JP2000021701A - 半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法 - Google Patents

半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 異常が発生したユニットを実時間で把握して
正常工程過程から迅速に隔離させ、製品の全体的な生産
效率を向上させる半導体製造設備管理システムの設備ユ
ニット状態管理方法を提供する。 【解決手段】 設備から各ユニットの可動状態データを
受信する段階（Ｓ１０）と、ユニットに該当する基準デ
ータを検索する段階（Ｓ２０）と、可動状態データと基
準データを比較してユニットの中に可動状態データが基
準データから離脱したユニットがあるか否かを判断する
段階（Ｓ３０）と、可動状態データが基準データから離
脱したユニットがないとＳ１０に進行し、可動状態デー
タが基準データから離脱したユニットがあると、当該ユ
ニットの変数ＩＤキー値を変更する段階（Ｓ４０）と、
変数ＩＤを所定のユニット制御メッセージに保存した
後、ユニット制御メッセージを設備にダウンロードして
ユニットの可動状態を変更する段階（Ｓ５０）とで行わ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造設備管理
システムの設備ユニット状態管理方法に関し、より詳細
には、所定のユニット状態監視モジュールを通して設備
に附属されたユニットの異常有無が実時間で把握される
ようにすることにより、異常が発生した特定ユニットを
正常状態のユニットから迅速に隔離して運用できるよう
にする半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態
管理方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体素子の製造には高い精密
性が要求される。これによって、通常の半導体生産ライ
ンでは情密加工が可能な高機能の設備を配置して大部分
の半導体素子製造工程を実行し、作業者は各設備の動作
状況を所定の半導体製造設備管理システムを用いて観察
することによりライン作業効率の向上を図っている。
【０００３】図４は従来の半導体製造管理システムの配
置形状を概略的に示している。図４に示されるように、
生産ライン内には工程を実行する設備３が配置され、そ
の設備３にはロット１０が投入されて該当工程が進行さ
れる。この時、作業者は設備３とオンラインで連結され
たＯ／Ｉ ＰＣ(operator interface PC)２を通して設備
３の作動状況を観察する。
【０００４】ここで、設備３は設備サーバー(図示せず)
を通してホスト１とオンラインで連結され、ホスト１は
Ｏ／Ｉ ＰＣ２とオンラインで連結される。この時、作
業者がＯ／Ｉ ＰＣ２を通してホスト１に生産基礎デー
タ、例えば、対象ロットのＩＤや工程が進行される設備
ＩＤ等の設定を入力すると、ホスト１はその入力された
生産基礎データに基づいて自身のデータベースを検索し
て当該ロット１０に進行される工程条件データを算出す
る。
【０００５】以後、作業者は前記工程条件データを確認
した後、工程開始(または工程終了)命令を入力して設備
３にロット１０を迅速にトラックイン／トラックアウト
させることにより該当工程を進行する。この時、設備３
は自身に附属された多数個のユニット、例えば、ローデ
ィング／アンローディングポート(図示せず)、チャンバ
４等を適切に可動させることにより上述した工程条件を
実行する。
【０００６】ここで、作業者は上述したＯ／Ｉ ＰＣ２
を通して設備３の動作状況を観察して設備３に附属され
た各ユニットの状態を継続して把握し、特定ユニット、
例えば、上述したチャンバ４の中で一部に異常が発生す
ると、設備３をすぐオフにして全体工程を中止させる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の半導体
製造設備管理システムでは、設備に附属された多数のユ
ニットの中でいくつかのユニットでだけ異常が発生し他
のユニットは正常に可動する場合、作業者はその異常発
生ユニットを個別に実時間で把握できないことにより、
異常が発生したユニットを正常な工程過程から迅速に隔
離させることが不可能であり、また、異常が発生したユ
