KR20010030438A - 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법 - Google Patents

진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법 Download PDF

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나카모토시게루
오키구치쇼지
야마사키히데키
니시하타고지
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가나이 쓰도무
가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼
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Abstract

본 발명은 적어도 2 세트 이상의 공정 처리장치를 사용하여 처리하는 진공처리장치에 의하여 운전중에 어느 것인가의 처리실이 고정 등으로 사용할 수 없게 되었을 때, 각 2 세트를 구성하는 공정 처리장치의 관계에 구속되지 않고, 정상인 처리실을 처리경로로서 사용하여 운전하여 더욱 가동율을 높일 수 있는 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와, 상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법 또는 웨이퍼의 처리방법으로서, 각각 상기 일련의 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치를 포함하는 적어도 2 세트의 웨이퍼의 처리경로를 가지는 진공처리장치의 운전방법에 있어서, 상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인지의 상태판단을 행하여 그 판단으로 운전무효의 공정처리장치만을 분리하고, 운전유효의 공정처리를 사용하여 상기 일련의 공정처리를 행하기 위한 상기 처리경로를 재구축하고, 상기 운전유효한 공정처리장치만을 사용하여 상기 웨이퍼의 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법{METHOD FOR OPERATING VACUUM PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR TREATING WAFER}
본 발명은 공정처리를 행하는 공정처리장치와 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치로 구성되고, 적어도 2개 이상의 공정처리장치를 사용하여 웨이퍼처리하는 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법에 관한 것이다.
종래의 진공처리장치는 예를 들어 일본국 특개소63-133532호 공보와 같이 반송실에 처리실을 접속한 시스템에 있어서, 정상적인 운전상태로 시료처리가 실시되는 경우 각각의 웨이퍼를 각각의 처리실에서 동시에 실행하거나 또는 웨이퍼를 순서대로 2개 이상의 처리실을 경유하여 처리할 수 있는 장치 및 그 반송에 관한 것이었다.
또 다른 종래의 진공처리장치는 일본국 특개평3-274746호 공보와 같이 2개의 경로의 공정처리를 동시에 행하는 운전으로, 1개의 경로에 포함되는 처리실에 메인티넌스작업을 실시하는 경우는 다른 경로의 처리실을 과도적으로 2개의 경로의 공정처리에 공용하는 장치의 운전방법에 관한 것이었다.
또한 일본국 특개평11-67869호 공보에는 각 공정처리장치의 운전유효 또는 운전무효인 것을 나타내는 각 운전정보신호를 발생하는 운전정보신호 발생수단을 각 공정처리장치마다 설치하고, 그 각 운전정보신호를 기억하는 운전정보신호 기억수단을 설치하여 각 운전정보신호를 바탕으로 하여 운전무효인 상기 공정처리장치를 사용하지 않고, 다른 운전유효한 공정처리장치를 사용하여 운전을 속행하는 장치제어수단을 설치한 것이 개시되어 있다.
상기 일본국 특개소63-133532호 공보나 일본국 특개평3-274746호 공보의 진공처리장치에서는 2개 이상의 처리실을 처리경로로서 사용하여 운전하고 있는 운전중에 어느것 인가의 처리실이 고장 등으로 사용할 수 없게 되었을 때 정상적인 처리실을 사용하여 처리를 속행하는 운전 및 복구처치에 대해서는 고려되어 있지 않았다. 또한 2개 이상의 처리실을 처리경로로서 사용하여 운전중에 그 운전을 일시 중단시켜 중단시키기 까지 그 운전의 처리경로에 사용하지 않았던 처리실을 처리경로로서 사용한 인터럽트처리를 우선적으로 실행하고, 그 인터럽트처리가 종료한 후는 일시 중단시키고 있던 처리를 속행시키는 운전하는 방법, 순서에 대해서도 고려되어 있지 않았다.
