KR100472152B1 - 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 방법 - Google Patents

반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 반도체 장비와 호스트간에 위치하는 모니터링 시스템에 설치되고, SECS 프로토콜에 따른 반도체 장비와 호스트간 메시지 전송의 끊김 현상을 방지하는 통신 보호 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 본 발명의 바람직한 일실시예에 따르면, 반도체 장비 인터페이스, 호스트 인터페이스, 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트, 제1 스위치, 제2 스위치, 제3 스위치, 메시지 분석/제어부 및 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치가 제공된다.

Description

반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 방법{DEVICE AND METHOD FOR GUARANTEEING ROBUST COMMUNICATION BETWEEN SEMICONDUCTOR EQUIPMENTS AND HOSTS}
본 발명은 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 반도체 장비와 호스트간에 위치하는 모니터링 시스템에 설치되고, SECS 프로토콜에 따른 반도체 장비와 호스트간 메시지 전송의 끊김 현상을 방지하는 통신 보호 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
SECS(SEMI Equipment Communication Standard) 프로토콜은 반도체 공정의 자동화에 의한 생산성 향상이 중요한 요소로 대두되면서 관련 기술의 표준화를 위해 SEMI의 장비 자동화 부분이 반도체 장비와 외부 호스트간의 인터페이스를 위해서 정의한 데이터 통신 표준규약이다. SECS 프로토콜은 RS-232C 방식을 이용한 직렬 통신을 정의한 SECS-I 와 TCP/IP 통신을 규정한 HSMS방식 그리고 메시지 내용을 정의한 SECS-II 로 구성되어 있다.
SECS 프로토콜을 이용하여 반도체 장비와의 통신이 가능해 지면서 제조공정을 모니터링 할 수 있는 모니터링 시스템 개발이 가능해 졌다. 모니터링 시스템은 제조공정을 관리하는 호스트와 반도체 장비 중간에 위치하여 동작을 하면서 공정 자동화를 위하여 호스트와 장비 사이에 주고받는 메시지를 전달하는 역할을 담당하고 있다.
도 1a는 반도체 장비 및 호스트간 메시지 전달 흐름을 도시한 예시도이고, 도 1b는 반도체 장비, 모니터링 시스템 및 호스트간의 메시지 전달 흐름을 도시한 예시도이다.
도 1a를 참조하면, SECS 프로토콜이 제안되기 이전에는 반도체 공정을 수행하는 반도체 장비(10)와 이를 제어하는 호스트(30)가 통신 케이블에 의해 직접 연결되었다. 반도체 제조 공정이 자동화됨으로써, 반도체 제조 공정 중 이상이 발생하더라도 그 이상을 발견하지 못하고 제조 공정을 계속 진행하게되는 문제가 발생한다. 따라서 반도체 생산 업체와 공정 장비 제조 업체들은 반도체 제조 레시피(recipe)가 공정 장치에서 정상적으로 실행되고 있는지 확인할 수 있는 툴(tool)을 필요로 하고 있다.
도 1b를 참조하면, 모니터링 시스템(20)은 반도체 장비(10)와 호스트(30) 사이에 위치하며, 제조공정 모니터링을 위하여 필요한 데이터를 수집하기 위하여 SECS 프로토콜을 이용하여 반도체 장비(10)와 메시지 교환을 하고, 동시에 제조공정 자동화를 위하여 반도체 장비(10)와 호스트(30) 사이에 주고받는 컨트롤 메시지는 통과시켜 주는 기능을 수행한다.
종래에는 위의 도면과 같이 모니터링 시스템의 포트 0(21), 포트 1(22)에 반도체 SECS 인터페이스(11)와 호스트 SECS 인터페이스(31)가 연결되어 통신이 이루어진다.
모니터링 시스템(20)의 포트 0(21)은 반도체 장비와의 메시지 교환을 담당하며 포트 1(31)은 호스트와의 메시지 교환을 담당한다. 좀 더 정확히 설명하면, 포드 0(21)은 반도체 장비(10)와 데이터 메시지 및 컨트롤 메시지를 송수신하고, 포트 1(22)은 호스트(30)와 컨트롤 메시지를 송수신한다.
즉, 모니터링 시스템(20)은 포트 0(21)과 포트 1(22)에서 들어오는 메시지를 분석하여 공정 자동화를 위하여 반도체 장비(10)와 호스트(30)사이에 주고받는 컨트롤 메시지는 그대로 통과시켜서 반도체 장비(10)와 호스트(30) 사이에 원활한 메시지 교환이 이루어지도록 한다. 또한, 모니터링 시스템(20)은 포트 0(21)에서 들어오는 메시지가 데이터 메시지이면, 모니터링 시스템(20) 자체에서 처리한다.
그러나, 반도체 장비(10)의 상태를 감시하거나, 반도체 장비(10)의 결함 또는 오동작을 감지하기 위해 설치된 모니터링 시스템(20) 자체가 S/W 또는 H/W 적인 결함에 의하여 동작을 멈추는 경우에는 반도체 장비(10)와 호스트(30)간의 통신까지도 두절된다. 이로 인해, 호스트(30)에 의한 제조공정 자동화가 중단되어 생산라인이 멈추는 경우가 발생하게 된다.
따라서 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 모니터링 시스템의 상태(state) 및/또는 통신 보호 장치의 상태에 상관없이, 반도체 장비와 호스트간의 안정적인 통신을 보장하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 그 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 모니터링 시스템의 상태에 상관없이, 반도체 장비와 호스트간의 컨트롤 메시지 통신을 보장함으로써, 반도체 제조공정의 자동화 중단 사태를 방지할 수 있는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 바람직한 일실시예에 의하면, 모니터링 시스템에 설치되며, 반도체 장비와 호스트간의 통신을 중계하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 있어서, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 반도체 장비를 연결하고, 상기 반도체 장비와 메시지를 송수신하기 위한 반도체 장비 인터페이스; 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 호스트를 연결하고, 상기 호스트와 메시지를 송수신하기 위한 호스트 인터페이스; 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 모니터링 시스템을 연결하고, 상기 모니터링 시스템과 메시지를 송수신하기 위한 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트; 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 호스트 인터페이스를 연결 또는 차단하는 제1 스위치; 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 제1 직렬 통신 포트를 연결 또는 차단하는 제2 스위치; 상기 호스트 인터페이스와 상기 제2 직렬 통신 포트를 연결 또는 차단하는 제3 스위치; 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트로부터 입력되는 메시지를 분석하여 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 제1 스위치, 상기 제2 스위치 및 상기 제3 스위치를 제어하여 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트간 연결 상태를 직접 연결 상태 또는 우회 연결 상태로 변경하는 메시지 분석/제어부-여기서, 직접 연결 상태는 상기 반도체 장비와 호스트가 모니터링 시스템의 중계없이 직접 통신하는 상태이고, 우회 연결 상태는 모니터링 시스템이 반도체 장비 및 호스트간 통신을 중계하는 상태임; 상기 메시지 분석에 필요한 정보, 상기 제1 스위치, 상기 제2 스위치 및 상기 제3 스위치 제어에 필요한 정보를 저장하고, 상기 메시지를 임시 저장하는 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치가 제공된다.
여기서, 상기 반도체 인터페이스 및 상기 호스트 인터페이스는 SECS 프로토콜에 따른 직렬 통신을 통해 메시지를 송수신할 수 있다.
또한, 상기 제1스위치는, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 전원 미공급 상태 또는 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 전원이 인가된 후 최초 메시지 입력 전 상태 중 어느 한 상태일 경우, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 호스트 인터페이스를 연결할 수 있다.
또한, 상기 메시지 분석/제어부는, 미리 설정된 방법에 따라 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과 정상 상태이면, 상기 제1스위치를 차단하고, 상기 제2스위치 및 상기 제3스위치를 연결하여 우회 연결 상태를 설정할 수 있다. 또한, 상기 메시지 분석/제어부는, 미리 설정된 방법에 따라 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과 이상 상태이면, 상기 제1스위치를 연결하고, 상기 제2스위치 및 상기 제3스위치를 차단하여 직접 연결 상태를 설정할 수 있다.
여기서, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 미리 설정된 방법은, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 경우, 동일한 메시지가 동일한 장비로부터 재차 입력되면, 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 컨트롤 메시지가 입력된 경우, 상기 모니터링 시스템으로부터 동일한 컨트롤 메시지가 입력되지 않으면, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 경우, 일정한 시간 내에 상응하는 응답 메시지가 입력되지 않으면, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 ENQ이 입력된 경우, EOT가 입력되지 않으며, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법 및 미리 지정된 재송신 회수를 초과하는 경우, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따르면, 모니터링 시스템에 설치되며, 반도체 장비와 호스트간의 통신을 중계하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 있어서, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 반도체 장비를 연결하고, 상기 반도체 장비와 메시지를 송수신하기 위한 반도체 장비 인터페이스; 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 호스트를 연결하고, 상기 호스트와 메시지를 송수신하기 위한 호스트 인터페이스; 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 모니터링 시스템을 연결하고, 상기 모니터링 시스템과 메시지를 송수신하기 위한 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트; 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트로부터 입력되는 메시지를 분석하여 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트간 연결 상태를 직접 연결 상태 또는 우회 연결 상태로 변경하는 메시지 분석/제어부-여기서, 직접 연결 상태는 상기 반도체 장비와 호스트가 모니터링 시스템의 중계없이 직접 통신하는 상태이고, 우회 연결 상태는 모니터링 시스템이 반도체 장비 및 호스트간 통신을 중계하는 상태임; 상기 메시지 분석/제어부의 제어 신호에 상응하여, 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트간의 연결 또는 차단을 설정하는 멀티플렉서; 상기 메시지 분석에 필요한 정보, 상기 멀티플렉서 제어에 필요한 정보를 저장하고, 상기 메시지를 임시 저장하는 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치가 제공된다.
여기서, 상기 멀티플렉서는, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 전원 미공급 상태 또는 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 전원이 인가된 후 최초 메시지 입력 전 상태 중 어느 한 상태일 경우, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 호스트 인터페이스를 연결할 수 있다.
또한, 상기 메시지 분석/제어부는, 미리 설정된 방법에 따라 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과 정상 상태이면, 상기 멀티플렉서를 제어하여, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 호스트간 연결을 차단하고, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 제1 직렬 통신 포트간을 연결하고, 상기 호스트 인터페이스와 상기 제2 직렬 통신 포트간을 연결하여 우회 연결 상태를 설정할 수 있다. 또한, 상기 메시지 분석/제어부는, 미리 설정된 방법에 따라 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과 이상 상태이면, 상기 멀티플렉서를 제어하여, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 호스트간을 연결하고, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 제1 직렬 통신 포트간 연결을 차단하고, 상기 호스트 인터페이스와 상기 제2 직렬 통신 포트간 연결을 차단하여 직접 연결 상태를 설정할 수 있다.
본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따르면, 모니터링 시스템에 설치되며, 복수의 반도체 장비와 호스트간의 통신을 중계하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 있어서, 복수의 통신 포트; 상기 복수의 통신 포트와 결합된 멀티플렉서; 상기 복수의 통신 포트 및 상기 멀티플렉서와 결합하고, 상기 복수의 통신 포트로부터 입력되는 메시지를 분석하여 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 멀티플렉서를 제어하여 상기 복수의 통신 포트간 연결 상태를 설정하는 메시지 분석/제어부; 상기 메시지 분석/제어부에 결합하고, 상기 메시지 분석에 필요한 정보, 상기 멀티플렉서 제어에 필요한 정보를 저장하고, 상기 메시지를 임시 저장하는 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치가 제공된다.
여기서, 상기 복수의 통신 포트는 적어도 제1 통신 포트, 제2 통신 포트, 제3 통신 포트 및 제4 통신 포트를 포함할 수 있으며, 상기 멀티플렉서는 상기 메시지 분석/제어부의 제어에 상응하여, 상기 제1 통신 포트와 상기 제4 통신 포트간 연결 또는 차단, 상기 제1 통신 포트와 상기 제2 통신 포트간 연결 또는 차단 및 상기 제3 통신 포트와 상기 제4 통신 포트간 연결 또는 차단을 설정할 수 있다.
본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따르면, 모니터링 시스템에 설치되며, 반도체 장비와 호스트간의 통신을 중계하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 있어서, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 반도체 장비를 연결하고, 상기 반도체 장비와 메시지를 송수신하기 위한 반도체 장비 인터페이스와, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 호스트를 연결하고, 상기 호스트와 메시지를 송수신하기 위한 호스트 인터페이스와, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 모니터링 시스템을 연결하고, 상기 모니터링 시스템과 메시지를 송수신하기 위한 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트와, 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트간 연결 상태를 제어하는 제어부와, 상기 제어부의 제어에 의해 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트를 연결 또는 차단하는 멀티플렉서와, 상기 멀티플렉서 제어에 필요한 정보를 저장하고, 상기 메시지를 임시 저장하는 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치가 제공된다. 여기서, 제어부는, 상기 모니터링 시스템으로부터 메시지가 입력되면, 반도체 장비-호스트간 직접 연결 상태를 우회 연결 상태로 변경하고, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 제1메시지를 수신하고, 상기 제1메시지를 상기 메모리에 임시 저장하고, 상기 제1메시지를 입력한 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 제2메시지를 수신하면, 상기 제2메시지가 상기 제1메시지와 동일한 메시지인지 여부를 판단하고, 상기 제2메시지가 상기 제1메시지와 동일한 메시지이면, 상기 메모리에 저장된 통신 실패 횟수를 증가시킨 후, 미리 설정된 횟수를 초과하였는지 여부를 판단하고, 미리 설정된 횟수를 초과하여 통신 실패가 발생하면, 반도체 장비-호스트간 우회 연결 상태를 직접 연결 상태로 변경하도록 상기 멀티플렉서를 제어하는 과정을 수행한다.
본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따르면, 반도체 장비, 모니터링 시스템 및 호스트로 구성된 반도체 제조 시스템에서의 반도체 장비와 호스트간 통신 보호 방법에 있어서, 상기 모니터링 시스템으로부터 메시지가 입력되면, 반도체 장비-호스트간 직접 연결 상태를 우회 연결 상태로 변경하는 단계와, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 메시지를 입력받는 단계와, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트 중 동일한 송신측으로부터 상기 메시지와 동일한 메시지가 일정 회수 이상 수신되면, 우회 연결 상태를 직접 연결 상태로 변경하는 단계를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법이 제공된다.
본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따르면, 반도체 장비, 모니터링 시스템 및 호스트로 구성된 반도체 제조 시스템에서의 반도체 장비와 호스트간 통신 보호 방법에 있어서, 상기 반도체 장비, 상기 모니터링 시스템 및 상기 호스트 중 어느 하나로부터 메시지를 수신하는 단계; 메시지가 수신되면, 상기 반도체 장비, 상기 모니터링 시스템 및 상기 호스트간의 현재 연결 상태를 판단하는 단계; 현재 연결 상태가 상기 반도체 장비와 상기 호스트간 직접 연결 상태이면, 직접 연결 상태를 상기 반도체 장비와 상기 모니터링 시스템간 연결 및 상기 호스트와 상기 모니터링 시스템간 연결된 우회 연결 상태로 변경하는 단계; 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계; 및 판단 결과, 상기 모니터링 시스템이 이상 상태이면, 우회 연결 상태를 직접 연결 상태로 변경하는 단계를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법이 제공된다.
여기서, 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 경우, 일정한 시간 내에 상응하는 응답 메시지가 모니터링 시스템으로부터 입력되지 않으면, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 단계일 수 있다.
또한, 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는, 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 ENQ이 입력된 경우, EOT가 입력되지 않으며, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 단계일 수 있다.
또한, 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는, 미리 지정된 재송신 회수를 초과하는 경우, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 단계일 수 있다.
여기서, 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는, 상기 반도체 장비, 상기 모니터링 시스템 및 상기 호스트 중 어느 장비로부터 상기 메시지가 입력되었는지를 판단하는 단계; 판단 결과, 상기 메시지가 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 입력된 경우, 상기 메시지가 응답을 필요로 하는 메시지인지를 판단하는 단계; 판단 결과, 상기 메시지가 응답을 필요로 하는 메시지인 경우, 저장된 메시지가 있는지를 판단하는 단계; 및 판단 결과, 저장된 메시지가 있는 경우, 상기 메시지가 저장된 메시지와 동일한지를 판단하는 단계를 포함할 수 있으며, 판단 결과, 저장된 메시지가 없는 경우, 상기 메시지를 저장하는 단계를 더 포함할 수 있다.
여기서, 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는, 상기 반도체 장비, 상기 모니터링 시스템 및 상기 호스트 중 어느 장비로부터 상기 메시지가 입력되었는지를 판단하는 단계; 판단 결과, 상기 메시지가 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 입력된 경우, 상기 메시지가 컨트롤 메시지인지를 판단하는 단계; 및 판단 결과, 상기 메시지가 컨트롤 메시지인 경우, 상기 메시지를 상기 모니터링 시스템으로 전송한 후, 상기 메시지가 모니터링 시스템으로부터 출력되는지를 판단하는 단계를 포함할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
발명의 상세한 설명에 앞서, SECS-I 및 SECS-II 프로토콜과 GEM 프로토콜 및 HSMS 프로토콜에 대해 간략히 설명하기로 한다.
SECS-I에서 정의하는 표준은 반도체 장비와 호스트 사이의 적절한 메시지 교환을 위해 통신 인터페이스를 정의하는 부분으로, 다음과 같은 규칙을 갖는다.
(1) 실제의 전송은 하나의 스타트 비트(Start Bit)와 스톱 비트(Stop Bit)를 갖는 10 비트 직렬 전송이며, 비동기식 양방향 통신이다.
(2) 특정 문자와 핸드세이크(Handshake) 코드에 의해 전송 방향이 구성된 후에 데이터가 전송된다.
(3) 데이터는 245 바이트(Byte)의 블록(Block) 단위로 전송된다.
(4) 각 블록은 10 바이트의 헤더(Header)를 가지며, 블록 헤더는 개개의 블록을 구분해준다.
(5) 하나의 완전한 전송 단위를 메시지라 하며, 1 ~ 32,767 블록으로 구성된다.
(6) 메시지는 요청과 응답의 한 쌍으로 구성되며, 이들을 하나의 트랜잭션이라 한다.
SECS-II는 장비와 호스트간에 메시지 전송 규약에 따라 교환되는 메시지가 해설될 수 있도록 그 구조 및 의미를 규정한다. SECS-II에서 정의된 메시지는 일반적인 반도체 제조에 필요한 대부분의 내용을 포함하고 있으며, 정의되어 있지 않은 장비 고유의 필요한 메시지를 정의해서 사용할 수 있도록 허용하고 있다.
GEM 프로토콜은 SECS 프로토콜보다 진보된 반도체 공정 장비와 호스트간의 통신규약으로서, SECS 프로토콜과 같이 직렬 시리얼 통신에 사용된다. 일반적으로, 최근 개발되고 있는 반도체 공정 장비는 SECS와 GEM을 동시에 지원한다.
HSMS 프로토콜은 앞서 설명한 SECS 및 GEM 프로토콜과 마찬가지로 반도체 공정 장비와 호스트간의 통신규약이다. 차이점은 SECS 및 GEM 프로토콜이 직렬 시리얼 통신에 사용되는데 반해, HSMS 프로토콜은 TCP/IP 통신 프로토콜을 사용하는 유/무선 LAN 또는 인터넷 통신망에서 사용된다.
설명의 편의를 위해, 본 명세서에서는 SECS 프로토콜을 사용하는 모니터링 시스템에 적용된 실시예를 설명하기로 한다. 하지만, 본 발명의 사상이 설명된 SECS 프로토콜을 적용한 모니터링 시스템에 한정되는 것은 아니다.
도 2a는 이상 상태시 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 작동을 도시한 예시도이다.
도 2a를 참조하면, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 반도체 장비(10), 모니터링 시스템(20) 및 호스트(30)의 사이에 위치하며, 반도체 장비(10)-호스트(30), 반도체 장비(10)-모니터링 시스템(20) 및 모니터링 시스템(20)-호스트(30)간의 모든 통신을 중계한다. 도 2a에 도시된 상태는 (1) 모니터링 시스템(20)의 이상 상태, (2) 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)의 전원 미공급 상태 중 어느 하나에 해당한다. 본 명세서에서는 (1) 및 (2)의 경우를 '이상 상태'라 총칭한다.
모니터링 시스템(20)의 이상 상태를 구분하면, (1) S/W 또는 H/W 적인 결함으로 인해, 모니터링 시스템(20)에 오류가 발생한 상태, (2) 모니터링 시스템(20)에 전원이 공급되지 않는 상태, (3) 모니터링 시스템(20)과 반도체-호스트간 통신 보호 장치(100)와의 연결 관계가 임의로 단절된 상태 중 어느 하나에 해당한다. 여기서, (2)와 (3)은 동일한 상태로 분류될 수 있다.
반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100) 또는 모니터링 시스템(20)으로의 최초 전원 공급시, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 반도체 장비-호스트간 직접 연결 상태(이하에서는 '직접 연결 상태'라 함)를 유지한다. 또한, 도 2b에서 설명할 모니터링 시스템 통과 상태(이하에서는 우회 연결(PASS THROUGH) 상태라 함) 중 이상 상태가 발생하면, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 직접 연결 상태로 전환한다.
도 2b는 정상 상태시 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 작동을 도시한 예시도이다.
도 2b를 참조하면, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 반도체 장비(10), 모니터링 시스템(20) 및 호스트(30)의 사이에 위치하며, 반도체 장비(10)-호스트(30), 반도체 장비(10)-모니터링 시스템(20) 및 모니터링 시스템(20)-호스트(30)간의 모든 통신을 중계한다. 도 2b는 모니터링 시스템(20)이 정상 상태이고, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)에 전원이 인가되고 있는 상태일 때, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)의 우회 연결 상태를 나타낸다.
모니터링 시스템(20)이 반도체 장비(10)와 호스트(30) 사이에 위치할 경우, 반도체 장비(10)는 모니터링 시스템(20)을 호스트(30)로 인식하며, 호스트(30)는 모니터링 시스템(20)을 반도체 장비(10)로 인식한다. 따라서, 반도체 장비(10)로부터 출력된 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지는 모니터링 시스템(20)을 통해 호스트(30)로 전송되며, 호스트(30)로부터의 컨트롤 메시지 또한 모니터링 시스템(20)을 통해 반도체 장비(10)로 전송된다. 경우에 따라, 데이터 메시지는 반도체 장비(10)와 모니터링 시스템(20)간에서만 전송되고, 호스트(30)로 전송되지 않을 수 있다.
반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 최초 전원인가 후, 직접 연결 상태를 유지하고 있으며, 반도체 장비(10), 모니터링 시스템(20) 또는 호스트(30) 중 어느 하나로부터 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지가 입력되면, 도 2b에 도시된 바와 같이, 우회 연결 상태로 연결 설정을 변환한다.
도 2a와 도 2b를 참조하여, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 동작 과정을 간략히 설명한다.
반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)에 최초 전원이 인가되기 전 또는 전원 공급이 중단된 경우, 반도체 장비(10)와 호스트(30)는 모니터링 시스템(20)을 통하지 않고 컨트롤 메시지를 직접 교환한다. 즉, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 반도체 장비-호스트간 직접 연결 상태를 유지한다.
반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)에 전원이 인가된 경우, 모니터링 시스템(20)으로부터 메시지가 입력되면, 반도체 장비-호스트간 직접 연결 상태를 우회 연결 상태로 변경한다.
반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)의 연결 상태가 우회 연결 상태일 때, 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 후, 동일한 송신측으로부터 동일한 메시지가 일정 회수 이상 수신되면, 우회 연결 상태를 직접 연결 상태로 변경한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 구성도이다. 도 3을 설명하기 위해, 도 2a의 도면 부호를 인용한다.
도 3을 참조하면, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 SECS 인터페이스 0(110), SECS 인터페이스 1(115), 스위치 1(120), 스위치 2(125), 스위치 3(127), 직렬 통신 포트 0(130), 직렬 통신 포트 1(135), 메시지 분석/제어부(140), 메모리(150) 및 전원 공급부(160)을 포함한다.
SECS 인터페이스 0(110)은 반도체 장비(10)와 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)를 직렬로 연결한다. 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 SECS 인터페이스 0(110)를 통해 반도체 장비(10)와 컨트롤 메시지 및 데이터 메시지를 송수신한다. SECS 인터페이스 1(115)은 호스트(30)와 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)를 직렬로 연결한다. 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 SECS 인터페이스 1(115)을 통해 호스트(30)와 컨트롤 메시지를 송수신한다.