ニットに製品がローディングされる場合があった。ま
た、作業者によりユニットの異常が発見されても一部の
異常発生ユニットを修理するために全体設備をオフにし
なければならないため製品の全体的な生産効率が低減す
るという問題があった。
【０００８】したがって、本発明はこのような問題に着
眼して案出されたもので、その目的は、ホストに所定の
ユニット状態監視モジュールを具備し、異常が発生した
ユニットを実時間で把握した後、それを正常工程過程か
ら迅速に隔離させることにある。
【０００９】本発明の他の目的は、ユニット状態監視モ
ジュールを用いて、異常が発生したユニットだけを個別
にオフにして異常発生ユニットと正常ユニットが隔離し
て運用されるようにすることにより、全体設備がオフに
なることを防止し、製品の全体的な生産効率を顕著に向
上させることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方
法は、設備から各ユニットの可動状態データを受信する
段階と、ユニットに該当する基準データを検索する段階
と、可動状態データと基準データとを比較して可動状態
データが基準データから逸脱したユニットがユニットの
中にあるか否かを判断する段階と、可動状態データが基
準データから逸脱したユニットがユニットの中にない
と、基準データを検索する段階に進行して、可動状態デ
ータが基準データから逸脱したユニットがユニットの中
にあると、当該ユニットの変数ＩＤキー値を変更する段
階と、変数ＩＤを所定ユニット制御メッセージに保存し
た後、ユニット制御メッセージを設備にダウンロードし
てユニットの可動状態を変更する段階とを含む。
【００１１】本発明の請求項２記載の半導体製造設備管
理システムの設備ユニット状態管理方法によると、ユニ
ット制御メッセージは、ストリームファンクションメッ
セージ(stream function message)である。本発明の請
求項３記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニッ
ト状態管理方法によると、ユニット制御メッセージのス
トリームファンクション形態は、Ｓ１Ｆ１２である。本
発明の請求項４記載の半導体製造設備管理システムの設
備ユニット状態管理方法によると、変数ＩＤは、ＥＣＩ
Ｄ(equipment constant ID)である。
【００１２】本発明の請求項５記載の半導体製造設備管
理システムの設備ユニット状態管理方法によると、変数
ＩＤを所定のユニット制御メッセージに保存してダウン
ロードする段階後、所定のアラームメッセージを設備に
ダウンロードする段階と、設備からアラームが発生した
かを判断する段階と、設備からアラームが発生しなかっ
た場合は基準データを検索する段階に進行し、設備から
アラームが発生した場合には所定の警告メッセージを設
備にダウンロードする段階とをさらに含む。
【００１３】本発明の請求項６記載の半導体製造設備管
理システムの設備ユニット状態管理方法によると、アラ
ームメッセージ及び警告メッセージは、ストリームファ
ンクションメッセージである。
【００１４】本発明の請求項７記載の半導体製造設備管
理システムの設備ユニット状態管理方法によると、アラ
ームメッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ
２Ｆ４１である。
【００１５】本発明の請求項８記載の半導体製造設備管
理システムの設備ユニット状態管理方法によると、警告
メッセージのストリームファンクション形態は、Ｓ１０
Ｆ３またはＳ１０Ｆ５である。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明によ
る半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理
方法について詳細に説明する。図１は本発明の複数の実
施例による半導体製造設備管理システムの配置形状を概
略的に示すブロック図である。 (第１実施例)図１に示されるように、ホスト１には設備
サーバー(図示せず)を通して設備３からアップロードさ
れる設備３の附属ユニットの可動状態データを受信する
ユニット状態監視モジュール２０が具備される。ここ
で、作業者はユニット状態監視モジュール２０を設置す
る時、ユニット状態監視モジュール２０と対応する設備
３にも適切な報告機能を附与することにより、設備３の