한편 일본국 특개평11-67869호 공보에는 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와, 상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법으로서, 각각 상기 일련의 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치를 포함하는 적어도 2 세트의 웨이퍼의 처리경로를 가지며, 상기 공정처리를 복수병행하여 행하여 웨이퍼를 처리하는 진공처리장치의 운전방법에 있어서, 운전개시 시 복구할 필요가 있는 처리실이 있는 경우에 정상적인 처리실의 세트를 사용하여 장치를 운전하는 방법 및 순서에 대하여 기재되어 있다. 그러나 세트를 구성하는 처리실중에 정상적인 것이 있는 경우에도 그 세트를 구성하는 처리실 전체를 분리하고 있었다.
예를 들어 같은 종류의 처리실이 접속되어 있는 경우, 운전중에 다른쪽의 정상적인 처리실을 사용하여 운전을 속행한다고 하는 장치 운전방법에 대해서는 고려되어 있지 않아, 장치의 가동율이 낮았다.
또 공정처리장치내의 이물을 제거하기 위하여 행하는 클리닝처리나, 웨이퍼처리를 행하기 전에 공정처리장치내를 웨이퍼 처리상태로 하기 위하여 행하는 에이징처리에 관해서도 가동율을 높인다는 관점에서 충분한 배려가 이루어져 있지 않았다.
본 발명의 목적은 적어도 2 세트 이상의 공정처리장치를 사용하여 처리하는 진공처리장치에 의해 운전중에 어느 것인가의 처리실이 고장 등으로 사용할 수 없게 되었을 때 각 2 세트를 구성하는 공정처리장치의 관계에 구속되지 않고 정상적인 처리실을 처리경로로서 사용하여 운전하여 더욱 가동율을 높일 수 있는 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 클리닝처리나 에이징처리에 관해서도 가동율을 높일 수 있는 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법을 제공하는 데 있다.
도 1은 본 발명에 의한 진공처리장치의 일 실시예를 나타내는 평면도,
도 2는 도 1의 진공처리장치에 있어서의 장치제어수단의 제어구성도,
도 3은 도 1의 진공처리장치에 있어서의 장치제어수단의 운전정보신호를 나타내는 도,
도 4는 도 1의 진공처리장치에 있어서의 장치제어수단의 처리순서정보를 나타내는 도,
도 5는 도 1의 진공처리장치에 있어서의 운전모드의 설명도,
도 6은 도 1의 진공처리장치에 있어서의 장치제어수단의 자동운전의 플로우도,
도 7은 도 1의 진공처리장치에 있어서의 경로지정방법의 설명도,
도 8은 도 6의 자동운전 플로우의 상세를 나타내는 플로우도,
도 9는 도 1의 진공처리장치에 있어서의 잔존웨이퍼의 처리조건의 예를 나타내는 도,
도 10은 본 발명에 의한 클리닝운전의 플로우도,
도 11은 도 1의 진공처리장치에 있어서의 이상발생시의 반송경로 변경의 동작상태를 나타내는 도,
도 12는 도 1의 진공처리장치에 있어서의 복구레시피의 재시도처리시의 상태를 나타내는 도,
도 13은 도 1의 진공처리장치에 있어서의 병렬처리시의 방해웨이퍼의 회수처리의 동작상태를 나타내는 도,
도 14는 도 1의 진공처리장치에 있어서의 메인티넌스 모드로부터의 자동운전시의 상태를 나타내는 도,
도 15는 본 발명에 의한 시리즈 에이징처리시의 상태를 나타내는 도,
도 16은 본 발명에 의한 진공처리장치의 다른 실시예를 나타내는 평면도이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와, 상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법으로서, 각각 상기 일련의 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치를 포함하는 적어도 2 세트의 웨이퍼의 처리경로를 가지는 진공처리장치의 운전방법에 있어서, 상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하고 상기 판단으로 운전무효의 공정처리장치만을 분리하여 운전유효의 공정처리장치를 사용하여 상기 일련의 공정처리를 행하기 위한 상기 처리경로를 재구축하고 상기 운전유효한 공정처리장치만을 사용하여 상기 웨이퍼의 처리를 행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징은 상기 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치의 2 세트가 각각 웨이퍼의 제 1 처리(예를 들어 에칭처리) 및 제 2 처리(예를 들어 후처리)를 행하는 공정처리장치를 포함하여 상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여 상기 판단으로 1 세트의 공정처리장치중 제 2 처리를 행하는 공정처리장치가 운전무효인 경우, 상기 제 2 처리를 행하는 공정처리장치만을 분리하고, 2개의 제 1 처리를 행하는 공정처리장치와 1개의 제 2 처리를 행하는 공정처리장치를 사용하여 상기 일련의 공정처리를 행하기 위한 2 세트의 처리경로를 재구축하고, 상기 2 세트의 처리경로를 사용하여 상기 웨이퍼의 처리를 행하는 데 있다.
