KR19990026500A - 반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법 - Google Patents

반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR19990026500A
KR19990026500A KR1019970048630A KR19970048630A KR19990026500A KR 19990026500 A KR19990026500 A KR 19990026500A KR 1019970048630 A KR1019970048630 A KR 1019970048630A KR 19970048630 A KR19970048630 A KR 19970048630A KR 19990026500 A KR19990026500 A KR 19990026500A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
host computer
facilities
primary
facility
equipment
Prior art date
Application number
KR1019970048630A
Other languages
English (en)
Inventor
장재만
조평일
박종화
Original Assignee
윤종용
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 윤종용, 삼성전자 주식회사 filed Critical 윤종용
Priority to KR1019970048630A priority Critical patent/KR19990026500A/ko
Publication of KR19990026500A publication Critical patent/KR19990026500A/ko

Links

Landscapes

  • General Factory Administration (AREA)

Abstract

본 발명은 반도체 제조용 설비의 관리 방법에 관한 것으로, 복수개의 설비와 호스트 컴퓨터를 네트워크로 연결하고 복수개의 설비를 제어하는 호스트 컴퓨터를 주 호스트 컴퓨터와 보조 호스트 컴퓨터 2대 설치한다.
따라서, 설비와 호스트 컴퓨터간에 통신속도를 향상시킬 수 있고, 또한 주 호스트 컴퓨터가 고장나더라도 보조 호스트 컴퓨터가 설비와 온라인하여 주 호스트 컴퓨터의 기능을 대신 수행함으로써 호스트 컴퓨터의 다운으로 설비 가동률이 저하되는 것을 방지할 수 있다.

