KR19990065483A - 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법 - Google Patents

반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법 Download PDF

Info

Publication number
KR19990065483A
KR19990065483A KR1019980000802A KR19980000802A KR19990065483A KR 19990065483 A KR19990065483 A KR 19990065483A KR 1019980000802 A KR1019980000802 A KR 1019980000802A KR 19980000802 A KR19980000802 A KR 19980000802A KR 19990065483 A KR19990065483 A KR 19990065483A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
unit
facility
message
alarm
units
Prior art date
Application number
KR1019980000802A
Other languages
English (en)
Inventor
조평일
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019980000802A priority Critical patent/KR19990065483A/ko
Priority to TW087108876A priority patent/TW472294B/zh
Priority to JP20043298A priority patent/JP4564602B2/ja
Priority to CN98116733A priority patent/CN1120519C/zh
Priority to US09/146,754 priority patent/US6336055B1/en
Publication of KR19990065483A publication Critical patent/KR19990065483A/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4184—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by fault tolerance, reliability of production system
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31445—Detect changed working conditions, to correct machine load, balance
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 호스트에 소정의 유닛상태 관리모듈을 구비하고, 이를 통해, 이상이 발생된 유닛들을 실시간으로 파악한 후 이들을 정상적인 공정 플로우에서 신속히 격리시킴으로써, 첫째, 이상발생 유닛에 의한 공정사고를 미연에 방지할 수 있으며, 둘째, 제품의 전체적인 생산효율을 현저히 향상시킬 수 있다.

Description

반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법
본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 소정의 유닛상태 감시모듈을 통해 설비에 부속된 유닛들의 이상 유무가 실시간으로 파악되도록 함으로써, 이상이 발생된 특정 유닛들이 정상 상태의 유닛들로부터 신속히 격리·운용될 수 있도록 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하는 데에는 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비를 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.
이와함께, 작업자는 각 설비의 동작상황을 소정의 반도체 제조설비 관리시스템을 통해 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 생산라인내에는 공정을 실행하는 설비(3)가 배치되며, 이러한 설비(3)에는 로트(10)가 투입되어 해당공정들이 진행된다.
이때, 작업자는 설비(3)와 온라인된 O/I PC(Operater Interface PC:2)를 통해 설비(3)의 동작상황을 면밀히 관찰하고 있다.
여기서, 설비(3)는 설비서버(미도시)를 통해 호스트(1)와 온라인으로 연결되며, 이러한 호스트(1)는 O/I PC(2)와 온라인으로 연결된다.
이때, 작업자가 O/I PC(2)를 통해 호스트(1)로 생산기초 데이터, 예컨대, 대상 로트의 아이디, 공정이 진행될 설비 아이디 등을 설정·입력하게 되면, 호스트(1)는 이와 같이 입력된 생산기초 데이터를 토대로 자신의 데이터 베이스를 써치하여 당해 로트(10)에 진행될 적절한 공정조건 데이터를 산출한다.
이후, 작업자는 이러한 공정조건 데이터를 확인한 후 공정 시작(또는 공정 종료) 명령을 입력하여 설비(3)로 로트(10)를 신속히 트랙 인/트랙 아웃 시킴으로써, 해당 공정을 진행한다.
이때, 설비(3)는 자신에게 부속된 다수개의 유닛들, 예컨대, 로딩/언로딩 포트(미도시)들, 챔버(4)들 등을 적절히 가동시킴으로써, 상술한 공정조건을 실행하고 있다.
여기서, 작업자는 상술한 O/I PC(2)를 통해 설비(3)의 동작상황을 면밀히 관찰하여 설비(3)에 부속된 각 유닛들의 상태를 지속적으로 파악하고, 만약 특정 유닛들, 예컨대, 상술한 챔버(4)들 중 일부에 이상이 발생되면, 작업자는 설비(3)를 즉시 오프시켜, 전체공정을 중지시킴으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지하고 있다.
그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조설비 관리시스템에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.
첫째, 설비에 부속된 다수의 유닛들 중 단지 몇 개의 유닛들에서만 이상이 발생되고, 나머지 유닛들은 정상적으로 가동하고 있는 경우, 작업자는 이러한 이상발생 유닛들을 개별적으로 실시간 파악하기가 매우 어려우며, 이에 따라, 이상이 발생된 유닛들을 정상적인 공정 플로우에서 신속히 격리시킬 수 없다.
둘째, 만약, 이상이 발생된 유닛들로 제품이 로딩될 경우, 예측하지 못한 공정사고가 발생될 수 있다.