본 발명의 다른 특징은 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와, 상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법에 있어서, 상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여 상기 공정처리장치에 운전무효가 발생한 경우, 상기 공정처리장치에 잔존 웨이퍼가 있는 지의 여부의 판단을 행하고 잔존 웨이퍼가 있는 경우, 미리 설정된 복수의 처리조건중 어느하나를 선택가능하게 하여 상기 선택된 처리조건에 따라 상기 잔존 웨이퍼의 처리를 행하는 데 있다.
본 발명의 다른 특징은 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와, 상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법으로서, 상기 각 공정처리를 행하기 위한 자동운전조건을 설정한 후, 자동운전을 개시하는 것에 있어서, 상기 자동운전조건의 설정에 있어서 카세트와 처리실에 관하여 복수의 페어관계를 고정하여 웨이퍼를 반송하는 병렬처리경로 또는 상기 카세트와 처리실의 대응관계를 고정하지 않고 웨이퍼를 비어 있는 쪽의 처리실로 반송하는 처리경로를 설정가능하게 한 데 있다.
본 발명의 다른 특징은 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와, 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 이들을 제어하는 제어장치로 구성되고, 적어도 2개 이상의 공정처리장치가 반송처리장치에 설치되고, 이 2개 이상의 공정처리장치를 사용하여 웨이퍼처리하는 진공처리장치의 운전방법으로서, 상기 카세트내의 웨이퍼처리를 개시하기 전에 2개의 공정처리장치에 더미웨이퍼를 동시에 2매 반송하여 에이징처리를 병행하는 데 있다.
본 발명의 다른 특징은 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와, 상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치에 의한 웨이퍼의 처리방법으로서, 각각 상기 일련의 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치를 포함하는 적어도 2 세트의 웨이퍼의 처리경로를 가지는 진공처리장치에 의한 웨이퍼의 처리방법에 있어서, 상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여 상기 판단으로 운전무효의 공정처리장치만을 분리하고, 운전유효의 공정처리장치를 사용하여 상기 일련의 공정처리를 행하기 위한 상기 처리경로를 재구축하고, 상기 운전유효한 공정처리장치만을 사용하여 상기 웨이퍼를 처리하는 데 있다.
본 발명에 의하면 2 세트 이상의 공정처리장치를 사용하여 처리하는 진공처리장치에 의해 운전중에 어느 것인가의 처리실이 고장 등으로 사용할 수 없게 되었을 때 각 2 세트를 구성하는 공정처리장치의 관계에 구속되지 않고, 정상적인 공정처리장치를 처리경로로서 사용하여 운전하여 더욱 가동율을 높일 수 있는 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법을 제공할 수 있다.
또 클리닝처리나 에이징처리에 관해서도 가동율을 높일 수 있는 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법을 제공할 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예를 도 1 내지 도 15에 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예가 되는 진공처리장치 일 실시예의 구성도이다. 이 실시예의 진공처리장치에서는 4실의 공정처리장치가 1개의 반송처리장치에 접속되고, 처리장치에 웨이퍼를 반입하기 위한 카세트는 처리장치 본체의 앞에 설치한 대기반송장치에 설치하고, 상기 카세트로부터 1매씩 인출하여 처리장치에 반입하여 처리하는 장치구성을 나타내고 있다. 또한 공정처리장치는 4실 보다 많이 접속되어도 상관없다.