各ユニット別可動状態がユニット状態監視モジュール２
０に実時間で報告されるようにする。
【００１７】一方、前記ユニット状態監視モジュール２
０はホスト１に保存された基準データを参照し、ユニッ
トの可動状態を継続して監視してこれらの異常有無を実
時間で把握することにより、異常が発生したユニットは
正常な他のユニットから迅速に隔離されてその可動状態
がオフ状態に変更される。
【００１８】ここで、特定ユニット、例えば、第１チャ
ンバ４ａで異常が発生した場合、ユニット状態監視モジ
ュール２０はそれを制御してオフ状態に変更することに
より、第１チャンバ４ａの運用を他の正常のチャンバで
ある第２チャンバ４ｂ及び第３チャンバ４ｃの運用から
隔離させる。設備３は全体がオフにされず第１チャンバ
４ａだけをオフ状態で維持した状態でも他の第２チャン
バ４ｂ及び第３チャンバ４ｃを用いて半導体製造工程が
進行できることにより生産性が顕著に向上する。
【００１９】図２は本発明の第１実施例による半導体製
造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法を順次
的に示している。図２に示されるように、ユニット状態
監視モジュール２０は、設備３から継続してアップロー
ドされる各ユニット別可動状態データを実時間で受信す
る(Ｓ１０段階)。これによって、設備３に附属された各
ユニットの可動状態はユニット状態監視モジュール２０
により迅速に把握される。
【００２０】次に、ユニット状態監視モジュール２０
は、ホスト１のデータベース領域に保存された設備３の
各ユニット別基準データを検索し、受信された可動状態
データを発生させた各ユニットの中にその可動状態デー
タが上述した基準データから逸脱したユニットがあるか
否かを判断する(Ｓ２０、Ｓ３０段階)。
【００２１】この時、各ユニットの可動状態データが基
準データ内にあり、設備のユニットの中で基準データか
ら逸脱した可動状態データを発生させたユニットがない
と判定されると、ユニット状態監視モジュール２０はＳ
１０段階に進行して継続して上述した可動状態データを
受信する。
【００２２】反面、各ユニットの可動状態データの中で
一部が基準データ内になく、設備ユニットの中で基準デ
ータから逸脱した可動状態データを発生させたユニット
があると判定されると、ユニット状態監視モジュール２
０はその結果をホスト１に伝達し、ホスト１は、すぐに
該当するユニットの変数ＩＤキー値をオフ状態に変更す
る(Ｓ４０段階)。これによって異常が発生したユニット
は正常状態のユニットから隔離可能な条件を具備するよ
うになる。例えば、第１チャンバ４ａの基準データに包
含された基準可動時間が１００００時間であるのに対
し、第１チャンバ４ａから受信された可動状態データに
包含された可動時間は１００１時間であると把握され
て、第１チャンバ４ａの可動状態データがその基準デー
タから逸脱したと判定されると、ユニット状態監視モジ
ュール２０は第１チャンバ４ａに異常状況が発生したと
判断して、その判断結果をホスト１に伝達する。これに
よって、ホスト１は第１チャンバ４ａの変数ＩＤキー値
をオフ状態に変更することにより、第１チャンバ４ａは
他の正常状態のチャンバである第２チャンバ４ｂ、第３
チャンバ４ｃから迅速に隔離される。ここでホスト１が
変更する変数ＩＤは、チャンバ４の可動状態を一括的に
変更させることができるＥＣＩＤであることが望まし
い。
【００２３】Ｓ４０段階後、ユニット状態監視モジュー
ル２０は上述した過程を通してキー値が変更された変数
ＩＤをホスト１から伝達を受けユニット制御メッセージ
に保存した後設備３にダウンロードする(Ｓ５０段階)。
これによって、設備３は該当ユニットを迅速にオフにす
ることができる。
【００２４】この時、ユニット状態監視モジュール２０
からダウンロードされるユニット制御メッセージは通信
伝達が円滑なストリームファンクションメッセージで、
ユニット制御メッセージのストリームファンクション形
態は標準化規格に適切なＳ１Ｆ１２であることが望まし
い。例えば、ユニット状態監視モジュール２０が上述し
た過程を通して第１チャンバ４ａの異常を発見した後、
第１チャンバ４ａをオフさせてそれを他の正常状態のチ
ャンバ４ｂ、４ｃから隔離させようとすると、ユニット
状態監視モジュール２０はホスト１を通してキー値がオ