Description

반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법
본 발명은 반도체 제조 설비 구조 및 관리 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 설비를 제어하는 호스트 컴퓨터를 2대를 설치하고 각각의 설비와 2대의 호스트 컴퓨터를 병렬로 연결하여 네트워크 통신을 함으로써 호스트 컴퓨터의 고장으로 인해 설비의 가동률이 저하되는 것을 방지한 반도체 제조 설비 구조 및 관리 방법에 관한 것이다.
일반적인 반도체 제조 공정은 매우 높은 수준의 정밀도를 요하기 때문에 수작업에 의한 공정 진행은 불가능하며, 이에 따라 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 소정의 설비, 예를 들어, 스퍼터링 설비, 식각 설비, 측정 설비 등을 배치하여 대부분의 반도체 제조공정을 수행하고 있다.
이때, 작업자는 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.
도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.
도시된 바와 같이, 생산라인(미도시)내에는 각각의 설비(20)가 공정별로 배치되며, 각 설비들(20)은 RS-232C 케이블(30)에 의해 각 공정을 담당하는 1대의 호스트 컴퓨터(10)와 직렬로 연결되어 있다. 또한, 각각의 공정을 담당하는 여러대의 호스트 컴퓨터(10)(10a)는 전체생산 라인을 관리하는 캠 컴퓨터(1)와 네트워크로 연결되어 있다.
여기서, 호스트 컴퓨터(10)에 연결된 각 설비들(20)은 서로 다른 응용 프로그램으로 운용되기 때문에 호스트 컴퓨터(10)에는 각 설비에 대한 응용 프로그램 및 SECS(Semi Equipment Communications Standard) 프로그램이 호스트 컴퓨터(10)에 연결되어 있는 설비(20)의 대수만큼 내장되어 있다. 보통 한 대의 호스트 컴퓨터(10)에는 약 30대의 설비들(20)이 직렬로 연결된다.
생산라인의 작업관리자가 소정의 전산작업을 수행하여 캠 컴퓨터(1)에 각 설비에 대한 여러 가지 공정조건을 설정하여 주면 캠 컴퓨터(1)는 설정된 공정조건을 캠 컴퓨터(1)와 각 설비들(20)의 중재 역할을 하는 호스트 컴퓨터(10)로 전송한다.
공정조건을 입력한 호스트 컴퓨터(10)는 공정조건을 분석하여 공정조건에 적합한 각각의 설비(20)를 선정하고, 각각의 설비(20)에 해당하는 응용 프로그램 및 SECS를 서치(search) 한다. 이후, 호스트 컴퓨터(10)는 공정조건을 각각의 설비(20)에 전송하기 위해서 설비(20)와 1:1 통신을 한다.
호스트 컴퓨터(10)로부터 정보를 전달받은 각 설비들(20)은 로봇(미도시) 등의 자동 반송 시스템을 작동시키는 등 호스트 컴퓨터(10)에서 전달된 공정조건과 동일한 환경을 조건을 만들어 소정의 반도체 공정을 진행한다.
한편, 설비와 호스트 컴퓨터(10)에는 데이터 교신을 담당하는 소정의 포트, 예를 들어 SECS 포트(미도시)가 구비되어 있어 설비(20)에서 공정이 진행되는 중에도 SECS와 같은 프로토콜(Protocol)에 의해 호스트 컴퓨터(10)와 지속적인 데이터 교환이 수행된다.
그러나, 1대의 호스트 컴퓨터에 케이블에 의해 복수개의 설비들이 직렬로 연결되어 있으며 호스트 컴퓨터에 연결되어 있는 각 설비들과 동일한 개수의 응용 프로그램 및 SECS가 내장되어 있다. 이로 인해, 각 설비들과 호스트 컴퓨터는 1:1 통신을 행함으로써 통신속도가 저하되고, 또한, 호스트 컴퓨터가 고장났을 경우 일정시간동안 호스트 컴퓨터와 각 설비들이 온라인되지 않아 설비 가동률이 저하되는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 감안하여 안출된 것으로서, 복수개의 설비와 호스트 컴퓨터를 네트워크로 연결하고 복수개의 설비를 제어하는 호스트 컴퓨터를 2대 설치하여 각 설비와 호스트 컴퓨터간에 통신속도를 향상시키고, 설비와 호스트 컴퓨터가 온라인 되지 않아 설비의 가동률이 저하되는 것을 방지한 반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법을 제공하는데 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조용 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.
도 2는 본 발명에 의한 반도체 제조용 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 생산라인 내에서 공정별로 배치된 복수개의 설비들과, 상기 설비들 각각을 제어하기 위해 상기 설비들과 연결되는 주 호스트 컴퓨터와, 상기 설비들 각각에 연결되어 있으며 상기 주 호스트 컴퓨터에 이상이 발생되면 상기 설비들과 온라인하여 상기 설비들을 제어하는 보조 호스트 컴퓨터와, 상기 주 호스트 컴퓨터와 상기 보조 컴퓨터와 연결되며 생산라인을 전반적으로 관리하는 캠 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게 상기 주 및 보조 호스트 컴퓨터와 상기 설비들 간에는 TCP-IP(Transmission Control Protocol-Internet Protocol) 통신을 한다.
바람직하게 상기 주 및 보조 호스트 컴퓨터와 각 설비들 사이에는 RS-232C 통신을 하는 SECS(Semi Equipment Communications Standard) 프로그램을 상기 TCP-IP 통신에 적합하도록 변환시키는 어댑터가 설치된다.
본 발명의 또 다른 목적을 달성하기 위해서 캠 컴퓨터에서 설정된 공정조건을 주 호스트 컴퓨터 및 보조 호스트 컴퓨터에 전달해 주는 단계와;
상기 주 호스트 컴퓨터는 상기 공정조건을 분석하여 상기 공정조건에 적합한 설비를 선정하고 상기 설비에 해당하는 응용 프로그램 및 SECS를 서치하여 상기 설비로 상기 공정조건을 전송하는 단계와;
상기 주 호스트 컴퓨터에 이상이 발생하면 상기 주 호스트 컴퓨터를 감시하고 있던 상기 보조 호스트 컴퓨터가 주 호스트 컴퓨터의 기능을 백업하여 상기 설비에 공정조건을 전달하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하 본 발명에 의한 반도체 제조용 설비의 관리 방법에 대해 첨부된 도면 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명에 의한 반도체 제조용 설비의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.