도 1에 있어서 2-1 내지 2-4는 웨이퍼의 공정처리를 행하는 공정처리장치이다. 이 처리장치로서는 에칭처리, 후처리, 성막, 스퍼터, CVD, 물처리 등, 웨이퍼의 공정처리를 행하는 처리이면 어느 것이어도 좋다. 1은 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치이며, 로드록실(3)의 웨이퍼를 웨이퍼의 반송스케줄에 따라 공정처리장치(2-1 내지 2-4)에 반송하고 소정의 공정처리장치에서 처리종료된 웨이퍼를 다음 공정처리장치에 반송하며, 모든 공정처리가 종료한 웨이퍼를 언로드록(4)실로 반송한다.
로드록실(3)은 대기반송장치(6)에 있는 웨이퍼를 반송처리장치에 반입하는 실, 언로드록실(4)은 진공처리실에 있는 웨이퍼를 대기반송장치(6)로 반출하는 실이다. 5는 반송처리장치내에 설치되어 웨이퍼의 반송을 행하는 진공로봇, 6은 웨이퍼를 수납한 카세트를 설치하기 위한 대기반송장치, 7은 처리하는 웨이퍼를 수납한 카세트로서 제품용 웨이퍼를 수납한 카세트나 클리닝용 웨이퍼를 수납한 카세트이다. 8은 대기로봇으로, 대기반송장치상의 카세트내의 웨이퍼를 카세트로부터 반출하여 로드록실(3)에 반입하고, 또한 언로드록실(4)의 웨이퍼를 원래의 카세트에 되돌린다. 11은 장치 전체를 제어하는 주제어부이며, 표시수단(13), 입력수단(14)을 구비하고 있다. 오퍼레이터는 이 표시수단(13), 입력수단(14)을 사용하여 주제어부(11)에 대하여 운전조건의 설정을 행한 후 운전의 개시지시를 행한다.
19-1 내지 19-4는 공정처리장치(2-1 내지 2-4)의 운전유효/무효인 것을 나타내는 운전정보신호를 발생하는 운전정보신호 발생수단이다. 본 실시예에서는 공정처리장치에 설치하고 있으나, 어디에 있어도 상관없다.
또 보조 조작반(22)내에 있는 표시수단(26), 입력수단(25)을 사용하여 진공처리장치를 보수, 메인티넌스하기 위한 조작을 할 수 있다. 이 보조 조작반(22)은 가반형의 조작단말(예를 들어 노트 퍼스널 컴퓨터)이며, 진공처리장치의 가까이까지 운반하여 장치상태를 눈으로 보면서 표시수단(26)에 표시되는 장치정보(예를 들어 입출력비트의 온/오프정보, 에러정보 등)를 보수, 메인티넌스의 조작에 활용할 수 있어 보수, 메인티넌스의 조작성을 향상시키고 있는 것이다. 이 보조 조작반(22)에서는 주제어부(11)와 동일한 기능을 가지고 있으나, 오퍼레이터에 대한 안전성을 확보하기 위하여 주제어부(11)와 보조 조작반(22)에서 동시에 조작하는 경우는 한 쪽밖에 조작입력할 수 없도록 오조작 방지기능을 설치하고 있다.
도 2는 본 실시예의 제어장치의 구성도를 나타낸다. 본 실시예는 장치 전체의 주제어장치(11)가 반송처리장치(1)에 탑재되어 있는 경우를 나타낸다. 제어수단으로서는 본 발명의 특징에 관계하는 부분만을 발췌하여 설명하고 있고, 장치를 움직이는 데에 있어서의 필요한 입출력 제어부분(DI/O, AI/O)에 대해서는 설명하고 있지 않다. 또한 장치 전체의 주제어부(11)는 반송처리장치 이외에 있어도 상관없다. 또 표시수단(13), 입력수단(14)은 주제어부(11)와는 다른 제어유닛으로서 구성하여도 좋다.