フ状態に変更された変数ＩＤ、即ち、ＥＣＩＤの伝達を
受けた後これをストリームファンクションメッセージＳ
１Ｆ１２に保存して設備３にダウンロードする。これに
よって、設備３は変更されたＥＣＩＤのキー値によって
第１チャンバ４ａを適切にオフさせることにより、異常
状態の第１チャンバ４ａが正常状態の第２チャンバ４
ｂ、第３チャンバ４ｃから迅速に隔離されるようにす
る。
【００２５】従来の場合、作業者は多数のユニットの中
で異常が発生した個別ユニットを実時間で把握できず、
異常が発生したユニットを正常な工程過程で迅速に隔離
させることが不可能であった。また、異常発生ユニット
に製品がローディングされる場合があった。しかし、本
発明の場合、ホスト１は作業者がいなくてもユニット状
態監視モジュールを通して異常が発生したユニットを実
時間で把握し、それをユニット制御メッセージを通して
正常な工程過程から迅速に隔離することができる。
【００２６】(第２実施例)図３は本発明の第１実施例に
よるＳ５０段階後の半導体製造設備管理システムの設備
ユニット状態管理方法を第２実施例として順次的に示
す。図示されるように、第１実施例のＳ５０段階後にユ
ニット状態監視モジュール２０は警告音を発生させるア
ラームメッセージを設備３にダウンロードして、設備３
がそのアラームメッセージに保存されたリモートコマン
ドに合わせて一定大きさの警告音を発生させるようにす
る(Ｓ６１段階)。このような警告音によって作業者は設
備３の特定ユニットに異常が発生したことを実時間で把
握でき、それを克服するための適切な推後処置を迅速に
行うことが可能である。
【００２７】アラームメッセージは上述したユニット制
御メッセージと同様に通信伝達が円滑なストリームファ
ンクションメッセージであり、アラームメッセージのス
トリームファンクション形態は標準化規格に適切なＳ２
Ｆ４１であることが望ましい。
【００２８】次に、ユニット状態監視モジュール２０は
設備３を継続して観測して設備３からアラームが発生し
たかを判断する(Ｓ６２段階)。この時、設備３からアラ
ームが発生しないと、ユニット状態監視モジュール２０
は通信上に異常があったと判定して、Ｓ６１段階に進行
して上述したアラームメッセージダウンロード過程を継
続して反復する。
【００２９】反面、設備３からアラームが発生した場合
には、ユニット状態監視モジュール２０は次の段階を進
行してテキストを保存している警告メッセージを設備モ
ニタに表示することにより、作業者が異常の発生したユ
ニットを視覚的に確認できるようにする(Ｓ６３段階)。
このような警告メッセージのテキストによって作業者は
異常が発生したユニットのＩＤを即時に把握して上述し
た推後処置を迅速に実行できる。
【００３０】警告メッセージは、上述したユニット制御
メッセージまたはアラームメッセージと同様に通信伝達
が円滑なストリームファンクションメッセージであり、
前記アラームメッセージのストリームファンクション形
態は標準化規格に適切なＳ１０Ｆ３またはＳ１０Ｆ５で
あることが望ましい。このような二つのストリームファ
ンクション形態において、Ｓ１０Ｆ５はＳ１０Ｆ３より
多量のテキストが伝送できる。
【００３１】一方、前記警告メッセージは、単純に上述
した設備モニタだけではなくＯ／ＩＰＣ２にもダウンロ
ードされることによって、作業者が設備３ではないＯ／
ＩＰＣ２の近傍にいる時にもチャンバの異常を迅速に把
握して上述した推後処置を迅速に実行できる。以後、ホ
スト１はユニット状態監視モジュール２０を通して上述
した各段階を継続して反復することにより効率的に全体
の設備を管理する。
【００３２】このように、上述の各実施例ではユニット
状態監視モジュールを通して設備に附属されたユニット
の異常有無を実時間で把握することにより、異常が発生
した特定ユニットを正常状態のユニットから迅速に隔離
して運用できる。また本実施例は生産ライン内に配置さ
れて一定の管理を必要とする多様な半導体製造設備で幅
広く使用することができる。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明による半導体製造設
備管理システムの設備ユニット状態管理方法では、ホス
トに所定のユニット状態監視モジュールを具備し、それ
を通して異常が発生したユニットを実時間で把握し、正
常的な工程過程から迅速に隔離させることにより、製品
