで組み立てる。このとき名称ファイル１４を参照し
て入力された装置名やロット名などの名称を内部の番号
表現に変換するようにする。そしてこのユーザインター
フェース手段１０は、コマンド定義ファイル１２内の対
応する宛先を参照して当該宛先に組み立てたコマンドを
送信し、送信したコマンドに対応する応答コマンドがあ
る場合には応答表示定義ファイル１５を参照してＣＲＴ
に応答の表示を行なわせるものである。

【００２３】次に、本実施例の動作について、図３のフ
ローチャートを用いて説明する。

【００２４】ユーザインターフェース手段１０は、コマ
ンド定義ファイル１２の「コマンド種別」の欄を参照し
て、選択可能なコマンドの一覧をＣＲＴに表示する。オ
ペレータであるユーザはこの中から実行したいコマンド
をマウスクリックなどによって選択する。この時点で、
ユーザインターフェース手段１０は、送信するコマンド
種別、送信コマンド番号と応答コマンド番号をコマンド
定義ファイル１２から認識する。このコマンド番号は、
上述のＳＥＣＳで規定されているようなファンクション
（上記の表１では「装置状態確認」コマンドの送信コマ
ンド番号、応答コマンド番号がそれぞれＳ１Ｆ５、Ｓ１
Ｆ６になっている）でもよいし、製造ライン内の各プロ
グラム間通信に使用するコマンドごとに独自に定義した
ものであってもよい（ステップ３１）。このときのＣＲ
Ｔにおける画面表示２１₁も図３に示されている。

【００２５】このコマンドの選択は、コマンドの宛先の
指定をも兼ねている。この宛先は、コマンドごとに予め
コマンド定義ファイル１２の「宛先」欄で、プログラム
のプロセスＩＤなどにより指定しておく。表１の例では
宛先としてスケジューラのプロセスＩＤである１００を
指定しておくことにより、「スケジュール要求」のコマ
ンドの宛先がスケジューラ１ａであることが認識され
る。一方、装置制御コンピュータ３には異なる複数の装
置８₁〜８_nが接続されているから、これら装置８ ₁〜８_n
や個別装置制御プログラム６₁〜６_nが宛先になる場合に
は、ユーザインターフェース手段１０は装置一覧テーブ
ル１１を参照して装置の一覧表をＣＲＴに表示し、ユー
ザがその中から所望の宛先（装置あるいは個別装置制御
プログラム）をマウスなどで選択できるようにする。

【００２６】コマンドの選択後、コマンドに付随する各
パラメータの入力に移行する。予め各コマンドごとにそ
の通信フォーマットをフォーマット定義ファイル１３に
登録しておく。ユーザインターフェース手段１０は、こ
のフォーマット定義ファイル１３を参照して、最初のパ
ラメータの入力を促すために、最初のパラメータの「パ
ラメータ項目名」、「パラメータの型」、「コメント」
の表示をＣＲＴを行なう。これらを参照してユーザは、
最初のパラメータの入力を行ない、以下これを繰り返し
て全パラメータの入力を行なう（ステップ３２）。な
お、パラメータの項目によっては、ユーザは名称（ロッ
ト名あるいは装置名など）で認識しているが、メモリ容
量の削減などのために、システムの内部では番号（ロッ
ト番号など）で管理している場合がある。この場合に
は、名称から番号への変換が必要となるが、その変換方
法を指定するために、フォーマット定義ファイル１３の
「変換指定欄」の数値によって、この数値が"０"であれ
ばパラメータをユーザが直接キー入力し、"１"であれば
ユーザが名称を入力してユーザインターフェース手段１
０が名称ファイル１４を参照して入力された名称を番号
に変換し、"２"であればユーザインタフェース手段１０
が名称ファイル１４を参照して名称の一覧をＣＲＴに表
示しユーザがその中からマウスクリックなどによって選
択する、のいずれかの入力方法を指定できるようにする
とよい。この場合、名称ファイル１４を参照するときに
は、フォーマット定義ファイル１３の「名称テーブル番
号」欄をもとに、該当する名称ファイル１４を検索する
ことになる。なお後述するように、「変換指定欄」は、
応答コマンドに対応する応答コードの取り出しにも使用
される。

