KR19980068978A - 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 소정의 온라인 사고에 신속하게 대응할 수 있는 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법에 관한 것으로, 소정의 모니터링 시스템을 이용한 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법에 있어서, 상기 모니터링 시스템을 통해 상기 호스트 컴퓨터에 소정의 체크신호를 출력하는 제 1 단계와; 상기 호스트 컴퓨터의 응답신호 출력 여부를 판단하는 제 2 단계와; 상기 판단결과, 응답신호가 출력되는 경우 상기 제 1 단계로 리턴하는 제 3 단계와; 상기 판단결과, 응답신호가 출력되지 않는 경우, 온라인상태의 이상원인을 체크하고 소정의 조치를 취하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같은, 본 발명에서는 소정의 관리용 모니터링 시스템에 의해 설비 및 호스트 컴퓨터의 온라인상태 이상 유무가 지속적으로 관측되고, 만약 이상이 발생되는 경우, 즉시 작업자에게 그 원인이 전달됨으로써, 신속한 후속조치가 이루어질 수 있다.

Description

반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법

본 발명은 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터(Host computer)의 관리방법에 관한 것으로 좀더 상세하게는 호스트 컴퓨터에 소정의 모니터링(Monitoring) 시스템을 구비하고, 이를 통해 설비 및 호스트 컴퓨터간의 온라인(On-Line)상황을 지속적으로 관측함으로써, 소정의 이상이 발생되는 경우 신속하게 대응할 수 있는 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법에 관한 것이다.

일반적인 반도체 소자는 고도의 정밀성을 필요로 하며, 이에 따라 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 소정의 설비, 예컨대, 스퍼터링 설비, 식각 설비, 측정 설비 등을 배치하여 대부분의 제조공정을 수행하고 있다.

이때, 작업자는 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.

도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조용 설비를 개략적으로 도시한 개념도이다.

도시된 바와 같이, 생산라인(미도시)내에는 각각의 설비(10)가 공정별로 배치되며, 각 설비(10)는 소정의 퍼스널 컴퓨터(PC:Personal Computer;13 이하, PC라 칭함)에 의해 제어되고 있다.

이때, 개별 작업자는 각 PC(13)에 소정의 전산작업을 수행하여, 로봇(미도시) 등의 자동 반송 시스템을 작동시키고 이에 의해 로트(Lot:미도시)는 설비(10)에 구비된 포트(Port:11)에 로딩되어 소정의 공정을 거치게 된다.

한편, 각각의 설비(10)는 자료수집기능을 갖는 호스트 컴퓨터(14)와 온라인으로 연결된다.

이에 따라, 각 설비(10)와 관련된 여러 가지 데이터는 호스트 컴퓨터(14)에 입력·저장되며, 작업자는 각각의 개별 PC(13)에서 호스트 컴퓨터(14)로 로그인(Login) 또는 컨넥트(Connect)하여 자신이 원하는 소정의 전산작업을 수행할 수 있다.

이때, 설비(10)에는 호스트 컴퓨터(14)와의 데이터 교신을 담당하는 소정의 포트, 예컨대, SECS(Semi Equipment Communications Standard)포트(12)가 구비되며, 설비(10)는 이러한 프로토콜(Protocol)에 의해 호스트 컴퓨터(14)와 지속적인 데이터 교환을 수행할 수 있다.

여기서, 작업자는 호스트 컴퓨터(14) 및 설비(10)를 주기적으로 관측·점검함으로써, 온라인상태에 소정의 이상이 발생되지 않도록 노력하고 있다.

한편, 상술한 호스트 컴퓨터(14)는 소정의 시간동안 가동된 각 설비(10)의 이력을 통합적으로 저장한다.

그 후, 작업자는 호스트 컴퓨터(14)에 저장된 설비(10)관련 데이터를 상세히 관측하여 관련 자료를 수집·평가하고, 그 결과를 생산라인으로 피드백시킴으로써, 설비가 효율적으로 관리되도록 한다.

그러나, 이와 같은 종래의 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 관리방법에는 몇가지 중대한 문제점이 있다.

첫째, 상술한 바와 같이, 호스트 컴퓨터는 각각의 설비마다 구비됨으로써, 그 설치대수가 다량인데 반하여, 이를 관리하는 작업자의 수는 일정한 한계를 갖게되어, 만약 호스트 컴퓨터의 온라인 상태에 이상이 발생되는 경우, 이를 그 즉시 파악할 수 없는 문제점이 있다.