12는 중앙제어수단이며 예를 들어 CPU(Central Processor Unit)이다. 13은 운전상태, 운전조건의 설정내용, 운전의 개시지시/종료의 표시를 행하는 표시수단 으로, 예를 들어 CRT 이다. 14는 운전조건의 설정, 운전의 개시지시 입력, 공정처리조건, 보수나 메인티넌스의 조작입력 등을 행하는 입력수단으로, 예를 들어 키보드이다. 16은 진공처리장치내에서의 웨이퍼의 처리순서를 기억하는 처리순서정보기억수단이며, 예를 들어 RAM(Random Access Memory)이다. 이 웨이퍼의 처리순서는 운전개시전에 표시수단(13), 입력수단(14)을 사용하여 오퍼레이터에 의해 입력된 데이터가 기억된다. 17은 공정처리장치(2-1 내지 2-4)의 운전유효/무효인 것을 나타내는 운전정보신호를 기억하는 운전정보신호 기억수단으로, 예를 들어 RAM 이다.
15는 장치제어수단으로서, 상기 공정처리장치(2-1 내지 2-4)의 운전유효/무효 인 것을 나타내는 운전정보 신호상태를 판단하여 자동운전중에 공정처리장치(2-1 내지 2-4)중 어느 것인가가 운전불가가 되더라도 상기 공정처리장치를 사용하지 않고 다른 공정처리장치를 사용하여 운전을 속행하는 처리순서를 기억하는 수단이며, 예를 들어 ROM(Read Only Memory)이다. 상기 13 내지 17은 중앙제어수단(12)에 의해 제어된다.
운전정보신호를 발생하는 운전정보신호 발생수단(19-1 내지 19-4)으로서,
1) 공정처리장치의 장치전원의 차단신호를 사용하는, 또는
2) 공정처리장치의 사용의 유효/무효를 설정하는 운전전환신호(예를 들어, 전환스위치)를 사용하는, 또는
3) 공정처리장치의 사용의 유효/무효를 나타내는 운전제어신호로서, 오퍼레이터가 설정입력한 입력정보를 사용할 수 있다.
20과 21은 장치 전체를 제어하는 주제어부(11)와 보조 조작반(22)을 접속하는 통신수단이다. 보조 조작반(22, 25, 26)은 상기한 용도로 사용하는 것이다. 24는 보조 조작반에서의 단말기능을 제어하는 처리순서를 기억한 단말제어수단이다. 23은 상기 21, 24로부터 26를 제어하는 중앙제어수단으로, 예를 들어 CPU (Central Processor Unit)이다.
통상의 운전에서는 오퍼레이터는 제품용 웨이퍼를 수납한 카세트(7-1)[또는 (7-2)]와 클리닝용 웨이퍼를 수납한 카세트(7-3)를 대기반송장치(6)에 설치한다. 표시수단(13), 입력수단(14)을 사용하여 운전조건의 설정을 행한 후 운전의 개시지시를 행한다. 운전이 개시되면 웨이퍼의 반송이 개시되어 공정처리장치(2-1)[(2-2 내지 2-4)도 포함함]로 반송되고 공정처리를 행하여 원래의 카세트로 복귀된다. 원래의 카세트내의 웨이퍼가 모두 처리되면 그 카세트의 회수를 위해 이 도면에는 도시 생략한 버저를 울려 오퍼레이터에게 카세트 회수요구를 통보하고 오퍼레이터가 카세트를 제거한다.
제품용 웨이퍼를 수납한 카세트의 처리가 종료하면 카세트(7-3)로부터 클리닝용 웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하여 클리닝처리를 행하여 카세트(7-3)에 되돌린다. 이 경우 1매의 클리닝용 더미웨이퍼를 사용하여 차례로 공정처리장(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)로 반출하여 클리닝처리를 행하는 것도 가능하고, 또한 다른 방법으로서 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 1매씩 반송하여 클리닝처리를 동시에 행하는 것도 가능하다. 또 상기한 클리닝처리는 제품용 웨이퍼를 수납한 카세트의 처리가 종료하면 카세트(7-3)로부터 클리닝용 더미웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하여 클리닝처리를 행하였으나, 클리닝용 더미웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하지 않고 클리닝처리를 행하는 것도 가능하다.