도시된 바와 같이, 생산라인(미도시)내에는 각각의 설비(130)가 공정별로 배치되며, 각 설비들(130)은 각 공정을 담당하는 주 호스트 컴퓨터(110) 및 보조 호스트 컴퓨터(120)와 TCP-IP(Transmission Control Protocol-Internet Protocol) 통신을 하기 위해서 호스트 컴퓨터와 렌 케이블(140)에 의해서 네트워크로 연결되어 있다. 또한, 각각의 공정을 담당하는 주 호스트 컴퓨터(110)와 보조 호스트 컴퓨터(120)는 전체생산 라인을 관리하는 캠 컴퓨터(100)와 네트워크로 연결되어 있다.
여기서, 주 및 보조 호스트 컴퓨터(110)(120)에 병렬로 연결된 설비는 서로 다른 응용 프로그램으로 운용되기 때문에 주 및 보조 호스트 컴퓨터(110)(120)에는 각 설비(130)에 대한 응용 프로그램 및 SECS 프로그램이 주 및 보조 호스트 컴퓨터(110)(120)에 연결되어 있는 설비(130)의 대수만큼 내장되어 있다.
또한, 주 및 보조 호스트 컴퓨터(110)(120)와 각 설비들(130) 사이에는 RS-232C 통신을 하는 SECS 프로그램을 TCP-IP 통신에 적합하도록 변환시켜 각 설비(130) 및 호스트 컴퓨터(110)(120)에 전달하는 어댑터(adapter)(미도시)가 설치된다.
한편, 주 및 보조 호스트 컴퓨터(110)(120)와 각 설비들(130)은 네트워크에 의해 연결되어 있기 때문에 수백대의 설비(130)를 한 대의 주 및 보조 호스트 컴퓨터에 연결시킬 수 있다.
생산라인의 작업관리자가 소정의 전산작업을 수행하여 캠 컴퓨터(100)에 각 설비(130)에 대한 여러 가지 공정조건을 설정하여 주면 캠 컴퓨터(100)는 설정된 공정조건을 캠 컴퓨터(100)와 설비(130)의 중재 역할을 하는 주 및 보조 호스트 컴퓨터(110)(120)로 전송한다.
공정조건을 입력한 주 호스트 컴퓨터(110)는 공정조건을 분석하여 공정조건에 적합한 각각의 설비(130)를 선정하고, 각각의 설비(130)에 해당하는 응용 프로그램 및 SECS를 서치한다. 이후, 주 호스트 컴퓨터(110)는 공정조건을 각각의 설비(130)로 전송하면 어댑터는 SECS 프로그램을 TCP-IP통신에 적합하도록 변환시켜 해당 설비(130)에 전송하여 준다.
주 호스트 컴퓨터(110)로부터 정보를 전달받은 각 설비들(130)은 로봇(미도시) 등의 자동 반송 시스템을 작동시키는 등 주 호스트 컴퓨터(110)에서 전달된 공정조건과 동일한 환경을 조건을 만들어 소정의 반도체 공정을 진행한다.
한편, 설비(130)와 주 및 보조 호스트 컴퓨터(110)(120)에는 데이터 교신을 담당하는 소정의 포트, 예를 들어 TCP-IP 포트(미도시)가 구비되어 있어 설비(130)에서 공정이 진행되는 중에도 TCP-IP 프로토콜(Protocol)에 의해 설비(130)와 주 및 보조 호스트 컴퓨터(110)(120)는 지속적인 데이터 교환을 수행한다.
또한, 보조 호스트 컴퓨터(120)는 주 호스트 컴퓨터(120)를 감시(watch out)하고 있다가 주 호스트 컴퓨터(110)에 이상이 발생되면 주 호스트 컴퓨터(110)의 온라인 기능을 백업(backup)하여 상기에서 설명한 바와 같이 공정조건에 관련된 데이터를 각 설비(130)에 전달하거나 각 설비(130) 및 로트와 관련된 여러 가지 데이터를 저장한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 복수개의 설비와 호스트 컴퓨터를 네트워크로 연결하고 복수개의 설비를 제어하는 호스트 컴퓨터를 주 호스트 컴퓨터와 보조 호스트 컴퓨터 2대 설치한다.
따라서, 설비와 호스트 컴퓨터간에 통신속도를 향상시킬 수 있고, 또한 주 호스트 컴퓨터가 고장나더라도 보조 호스트 컴퓨터가 설비와 온라인하여 주 호스트 컴퓨터의 기능을 대신 수행함으로써 호스트 컴퓨터의 다운으로 설비 가동률이 저하되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 생산라인 내에서 공정별로 배치된 복수개의 설비들과;
    상기 설비들 각각을 제어하기 위해 상기 설비들과 연결되는 주 호스트 컴퓨터와;
    상기 설비들 각각에 연결되어 있으며 상기 주 호스트 컴퓨터에 이상이 발생되면 상기 설비들과 온라인하여 상기 설비들을 제어하는 보조 호스트 컴퓨터와;
    상기 주 호스트 컴퓨터와 상기 보조 컴퓨터와 연결되며 생산라인을 전반적으로 관리하는 캠 컴퓨터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비 구조.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 주 및 보조 호스트 컴퓨터와 상기 설비들간에는 TCP-IP(Transmission Control Protocol-Internet Protocol) 통신이 행해지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비 구조.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 주 및 보조 호스트 컴퓨터와 각 설비들 사이에 설치되며 RS-232C 통신을 하는 SECS(Semi Equipment Communications Standard) 프로그램을 상기 TCP-IP 통신에 적합하도록 변환시키는 어댑터가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비 구조.
  4. 캠 컴퓨터에서 설정된 공정조건을 주 호스트 컴퓨터 및 보조 호스트 컴퓨터에 전달해 주는 단계와;
    상기 주 호스트 컴퓨터는 상기 공정조건을 분석하여 상기 공정조건에 적합한 설비를 선정하고 상기 설비에 해당하는 응용 프로그램 및 SECS를 서치하여 상기 설비로 상기 공정조건을 전송하는 단계와;
    상기 주 호스트 컴퓨터에 이상이 발생하면 상기 주 호스트 컴퓨터를 감시하고 있던 상기 보조 호스트 컴퓨터가 주 호스트 컴퓨터의 기능을 백업하여 상기 설비에 공정조건을 전달하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 설비의 관리 방법.
KR1019970048630A 1997-09-25 1997-09-25 반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법 KR19990026500A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970048630A KR19990026500A (ko) 1997-09-25 1997-09-25 반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019970048630A KR19990026500A (ko) 1997-09-25 1997-09-25 반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR19990026500A true KR19990026500A (ko) 1999-04-15