셋째, 작업자에 의해 유닛의 이상이 발견된다 하더라도, 일부 이상발생 유닛들을 수리하기 위해 전체 설비가 오프되어야 함으로써, 제품의 전체적인 생산효율이 현저히 저감된다.
따라서, 본 발명의 목적은 호스트에 소정의 유닛상태 관리모듈을 구비하고, 이를 통해, 이상이 발생된 유닛들을 실시간으로 파악한 후 이들을 정상의 공정 플로우에서 신속히 격리시킴으로써, 이상발생 유닛에 의한 공정사고를 미연에 방지하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 이러한 유닛상태 감시모듈을 통해 이상발생 유닛만을 개별적으로 오프시켜 이상발생 유닛 및 정상 유닛이 격리·운용되도록 하고, 그 결과, 전체 설비의 오프상황을 미연에 방지함으로써, 제품의 전체적인 생산효율을 현저히 향상시키는 데 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조설비 관리시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조설비 관리시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반도체 제조설비 관리 시스템의 설비 유닛상태 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 설비로부터 각 유닛들의 가동상태 데이터를 수신하는 단계와; 상기 유닛들에 해당하는 기준 데이터를 써치하는 단계와; 상기 가동상태 데이터 및 상기 기준 데이터를 비교하여 상기 유닛들 중 상기 가동상태 데이터가 상기 기준 데이터로부터 이탈한 유닛이 있는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 유닛들 중 상기 가동상태 데이터가 상기 기준 데이터로부터 이탈한 유닛이 없으면, 처음 단계로 진행하고, 상기 유닛들 중 상기 가동상태 데이터가 상기 기준 데이터로부터 이탈한 유닛이 있으면, 당해 유닛의 변수 아이디 키 값을 변경하는 단계와; 상기 변수 아이디를 소정의 유닛 제어 메시지에 실은 후 상기 유닛 제어 메시지를 상기 설비로 다운로드하여 상기 유닛의 가동상태를 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 유닛 제어 메시지는 스트림 펑션 메시지인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 유닛 제어 메시지는 S1F12인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 변수 아이디는 ECID인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 변수 아이디를 소정의 유닛 제어 메시지에 실어 다운로드하는 단계 후에, 소정의 알람 메시지를 상기 설비로 다운로드하는 단계와; 상기 설비로부터 알람이 발생되었는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 설비로부터 알람이 발생되지 않았으면, 처음 단계로 진행하고, 상기 설비로부터 알람이 발생되었으면 소정의 경고 메시지를 상기 설비로 다운로드하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 알람 메시지 및 상기 경고 메시지는 스트림 펑션 메시지인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 알람 메시지는 S2F41인 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 경고 메시지는 S10F3 또는 S10F5인 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명에서는 이상이 발생된 설비를 공정 프로세스로부터 신속히 격리시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2에 도시된 바와 같이, 호스트(1)에는 설비서버를 통해 설비(3)로부터 업로드되는 설비(1) 부속 유닛들의 가동상태 데이터를 수신하는 유닛상태 감시모듈(20)이 구비된다.
여기서, 작업자는 유닛상태 감시모듈(20)을 설치할 때에 이와 대응되는 설비(3)에도 적절한 보고 기능을 부여함으로써, 설비(3)의 각 유닛별 가동상태가 유닛상태 감시모듈(20)로 실시간 보고될 수 있도록 한다.
한편, 이러한 유닛상태 감시모듈(20)은 호스트(1)에 저장된 기준 데이터를 참조하여 유닛들의 가동상태를 지속적으로 감시함으로써, 이들의 이상 유무가 실시간으로 파악될 수 있도록 한다. 이에 따라, 이상이 발생된 유닛은 정상 상태의 나머지 유닛들로부터 신속히 격리되어 그 가동상태가 오프상태로 변경된다.
여기서, 만약 특정 유닛, 예컨대, 챔버 1(4a)에서 이상이 발생된 경우, 유닛상태 감시모듈(20)은 이를 제어하여 그 상태를 오프상태로 변경시킴으로써, 챔버 1(4a)의 운용을 다른 정상의 챔버인 챔버 2(4b), 챔버 3(4c)의 운용과 격리시킨다. 이에 따라, 설비(3)는 전체가 오프되지 않고도, 단지 챔버 1(4a)만을 오프상태로 유지한 상태에서 나머지 챔버 2(4b), 챔버 3(4c)을 통해 반도체 제조공정을 진행할 수 있음으로써, 현저한 생산성 향상을 이룰 수 있다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 먼저, 유닛상태 감시모듈(20)은 설비(3)로부터 지속적으로 업로드되는 각 유닛별 가동상태 데이터를 실시간으로 수신한다(단계 S10). 이에 따라, 설비(3)에 부속된 각 유닛들의 가동상태는 유닛상태 감시모듈(20)에 의해 신속히 파악된다.