の全体的な生産効率を顕著に向上させる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例による半導体製造設備管理シス
テムの配置形状を示すブロック図である。
【図２】本発明の第１実施例による半導体製造設備管理
システムの設備ユニット状態管理方法を示す流れ図であ
る。
【図３】本発明の第２実施例による半導体製造設備管理
システムの設備ユニット状態管理方法を示す流れ図であ
る。
【図４】従来の半導体製造設備管理システムの配置形状
を示すブロック図である。
【符号の説明】
１ ホスト ２ Ｏ／Ｉ ＰＣ ３ 設備 ４ａ 第１チャンバ ４ｂ 第２チャンバ ４ｃ 第３チャンバ １０ ロット ２０ ユニット状態監視モジュール

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 設備から各ユニットの可動状態データを
    受信する段階と、 前記ユニットに該当する基準データを検索する段階と、 前記可動状態データと前記基準データとを比較し、前記
    可動状態データが前記基準データから逸脱したユニット
    が前記ユニットの中にあるか否かを判断する段階と、 前記可動状態データが前記基準データから逸脱したユニ
    ットが前記ユニットの中にないと、基準データを検索す
    る段階に進行し、前記可動状態データが前記基準データ
    から逸脱したユニットが前記ユニットの中にあると、当
    該ユニットの変数ＩＤキー値を変更する段階と、 前記変数ＩＤを所定ユニット制御メッセージに保存した
    後、前記ユニット制御メッセージを前記設備にダウンロ
    ードして前記ユニットの可動状態を変更する段階と、 を含むことを特徴とする半導体製造設備管理システムの
    設備ユニット状態管理方法。
  2. 【請求項２】 前記ユニット制御メッセージは、ストリ
    ームファンクションメッセージであることを特徴とする
    請求項１記載の半導体製造設備管理システムの設備ユニ
    ット状態管理方法。
  3. 【請求項３】 前記ユニット制御メッセージのストリー
    ムファンクション形態は、Ｓ１Ｆ１２であることを特徴
    とする請求項２記載の半導体製造設備管理システムの設
    備ユニット状態管理方法。
  4. 【請求項４】 前記変数ＩＤは、ＥＣＩＤであることを
    特徴とする請求項１記載の半導体製造設備管理システム
    の設備ユニット状態管理方法。
  5. 【請求項５】 前記ユニットの可動状態を変更する段階
    後、所定のアラームメッセージを前記設備にダウンロー
    ドする段階と、 前記設備からアラームが発生したかを判断する段階と、 前記設備からアラームが発生しなかった場合は基準デー
    タを検索する段階に進行し、前記設備からアラームが発
    生した場合は所定の警告メッセージを前記設備にダウン
    ロードする段階と、 をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の半導体製
    造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法。
  6. 【請求項６】 前記アラームメッセージ及び前記警告メ
    ッセージは、ストリームファンクションメッセージであ
    ることを特徴とする請求項５記載の半導体製造設備管理
    システムの設備ユニット状態管理方法。
  7. 【請求項７】 前記アラームメッセージのストリームフ
    ァンクション形態は、Ｓ２Ｆ４１であることを特徴とす
    る請求項６記載の半導体製造設備管理システムのユニッ
    ト状態管理方法。
  8. 【請求項８】 前記警告メッセージのストリームファン
    クション形態は、Ｓ１０Ｆ３またはＳ１０Ｆ５であるこ
    とを特徴とする請求項６記載の半導体製造設備管理シス
    テムの設備ユニット状態管理方法。
JP20043298A 1998-01-14 1998-07-15 半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法 Expired - Lifetime JP4564602B2 (ja)

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