【００２７】表２に示したフォーマット定義ファイル１
３の構成例に基づいて具体的に説明すれば、最初のパラ
メータ（装置番号）の入力するときには、「パラメータ
項目名」、「パラメータの型」、「コメント」の欄を参
照して、ユーザインターフェース手段１０は、"装置番
号"、"整数（ＵＳ２）"、"装置を一覧から選択"の各文
言をＣＲＴに表示する。「変換指定欄」、「名称テーブ
ル番号」の各欄がそれぞれ"２"、"１０００"であるの
で、ユーザインターフェース手段１０は、１０００番の
名称ファイル１４（装置名の一覧）を参照して装置名の
一覧を表示し、ユーザが該当する装置をマウスクリック
などで選択することにより、その装置の装置番号を認識
する。次のパラメータ入力（ロット番号）では、ユーザ
インターフェース手段１０は、フォーマット定義ファイ
ル１３を参照して"ロット番号"、"整数（ＵＳ２）"、"
ロット名を入力"と表示する。このときは「変換指定
欄」が"１"であるので、ユーザがロット名を入力後、１
０１０番の名称ファイル１４（ロット名の一覧）を用い
てユーザインターフェース手段１０がロット名をロット
番号に変換する。このときの画面表示２１₂が図３に示
されている。上記のように、マウスクリックによる指定
やユーザインターフェース手段１０側での番号への変換
をおこなう場合には、「パラメータ項目名」や「パラメ
ータの型」の表示を省略することが可能である。

【００２８】このように、コマンドに付随するパラメー
タの入力は、フォーマット定義ファイル１３を参照しな
がら汎用的に行なわれ、任意のフォーマットのコマンド
の作成が可能である。また、パラメータ入力は共通化さ
れた手順で対話形式で行なわれ、各パラメータの入力時
に型や名称のチェックが行なわれることになるので、入
力ミスを軽減できる。

【００２９】パラメータの入力後、ユーザインターフェ
ース手段１０はコマンドを組み立てて、共通装置制御プ
ログラム５を介して宛先に送信する（ステップ３３）。
コマンドの組み立ては、各パラメータの入力時に、フォ
ーマット定義ファイル１３と照合しながらデータの型を
あわせてパラメータデータをファイル化し、全パラメー
タの入力が完了したら、データ長や宛先を記載した予め
定められたフォーマットのヘッダ部分を付加することに
よって行なわれる。応答が不要の場合には、コマンドの
送信をもって一連の処理を終了する。

【００３０】応答メッセージのあるコマンドに対して
は、コマンド定義ファイル１２の中で、送信コマンド番
号と対をなすように予め応答コマンド番号を指定してお
く。ユーザインターフェース手段１０は、共通装置制御
プログラム５を介して応答コマンドを受け取ったら、フ
ォーマット定義ファイル１３の「変換指定欄」を参照し
て応答コードを取り出す（ステップ３４）。例えば、図
４の例では、「変換指定欄」が"１０"であれば、該当す
るパラメータが応答コードであることを示している。

【００３１】各応答コードごとにＣＲＴに表示する内容
は、予め応答表示定義ファイル１５に定義しておく。ユ
ーザインターフェース手段１０は、応答コマンドを受け
取ったら、該当する応答コマンドの応答表示定義ファイ
ル１５を参照し、該当する応答コードの表示内容を読み
出してＣＲＴに表示する（ステップ３５）。例えば表３
に示した応答表示定義ファイル１５の構成例が再処理コ
マンドに対応するものであれば、応答コードが"０"のと
き"処理完了"と表示し、応答コードが"１"のとき"処理
実行中再処理不可"と表示することになる。応答コー
ドが"０"のときの画面表示２１₃が図３に示されてい
る。

【００３２】なお上記の例では、応答コマンドの通信フ
ォーマットをフォーマット定義ファイル１３の中で送信
コマンドと同様に定義しているが、応答コマンドについ
ては、その通信フォーマットと応答の表示内容とを一緒
にして応答表示定義ファイルの中で指定するようにして
もよい。この場合は、応答コマンドの解釈と表示が、１
つの応答表示表示定義ファイルを参照することにより可
能となる。