또 이상과 같이 1 카세트분의 제품용 웨이퍼의 처리종료후에 클리닝처리를 행하는 것에 더하여, 클리닝주기로서 처리한 제품웨이퍼의 매수별로(이 매수는 적절하게 설정가능) 카세트(7-3)로부터 클리닝용 더미웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하여 클리닝처리를 행하는 것도 가능하다. 또 클리닝주기로서 처리한 제품 웨이퍼의 매수별로(이 매수는 적절하게 설정가능) 카세트(7-3)로부터 클리닝용 더미웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하지 않고 클리닝처리를 행하는 것도 가능하다. 또 제품용 웨이퍼를 수납한 카세트의 처리가 미리 설정된 카세트수 실시후에 카세트(7-3)로부터 클리닝용 더미웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하여 클리닝처리를 행하는 것도 가능하다.
다음으로 제품웨이퍼를 수납한 카세트의 처리개시전에 카세트(7-3)로부터 더미웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하지 않고 에이징처리후에 상기 웨이퍼처리를 행하는 것도 가능하다. 또 제품웨이퍼를 수납한 카세트의 처리개시전에 카세트(7-3)로부터 더미웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하여 에이징처리한 후 더미웨이퍼를 카세트(7-3)로 되돌리고, 본 에이징처리를 미리 설정한 웨이퍼 매수분 실시후에 상기 웨이퍼처리를 행하는 것도 가능하다.
또한 운전조건설정의 일부인 처리경로의 설정에 있어서는 그 처리에 사용하는 공정처리장치를 웨이퍼의 처리하는 순서에 공정처리장치의 기호등 을 사용하여 설정한다.
도 3은 본 실시예의 운전정보의 신호도이다. 각 공정처리장치마다 운전의 유효/무효를 나타내는 정보가 기억된다. 이 경우에서는 유효한 경우는 1을 무효인 경우는 0을 나타내나, 구별할 수 있는 내용이면 기호나 숫자이어도 좋다. 이 정보는 운전정보신호 발생수단(19-1 내지 19-4)의 신호상태가 반영된 것으로 운전정보신호 기억수단(17)에 기억된다.
도 4는 본 실시예의 처리순서 정보도이다. 운전조건 설정의 하나로서 오퍼레이터가 운전개시전에 표시수단(13), 입력수단(14)을 사용하여 웨이퍼의 처리하는 순서를 설정한 정보이다. 이 정보는 처리순서정보 기억수단에 기억된다.
이 웨이퍼의 처리순서의 일예를 운전모드로서 도 5에 나타낸다.
이하, 이 운전모드의 설명에서는 공정처리장치(2-2와 2-3)는 동일한 공정처리를(이 실시예에서는 에칭처리라 한다), 공정처리장치(2-1와 2-4)는 동일한 공정처리를(이 실시예에서는 후처리라 한다)하는 것으로 하여 설명한다. 또 공정처리의 실시예로서는 공정처리장치(2-2 또는 2-3)을 사용한 에칭처리를 행한 후, 공정처리장치(2-1 또는 2-4)를 사용한 후처리를 행하는 것으로 한다. 또한 1 카세트분의 제품용 웨이퍼의 처리의 후에 카세트(7-3)로부터 클리닝용 웨이퍼를 공정처리장치(2-3)(또는 2-2)로부터 공정처리장치(2-4)(또는 2-1)에 반송하여 클리닝처리를 행하는 클리닝처리 실행운전에 대하여 설명한다.
단, 본 발명은 도 5의 운전모드로 한정되는 것이 아니라, 웨이퍼의 처리조건에 따라서는 에칭처리만이어도 좋다. 또 공정처리장치(2-2와 2-3) 및 공정처리장치(2-1와 2-4)는 에칭처리, 후처리, 성막, 스퍼터, CVD, 물처리 등, 웨이퍼의 공정처리를 행하는 처리이면 어떠한 조합이어도 좋다. 또 동일한 공정처리를 행하는 처리실의 수도 실시예의 것에 한정할 필요는 없다.