둘째, 만약 작업자의 실수로 또는 상술한 문제점에 의해 온라인 상태의 이상이 발견되지 못하는 경우, 시스템이 장시간 다운됨으로써, 전체적인 공정 가동률이 급격히 저하되는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 각각의 호스트 컴퓨터에 소정의 관리용 모니터링 시스템을 구비하여, 설비 및 호스트 컴퓨터의 온라인 상태 이상 유무를 지속적으로 관측하고, 만약 이상이 발생되는 경우, 이를 신속하게 작업자에게 알려줌으로써, 신속한 후속조치가 이루어질 수 있도록 하는 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법을 제공함에 있다.

도 1은 종래의 반도체 제조용 설비를 개략적으로 도시한 개념도.

도 2는 본 발명을 구현하기 위한 설비 및 호스트 컴퓨터의 배치를 개략적으로 도시한 개념도.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.

도 4는 본 발명의 제 4 단계를 순차적으로 도시한 순서도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 소정의 모니터링 시스템을 이용한 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법에 있어서, 상기 모니터링 시스템을 통해 상기 호스트 컴퓨터에 소정의 체크신호를 출력하는 제 1 단계와; 상기 호스트 컴퓨터의 응답신호 출력 여부를 판단하는 제 2 단계와; 상기 판단결과, 응답신호가 출력되는 경우 상기 제 1 단계로 리턴하는 제 3 단계와; 상기 판단결과, 응답신호가 출력되지 않는 경우, 온라인상태의 이상원인을 체크하고 소정의 조치를 취하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 상기 제 4 단계는 상기 이상원인이 오프라인인가를 판단하는 제 1 판단단계와; 상기 제 1 판단결과, 오프라인이면, 상기 호스트 컴퓨터의 온라인 상태를 초기화 하고 소정의 모니터에 상기 오프라인 상태를 표시하는 제 1 표시단계와; 상기 제 1 판단결과, 오프라인이 아니면 상기 이상원인이 S/W 에러인가를 판단하는 제 2 판단단계와; 상기 제 2 판단결과, S/W 에러이면 상기 에러를 슬레이한 후 상기 호스트 컴퓨터의 온라인상태를 초기화하고, 상기 모니터에 상기 S/W 에러 상태를 표시하는 제 2 표시단계와; 상기 제 2 판단결과, S/W 에러가 아니면, 상기 이상원인이 네트워크 이상인가를 판단하는 제 3 판단단계와; 상기 제 3 판단결과, 네트워크 이상이면, 상기 모니터에 상기 네트워크 이상 상태를 표시하는 제 3 표시단계와; 상기 제 3 판단결과, 네트워크 이상이 아니면 상기 제 1 판단단계로 리턴하는 수정단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이에 따라, 본 발명에서는 호스트 컴퓨터의 온라인상태 이상을 신속하게 복구시킬 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.

편의상, 종래의 부분과 동일한 부분에는 동일부호를 부여하고 그 설명은 생략하기로 한다.

도 2는 본 발명을 구현하기 위한 설비 및 호스트 컴퓨터의 배치를 개략적으로 도시한 개념도이다.

도시된 바와 같이, 각각의 설비(10)와 온라인상태를 유지하는 호스트 컴퓨터(14)는 본 발명의 모니터링 시스템(100)과 연결된다.

이때, 모니터링 시스템(100)은 호스트 컴퓨터(14)와 소정의 신호 교환이 가능하다.

한편, 모니터링 시스템(100)에는 소정의 감시 모니터(미도시)가 구비되어 상술한 호스트 컴퓨터(14)의 온라인상태를 외부로 디스플레이하고 있다.

도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도이고, 도 4는 본 발명의 제 4 단계를 순차적으로 도시한 순서도이다.

도시된 바와 같이, 본 발명은 모니터링 시스템(100)을 통해 호스트 컴퓨터(14)에 소정의 체크신호를 출력하는 제 1 단계(S10)와, 모니터링 시스템(100)을 통해 호스트 컴퓨터(14)의 응답신호(Reply signal) 출력 여부를 판단하는 제 2 단계(S20)와, 이러한 판단결과, 응답신호가 출력되는 경우 상술한 제 1 단계(S10)로 리턴하는 제 3 단계(리턴)와, 이러한 판단결과, 응답신호가 출력되지 않는 경우, 온라인상태의 이상원인을 체크하고 소정의 조치를 취하는 제 4 단계(S30)를 포함한다.