Family

ID=66044901

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019970048630A KR19990026500A (ko) 1997-09-25 1997-09-25 반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR19990026500A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010030438A (ko) * 1999-09-20 2001-04-16 가나이 쓰도무 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법
KR100362701B1 (ko) * 2000-02-25 2002-11-27 삼성전자 주식회사 단계 제어를 위한 자동화된 원격 공정 제어 시스템 및 그제어 방법
KR20030001299A (ko) * 2001-06-22 2003-01-06 닛뽕덴끼 가부시끼가이샤 모니터링 서버를 네트워크와 접속하는 통신 모니터링 시스템

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010030438A (ko) * 1999-09-20 2001-04-16 가나이 쓰도무 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법
KR100362701B1 (ko) * 2000-02-25 2002-11-27 삼성전자 주식회사 단계 제어를 위한 자동화된 원격 공정 제어 시스템 및 그제어 방법
KR20030001299A (ko) * 2001-06-22 2003-01-06 닛뽕덴끼 가부시끼가이샤 모니터링 서버를 네트워크와 접속하는 통신 모니터링 시스템

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7039745B2 (en) Control system including controller and field devices
CN1225459A (zh) 控制半导体制造设备的方法
GB2351806A (en) Semiconductor factory automation
KR19990068948A (ko) 반도체 공정 데이터 통합 관리 방법
CN102725701B (zh) 安全扩展基板及其控制方法
KR19990065483A (ko) 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법
KR19990026500A (ko) 반도체 제조용 설비 구조 및 관리 방법
KR100510068B1 (ko) 반도체 라인관리용 통합 자동화시스템의 감시 시스템 및 방법
KR100319208B1 (ko) 반도체제조설비관리시스템의설비사전예방유지의주기관리방법
KR100434433B1 (ko) 공장자동화 설비의 정보관리 제어장치 및 그 방법
KR100325663B1 (ko) 인라인 설비 시스템 및 그 제어 방법
KR100464173B1 (ko) 반도체제조용설비제어시스템및이를통한설비제어방법
WO2008115096A1 (ru) Комплекс программно-аппаратных средств автоматизации контроля и управления
KR100483432B1 (ko) 핫백업을이용한반도체제조설비관리시스템
CN212723742U (zh) 一种脱硫dcs控制系统
KR20000002110A (ko) 반도체 설비 관리 시스템
KR20020017201A (ko) 무선통신과 네트워크를 이용한 원격 관리 시스템
EP3143475B1 (en) Functional check of power supply units
JP2001337754A (ja) マルチベンダｕｐｓ統合管理システム装置
KR19980068978A (ko) 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법
KR100297486B1 (ko) 스피너시스템의베이크유니트제어장치및방법
CN113253681A (zh) 溜破系统及集控系统的远程控制系统
KR20000007520A (ko) 반도체 제조설비 관리 시스템의 설비 사전예방유지 주기의관리방법
KR19990066155A (ko) 멀티 챔버를 갖는 반도체 설비 관리 방법
KR20100046791A (ko) 반도체 제조 설비의 데이터 수집 방법 및 데이터 수집 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination