KR20000007520A - 반도체 제조설비 관리 시스템의 설비 사전예방유지 주기의관리방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 제조설비 관리 시스템의 설비 사전예방주기의 관리방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 각 설비들로부터 가동 파라미터 데이터, 예컨대, 설비가동시간을 수신받고, 이러한 설비가동시간을 PM 스펙데이터 범위와 비교하여 그 값이 PM 스펙 데이터 범위를 벗어날 경우, 설비에 PM이 요구되는 것으로 판단하고, 일정한 제어 메시지를 해당 설비로 다룬로드시켜, 해당 설비를 자동으로 다운시킴으로써, 설비의 손상을 미리 방지한다.

이 경우, 작업자는 설비의 PM 주기를 일일이 관리하지 않아도 됨으로써, 업무효율이 현저히 향상된다.

Description

반도체 제조설비 관리 시스템의 설비 사전예방유지 주기의 관리방법

본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 사전예방유지(PM:Preventive Maintenance: 이하, PM이라 칭함) 주기의 관리방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 소정의 PM 관리모듈을 통해 각 설비들의 PM 주기를 자동으로 관리함으로써, 각 설비들의 PM이 적절한 시기에 실시될 수 있도록 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 PM 주기의 관리방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자를 제조하는 데에는 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비들을 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.

이와함께, 작업자는 각 설비들의 동작상황을 반도체 제조설비 관리시스템을 통해 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 생산라인내에는 공정을 실행하는 설비들(3)이 배치되며, 이러한 설비들(3)에 로트(미도시)가 투입되어 해당공정들이 진행된다.

여기서, 설비들(3)은 각각 설비서버들(4)을 통해 호스트(1)와 온라인으로 연결되며, 호스트(1)는 O/I PC(Operater Interface PC:2)와 온라인으로 연결된다.

한편, 작업자가 O/I PC(2)를 통해 호스트(1)로 생산기초 데이터, 예컨대, 대상 로트의 아이디, 공정이 진행될 설비 아이디 등을 설정하여 입력하게 되면, 호스트(1)는 입력된 생산기초 데이터를 토대로 자신의 데이터 베이스를 써치하여 당해 로트에 진행될 적절한 공정조건 데이터를 산출한다.

이후, 작업자는 이러한 공정조건 데이터를 확인한 후 공정 시작(또는 공정 종료) 명령을 입력하여 설비들(3)로 로트를 신속히 트랙 인/트랙 아웃(Track in/Track out) 시킴으로써, 해당 공정들을 진행한다.

이때, 설비들(3)의 동작과 관련된 여러 가지 가동 파라미터, 예컨대, 설비들(3)의 가동시간, 설비들(3)에서 공정진행된 웨이퍼 매수 등은 작업자의 지속적인 관측에 의해 파악된다.

이러한 경우, 각 설비들(3) 중 특정 설비의 가동 파라미터와 관련된 진행 수치가 일정 기준을 초과하여, 예측하지 못한 고장을 일으킬 소지가 있는 것으로 판정하면, 작업자는 PM을 적절한 주기로 실시하여 이의 손상을 사전에 방지한다.

그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조설비의 PM 관리방법에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.

상술한 PM 주기는 일반적으로 설비들을 관측하는 작업자의 주관적인 판단에 의해 결정되기 때문에 작업자에 따라 PM 주기가 달라져, 일관성 있는 PM을 실시할 수 없다.

이러한 PM 주기 결정에 오류가 발생될 경우, 예측하지 못한 설비 손상이 유발된다.

또한, 작업자가 PM 주기를 결정하기 위해서는 항상 생산라인내에 머물러 설비들을 일일이 관측해야 하기때문에, 작업자의 전체적인 업무효율이 현저히 저감된다.

따라서, 본 발명의 목적은 각 설비들의 PM 주기가 작업자의 개재없이 일관성있게 관리되도록 함으로써, 작업자의 PM 주기 결정 오류에 따른 예측하지 못한 설비손상을 미연에 방지하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 PM 관리모듈을 통해 각 설비들의 PM 주기를 자동으로 관리하여, 작업자의 설비 관측시간을 저감시킴으로써, 작업자의 전체적인 업무효율을 현저히 향상시키는 데 있다.

본 발명의 다른 목적들은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해질 것이다.

도 1은 종래의 반도체 제조설비 관리시스템을 도시한 개념도.

도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조설비 관리시스템을 도시한 개념도.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 사전예방유지 주기의 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 각 설비들로부터 가동 파라미터 데이터, 예컨대, 설비가동시간을 수신받고, 이러한 설비가동시간을 PM 스펙데이터 범위와 비교하여 그 값이 PM 스펙 데이터 범위를 벗어날 경우, 설비에 PM이 요구되는 것으로 판단하고, 일정한 제어 메시지를 해당 설비로 다운로드시켜, 해당 설비를 자동으로 다운시킴으로써, 설비의 손상을 미리 방지한다.

이 경우, 작업자는 설비의 PM 주기를 일일이 관리하지 않아도 됨으로써, 업무효율이 현저히 향상된다.

이하, 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리 시스템의 설비 PM주기 관리방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 2에 도시된 바와 같이, 설비서버들(4) 및 호스트(1) 사이에는 PM 관리모듈(10)이 온라인으로 연결된다. 여기서, 작업자는 PM 관리모듈(10)을 설치할 때에 이에 대응되는 각 설비서버들(4)에도 적절한 보고 기능을 부여함으로써, 각 설비들(3)의 가동 파라미터 테이터 모두가 PM 관리모듈(10)로 실시간으로 보고될 수 있도록 한다.

여기서, 각 설비들(3) 및 설비서버들(4)은 SECS(Semi Equipment Communications Standard) 통신 프로토콜을 사용해 온라인 연결되며, 설비서버들(4) 및 PM 관리모듈(10)은 TCP/IP 통신 프로토콜을 사용해 온라인 연결된다.

한편, 이러한 PM 관리모듈(10)은 각 설비서버들(4)을 통해 설비들(3)로부터 입력되는 가동 파라미터 데이터들 모두를 실시간으로 수신함으로써, 각 설비들(3)의 PM 주기를 자동으로 관리한다. 이에 따라, 각 설비들(3)은 작업자의 개재없이도 PM 주기가 정확히 관리되기 때문에, 작업자의 업무효율은 현저히 향상된다.

일례로, 각 설비들(3) 중 특정 설비, 예컨대, 설비 1(3a)의 가동 파라미터 데이터에서 이상이 발생된 경우, PM 관리모듈(10)은 이를 자동으로 수신한 후 설비 1(3a)의 가동 상태를 다운 상태로 변경시킴으로써, 설비 1(3a)로 로트가 로딩되지 못하도록 하고, 이후, 작업자는 설비 1(3a)로 신속한 PM을 실시함으로써, 예측하지 못한 공정사고를 미리 방지할 수 있다.

한편, 도 3에 도시된 바와 같이, 먼저, PM 관리모듈(10)은 각 설비서버들(4)을 통해 각 설비들(3)로부터 업로드되는 가동 파라미터 데이터들 모두를 실시간으로 수신한다(단계 S10). 이에 따라, 각 설비들의 가동시간, 각 설비들에서 공정진행된 웨이퍼 매수 등의 가동 파라미터는 PM 관리모듈(10)에 의해 신속히 파악된다.

이어서, PM 관리모듈(10)은 호스트(1)의 데이터 베이스 영역에 저장된 PM 주기 스펙 테이블을 써치하여 수신된 각 설비들(3)의 가동 파라미터 데이터 값이 경고범위 내에 포함된 값인가의 여부를 판단한다(단계 S20,S30).

이때, 가동 파라미터 데이터 값이 경고범위에 포함된 값이면, PM 관리모듈(10)은 조만간에 이를 발생시킨 특정 설비에 PM을 실시할 필요가 있는 것으로 판정하고, 이러한 결과를 호스트(1)로 전달한다. 이 경우, 호스트(1)는 그 즉시 이에 해당하는 특정 설비로 알람신호 제어 메시지를 다운로드함으로써, 작업자가 특정 설비의 가동상태를 신속히 파악할 수 있도록 한다(단계 S40). 이러한 설비상태 파악에 따라, 작업자는 경고범위에 포함되는 가동 파라미터 데이터를 발생시킨 설비로 신속한 PM을 실시할 수 있다.

일례로, 설비 1(3a)의 설비 가동시간과 관련된 스펙 테이블의 경고범위가 35000시간~35100이고, 설비 1(3a)로부터 수신된 설비 가동시간과 관련된 가동 파라미터 데이터의 값이 35001시간인 경우, PM 관리모듈(10)은 조만간 설비 1(3a)로 적절한 'PM', 예컨대, 클리닝을 실시할 필요성이 있는 것으로 판단하고, 그 판단결과를 호스트(1)로 전달한다. 이에 따라, 호스트(1)는 설비 1(3a)로 알람신호 제어메시지를 다운로드함으로써, 설비 1(3a)이 작업자에 의해 신속한 'PM'을 실시받을 수 있도록 한다.

한편, 가동 파라미터 데이터 값이 경고범위에 포함된 값이 아니면, PM 관리모듈(10)은 호스트(1)의 데이터 베이스 영역에 저장된 PM 주기 스펙 테이블을 써치하여 수신된 각 설비들(3)의 가동 파라미터 데이터 값이 경고범위를 초과한 값인가의 여부를 다시 판단한다(단계 S50).

이때, 가동 파라미터 데이터들의 값 모두가 경고범위를 초과하지 않아, 아직 각 설비들(3)에 PM을 실시할 필요가 없는 것으로 판정되면, PM 관리모듈(10)은 플로우를 처음 단계로 진행하여 상술한 가동 파라미터 데이터의 수신을 지속적으로 수행한다.

반면에, 가동 파라미터 데이터 값이 경고범위를 초과한 값이면, PM 관리모듈(10)은 즉시 이를 발생시킨 특정 설비에 즉시 PM을 실시할 필요가 있는 것으로 판정하고, 이러한 결과를 호스트(1)로 전달한다. 이 경우, 호스트(1)는 신속히 이에 해당하는 특정 설비의 변수 아이디 키 값을 다운 상태로 변경한다(단계 S60).

일례로, 설비 1(3a)의 설비 가동시간과 관련된 스펙 테이블의 경고범위가 35000시간~35100이고, 설비 1(3a)로부터 수신된 설비 가동시간과 관련된 가동 파라미터 데이터의 값이 35101시간인 경우, PM 관리모듈(10)은 즉시 설비 1(3a)로 적절한 'PM', 예컨대, 클리닝을 실시할 필요성이 있는 것으로 판단하고, 그 판단결과를 호스트(1)로 전달한다. 이에 따라, 호스트(1)는 설비 1(3a)의 변수 아이디 키 값을 다운 상태로 변형한다.

이러한 단계 S60 후, PM 관리모듈(10)은 상술한 과정을 통해 키 값이 변경된 변수 아이디를 호스트(1)로부터 전달받아 이를 설비 제어 메시지에 실은 후 설비서버 1(4a)을 통해 설비 1(3a)로 다운로드한다(단계 S70). 이에 따라, 설비 1(3a)의 가동 상태는 다운 상태로 신속히 변경된다.

일례로, PM 관리모듈(10)이 상술한 과정을 통해 설비 1(3a)의 이상을 발견한 후, 설비 1(3a)의 상태를 '다운' 상태로 변경시키고자 하면, PM 관리모듈(10)은 호스트(1)를 통해 그 키 값이 '다운' 상태로 변경된 변수 아이디를 전달 받은 후 이를 스트림 평션 메시지 예컨대, S2F15 또는 S2F41에 실어 설비 1(3a)로 다운로드한다. 이에 따라, 설비 1(3a)은 변경된 변수 아이디의 키 값에 맞추어 그 상태가 '다운' 상태로 신속히 변경되고, 설비 1(3a)로는 더 이상의 공정진행이 불가능해 짐으로써, 예측하지 못한 설비손상은 미리 방지된다. 이 경우, 작업자는 설비 1(3a)이 다운된 원인을 즉시 파악하여, 설비 1(3a)로 적절한 'PM', 예컨대, 클리닝을 실시함으로써, 설비 1(3a)이 정상상태로 신속히 복귀되도록 한다.

종래의 경우, 각 설비들의 PM 주기는 설비들을 관측하는 작업자의 주관적인 판단에 의해 결정되었기 때문에, 작업자 마다 결정하는 PM 주기가 달라짐으로써, 일관성있는 PM을 실시할 수 없었으며, 이러한 PM 주기 결정에 오류가 발생될 경우, 예측하지 못한 설비 손상이 유발되었다.

그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 각 설비들(3)의 PM 주기를 작업자의 개재없이, PM 관리모듈(10)을 통해 호스트(1)가 실시간으로 파악하여 일관적으로 관리할 수 있어, 각 설비들(3)은 적절한 시기에 신속한 'PM'을 수행받을 수 있고, 예측하지 못한 손상을 피할 수 있다.

이후, 호스트(1)는 PM 관리모듈(10)을 통해 상술한 각 단계를 지속적으로 반복함으로써, 전체적인 설비들(3)의 PM 관리를 효율적으로 달성한다.

이와 같이, 본 발명에서는 PM 관리모듈을 통해 설비의 PM 주기를 자동으로 관리함으로써, 설비의 PM이 적절한 시기에 실시될 수 있도록 한다.

이러한 본 발명은 생산라인내에 배치되어 일정한 관리를 필요로하는 다양한 반도체 제조설비에서 전반적으로 유용한 효과를 나타낸다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리 시스템의 설비 사전예방주기의 관리방법에서는 각 설비들로부터 가동 파라미터 데이터, 예컨대, 설비가동시간을 수신받고, 이러한 설비가동시간을 PM 스펙데이터 범위와 비교하여 그 값이 PM 스펙 데이터 범위를 벗어날 경우, 설비에 PM이 요구되는 것으로 판단하고, 일정한 제어 메시지를 해당 설비로 다룬로드시켜, 해당 설비를 자동으로 다운시킴으로써, 설비의 손상을 미리 방지한다.

이 경우, 작업자는 설비의 PM 주기를 일일이 관리하지 않아도 됨으로써, 업무효율이 현저히 향상된다.

Claims (1)

1. 각 설비들로부터 가동 파라미터 데이터들을 수신하는 단계와;

   PM 주기 스펙 테이블을 써치하는 단계와;

   상기 가동 파라미터 데이터들의 값이 상기 PM 주기 스펙 테이블의 경고범위 내에 있는가의 여부를 판단하는 단계와;

   상기 가동 파라미터 데이터들의 값 중 특정 가동 파라미터 데이터의 값이 상기 경고범위 내에 있으면, 소정의 알람신호를 설비로 다운로드하는 단계와;

   상기 가동 파라미터 데이터들의 값 중 특정 가동 파라미터 데이터의 값이 상기 경고범위 내에 없으면, 상기 특정 가동 파라미터 데이터의 값이 경고범위를 초과하였는가의 여부를 판단하는 단계와;

   상기 특정 가동 파라미터 데이터의 값이 경고범위를 초과하였으면, 상기 특정 가동 파라미터 데이터를 발생시킨 특정 설비의 변수 아이디 키 값을 변경하는 단계와;

   상기 변수 아이디를 설비 제어 메시지에 실은 후 상기 설비 제어 메시지를 상기 특정 설비로 다운로드하여 상기 특정 설비의 가동상태를 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 사전예방유지 주기의 관리방법.