KR100434433B1 - 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치 및 그 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 반도체 또는 PDP 및 LCD 제조공정의 공장자동화를 위한 PLC(Programmable Logic Controller)시스템과 장비 서버(Host Server)간의 정보관리 제어장치의 구동 및 그 방법에 관한 것이다.
본 발명의 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치 및 그 방법은, 자동화 설비 내에서 개별적으로 운영되는 클라이언트(10)측과 호스트(20)측에서 발생되는 클라이언트(10)와 호스트(20)의 입출력 데이터를 송수신하는 데이터 송수신부(211)와, 수신된 데이터와 함께 전송되는 로그(Log) 정보가 처리 저장되는 데이터 로그 처리부(212)와, 상기 클라이언트(10)와 호스트(20)로부터 송수신되는 데이터를 각각 저장하는 수신 데이터 저장부(213) 및 송신 데이터 저장부(214)와, 상기 로그 처리된 데이터의 메세지를 인식하여 해당 데이터의 정보를 분석하고 해당 메세지 정보를 표시하는 데이터 인지부(215) 및 데이터 분석부(216)와, 상기 데이터의 분석에 의해서 각 메세지에 해당하는 이벤트를 발생시켜 그 정보를 자장하고 PLC로 전송하는 데이터 처리부(217)와, 상기 데이터 처리부(217)에서 가공된 데이터 메세지가 단말기를 통하여 디스플레이되고 출력 메세지가 저장되는 정보처리부(218) 및 정보저장부(219)와, 상기 데이터 처리부(217)로부터 수신받은 이벤트 메세지 정보에 의해서 각 클라이언트(10)의 제어 연산이 이루어지고 연산 결과에 의한 제어 동작 정보를 각각 클라이언트(10)와 호스트(20)로 전송하는 PLC 처리부(220) 및 호스트 전송부(221)로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
본 발명의 공장자동화 시스템의 정보관리 제어장치 및 그 방법은 다수의 하부 장비들의 장비 특성에 따라 정보관리 장치부를 모듈화함으로서 삭제 추가에 따른 부분만의 소프트웨어 프로그래밍에 의해서 원할한 시스템 구축이 가능하도록 한 이점이 있으며, 장비 서버와 공장자동화 설비의 각종 장비간의 통신에 따른 송수신 데이터의 다양한 로그(Log) 방법을 제공하여 통신 이상 발생시 호스트와 장비간의 데이터 송수신 상태를 역추적하여 비정상적인 공정의 중단이나 오류 데이터의 송수신에 대한 원인 분석이 가능할 뿐 만 아니라 천재지변이나 전력 공급 불균형등의 외부요인에 의한 시스템 다운시에 소정의 저장 매체 또는 작업자의 키-인(Key-in)에 의해서 최근의 상태로 데이터의 복원이 가능하도록 함으로써 제조 공정 수행의 효율성을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
Description
본 발명은 반도체 또는 PDP 및 LCD 제조공정의 공장자동화를 위한 PLC(Programmable Logic Controller)시스템과 장비 서버(Host Server)간의 정보관리 제어장치의 구동 및 그 방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 장비 서버로부터 입력된 Lot ID, Process ID, Recipe ID 등의 제품 생산 공정 정보가 PLC를 통하여 정보관리 장치부에 의해서 장비(Unit)측에 전달되고 장비에서 발생되는 각각의 장비 상태 정보가 다시 PLC를 통하여 정보관리 장치부에 전송되면 상기 정보관리 장치부가 장비의 각종 상태를 호스트와 협의된 S/F(Stream/Function)에 입력 저장 후 호스트로 재전송되도록 함으로써 로더(Loader)나 언로더(Unloader) 및 바코드 리더(BCR)등의 각종 장치들이 제조 메이커나 프로토콜의 종류에 관계없이 호스트시스템이 원할하게 제어할 수 있도록 지원되는 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치 및 그 방법에 관한 것이다.
반도체 기술의 급속한 발전에 따라 컴퓨터 장비의 고성능화와 저가격화가 이루어지고 산업전반의 모든 분야에 컴퓨터가 보급됨으로써 컴퓨터를 이용한 응용기술의 발전도 광범위하게 이루어지고 있다.
특히, 컴퓨터의 문자, 문장, 도면, 음성 및 화상처리 기술등을 이용하여 모든 정보처리가 가능해짐에 따라 공장내의 제품 생산시스템의 모든 분야에 상기의 정보처리 기술을 이용한 자동화, 합리화가 가능해지고 향후에는 점차 그 이용 대상이 확대될 전망이다.
이러한 상황에 대비하기 위하여 미국과 일본을 비롯한 선진국에서는 오래 전부터 정보 기술을 생산 현장에 적용시키려는 노력이 꾸준히 전개되고 있으며, 그 과정에서 생산이라는 기능 외에 경영, 개발, 관리 분야를 네트워크로 결합하여 기업활동의 종합적인 효율화를 도모하는 CIM(Computer Integrated Manufacturing)이란 통합 생산 시스템이 획기적으로 발전하고 있다.
일반적으로, 공장자동화를 위한 생산 자동화 분야에서 공장 내의 각종 제조장치들의 운전과 제어를 위한 장비 인터페이스 소프트웨어인 CIM(Computer Integrated Manufacturing)을 구축하고자 할 때 상기 제조 장치들과 클라이언트에 의해서 조정되는 서버간에는 소정의 국제표준 통신 규약에 의한 상호 통신이 수행되어야만 한다.
상기 서버와 클라이언트간의 상호 통신은 서버와 공장자동화 설비간의 데이터 교환에 관한 프로토콜(protocol)중의 하나인 자동화 설비 통신 표준, 즉 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard) 메세지를 이용한 소정의 데이터 송수신에 의해서 이루어진다.
상기와 같은 작업자의 조작에 의해서 작동되는 장비 서버와 자동화 설비간의 통신에 의한 제품 생산 공장의 경쟁력 있는 CIM 시스템 구축을 위해서는 공장 자동화 설비의 제조 메이커나 통신 규약의 종류에 상관없이 상기 공장 자동화 설비를 네트워크에 의해서 운전 제어할 수 있는 범용(Plug-in and play)의 장비 제어 시스템이 요구된다.
그러나, 종래의 CIM 시스템 구축을 위한 정보관리 제어장치는 자동화 설비에 장착되는 장비의 제조 메이커나 각 장비에 장착된 포트(port)의 수 또는 통신 프로토콜의 종류에 따라 시스템 구축을 위한 프로그램을 별도로 제작해야 하는 문제점이 있다. 시스템에서 삭제되거나 추가되는 장비에 의해서 새롭게 운전 제어 시스템을 프로그래밍해야 하는 문제점이 있다.
또한, 상기 개별 장비에 대한 시스템 구축 사양에 따라 다양한 하부 장비들, 예를 들어 PLC나 BCR(Bar Code Reader)등의 프로토콜을 개별적으로 지원하지 못하기 때문에 시스템에 삭제되거나 추가되는 장비들의 소프트웨어를 별도로 분리하여 새롭게 운전 제어 시스템을 프로그래밍해야 하는 단점이 지적되고 있다.
그리고, 상기와 같은 프로그램 제작 관행에 의해서 공장자동화 구축을 위한 CIM 시스템 개발 기간 및 개발 비용의 부담이 증가될 뿐 만 아니라 90% 이상을 해외 장비 업체의 시스템 개발에 의존함으로써 선진 기술 도입 및 자동화 설비의 사후 유지 관리에도 큰 어려움을 겪고 있는 실정이다.
따라서, 본 발명은 종래의 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치에서 지적되고 있는 상기 제반 단점과 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 공장자동화 설비 라인에 설치되는 다수 장비의 포트수나 장비의 타입 또는 각 프로토콜등에 따른 다양한 형태를 지원하게 되며 다수의 하부 장비들의 장비 특성에 따라 정보관리 장치부를 모듈화함으로서 삭제 추가에 따른 부분만의 소프트웨어 프로그래밍에 의해서 원할한 시스템 구축이 가능하도록 한 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치 및 그 방법을 제공함에 발명의 목적이 있다.
본 발명 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치 및 그 방법에 대한 다른 목적은 호스트와 공장자동화 설비간의 통신에 따른 송수신 데이터의 다양한 로그(Log) 방법을 제공하여 통신 이상 발생시 호스트와 장비간의 데이터 송수신 상태를 역추적하여 비정상적인 공정의 중단이나 오류 데이터의 송수신에 대한 원인 분석이 가능할 뿐 만 아니라 천재지변이나 전력 공급 불균형등의 외부요인에 의한 시스템 다운시에 소정의 저장 매체 또는 작업자의 키-인(Key-in)에 의해서 최근의 상태로 데이터의 복원이 가능하도록 한 데에 있다.
도2는 본 발명 정보관리 제어장치를 통한 데이터 송수신 과정이 도시된 블럭도.
도3은 본 발명의 정보관리 제어장치에 의한 다양한 장비연결 과정이 도시된 흐름도
도4는 본 발명에 의한 데이터 입력장치 구동 과정이 도시된 흐름도.
도5는 본 발명의 PLC 장비 연결 설정과정이 도시된 흐름도.
도6은 본 발명의 자동화 시스템 다운시 시스템 복구과정이 도시된 흐름도.
도7은 본 발명의 정보관리 장치부 오프-라인시의 시스템 구동 과정이 도시된 흐름도.
도8은 본 발명의 Log 정보 저장과정이 도시된 흐름도.
((본 발명의 주요 부분에 대한 부호의 설명))
100. 장비 영역 200. 정보관리 제어부
211. 데이터 송수신부 212. 데이터 로그 처리부
213. 수신데이터 저장부 214. 송신데이터 저장부
215. 데이터 인지부 216. 데이터 분석부
217. 데이터 처리부 220. PLC 처리부
221. 호스트 전송부 300. 장비 서버
400. 호스트 500. PLC
본 발명의 상기 목적은, 개별적으로 운영되는 클라이언트와 호스트의 입출력데이터를 송수신하는 데이터 수신부 및 데이터 송신부와, 수신된 데이터와 함께 전송되는 로그(Log) 데이터를 저장하고 로그 데이터의 수신 데이터를 임시 보관하는 로그 처리부 및 데이터 임시 저장부와, 상기 로그 처리된 데이터의 메세지를 인지하는 데이터 인지부와, 상기의 인지된 데이터를 분석하여 해당 정보를 표시하는 데이터 분석부와, 상기 데이터의 분석에 의해서 각 메세지에 따른 제어 신호를 독출하여 그 정보를 저장하고 PLC로 전송하는 데이터 처리부와, 상기 데이터 처리부에서 수신받은 메세지 정보에 의해서 각 클라이언트의 콘트롤 연산이 이루어지고 연산결과에 의해서 제어 동작 정보를 호스트측으로 전송하는 PLC 처리부로 구성된 정보관리 제어장치에 의해서 달성된다.
상기 클라이언트는 다수의 작업자에 의해서 운영되는 장비 서버와의 상호 통신 규약에 의해서 데이터를 송수신받는 공장자동화 설비의 다양한 장치 및 장비로 구성되며 개별 장비들로부터 발생된 이벤트 데이터는 PLC를 통하여 정보관리 장치로 전송되며 정보관리 장치부는 상기 데이터를 호스트가 원하는 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard) 메세지로 변경하게 된다.
이때, 상기 각 클라이언트와 호스트간의 데이터 통신은 TCP/IP 프로토콜을 기본으로 한 HSMS/RS-232C를 이용하여 송수신된다.
한편, 본 발명을 이루기 위한 정보관리 장치부는 다수의 클라이언트와 상기 각 클라이언트를 제어하는 컨트롤러로 구성된 장치 영역과 각 장비의 제어 명령을 수행하고 수행 명령의 입력과 수행 결과를 출력하기 위한 컴퓨터 단말기로 구성된 공정관리 영역의 사이에 위치하며, 공정관리 영역에서 입력 전송된 이벤트 메세지가 PLC를 거쳐 장치 영역의 각 클라이언트 장비측으로 수신되도록 하고 PLC의 연산 제어에 의해서 운전 제어되는 각 장비들로부터 메세지 수행 결과를 전송받아 공정관리 영역의 서버로 송신하는 역할을 하게 된다.
이러한, 정보관리 장치부는 반도체 또는 PDP 및 LCD 제조 공정에서 각각의 개별 장비가 동작하고 있는 상황을 정보화시키기 위한 장비 인터페이스 소프트웨어 즉, CIM시스템 구축이 쉽게 구현될 수 있도록 도와주는 실시간 동작 제어(ActiveX control)의 조합으로 이루어진다.
상기 장치 영역(Device Area)은 공장자동화 설비를 이루는 다수의 장비(Unit)와, BCR(Bar Code Reader)등의 하부 입력 장비와, 설비 라인을 따라 제품을 생산하는 로봇(Robot)시스템과, 로봇의 이동경로를 안내하는 다수개의 포트와, 상기 포트의 구성물을 제자리로 반송하는 반송 장비와, 상기의 공장자동화 설비를 각각 제어하는 개별 컨트롤러로 구성되며, 상기 장치 영역과 정보관리 장치부를 통해 통신을 이루는 공정관리 영역은 각각의 장비에서 발생되는 모든 데이터를 수집하고 저장하는 장비 서버와 수집된 정보를 디스플레이하는 단말기로 구성되어 있다.
본 발명에 의한 작업자 입력 데이터의 송수신 과정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.
상기 정보관리 장치부는 장비 서버로부터 로트(Lot) 정보를 수신받아 PLC를 통하여 각 장비로 전달하게 되며 각 장비는 등록된 프로세스 코드를 비교하여 수신된 로트의 처리 가능 여부를 다시 PLC를 통해 정보관리 장치부로 전송한다.
이때, 상기 로트가 장비에서 받아들여지지 않으면 호스트나 입력자에 의해서 해당 로트가 취소되고 이상이 없다고 판단되면 로트와 함께 전송되는 데이터에 의해서 작업이 진행된다.
상기 장비 영역과 공정관리 영역의 다수 장치들은 정보관리 장치부를 통한 연속적인 통신에 의해서 작업 진행중에 장비에서 발생되는 각종 상태 정보와 장비 서버의 운전 제어 명령을 수시로 송수신 받게 되며 송수신되는 각종 데이터 및 이벤트 메세지는 장비별로 PLC를 통하여 장비서버와 협의된 데이터 정보군(S/F : Stream Funtion)에 입력 저장 후 공정관리 영역의 장비서버로 전송된다.
본 발명 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치 및 그 방법의 상기 목적에 대한 기술적 구성을 비롯한 작용효과에 관한 사항은 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있는 도면을 참조한 아래의 상세한 설명에 의해서 명확하게 이해될 것이다.
먼저, 도1은 본 발명의 정보관리 제어장치의 위치가 표시된 블럭도이고, 도2는 본 발명 정보관리 제어장치를 통한 데이터 송수신 과정이 도시된 블럭도이다.
도시된 바와같이, 본 발명 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치 및 그 방법은 다수의 장비와 컨트롤러로 구성된 장치 영역(100)에서 발생되는 데이터를 소정의 통신 연결수단에 의해서 PLC(500)를 통하여 전송받고 상기 PLC(500)에 의해서 연산 처리된 이벤트 발생 메세지가 공정관리 영역으로 전송되기 위하여 반도체 설비 통신 표준 프로토콜인 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standard)메세지로 정보관리 장치부(200)에서 변환이 이루어지게 된다.
상기 장치 영역(100)은 공장자동화 설비 라인을 이루는 다수의 장비(110)와,상기 장비(110)들을 제어하는 장비 컨트롤러(111)와, BCR이나 VCR 및 Micom등을 포함하는 하부 데이터 입력 장비(120)와, 상기 입력 장비(120)의 데이터 송신에 의해서 설비 라인을 통해 제품 생산을 하는 로봇시스템(130) 및 로봇시스템(130)의 운전을 제어하는 로봇 컨트롤러(131)와, 상기 로봇의 이동경로를 안내하며 각 카셋트(Cassette)별 정보가 저장된 다수개의 포트(140a~140d) 및 상기 포트(140)의 카셋트를 일련번호별로 운송하고 재정비하는 반송 장비(150)와, 상기 포트(140)별로 저장되는 카셋트의 이동을 제어하는 카셋트 컨트롤러(141)로 구성된다.
또한, 상기 장치 영역(100)과 정보관리 장치부(200)를 통해 통신을 이루는 공정관리 영역(300)은 각각의 장비에서 발생되는 모든 데이터를 수집하고 저장하는 장비 서버(310)와 상기 장비 서버(300)에서 조합된 데이터가 디스플레이되고 작업자의 입력에 의해서 새로운 데이터를 추가할 수 있도록 한 호스트(400)로 이루어져 있다.
상기 정보관리 장치부(200)는 도2에 도시된 바와같이, 자동화 설비 내에서 개별적으로 운영되는 클라이언트(10)측과 호스트(20)측에서 발생되는 클라이언트(10)와 호스트(20)의 입출력 데이터를 송수신하는 데이터 송수신부(211)와, 수신된 데이터와 함께 전송되는 로그(Log) 정보가 처리 저장되는 데이터 로그 처리부(212)와, 상기 클라이언트(10)와 호스트(20)로부터 송수신되는 데이터를 각각 저장하는 수신 데이터 저장부(213) 및 송신 데이터 저장부(214)와, 상기 로그 처리된 데이터의 메세지를 인식하여 해당 데이터의 정보를 분석하고 해당 메세지 정보를 표시하는 데이터 인지부(215) 및 데이터 분석부(216)와, 상기 데이터의 분석에 의해서 각 메세지에 해당하는 이벤트를 발생시켜 그 정보를 자장하고 PLC로 전송하는 데이터 처리부(217)와, 상기 데이터 처리부(217)에서 가공된 데이터 메세지가 단말기를 통하여 디스플레이되고 출력 메세지가 저장되는 정보처리부(218) 및 정보저장부(219)와, 상기 데이터 처리부(217)로부터 수신받은 이벤트 메세지 정보에 의해서 각 클라이언트(10)의 제어 연산이 이루어지고 연산 결과에 의한 제어 동작 정보를 각각 클라이언트(10)와 호스트(20)로 전송하는 PLC 처리부(220) 및 호스트 전송부(221)로 구성됨에 기술적 특징이 있다.
상기 정보관리 장치부(200)의 기능별 데이터 처리과정을 도3 내지 도8에 도시된 흐름도를 참조하여 좀 더 자세하게 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도3은 본 발명의 정보관리 제어장치에 의한 다양한 장비연결 과정이 도시된 흐름도로서, 도시된 바와같이 정보관리 장치부(200)는 자체 데이터베이스에서 자동화 설비의 설치가 완료된 각 장비(Unit)별 타입이나 설정치등의 규격을 판독(S100 단계)하고 판독된 개별 장비의 정보를 작업자 단말기에 디스플레이(S101 단계)시키게 된다.
이때, 상기 단말기의 화면 정보에서는 장비 운용에 적합한 설정값의 변경(S102 단계) 여부를 확인하게 되는 데, 만약 각각의 장비 최적 설정치에 해당하는 정의값의 설정 변경(S103 단계)을 하게 되면 변경된 설정값이 상기 데이터베이스에 저장(S104 단계)되고 설정값이 변경된 프로그램은 자동 또는 작업자에 의해서 수동으로 종료되어 재시작(S104 단계)되며, 만약 각각의 장비 연결 프로그램의 설정값 변경에 동의하지 않는다면 장비 제작시 설정된 초기값으로 자동설정(S106단계)되어 호스트(20)와의 통신연결(S107 단계)이 이루어지게 된다.
상기 정보관리 장치부(200)의 데이터 수신부(221)는 호스트(20)로부터 작업자가 입력한 수행 데이터를 수신(S108 단계)하고 PLC와 RS-232C의 통신 규약에 의해서 통신 연결(S109 단계)이 이루어지면 호스트(20)의 수신 데이터가 PLC에 의해서 연산 처리되어 이벤트 메세지 발생시 해당 작업이 실행(S110 단계)되어 로봇의 구동에 의한 제품 생산 작업이 진행(S111 단계)된다.
상기 S103 단계의 각 장비의 설정값은 해당 장비의 형태나 포트의 형태 및 포트의 개수등에 의한 장비별 특징적 설정값이 입력되며 자동화 설비 라인의 전후 관계에 의한 장비의 구동 순서등이 포함될 수 있다.
또한, 상기 과정에 의해서 반도체나 LCD 및 PDP 제조공정을 진행하기 위한 공장자동화 제조 설비등은 통상적으로 다수개의 글라스(glass)가 적층되는 하나의 카셋트(cassette), 즉 PLC를 통하여 수신되는 한 로트(Lot)를 기주으로 하나의 공정을 완료한다.
다음, 도4는 본 발명에 의한 데이터 입력장치 구동 과정이 도시된 흐름도로서, 도시된 바와같이 장치 영역(100)의 하부 입력 장비중의 하나인 BCR(Bar Cord Reader)을 장비 컨트롤러(111)에 연결하여 데이터 수신이 가능하도록 셋팅(S200 단계)하고 셋팅된 BCR을 이용하여 카셋트 또는 하부 디렉토리인 글래스등에 인쇄된 바-코드를 인식(S201 단계)하게 된다.
상기 BCR에 의해서 인식된 데이터는 정보관리 장치부(200)의 BCR ocx(OLE control extension)를 통해서 데이터의 이상 유무가 판단(S202 단계)되며, 만약 데이터 입력 에러가 발생되어 단말기를 통해 'NG'발생이 감지되면 작업자는 BCR을 통해 BCR의 'NG' 메세지를 확인(S203 단계)하고 작업자가 직접 단말기상에 바-코드에 해당하는 식별 코드를 키보드를 이용하여 입력(S204 단계)하게 된다.
만일, 작업자의 식별 코드 입력에도 불구하고 BCR의 'NG'메세지가 확인되면 S203 단계로의 과정을 반복하게 되고 데이터의 수신이 이상이 없다고 판단되면 BCR의 입력 데이터를 확인(S206 단계)하여 자동화 설비의 명령 수행을 위하여 호스트(20)로 각 카셋트(Cassette(이하 CST))의 카셋트명(CST ID)을 전송(S207 단계)하여 원할한 제품 생산 공정이 이루어지도록 한다.
상기 호스트(20)로 반도체 및 LCD의 제조 공정중에 투입되는 각 카셋트명(CST ID)이나 글래스(Glass(이하 GLS))명(GLS ID)의 데이터를 송신할 때, 상기 과정중에 설명된 BCR 뿐 만 아니라 VCR이나 Micom(Micro Computer)등의 다른 하부 입력 장비의 경우에도 적용될 수 있을 것이다.
한편, 도5는 본 발명의 PLC 장비 연결 설정과정이 도시된 흐름도로서, 도시된 바와같이 상기 정보관리 장치부(200)는 데이터베이스에 저장된 PLC의 기본 설정값을 판독(S300 단계)하여 PLC의 설정값을 작업자의 단말기상에 별도의 활성(POP-UP)화면을 이용하여 디스플레이(S301 단계)시키게 된다.
이때, 상기 정보관리 장치부(200)는 PLC의 설정값 변경 여부(S302 단계)를 확인하게 되며 작업자가 PLC 상태를 각 장비에 적합하게 설정(S303 단계)하게 되면 PLC의 변경된 설정값은 상기 데이터베이스에 저장되고 프로그램의 종료, 재시작(S305 단계)이 진행된다.
만일, 작업자가 PLC의 설정값을 그대로 유지하고자 할 때는 각 장비에 해당하는 PLC 이벤트의 설정값을 단말기를 통하여 입력(S306 단계)하고 PLC의 연산 처리에 의해서 데이터 셋팅된 이벤트 함수를 호출(S307 단계)하여 각 장비의 운전 조건에 적합한 데이터로 셋팅(S308 단계)되면 각 장비에 해당하는 작업이 진행(S309 단계)된다.
다음, 도6은 본 발명의 공장자동화 시스템 다운시 시스템 복구과정이 도시된 흐름도로서, 도시된 바와같이 본 발명의 정보관리 장치 프로그램이 수행(S400 단계)되면 정보관리 장치부(200)는 프로그램의 최근 종료 상태가 정상적인지 비정상적인지의 'NG' 상태를 판단(S401 단계)하여 만일, 시스템 종료상태가 'NG'로 판단되면 PLC로부터 각종 장비의 로트나 포트 또는 작업 수행 데이터등의 각종 장비 상태 정보를 로드(load)하여 초기화(S402 단계)시키게 된다.
또한, 상기 PLC에 의해서 연산처리되어 각 장비에 이벤트 메세지로 전송된 정보를 로드(S403 단계)하고 호스트(20)로부터 아직 처리되지 않은 이벤트 메세지를 로드(S404 단계)하여 수신된 우선 순위대로 단말기상에 디스플레이된다.
이때, 상기 PLC와 호스트(20)로부터 수신된 모든 이벤트 메세지는 전역 큐(Queue)에 저장(S405 단계)되고 상기 큐(Queue)에 저장된 순서대로 순차적으로 새로운 이벤트가 처리(S406 단계)된다.
만약, 상기 S401 단계에서 최근 종료 상태가 정상 종료인 'G'로 판명되면 정보관리 장치 프로그램은 최근 종료상태를 다시 'NG'로 셋팅(S409 단계)하고 정상적인 프로그램의 진행(S401 단계)이 이루어지도록 한다.
이와 같은 순서에 의해서 상기 프로그램이 종료(S407 단계)되면 제어 프로그램은 최근 종료상태를 'G'로 리셋(S408 단계)팅을 이루고 최종적으로 종료된다.
상기와 같이, 정보관리 장치부(200)내의 제어 프로그램은 프로그램이 정상적으로 종료되었는지 또는 비정상적으로 종료되었는지를 판단하고, 만약 비정상적으로 종료되었다고 판단되면 시스템의 하드 드라이브에 파일의 형태로 저장된 필수 장비 운영 정보를 로드하여 프로그램 운영정보를 비정상 종료 시점으로 되돌려 복구함으로써 중단된 시점에서 중단된 작업을 계속해서 수행할 수 있다.
또한, 시스템 가동중 프로그램의 에러나 외부적인 요소에 의해서 프로그램이 종료되는 경우는 갑작스럽게 발생되어 에러에 대처할 수 없는 경우가 대부분이므로 프로그램 수행을 시작하면서 최근 종료 상태를 'NG' 상태로 설정하고 정상종료시에만 'G' 로 리셋팅을 이루도록 하면 됨으로써 프로그램 수행의 지속성을 보장받을 수 있을 것이다.
또한, 도7은 본 발명의 정보관리 장치부 오프-라인시의 시스템 구동 과정이 도시된 흐름도로서, 도시된 바와같이 다수의 클라이언트(10)측으로부터 작업 수행을 위한 이벤트 데이터의 송신 요청을 받은 PLC가 호스트(20)의 전송 데이터를 요구(S500 단계)하게 되면 상기 정보관리 장치부(200)는 현재의 호스트(20) 연결 상태가 오프-라인 모드인지를 판단(S501 단계)하여 오프-라인 모드로 판독되면 각 장비와 프로그램의 운영자를 소정의 수단에 의해서 호출(S502 단계)한다.
이때, 상기 제어 프로그램은 작업자에게 프로그램 수행 데이터가 저장되어 있는 플로피 디스크의 삽입을 요구(S503 단계)하게 되고 제어 프로그램은 삽입된플로피 디스크에서 해당 카셋트(CST) 데이터를 로딩(S504 단계)하거나 만일, 작업자에 의해서 플로피 디스크의 삽입이 이루어지지 않게 되면 작업자가 직접 데이터를 입력(S506 단계)하여 프로그램을 진행시키게 된다.
그러나, 상기 S501 단계에서 정보관리 장치부(200)의 제어 프로그램이 통신 연결상태를 온-라인으로 인식하게 되면 PLC는 호스트(20)로부터 데이터를 수신하여 정상적인 프로그램 진행이 이루어지게 된다.
통상적인 장비 서버(300)와 장비간의 오프-라인 상태는 정보관리 장치부(200)가 장비 서버(300)로부터 링크 테스트를 제외한 어떠한 이벤트 메세지에도 응답하지 않으며 이때, 상기 PLC의 연산 처리에 의한 PLC 이벤트 메세지도 장비 서버(300)로 보고되지 않은 상태를 말한다.
마지막으로, 도8은 본 발명에 의해 처리되는 로그(Log) 정보 저장과정이 도시된 흐름도로서, 도시된 바와같이 본 발명의 정보관리 장치부(200)는 장비 서버(300)로부터 장비 영역(100)으로 전송될 작업 수행 데이터의 송신을 요청(S600 단계)하고 상기 데이터의 송신이 완료되면 정보관리 장치부(200)의 로그 처리부(211)에서 로그 데이터를 작성(S601 단계)하여 로그 작성이 완료된 데이터를 PLC를 통하여 장비측으로 전송(S602 단계)하게 된다.
이때, 상기 로그 데이터의 송신 에러가 발생되면 로그 파일이 에러 로그 파일에 저장(S604 단계)되며, 만일 송신 에러가 발생되지 않으면 정상적으로 송신 로그 파일에 기록(S605 단계)되어 저장된다.
상기 정보관리 장치부(200)는 작업자에 의해서 입력되는 데이터가 항상 송수신 상태에서 모든 데이터의 로그(Log)정보를 발생시켜 프로그램의 이상 발생시 상기 로그 정보를 이용하여 프로그램의 에러 분석 및 해결이 이루어질 수 있도록 하며, 상기 로그 정보에는 장비의 작업과정에서 수행되는 입출력 장치의 사용시간, 수행 데이터의 시작 종료시간 및 시스템의 운용에 대한 모든 기록이 저장되어 있다.
이상에서 설명한 바와같이, 본 발명의 공장자동화 시스템의 정보관리 제어장치 및 그 방법은 공장자동화 설비 라인에 설치되는 다수 장비의 포트수나 장비의 타입 또는 각 프로토콜등에 따른 다양한 형태를 지원하게 되며 다수의 하부 장비들의 장비 특성에 따라 정보관리 장치부를 모듈화함으로서 삭제 추가에 따른 부분만의 소프트웨어 프로그래밍에 의해서 원할한 시스템 구축이 가능하도록 한 이점이 있으며, 장비 서버와 공장자동화 설비의 각종 장비간의 통신에 따른 송수신 데이터의 다양한 로그(Log) 방법을 제공하여 통신 이상 발생시 호스트와 장비간의 데이터 송수신 상태를 역추적하여 비정상적인 공정의 중단이나 오류 데이터의 송수신에 대한 원인 분석이 가능할 뿐 만 아니라 천재지변이나 전력 공급 불균형등의 외부요인에 의한 시스템 다운시에 소정의 저장 매체 또는 작업자의 키-인(Key-in)에 의해서 최근의 상태로 데이터의 복원이 가능하도록 함으로써 제조 공정 수행의 효율성을 증대시킬 수 있는 장점이 있다.
Claims (7)
- 자동화 설비 내에서 개별적으로 운영되는 클라이언트(10)측과 호스트(20)측에서 발생되는 클라이언트(10)와 호스트(20)의 입출력 데이터를 송수신하는 데이터 송수신부(211)와, 수신된 데이터와 함께 전송되는 로그(Log) 정보가 처리 저장되는 데이터 로그 처리부(212)와, 상기 클라이언트(10)와 호스트(20)로부터 송수신되는 데이터를 각각 저장하는 수신 데이터 저장부(213) 및 송신 데이터 저장부(214)와, 상기 로그 처리된 데이터의 메세지를 인식하여 해당 데이터의 정보를 분석하고 해당 메세지 정보를 표시하는 데이터 인지부(215) 및 데이터 분석부(216)와, 상기 데이터의 분석에 의해서 각 메세지에 해당하는 이벤트를 발생시켜 그 정보를 자장하고 PLC로 전송하는 데이터 처리부(217)와, 상기 데이터 처리부(217)에서 가공된 데이터 메세지가 단말기를 통하여 디스플레이되고 출력 메세지가 저장되는 정보처리부(218) 및 정보저장부(219)와, 상기 데이터 처리부(217)로부터 수신받은 이벤트 메세지 정보에 의해서 각 클라이언트(10)의 제어 연산이 이루어지고 연산 결과에 의한 제어 동작 정보를 각각 클라이언트(10)와 호스트(20)로 전송하는 PLC 처리부(220) 및 호스트 전송부(221)를 포함하는 정보관리 장치부(200)로 구성됨을 특징으로 하는 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치.
- 정보관리 장치부를 포함하는 장비 연결 과정은 상기 정보관리 장치부의 자체 데이터베이스에서 자동화 설비의 설치가 완료된 각 장비(Unit)별 타입이나 설정치등의 규격을 판독하는 단계(S100)와,판독된 개별 장비의 정보를 작업자 단말기에 디스플레이시키는 단계(S101)와,이때, 상기 단말기의 화면 정보에서는 장비 운용에 적합한 설정값의 변경 여부를 확인하는 단계(S102)와,각각의 장비 최적 설정치에 해당하는 정의값의 설정 변경을 수행하는 단계(S103)와,변경된 설정값이 상기 데이터베이스에 저장되는 단계(S104)와,설정값이 변경된 프로그램이 자동 또는 작업자에 의해서 수동으로 종료되어 재시작되는 단계(S104) 및,만약, 각각의 장비 연결 프로그램의 설정값 변경에 동의하지 않는다면 장비 제작시 설정된 초기값으로 자동설정되는 단계(S106)와,상기 과정에 의해서 호스트와의 통신이 연결되는 단계(S107)와,상기 정보관리 장치부의 데이터 수신부가 호스트로부터 작업자가 입력한 수행 데이터를 수신하는 단계(S108)와,PLC와 RS-232C의 통신 규약에 의해서 통신 연결이 이루어지는 단계(S109)와,호스트의 수신 데이터가 PLC에 의해서 연산 처리되어 이벤트 메세지 발생시 해당 작업이 실행되는 단계(S110) 및,되어 로봇의 구동에 의한 제품 생산 작업이 진행되는 단계(S111),로 이루어짐을 특징으로 하는 공장자동화 설비의 정보관리 제어방법.
- 데이터 입력시의 구동 과정이 장치 영역의 하부 입력 장비중의 하나인 BCR(Bar Cord Reader)을 장비 컨트롤러에 연결하여 데이터 수신이 가능하도록 셋팅하는 단계(S200)와,셋팅된 BCR을 이용하여 카셋트 또는 하부 디렉토리인 글래스등에 인쇄된 바-코드를 인식하는 단계(S201)와,상기 BCR에 의해서 인식된 데이터가 정보관리 장치부의 BCR ocx(OLE control extension)를 통해서 데이터의 이상 유무가 판단되는 단계(S202)와,만약, 데이터 입력 에러가 발생되어 단말기를 통해 'NG' 발생이 감지되면 작업자가 BCR을 통해 BCR의 'NG' 메세지를 확인하는 단계(S203) 및,작업자가 직접 단말기상에 바-코드에 해당하는 식별 코드를 키보드를 이용하여 입력하는 단계(S204)와,만일, 작업자의 식별 코드 입력에도 불구하고 BCR의 'NG' 메세지가 확인되면 상기 S203단계와 S204단계의 과정을 반복하게 되고 데이터의 수신이 이상이 없다고 판단되면 BCR의 입력 데이터를 확인하는 단계(S206) 및,자동화 설비의 명령 수행을 위하여 호스트로 각 카셋트의 카셋트명(CST ID)을 전송하는 단계(S207),에 의해서 원할한 제품 생산 공정이 이루어지도록 함을 특징으로 하는 공장자동화 설비의 정보관리 제어방법.
- 제2항에 있어서, 상기 정보관리 장치부가 데이터베이스에 저장된 PLC의 기본 설정값을 판독하는 단계(S300)와,PLC의 설정값을 작업자의 단말기상에 별도의 활성(POP-UP) 화면을 이용하여 디스플레이시키는 단계(S301)와,이때, 상기 정보관리 장치부가 PLC의 설정값 변경 여부를 확인하는 단계(S302)와,작업자가 PLC 설정값 변경을 선택하여 PLC 상태를 각 장비에 적합하게 설정하는 단계(S303)와,PLC의 변경된 설정값이 상기 데이터베이스에 저장되고 프로그램의 종료, 재시작이 진행되는 단계(S305)와,만일, 작업자가 PLC의 설정값을 그대로 유지하고자 할 때는 각 장비에 해당하는 PLC 이벤트의 설정값을 단말기를 통하여 입력하는 단계(S306)하여 PLC의 연산 처리에 의해서 데이터 셋팅된 이벤트 함수를 호출하는 단계(S307) 및,각 장비의 운전 조건에 적합한 데이터로 셋팅(S308)되면 각 장비에 해당하는 작업이 진행되는 단계(S309),로 구성됨을 특징으로 하는 공장자동화 설비의 정보관리 제어방법.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 공장자동화 시스템의 다운시 시스템의 복구 과정은 상기 정보관리 장치부에서 구동되는 프로그램이 수행(S400)되면 정보관리 장치부가 프로그램의 최근 종료 상태가 정상적인지 비정상적인지의 'NG' 상태를 판단하는 단계(S401)와,만일, 시스템 종료상태가 'NG'로 판단되면 PLC로부터 각종 장비의 로트나 포트 또는 작업 수행 데이터등의 각종 장비 상태 정보를 로드(load)하여 초기화시키는 단계(S402)와,상기 PLC에 의해서 연산처리되어 각 장비에 이벤트 메세지로 전송된 정보를 로드(S403)하고 호스트로부터 아직 처리되지 않은 이벤트 메세지를 로드하여 수신된 우선 순위대로 단말기상에 디스플레이되는 단계(S404)와,이때, 상기 PLC와 호스트로부터 수신된 모든 이벤트 메세지는 전역 큐(Queue)에 저장(S405)되고 상기 큐(Queue)에 저장된 순서대로 순차적으로 새로운 이벤트가 처리되는 단계(S406)와,만약, 상기 제어 프로그램의 최근 종료 상태가 정상 종료인 'G'로 판명되면 정보관리 장치 프로그램은 최근 종료상태를 다시 'NG'로 셋팅(S409)하고 정상적인 프로그램의 진행이 이루어지도록 하는 단계(S401)와,이와 같은 순서에 의해서 상기 프로그램이 종료(S407)되면 제어 프로그램이 최근 종료상태를 'G'로 리셋팅을 이루고 최종적으로 종료되는 단계(S407),로 이루어짐을 특징으로 하는 공장자동화 설비의 정보관리 제어방법.
- 제4항에 있어서, 상기 다수의 클라이언트측으로부터 작업 수행을 위한 이벤트 데이터의 송신 요청을 받은 PLC가 호스트의 전송 데이터를 요구하는 단계(S500)와,상기 정보관리 장치부가 현재의 호스트 연결 상태가 오프-라인 모드인지를 판단(S501)하여 오프-라인 모드로 판독되면 각 장비와 프로그램의 운영자를 소정의 수단에 의해서 호출하는 단계(S502)와,이때, 상기 제어 프로그램이 작업자에게 프로그램 수행 데이터가 저장되어 있는 플로피 디스크의 삽입을 요구하는 단계(S503)와,상기 제어 프로그램의 요구에 의해서 삽입된 플로피 디스크에서 해당 카셋트(CST) 데이터를 로딩(S504)하거나 만일, 작업자에 의해서 플로피 디스크의 삽입이 이루어지지 않게 되면 작업자가 직접 데이터를 입력하여 프로그램을 진행시키는 단계(S506),로 이루어짐을 특징으로 하는 공장자동화 설비의 정보관리 제어방법.
- 제2항 또는 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 각 단계별 처리되는 로그(Log) 정보 저장은 상기 정보관리 장치부가 장비 서버로부터 장비 영역으로 전송될 작업 수행 데이터의 송신을 요청하는 단계(S600)와,상기 데이터의 송신이 완료되면 정보관리 장치부의 로그 처리부에서 로그 데이터를 작성(S601)하여 로그 작성이 완료된 데이터를 PLC를 통하여 장비측으로 전송하게 되는 단계(S602)와,이때, 상기 로그 데이터의 송신 에러가 발생되면 로그 파일이 에러 로그 파일에 저장(S604)되며, 만일 송신 에러가 발생되지 않으면 정상적으로 송신 로그 파일에 기록되어 저장되는 단계(S605),를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 공장자동화 설비의 정보관리 제어방법.
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Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100414437B1 (ko) * | 2001-04-06 | 2004-01-07 | 전영민 | 공장 자동화 제어 방법 |
| KR20030085758A (ko) * | 2002-05-01 | 2003-11-07 | 윤여진 | 통신선을 이용한 ｐｌｃ회로와 ｋｅｙｂｏａｒｄ의 결합구조 |
| KR20040022748A (ko) * | 2002-09-05 | 2004-03-18 | 현대자동차주식회사 | 작업 오류 진단 시스템 및 그 제어방법 |
| KR100792896B1 (ko) * | 2006-08-22 | 2008-01-08 | 현대자동차주식회사 | 자동화 설비라인의 오프라인 시운전 장치 및 그 방법 |
| KR100843105B1 (ko) * | 2006-08-23 | 2008-07-02 | 주식회사 아이피에스 | 컴퓨터 기반 제어기, 제어 시스템, 및 제어 방법 |
| JP4788912B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2011-10-05 | オムロン株式会社 | Ｐｌｃ |
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR950024041A (ko) * | 1994-01-31 | 1995-08-21 | 김무 | 산업공정 감시제어시스템 |
| JPH08328612A (ja) * | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Canon Inc | 自動化システム |
| KR19990050849A (ko) * | 1997-12-17 | 1999-07-05 | 윤종용 | 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법 |
| KR19990047298A (ko) * | 1997-12-03 | 1999-07-05 | 윤종용 | 공장자동화시스템 및 그 제어방법 |
-
2000
- 2000-09-29 KR KR10-2000-0057199A patent/KR100434433B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR950024041A (ko) * | 1994-01-31 | 1995-08-21 | 김무 | 산업공정 감시제어시스템 |
| JPH08328612A (ja) * | 1995-06-05 | 1996-12-13 | Canon Inc | 自動化システム |
| KR19990047298A (ko) * | 1997-12-03 | 1999-07-05 | 윤종용 | 공장자동화시스템 및 그 제어방법 |
| KR19990050849A (ko) * | 1997-12-17 | 1999-07-05 | 윤종용 | 반도체 생산제어 시스템의 공정 제어방법 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160143297A (ko) | 2015-06-05 | 2016-12-14 | 허창립 | 자동화 설비운용 plc 레벨변환용 자동화 제어보드 |
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