KR20050100998A

KR20050100998A - 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치

Info

Publication number: KR20050100998A
Application number: KR1020040026253A
Authority: KR
Inventors: 이만봉
Original assignee: (주)지우텍
Priority date: 2004-04-16
Filing date: 2004-04-16
Publication date: 2005-10-20

Abstract

본 발명은, 반도체 장비, 호스트, 그리고 반도체 장비와 메시지를 송수신하는 진단 호스트 및 호스트와 메시지를 송수신하는 진단 장비를 포함하며 반도체 장비의 이상여부를 감지하는 진단 시스템으로 이루어진 반도체 제조시스템에 있어서, 반도체 장비 및 호스트와 진단 시스템 사이에 설치되어 진단 시스템의 상태와 무관하게 HSMS 프로토콜에 따른 반도체 장비와 호스트 간의 메시지 전송을 보장하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 관한 것이다.

본 발명에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치는, 반도체 장비의 이상여부를 감지하는 진단 시스템의 상태나 통신 보호 장치의 상태에 상관없이 반도체 장비와 호스트 간의 안정적인 통신 연결을 보장할 수 있는 현저한 효과가 있다.

Description

반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치{PROTECTING APPARATUS FOR COMMUNICATION BETWEEN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT AND HOST}

본 발명은 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 반도체 장비 및 호스트와 진단 시스템 사이에 설치되어 SECS 프로토콜 중 HSMS 프로토콜에 따른 반도체 장비와 호스트 간의 메시지 전송이 끊기는 것을 방지하는 통신 보호 장치에 관한 것이다.

SECS(SEMI Equipment Communication Standard) 프로토콜은, 반도체 공정의 자동화에 의한 생산성 향상이 중요한 요소로 대두됨에 따라 관련 기술의 표준화를 위해 SEMI의 장비 자동화 부분이 반도체 장비와 외부 호스트간의 인터페이스를 위해서 정의한 데이터 통신 표준규약이다. SECS 프로토콜은 RS-232C 방식을 이용한 직렬 통신을 정의한 SECS-I, TCP/IP 통신을 규정한 HSMS방식 및 메시지 내용을 정의한 SECS-II로 구성되어 있다.

SECS 프로토콜을 이용하여 반도체 장비와의 통신이 가능해지면서 제조공정을 모니터링 및 진단할 수 있는 진단 시스템 개발이 가능해졌다. 진단 시스템은 제조공정을 관리하는 호스트와 반도체 장비 사이에 연결되어 호스트와 반도체 장비 사이의 메시지 전송을 중계하게 된다. 즉, 호스트와 반도체 장비 간의 메시지가 진단 시스템을 거치게 되므로, 진단 시스템은 반도체 장비의 상태를 진단할 수 있게 된다.

도 1 은 종래의 반도체 장비, 진단 시스템 및 호스트 간의 메시지 송수신 상태를 나타내는 블록 구성도로서, 도 1a 는 SECS 프로토콜이 적용되기 이전의 반도체 장비와 호스트 간의 메시지 송수신 상태를 나타내고, 도 1b 는 반도체 장비와 호스트 사이에 진단 시스템이 설치되었을 때의 메시지 송수신 상태를 나타낸다.

먼저, 도 1a 를 참조하면, 반도체 공정을 수행하는 반도체 장비(10)와 이를 제어하기 위한 호스트(20)가 통신 케이블에 의해 직접 연결되어 상호 메시지를 송수신하게 된다. 이에 따라, 반도체 제조공정 중에 이상이 발생할 경우에도 이를 감지하지 못하고 그대로 공정을 진행하게 되는 문제점이 있었다. 이에 따라, 반도체 생산 업체와 공정 장비 제조 업체들은 반도체 제조 레시피(recipe)가 공정 장치에서 정상적으로 실행되고 있는지 확인할 수 있는 툴(tool)을 필요로 하였다.

한편, 진단 시스템(30)이 적용된 도 1b 를 참조하면, 진단 시스템은 반도체 장비(10)와 호스트(20) 사이에 설치되고, 진단 시스템의 양 채널(33, 35)과 반도체 장비의 SECS 인터페이스(11)와 호스트의 SECS 인터페이스(21)가 연결된다. 또한, 진단 시스템(30)의 제 1 채널(33)에서는 반도체 장비(10)와의 데이터 메시지 및 컨트롤 메시지 송수신이 이루어지고, 진단 시스템의 제 2 채널(35)에서는 호스트(20)와의 컨트롤 메시지 송수신이 이루어진다. 이때, 진단 시스템은 제 1 채널(33)과 제 2 채널(35)로 수신되는 메시지를 분석하여 수신된 메시지가 컨트롤 메시지이면 반대편 채널을 통해 전송함으로써 반도체 장비와 호스트 간의 컨트롤 메시지 전송을 중계하게 된다. 또한, 제 1 채널(33)로 수신되는 데이터 메시지를 분석하여 반도체 장비(10)의 상태 및 이상 발생여부를 진단하게 된다.

그러나, 종래에는 진단 시스템(30)이 반도체 장비(10)와 호스트(20) 사이에 설치되어 반도체 장비와 호스트 간의 메시지 송수신이 진단 시스템을 경유해서만 이루어지게 되므로, 반도체 장비(10)를 모니터링하여 반도체 장비의 결함 또는 오동작을 감지하기 위해 설치된 진단 시스템(30)이 반도체 장비와 호스트의 메시지 송수신을 저해하는 요인으로 작용하는 문제점이 있었다. 즉, 진단 시스템에 이상이 발생할 경우 반도체 장비와 호스트 간의 연결이 끊기게 되어 메시지 송수신이 이루어질 수 없고, 결국 호스트(20)에 의한 제조공정 자동화가 중단되어 생산라인이 멈추게 되는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 제시된 것으로서, 본 발명의 목적은 진단 시스템의 상태와 통신 보호 장치의 상태에 상관없이 반도체 장비와 호스트 간의 안정적으로 메시지를 송수신할 수 있도록 함으로써 반도체 제조공정의 중단 등을 방지할 수 있는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치를 제공하는 것이다.

상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치는, 반도체 장비, 호스트, 그리고 반도체 장비와 메시지를 송수신하는 진단 호스트 및 호스트와 메시지를 송수신하는 진단 장비를 포함하며 반도체 장비의 이상여부를 감지하는 진단 시스템으로 이루어진 반도체 제조시스템에 있어서, 반도체 장비 및 호스트와 진단 시스템 사이에 설치되어 진단 시스템의 상태와 무관하게 HSMS 프로토콜에 따른 반도체 장비와 호스트 간의 메시지 전송을 보장하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치로서, 호스트의 제 1 HSMS 인터페이스와 통신 연결되어 제 1 HSMS 인터페이스와 HSMS 프로토콜을 이용한 TCP/IP 통신을 통해 메시지를 송수신하는 RE 채널과, 반도체 장비의 제 2 HSMS 인터페이스와 통신 연결되어 제 2 HSMS 인터페이스와 HSMS 프로토콜을 이용한 TCP/IP 통신을 통해 메시지를 송수신하는 RH 채널과, 진단 장비의 통신 채널인 제 1 채널과 통신 연결되어 제 1 채널과 HSMS 프로토콜을 이용한 TCP/IP 통신을 통해 메시지를 송수신하는 DH 채널, 그리고 진단 호스트의 통신 채널인 제 2 채널과 통신 연결되어 제 2 채널과 HSMS 프로토콜을 이용한 TCP/IP 통신을 통해 메시지를 송수신하는 DE 채널을 포함하고, DH 채널과 DE 채널의 메시지 흐름을 모니터링하여 진단 시스템의 상태를 감지하고, 진단 시스템의 이상 발생시 RH 채널과 RE 채널을 통신 연결하는 제 1 경로를 활성화하여 반도체 장비와 호스트를 직접 통신 연결하고, 진단 시스템의 정상 동작시 RE 채널과 DH 채널을 통신 연결하는 제 2 경로 및 RH 채널과 DE 채널을 통신 연결하는 제 3 경로를 활성화하여 진단 시스템을 경유하여 반도체 장비와 호스트를 통신 연결하는 것을 특징으로 한다.

바람직하게는, 통신 보호 장치가, 제 1 채널과 DH 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결되고, DH 채널로 에러 메시지 또는 채널 간의 통신 연결을 체크하기 위한 링크테스트(Link Test) 이외의 메시지의 수신이 확인되면, 제 1 경로를 비활성화하고 제 2 경로 및 제 3 경로를 활성화하도록 한다. 이때, 제 1 채널과 DH 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, DH 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 수신이 확인되지 않으면, 제 2 경로 및 제 3 경로를 비활성화하고 제 1 경로를 활성화하거나, 제 1 HSMS 인터페이스와 RE 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, RE 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 전송이 확인되지 않으면, 제 2 경로 및 제 3 경로를 비활성화하고 제 1 경로를 활성화하도록 한다.

또한, 통신 보호 장치는, 제 2 채널과 DE 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결되고, DE 채널로 에러 메시지 또는 채널 간의 통신 연결을 체크하기 위한 링크테스트(Link Test) 이외의 메시지의 수신이 확인되면, 제 1 경로를 비활성화하고 제 2 경로 및 제 3 경로를 활성화하도록 한다. 이때, 제 2 채널과 DE 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, DE 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 동안 응답 메시지의 수신이 확인 않으면, 제 2 경로 및 제 3 경로를 비활성화하고 제 1 경로를 활성화하거나, 제 2 HSMS 인터페이스와 RH 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, RH 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 전송이 확인되지 않으면, 제 2 경로 및 제 3 경로를 비활성화하고 제 1 경로를 활성화하도록 한다.

또한, 통신 보호 장치는, 제 1 채널과 DH 채널 및 제 2 채널과 DE 채널이 각기 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결되고, DH 채널 및 DE 채널로 에러 메시지 또는 채널 간의 통신 연결을 체크하기 위한 링크테스트(Link Test) 이외의 메시지의 수신이 확인되면, 제 1 경로를 비활성화하고 제 2 경로 및 제 3 경로를 활성화하도록 한다. 이때, 제 1 채널과 DH 채널 및 제 2 채널과 DE 채널이 각기 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, DH 채널 및 DE 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 수신이 확인되지 않으면, 제 2 경로 및 제 3 경로를 비활성화하고 제 1 경로를 활성화하거나, 제 1 HSMS 인터페이스와 RE 채널 및 제 2 HSMS 인터페이스와 RH 채널이 각기 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, RE 채널 및 RH 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 전송이 확인되지 않으면, 제 2 경로 및 제 3 경로를 비활성화하고 제 1 경로를 활성화하도록 한다.

또한, 통신 보호 장치는, 제 1 채널과 DH 채널 및 제 2 채널과 DE 채널 중 적어도 하나가 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결되고, DH 채널 및 DE 채널 중 통신 연결된 채널로 에러 메시지 또는 채널 간의 통신 연결을 체크하기 위한 링크테스트 (Link Test) 이외의 메시지의 수신이 확인되면, 제 1 경로를 비활성화하고 제 2 경로 및 제 3 경로를 활성화하도록 한다. 이때, 제 1 채널과 DH 채널 및 제 2 채널과 DE 채널 중 적어도 하나가 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 통신 연결된 DH 채널 및 DE 채널 중 적어도 하나로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 수신이 확인되지 않으면, 제 2 경로 및 제 3 경로를 비활성화하고 제 1 경로를 활성화하거나, 제 1 HSMS 인터페이스와 RE 채널 및 제 2 HSMS 인터페이스와 RH 채널 중 적어도 하나가 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 통신 연결된 RE 채널 및 RH 채널 중 적어도 하나로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 전송이 확인되지 않으면, 제 2 경로 및 제 3 경로를 비활성화하고 제 1 경로를 활성화하도록 한다.

이하에서는, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 장점, 특징 및 바람직한 실시례에 대해 상세히 설명하도록 한다.

발명의 상세한 설명에 앞서, SECS-I 및 SECS-II 프로토콜과 GEM 프로토콜 및 HSMS 프로토콜에 대해 간략히 설명하면 이하와 같다.

SECS-I에서 정의하는 표준은 반도체 장비와 호스트 사이의 적절한 메시지 교환을 위해 통신 인터페이스를 정의하는 부분으로 이하와 같은 규칙을 갖는다.

(1) 실제의 전송은 하나의 스타트 비트(Start Bit)와 스톱 비트(Stop Bit)를 갖는 10 비트 직렬 전송이며, 비동기식 양방향 통신이다.

(2) 특정 문자와 핸드세이크(Handshake) 코드에 의해 전송 방향이 구성된 후에 데이터가 전송된다.

(3) 데이터는 245 바이트(Byte)의 블록(Block) 단위로 전송된다.

(4) 각 블록은 10 바이트의 헤더(Header)를 가지며, 블록 헤더는 개개의 블록을 구분해준다.

(5) 하나의 완전한 전송 단위를 메시지라 하며, 1 ~ 32,767 블록으로 구성된다.

(6) 메시지는 요청과 응답의 한 쌍으로 구성되며, 이들을 하나의 트랜잭션이라 한다.

또한, SECS-II는 장비와 호스트간에 메시지 전송 규약에 따라 교환되는 메시지가 해설될 수 있도록 그 구조 및 의미를 규정한다. SECS-II에서 정의된 메시지는 일반적인 반도체 제조에 필요한 대부분의 내용을 포함하고 있으며, 정의되어 있지 않은 장비 고유의 필요한 메시지를 정의해서 사용할 수 있도록 허용하고 있다.

한편, GEM 프로토콜은 SECS 프로토콜보다 진보된 반도체 공정 장비와 호스트간의 통신규약으로서, SECS 프로토콜과 같이 직렬 시리얼 통신에 사용된다. 일반적으로, 최근 개발되고 있는 반도체 공정 장비는 SECS와 GEM을 동시에 지원한다.

또한, HSMS 프로토콜은 앞서 설명한 SECS 및 GEM 프로토콜과 마찬가지로 반도체 공정 장비와 호스트간의 통신규약이다. 차이점은 SECS-I 및 GEM 프로토콜이 직렬 시리얼(RS-232C) 통신에 사용되는데 반해, HSMS 프로토콜은 TCP/IP 통신 프로토콜을 사용하는 유/무선 LAN 또는 인터넷 통신망에서 사용된다. 또한, HSMS는 SECS-I과 메시지 헤더의 포맷에 차이가 있고 블록전송이 아니라는 점에서 차이점을 갖는다.

이하에서는, 종래의 SECS 또는 SECS 브릿지(Bridge) 장비에 HSMS 브릿지가 부가된 통신 보호 장치에 대하여 설명하도록 한다.

먼저, HSMS를 이용한 메시지 전송은 표 1 과 같은 프로시저를 통해 이루어진다.

단계	장비	동작	서버
1	TCP/IP Server(passive Mode)	<---- Connect	TCP/IP Client(Active Mode)
2	T7 Timer	Accept ---->
3	T6 Timer	<---- Select.req
4		Select.rsp ---->
5	T3 Timer/T8 Timer	<---- Data Message
6		Reply Message ---->
7	T6 Timer	<---- Linktest.req
8		Linktest ---->

상기에 나타난 바와 같이 TCP/IP 클라이언트와 서버는 각기 Active 모드와 Passive 모드로 대응 연결됨으로써 상호간에 통신이 이루어지게 된다.

먼저, TCP/IP 클라이언트와 서버 간의 연결요청과 수락에 의해 연결되면 Select 요청(Select.req)과 응답(Select.rsp)을 전송함으로써 Select 상태가 이루어지게 된다(1 내지 4 단계). 이때, T7 및 T6는 각각 Accept와 Select.req 신호/메시지 전송을 위한 응답시간을 나타내는 것으로, 사용자의 설정에 의해 셋팅된다.

TCP/IP 서버와 클라이언트는 Select 상태가 된 후에 메시지(데이터)를 주고받게 된다(5, 6 단계). 이때, TCP/IP 클라이언트와 서버 간의 메시지 송수신은 Select 상태에서만 가능하다. 또한, TCP/IP 클라이언트와 서버는 링크테스트 (Link Test) 메시지를 통해 상호간의 연결상태를 체크하게 된다(7, 8 단계). 링크테스트 역시 Select 상태에서만 가능함은 물론이다. 이때, T3, T8 및 T6는 각기 Data Message와 Linktest.req 전송을 위한 응답시간을 나타낸다.

도 2 는 반도체 장비, 진단 시스템 및 호스트와 통신 보호 장치 간의 연결상태를 나타내는 블록 구성도이다. 도 2 를 참조하면, 반도체 장비(10) 및 호스트 (20)와 진단 시스템(30) 사이에 통신 보호 장치(40)가 구비되며, 반도체 장비의 HSMS 인터페이스(11)은 통신 보호 장치의 RH 채널(43)과 연결되고, 호스트의 HSMS 인터페이스(21)는 통신 보호 장치의 RE 채널(41)과 연결된다. 또한, 진단 시스템 (30)은 진단 장비(32) 및 진단 호스트(34)로 이루어지는데, 진단 장비와 연결된 제 1 채널(33)은 통신 보호 장치의 DH 채널(42)과 연결되고, 진단 호스트와 연결된 제 2 채널(35)은 통신 보호 장치의 DE 채널(44)과 연결된다. 반도체 장비(10)와 호스트(20)의 HSMS 인터페이스(11, 21)와 통신 보호 장치(40)의 RH 채널(43) 및 RE 채널(41), 그리고 진단 시스템(30)의 제 1 채널(33) 및 제 2 채널(35)과 통신 보호 장치의 DH 채널(42)과 DE 채널 간에는 HSMS를 이용한 TCP/IP 통신이 이루어진다. 이때, 매칭되는 각 채널은 상호 Active와 Passive 모드로 대응 연결됨으로써 상호간에 통신이 이루어지게 된다. 예를 들면, 진단 시스템의 경우 진단 장비의 제 1 채널은 Passive 모드, 진단 호스트의 제 2 채널은 Active 모드를 취하고, 통신보호장비의 DH 채널은 Active 모드, DE 채널은 Passive 모드를 취하게 된다.

이와 같은 통신 연결을 통해, 통신 보호 장치(40)는 반도체 장비(10) 및 호스트(20)와 진단 시스템(30) 간의 메시지 송수신을 중계하고, 진단 시스템의 상태에 따라 통신 보호 장치의 HSMS 브릿지 연결을 변환함으로써 반도체 장비와 호스트 간의 통신 연결상태를 안정적으로 유지하게 된다.

구체적으로, 진단 시스템(30)이 가동되기 전이나 이상이 발생할 경우, 통신 보호 장치(40)는 2번 경로 및 3번 경로를 비활성화시키고(passive) 1번 경로를 활성화시켜(active) 반도체 장비(10)와 호스트(20) 간을 직접 통신 연결시킨다. 따라서, 반도체 장비와 호스트 간에 직접 메시지 송수신이 이루어지게 된다.

한편, 진단 장비가 가동되거나 이상이 발생하지 않은 경우에는 통신 보호 장치는 2번 경로 및 3번 경로를 활성화시키고 1번 경로를 비활성화시켜 반도체 장비와 호스트 간의 통신을 진단 시스템(30)이 중계하도록 한다. 따라서, 반도체 장비와 호스트는 진단 시스템을 경유하여 메시지를 송수신하게 된다.

설명의 편의를 위하여, 이하에서는 통신 보호 장치(40)의 1번 경로가 활성화되어 반도체 장비(10)와 호스트(20)가 직접 연결되는 상태를 '이상상태(Normal State)'라 하고, 2번 경로 및 3번 경로가 활성화되어 반도체 장비와 호스트가 진단 시스템(30)을 거쳐 연결되는 상태를 '진단상태(Diagnostic State)'라 명명하기로 한다. 이상상태와 진단상태에서의 통신 연결상태 및 양자간의 변환 조건에 대하여는 도 3a 및 도 3b 를 참조하여 설명하도록 한다.

통신 보호 장치(40)는 최초에 전원이 인가되면 반도체 장비(10)와 호스트(20)가 직접 연결된 이상상태(1번 경로 활성화)를 유지하고, 이후에 진단 시스템(30)이 가동되면 진단 시스템을 경유하여 통신 연결하는 진단상태(2번 경로, 3번 경로 활성화)로 변환하게 된다. 따라서, 통신 보호 장치는 일정 조건이 만족될 경우 진단 시스템이 정상 가동되는 것으로 간주하여 이상상태의 통신 연결 상태를 진단상태의 통신 연결 상태로 변환하게 되는데, 이러한 진단상태로의 변환에 대하여는 도 3a 를 참조하여 설명하도록 한다.

도 3a 는 진단상태에서의 반도체 장비, 진단 시스템 및 호스트 간의 메시지 송수신 상태를 나타내는 블록 구성도로서, 실선으로 표시된 2번 경로와 3번 경로는 활성화된 경로를 나타내고 점선으로 표시된 1번 경로는 비활성화된 경로를 나타낸다. 도 3a 에 도시한 바와 같이 진단상태(Diagnostic State)가 되기 위해서는 진단 시스템(30)이 연결되고 이상이 없는 상태여야 한다. 상기한 바와 같이, 통신 보호 장치(40)는 이상상태에서 일정 조건이 만족될 경우 진단 시스템이 정상 가동되는 것으로 판단하여 진단상태로 변환하게 되는데, 이러한 조건으로는 (1) Diagnostic Host Priority, (2) Diagnostic Equipment Priority, (3) And 및 (4) Or가 있다.

각 조건에 대하여 설명하면 이하와 같다.

(1) Diagnostic Host Priority

진단 장비(32)의 제 1 채널(33)와 연결된 DH 채널(42)에 우선권을 주는 조건으로, 진단 장비가 DH 채널과 연결되고 DH 채널로 일정 메시지의 수신이 확인되면 진단 시스템(30)이 정상적으로 연결/작동되는 것으로 판단하여 2번 경로와 3번 경로를 활성화시키고 1번 경로를 비활성화시킨다.

구체적으로, 진단 장비(32)의 제 1 채널(33)과 통신 보호 장치(40)의 DH 채널 (42)이 HSMS 연결 설정에 따라 연결된다(Select 상태). 통신 보호 장치(40)는 DH 채널(42)로 메시지 흐름이 있는지 여부를 지속적으로 모니터링하며, 진단 장비로부터 S9Fx 또는 링크 테스트(Link Test)를 제외한 메시지(이하에서는 '정상 메시지'라 한다.)가 전송되면 DH 채널(42)로 정상 메시지의 수신이 확인되게 된다. DH 채널로 정상 메시지의 수신이 확인되면, 통신 보호 장치는 진단 시스템이 정상 가동되는 것으로 판단하여 2번 경로와 3번 경로를 활성화시키게 된다. 한편, Diagnostic Host Priority 조건에서는 3번 경로나 DE 채널(44)의 상태는 무시되게 된다.

이때, S9Fx는 에러 메시지를 나타내고 링크 테스트는 양 채널 간의 연결상태를 확인하기 위한 메시지를 나타낸다. 그러므로, S9Fx 또는 링크 테스트가 확인된 것만으로는 진단 시스템이 정상적으로 동작하여 일반 메시지를 전송하거나 수신된 메시지에 대한 응답 메시지를 전송한다고 볼 수 없게 된다. 따라서, 통신 보호 장치(40)는 DH 채널(42)로 S9Fx 또는 링크 테스트를 제외한 정상 메시지 수신이 확인되었을 때 진단상태로 변환하게 된다.

한편, 통신 보호 장치의 DH 채널(42)과 진단 장비의 제 1 채널(33)이 HSMS 프로토콜에 의해 정상적으로 연결되지 않거나, DH 채널로 S9Fx 또는 링크 테스트 메시지가 수신되거나, 또는 아무런 메시지가 수신되지 않는 경우에는 통신 보호 장치는 이상상태를 그대로 유지하게 된다.

(2) Diagnostic Equipment Priority

진단 호스트(34)의 제 2 채널(35)와 연결된 DE 채널(44)에 우선권을 주는 조건으로, 진단 호스트가 DE 채널과 연결되고 DE 채널로 일정 메시지의 수신이 확인되면 진단 시스템(30)이 정상적으로 연결/작동되는 것으로 판단하여 2번 경로와 3번 경로를 활성화시키고 1번 경로를 비활성화시킨다.

구체적으로, 진단 호스트(34)의 제 2 채널(35)과 통신 보호 장치(40)의 DE 채널(44)이 HSMS 연결 설정에 따라 연결된다(Select 상태). 통신 보호 장치(40)는 DE 채널(44)로 메시지 흐름이 있는지 여부를 모니터링하고, 진단 호스트로부터 S9Fx 또는 링크 테스트(Link Test)를 제외한 정상 메시지가 전송되어 DE 채널로 정상 메시지의 수신이 확인되면, 통신 보호 장치는 진단 시스템이 정상 가동되는 것으로 판단하여 2번 경로와 3번 경로를 활성화시키게 된다. 상기에서 S9Fx와 링크 테스트 메시지의 수신을 배제하는 이유는 Diagnostic Host Priority 조건에서 설명한 바와 같다. Diagnostic Equipment Priority 조건에서는 2번 경로나 DH 채널 (42)의 상태가 무시되게 된다.

한편, Diagnostic Host Priority와 마찬가지로, 통신 보호 장치의 DE 채널 (44)과 진단 호스트의 제 2 채널(35)이 HSMS 프로토콜에 의해 정상적으로 연결되지 않거나, DE 채널로 S9Fx 또는 링크 테스트 메시지가 수신되거나, 또는 아무런 메시지가 수신되지 않는 경우에는 통신 보호 장치는 이상상태를 그대로 유지하게 된다.

(3) And

DH 채널(42)과 DE 채널(44)이 모두 조건이 충족되었을 때 2번 경로와 3번 경로를 활성화시키는 조건이다. 먼저, 진단 장비(32)의 제 1 채널(33)와 DH 채널 (42), 그리고 진단 호스트(34)의 제 2 채널(35)과 DE 채널(44)이 HSMS 연결 설정에 따라 연결되어 Select 상태가 된다. 통신 보호 장치는 DH 채널과 DE 채널로 메시지 흐름이 있는지를 모니터링하고, DH 채널 및 DE 채널 모두에서 S9Fx 또는 링크 테스트를 제외한 정상 메시지 수신이 확인될 경우에 진단상태로 변환하게 된다.

이때, Select되지 않은 채널이 있거나 Select된 DH 채널과 DE 채널 중 어느 하나의 채널이라도 S9Fx 또는 Link Test 메시지 수신이 확인되거나 아무런 메시지가 수신되지 않을 경우에는 통신 보호 장치는 이상상태를 그대로 유지하게 된다.

(4) Or

DH 채널(42) 또는 DE 채널(44) 중 어느 하나가 조건이 충족되었을 때 2번 경로와 3번 경로를 활성화시키는 조건이다. 먼저, 진단 장비(32)의 제 1 채널(33)와 DH 채널(42), 그리고 진단 호스트(34)의 제 2 채널(35)과 DE 채널(44) 중 어느 하나가 HSMS 연결 설정에 따라 연결되어 Select 상태가 된다. 통신 보호 장치는 DH 채널과 DE 채널 중 Select된 채널로 메시지 흐름이 있는지 모니터링하고, Select된 DH 채널 또는 DE 채널 중 S9Fx 또는 링크 테스트를 제외한 정상 메시지 수신이 확인되는 채널이 있는 경우에 진단상태로 변환하게 된다.

이때, 모든 채널이 Select되지 않거나, Select된 DH 채널과 DE 채널 모두에서 S9Fx 또는 Link Test 메시지 수신이 확인되거나 아무런 메시지도 수신되지 않을 경우 통신 보호 장치는 이상상태를 유지한다.

상기의 각 조건은 운영자가 임의로 선택하여 설정할 수 있는 것으로, 설정된 조건을 만족하여 도 3a 와 같이 1번 경로는 비활성화되고 2번 경로와 3번 경로가 활성화되면, 반도체 장비(10)는 진단 시스템(30)을 호스트(20)로 인식하고 호스트는 진단 시스템을 반도체 장비로 인식하게 된다. 따라서, 반도체 장비로부터 출력된 데이터 메시지 또는 컨트롤 메시지는 진단 시스템을 통해 호스트로 전송되고, 호스트로부터 출력된 컨트롤 메시지 또한 진단 시스템을 통해 반도체 장비로 전송된다. 이때, 데이터 메시지는 반도체 장비와 모니터링 시스템간에서만 전송되고 호스트로 전송되지 않도록 구성할 수도 있다. 한편, 진단 시스템(30)은 반도체 장비(10)로부터 전송되는 데이터 메시지를 수신 및 분석하여 반도체 장비의 상태와 이상 여부를 감지하게 된다.

한편, 도 3a 의 진단상태에서 상기의 각 조건이 깨지게 되면 이상상태로 전환되는데, 구체적으로는 진단 시스템(30)이 연결되지 않은 경우 이외에도 진단 시스템의 이상상태 또는 통신 보호 장치(40)에 전원이 공급되지 않은 상태가 해당된다. 이때, 진단 시스템(30)의 이상상태로는, 1) S/W 또는 H/W적인 결함으로 인해 진단 시스템에 오류가 발생한 상태, 2) 진단 시스템에 전원이 공급되지 않는 상태, 3) 진단 시스템과 통신 보호 장치(40) 간의 연결이 끊어진 상태가 해당된다.

통신 보호 장치(40)는 진단 시스템(30)에 상기와 같이 이상이 발생하였는지 여부를 판단하여 이상상태로 전환하게 되며, 이러한 판단은 진단 시스템으로부터 일정 시간동안 응답이 없는 것을 조건으로 하여 이루어진다. 본 발명에서는 진단 시스템(30)으로부터 2번 연속으로 T3 동안 응답이 없는 경우에 진단 시스템에 이상이 있거나 해당 채널이 끊어진 것으로 판단하도록 한다. 이와 같이 진단상태에서 이상상태로의 변환에 대하여는 도 3b 를 참조하여 설명하도록 한다.

도 3b 는 이상상태에서의 반도체 장비, 진단 시스템 및 호스트 간의 메시지 송수신 상태를 나타내는 블록 구성도로서, 실선으로 표시된 1번 경로는 활성화된 경로를 나타내고 점선으로 표시된 2번 경로와 3번 경로는 비활성화된 경로를 나타낸다. 도 3b 에 도시한 이상상태(Normal State)의 통신 연결이 이루어지는 경우로는 진단 시스템(30)이 연결되지 않거나 진단 시스템이 연결된 후 이상이 발생한 경우가 해당된다. 이하에서는, 상기에서 제시한 4가지 조건이 만족되어 진단상태 (Diagnostic)로 변환된 이후 각 조건에 대하여 이상상태로 변환되는 경우를 설명하도록 한다.

(1) Diagnostic Host Priority

진단상태로의 변환조건으로 Diagnostic Host Priority 조건이 적용되는 경우, 즉 진단 장비(32)의 제 1 채널(33)과 통신 연결된 DH 채널(42)에 우선권을 부여하는 경우에는, 먼저 진단 장비의 제 1 채널과 DH 채널이 Select된 이후에, 진단 장비로부터 2번 연속해서 T3 동안 응답이 없는 경우 진단 시스템(30)의 채널이 끊어진 것으로 판단한다. 즉, DH 채널(42)로 T3 시간 동안 응답 메시지가 수신되지 않는 상태의 확인이 2번 연속해서 발생하게 되면 통신 보호 장치는 활성화된 2번 경로와 3번 경로를 비활성화하고 1번 경로를 활성화시킴으로써 반도체 장비와 호스트를 직접 통신 연결하는 이상상태로 변환하게 된다.

구체적으로, 통신 보호 장치(40)로부터 진단 장비(32)로 송신된 웨이트 비트 (Wait Bit)가 있는 프라이머리 메시지(Primary Message)에 대해 진단 장비가 2번 연속해서 T3 동안 응답 메시지를 전송하지 않는 경우, 통신 보호 장치는 진단 시스템(30)에 이상이 발생한 것으로 판단하고 이상상태로 변환하게 된다. 상기에서 웨이트 비트가 있는 프라이머리 메시지란 메시지 헤더에 'w'가 포함된 메시지로서, 반드시 응답(reply)이 필요한 메시지를 나타내게 된다. 실제 실시상으로는 통신 보호 장치가 진단 장비의 상태를 판단하기 위하여 자체적으로 웨이트 비트가 포함된 테스트 메시지 등을 생성 전송하는 것이 아니라, 호스트(20)로부터 전송된 메시지를 진단 장비로 전송하였을 때, 진단 장비로부터 이에 대한 응답 메시지의 수신 여부로 진단 장비의 상태를 판단하게 된다. 즉, 통신 보호 장치(40)는 호스트/반도체 장비와 진단 시스템 간의 메시지 송수신을 중계하므로, 호스트로부터 2번 경로를 통해 진단 장비로 전송되는 메시지를, 마치 진단 장비의 상태를 판단하기 위한 테스트 메시지와 같이 사용하게 된다.

한편, 응답 메시지가 수신되지 않는 T3 시간 사이에 다른 메시지가 수신되는 경우 진단상태를 계속해서 유지하게 된다. 예를 들어, ① T3 시간 동안 응답 메시지 수신이 없음, ② 다른 메시지 수신, ③ T3 시간 동안 응답 메시지 수신이 없음이 순차적으로 발생한 경우 응답 메시지 수신이 없는 상태가 연속적으로 발생한 것이 아니므로 통신 보호 장치(40)는 진단상태를 그대로 유지하게 된다. 반면, ③번 이후에 다시 T3 시간 동안 응답 메시지 수신이 없는 경우 연속적으로 발생한 것이 되므로 이상상태로 변환하게 된다. 또한, 응답 메시지 수신이 없는 상태가 연속되는 횟수는 2회에 국한되는 것이 아니라 사용자의 설정에 따라 변경될 수 있는 것이다. 상기한 사항은 이하에서 설명되는 각 조건에 대하여도 공히 적용됨은 물론이다.

통신 보호 장치가 이상상태로 변환하게 되면, 반도체 장비(10)와 호스트(20)는 1번 경로를 통해 직접 컨트롤 메시지를 송수신하게 되므로, 반도체 장비와 호스트 간의 통신 연결이 끊기거나 이로 인해 제조공정이 중단되는 것을 방지할 수 있게 된다.

(2) Diagnostic Equipment Priority

진단상태로의 변환조건으로 Diagnostic Equupment Priority 조건이 적용되는 경우, 즉 진단 호스트(34)의 제 2 채널(35)과 통신 연결된 DE 채널(44)에 우선권을 부여하는 경우에는, 먼저 진단 호스트의 제 2 채널과 DE 채널이 Select된 이후에, 진단 호스트로부터 2번 연속해서 T3 동안 응답이 없는 경우, 즉 DE 채널로 T3 동안의 응답 메시지 수신이 2번 연속해서 확인되지 않는 경우 진단 시스템(30)의 채널이 끊어진 것으로 판단하게 된다. 이에 따라, 통신 보호 장치(40)는 활성화된 2번 경로와 3번 경로를 비활성화하고 1번 경로를 활성화시킨다. 상기 응답 메시지는 Diagnostic Host Priority 조건에서와 마찬가지로 웨이트 비트가 있는 프라이머리 메시지, 즉 반도체 장비(10)로부터 전송된 메시지에 대한 응답 메시지를 나타낸다.

(3) And

진단상태로의 변환조건으로 And 조건이 적용되는 경우, 먼저 진단 장비(32)의 제 1 채널(33)과 DH 채널(42), 그리고 진단 호스트(34)의 제 2 채널(35)과 DE 채널(44)이 모두 Select된 후, 진단 장비와 진단 호스트 모두로부터 2번 연속해서 T3 동안 응답이 없는 경우, 즉 DH 채널(42)과 DE 채널(44) 모두에서 응답 메시지의 수신이 2번 연속해서 확인되지 않는 경우 진단 시스템(30)의 채널이 끊어진 것으로 판단한다. 상기 응답 메시지는 웨이트 비트가 있는 프라이머리 메시지에 대한 응답 메시지로, 호스트(20) 및 반도체 장비(10)로부터 전송된 메시지를 나타낸다.

이상상태로 변환되면, 활성화된 2번 경로와 3번 경로를 비활성화하고 1번 경로를 활성화되며, 이에 따라 반도체 장비(10)와 호스트(20)는 1번 경로를 통해 직접 컨트롤 메시지를 송수신하게 된다.

(4) Or

진단상태로의 변환조건으로 Or 조건이 적용되는 경우, 먼저 진단 장비(32)의 제 1 채널(33)과 DH 채널(42) 또는 진단 호스트(34)의 제 2 채널(35)과 DE 채널 (44) 중 적어도 하나가 Select된 후, 진단 장비 또는 진단 호스트로부터 2번 연속해서 T3 동안 응답이 없는 경우 진단 시스템(30)의 채널이 끊어진 것으로 판단한다. 즉, Select된 DH 채널과 DE 채널 중 어느 하나라도 2번 연속해서 T3 동안 응답 메시지 수신이 확인되지 않는 경우 이상상태로 변환하게 된다. 이에 따라, 활성화된 2번 경로와 3번 경로를 비활성화되고 1번 경로를 활성화되며, 반도체 장비 (10)와 호스트(20)는 1번 경로를 통해 직접 컨트롤 메시지를 송수신하게 된다.

도 3b와 같이 이상상태로 변환되는 일례를 들면 이하와 같다.

진단 호스트(34)가 2번 연속해서 T3 동안 웨이트 비트가 있는 프라이머리 메시지에 대해 응답하지 않는 경우 3번 경로가 끊어지게 되는데, 이후에는 사용자의 설정(진단상태로의 변환조건)에 따라 상태가 결정되게 된다. 즉, 변환조건으로 Diagnostic Equipment Priority 또는 Or 조건을 선택한 경우 통신 보호 장치(40)는 이상상태로 변환되어 2번 경로를 비활성화시키고 1번 경로를 활성화시켜 반도체 장비(10)와 호스트(20) 간에 직접 메시지 송수신이 이루어지도록 한다. 반면, 변환조건으로 Diagnostic Host Priority 또는 And 조건을 선택한 경우에는 부가적으로 2번 경로의 상태에 따라 결정된다. 즉, 진단 장비(32)도 응답이 없어 2번 경로마저 끊어진 경우에는 이상상태로 변환하여 1번 경로가 활성화되지만, 진단 장비(32)가 정상 동작하면 2번 경로가 활성화된 상태를 유지하게 된다.

한편, 도 3b 와 같은 이상상태로의 변환조건을 DH 채널(42)과 DE 채널(44)이 아닌 RE 채널(41)과 RH 채널(43)의 상태에 의해 판단할 수도 있다. 이 경우, RE 채널(41)과 RH 채널(43)이 Select된 후에 RE 채널과 RH 채널로 2번 연속해서 T3 시간 동안 응답 메시지가 전송되지 않는 경우 2번 경로 및 3번 경로를 비활성화하고 1번 경로를 활성화하는 이상상태로 변환하도록 한다.

각각의 경우에 대해 보다 상세히 설명하면 이하와 같다.

(1) Equipment Priority

RE 채널(41)로 연속해서 T3 타임 아웃(time out)이 확인되고 그 사이에 메시지 전송이 확인되지 않은 경우, 즉 연속적인 T3 시간 동안 응답 메시지가 전송되지 않은 경우 이상상태로 변환한다.

(2) Host Priority

RH 채널(43)로 연속해서 T3 타임 아웃(time out)이 확인되고 그 사이에 메시지 전송이 확인되지 않은 경우, 즉 연속적인 T3 시간 동안 응답 메시지가 전송되지 않은 경우 이상상태로 변환한다.

(3) And

RE 채널(41)과 RH 채널(43) 모두에서 연속해서 T3 타임 아웃(time out)이 확인되고 그 사이에 양 채널 모두 메시지 전송이 확인되지 않은 경우에 이상상태로 변환한다.

(4) Or

RE 채널(41)과 RH 채널(43) 중 어느 하나의 채널이라도 연속해서 T3 타임 아웃(time out)이 확인되고 그 사이에 메시지 전송이 확인되지 않은 경우에 이상상태로 변환하게 된다.

이상 설명한 바대로, 본 발명에 따른 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치는, 반도체 장비의 이상여부를 감지하는 진단 시스템의 상태나 통신 보호 장치의 상태에 상관없이 반도체 장비와 호스트 간의 안정적인 통신 연결을 보장할 수 있는 현저한 효과가 있다.

또한, 반도체 장비와 호스트 간의 통신 연결을 보장하여 컨트롤 메시지 등의 유실을 방지하고 반도체 제조공정의 자동화 중단 사태를 방지할 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시례가 특정 용어들을 사용하여 기술되어 왔지만, 그러한 기술은 오로지 설명을 하기 위한 것이며, 다음의 청구범위의 기술적 사상 및 범위로부터 이탈되지 않고서 여러 가지 변경 및 변화가 가해질 수 있는 것으로 이해 되어져야 한다.

도 1 은 종래의 반도체 장비, 진단 시스템 및 호스트 간의 메시지 송수신 상태를 나타내는 블록 구성도.

도 2 는 반도체 장비, 진단 시스템 및 호스트와 통신 보호 장치 간의 연결상태를 나타내는 블록 구성도.

도 3a 는 진단상태에서의 반도체 장비, 진단 시스템 및 호스트 간의 메시지 송수신 상태를 나타내는 블록 구성도.

도 3b 는 이상상태에서의 반도체 장비, 진단 시스템 및 호스트 간의 메시지 송수신 상태를 나타내는 블록 구성도.

*** 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 ***

10 : 반도체 장비 20 : 호스트

30 : 진단 시스템 32 : 진단 장비

34 : 진단 호스트 40 : 통신 보호 장치

Claims

반도체 장비, 호스트, 그리고 상기 반도체 장비와 메시지를 송수신하는 진단 호스트 및 상기 호스트와 메시지를 송수신하는 진단 장비를 포함하며 상기 반도체 장비의 이상여부를 감지하는 진단 시스템으로 이루어진 반도체 제조시스템에 있어서, 상기 반도체 장비 및 상기 호스트와 상기 진단 시스템 사이에 설치되어 상기 진단 시스템의 상태와 무관하게 HSMS 프로토콜에 따른 상기 반도체 장비와 상기 호스트 간의 메시지 전송을 보장하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치로서,

상기 호스트의 제 1 HSMS 인터페이스와 통신 연결되어 상기 제 1 HSMS 인터페이스와 HSMS 프로토콜을 이용한 TCP/IP 통신을 통해 메시지를 송수신하는 RE 채널;

상기 반도체 장비의 제 2 HSMS 인터페이스와 통신 연결되어 상기 제 2 HSMS 인터페이스와 HSMS 프로토콜을 이용한 TCP/IP 통신을 통해 메시지를 송수신하는 RH 채널;

상기 진단 장비의 통신 채널인 제 1 채널과 통신 연결되어 상기 제 1 채널과 HSMS 프로토콜을 이용한 TCP/IP 통신을 통해 메시지를 송수신하는 DH 채널; 및

상기 진단 호스트의 통신 채널인 제 2 채널과 통신 연결되어 상기 제 2 채널과 HSMS 프로토콜을 이용한 TCP/IP 통신을 통해 메시지를 송수신하는 DE 채널을 포함하고,

상기 DH 채널과 상기 DE 채널의 메시지 흐름을 모니터링하여 상기 진단 시스템의 상태를 감지하고,

상기 진단 시스템의 이상 발생시 상기 RH 채널과 상기 RE 채널을 통신 연결하는 제 1 경로를 활성화하여 상기 반도체 장비와 상기 호스트를 직접 통신 연결하고,

상기 진단 시스템의 정상 동작시 상기 RE 채널과 상기 DH 채널을 통신 연결하는 제 2 경로 및 상기 RH 채널과 상기 DE 채널을 통신 연결하는 제 3 경로를 활성화하여 상기 진단 시스템을 경유하여 상기 반도체 장비와 상기 호스트를 통신 연결하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 채널과 상기 DH 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결되고, 상기 DH 채널로 에러 메시지 또는 채널 간의 통신 연결을 체크하기 위한 링크테스트 (Link Test) 이외의 메시지의 수신이 확인되면, 상기 제 1 경로를 비활성화하고 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 채널과 상기 DH 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 상기 DH 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 수신이 확인되지 않으면, 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 비활성화하고 상기 제 1 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 HSMS 인터페이스와 상기 RE 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 상기 RE 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 전송이 확인되지 않으면, 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 비활성화하고 상기 제 1 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 2 채널과 상기 DE 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결되고, 상기 DE 채널로 에러 메시지 또는 채널 간의 통신 연결을 체크하기 위한 링크테스트 (Link Test) 이외의 메시지의 수신이 확인되면, 상기 제 1 경로를 비활성화하고 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 5 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 2 채널과 상기 DE 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 상기 DE 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 동안 응답 메시지의 수신이 확인 않으면, 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 비활성화하고 상기 제 1 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 5 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 2 HSMS 인터페이스와 상기 RH 채널이 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 상기 RH 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 전송이 확인되지 않으면, 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 비활성화하고 상기 제 1 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 채널과 상기 DH 채널 및 상기 제 2 채널과 상기 DE 채널이 각기 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결되고, 상기 DH 채널 및 상기 DE 채널로 에러 메시지 또는 채널 간의 통신 연결을 체크하기 위한 링크테스트(Link Test) 이외의 메시지의 수신이 확인되면, 상기 제 1 경로를 비활성화하고 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 8 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 채널과 상기 DH 채널 및 상기 제 2 채널과 상기 DE 채널이 각기 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 상기 DH 채널 및 상기 DE 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 수신이 확인되지 않으면, 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 비활성화하고 상기 제 1 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 8 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 HSMS 인터페이스와 상기 RE 채널 및 상기 제 2 HSMS 인터페이스와 상기 RH 채널이 각기 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 상기 RE 채널 및 상기 RH 채널로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 전송이 확인되지 않으면, 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 비활성화하고 상기 제 1 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 채널과 상기 DH 채널 및 상기 제 2 채널과 상기 DE 채널 중 적어도 하나가 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결되고, 상기 DH 채널 및 상기 DE 채널 중 통신 연결된 채널로 에러 메시지 또는 채널 간의 통신 연결을 체크하기 위한 링크테스트(Link Test) 이외의 메시지의 수신이 확인되면, 상기 제 1 경로를 비활성화하고 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 11 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 채널과 상기 DH 채널 및 상기 제 2 채널과 상기 DE 채널 중 적어도 하나가 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 상기 통신 연결된 DH 채널 및 DE 채널 중 적어도 하나로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 수신이 확인되지 않으면, 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 비활성화하고 상기 제 1 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.
제 11 항에 있어서,

상기 통신 보호 장치가,

상기 제 1 HSMS 인터페이스와 상기 RE 채널 및 상기 제 2 HSMS 인터페이스와 상기 RH 채널 중 적어도 하나가 HSMS 연결 설정에 따라 통신 연결된 이후에, 상기 통신 연결된 RE 채널 및 RH 채널 중 적어도 하나로 소정 횟수 이상 연속하는 T3 시간 동안 응답 메시지의 전송이 확인되지 않으면, 상기 제 2 경로 및 상기 제 3 경로를 비활성화하고 상기 제 1 경로를 활성화하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비-호스트간 통신 보호 장치.