【００３３】以上のようにして、コマンドの選択から応
答の表示までの一連の処理が実行される。

【００３４】ここで、宛先の指定の仕方についてさらに
説明する。この装置制御コンピュータ３では、共通装置
制御プログラム５のもとに、個別の装置８₁〜８_nごとの
個別装置制御プログラム６₁〜６_nや、通信制御プログラ
ム７₁〜７_nが設けられている。したがって特定のコマン
ド（例えば装置制御プログラム６₁〜６_nのいずれにも適
用し得るようなコマンド）を選択しただけでは宛先を特
定したことにならないことがある。このため送信先のプ
ログラムや装置を、コマンドを送信するのに先だって、
ユーザが指定できるようにする必要がある。そこで、予
めコマンド定義ファイル１２の「宛先」欄の値がある一
定値（例えば１００未満）であれば、こうしたプログラ
ムや装置が宛先であると決めておく。選択されたコマン
ドの「宛先」欄が前記一定値未満であるときには、ユー
ザインターフェース手段１０は、装置一覧テーブル１０
を参照して装置の一覧表をＣＲＴに表示して、ユーザが
選択できるようにしておく。本実施例のように装置制御
プログラム４が階層化されている場合には、「宛先」欄
が"１"であれば共通装置制御プログラム５、"２"であれ
ば個別装置制御プログラム６₁〜６_nのどれか、"３"であ
れば通信制御プログラム７₁〜７_nのどれか、"４"であれ
ば装置８₁〜８_nのどれかの内部の制御プログラムが宛先
であるとしておけば、ユーザインターフェース手段１０
はどの階層へ送信すればよいかを認識することができ、
それに応じて処理を進めることができる。例えば、「再
処理コマンド」と「エッチャ」が選択された場合、表１
よりこのコマンドの宛先は"２"であるので、このコマン
ドの宛先は、装置制御コンピュータ３内のエッチャ用の
個別装置制御プログラムであると認識することができ
る。

【００３５】なお、特別の装置（あるいはプログラム）
にしか送信されないコマンドの場合には、当然のことな
がら、予めコマンド定義ファイル１２の「宛先」欄にそ
の装置の装置番号やそのプログラムのプロセスＩＤを直
接指定しておけばよい。

【００３６】次に、パラメータ入力における省略につい
て説明する。上記手順のパラメータ入力の部分で、フォ
ーマット定義ファイル１３の「変換指定欄」の値が特定
のものであれば、ユーザからのパラメータの入力を省略
してデフォルト値をパラメータとするようにする（例え
ば「変換指定欄」が"５"であれば「コメント」欄の内容
をパラメータとして使用する）ことも可能である。この
ようなパラメータ入力の省略は、以下のような場合に、
パラメータ入力に伴う操作ミスを防ぐ目的で有用であ
る。

【００３７】すなわち装置８₁〜８_nから装置制御プログ
ラム４への通信メッセージの代わりに送信コマンドを使
用する場合、この通信メッセージに付随する全てのパラ
メータを送信コマンドに付随させなければならない。し
かし本来の通信メッセージに付随するパラメータのうち
には、制御のためには必ずしも必要でないものや固定さ
れて変化することのないものが含まれていることがあ
り、全部のパラメータをユーザに入力させることは、手
間がかかるだけでなくパラメータ入力ミスの原因とな
る。そこで、装置制御プログラム４側の制御に必要なパ
ラメータだけをユーザに入力させ、その他のパラメータ
入力を省略させて、ユーザのパラメータ入力処理の簡略
化、操作ミスの防止を図る。このために、制御に直接必
要でないパラメータは、「変換指定欄」を用いて入力を
スキップさせることができる。

【００３８】パラメータ入力の省略の別の例を説明す
る。それは、複数の装置制御コンピュータがＬＡＮ２を
介して接続されている製造ラインにおいて、その中の特
定の装置制御コンピュータが、その装置制御コンピュー
タに接続されている装置の処理予定（スケジュール）を
スケジューラ１ａに要求する場合である。この場合、ス
ケジューラ１ａは、要求コマンドのパラメータの中に含
まれる装置制御コンピュータの番号（または名前）から
返信先を決定して、スケジュール情報を返信する。この
とき、要求コマンドを発行する際にパラメータ入力を誤
ると、別の装置制御コンピュータにスケジュール情報が
送られてしまうことになる。そこで、返信先となる装置
制御コンピュータの番号入力を省略して、ユーザインタ
ーフェース手段１０から自動選択するようにすれば、ユ
ーザは装置制御コンピュータの番号を意識せずに、任意
の装置制御コンピュータからスケジュールの要求コマン
ドの発行を行なうことができ、誤った装置制御コンピュ
ータに返信されるような操作ミスの発生を防ぐことがで
きる。

【００３９】以上、本発明の実施例について説明した
が、本実施例によれば、コマンド定義ファイル、フォー
マット定義ファイル、応答表示定義ファイルなどのファ
イル類を登録することにより、ユーザインターフェース
手段を用いて、任意のプログラムに対して任意のフォー
マットのコマンドを送信することができるようになる。
さらに、コマンド定義ファイル１２に項目を追加するこ
とにより、より多様なコマンドの使い方も可能となる。
表４は、この項目を増やしたコマンド定義ファイルの構
成例を示すものである。ここでは、複数コマンドの送信
に用いられる「送信コマンド数」および「シリアル／パ
ラレル指定」の欄、不要コマンドの表示消去に使用され
る「表示指定欄」の欄、タイムアウトの管理に用いられ
る「タイムアウト値」の欄がさらに設けられている。以
下、これらの項目の使い方について説明する。

【００４０】

【表４】複数コマンドの送信１つのコマンド選択で、複数のコマンドをシリアル（経
時的）にまたはパラレル（同時）に発行することが可能
となる。コマンド定義ファイル内の「送信コマンド数」
の欄は１回のコマンド選択で送信するコマンドの数を指
定するものであり、連続して送信するコマンドを列記
し、それぞれ直前のコマンドに対しシリアルで送信する
のかパラレルで送信するのかの区別を「シリアル／パラ
レル指定」欄で例えば"Ｓ"ならばシリアル、"Ｐ"ならば
パラレルのように指定する。このようにすれば、表４の
コマンド定義ファイルにおける「予約再処理」コマンド
の例のように、時間予約コマンド（送信コマンド番号２
００５）の送信後にシリアルに再処理コマンド（送信コ
マンド番号２００３）を送信するような一連の操作が１
つのコマンド選択で可能となる。また、ある搬送系に関
係している複数の装置に同時（パラレル）に一時停止コ
マンドを発行するなどのことも可能になる。このよう
に、複数のコマンドを送信しなければならないときに、
１つのコマンドとして登録しておけば、コマンド発行の
手順を誤ることなく実行することができるようになる。
不要コマンドの表示消去複数の装置制御コンピュータがある場合、特定の装置制
御コンピュータにおいてだけ使用してはならないコマン
ドが生じる場合がある。例えば、搬送系が接続されてい
ない装置制御コンピュータでは、搬送系に対するコマン
ドは使用不可となる。このような使用不可コマンドが誤
って選択されることを防ぐため、コマンド定義ファイル
の「表示指定欄」を参照して、この欄が特定の値（表４
の例では"１"）であれば、該当コマンドをコマンドの選
択メニューに表示しないようにする。このようにすれ
ば、誤った操作によって、存在しない相手（装置あるい
はプログラム）へのコマンドの送信、あるいは相手側で
受け付けられないコマンドの送信を防ぐことができる。タイムアウト時間のコマンドごとの設定ユーザインターフェース手段１０からコマンドを送信し
ても、宛先である相手側が停止していて応答がない場合
がある。この場合、一定時間（タイムアウト値）を過ぎ
ても応答がない場合には、相手側が停止しているものと
判断し、その旨を上位のコンピュータにエラー通知する
などのことを行なう必要がある。このタイムアウト値
は、コマンドの処理内容によって変える必要があるが、
各コマンドごとにコマンド定義ファイルの「タイムアウ
ト値」の欄でタイムアウト値を指定するようにすれば、
各プログラム内で個別にタイムアウト値を設定すること
なしに処理に応じてタイムアウト値を設定できるように
なり、プログラムの構造を簡単にすることができる。

