KR100719375B1 - 반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법 - Google Patents

반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법에 관한 것으로, 반도체 공정이 진행하는 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군, 상기 반도체 설비들 각각과 통신 가능하게 연결되어 상기 반도체 제조 설비들의 가동에 필요한 공정 파라미터 데이터들을 주고받는 설비 서버들로 이루어진 설비 서버군, 상기 설비 서버군과 통신 가능하게 연결되어 상기 설비 서버군을 통해 상기 반도체 제조 설비들의 가동에 필요한 공정 파라미터 데이터들을 주고받는 호스트 컴퓨터, 및 상기 호스트 컴퓨터와 통신 가능하게 연결되어 상기 반도체 공정과 관련된 정보를 제공하는 사용자 인터페이스 컴퓨터를 포함하고, 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 반도체 제조 설비군에서 적어도 어느 하나의 반도체 제조 설비가 소정의 장애에 의해 가동 정지하는 경우 상기 소정의 장애를 극복하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 자동으로 재가동시키는 큐어 레시피를 포함하는 것을 특징으로 한다.
반도체, 공정 파라미터, 호스트 컴퓨터, 설비 서버, 페일오버(failover)

Description

반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법{FAILOVER SYSTEM AND FAILOVER METHOD OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUPMENT}
도 1은 종래 기술에 따른 반도체 설비 시스템의 동작을 도시한 흐름도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비의 페일오버 시스템을 도시한 구성도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비의 페일오버 시스템의 동작을 도시한 흐름도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
100; 반도체 설비의 페일오버 시스템
110; 호스트 컴퓨터
120; 설비 서버군
130; 반도체 제조 설비군
140; 사용자 인터페이스 컴퓨터
150; 로트
본 발명은 반도체 설비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 자동화 모드에 의해 반도체 설비의 고장이 자동 조치되어 반도체 설비가 재가동됨으로써 생산 효율이 향상될 수 있는 반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 산업에 있어서 반도체 제조 공정을 통해 하나의 완성된 반도체 제품을 생산하기 위해서는 수많은 단위 공정을 거치는 것이 통상적이다. 각 단위 공정은 매우 높은 수준의 정밀도를 요구하므로 수작업에 의한 공정 진행은 불가능하다. 따라서, 반도체 생산 라인에서는 다수개의 반도체 설비들, 예를 들어, 화학기상증착 설비, 스퍼터링 설비, 식각 설비, 측정 설비 등이 배치되며, 이들 반도체 설비들 각각에서 계획된 공정 순서에 의해 반도체 공정이 진행된다.
이러한 다수개의 반도체 설비들은, 도 1에 도시된 바와 같이, 생산 조건 수행중은 물론 수행 전후(S10)에 작업자 또는 설계자가 사전에 설정해 놓은 가동 조건의 한계를 벗어날 때(S20) 가동을 정지하고 작업자가 인지 가능한 방법, 예로서 경고등의 점멸 방법으로 경고를 발생시킨다(S30). 설비의 비정상 상황에 대한 신호를 작업자가 인지하게 되면 필요한 조치(S40), 가령 파라미터(parameter) 수정 혹은 재시동(restart)으로 설비가 재가동된다(S50).
그런데, 작업자가 설비의 인터록 내지 경고를 인지하고 필요한 조치를 할 때까지는 필연적으로 설비의 가동 내지 공정 로스(loss)가 발생하게 된다. 특히, 설비의 원자재나 부자재의 교체 전후의 공정 진행 조건 셋업(set up)을 위해 필요한 설비의 인풋 파라미터(Input Parameter)는 차이가 날 수 밖에 없는 경우가 있고, 대부분의 경우 인터록 신호에 의해 작업자에게 뒤늦게 인지됨으로써 결과적으로 생 산 로스가 발생하게 된다. 따라서, 설비의 가동은 물론 생산성 측면에서 효율을 향상시킬 수 있도록 자동적으로 설비의 장애를 극복할 수 있는 반도체 설비의 페일오버(failover) 시스템의 필요성이 있는 것이다.
본 발명은 상술한 종래 기술상에서의 요구 내지 필요에 부응하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 설비의 가동 및 생산성을 향상시킬 수 있는 반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 설비의 페일오버 시스템 및 페일오버 방법은 제품 품질에 영향을 주지않는 반도체 제조 설비의 단순 정지의 경우 설비 고장을 자동 조치하여 재가동시킴으로써 생산 가동 로스를 방지하는 것을 특징으로 한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비의 페일오버 시스템은, 반도체 공정이 진행하는 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군, 상기 반도체 설비들 각각과 통신 가능하게 연결되어 상기 반도체 제조 설비들의 가동에 필요한 공정 파라미터 데이터들을 주고받는 설비 서버들로 이루어진 설비 서버군, 상기 설비 서버군과 통신 가능하게 연결되어 상기 설비 서버군을 통해 상기 반도체 제조 설비들의 가동에 필요한 공정 파라미터 데이터들을 주고받는 호스트 컴퓨터, 및 상기 호스트 컴퓨터와 통신 가능하게 연결되어 상기 반도체 공정과 관련된 정보를 제공하는 사용자 인터페이스 컴퓨터를 포함하고, 상기 호스트 컴퓨터는, 상기 반도체 제조 설비군에서 적어도 어느 하나의 반도체 제조 설비가 소정의 장애에 의해 가동 정지하는 경우 상기 소정의 장애를 극복하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 자동으로 재가동시키는 큐어 레시피를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 실시예의 시스템에 있어서, 상기 큐어 레시피는 상기 반도체 제조 설비들 모두에 공통적으로 적용가능하거나 또는 상기 반도체 제조 설비별로 적용가능하다.
본 실시예의 시스템에 있어서, 상기 큐어 레시피는 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 공정 진행 조건 셋업을 위해 필요한 인풋 파라미터를 수정시킨다.
본 실시예의 시스템에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 자동으로 재가동시킨 이벤트를 저장한다.
본 실시예의 시스템에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 설비 서버들을 통해 상기 반도체 제조 설비들의 공정 파라미터 데이터들을 실시간으로 수신하고, 수신된 공정 파라미터 데이터들을 사전에 저장된 기준 범위의 초과 여부를 판별한다.
본 실시예의 시스템에 있어서, 상기 큐어 레시피는 상기 반도체 공정 진행 과정, 상기 반도체 공정 진행 이전 과정, 및 상기 반도체 공정 진행 이후 과정 중에서 적어도 어느 하나의 과정에서 동작한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비의 페일오버 방법은, 반도체 제조 설비군 중 적어도 어느 하나의 반도체 제조 설비에서 반도체 공정 조건을 만족하지 않은 경우 상기 적어도 어느 하나의 반도체 제조 설비의 가동을 정지시키는 단계, 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계, 및 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 실시예의 방법에 있어서, 상기 큐어 레시피는 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 모든 반도체 제조 설비들에 공통적으로 적용되거나 또는 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 반도체 제조 설비들 각각에 독립적으로 적용된다.
본 실시예의 방법에 있어서, 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계는, 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 각각의 반도체 제조 설비들을 각각 제어하는 설비 서버들로 이루어진 설비 서버군이 상기 호스트 컴퓨터와 통신 가능하게 연결되어 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 큐어 레시피를 다운로딩받는 단계를 포함한다.
본 실시예의 방법에 있어서, 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계와, 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계 중에서 어느 하나 또는 모든 단계는 자동적으로 진행된다.
본 실시예의 방법에 있어서, 상기 반도체 제조 설비군 중 적어도 어느 하나의 반도체 제조 설비에서 반도체 공정 조건을 만족하지 않은 경우 상기 적어도 어느 하나의 반도체 제조 설비의 가동을 정지시키는 단계는, 상기 반도체 공정 진행 도중 과정과 상기 반도체 공정 진행 이전의 과정 및 상기 반도체 공정 진행 이후의 과정 중에서 적어도 어느 하나의 과정에서 진행된다.
본 실시예의 방법에 있어서, 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계는, 상기 반도체 공정 진행 도중 과정과 상기 반도체 공정 진행 이전의 과정 및 상기 반도체 공정 진행 이후의 과정 중에서 적어도 어느 하나의 과정에서 진행된다.
본 실시예의 방법에 있어서, 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계 이후에, 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시킨 이벤트를 상기 호스트 컴퓨터에 보고하는 단계를 더 포함한다.
본 실시예의 방법에 있어서, 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계 이후에, 상기 호스트 컴퓨터가 상기 이벤트를 저장하는 단계를 더 포함한다.
상기 특징을 구현할 수 있는 본 발명의 변형 실시예에 따른 반도체 설비의 페일오버 방법은, 반도체 제조 설비에서 반도체 공정 조건을 만족하지 않은 경우 상기 반도체 제조 설비의 가동을 정지시키는 단계, 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계, 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계, 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시킨 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 전달하는 단계, 및 상기 호스트 컴퓨터에 전달된 정보를 저장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 변형 실시예의 방법에 있어서, 상기 반도체 제조 설비에서 반도체 공정 조건을 만족하지 않은 경우 상기 반도체 제조 설비의 가동을 정지시키는 단계는, 상기 반도체 공정 진행 도중 과정과 상기 반도체 공정 진행 이전의 과정 및 상기 반도체 공정 진행 이후의 과정 중에서 적어도 어느 하나의 과정에서 진행된다.
본 변형 실시예의 방법에 있어서, 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계는, 상기 반도체 공정 진행 도중 과정과 상기 반도체 공정 진행 이전의 과정 및 상기 반도체 공정 진행 이후의 과정 중에서 적어도 어느 하나의 과정에서 진행된다.
본 변형 실시예의 방법에 있어서, 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계와, 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계 중에서 적어도 어느 하나는 자동적으로 진행된다.
본 변형 실시예의 방법에 있어서, 상기 반도체 제조 설비는 각 반도체 단위 공정을 수행하는 복수대의 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군을 포함한다.
본 변형 실시예의 방법에 있어서, 상기 큐어 레시피는 상기 반도체 제조 설 비군을 이루는 모든 반도체 제조 설비들에 공통적으로 적용되거나 또는 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 반도체 제조 설비들 각각에 독립적으로 적용된다.
본 발명에 의하면, 반도체 설비에서 에러 혹은 인터록 발생시 설비 자체적으로 사전 프로그래밍한 진단 시스템에 의해 진단후 설비 자체적으로 문제점을 수정하고 설비를 재가동케 하는 페일오버(장애극복) 시스템이 구현된다. 이에 따라, 생산 가동 로스를 예방하고 무인 자동화 생산시 생산 효율을 극대화시킬 수 있게 된다.
이하에서 본 발명에 따른 반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명과 종래 기술과 비교한 이점은 첨부된 도면을 참조한 상세한 설명과 특허청구범위를 통하여 명백하게 될 것이다. 특히, 본 발명은 특허청구범위에서 잘 지적되고 명백하게 청구된다. 그러나, 본 발명은 첨부된 도면과 관련해서 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 가장 잘 이해될 수 있다. 도면에 있어서 동일한 참조부호는 다양한 도면을 통해서 동일한 구성요소를 나타낸다.
(실시예)
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비의 페일오버 시스템을 도시한 구성도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예의 반도체 설비 시스템(100)은 소정의 공정이 완료된 로트(150)가 투입되어 반도체 공정이 진행되는 반도체 제조 설비군(130)과, 반도체 제조 설비군(130)과 온라인으로 연결된 설비 서버군(120)과, 설비 서버군(120)과 온라인으로 연결된 호스트 컴퓨터(110)와, 호스트 컴퓨터(110)와 온라인으로 연결된 사용자 인터페이스(Operator/Interface) 컴퓨터(140)를 포함하여 구성된다.
반도체 제조 설비군(130)은 각 단위 공정을 진행하는 다수대의 반도체 제조 설비들(130a,130b,‥,130n)로 구성된다. 설비 서버군(120)은 반도체 제조 설비군(130)이 반도체 제조 공정을 진행할 수 있도록 반도체 제조 설비군(130)을 직접적으로 제어한다. 설비 서버군(120)은 다수대의 설비 서버들(120a,120b,‥,120n)로 구성되는데, 각각의 설비 서버들(120a-120n)은 각각의 반도체 제조 설비(130a-130n)와 연결된다. 여기서, 반도체 제조 설비(130a)와 설비 서버(120a)는 가령 반도체 설비의 통신 규약인 SECS(Semi Equipment Communnication Standard) 프로토콜에 의해 상호 통신 가능하게 연결되어 서로 데이터를 공유하거나 교환한다. 마찬가지로, 각 반도체 설비들(130b-130n)과 각 설비 서버들(120b-120n)도 SECS 프로토콜에 의해 양방향 통신 가능하게 연결된다.
설비 서버군(120)은 가령 일반적인 통신 규약인 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol)에 의해 호스트 컴퓨터(110)와 통신하면서 상호 데이터를 주고 받는다. 호스트 컴퓨터(110)에는 설비 서버군(120)이 반도체 제조 설비군(130)을 제어하는데 필요한 수많은 정보를 제공하는 데이터 베이스가 저장된다. 호스트 컴퓨터(110)에 저장된 데이터 베이스에는 반도체 생산 라인에 배치된 모든 반도체 제조 설비들(130a-130n)이 최적의 상태로 반도체 제조 공정을 진행 할 수 있도록 반도체 제조 공정에 모든 데이터들, 예를 들어, 각 반도체 제조 설비들(130a-130n)의 공정 순서, 공정 진행 환경, 공정 조건 레시피(recipe) 등이 수록되어 있다. 예를 들어, 공정 조건 레시피에는 공정 변수(온도, 압력, 시간 등)와 스펙 데이터(최소 공정 진행값에서 최대 공정 진행값)와 실공정 데이터(불량률이 가장 적게 발생하는 공정 데이터) 등이 포함된다.
호스트 컴퓨터(110)는 설비 서버들(120a-120n)을 통해 각 반도체 제조 설비들(130a-130n)로부터 업로드되는 공정 파라미터 데이터들 모두를 실시간으로 수신한다. 호스트 컴퓨터(110)는 데이터 베이스에 저장된 설비별 기준 파라미터 데이터를 검색하여 수시된 각 반도체 제조 설비들(130a-130n)의 공정 파라미터 데이터값이 기준 범위 내인가 여부를 판단한다.
호스트 컴퓨터(110)에 저장된 데이터에는 사전에 준비된 큐어 레시피(Cure Recipe)가 포함된다. 큐어 레시피는 반도체 제조 설비군(130)이 소정의 원인, 특히 반도체 제품의 품질에 영향을 주지않는 원인에 의해 단순 정지된 경우 정지된 원인을 분석하고 이의 해결책을 찾아주어 반도체 제조 설비(130)를 자동으로 재가동시키기 위한 레시피를 말한다. 이 큐어 레시피는 반도체 제조 설비군(130)에 공통적으로 적용 가능한 레시피일 수 있고 각 반도체 제조 설비(130a-130n)에 적용되는 각각의 레시피일 수 있다. 큐어 레시피에 의해 반도체 제조 설비군(130)이 재가동되면 자동으로 문제점을 조치한 이벤트(event)가 호스트 컴퓨터(110)에 보고되고 호스트 컴퓨터(110)는 이를 저장 및 분석하게 된다.
사용자 인터페이스(O/I) 컴퓨터(140)는 호스트 컴퓨터(110)와 연결되어 반도 체 제조 공정의 진행 상황과 관련된 데이터를 작업자에게 제공한다. 작업자는 사용자 인터페이스 컴퓨터(140)를 통해 호스트 컴퓨터(110)로 생산 기초 데이터, 예를 들어, 대상 로트의 아이디, 공정이 진행될 설비 아이디 등을 설정하여 입력한다. 호스트 컴퓨터(110)는 작업자에 의해 입력된 생산 기초 데이터를 토대로 당해 로트(150)에 진행될 적절한 공정 파라미터 데이터를 산출하게 되고, 이후에 대상 로트(150)에 대해 예정된 반도체 제조 공정이 진행된다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 설비의 관리 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 3을 참조하면, 계획된 생산 조건으로 특정의 반도체 공정이 수행되는 도중은 물론 공정 수행 전후(S100)에 작업자 또는 설계자가 사전에 설정해 놓은 가동 조건의 한계를 벗어날 때(S200) 반도체 제조 설비군(130)은 그 가동을 정지하고 작업자가 인지 가능한 방법, 예로서 경고등의 점멸 방법으로 경고를 발생시킨다(S300).
예를 들어, 반도체 설비 시스템(100)에 웨이퍼가 적재된 로트(150)가 투입되면 작업자는 사용자 인터페이스 컴퓨터(140)를 통해 로트(150)의 아이디(ID)와 공정이 진행될 반도체 제조 설비들(130a-130n)의 아이디 등과 같은 공정의 기초 데이터를 입력한다. 호스트 컴퓨터(110)에 기초 데이터가 입력되면 호스트 컴퓨터(110)는 입력된 기초 데이터를 토대로 데이터 베이스를 검색하고, 적절하게 선택된 공정 레시피로써 로트(150)에 대하여 반도체 공정을 진행시킨다(S100).
반도체 제조 설비군(130) 중에서 어느 하나의 반도체 제조 설비(130a)가 단 순 고장이거나 정기 유지보수 전후와 같이 반도체 제품의 품질에 영향을 주지않는 원인에 의해 공정 조건에서 벗어나(S200) 반도체 제조 설비(130a)가 정지되는 경우가 발생할 수 있다(S300). 구체적인 일 예로서, 반도체 제조 설비(130a)의 원부자재(예; 필라멘트)의 교체 전후에 있어서 공정 진행 조건의 셋업을 위해 필요한 설비의 인풋 파라미터(Input Parameter)의 차이가 발생하여 정지될 수 있다. 이러한 일련의 일들은 호스트 컴퓨터(110)와 설비 서버군(120)이 양방향으로 통신 가능하게 연결되고, 호스트 컴퓨터(110)는 각 설비 서버들(120a-120n)을 통해 각 반도체 제조 설비들(130a-130n)로부터 업로드되는 공정 파라미터 데이터를 실시간으로 수신하므로 구현 가능하다. 호스트 컴퓨터(110)와 설비 서버군(120)이 양방향 통신 가능하게 연결되어 있으므로, 각 반도체 제조 설비(130a-130n)에 셋팅된 공정 파라미터 데이터는 호스트 컴퓨터(110)에 의해 신속히 파악된다.
공정 파라미터 데이터가 사전에 설정된 기준 범위를 초과하지 아니하면, 각 반도체 제조 설비들(130a-130n)에는 이상이 없는 것으로 판별되어 공정 진행이 계속된다. 이와 달리, 가령 반도체 제조 설비(130a)의 공정 파라미터 데이터가 기준 범위를 초과하게 되면, 호스트 컴퓨터(110)는 해당 반도체 제조 설비(130a)를 인터락시켜 공정 진행을 정지시키고, 경고를 발생하게 한다.
일례로, 반도체 제조 설비(130a)의 공정 진행 조건의 셋업에 필요한 인풋 파라미터 차이가 발생하여 반도체 제품의 품질에 영향을 미치지 않는 단순 정지가 발생한 경우 그 반도체 제조 설비(130a)는 가동이 정지되고 경고등 점멸과 같은 경고가 발생한다(S300). 반도체 제조 설비(130a)의 가동이 정지되면 호스트 컴퓨터 (110)에 저장된 큐어 레시피가 정지된 반도체 제조 설비(130a)를 제어하는 설비 서버(120a)로 다운로딩된다. 설비 서버(120a)로 다운로딩된 큐어 레시피는 반도체 제조 설비(130a)의 가동 정지시킨 원인을 치유하여 반도체 제조 설비(130a)를 재가동시킨다(S400). 즉, 큐어 레시피는 공정 진행 조건 셋업을 위해 필요한 설비의 인풋 파라미터를 수정하여 가동 정지된 반도체 제조 설비(120a)의 가동을 재개시킨다(S500).
가동 정지된 반도체 제조 설비(120a)의 가동이 재개되면 반도체 제조 설비(120a)의 가동 정지 원인 및 이 문제점을 조치한 이벤트(event)가 호스트 컴퓨터(110)에 전달되고, 이벤트를 전달받은 호스트 컴퓨터(110)는 이를 저장하고 분석한다(S600). 상술한 바와 같은 무인 자동화 모드 사용에 대한 히스토리(history)를 정기 또는 부정기적으로 점검함으로써 사후 추가 조치를 용이하게 실행할 수 있게 한다. 그럼으로써, 추가적인 설비 관리 및 품질 관리를 할 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 반도체 제품의 품질에 영향을 미치지 않는 단순 정지에 대해서는 호스트 컴퓨터(110)에 사전 준비된 큐어 레시피를 이용한 반도체 제조 설비군(130)의 페일오버(failover, 장애극복)를 통해 시스템(100)의 중단없는 가동이 실현된다. 그리고, 이러한 일련의 무인 자동화 모드는 현장 작업자의 여건에 따라 필요시 선택할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 그리고, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 반도체 설비에서 에러 혹은 인터록 발생시 설비 자체적으로 사전 프로그래밍한 진단 시스템에 의해 진단후 설비 자체적으로 문제점을 수정하고 설비를 재가동케 하는 페일오버(장애극복) 시스템이 구현된다. 이에 따라, 생산 가동 로스를 예방하고 무인 자동화 생산시 생산 효율을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.

Claims (20)

  1. 반도체 공정이 진행되는 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군;
    상기 반도체 설비들 각각과 통신 가능하게 연결되어 상기 반도체 제조 설비들의 가동에 필요한 공정 파라미터 데이터들을 주고받는 설비 서버들로 이루어진 설비 서버군;
    상기 설비 서버군과 통신 가능하게 연결되어 상기 설비 서버군을 통해 상기 반도체 제조 설비들의 가동에 필요한 공정 파라미터 데이터들을 주고받는 호스트 컴퓨터; 및
    상기 호스트 컴퓨터와 통신 가능하게 연결되어 상기 반도체 공정과 관련된 정보를 제공하는 사용자 인터페이스 컴퓨터를 포함하고,
    상기 호스트 컴퓨터는, 상기 반도체 제조 설비군에서 어느 하나 또는 하나 이상의 반도체 제조 설비가 소정의 장애에 의해 가동 정지하는 경우 상기 소정의 장애를 극복하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 자동으로 재가동시키는 큐어 레시피를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 큐어 레시피는 상기 반도체 제조 설비들 모두에 공통적으로 적용가능하거나 또는 상기 반도체 제조 설비별로 적용가능한 것을 특징으로 하는 반도체 설비 의 페일오버 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 큐어 레시피는 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 공정 진행 조건 셋업을 위해 필요한 인풋 파라미터를 수정시키는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 호스트 컴퓨터는 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 자동으로 재가동시킨 이벤트를 저장하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 호스트 컴퓨터는 상기 설비 서버들을 통해 상기 반도체 제조 설비들의 공정 파라미터 데이터들을 실시간으로 수신하고, 수신된 공정 파라미터 데이터들을 사전에 저장된 기준 범위의 초과 여부를 판별하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 큐어 레시피는 상기 반도체 공정 진행 과정, 상기 반도체 공정 진행 이전 과정, 및 상기 반도체 공정 진행 이후 과정 중에서 어느 하나 또는 하나 이상의 과정에서 동작하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 시스템.
