KR20150028077A - 반도체 설비서버의 페일오버 시스템 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 설비서버의 페일오버 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조설비를 관리하는 설비서버의 페일 오버(fail over)를 위한 기술이다.
본 발명에 따른 반도체 설비서버의 페일오버(fail-over) 시스템은, 반도체 공정이 진행되는 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군; 반도체 제조 설비군의 동작을 제어하는 설비서버군; 및 상기 설비서버군과 통신을 수행하여 상기 설비서버군의 장애를 감지하고, 상기 설비서버군 중 적어도 하나의 설비서버의 장애 발생 시 장애가 발생하지 않은 설비서버로 동작 데이터 및 응용프로세서를 백업하는 페일 오버 정책을 수행하는 관리서버를 포함할 수 있다.

Description

반도체 설비서버의 페일오버 시스템 및 그 방법{System for fail-over of semiconductor equipment sever and method the same}
본 발명은 반도체 설비서버의 페일오버 시스템 및 그 방법에 관한 것으로서, 특히 반도체 제조설비를 관리하는 설비서버의 페일 오버(fail over)를 위한 기술이다.
통상적으로 반도체장치를 제조하기 위한 웨이퍼는 세정, 확산, 포토레지스트 코팅, 노광, 현상, 식각 및 이온주입 등과 같은 공정을 반복하여 거치게 되며, 이들 과정별로 해당 공정을 수행하기 위한 반도체 제조설비가 사용된다.
이러한 공정을 처리하는 반도체 제조설비는 각 단위공정들을 처리하도록 배치되며, 각 해당 단위공정 진행시에는 대략 20 내지 25매 단위의 웨이퍼가 일개 단위의 로트(lot)를 이루어 최적의 공정조건으로 선택된 공정을 진행하게 된다.
이러한 반도체 제조설비들은 설비서버들에 의해 각각 관리되며, 설비서버들의 제어하에 각 공정들을 수행하게 된다. 그런데, 설비서버에 장애가 발생하는 경우 장애가 발생한 설비서버의 제어를 받는 반도체 제조설비들이 모두 오동작하거나 동작을 멈추게 된다.
본 실시예에서는 반도체 제조설비를 관리하는 설비서버의 페일 오버(fail over)를 위한 기술을 제공하고자 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 설비서버의 페일오버(fail-over) 시스템은, 반도체 공정이 진행되는 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군; 반도체 제조 설비군의 동작을 제어하는 설비서버군; 및 상기 설비서버군과 통신을 수행하여 상기 설비서버군의 장애를 감지하고, 상기 설비서버군 중 적어도 하나의 설비서버의 장애 발생 시 장애가 발생하지 않은 설비서버로 동작 데이터 및 응용프로세서를 백업하는 페일 오버 정책을 수행하는 관리서버를 포함할 수 있다.
또한, 상기 설비서버들은 상기 반도체 제조 설비들과 1:1 대응 또는 하나의 설비서버에 대해 복수개의 반도체 제조설비들이 연결될 수 있다.
또한, 상기 설비서버들은 각각, 상기 관리서버 또는 상기 반도체 제조 설비군과의 통신을 수행하는 통신부; 상기 반도체 제조 설비군의 동작을 제어하는 제어부; 및 상기 반도체 제조 설비군에 대한 공정제어정보를 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 관리서버는, 상기 설비서버군과 통신을 수행하는 통신부; 상기 설비서버군에 미리 정한 주기마다 테스트 신호를 전송하고 상기 설비서버군으로부터 미리 정한 시간내에 응답신호가 수신되는지를 판단하여 상기 설비서버군의 장애여부를 판별하고, 상기 설비서버군 중 장애로 판별된 설비서버에 대해 페일오버 정책을 수행하는 제어부; 및 상기 설비서버군으로부터 수신되는 정보 및 상기 페일오버 정책에 관한 정보를 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 설비서버군 중 미리정한 개수 이상의 설비서버에 동시에 장애 발생중인 경우 네트워크 장애로 판단할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 설비서버군 중 제 1 설비서버가 장애로 판별되면 상기 제 1 설비서버의 장애 판정 확정을 유보하고, 제 1 시간 내에 상기 설비서버군 중 다른 설비서버의 장애여부를 판별하여 상기 설비서버군 중 제 2 설비서버가 장애로 판별되면, 네트워크 장애로 판단하고, 제 2 시간 내에 상기 설비서버군 중 장애로 판별되는 설비서버가 존재하지 않는 경우, 상기 제 1 설비서버에 대해서 상기 페일 오버 정책을 수행할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 네트워크 장애로 판단 후, 제 3 시간 내에 상기 제 설비서버군 중 적어도 하나 이상의 설비서버로부터 응답신호를 수신하는 경우, 상기 네트워크 장애 판단을 해제할 수 있다.
또한, 상기 설비서버군으로부터 수신되는 정보는, 상기 설비서버군의 각 설비서버에서 운용중인 각각의 응용프로세스의 종류, 개수, 및 응용프로세스별 CPU 점유율 정보 중 적어도 하나 이상을 포함할 수 있다.
또한, 상기 페일오버 정책에 관한 정보는, 상기 설비서버군 중에서 적어도 하나 이상의 설비서버의 장애 발생 시 백업이 가능한 정상 설비서버를 선정하기 위한 정책과 장애가 발생한 설비서버에서 운용중인 응용프로세스를 분산하여 백업하기 위한 정책 정보를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 설비서버군 중에서 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스별 CPU 점유율을 분석하고, 상기 설비서버군 중 장애가 발생하지 않은 정상상태의 설비서버들의 CPU 점유율을 분석하여, 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 낮은 순서대로 상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스를 백업하도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스 중 CPU 점유율이 가장 높은 응용프로세스를 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 가장 낮은 설비서버에 백업할 수 있다.
또한, 상기 통신부는, 반도체 설비 통신 규약인 SECS(Semi Equipment Communnication Standard) 프로토콜 또는 일반적인 통신 규약인 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)을 이용하여 통신을 수행할 수 있다.
반도체 설비서버 페일오버 방법은 반도체 제조 설비군의 반도체 공정을 제어하는 설비서버군의 장애를 판단하는 단계; 및 상기 설비서버군 중 장애가 발생한 설비서버가 존재하는 경우, 상기 설비서버에서 운용되는 응용프로세서를 상기 설비서버군 중 정상상태의 다른 설비서버로 백업하여 페일오버정책을 수행하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 설비서버군의 장애를 판단하는 단계는, 상기 설비서버군으로 테스트 신호를 전송하는 단계; 상기 설비서버군으로부터 제 1 시간내에 응답신호가 수신되었는지를 판단하는 단계; 및 상기 응답신호를 전송하지 않은 설비서버를 장애로 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 설비서버군 중 미리 정한 개수 이상의 설비서버가 제 2 시간내에 장애로 판단되면 네트워크 장애인 것으로 판단하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 네트워크 장애로 판단한 후, 제 3 시간 내에 상기 설비서버군으로부터 응답신호가 수신되면, 상기 네트워크 장애 판단을 해제하는 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 페일오버정책을 수행하는 단계는, 상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스별 CPU 점유율을 분석하는 단계; 상기 설비서버군 중 장애가 발생하지 않은 정상상태의 설비서버들의 CPU 점유율을 분석하는 단계; 및 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 낮은 순서대로 상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스를 백업하도록 제어하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 상기 응용프로세스를 백업하도록 제어하는 단계는, 상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스 중 CPU 점유율이 가장 높은 응용프로세스를 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 가장 낮은 설비서버에 백업할 수 있다.
또한, 상기 응용프로세스를 백업하도록 제어하는 단계는, 상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스 중 CPU 점유율이 차순위인 응용프로세스를 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 차순위인 설비서버에 백업할 수 있다.
본 기술은 반도체 제조설비를 관리하는 설비서버의 고장을 자동적으로 즉시 파악하고 백업시킴으로써 반도체 제조설비의 가동 중단을 방지하여 생산 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비서버의 페일오버 시스템의 구성도,
도 2는 도 1의 설비서버의 세부 구성도,
도 3는 도 1의 관리서버의 세부 구성도,
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비서버의 페일오버 시스템의 동작방법을 나타내는 순서도,
도 5는 도 4의 네트워크 장애 판단 방법을 구체적으로 나타내는 순서도,
도 6은 도 5의 네트워크 장애 판단 후 네트워크 장애 판단 취소 방법을 나타내는 순서도,
도 7a 내지 도 7c는 본 발명에 따른 망장애 판단을 설명하기 위한 도면,
도 8는 본 발명에 따른 장애서버 백업 할당방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 일부 실시예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 실시예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
이하, 도 1 내지 도 8을 참조하여, 본 발명의 실시예를 구체적으로 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비서버의 페일오버 시스템의 구성도이다.
본 실시예의 반도체 설비 시스템(100)은 소정의 공정이 완료된 로트(150)가 투입되어 반도체 공정이 진행되는 반도체 제조 설비군(130)과, 반도체 제조 설비군(130)과 온라인으로 연결된 설비 서버군(120)과, 설비 서버군(120)과 온라인으로 연결된 생산실행 시스템, 장비 효율 관리 시스템(112), 수율관리시스템(113)과, 설비 서버군(120)과 온라인으로 연결되어 설비 서버군(120)과 통신을 수행하는 관리서버(140)를 포함한다.
반도체 제조 설비군(130)은 반도체 소자의 제조 공정 즉, 증착 공정, 포토리소그래피 공정, 식각 공정, 이온주입 공정 및 각종 열처리 공정 등의 각 단위 공정을 진행하는 다수의 반도체 제조 설비들(130a,130b,‥,130n)로 구성된다.
설비 서버군(120)은 반도체 제조 설비군(130)이 반도체 제조 공정을 진행할 수 있도록 반도체 제조 설비군(130)을 직접적으로 제어한다. 설비 서버군(120)은 다수대의 설비 서버들(120a,120b,‥,120m)로 구성되며, 각 설비 서버들(120a,120b,‥,120m)은 반도체 제조 설비군(130)의 공정을 제어하기 위한 공정제어정보를 저장하고 있어, 공정제어정보에 따라 반도체 제조 설비군(130)을 제어한다. 또한, 각각의 설비 서버들(120a-120m)은 각각의 반도체 제조 설비(130a-130n)와 연결되는데, 각각의 설비 서버들(120a-120m)은 각각의 반도체 제조 설비(130a-130n)와 1:1로 대응되어 연결될 수도 있고 설비서버 하나 당 복수개의 반도체 제조 설비가 연결되도록 구성할 수 있다. 이에, 설비 서버군(120)은 반도체 제조 설비군(130)과 생산실행 시스템(111), 장비 효율 관리 시스템(112), 수율관리시스템(113) 등과의 사이에서 각종 데이터나 각종 제어신호 등을 상호간 전송시켜준다.
이를 위해, 도 2에 도시된 바와 같이, 설비서버(120a~120m)들은 각각 통신부(121), 제어부(122), 및 공정제어정보 저장부(123)를 구비한다.
통신부(121)는 반도체 설비의 통신 규약인 SECS(Semi Equipment Communnication Standard) 프로토콜 또는 일반적인 통신 규약인 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)을 이용하여 통신을 수행한다. 즉, 반도체 제조 설비군(130)과 설비 서버군(120)은 가령 반도체 설비의 통신 규약인 SECS 프로토콜 또는 TCP/IP에 의해 상호 통신 가능하게 연결되어 서로 데이터를 공유하거나 교환한다. 마찬가지로, 각 반도체 설비 설비들(130b-130n)과 각 설비 서버들(120b-120m)도 SECS 프로토콜 또는 TCP/IP에 의해 양방향 통신 가능하게 연결된다. 또한, 설비 서버군(120)은 가령 일반적인 통신 규약인 TCP/IP에 의해 생산실행 시스템(111), 장비 효율 관리 시스템(112), 수율관리시스템(113), 관리서버(140)와 통신하면서 상호데이터를 주고 받는다.
제어부(122)는 반도체 제조 공정을 진행할 수 있도록 반도체 제조 설비군(130)을 직접적으로 제어하고, 반도체 제조 설비군(130)과 생산실행 시스템(111), 장비 효율 관리 시스템(112), 수율관리시스템(113) 등과의 사이에서 각종 데이터나 각종 제어신호 등을 상호간 전송을 제어한다.
공정제어정보 저장부(123)는 반도체 제조 설비군(130)의 공정을 제어하기 위한 공정제어정보를 저장한다. 이때,공정제어정보는 반도체 생산 라인에 배치된 모든 반도체 제조 설비들(130a-130n)이 최적의 상태로 반도체 제조 공정을 진행할 수 있도록 반도체 제조 공정에 모든 데이터들, 예를 들어, 각 반도체 제조 설비들(130a-130n)의 공정 순서, 공정 진행환경, 공정 조건 레시피(recipe) 등을 포함하며, 공정 조건 레시피에는 공정 변수(온도, 압력, 시간 등)와 스펙 데이터(최소 공정 진행값에서 최대 공정 진행값)와 실공정 데이터(불량률이 가장 적게 발생하는 공정 데이터) 등이 포함될 수 있다.
본 발명에서는 설비서버 A(120a)가 반도체 제조설비1(130a) 및 반도체 제조설비2(130b)를 관리하고, 설비서버 B(120b)는 반도체 제조설비3(130c) 및 반도체 제조설비4(130d)를 관리하는 예를 개시하고 있다. 이에, 설비서버 A(120a)는 반도체 제조설비1(130a) 및 반도체 제조설비2(130b)에 대한 공정 순서, 공정 진행 환경, 공정조건 등에 대한 정보를 저장하고, 설비서버2(120b)는 반도체 제조설비3(130c) 및 반도체 제조설비4(130d)에 대한 , 설비서버 A(120a)는 반도체 제조설비1(130a) 및 반도체 제조설비2(130b)에 대한 공정 순서, 공정 진행 환경, 공정조건 등에 대한 정보를 저장하고 있다.
관리서버(140)는 설비서버군(120)으로부터 수신한 각종 정보 및 페일오버 정책을 저장하고, 설비서버군(120)과의 통신을 통해 설비서버군(120)의 개별 장애 또는 네트워크 장애 등을 판단하며, 설비서버군(120) 중 적어도 하나의 설비서버에 장애가 발생하는 경우 페일오버 정책에 따라 페일오버를 수행한다.
이를 위해, 관리서버(140)는 도 3에 도시된 바와 같이, 통신부(141), 제어부(142) 및 저장부(143)를 구비한다.
통신부(141)는 반도체 설비의 통신 규약인 SECS 프로토콜 또는 일반적인 통신 규약인 TCP/IP를 통해 설비서버군(120)과 통신을 수행한다.
제어부(142)는 설비서버군(120)에 미리 정한 주기마다 테스트 신호를 전송하고, 설비서버군(120)으로부터 응답신호가 수신되는지를 판단한 후, 응답신호가 미리정한 횟수 이상 미수신되면 해당 설비서버에 장애가 발생한 것으로 판단한다. 또한, 제어부(142)는 응답신호가 미리정한 횟수 미만 미수신되면 해당 설비서버에 다시 테스트신호를 전송하고 응답신호를 기다린다. 또한, 제어부(142)는 장애로 판단된 설비서버의 개수가 미리 정한 개수 이상이면 네트워크 장애로 판단하고, 장애로 판단된 설비서버의 개수가 미리 정한 개수 미만이면 해당 설비서버에만 장애가 발생한 것으로 판단하고 장애가 발생한 설비서버에 대해 페일오버 정책을 수행한다.
저장부(143)는 서버정보 저장부(144)와 페일오버정책 저장부(145)를 포함한다. 서버정보 저장부(144)는 설비서버군(120)으로부터 수신한 각종 정보 즉, 설비서버(120a~120m) 각각에서 운용중인 응용프로세스의 종류, 개수, 응용프로세스별 CPU 점유율 등의 정보를 포함한다. 페일오버정책 저장부(145)는 설비서버(120a~120m ) 중에서 장애 발생 시 백업이 가능한 정상 설비서버를 선정하기 위한 정책과 장애가 발생한 설비서버에서 운용중인 응용프로세스를 분산하여 백업하기 위한 정책 등을 포함하며, 이러한 페일오버 정책에 대해 추후 도 7를 통해 구체적으로 설명하기로 한다.
한편, 생산실행 시스템(111)은 설비서버군(120)으로부터 수신한 데이터를 이용하여 생산 실행 통계 데이터를 산출하고 장비 효율 관리 시스템(112)은 설비서버군(120)으로부터 수신한 데이터를 이용하여 장비 효율을 산출하고 관리하며, 수율관리시스템(113)은 설비서버군(120)으로부터 수신한 데이터를 이용하여 반도체 소자의 수율을 관리한다. 이를 위해, 설비서버들(120a~120m)은 각각 관리하고 있는 반도체 제조 설비들의 통신 데이터를 생산실행 시스템(111), 장비 효율 관리 시스템(112), 수율관리시스템(113)으로 주기적으로 전송하며, 설비서버들(120a~120m)이 주기적으로 전송하는 데이터들은 관리서버(140)에도 전달된다.
이하, 도 4를 참조하여, 본 발명의 반도체 설비서버의 페일오버 시스템의 동작방법을 구체적으로 설명하기로 한다. 본 발명은 반도체 제조 설비군(130)이 아닌 설비 서버군(120)의 페일 오버에 관한 것이다.
먼저, 반도체 제조 설비군(130)은 설비서버군(120)의 제어하에 로트(150)에 대해 미리 정해진 공정환경, 공정조건, 공정방법으로 공정을 수행한다. 또한, 관리서버(140)는 설비서버군(120)과 주기적인 통신을 수행하여 설비서버군(120) 각각에 대한 응용 프로세스의 종류, 응용 프로세스의 CPU 점유량 등의 정보를 수집하여 데이터베이스(170)에 저장해둔다.
이처럼 관리서버(140)는 설비서버군(120)과 주기적인 통신을 수행하며 페일 오버를 위해 주기적으로 설비서버군(120)으로 테스트 신호를 전송한다(S101). 이때, 정상동작 중인 설비 서버군(120)은 관리서버(140)로 응답신호(얼라이브신호; Alive signal)를 보내게 된다.
이에, 관리서버(140)는 설비서버군(120)으로부터 미리 정한 시간 내에 응답신호를 수신하였는지를 판단하고(S102), 응답신호가 미리 정한 시간 내에 수신되면 해당 설비서버가 정상 동작 중인 것으로 판단한다(S103).
한편, 테스트 신호에 대한 응답신호를 관리서버(140)로 보내지 않은 설비서버가 존재하는 경우, 관리서버(140)는 해당 설비서버로 테스트 신호를 다시 전송하여 응답신호를 기다리며, 해당 설비서버로부터의 응답신호 미수신이 미리 정한 횟수 이상인 지를 판단한다(S104).
상기 판단 결과, 해당 설비서버로부터의 응답신호 미수신이 미리 정한 횟수 미만이면 상기 과정 S101~S104를 반복수행하고, 해당 설비서버로부터의 응답신호 미수신이 미리 정한 횟수 이상이면 관리서버(140)는 해당 설비서버에 장애가 발생한 것으로 판단한다(S105).
그 후, 관리서버(140)는 장애로 판단된 설비서버의 개수가 미리 정한 개수 이상인지를 판단한다(S106).
상기 과정 S106의 판단 결과, 장애로 판단된 설비서버의 개수가 미리 정한 개수 이상이면 관리서버(140)는 설비서버의 장애가 아닌 네트워크 장애로 판단하고(S107), 페일 오버 정책을 수행하지 않는다.
한편, 장애로 판단된 설비서버의 개수가 미리 정한 개수 이상이 아니면, 관리서버(140)는 해당 설비 서버에 대해서만 장애가 발생한 것으로 판단하고 페일 오버 정책을 수행한다(S108).
이하, 도 5, 도 7a 내지 도 7c를 참조하여 도 4의 네트워크 장애 판단 단계(S107)를 더욱 구체적으로 설명하기로 한다.
상기 도 4의 S102 단계에서 설비서버 A로부터 응답신호가 미리 정한 시간 내 수신되지 않은 경우(S201), 도 4의 S104와 같이, 관리서버(140)는 설비서버 A로부터의 응답신호가 미리 정한 횟수 이상 미수신되었는지를 판단한다(S202). 상기 과정 S202의 판단 결과, 설비서버 A로부터 응답신호가 미리 정환 횟수 미만 미수신 된 경우, 관리서버(140)는 설비서버 A로 테스트 신호를 다시 전송한다(S203). 그 후, 관리서버(140)는 설비서버 A로부터 응답신호가 미리정한 시간 내에 미수신되었는지를 판단하고(S204), 설비서버 A로부터 응답신호가 수신되면 설비서버 A가 정상동작인 것으로 판단하고(S205) 설비서버 A로부터 응답신호가 미수신되면 상기 과정 S202를 다시 반복수행한다.
한편, 설비서버 A로부터 응답신호가 미리 정한 횟수 이상 미수신 된 경우 관리서버(140)는 설비서버 A를 장애로 임시 판단한다(S206).
그 후, 관리서버(140)는 설비서버 A가 장애로 임시 판단된 후 도 7a에 도시된 바와 같이 미리 정한 시간(T1)이 경과하였는지를 판단하고(S207), 미리 정한 시간(T1)이 경과하도록 다른 설비서버로부터 장애가 감지되지 않는 경우 설비서버 A의 장애로 확정한다(S208).
한편, 상기 과정 S207의 판단 결과, 미리 정한 시간(T1)이 경과한 경우, 설비서버 A만의 장애가 아니라 네트워크 장애일 수도 있으므로, 관리서버(140)는 다른 설비서버로부터의 응답신호가 미리 정한 시간(T2) 내 미수신 되었는지를 판단한다(S209).
상기 과정 S209의 판단 결과, 다른 설비서버의 응답신호 미수신이 발생하지 않은 경우 상기 과정 S207을 반복수행하고, 다른 설비서버의 응답신호 미수신이 발생한 경우 예컨데 설비서버 B가 미수신 된 경우(S210), 관리서버(140)는 설비서버 A의 장애 판단 확정을 유보한다(S211).
그 후, 관리서버(140)는 설비서버 B로부터의 응답신호 미수신이 미리 정한 횟수 이상 발생하였는지를 판단하고(S212), 설비서버 B로부터의 응답신호 미수신이 미리 정한 횟수 미만 발생한 경우 설비서버 B로 테스트 신호를 다시 전송한다(S213).
이어, 관리서버(140)는 설비서버 B로부터 응답신호가 미리 정한 시간 내 수신되었는지를 판단하여(S214), 설비서버 B로부터 응답신호가 미리 정한 시간 내 수신되지 않은 경우 상기 과정 S214를 반복수행한다.
한편, 관리서버(140)는 설비서버 B로부터 응답신호가 미리 정한 시간 내 수신된 경우에는 설비서버 B를 정상으로 판단한다(S215). 그 후, 관리서버(140)는 장애로 임시 판단된 설비서버가 둘 이상인지를 판단하고(S217) 둘 이상인 경우 설비서버의 장애가 아니라 네트워크 장애로 판단하고(S218), 하나인 경우 네트워크 장애가 아닌 것으로 판단한다(S219). 이때, 네트워크 장애로 판단하기 위한 장애로 판단된 설비서버의 개수는 둘 이상으로 한정되는 것이 아니고 사용자에 의해 변경될 수 있다.
상기 과정 S212의 판단 결과, 상기 설비서버 B로부터 응답신호가 미리 정한 횟수 이상 미수신 된 경우, 관리서버(140)는 설비서버 B를 장애로 임시 판단한다(S216).
그 후, 관리서버(140)는 장애로 임시 판단된 설비서버가 둘 이상인지를 판단하고(S217), 둘 이상인 경우 설비서버의 장애가 아니라 네트워크 장애로 판단하고(S218), 하나인 경우 네트워크 장애가 아닌 것으로 판단한다(S219).
이하, 도 6을 참조하여 상기 과정 S218의 네트워크 장애 판단 후 네트워크 장애 판단 취소 방법을 설명하기로 한다.
먼저, 네트워크 장애로 판단한 후, 도 7b에 도시된 바와 같이, 관리서버(140)는 미리 정한 시간(T3) 내에 적어도 하나 이상의 설비서버로부터 응답신호가 수신되는 지를 판단한다(S301).
이에, 관리서버(140)는 미리 정한 시간(T3) 내에 적어도 하나 이상의 설비서버로부터 응답신호가 수신되지 않으면 네트워크 장애 판단을 유지하고(S302), 미리 정한 시간(T3) 내에 적어도 하나 이상의 설비서버로부터 응답신호가 수신되면 장애로 임시 판단 되었던 설비서버 A 및 설비서버 B에 대해 장애인 것으로 확정한다(S303).
한편, 도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 과정 S302에서 미리 정한 시간(T3) 내에 응답신호가 수신된 적어도 하나 이상의 설비서버가 설비서버 A인 경우, 관리서버(140)는 설비서버 A의 장애 판단을 취소하고 설비서버 B의 장애 판단을 확정한 후 설비서버 B에 대해서만 페일 오버 정책을 수행하도록 한다.
이하, 본 발명의 페일 오버 정책을 구체적으로 설명하면 아래와 같다.
첫째, 관리서버(140)는 설비서버군(120) 중 적어도 하나 이상의 설비서버(120m-1, 120m)를 별도의 백업을 위한 백업서버로 할당하고, 동작중인 설비서버(120a ~ 120m-2) 중 적어도 하나 이상의 설비서버에 장애가 발생하면 장애가 발생한 설비서버에서 동작중이던 응용프로세서를 백업서버로 책정되었던 설비서버(120m-1, 120m)에 분산시킨다. 그러나, 별도의 백업 서버를 구비하는 경우, 정상 동작중에는 백업서버를 동작하지 않고 장애시에만 사용되므로 그 비용 및 면적 면에서 취약하다.
둘째, 설비서버군(120)내의 설비서버(120a~120m)가 모두 동작하다가 동작중인 설비서버(120a~120m) 중 적어도 하나의 설비서버에 장애가 발생하는 경우, 장애가 발생한 설비서버에서 운용중인 응용프로세서들의 개수, 응용프로세서들의 각 cpu 점유율 등의 정보를 파악한다. 그 후, 정상운용중인 설비서버들의 CPU 점유율에 따라 장애가 발생한 응용프로세스들을 정상운용중인 설비서버들로 분산하여 백업시킨다.
예를 들어, 관리서버(140)는 복수개의 설비서버 A~F를 운용중에, 설비서버 A에 장애가 발생한 경우, 도 8의 (i)에 도시된 바와 같이, 설비서버 A의 응용프로세서 정보를 파악한다.
도 8의 (i)에 도시된 바와 같이, 설비서버 A의 응용프로세서는 EQP1, EQP2, EQP3이 구동되고 있고, 각 응용프로세서의 CPU 점유율은 EQP1은 5.1%, EQP2는 2.3%, EQP3는 2.1%이다.
한편, 도 8의 (ii)에 도시된 바와 같이, 정상 운용중인 설비서버 B~F의 각 CPU 점유율은 설비서버 B가 67%, 설비서버 C가 63%, 설비서버 D가 22%, 설비서버 E 가 24%, 설비서버 F가 50%인 상태이다.
이에, 설비서버 A의 응용프로세서들(EQP1, EQP2, EQP3) 중 CPU 점유율이 가장 높은 응용프로세서 EQP1(5.1%)는 CPU 점유율이 가장 낮은 D 서버로 할당함으로써 D 서버의 CPU 점유율은 22%에서 27%로 변동된다. 이에, CPU 점유율이 가장 낮은 설비서버는 E 서버(CPU 점유율 24%)가 된다.
이어서, 설비서버 A(120a)에서 CPU 점유율이 두 번째로 높은 응용프로세서 EQP2(2.3%)는 설비서버(B,C,D,E,F서버) 중 CPU 점유율이 가장 낮은 설비서버 E로 할당한다. 이에, 설비서버 E의 점유율은 26.3%가 되고 CPU 점유율이 가장 낮은 설비서버는 설비서버 E(CPU 점유율 24%)가 된다.
설비서버 A에서 CPU 점유율이 가장 낮은 응용프로세서 EQP3(2.1%)는 CPU 점유율이 가장 낮은 설비서버 E에 할당되어, 설비서버 E의 CPU 점유율은 28.4%가 된다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
111 : 생산실행 시스템 112 : 장비효율 관리시스템
113 : 수율관리 시스템 120 : 설비서버군
130 : 반도체 제조설비군 140 : 관리서버
150 : 로트 141, 121 : 통신부
142, 122 : 제어부 123 : 공정제어부
144 : 서버정보 저장부 145 : 페일오버 정책 저장부

Claims (19)

  1. 반도체 공정이 진행되는 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군;
    반도체 제조 설비군의 동작을 제어하는 설비서버군; 및
    상기 설비서버군과 통신을 수행하여 상기 설비서버군의 장애를 감지하고, 상기 설비서버군 중 적어도 하나의 설비서버의 장애 발생 시 장애가 발생하지 않은 설비서버로 동작 데이터 및 응용프로세서를 백업하는 페일 오버 정책을 수행하는 관리서버
    를 포함하는 반도체 설비서버 페일오버(fail-over) 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 설비서버들은 상기 반도체 제조 설비들과 1:1 대응 또는 하나의 설비서버에 대해 복수개의 반도체 제조설비들이 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 설비서버들은 각각,
    상기 관리서버 또는 상기 반도체 제조 설비군과의 통신을 수행하는 통신부;
    상기 반도체 제조 설비군의 동작을 제어하는 제어부; 및
    상기 반도체 제조 설비군에 대한 공정제어정보를 저장하는 저장부
    를 포함하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 관리서버는,
    상기 설비서버군과 통신을 수행하는 통신부;
    상기 설비서버군에 미리 정한 주기마다 테스트 신호를 전송하고 상기 설비서버군으로부터 미리 정한 시간내에 응답신호가 수신되는지를 판단하여 상기 설비서버군의 장애여부를 판별하고, 상기 설비서버군 중 장애로 판별된 설비서버에 대해 페일오버 정책을 수행하는 제어부; 및
    상기 설비서버군으로부터 수신되는 정보 및 상기 페일오버 정책에 관한 정보를 저장하는 저장부
    를 포함하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 설비서버군 중 미리정한 개수 이상의 설비서버에 동시에 장애 발생중인 경우 네트워크 장애로 판단하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 설비서버군 중 제 1 설비서버가 장애로 판별되면 상기 제 1 설비서버의 장애 판정 확정을 유보하고, 제 1 시간 내에 상기 설비서버군 중 다른 설비서버의 장애여부를 판별하여 상기 설비서버군 중 제 2 설비서버가 장애로 판별되면, 네트워크 장애로 판단하고, 제 2 시간 내에 상기 설비서버군 중 장애로 판별되는 설비서버가 존재하지 않는 경우, 상기 제 1 설비서버에 대해서 상기 페일 오버 정책을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 네트워크 장애로 판단 후, 제 3 시간 내에 상기 제 설비서버군 중 적어도 하나 이상의 설비서버로부터 응답신호를 수신하는 경우, 상기 네트워크 장애 판단을 해제하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 설비서버군으로부터 수신되는 정보는,
    상기 설비서버군의 각 설비서버에서 운용중인 각각의 응용프로세스의 종류, 개수, 및 응용프로세스별 CPU 점유율 정보 중 적어도 하나 이상을 포함하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  9. 청구항 4에 있어서,
    상기 페일오버 정책에 관한 정보는,
    상기 설비서버군 중에서 적어도 하나 이상의 설비서버의 장애 발생 시 백업이 가능한 정상 설비서버를 선정하기 위한 정책과 장애가 발생한 설비서버에서 운용중인 응용프로세스를 분산하여 백업하기 위한 정책 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  10. 청구항 4에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 설비서버군 중에서 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스별 CPU 점유율을 분석하고, 상기 설비서버군 중 장애가 발생하지 않은 정상상태의 설비서버들의 CPU 점유율을 분석하여, 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 낮은 순서대로 상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스를 백업하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스 중 CPU 점유율이 가장 높은 응용프로세스를 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 가장 낮은 설비서버에 백업하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  12. 청구항 4에 있어서,
    상기 통신부는,
    반도체 설비 통신 규약인 SECS(Semi Equipment Communnication Standard) 프로토콜 또는 일반적인 통신 규약인 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)을 이용하여 통신을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 시스템.
  13. 반도체 제조 설비군의 반도체 공정을 제어하는 설비서버군의 장애를 판단하는 단계; 및
    상기 설비서버군 중 장애가 발생한 설비서버가 존재하는 경우, 상기 설비서버에서 운용되는 응용프로세서를 상기 설비서버군 중 정상상태의 다른 설비서버로 백업하여 페일오버정책을 수행하는 단계
    를 포함하는 반도체 설비서버 페일오버 방법.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 설비서버군의 장애를 판단하는 단계는,
    상기 설비서버군으로 테스트 신호를 전송하는 단계;
    상기 설비서버군으로부터 제 1 시간내에 응답신호가 수신되었는지를 판단하는 단계; 및
    상기 응답신호를 전송하지 않은 설비서버를 장애로 판단하는 단계
    를 포함하는 반도체 설비서버 페일오버 방법.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 설비서버군 중 미리 정한 개수 이상의 설비서버가 제 2 시간내에 장애로 판단되면 네트워크 장애인 것으로 판단하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 네트워크 장애로 판단한 후, 제 3 시간 내에 상기 설비서버군으로부터 응답신호가 수신되면, 상기 네트워크 장애 판단을 해제하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 방법.
  17. 청구항 13에 있어서,
    상기 페일오버정책을 수행하는 단계는,
    상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스별 CPU 점유율을 분석하는 단계;
    상기 설비서버군 중 장애가 발생하지 않은 정상상태의 설비서버들의 CPU 점유율을 분석하는 단계; 및
    상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 낮은 순서대로 상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스를 백업하도록 제어하는 단계
    를 포함하는 반도체 설비서버 페일오버 방법.
  18. 청구항 17에 있어서,
    상기 응용프로세스를 백업하도록 제어하는 단계는,
    상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스 중 CPU 점유율이 가장 높은 응용프로세스를 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 가장 낮은 설비서버에 백업하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 방법.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 응용프로세스를 백업하도록 제어하는 단계는,
    상기 장애가 발생한 설비서버의 응용프로세스 중 CPU 점유율이 차순위인 응용프로세스를 상기 정상상태의 설비서버들 중 CPU 점유율이 차순위인 설비서버에 백업하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비서버 페일오버 방법.
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