이러한 본 발명을 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 소정의 전산처리에 의해 온(On)된 모니터링 시스템(100)은 상술한 각 호스트 컴퓨터(14) 중 하나의 개체를 선택하여 온라인상태를 확인할 수 있는 소정의 체크신호, 예컨대, 클럭신호를 출력한다.(S10)

이어서, 모니터링 시스템(100)은 체크신호를 입력받은 호스트 컴퓨터(14)에서 소정의 응답신호가 출력되었는지의 여부를 판단한다.(S20)

이러한 판단결과, 응답신호가 출력된 경우, 모니터링 시스템(100)은 호스트 컴퓨터(14)의 온라인상태가 정상임을 인지하고, 상술한 제 1 단계(S10)로 리턴하여 체크신호를 출력할 다른 호스트 컴퓨터(14)를 선택하고, 상술한 제 1, 제 2 단계(S10,S 20)를 다시 반복한다.(리턴)

이러한 리턴 과정은 모니터링 시스템(100)과 연결된 전 호스트 컴퓨터(14)에서 순차적으로 진행된다.

그러나, 이러한 판단결과, 응답신호가 출력되지 않는 경우, 모니터링 시스템(100)은 호스트 컴퓨터(14)의 온라인상태가 비정상임을 인지하고, 그 이상원인을 체크함과 아울러 그 원인에 따른 적절한 조치를 취한다.(S30)

이때, 본 발명의 특징에 따르면 상술한 제 4 단계(S30)는 이상원인이 오프라인(Off-Line)인가를 판단하는 제 1 판단단계(S31)와, 이러한 제 1 판단결과, 그 이상원인이 오프라인이면, 호스트 컴퓨터(14)의 온라인상태를 초기화(Initialize) 하고(S32) 상술한 감시 모니터에 오프라인 상태를 표시하는 제 1 표시단계(S33)와, 이러한 제 1 판단결과, 오프라인이 아니면 그 이상원인이 소프트웨어(S/W:Sof t-Ware; 이하 S/W라 칭함)에러(Error)인가를 판단하는 제 2 판단단계(S34)와, 이러한 제 2 판단결과, 그 이상원인이 S/W 에러이면 상기 에러를 슬레이(Slay)한 후(S35) 호스트 컴퓨터(14)의 온라인상태를 초기화하고,(S32) 감시 모니터에 S/W 에러 상태를 표시하는 제 2 표시단계(S33)와, 이러한 제 2 판단결과, S/W 에러가 아니면, 그 이상원인이 네트워크 이상인가를 판단하는 제 3 판단단계(S36)와, 이러한 제 3 판단결과, 네트워크 이상이면, 감시 모니터에 네트워크 이상 상태를 표시하는 제 3 표시단계(S33)와, 이러한 제 3 판단결과, 네트워크 이상이 아니면 제 1 판단단계(S31)로 리턴하는 수정단계를 포함한다.

이러한 본 발명의 제 4 단계를 좀더 상세히 설명한다.

먼저, 모니터링 시스템(100)은 호스트 컴퓨터(14)를 써치(Search)하여, 응답신호가 출력되지 않는 이상발생 원인이 오프라인인가를 판단한다.(S31)

이러한 판단결과, 그 원인이 오프라인이면, 모니터링 시스템(100)은 호스트 컴퓨터(14)의 온라인상태를 초기화하여 호스트 컴퓨터(14)에 새로운 온라인 시스템이 셋팅될 수 있는 조건을 형성시킨 후, 감시 모니터를 통하여, 응답신호 미출력의 원인이 오프라인임을 외부로 디스플레이한다.(S32,S33)

이에 따라, 작업자는 오프라인을 해결할 수 있는 적절한 조치를 신속하게 취할 수 있다.

그러나, 이러한 판단결과, 그 원인이 오프라인이 아닌 경우, 모니터링 시스템(100)은 호스트 컴퓨터(14)를 재 써치하여, 이상발생 원인이 온라인상태를 구동시키는 S/W의 에러인가를 판단한다.(S34)

이러한 판단결과, 그 원인이 S/W의 에러이면, 모니터링 시스템(100)은 당해 S/W를 슬레이시켜, 에러 프로세스(Process)를 차단하고, 호스트 컴퓨터(14)의 온라인상태를 초기화하여 호스트 컴퓨터(14)에 새로운 온라인 시스템이 셋팅될 수 있는 조건을 형성시킨 후, 상술한 감시 모니터를 통하여, 응답신호 미출력의 원인이 S/W의 에러임을 외부로 디스플레이한다.(S35,S32,S33)

이에 따라, 작업자는 S/W의 에러를 해결할 수 있는 적절한 조치를 신속하게 취할 수 있다.

그러나, 이러한 판단결과, 그 원인이 S/W의 에러가 아닌 경우, 모니터링 시스템(100)은 호스트 컴퓨터(14)를 재 써치하여, 이상발생 원인이 전체적인 네트워크 시스템의 이상인지를 판단한다.(S36)

이러한 판단결과, 그 원인이 전체적인 네트워크 시스템의 이상이면, 모니터링 시스템(100)은 상술한 감시 모니터를 통하여, 응답신호 미출력의 원인이 네트워크의 이상임을 외부로 디스플레이한다.(S33)

이와 같이, 온라인상태의 이상이 네트워크 시스템인 경우는, 그 사고정도가 매우 심각한 상황이므로, 모니터링 시스템(100)은 상술한 오프라인, S/W의 에러 등과 달리 직접적인 조치는 취하지않고, 신속하게 그 상황을 외부로 디스플레이시킴으로써, 작업자에 의한 신속하고도 적절한 조치가 이루어질 수 있도록 한다.

따라서, 문제점이 발견된 네트워크는 신속히 복구된다.

그러나, 이러한 판단결과, 그 원인이 네트워크의 이상이 아닌 경우, 모니터링 시스템(100)은 플로우를 상술한 제 1 판단단계(S31)로 피드백시켜 이상원인을 재검색한다.

이에 따라 소정의 미발견된 온라인상태의 이상은 그 원인이 정확히 검지되고 상술한 과정에 의해 빠르게 복구될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 호스트 컴퓨터의 온라인 사고를 발생 즉시 신속하게 복구한다.

또한 상술한 바와 같이, 본 발명에서는 그 사고 원인을 다각도로 판단함으로써, 신속한 조치가 이루어질 수 있고, 그 결과 호스트 컴퓨터의 온라인 가동율이 향상된다.

이러한 본 발명은 온라인 시스템이 적용되는 반도체 제조용 모든 생산설비 및 계측설비에서 두루 유용하다.

그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.

이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법에서는 소정의 관리용 모니터링 시스템에 의해 설비 및 호스트 컴퓨터의 온라인상태 이상 유무가 지속적으로 관측되고, 만약 이상이 발생되는 경우, 즉시 작업자에게 그 원인이 전달됨으로써, 신속한 후속조치가 이루어질 수 있다.

Claims (2)

1. 소정의 모니터링 시스템을 이용한 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법에 있어서,

   상기 모니터링 시스템을 통해 상기 호스트 컴퓨터에 소정의 체크신호를 출력하는 제 1 단계와;

   상기 호스트 컴퓨터의 응답신호 출력 여부를 판단하는 제 2 단계와;

   상기 판단결과, 응답신호가 출력되는 경우 상기 제 1 단계로 리턴하는 제 3 단계와;

   상기 판단결과, 응답신호가 출력되지 않는 경우, 온라인상태의 이상원인을 체크하고 소정의 조치를 취하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 4 단계는 상기 이상원인이 오프라인인가를 판단하는 제 1 판단단계와;

   상기 제 1 판단결과, 오프라인이면, 상기 호스트 컴퓨터의 온라인 상태를 초기화 하고 소정의 모니터에 상기 오프라인 상태를 표시하는 제 1 표시단계와;

   상기 제 1 판단결과, 오프라인이 아니면 상기 이상원인이 S/W 에러인가를 판단하는 제 2 판단단계와;

   상기 제 2 판단결과, S/W 에러이면 상기 에러를 슬레이한 후 상기 호스트 컴퓨터의 온라인상태를 초기화하고, 상기 모니터에 상기 S/W 에러 상태를 표시하는 제 2 표시단계와;

   상기 제 2 판단결과, S/W 에러가 아니면, 상기 이상원인이 네트워크 이상인가를 판단하는 제 3 판단단계와;

   상기 제 3 판단결과, 네트워크 이상이면, 상기 모니터에 상기 네트워크 이상 상태를 표시하는 제 3 표시단계와;

   상기 제 3 판단결과, 네트워크 이상이 아니면 상기 제 1 판단단계로 리턴하는 수정단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비용 호스트 컴퓨터의 온라인상태 관리방법.