KR100269941B1

KR100269941B1 - 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태관리방법

Info

Publication number: KR100269941B1
Application number: KR1019980000801A
Authority: KR
Inventors: 김성근; 박종화
Original assignee: 윤종용; 삼성전자주식회사
Priority date: 1998-01-14
Filing date: 1998-01-14
Publication date: 2001-01-15
Also published as: CN1223466A; JP3998329B2; TW408261B; JPH11212625A; KR19990065482A; US6308112B1; CN1129953C

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법에 관한 것으로 본 발명에서는 첫째, 호스트에 비상상태 감시모듈을 구비하고, 이를 통해, 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태가 실시간으로 정확히 파악되도록 함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있으며, 둘째, 비상상태 감시모듈을 통해 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태가 작업자의 확인 작업 없이도 자동으로 관리되도록 함으로써, 작업자의 업무부담을 현저히 저감시킬 수 있다.

Description

반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법

본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법에 관한 것으로 좀더 상세하게는 비상상태 감시모듈을 통해 온라인 통신 복구시점 이후의 설비의 비상상태가 자동으로 관리되도록 함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 제조하는 데에는 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비를 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.

이와함께, 작업자는 각 설비들의 동작상황을 반도체 제조설비 관리시스템을 통해 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 생산라인내에는 공정을 실행하는 설비(3)가 배치되며, 이러한 설비(3)에는 로트(10)가 투입되어 해당공정들이 진행된다.

이때, 작업자는 설비(3)와 온라인으로 연결된 작업자 인터페이스 퍼스널 컴퓨터(Operater Interface Personal Computer:2; 이하, "O/I PC"라 칭함)를 통해 설비(3)의 동작상황을 면밀히 관찰하고 있다.

여기서, 설비(3)는 설비서버(미도시)를 통해 호스트(1)와 온라인으로 연결되며, 이러한 호스트(1)는 O/I PC(2)와 온라인으로 연결된다.

한편, 작업자가 O/I PC(2)를 통해 호스트(1)로 생산기초 데이터, 예컨대, 대상 로트의 아이디, 공정이 진행될 설비 아이디 등을 설정·입력하게 되면, 호스트(1)는 이와 같이 입력된 생산기초 데이터를 토대로 자신의 데이터 베이스를 써치하여 당해 로트에 진행될 적절한 공정조건 데이터를 산출한다.

이후, 작업자는 이러한 공정조건 데이터를 확인한 후 공정 시작(또는 공정 종료) 명령을 입력하여 설비(3)로 로트(10)를 신속히 트랙 인/트랙 아웃 시킴으로써, 해당 공정을 진행한다.

이때, 설비(3)는 자신의 가동상황에 고장 등의 비상상태가 야기될 경우 이를 호스트(1)로 신속히 보고하고, 호스트(1)는 이러한 설비(3)의 비상상태를 O/I PC(2)를 통해 작업자에게 알림으로써, 설비(3)의 비상상태가 신속히 복구될 수 있도록 한다.

그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조설비 관리시스템에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.

첫째, 호스트 및 설비 사이의 온라인 통신이 일정 시간간격 두절되었다가 복구되는 경우, 이러한 시간간격 동안 호스트 및 설비 사이의 데이터 송/수신이 차단되기 때문에, 호스트는 온라인 통신 복구시점 이전의 설비의 비상상태만을 파악하고 있을 뿐 온라인 통신 복구시점 이후의 설비의 비상상태를 정확히 파악할 수 없다.

둘째, 온라인 통신 복구시점 이후, 호스트가 잘못 파악한 설비의 비상상태가 O/I PC를 통해 작업자에게 전달될 경우, 예측하지 못한 공정사고가 야기된다.

셋째, 온라인 통신 복구시점 이후, 작업자가 설비의 비상상태를 정확히 파악하기 위해서는 설비를 일일이 직접 확인하여야 함으로써, 작업자의 전체적인 업무부담이 현저히 증가한다.