1) 1 카세트 1 레시피 병렬운전
동일한 공정처리조건(이하에서는 공정처리조건을 레시피라 함)으로 처리하는 웨이퍼가 수납된 카세트내의 최하단 또는 최상단의 웨이퍼로부터 순서대로 카세트로부터 뽑아 내어 반송처리장치에 반입하여 공정처리를 하는 것이다. 웨이퍼는 공정처리장치(2-2)에서 에칭처리한 후 공정처리장치(2-1)에서 후처리를 하여 원래의카세트로 되돌리는 경로(이 경로 A라 함)와, 공정처리장치(2-3)에서 에칭처리한 후 공정처리장치(2-4)에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 B라 함)의 양쪽을 사용하여 처리된다.
이 실시예에서의 처리순서는,
경로 A : 카세트(7-1) →공정처리장치(2-2) → 공정처리장치(2-1) →카세트(7-1)
경로 B : 카세트(7-1) →공정처리장치(2-3) →공정처리장치(2-4) →카세트(7-1)의 조합으로 하였으나,
경로 C : 카세트(7-1) →공정처리장치(2-2) →공정처리장치(2-4) →카세트(7-1)
경로 D : 카세트(7-1) →공정처리장치(2-3) →공정처리장치(2-1) →카세트(7-1)의 조합이어도 좋다.
웨이퍼의 처리는 1매째의 웨이퍼는 경로 A, 2매째는 경로 B, 3매째의 웨이퍼는 경로 A, 4매째는 경로 B, …라는 순서로 카세트내의 최종 웨이퍼까지 처리를 행한다.
도 6은 본 실시예의 장치운전 플로우도를 나타낸다. 오퍼레이터는 운전개시전에 처리장치로서 구성되어 있는 공정처리장치중, 고장 등으로 운전에 사용할 수 없는, 또는 보수(플라즈마 클리닝도 포함함)를 위해 사용하지 않는 공정처리장치가 있는 지의 여부를 판단한다(30). 사용할 수 없는(또는 사용하지 않는) 공정처리장치가 있으면 운전정보신호 발생수단(19)을 사용하여 도 3에 설명한 상태가 되도록설정한다(32). 이 설정의 방법의 하나로서,
1) 공정처리장치의 장치전원의 차단신호를 사용하는 경우는, 상기 공정처리장치의 장치전원 공급용 전자개폐기를 오프한다. 이에 따라 차단신호가 발생하여 운전정보신호 기억수단(17)에 전해져 도 3에 기재된 정보로서 기억된다.
2) 공정처리장치의 사용의 유무를 설정하는 운전전환신호(예를 들어 전환스위치)를 사용하는 경우는 상기 공정처리장치에 할당된 전환스위치를 유효 또는 무효의 상태로 설정한다. 이에 의해 전환신호가 확정되어 운전정보신호 기억수단(17)에 전해져 도 3에 기재된 정보로서 기억된다.
3) 공정처리장치의 사용의 유효/무효를 나타내는 운전제어신호로서 오퍼레이터가 설정입력한 입력정보를 사용하는 경우는, 오퍼레이터는 상기 공정처리장치에 할당된 설정정보를 입력수단(14)에 의해 입력한다. 이에 의하여 설정정보가 확정되어 운전정보신호 기억수단(17)에 전해져 도 3에 기재된 정보로서 기억된다. 장치접속구성을 결정한 후, 자동운전조건을 설정하고(34) 자동운전을 개시한다(36).
자동운전조건의 설정(34)에서는 웨이퍼의 처리하는 순서를 아래와 같이 제품처리조건으로서 설정한다.
1) 웨이퍼의 운전모드를 선택한다.