【００４１】次に、本実施例の具体的な応用について説
明する。

【００４２】処理開始後、異常（装置本体の異常、誤っ
たウェハがセットされたなど）が発生した場合は、ユー
ザが一時停止などを行ない、異常を回復後に再処理を行
なう。このときの実施情報は、装置から逐次、メッセー
ジによって装置制御コンピュータに報告される。しかし
このような逐次のメッセージを送信できない装置もあ
る。このような場合、ユーザインターフェース手段から
このメッセージに対応するコマンドを装置制御プログラ
ムに送信することで、装置の状況をホスト側すなわち装
置制御コンピュータやその上位のコンピュータは正確に
把握できる。このように、通信機能が十分でない装置に
おいても、処理の一時停止・中止・再開などの状態が正
確に装置制御コンピュータへ通知できるので、通信機能
が不十分な装置群からなる製造ラインで異常が発生して
も、混乱なく製造ラインの進行を継続することができ
る。また、アラームなどのメッセージを送信できない装
置にあっても、アラームを表わすコマンドをユーザイン
ターフェース手段から送信することにより、メッセージ
の代替を図ることができる。この場合、コマンドの通信
フォーマットを、装置から装置制御プログラムに直接送
信されるであろうメッセージのフォーマットと一致させ
ておくことにより、装置制御プログラムの修正の必要が
なくなる。

【００４３】別の例を挙げる。カセット内のウェハを何
枚かずつに分割してバッチ処理し、ホスト側でそのデー
タをロット単位にまとめて受信する装置において、当初
に想定した枚数と実際に処理した枚数とが異なると、分
割した最終のバッチを認識できず、データ収集時に正確
な処理結果データをホスト側へ送れなくなる。このよう
な場合に、枚数やバッチ数の変更を表わすコマンド、最
終バッチであることを示すコマンドをユーザインターフ
ェース手段から装置制御プログラムに送信することによ
り、処理データの区切りを正確に把握することができる
ようになる。したがって、スケジュール通りでない処理
を実行する場合にも、正確に、製造ラインで処理された
データを管理できる。

【００４４】さらに異なる例を挙げる。装置によって
は、装置制御コンピュータの制御で作動する全自動モー
ドしかサポートしていないものがある。例えば、ウェハ
の搬送系からのウェハ充填終了信号を受けて装置制御コ
ンピュータが処理開始コマンドを送信することによっ
て、初めて作動を開始する装置がある。もし、搬送系が
ないためあるいは故障のためにウェハ装填終了信号を装
置制御コンピュータに送れないとすると、ウェハの装填
の終了を装置制御コンピュータが認識できないので、処
理開始コマンドを送信できないという事態に立ち至る。
このような場合、ユーザが、ウェハ装填を終えた時点
で、ユーザインターフェース手段を用いてウェハの装填
終了を通知し、処理開始コマンドあるいは処理レシピ
（処理条件）を表わすコマンドを送信することにより、
装置制御コンピュータでは搬送系から信号が来たのと同
じ処理で続行する処理を継続することができる。すなわ
ち、全自動モードしか持たない装置を半自動モード的に
扱うこと（搬送系がないときでも搬送系があるのと同じ
処理を行なうこと）ができるようになり、製造ラインの
構成の柔軟性が増すことになる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、コマンド
定義テーブルとフォーマット定義テーブルを参照して送
受信できるコマンドと入力できるパラメータの項目を表
示し、コマンドが選択されパラメータが入力されたとき
コマンド定義テーブルで指定されている宛先に当該コマ
ンドを組み立てて送信する、ユーザインターフェース手
段を設けることにより、任意のフォーマットのコマンド
を任意の装置やプログラムに送信できるようになり、以
下のような効果を有する。装置制御コンピュータに接続された装置から送信で
きないメッセージがあったとしても、この組み立てたコ
マンドを対応する宛先に送信することによって、このメ
ッセージが送信されたのと同様の処理を続行させること
ができ、装置がメッセージを送信することができないこ
とによって実現できなかった機能を実質的に実現できる
ようになる。これに伴い、製造ラインの状況（例えば、
各装置の状況やロットの進行状況など）を正確に把握
し、管理・進行することができるようになる。コマンド定義ファイルとフォーマット定義ファイル
によってコマンドとそのパラメータが規定されているこ
とになるので、コマンド作成の手順が標準化され、誤っ
た操作が行なわれる可能性が軽減する。新規のコマンドを製造ラインを構成するシステム全
体に追加する場合には、そのコマンドをコマンド定義フ
ァイルやフォーマット定義ファイルなどに登録すればよ
く、ユーザインターフェース手段自体に修正を加えるこ
となく当該コマンドの送信が可能となるので、当該コマ
ンドの宛先となる処理のみを追加することによりその機
能が実現でき、全体のプログラム開発量を軽減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の装置制御コンピュータの構
成を示すブロック図である。