따라서, 본 발명의 목적은 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태가 실시간으로 정확히 파악되도록 함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태가 작업자의 확인 작업 없이도 자동으로 관리되도록 함으로써, 작업자의 업무부담을 현저히 저감시키는 데 있다.

도 1은 종래의 반도체 제조설비 관리시스템을 개략적으로 도시한 개념도.

도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조설비 관리시스템을 개략적으로 도시한 개념도.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 호스트와 설비간에 온라인 통신이 복구되었는가의 여부를 판단하여 상기 온라인 통신이 복구되었으면 상기 설비로부터 비상상태 데이터를 수신하는 단계와; 상기 비상상태 데이터를 써치하여 상기 설비가 경고상태인가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 설비가 경고상태이면, 상기 경고상태가 위험상태인가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 경고상태가 위험상태이면, 상기 설비의 변수 아이디 키 값을 변경하고 상기 변수 아이디를 설비 제어 메시지에 실은 후 상기 설비 제어 메시지를 상기 설비로 다운로드하여 상기 설비를 오프시키는 단계와; 상기 경고상태가 위험상태가 아니면, 소정의 로트 투입 신호가 입력되었는가의 여부를 판단한 후 상기 로트 투입 신호가 입력되었으면, 경고 메시지를 O/I PC로 다운로드하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 설비 제어 메시지는 스트림 펑션 메시지인 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 설비 제어 메시지는 S2F21 또는 S2F41인 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 변수 아이디는 ECID인 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 본 발명에서는 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태가 정확히 관리된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2에 도시된 바와 같이, 호스트(1)에는 온라인 통신 복구시점 이후, 설비(3)로부터 업로드되는 비상상태 데이터를 감시하는 비상상태 감시모듈(20)이 구비된다. 이에 따라, 온라인 통신 복구시점 이후, 설비(3)의 비상상태는 비상상태 감시모듈(20)에 의해 실시간으로 파악된다.

여기서, 작업자는 비상상태 감시모듈(20)을 설치할 때에 이에 대응되는 설비(3)에도 보고 기능을 부여함으로써, 설비(3)의 비상상태가 비상상태 감시모듈(20)로 실시간으로 보고될 수 있도록 한다.

이러한 비상상태 파악 후, 비상상태 감시모듈(20)은 설비(3)의 비상상태를 작업자에게 신속히 전달하거나, 아예 설비(3) 전체를 오프시킴으로써, 비상상태의 설비(3)로 로트(10)가 투입되지 못하도록 한다.

도 3을 참조하여 이를 구체적으로 설명하면, 먼저, 비상상태 감시모듈(20)은 호스트(1)와 설비(3) 사이의 온라인 통신이 복구되었는가의 여부를 판단한다(단계 S11).

이때, 호스트(1)와 설비(3) 사이의 온라인 통신이 복구되지 않았으면, 비상상태 감시모듈(20)은 플로우를 종료한다.

반면에, 호스트(1)와 설비(3) 사이의 온라인 통신이 복구되었으면, 비상상태 감시모듈(20)은 설비서버를 통해 설비(3)로부터 업로드되는 비상상태 데이터를 실시간으로 수신한다(단계 S12). 이에 따라, 온라인 통신 복구시점 이후의 설비(3)의 비상상태는 비상상태 감시모듈(20)에 의해 신속히 파악된다.

이어서, 비상상태 감시모듈(20)은 비상상태 데이터를 써치하여 설비(3)의 상태가 경고상태인가의 여부를 판단한다(단계 S20).

이때, 설비(3)의 상태가 경고상태가 아니고, 정상적인 런상태로 판정되면, 비상상태 감시모듈(20)은 플로우를 상술한 단계 S11로 진행하여 비상상태 데이터 수신을 지속적으로 수행한다.

반면에, 설비(3)의 상태가 경고상태면, 비상상태 감시모듈(20)은 이러한 경고상태가 위험상태인가의 여부를 다시 판단하여 설비(3)의 불안정 정도를 파악한다(단계 S30).

이때, 설비(3)의 경고상태가 위험상태여서, 설비(3)가 매우 불안정한 상태에 있는 것으로 판정되면, 비상상태 감시모듈(20)은 이러한 결과를 호스트(1)로 전달하고, 호스트(1)는 그 즉시 이에 해당하는 설비(3)의 변수 아이디 키 값을 오프 상태로 변경함으로써, 설비(3)에 의한 공정진행을 완전히 차단한다(단계 S41).

여기서, 바람직하게, 호스트(1)가 변경하는 변수 아이디는 설비(3)의 상태를 일괄적으로 변경시킬 수 있는 ECID(Equipment Constant ID)이다.

계속해서, 비상상태 감시모듈(20)은 상술한 과정을 통해 키 값이 변경된 변수 아이디를 호스트(1)로부터 전달받아 이를 설비 제어 메시지에 실은 후 설비서버를 통해 설비(3)로 다운로드한다(단계 S42). 이에 따라, 설비(3)는 즉시 오프된다.

종래의 경우, 호스트는 온라인 통신 복구시점 이전의 설비 비상상태만을 파악하고 있을 뿐 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태를 정확히 파악할 수 없었으며, 이에 따라, 비상상태의 설비로 정상적인 공정진행을 실행시킴으로써, 예측하지 못한 공정사고를 유발하였다.

그러나, 본 발명의 경우, 호스트(1)는 비상상태 감시모듈(20)을 통해 온라인 통신 복구시점 이후의 설비(3)의 비상상태를 정확히 파악한 후, 만약, 설비(3)의 상태가 경고상태, 특히, 위험상태인 경우, 설비(3)를 아예 오프시켜 설비(3)에 의한 공정진행을 완전히 차단시킴으로써, 공정사고를 미연에 방지한다.

이때, 본 발명의 특징에 따르면, 비상상태 감시모듈(20)로부터 설비(3)로 다운로드되는 설비 제어 메시지는 통신전달이 원할한 스트림 펑션 메시지(Stream function message)이다.

여기서, 바람직하게, 설비 제어 메시지의 스트림 펑션 형태는 표준화 규격에 적절한 S2F21 또는 S2F41이다. 일례로, 비상상태 감시모듈(20)이 상술한 과정을 통해 설비(3)의 비상상태를 파악한 후, 설비(3)의 상태를 아예 오프시키고자 하면, 비상상태 감시모듈(20)은 호스트(1)를 통해 그 키 값이 '오프' 상태로 변경된 ECID를 전달 받은 후 이를 스트림 펑션 메시지 S2F21 또는 S2F41에 실어 설비(3)로 다운로드함으로써, 설비(3)의 상태를 변경된 ECID의 키 값에 맞추어 '오프'상태로 신속히 변경시킨다. 이에 따라, 예측하지 못한 공정사고는 미연에 방지된다.

한편, 설비(3)의 경고상태가 위험상태가 아니어서, 설비(3)가 약간 불안정한 상태에 있는 것으로 판정되면, 비상상태 감시모듈(20)은 O/I PC(2)로 로트 투입 신호가 입력되었는가의 여부를 다시 판단한다(단계 S51).

이때, O/I PC(2)로 로트 투입 신호가 입력되지 않았으면, 비상상태 감시모듈(20)은 아직 작업자에 의한 공정 진행이 이루어지지 않는 것으로 판정하고, 플로우를 종료한다.

반면에, O/I PC(2)로 로트 투입 신호가 입력되었으면, 비상상태 감시모듈(20)은 작업자에 의해 비상상태의 설비(3)로 로트(10)가 투입되는 것으로 판정하고, 텍스트를 실은 경고 메시지를 O/I PC(2)로 다운로드함으로써, 작업자가 설비(3)의 비상상태를 시각적으로 확인할 수 있도록 한다(단계 S52). 일례로 비상상태 감시모듈(20)은 설비(3)의 비상상태를 텍스트 데이터로 처리한 후, 예컨대, "현재 설비는 경고상태입니다. 트랙 인 과정을 중지시켜 주십시오." 등의 텍스트 데이터를 실은 경고 메시지를 O/I PC(2)로 다운로드함으로써, 작업자가 설비(3)의 비상상태를 파악하여 이에 부합되는 추후 작업을 신속히 수행할 수 있도록 한다. 이에 따라, 작업자의 실수에 의해 비상상태의 설비(3)로 로트(10)가 로딩되는 문제점은 미연에 방지된다.