SECS 인터페이스 0, 1(110, 115)은 물리적으로 아래에서 설명할 직렬 통신 포트와 동일하다. 그러나, 반도체 장비(10), 모니터링 시스템(20) 또는 호스트(30)가 SECS 프로토콜 이외의 프로토콜을 이용할 수 있으므로, SECS 인터페이스 0, 1(110, 115)은 사용되는 프로토콜에 상응하는 통신 인터페이스로 변경이 가능함은 물론이다.
스위치 1(120)은 전원 및 메시지 분석/제어부의 입력 신호에 따라 ON/OFF되며, 그 결과로 SECS 인터페이스 0(110)과 SECS 인터페이스 1(115)이 상호 연결(connected) 또는 차단(disconnected)된다. 그리고, 스위치 1(120) 및 스위치 2(125), 스위치 3(127)의 ON/OFF 조합으로 인해, 반도체 장비(10)와 호스트(30)가 모니터링 시스템(20)을 배제한 채 직접 컨트롤 메시지를 전송(즉, 직접 연결 상태)하거나, 또는 모니터링 시스템(20)을 통해 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지를 전송(즉, 우회 연결 상태)한다. 스위치 1(120)은 (1) 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)에 전원 미공급시, (2) 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)에 전원이 인가된 후 최초 메시지 입력 전, (3) 모니터링 시스템(30) 이상 상태시에 연결된다.
스위치 2(125)는 전원 및 메시지 분석/제어부의 입력 신호에 따라 ON/OFF되며, 그 결과로 SECS 인터페이스 0(110)-직렬 통신 포트 0(130)이 연결(connected) 또는 차단(disconnected)된다. 스위치 3(127)은 전원 및 메시지 분석/제어부의 입력 신호에 따라 ON/OFF되며, 그 결과로 SECS 인터페이스 1(115)-직렬 통신 포트 1(135)이 연결(connected) 또는 차단(disconnected)된다. 그리고, 스위치 1(120), 스위치 2(125) 및 스위치 3(127)의 ON/OFF 조합으로 인해, 반도체 장비(10)와 호스트(30)가 모니터링 시스템(20)을 배제한 채 직접 컨트롤 메시지를 전송하거나, 또는 모니터링 시스템(20)을 통해 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지를 전송한다. 스위치 2(125), 스위치 3(127)은 모니터링 시스템(20)에 이상 상태가 발생하지 않는 한 계속적으로 연결을 유지한다.
본 명세서에서는 스위치 1(120), 스위치 2(125), 스위치 3(127)이 별도의 구성 요소인 것으로 설명하였으나, 하나의 장치(예를 들면, 다채널 멀티플렉스)로도 스위치 1(120), 스위치 2(125), 스위치 3(127)의 기능을 구현 가능함은 물론이다.
직렬 통신 포트 0(130) 및 직렬 통신 포트 1(135)은 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)와 모니터링 시스템(20)을 직렬로 연결한다. 모니터링 시스템(20)은 직렬 통신 포트 0(130)을 통해 반도체 장비(10)와 컨트롤 메시지 및 데이터 메시지를 송수신하고, 직렬 통신 포트 1(135)을 통해 호스트(30)와 컨트롤 메시지를 송수신한다.
직렬 통신 포트 0(130) 및 직렬 통신 포트 1(135)은 앞서 설명한 SECS 인터페이스 0, 1(110, 115)과 물리적으로 동일하다. 그러나, 반도체 장비(10), 모니터링 시스템(20) 또는 호스트(30)가 SECS 프로토콜 이외의 프로토콜을 이용할 수 있으므로, 직렬 통신 포트 0(130) 및 직렬 통신 포트 1(135)은 사용되는 프로토콜에 상응하는 통신 인터페이스로 변경이 가능함은 물론이다.
SECS 인터페이스 0, 1(110, 115) 또는 직렬 통신 포트 0, 1(130, 135)로부터의 메시지 입력에 따른 스위치 1(120), 스위치 2(125) 및 스위치 3(127)의 접속/차단 동작과 그 결과에 의한 연결 상태 변환은 도 4를 참조하여 설명하기로 한다.
메시지 분석/제어부(140)는 반도체 장비(10), 모니터링 시스템(20) 또는 호스트(30)로부터 입력되는 메시지를 분석하고, 모니터링 시스템(20)의 이상 상태를 감지하고, 스위치 1(120), 스위치 2(125) 및 스위치 3(127)의 동작을 제어한다. 여기서, 메시지 분석/제어부(140)가 모니터링 시스템(20)의 이상 상태를 감지하는 방법(policy)에는
(1) 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 경우, 동일한 메시지가 동일한 장비로부터 재차 입력되면, 모니터링 시스템(20)을 이상 상태로 결정하는 방법,
(2) 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 컨트롤 메시지가 입력된 경우, 모니터링 시스템(20)으로부터 동일한 컨트롤 메시지가 입력되지 않으면, 모니터링 시스템(20)을 이상 상태로 결정하는 방법,
(3) 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 경우, 일정한 시간 내에 상응하는 응답 메시지가 입력되지 않으면, 모니터링 시스템(20)을 이상 상태로 결정하는 방법,
(4) 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 ENQ(송신 요청)이 입력된 경우, EOT(수신 준비 완료)가 입력되지 않으며, 모니터링 시스템(20)을 이상 상태로 결정하는 방법
(5) 미리 지정된 재송신 회수를 초과하는 경우, 모니터링 시스템(20)을 이상 상태로 결정하는 방법 등이 있다. 그러나, 이상 상태 결정 방법은 이상에서 열거한 5 가지에 한정되지는 않으며, 본 발명이 속한 기술 분야에서 통상의 지식을 가진자라면, 본 발명의 사상안에서 앞서 열거한 방법과 다른 이상 상태 결정 방법을 창작할 수 있을 것이다.
메시지 분석/제어부(140)의 메시지 분석, 이상 상태 감지 및 제어 동작은 도 5a 내지 도 7을 참조하여 상세히 설명하기로 하고, 상기 이상 상태 결정 방법 중 (1) 방법에 대해서만 간략히 설명한다.
최초 전원인가 후, 모니터링 시스템으로부터 메시지가 입력되면, 메시지 분석/제어부(140)는 스위치 1(120), 스위치 2(125), 스위치 3(127)을 제어하여 반도체 장비-호스트간 직접 연결 상태를 우회 연결 상태로 변경한다.
이후, 반도체 장비 또는 호스트로부터 응답이 필요한 제1메시지가 입력되면, 입력된 제1메시지는 모니터링 시스템으로 입력됨과 동시에, 메모리(150)에 임시 저장된다.
이후, 제1메시지를 입력한 반도체 장비 또는 호스트로부터 응답이 필요한 제2메시지를 수신하면, 입력된 제2메시지는 모니터링 시스템으로 입력됨과 동시에, 메모리(150)에 임시 저장된다. 이 때, 메시지 분석/제어부(140)는 제2메시지가 제1메시지와 동일한 메시지인지 여부를 판단한다.
만일, 제2메시지가 제1메시지와 동일한 메시지이면, 메모리(150)에 저장된 통신 실패 횟수를 증가시킨 후, 미리 설정된 횟수를 초과하였는지 여부를 판단한다. 만일, 미리 설정된 횟수를 초과하여 통신 실패가 발생하면, 메시지 분석/제어부(140)는 반도체 장비-호스트간 우회 연결 상태를 직접 연결 상태로 변경하도록 스위치 1(120), 스위치 2(125), 스위치 3(127)을 제어한다.
메모리(150)는 메시지 분석, 이상 상태 감지, 통신 실패 횟수 및 제어 동작에 필요한 정보를 저장한다. 통신 실패 횟수는 응답을 필요로 하는 메시지가 동일한 송신측으로부터 몇 차례 입력되었는가에 관한 정보이다.
전원 공급부(160)는 외부로부터 공급받은 전원을 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)의 각 내부 구성부에 분배한다. 외부 전원은 모니터링 시스템(20)의 전원이거나, 또는 별도의 독립 전원일 수 있다. 도 3에서는, 전원 공급부(160)와 스위치 1(120), 스위치 2(125) 및 스위치 3(127)의 ON/OFF 동작과의 연관성을 표시하기 위해, 전원 공급부(160)와 스위치 1(120), 스위치 2(125) 및 스위치 3(127)의 연결 관계만이 점선으로 도시되어 있다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 스위치 동작에 따른 입출력 포트의 연결 상태를 도시한 예시도이다.
스위치 1(120), 스위치 2(125) 및 스위치 3(127) 동작의 조합에 의한 SECS 인터페이스 0, 1(110, 115), 직렬 통신 포트 0, 1 (130, 135)간의 연결 상태는 직접 연결 상태와 우회 연결 상태만 존재한다. 도 4를 참조하면, 총 6개의 상태가 존재하며, 이는 직접 연결 상태 또는 우회 연결 상태에서 어느 장비로부터 메시지가 입력되었으며, 어느 상태에서 모니터링 시스템의 이상 상태를 감지할 수 있느냐에 따라 구분한 것이다. 상태1, 상태2 및 상태3은 모두 직접 연결 상태이며, 상태4, 상태5 및 상태6은 우회 연결 상태이며, 모니터링 시스템(20)의 이상 상태를 감지할 수 있는 상태는 상태5이다.
도 4에 표시된 1, 4는 각각 SECS 인터페이스 0(110), SECS 인터페이스 1(115)을 나타내며, 2, 3은 각각 직렬 통신 포트 0 (130), 직렬 통신 포트 1 (135)을 나타낸다. 그리고, 스위치 1(120), 스위치 2(125) 및 스위치 3(127)의 ON/OFF 조합에 의한 SECS 인터페이스 0, 1(110, 115), 직렬 통신 포트 0, 1 (130, 135)간의 연결 상태는 각 숫자간 연결선으로 나타낸다. 또한, 반도체 장비(10), 모니터링 시스템(20) 또는 호스트(30)로부터의 메시지 입력은 동시 또는 순차적으로 발생할 수 있으며, 다만, 설명의 편의를 위해 다음과 같이 구분하여 도시하였다. 도 4에는 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)로 입력되는 메시지만 도시하였으며, 출력되는 메시지는 도시하지 않았고, 1 및 4로 입력되는 메시지는 반드시 동시에 입력되어야 하는 것은 아니며, 1 또는 4로의 입력이 발생한 경우를 하나의 도면으로 표시한 것에 불과하다. 2 및 3으로 입력되는 메시지도 반드시 동시에 입력되어야 하는 것은 아니며, 2 또는 3으로의 입력이 발생한 경우를 하나의 도면에 표시한 것에 불과하다.
장비-호스트간 통신 보호 장치(100)에 전원이 인가되지 않거나, 또는 인가된 후 메시지가 입력되지 않은 경우, 상태1과 같이 직접 연결 상태를 유지한다.
상태1에서, 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 2 또는 3으로부터 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지가 입력되면 상태2로 천이하고, 1 또는 4로부터 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지가 입력되면 상태3으로 천이한다.
상태2 또는 상태3에서는 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)가 모니터링 시스템(20)의 이상 상태를 감지할 수 없다. 특히, 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 모니터링 시스템(20)을 이상 상태로 판단했다 하더라도, 상태2로 천이하게 되면 이상 상태 결정을 취소한다. 상태2는 자동적으로 상태4로 천이한다. 그러나, 상태3은 미리 설정된 천이 조건에 따라 상태1 또는 상태4로 천이한다. 미리 설정 가능한 천이 조건은 (1) 1 또는 4로 입력되는 메시지의 종류에 상관없이 상태4로 천이, (2) 1 또는 4로 입력되는 메시지가 컨트롤 메시지면 상태1로 천이하고 데이터 메시지면 상태4로 천이 중 어느 하나일 수 있다. 천이 조건은 설계자, 제작자 또는 운영자에 의해 결정될 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
상태4에서, 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)는 1 또는 4로부터 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지가 입력되면 상태5로 천이하고, 2 또는 3으로부터 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지가 입력되면 상태6으로 천이한다.
상태5에서는 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)가 모니터링 시스템(20)의 이상 상태를 감지할 수 있다. 그러나, 상태6에서는 모니터링 시스템(20)의 이상 상태를 감지할 수 없다. 상태5에서, 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)가 모니터링 시스템(20)의 이상 상태를 감지하면 자동적으로 상태1로 천이한다. 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)가 상태1로 천이함으로써, 모니터링 시스템(20)에 의한 반도체 장비(10)의 정상 작동 여부 감시는 불가능해지지만, 최소한 호스트(30)에 의한 반도체 장비(10)의 제어는 가능해진다.
도 5a는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법을 도시한 흐름도이다.
도 5a를 참조하면, 단계 200에서, 메시지 분석/제어부(140)는 반도체 장비(10), 모니터링 시스템(20) 또는 호스트(30)로부터 컨트롤 메시지 또는 데이터 메시지를 수신한다.
단계 210에서, 메시지가 수신되면, 메시지 분석/제어부(140)는 스위치 1(120), 스위치 2(125), 스위치 3(127)의 ON/OFF 상태를 점검하여, 현재 연결 상태를 판단한다(210). 현재 연결 상태가 직접 연결 상태이면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 300으로 진행한다. 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 400으로 진행한다.
단계 300에서, 메시지 분석/제어부(140)는 미리 설정된 방법에 따라 현재의 연결 설정을 유지하거나 또는 변환한다. 즉, 메시지 분석/제어부(140)는 스위치 1(120), 스위치 2(125), 스위치 3(127)를 각각 ON 또는 OFF함으로써, 입력된 메시지를 각 장비로 전송한다. 단계 300은 도 5b를 참조하여 설명한다.
도 5b는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중 직접 연결시 처리 과정을 도시한 상세 흐름도이다.
단계 310에서, 메시지 분석/제어부(140)는 현재 입력된 메시지가 어떤 장비로부터 입력되었는지를 판단한다. 메시지가 SECS 인터페이스 0(110) 또는 SECS 인터페이스 1(115)로부터 입력된 경우, 즉, 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 메시지가 전송되면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 315로 진행한다. 메시지가 직렬 통신 포트 0(130) 또는 직렬 통신 포트 1(135)로부터 입력된 경우, 즉, 모니터링 시스템(20)으로부터 입력되면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 335로 진행한다.
단계 315에서, 직접 연결 상태에서 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 메시지 입력이 있을 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 입력된 메시지를 특정 방식으로 처리하도록 처리 조건이 있는지를 판단한다. 미리 설정된 처리 조건이 없는 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 325로 진행한다. 미리 설정된 조건이 있는 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 320으로 진행한다. 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중, 단계 315는 생략가능하며, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 생산시에 단계 315를 실행하지 않도록 설정할 수도 있다. 단계 315가 생략될 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 (1) 입력된 메시지의 종류에 상관없이 연결 상태를 변경하거나, (2) 미리 설정된 처리 조건에 따라 연결 상태를 변경할 수 있다.
단계 320에서, 메시지 분석/제어부(140)는 미리 설정된 처리 조건에 따라 연결 설정을 변환한다. 미리 설정된 처리 조건이 입력된 메시지의 종류에 따라 연결 설정을 변환하도록 하는 처리 조건일 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 메시지의 종류를 판단한다. 입력된 메시지가 데이터 메시지일 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 325로 진행한다. 입력된 메시지가 컨트롤 메시지인 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 330으로 진행한다. 단계 320에서 설명한 메시지 종류에 따른 처리 조건은 일예에 불과하며, 다양한 처리 조건이 단계 320에 적용될 수 있음은 물론이다.
단계 325에서, 미리 설정된 처리 조건이 없는 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 스위치 1(120)을 OFF하고, 스위치 2(125), 스위치 3(127)을 ON하여 우회 연결 상태로 연결 설정을 변환한다.
단계 335에서, 직접 연결 상태에서 모니터링 시스템(20)으로부터 메시지 입력이 있을 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 스위치 1(120)을 OFF하고, 스위치 2(125), 스위치 3(127)을 ON하여 우회 연결 상태로 연결 설정을 변환한다.
다시 도 5a를 설명한다.
단계 400에서, 메시지 분석/제어부(140)는 모니터링 시스템(20)에서 이상 상태가 발생하였는지를 판단한다. 판단 결과, 이상 상태가 발생하면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 500으로 진행한다. 이상 상태가 발생하지 않으면, 다시 단계 200으로 진행한다. 단계 400은 도 5c를 참조하여 설명한다.
도 5c는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중 이상 발생 판단 과정을 도시한 상세 흐름도이다. 좀 더 자세히 설명하면, 도 5c는 1차로 입력된 메시지와 동일한 메시지가 재차 입력되면, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)가 모니터링 시스템(20)이 이상 상태인 것으로 판단하는 방법을 도시한 흐름도이다.
단계 405에서, 메시지 분석/제어부(140)는 현재 입력된 메시지가 어떤 장비로부터 입력되었는지를 판단한다. 메시지가 SECS 인터페이스 0(110) 또는 SECS 인터페이스 1(115)로부터 입력된 경우, 즉, 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 메시지가 전송되면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 430으로 진행한다. 메시지가 직렬 통신 포트 0(130) 또는 직렬 통신 포트 1(135)로부터 입력된 경우, 즉, 모니터링 시스템(20)으로부터 입력되면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 410으로 진행한다.
단계 410에서, 메시지 분석/제어부(140)는 입력된 메시지가 응답을 필요로 하는 메시지인가를 판단한다. SECS 프로토콜이 사용되는 장비인 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 수신한 메시지의 블록 헤더를 해석하여 응답이 필요한 메시지인지를 판단한다.
SECS-I 프로토콜의 경우, 전송되는 모든 메시지는 블록 형태로 전송되며, 전송되는 모든 블록은 그 블록을 특징짓는 10 바이트의 헤더를 가지고 있으며, 다음 표와 같다.
메시지 분석/제어부(140)는 메시지 헤더의 3번째 블록의 8번째 비트, 즉, W 비트를 검사하여, 0 비트이면, 단계 430으로 진행한다. 만일 W 비트가 1이면, 단계 415로 진행한다.
단계 415에서, 메시지 분석/제어부(140)는 저장된 메시지가 있는지를 판단하여, 저장된 메시지가 있으면 단계 420으로 진행한다. 만일 저장된 메시지가 없으면, 단계 425로 진행한다.
SECS 프로토콜에 의할 경우, 반도체 장비와 호스트간의 통신 안정성을 위해, 메시지를 수신할 장비로부터 일정 시간 내에 응답이 없으면, 메시지를 전송한 장비가 동일한 메시지를 한번 더 메시지를 수신할 장비로 전송한다. 만일, 일정 시간 내에 메시지를 수신한 장비가 응답 메시지를 전송하면, 메시지를 전송한 장비는 동일한 메시지를 전송하지 않으며, 메시지를 수신한 장비가 정상적으로 동작하고 있는 것으로 판단된다. 그러나, 반도체 장비와 호스트 사이에 모니터링 시스템이 위치하는 경우, 반도체 장비와 호스트는 정상적으로 동작하더라도, 모니터링 시스템에 문제가 발생하면, 반도체 장비 또는 호스트는 각각 상대측이 이상 상태에 있는 것으로 판단할 수밖에 없다. 따라서, 응답을 필요로 하는 동일한 메시지가 2회 이상 입력되면, 메시지 분석/제어부(140)는 반도체 장비 또는 호스트가 이상 상태인지 여부는 불문하고, 모니터링 시스템(20)이 이상 상태인 것으로 판단하도록 한다.
반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)에 전원이 인가된 이후, 최초로 응답을 필요로 하는 메시지가 입력되면, 저장된 메시지가 없으므로, 메시지 분석/제어부(140)는 반드시 단계 425로 진행하지만, 이후에는 반드시 단계 420으로 진행한다. 따라서, 단계 415는 경우에 따라서는 단계 420과 함께 실행될 수도 있다.
단계 420에서, 메시지 분석/제어부(140)는 저장된 메시지 중 입력된 메시지와 동일한 메시지가 있는지를 판단하여, 동일한 메시지가 없는 경우에는 단계 425로 진행한다. 동일한 메시지가 있는 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 도 5a의 단계 500으로 진행한다.
실시예에 따라서, 단계 415가 생략될 수 있다. 이러한 경우, 단계 420에서, 저장된 메시지가 없으면, 메시지 분석/제어부(140)는 입력된 메시지와 동일한 메시지가 없는 것으로 판단한다.
단계 425에서, 메시지 분석/제어부(140)는 입력된 메시지를 메모리에 저장한 후, 단계 430으로 진행한다.
단계 430에서, 판단 결과 이상이 발생하지 않았으므로, 메시지 분석/제어부(140)는 현재 연결 상태(즉, 우회 연결 상태)를 유지한다. 이후 메시지 분석/제어부(140)는 도 5a의 단계 200으로 되돌아간다.
도 6은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중 이상 발생 판단 과정을 도시한 상세 흐름도이다. 좀 더 자세히 설명하면, 도 6은 입력된 컨트롤 메시지가 모니터링 시스템(20)으로부터 출력되지 않으면, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)가 모니터링 시스템(20)이 이상 상태인 것으로 판단하는 방법을 도시한 흐름도이다.
단계 450에서, 메시지 분석/제어부(140)는 현재 입력된 메시지가 어떤 장비로부터 입력되었는지를 판단한다. 메시지가 SECS 인터페이스 0(110) 또는 SECS 인터페이스 1(115)로부터 입력된 경우, 즉, 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 메시지가 전송되면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 455로 진행한다. 메시지가 직렬 통신 포트 0(130) 또는 직렬 통신 포트 1(135)로부터 입력된 경우, 즉, 모니터링 시스템(20)으로부터 입력되면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 465로 진행한다.
단계 455에서, 메시지 분석/제어부(140)는 입력된 메시지가 컨트롤 메시지인가를 판단한다. SECS 프로토콜이 사용되는 장비인 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 수신한 메시지의 블록 헤더를 해석하여 컨트롤 메시지인지를 판단한다. 즉, 메시지 분석/제어부(140)는 블록 헤더의 3 번째 및 4 번째 바이트에 포함된 메시지 ID를 이용하거나, 스트림(STREAM) 혹은 펑션(FUNCTION)을 이용하여 입력된 메시지가 컨트롤 메시지인지 여부를 판단한다. 참고로, 스트림이나 펑션은 반도체 제조에 필요한 내용으로, 대부분이 미리 정의되어 있으며, 스트림이 상위 분류이고, 펑션이 하위 분류이다. 그러나, 반도체 장비의 특성에 의해 추가로 정의되어야 하는 내용도 있으므로, 펑션 중 일부는 반도체 장비 또는 호스트 제작사가 임의로 설정하여 사용될 수도 있다.
입력된 메시지가 컨트롤 메시지이면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 460으로 진행한다. 입력된 메시지가 컨트롤 메시지가 아니면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 465로 진행한다.
단계 460에서, 메시지 분석/제어부(140)는 입력된 컨트롤 메시지를 모니터링 시스템(20)의 임의의 직렬 포트로 전송한 후, 모니터링 시스템(20)으로부터 다른 직렬 포트를 통해 해당 컨트롤 메시지가 입력되는지를 판단한다.
실제로, 단계 460은 도 5a 및 도 5c에 도시된 단계를 모두 실행한다. 다시 말하면, 모니터링 시스템(20)으로 입력된 컨트롤 메시지가 다시 출력되어 나오는 지를 판단하기 위해서, 메시지 분석/제어부(140)는 모니터링 시스템(20)으로부터 임의의 메시지가 입력되면, 이를 도 5a에 도시된 과정과 동일한 과정에 의해 판단하기 때문이다. 따라서, 단계 460에서, 메시지 분석/제어부(140)는 임의의 장비(즉, 반도체 장비 또는 호스트)로부터 입력된 컨트롤 메시지를 임시 저장한 후, 단계 200으로 진행한다. 이후, 모니터링 시스템(20)으로부터 메시지가 입력되면, 메시지 분석/제어부(140)는 저장된 컨트롤 메시지와 동일한지를 판단하다. 만일, 모니터링 시스템(20)으로 입력된 메시지와 동일한 메시지가 모니터링 시스템(20)으로부터 출력되지 않으면, 메시지 분석/제어부(140)는 모니터링 시스템(20)이 이상 상태라고 판단한 후, 도 5a의 단계 500으로 진행한다. 만일, 충분한 처리 시간, 즉, 컨트롤 메시지가 모니터링 시스템(20)에 입력된 후 출력되기까지 걸리는 시간 이내에 모니터링 시스템(20)으로부터 컨트롤 메시지가 출력되면, 메시지 분석/제어부(140)는 단계 465로 진행하여, 현재 연결 상태를 유지한다.
도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중 이상 발생 판단 과정을 도시한 상세 흐름도이다. 좀 더 자세히 설명하면, 도 7은 미리 설정된 응답 시간 내에 모니터링 시스템(20)으로부터 응답 메시지가 입력되지 않는 경우, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)가 모니터링 시스템(20)이 이상 상태인 것으로 판단하는 방법을 도시한 흐름도이다.
단계 600에서, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치로 메시지가 입력되면, 단계 610에서, 메시지 분석/제어부(140)는 어느 장비로부터 메시지가 입력되었는지를 판단한다.
단계 620에서, 메시지 분석/제어부(140)는 현재 연결 상태, 현재 모니터링 시스템(20)의 상태 및 저장된 메시지가 있는지 여부를 판단한다. 만일, 모니터링 시스템(20)의 상태가 이상 상태인데 모니터링 시스템(20)으로부터 메시지가 입력되면, 메시지 분석/제어부(140)는 모니터링 시스템(20)의 상태를 이상 상태에서 정상 상태로 변경한다.
단계 630에서, 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이고, 입력된 메시지가 응답이 필요한 메시지인 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 미리 설정된 응답 시간 내에 상응하는 응답 메시지가 모니터링 시스템(20)으로부터 입력되는지 여부를 판단한다. 만일, 상응하는 응답 메시지가 입력되지 않는 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 모니터링 시스템(20)의 상태를 정상 상태에서 이상 상태로 변경한다.
또한, 다른 실시예에서, 반도체 장비(10) 또는 호스트(30)로부터 ENQ(송신 요청)이 입력된 경우, EOT(수신 준비 완료)가 입력되지 않으며, 메시지 분석/제어부(140)는 모니터링 시스템(20)의 상태를 정상 상태에서 이상 상태로 변경한다.
또 다른 실시예에서, 미리 지정된 재송신 회수를 초과하는 전송 오류가 발생한 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 모니터링 시스템(20)의 상태를 정상 상태에서 이상 상태로 변경한다.
단계 640에서, 단계 630의 판단 결과에 따라, 모니터링 시스템(20)이 이상 상태인 경우, 메시지 분석/제어부(140)는 현재 연결 상태를 변경한다. 즉, 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 연결 상태를 우회 연결 상태에서 직접 연결로 변환한다. 모니터링 시스템(20)이 정상 상태이면, 현재의 연결 상태를 유지한다.
본 발명은 반도체 장비를 관리하는 모니터링 시스템에 오류가 발생하여 반도체 장비 및 호스트간의 통신이 두절됨으로써, 반도체 제조 공정이 정지되는 사태를 방지하기 위해, 모니터링 시스템의 이상 상태에도 불구하고, 반도체 장비와 호스트간의 최소한의 메시지 교환을 가능하게 하는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 명세서에서는 설명의 편의를 위해, 하나의 반도체 장비와 하나의 모니터링 시스템로 구성된 반도체 제조 장비 네트워크를 이용하여 본 발명을 설명하였으나, 실시예에 따라서는 복수의 반도체 장비와 하나의 모니터링 시스템 또는 복수의 반도체 장비와 복수의 모니터링 시스템에도 본 발명에 의한 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치(100)가 적용될 수 있음은 물론이다. 또한, 본 명세서에 기재된 모니터링 시스템의 이상 상태 판단 방법만이 본 발명을 실시하기 위해 필요한 방법은 아니며, 당업자라면 용이하게 본 명세서에 기재된 방법과 다른 이상 상태 판단 방법을 고안하여 본 발명을 실시할 수 있음은 물론이다.
따라서, 본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 많은 변형이 본 발명의 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 가능함은 물론이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 그 방법에 의하면, 모니터링 시스템의 상태(state) 및/또는 통신 보호 장치의 상태에 상관없이, 반도체 장비와 호스트간의 안정적인 통신이 보장된다.
또한, 본 발명에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치 및 그 방법에 의하면, 모니터링 시스템의 상태에 상관없이, 반도체 장비와 호스트간의 컨트롤 메시지 통신을 보장함으로써, 반도체 제조공정의 자동화 중단 사태를 방지할 수 있게 된다.
도 1a는 반도체 장비 및 호스트간 메시지 전달 흐름을 도시한 예시도;
도 1b는 반도체 장비, 모니터링 시스템 및 호스트간의 메시지 전달 흐름을 도시한 예시도;
도 2a는 이상 상태시 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 작동을 도시한 예시도;
도 2a는 정상 상태시 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 작동을 도시한 예시도;
도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 구성도;
도 4는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치의 스위치 동작에 따른 입출력 포트의 연결 상태를 도시한 예시도;
도 5a는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법을 도시한 흐름도;
도 5b는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중 직접 연결시 처리 과정을 도시한 상세 흐름도;
도 5c는 본 발명의 바람직한 일실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중 이상 발생 판단 과정을 도시한 상세 흐름도;
도 6은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중 이상 발생 판단 과정을 도시한 상세 흐름도;
도 7은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법 중 이상 발생 판단 과정을 도시한 상세 흐름도.

Claims (30)

  1. 모니터링 시스템에 설치되며, 반도체 장비와 호스트간의 통신을 중계하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 있어서,
    제1 인터페이스;
    제2 인터페이스;
    제1 직렬 통신 포트;
    제2 직렬 통신 포트;
    상기 제1 인터페이스와 상기 제2 인터페이스를 연결 또는 차단하는 제1 스위치;
    상기 제1 인터페이스와 상기 제1 직렬 통신 포트를 연결 또는 차단하는 제2 스위치;
    상기 제2 인터페이스와 상기 제2 직렬 통신 포트를 연결 또는 차단하는 제3 스위치;
    상기 제1 인터페이스, 상기 제2 인터페이스, 상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트로부터 입력되는 메시지를 분석하여 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 제1 스위치, 상기 제2 스위치 및 상기 제3 스위치를 제어하여 상기 제1 인터페이스, 상기 제2 인터페이스, 상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트간 연결 상태를 변경하는 메시지 분석/제어부;
    상기 메시지 분석에 필요한 정보, 상기 제1 스위치, 상기 제2 스위치 및 상기 제3 스위치 제어에 필요한 정보를 저장하고, 상기 메시지를 임시 저장하는 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 인터페이스는 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 반도체 장비를 연결하고, 상기 반도체 장비와 메시지를 송수신하기 위한 반도체 장비 인터페이스인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2 인터페이스는 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 호스트를 연결하고, 상기 호스트와 메시지를 송수신하기 위한 호스트 인터페이스인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  4. 제1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 인터페이스 및 상기 제2 인터페이스는 SECS 프로토콜에 따른 직렬 통신을 통해 메시지를 송수신하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트는 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 모니터링 시스템을 연결하고, 상기 모니터링 시스템과 메시지를 송수신하기 위한 통신 포트인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1스위치는, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 전원 미공급 상태 또는 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 전원이 인가된 후 최초 메시지 입력 전 상태 중 어느 한 상태일 경우, 상기 제1 인터페이스와 상기 제2 인터페이스를 연결하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 메시지 분석/제어부는, 미리 설정된 방법에 따라 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과 정상 상태이면, 상기 제1스위치를 차단하고, 상기 제2스위치 및 상기 제3스위치를 연결하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 메시지 분석/제어부는, 미리 설정된 방법에 따라 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과 이상 상태이면, 상기 제1스위치를 연결하고, 상기 제2스위치 및 상기 제3스위치를 차단하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 미리 설정된 방법은,
    상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 경우, 동일한 메시지가 동일한 장비로부터 재차 입력되면, 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  10. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 미리 설정된 방법은,
    상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 컨트롤 메시지가 입력된 경우, 상기 모니터링 시스템으로부터 동일한 컨트롤 메시지가 입력되지 않으면, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  11. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 미리 설정된 방법은,
    상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 경우, 일정한 시간 내에 상응하는 응답 메시지가 입력되지 않으면, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  12. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 미리 설정된 방법은,
    상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 송신요청(ENQ)이 입력된 경우, 수신준비완료(EOT)가 입력되지 않으며, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  13. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 미리 설정된 방법은,
    미리 지정된 재송신 회수를 초과하는 경우, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 방법인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  14. 모니터링 시스템에 설치되며, 반도체 장비와 호스트간의 통신을 중계하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 있어서,
    상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 반도체 장비를 연결하고, 상기 반도체 장비와 메시지를 송수신하기 위한 반도체 장비 인터페이스;
    상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 호스트를 연결하고, 상기 호스트와 메시지를 송수신하기 위한 호스트 인터페이스;
    상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 모니터링 시스템을 연결하고, 상기 모니터링 시스템과 메시지를 송수신하기 위한 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트;
    상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트로부터 입력되는 메시지를 분석하여 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트간 연결 상태를 직접 연결 상태 또는 우회 연결 상태로 변경하는 메시지 분석/제어부-여기서, 직접 연결 상태는 상기 반도체 장비와 호스트가 모니터링 시스템의 중계없이 직접 통신하는 상태이고, 우회 연결 상태는 모니터링 시스템이 반도체 장비 및 호스트간 통신을 중계하는 상태임;
    상기 메시지 분석/제어부의 제어 신호에 상응하여, 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트간의 연결 또는 차단을 설정하는 멀티플렉서;
    상기 메시지 분석에 필요한 정보, 상기 멀티플렉서 제어에 필요한 정보를 저장하고, 상기 메시지를 임시 저장하는 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 멀티플렉서는, 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 전원 미공급 상태 또는 상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 전원이 인가된 후 최초 메시지 입력 전 상태 중 어느 한 상태일 경우, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 호스트 인터페이스를 연결하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 메시지 분석/제어부는, 미리 설정된 방법에 따라 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과 정상 상태이면, 상기 멀티플렉서를 제어하여, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 호스트간 연결을 차단하고, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 제1 직렬 통신 포트간을 연결하고, 상기 호스트 인터페이스와 상기 제2 직렬 통신 포트간을 연결하여 우회 연결 상태를 설정하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 메시지 분석/제어부는, 미리 설정된 방법에 따라 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과 이상 상태이면, 상기 멀티플렉서를 제어하여, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 호스트간을 연결하고, 상기 반도체 장비 인터페이스와 상기 제1 직렬 통신 포트간 연결을 차단하고, 상기 호스트 인터페이스와 상기 제2 직렬 통신 포트간 연결을 차단하여 직접 연결 상태를 설정하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  18. 모니터링 시스템에 설치되며, 복수의 반도체 장비와 호스트간의 통신을 중계하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 있어서,
    복수의 통신 포트;
    상기 복수의 통신 포트와 결합된 멀티플렉서;
    상기 복수의 통신 포트 및 상기 멀티플렉서와 결합하고, 상기 복수의 통신 포트로부터 입력되는 메시지를 분석하여 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하고, 판단 결과에 따라 상기 멀티플렉서를 제어하여 상기 복수의 통신 포트간 연결 상태를 설정하는 메시지 분석/제어부;
    상기 메시지 분석/제어부에 결합하고, 상기 메시지 분석에 필요한 정보, 상기 멀티플렉서 제어에 필요한 정보를 저장하고, 상기 메시지를 임시 저장하는 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 복수의 통신 포트는 적어도 제1 통신 포트, 제2 통신 포트, 제3 통신 포트 및 제4 통신 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 멀티플렉서는 상기 메시지 분석/제어부의 제어에 상응하여, 상기 제1 통신 포트와 상기 제4 통신 포트간 연결 또는 차단, 상기 제1 통신 포트와 상기 제2 통신 포트간 연결 또는 차단 및 상기 제3 통신 포트와 상기 제4 통신 포트간 연결 또는 차단을 설정하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  21. 모니터링 시스템에 설치되며, 반도체 장비와 호스트간의 통신을 중계하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 있어서,
    상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 반도체 장비를 연결하고, 상기 반도체 장비와 메시지를 송수신하기 위한 반도체 장비 인터페이스;
    상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 호스트를 연결하고, 상기 호스트와 메시지를 송수신하기 위한 호스트 인터페이스;
    상기 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치와 상기 모니터링 시스템을 연결하고, 상기 모니터링 시스템과 메시지를 송수신하기 위한 제1 직렬 통신 포트 및 제2 직렬 통신 포트;
    상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트간 연결 상태를 제어하는 제어부;
    상기 제어부의 제어에 의해 상기 반도체 장비 인터페이스, 상기 호스트 인터페이스, 상기 제1 직렬 통신 포트 및 상기 제2 직렬 통신 포트를 연결 또는 차단하는 멀티플렉서;
    상기 멀티플렉서 제어에 필요한 정보를 저장하고, 상기 메시지를 임시 저장하는 메모리를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  22. 제21항에 있어서, 상기 제어부는,
    상기 모니터링 시스템으로부터 메시지가 입력되면, 반도체 장비-호스트간 직접 연결 상태를 우회 연결 상태로 변경하고,
    상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 제1메시지를 수신하고, 상기 제1메시지를 상기 메모리에 임시 저장하고,
    상기 제1메시지를 입력한 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 제2메시지를 수신하면, 상기 제2메시지가 상기 제1메시지와 동일한 메시지인지 여부를 판단하고,
    상기 제2메시지가 상기 제1메시지와 동일한 메시지이면, 상기 메모리에 저장된 통신 실패 횟수를 증가시킨 후, 미리 설정된 횟수를 초과하였는지 여부를 판단하고,
    미리 설정된 횟수를 초과하여 통신 실패가 발생하면, 반도체 장비-호스트간 우회 연결 상태를 직접 연결 상태로 변경하도록 상기 멀티플렉서를 제어하는 과정을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
  23. 삭제
  24. 반도체 장비, 모니터링 시스템 및 호스트로 구성된 반도체 제조 시스템에서의 반도체 장비와 호스트간 통신 보호 방법에 있어서,
    상기 반도체 장비, 상기 모니터링 시스템 및 상기 호스트 중 어느 하나로부터 메시지를 수신하는 단계;
    메시지가 수신되면, 상기 반도체 장비, 상기 모니터링 시스템 및 상기 호스트간의 현재 연결 상태를 판단하는 단계;
    상기 현재 연결 상태가 상기 반도체 장비와 상기 호스트간 직접 연결 상태이면, 직접 연결 상태를 상기 반도체 장비와 상기 모니터링 시스템간 연결 및 상기 호스트와 상기 모니터링 시스템간 연결된 우회 연결 상태로 변경하는 단계;
    상기 현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계;
    판단 결과, 상기 모니터링 시스템이 이상 상태이면, 우회 연결 상태를 직접 연결 상태로 변경하는 단계를 포함하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법.
  25. 제24항에 있어서,
    현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는,
    상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 응답이 필요한 메시지가 입력된 경우, 일정한 시간 내에 상응하는 응답 메시지가 모니터링 시스템으로부터 입력되지 않으면, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 단계인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법.
  26. 제24항에 있어서,
    현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는,
    상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 송신요청(ENQ)이 입력된 경우, 수신준비완료(EOT)가 입력되지 않으며, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 단계인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법.
  27. 제24항에 있어서,
    현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는,
    미리 지정된 재송신 회수를 초과하는 경우, 상기 모니터링 시스템을 이상 상태로 결정하는 단계인 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법.
  28. 제24항에 있어서,
    현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는,
    상기 반도체 장비, 상기 모니터링 시스템 및 상기 호스트 중 어느 장비로부터 상기 메시지가 입력되었는지를 판단하는 단계;
    판단 결과, 상기 메시지가 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 입력된 경우, 상기 메시지가 응답을 필요로 하는 메시지인지를 판단하는 단계;
    판단 결과, 상기 메시지가 응답을 필요로 하는 메시지인 경우, 저장된 메시지가 있는지를 판단하는 단계; 및
    판단 결과, 저장된 메시지가 있는 경우, 상기 메시지가 저장된 메시지와 동일한지를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법.
  29. 제28항에 있어서,
    판단 결과, 저장된 메시지가 없는 경우, 상기 메시지를 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법.
  30. 제24항에 있어서,
    현재 연결 상태가 우회 연결 상태이면, 상기 모니터링 시스템의 이상 상태를 판단하는 단계는,
    상기 반도체 장비, 상기 모니터링 시스템 및 상기 호스트 중 어느 장비로부터 상기 메시지가 입력되었는지를 판단하는 단계;
    판단 결과, 상기 메시지가 상기 반도체 장비 또는 상기 호스트로부터 입력된 경우, 상기 메시지가 컨트롤 메시지인지를 판단하는 단계; 및
    판단 결과, 상기 메시지가 컨트롤 메시지인 경우, 상기 메시지를 상기 모니터링 시스템으로 전송한 후, 상기 메시지가 모니터링 시스템으로부터 출력되는지를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 방법.
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