  7. 반도체 제조 설비군 중 어느 하나 또는 하나 이상의 반도체 제조 설비에서 반도체 공정 조건을 만족하지 않은 경우 상기 반도체 공정 조건에 만족되지 아니한 반도체 제조 설비의 가동을 정지시키는 단계;
    상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계; 및
    상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 큐어 레시피는 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 모든 반도체 제조 설비들에 공통적으로 적용되거나 또는 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 반도체 제조 설비들 각각에 독립적으로 적용되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계는, 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 각각의 반도체 제조 설비 들을 각각 제어하는 설비 서버들로 이루어진 설비 서버군이 상기 호스트 컴퓨터와 통신 가능하게 연결되어 상기 호스트 컴퓨터로부터 상기 큐어 레시피를 다운로딩받는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계와, 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계 중에서 어느 하나 또는 모두는 자동적으로 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  11. 제7항에 있어서,
    상기 반도체 제조 설비의 가동을 정지시키는 단계는, 상기 반도체 공정 진행 도중 과정과 상기 반도체 공정 진행 이전의 과정 및 상기 반도체 공정 진행 이후의 과정 중에서 어느 하나 또는 하나 이상의 과정에서 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계는, 상기 반도체 공정 진행 도중 과정과 상기 반도체 공정 진행 이전의 과정 및 상기 반도체 공정 진행 이후의 과정 중에서 어느 하나 또는 하나 이상의 과정에서 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  13. 제7항에 있어서,
    상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계 이후에, 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시킨 이벤트를 상기 호스트 컴퓨터에 보고하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계 이후에, 상기 호스트 컴퓨터가 상기 이벤트를 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  15. 반도체 제조 설비에서 반도체 공정 조건을 만족하지 않은 경우 상기 반도체 제조 설비의 가동을 정지시키는 단계;
    상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레 시피가 접근하는 단계;
    상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계;
    상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시킨 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 전달하는 단계; 및
    상기 호스트 컴퓨터에 전달된 정보를 저장하는 단계;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 반도체 제조 설비에서 반도체 공정 조건을 만족하지 않은 경우 상기 반도체 제조 설비의 가동을 정지시키는 단계는, 상기 반도체 공정 진행 도중 과정과 상기 반도체 공정 진행 이전의 과정 및 상기 반도체 공정 진행 이후의 과정 중에서 어느 하나 또는 하나 이상의 과정에서 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계는, 상기 반도체 공정 진행 도중 과정과 상기 반도체 공정 진행 이전의 과정 및 상기 반도체 공정 진행 이후의 과정 중에서 어느 하나 또는 하나 이상의 과정에서 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 가동 정지된 반도체 제조 설비로 호스트 컴퓨터에 사전 저장된 큐어 레시피가 접근하는 단계와, 상기 큐어 레시피가 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비의 가동에 필요한 인풋 파라미터를 수정하여 상기 가동 정지된 반도체 제조 설비를 재가동시키는 단계 중에서 어느 하나 또는 모두는 자동적으로 진행되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  19. 제15항에 있어서,
    상기 반도체 제조 설비는 각 반도체 단위 공정을 수행하는 복수대의 반도체 제조 설비들로 이루어진 반도체 제조 설비군을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 큐어 레시피는 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 모든 반도체 제조 설비들에 공통적으로 적용되거나 또는 상기 반도체 제조 설비군을 이루는 반도체 제조 설비들 각각에 독립적으로 적용되는 것을 특징으로 하는 반도체 설비의 페일오버 방법.
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