종래의 경우, 온라인 통신 복구시점 이후, 호스트가 잘못 파악한 비상상태 데이터가 O/I PC를 통해 작업자에게 전달되어, 작업자의 실수가 유발됨으로써, 예측하지 못한 공정사고가 발생되었다.

또한, 온라인 통신 복구시점 이후, 작업자가 설비의 비상상태를 정확히 파악하기 위해서는 설비를 일일이 직접 확인하여야 함으로써, 작업자의 전체적인 업무부담이 현저히 증가하였다.

그러나, 본 발명의 경우, 호스트(1)는 비상상태 감시모듈(20)을 통해 설비(3)의 비상상태를 정확히 파악한 후, O/I PC(2)로 로트(10) 투입신호가 입력되면, 상술한 경고 메시지를 디스플레이시켜 작업자의 주의를 환기시킴으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.

더욱이, 본 발명의 경우, 호스트(1)는 비상상태 감시모듈(20)을 통해 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태가 작업자의 확인 작업 없이도 자동으로 관리되도록 함으로써, 작업자의 업무부담을 현저히 저감시킬 수 있다.

이러한 경고 메시지의 형태는 O/I PC(2)의 사양에 따라 다양하게 선택될 수 있다.

이후, 비상상태 감시모듈(20)은 상술한 각 단계를 지속적으로 반복함으로써, 설비(3)의 비상상태 상황을 효율적으로 관리한다.

이와 같이, 본 발명에서는 비상상태 감시모듈을 통해 온라인 통신 복구시점 이후, 설비의 비상상태가 자동으로 관리되도록 함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있다.

이러한 본 발명은 생산라인내에 배치되어 일정한 관리를 필요로 하는 다양한 반도체 제조설비에서 전반적으로 유용한 효과를 나타낸다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법에서는 첫째, 호스트에 비상상태 감시모듈을 구비하고, 이를 통해, 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태가 실시간으로 정확히 파악되도록 함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미연에 방지할 수 있으며, 둘째, 비상상태 감시모듈을 통해 온라인 통신 복구시점 이후의 설비 비상상태가 작업자의 확인 작업 없이도 자동으로 관리되도록 함으로써, 작업자의 업무부담을 현저히 저감시킬 수 있다.

Claims

호스트와 설비간에 온라인 통신이 복구되었는가의 여부를 판단하여 상기 온라인 통신이 복구되었으면 상기 설비로부터 비상상태 데이터를 수신하는 단계와;

상기 비상상태 데이터를 써치하여 상기 설비가 경고상태인가의 여부를 판단하는 단계와;

상기 설비가 경고상태이면, 상기 경고상태가 위험상태인가의 여부를 판단하는 단계와;

상기 경고상태가 위험상태이면, 상기 설비의 변수 아이디 키 값을 변경하고 상기 변수 아이디를 설비 제어 메시지에 실은 후 상기 설비 제어 메시지를 상기 설비로 다운로드하여 상기 설비를 오프시키는 단계와;

상기 경고상태가 위험상태가 아니면, 소정의 로트 투입 신호가 입력되었는가의 여부를 판단한 후 상기 로트 투입 신호가 입력되었으면, 경고 메시지를 O/I PC로 다운로드하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법.
제 1 항에 있어서, 상기 설비 제어 메시지는 스트림 펑션 메시지인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법.
제 2 항에 있어서, 상기 설비 제어 메시지는 S2F21 또는 S2F41인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법.
제 1 항에 있어서, 상기 변수 아이디는 ECID(Equipment Constant ID)인 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템에서 설비의 비상상태 관리방법.