이어서, 유닛상태 감시모듈(20)은 호스트(1)의 데이터 베이스 영역에 저장된 설비(3)의 각 유닛별 기준 데이터를 써치하여 수신된 가동상태 데이터를 발생시킨 각 유닛들 중 그 가동상태 데이터가 상술한 기준 데이터로부터 이탈된 유닛이 있는가의 여부를 판단한다(단계 S20,S30).
이때, 각 유닛들의 가동상태 데이터가 기준 데이터내에 있어 설비의 유닛들 중 기준 데이터로부터 이탈된 가동상태 데이터를 발생시킨 유닛이 없는 것으로 판정되면, 유닛상태 감시모듈(20)은 플로우를 처음 단계로 진행하여 상술한 가동상태 데이터 수신을 지속적으로 수행한다.
반면에, 각 유닛들의 가동상태 데이터 중 일부가 기준 데이터내에 없어 설비의 유닛들 중 기준 데이터로부터 이탈된 가동상태 데이터를 발생시킨 유닛이 있는 것으로 판정되면, 유닛상태 감시모듈(20)은 이러한 결과를 호스트(1)로 전달하고, 호스트(1)는 그 즉시 이에 해당하는 유닛의 변수 아이디 키 값을 오프 상태로 변경한다(단계 S40). 이에 따라, 이상이 발생된 유닛은 정상 상태의 유닛과 격리될 수 있는 조건을 갖춘다. 일례로, 챔버 1(4a)의 기준 데이터에 포함된 기준 가동시간이 10000시간인데 반해, 챔버 1(4a)로부터 수신된 가동상태 데이터에 포함된 이의 가동시간이 10001시간인 것으로 파악되어, 챔버 1(4a)의 가동상태 데이터가 이의 기준 데이터로부터 이탈된 것으로 판정되면, 유닛상태 감시모듈(20)은 챔버 1(4a)에 이상 상황이 발생된 것으로 판단하고, 그 판단결과를 호스트(1)로 전달한다. 이에 따라, 호스트(1)는 챔버 1(4a)의 변수 아이디 키 값을 오프 상태로 변경함으로써, 챔버 1(4a)이 나머지 정상 상태의 챔버인 챔버 2(4b), 챔버 3(4c)과 신속히 격리될 수 있도록 한다.
여기서, 바람직하게, 호스트(1)가 변경하는 변수 아이디는 챔버(4)의 가동상태를 일괄적으로 변경시킬 수 있는 ECID(Equipment Constant ID)이다.
이러한 단계 S40 후, 유닛상태 감시모듈(20)은 상술한 과정을 통해 키 값이 변경된 변수 아이디를 호스트(1)로부터 전달받아 이를 유닛 제어 메시지에 실은 후 설비(3)로 다운로드한다(단계 S50). 이에 따라, 설비(3)는 해당 유닛을 신속히 오프시킬 수 있다.
이때, 본 발명의 특징에 따르면, 유닛상태 감시모듈(20)로부터 다운로드되는 유닛 제어 메시지는 통신 전달이 원할한 스트림 펑션 메시지(Stream function message)이다.
여기서, 바람직하게, 유닛 제어 메시지의 스트림 펑션 형태는 표준화 규격에 적절한 S1F12이다. 일례로, 유닛상태 감시모듈(20)이 상술한 과정을 통해 챔버 1(4a)의 이상을 발견한 후, 챔버 1(4a)을 오프시켜 이를 다른 정상 상태의 챔버(4b,4c)들과 격리시키고자 하면, 유닛상태 감시모듈(20)은 호스트(1)를 통해 키 값이 오프 상태로 변경된 변수 아이디 ECID를 전달 받은 후 이를 스트림 펑션 메시지 S1F12에 실어 설비(3)로 다운로드한다. 이에 따라, 설비(3)는 변경된 ECID의 키 값에 따라 챔버 1(4a)을 적절히 오프 시킴으로써, 이상 상태의 챔버 1(4a)이 정상 상태의 챔버 2(4b), 챔버 3(4c)과 신속히 격리될 수 있도록 한다.