【図２】各ファイルの内容と相互の関係を説明する図で
ある。

【図３】ユーザインターフェース手段の動作を説明する
フローチャートである。

【図４】従来の製造ラインの構成を示すブロック図であ
る。

【符号の説明】

１ａスケジューラ１ｂ生産管理コンピュータ２ＬＡＮ３装置制御コンピュータ４装置制御プログラム５共通装置制御プログラム６₁〜６_n 個別装置制御プログラム７₁〜７_n 通信制御プログラム８₁〜８_n 装置９データベース１０ユーザインターフェース手段１１装置テーブル１２コマンド定義ファイル１３フォーマット定義ファイル１４名称定義ファイル１５応答表示定義ファイル２１₁〜２１₃ 表示画面３１〜３５ステップ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G05B 15/00 - 15/02 G06F 15/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】製造ライン内で用いられ、複数のプログ
ラムが相互に連携しながら実行されることにより前記製
造ラインを構成する複数の装置を制御する装置制御コン
ピュータにおいて、送受信すべきコマンドの種別と前記コマンドの番号と宛
先とを定義するコマンド定義ファイルと、前記各コマンドごとに通信フォーマットを定義するフォ
ーマット定義ファイルと、応答すべき表示内容がある前記各コマンドごとに当該表
示内容を定義する応答表示定義ファイルと、入力装置と表示装置とを備え、前記コマンド定義ファイ
ルを参照して前記表示装置に前記コマンドの一覧を表示
し、前記入力装置を介して前記コマンドのいずれかが選
択されたとき前記フォーマット定義ファイルを参照して
前記選択されたコマンドに付随するパラメータの項目を
前記表示装置に表示し、前記入力装置を介して前記項目
に対応するパラメータが入力されたとき前記フォーマッ
ト定義ファイルを参照して前記入力されたパラメータを
含めて前記選択されたコマンドを対応する前記通信フォ
ーマットで組み立て、前記コマンド定義ファイル内の対
応する宛先を参照して当該宛先に前記組み立てたコマン
ドを送信し、前記送信に対応する応答がある場合には応
答表示定義ファイルを参照して前記表示装置に応答の表
示を行なわせる、ユーザインターフェース手段とを有す
ることを特徴とする装置制御コンピュータ。
【請求項２】装置制御コンピュータに接続された装置
の装置名を格納する装置一覧テーブルを有し、ユーザイ
ンターフェース手段は、コマンド定義ファイルに格納さ
れた１のコマンドに対し宛先として複数の前記装置が対
応するとき、コマンドの選択が行なわれたのちに前記装
置一覧テーブルを参照して宛先として選択し得る装置名
を表示装置に表示し、入力装置を介して特定の装置が選
択されたとき当該装置を宛先として以後の処理を実行さ
せるものである、請求項１に記載の装置制御コンピュー
タ。
【請求項３】製造ラインにおける装置制御方法であっ
て、請求項１または２記載の装置制御コンピュータを使用
し、前記装置制御コンピュータに接続された装置において前
記装置制御コンピュータに送信できないメッセージがあ
るときには、前記装置制御コンピュータのユーザインタ
フェース手段を使用して前記メッセージに対応するコマ
ンドを選択し当該コマンドについてのパラメータを入力
し、前記ユーザインターフェース手段によって当該コマ
ンドを組み立て前記組み立てたコマンドを前記メッセー
ジの代替として前記メッセージに対応する宛先に送信
し、前記メッセージがあったものとして疑似的に処理を
続行させる装置制御方法。