종래의 경우, 작업자는 다수의 유닛들 중에서 이상이 발생된 개별 유닛들을 실시간으로 파악하기가 매우 어려웠기 때문에, 작업자는 이상이 발생된 유닛을 정상적인 공정 플로우에서 신속히 격리시킬 수 없었다. 더욱이, 이러한 이상발생 유닛들로 제품이 로딩될 경우, 예측하지 못한 공정사고가 발생될 수 있었다.
그러나, 본 발명의 경우, 호스트(1)는 작업자 없이도, 유닛상태 감시모듈(20)을 통해 이상이 발생된 유닛들을 실시간으로 파악하여 이들을 유닛 제어 메시지를 통해 정상적인 공정 플로우에서 신속히 격리시킬 수 있어, 이상발생 유닛에 의한 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 상술한 단계 S50 후에 유닛상태 감시모듈(20)은 경고음 발생을 유도하는 알람 메시지를 설비(3)로 다운로드하여, 설비(3)가 이러한 알람 메시지에 실린 리모트 커맨드(Remote command)에 맞추어 일정 크기의 경고음을 발생시킬 수 있도록 한다(단계 S61). 이러한 경고음에 따라, 작업자는 설비(3)의 특정 유닛에 이상이 발생했음을 실시간으로 파악할 수 있으며, 차후에 이의 극복을 위한 적절한 추후조치를 신속히 취할 수 있다.
이때, 바람직하게, 알람 메시지는 상술한 유닛 제어 메시지와 마찬가지로 통신 전달이 원할한 스트림 펑션 메시지이다.
여기서, 바람직하게, 알람 메시지의 스트림 펑션 형태는 표준화 규격에 적절한 S2F41이다.
한편, 유닛상태 감시모듈(20)은 설비(3)를 지속적으로 관측하여 설비(3)로부터 알람이 발생되었는가의 여부를 판단한다(단계 S62).
이때, 설비(3)로부터 알람이 발생되지 않았으면, 유닛상태 감시모듈(20)은 통신상에 이상이 있었던 것으로 판정하고, 플로우를 단계 S61로 진행하여 상술한 알람 메시지 다운로드 과정을 지속적으로 반복한다.
반면에, 설비(3)로부터 알람이 발생되었으면, 유닛상태 감시모듈(20)은 차기 단계를 진행하여, 텍스트를 실은 경고 메시지를 설비 모니터로 다운로드함으로써, 작업자가 이상이 발생된 유닛을 시각적으로 확인할 수 있도록 한다(단계 S63). 이러한 경고 메시지의 텍스트에 따라, 작업자는 이상이 발생된 유닛의 아이디를 즉시 파악하여 상술한 추후처리 과정을 신속히 수행할 수 있다.
이때, 바람직하게, 경고 메시지는 상술한 유닛 제어 메시지 또는 알람 메시지와 마찬가지로 통신 전달이 원할한 스트림 펑션 메시지이다.
여기서, 바람직하게, 알람 메시지의 스트림 펑션 형태는 표준화 규격에 적절한 S10F3 또는 S10F5이다. 이러한 두 가지의 스트림 펑션 형태에 있어서, S10F5는 S10F3보다 더 많은 내용의 텍스트 문구를 전송할 수 있는 효과를 제공한다.
한편, 이러한 경고 메시지는 단지 상술한 설비 모니터 뿐만 아니라, O/I PC(2)로도 다운로드될 수 있다. 이에 따라, 작업자가 혹시 설비(3)가 아닌 O/I PC 근처에 있더라도, 작업자는 챔버의 이상을 신속히 파악하여 상술한 추후처리 과정을 신속히 수행할 수 있다.
이 후, 호스트(1)는 유닛상태 감시모듈(20)을 통해 상술한 각 단계를 지속적으로 반복함으로써, 전체적인 설비관리를 효율적으로 달성한다.
이와 같이, 본 발명에서는 유닛상태 감시모듈을 통해 설비에 부속된 유닛들의 이상 유무를 실시간 파악함으로써, 이상이 발생된 특정 유닛들을 정상 상태의 유닛들로부터 신속히 격리·운용할 수 있다.
이러한 본 발명은 생산라인내에 배치되어 일정한 관리를 필요로하는 다양한 반도체 제조설비에서 두루 유용한 효과를 나타낸다.
그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법에서는 호스트에 소정의 유닛상태 관리모듈을 구비하고, 이를 통해, 이상이 발생된 유닛들을 실시간으로 파악한 후 이들을 정상적인 공정 플로우에서 신속히 격리시킴으로써, 첫째, 이상발생 유닛에 의한 공정사고를 미연에 방지할 수 있으며, 둘째, 제품의 전체적인 생산효율을 현저히 향상시킬 수 있다.

Claims (8)

  1. 설비로부터 각 유닛들의 가동상태 데이터를 수신하는 단계와;
    상기 유닛들에 해당하는 기준 데이터를 써치하는 단계와;
    상기 가동상태 데이터 및 상기 기준 데이터를 비교하여 상기 유닛들 중 상기 가동상태 데이터가 상기 기준 데이터로부터 이탈한 유닛이 있는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 유닛들 중 상기 가동상태 데이터가 상기 기준 데이터로부터 이탈한 유닛이 없으면, 처음 단계로 진행하고, 상기 유닛들 중 상기 가동상태 데이터가 상기 기준 데이터로부터 이탈한 유닛이 있으면, 당해 유닛의 변수 아이디 키 값을 변경하는 단계와;
    상기 변수 아이디를 소정의 유닛 제어 메시지에 실은 후 상기 유닛 제어 메시지를 상기 설비로 다운로드하여 상기 유닛의 가동상태를 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 유닛 제어 메시지는 스트림 펑션 메시지인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 유닛 제어 메시지는 S1F12인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 변수 아이디는 ECID인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 변수 아이디를 소정의 유닛 제어 메시지에 실어 다운로드하는 단계 후에,
    소정의 알람 메시지를 상기 설비로 다운로드하는 단계와;
    상기 설비로부터 알람이 발생되었는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 설비로부터 알람이 발생되지 않았으면, 처음 단계로 진행하고, 상기 설비로부터 알람이 발생되었으면 소정의 경고 메시지를 상기 설비로 다운로드하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 알람 메시지 및 상기 경고 메시지는 스트림 펑션 메시지인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 알람 메시지는 S2F41인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 경고 메시지는 S10F3 또는 S10F5인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
KR1019980000802A 1998-01-14 1998-01-14 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법 KR19990065483A (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980000802A KR19990065483A (ko) 1998-01-14 1998-01-14 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법
TW087108876A TW472294B (en) 1998-01-14 1998-06-04 Method for controlling operating states of units of an equipment arranged in a system for controlling semiconductor fabrication equipments
JP20043298A JP4564602B2 (ja) 1998-01-14 1998-07-15 半導体製造設備管理システムの設備ユニット状態管理方法
CN98116733A CN1120519C (zh) 1998-01-14 1998-07-30 半导体制造设备控制系统中配置设备单元工作状态控制法
US09/146,754 US6336055B1 (en) 1998-01-14 1998-09-04 Method for controlling unit operating states of semiconductor fabricating equipment arranged in a processing line

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019980000802A KR19990065483A (ko) 1998-01-14 1998-01-14 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR19990065483A true KR19990065483A (ko) 1999-08-05

Family

ID=19531423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019980000802A KR19990065483A (ko) 1998-01-14 1998-01-14 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6336055B1 (ko)
JP (1) JP4564602B2 (ko)
KR (1) KR19990065483A (ko)
CN (1) CN1120519C (ko)
TW (1) TW472294B (ko)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6556949B1 (en) * 1999-05-18 2003-04-29 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing techniques
KR100510066B1 (ko) * 1999-06-30 2005-08-26 주식회사 하이닉스반도체 반도체 생산라인의 스토커 오류 감시 방법
US6532555B1 (en) * 1999-10-29 2003-03-11 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for integration of real-time tool data and in-line metrology for fault detection in an advanced process control (APC) framework
US6546508B1 (en) * 1999-10-29 2003-04-08 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for fault detection of a processing tool in an advanced process control (APC) framework
EP1279075B1 (en) * 2000-04-20 2008-03-26 Cogiscan Inc. Automated manufacturing control system
US6952656B1 (en) 2000-04-28 2005-10-04 Applied Materials, Inc. Wafer fabrication data acquisition and management systems
US6725402B1 (en) * 2000-07-31 2004-04-20 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for fault detection of a processing tool and control thereof using an advanced process control (APC) framework
US6954883B1 (en) * 2002-01-11 2005-10-11 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for performing fault detection using data from a database
US8359494B2 (en) * 2002-12-18 2013-01-22 Globalfoundries Inc. Parallel fault detection
US7099729B2 (en) * 2004-02-20 2006-08-29 Powerchip Semiconductor Corp. Semiconductor process and yield analysis integrated real-time management method
WO2012131423A1 (en) * 2011-03-31 2012-10-04 Abb Research Ltd Cane preparation unit and method of operation
CN102749889B (zh) * 2011-04-20 2014-04-02 陈启政 生产绩效的实时改善方法
CN103399564B (zh) * 2013-08-15 2016-02-24 莱芜钢铁集团电子有限公司 设备的控制方法及装置
CN106125682B (zh) * 2016-07-18 2019-03-12 北京七星华创电子股份有限公司 半导体设备工艺运行状态的管理及管理装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5469361A (en) * 1991-08-08 1995-11-21 The Board Of Regents Acting For And On Behalf Of The University Of Michigan Generic cell controlling method and apparatus for computer integrated manufacturing system
JPH07129235A (ja) * 1992-06-25 1995-05-19 Akita Denshi Kk 設備稼働管理システム
US5642296A (en) * 1993-07-29 1997-06-24 Texas Instruments Incorporated Method of diagnosing malfunctions in semiconductor manufacturing equipment
JPH0766096A (ja) * 1993-08-26 1995-03-10 Toshiba Corp 半導体製造装置の管理装置
JP3272143B2 (ja) * 1994-04-13 2002-04-08 株式会社東芝 半導体製造装置管理方法とそのシステム
US5591299A (en) * 1995-04-28 1997-01-07 Advanced Micro Devices, Inc. System for providing integrated monitoring, control and diagnostics functions for semiconductor spray process tools
US5841661A (en) * 1996-08-26 1998-11-24 Seh America, Inc. Wafer image (ADS) vision system to automated dimensioning equipment (ADE) communication interface system
US5943230A (en) * 1996-12-19 1999-08-24 Applied Materials, Inc. Computer-implemented inter-chamber synchronization in a multiple chamber substrate processing system
US5862054A (en) * 1997-02-20 1999-01-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Process monitoring system for real time statistical process control
US6161054A (en) * 1997-09-22 2000-12-12 On-Line Technologies, Inc. Cell control method and apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP4564602B2 (ja) 2010-10-20
US6336055B1 (en) 2002-01-01
TW472294B (en) 2002-01-11
JP2000021701A (ja) 2000-01-21
CN1223456A (zh) 1999-07-21
CN1120519C (zh) 2003-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6226563B1 (en) Method for controlling unit process conditions of semiconductor fabricating equipment arranged in a processing line
KR19990065483A (ko) 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법
KR100258841B1 (ko) 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법
KR100292028B1 (ko) 반도체 장비의 실시간 제어방법
KR20010029773A (ko) 반도체 프로세싱 방법 및 그 장치
KR19990068948A (ko) 반도체 공정 데이터 통합 관리 방법
US6216054B1 (en) Method for controlling preventative maintenance cycles of semiconductor fabricating equipment arranged in a processing line
US20070083282A1 (en) Failover system and method for semiconductor manufacturing equipment
EP3555718A1 (en) Method, monitoring node and computer program of monitoring usage of a power tool
KR100269941B1 (ko) 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태관리방법
KR20000001012A (ko) 반도체 제조설비 관리시스템의 설비가동상태 관리방법
KR20000001413A (ko) 반도체 제조설비 관리시스템의 공정 파라메타 관리방법
KR20060125997A (ko) 공정 시간 비교에 의한 반도체 공정 오류 제어 방법
KR101021981B1 (ko) 반도체 제조 설비의 알람 처리 장치 및 알람 설정 방법
KR19990026068A (ko) 반도체 제조용 설비의 관리방법
KR19990066155A (ko) 멀티 챔버를 갖는 반도체 설비 관리 방법
KR20000007520A (ko) 반도체 제조설비 관리 시스템의 설비 사전예방유지 주기의관리방법
KR100481299B1 (ko) 반도체 제조용 설비의 정보 데이터 제어방법
KR100450129B1 (ko) 반도체설비 시스템
KR100483432B1 (ko) 핫백업을이용한반도체제조설비관리시스템
KR19990026500A (ko) 반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법
KR20030069268A (ko) 반도체 제조용 컴퓨터 네트워크 시스템 및 그 제어 방법
KR20070058086A (ko) 반도체 제조설비의 공정 파라메타 저장방법
KR19980076611A (ko) 반도체 제조용 설비의 관리방법
KR20060054646A (ko) 반도체 제조 시스템의 자기진단 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application