「1 카세트 1 레시피 병렬」, 「2 카세트 1 레시피 병렬」, 「2 카세트 2 레시피 병렬」, 「1 카세트 1 레시피 직렬」중 어느 하나를 선택
2) 웨이퍼의 반송경로를 설정한다.
카세트마다 웨이퍼의 처리경로를 공정처리장치의 기호를 사용하여 병렬 또는 직렬처리를 설정한다. 대표적인 설정예를 이하에 나타낸다.(웨이퍼 처리경로는 상기한 바와 같이 조합이 가능하다)
2-1) 병렬처리의 경우 :
카세트(7-1) : E1 →A1, 카세트(7-1) : E2 →A2
카세트(7-2) : E1 →A1, 카세트(7-2) : E2 →A2
E1 : 공정처리장치(2-2), E2 : 공정처리장치(2-3)
Al : 공정처리장치(2-1), A2 : 공정처리장치(2-4, 2-2) 직렬처리의 경우 :
카세트(7-1) : E1 →E2 →A1
카세트(7-2) : E2 →E1 →A2
3) 공정처리실마다 공정처리조건(공정레시피라고도 함)을 설정한다.
도 7은 자동운전조건의 설정(34)의 일예로서의 웨이퍼의 반송경로를 지정하는 방법의 설명도이다. 도 7의 A는 카세트와 처리실에 관해서 2 세트의 페어관계를 고정하여 웨이퍼를 반송하는 병렬처리를 설정한 것이다. 도 7의 B는 카세트와 처리실의 대응관계를 고정하지 않고 웨이퍼를 비어 있는 쪽의 처리실로 반송하는 경우를 나타내고 있다.
또한 자동운전조건의 설정에 있어서, 처리경로의 지정이 없는 경우, 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치의 세트로서, 각각 웨이퍼의 에칭 및 후처리를 행하는 공정처리장치의 페어를 포함하는 처리경로를 자동설정하도록 하여도 좋다.
또 각각 웨이퍼의 에칭 및 후처리를 행하는 공정처리장치의 1 세트 또는 2 세트의 페어에 대하여 1회의 처리마다 사용하는 공정처리장치를 교대에 전환하여 각 공정처리장치의 소모도를 갖추도록 하여도 좋다.
이상의 제품처리조건을 설정한 후, 자동운전을 개시한다(36).
도 8은 본 실시예의 자동운전의 플로우도를 나타낸다. 자동운전을 개시하면처리해야 할 웨이퍼를 모두 반송하였는 지를 판단하여 반송이 끝났으면 처리가 종료하고, 반송이 필요하면 자동운전처리로 진행한다(40). 자동운전중에 이상 등이 발생하여 운전이 일시 중단한 상태로 있는 지의 여부를 판단한다(42). 이상이 없으면 운전을 속행한다(44로). 운전에 사용할 수 없는 공정처리장치가 있는 경우는 상기 공정처리장치를 사용하지 않고 운전속행이 가능할 지의 여부를 오퍼레이터가 판단한다(70). 속행이 불가능한 경우는 오퍼레이터가 자동운전의 중지설정을 행함으로써 장치는 자동운전 정지처리를 행한다(90). 속행이 가능한 경우에도 공정처리장치에 웨이퍼가 남아 있는 경우, 진공로봇의 핸드상에 웨이퍼가 남아 있는 경우, 로드록실이나 언로드록실에 웨이퍼가 남아 있는 경우 등이 있다.
처리장치내에 잔존하고 있는 웨이퍼의 처치예를 이하에 나타낸다. 먼저, 장치내에 잔존 웨이퍼가 있는 지의 여부를 판단한다(72). 장치내에 잔존하고 있는 웨이퍼를 그대로 두고 운전을 계속할 지의 여부를 판단한다(73).
즉, 오퍼레이터는 다음 (1), (2)중 어느 하나를 선택한다.
(1) 장치내에 잔존하고 있는 웨이퍼를 그대로 두고 운전을 계속한다.
(2) 장치내에 잔존하고 있는 웨이퍼를 그대로 두고 운전을 계속하지 않고 필요한 처치를 행하여 운전을 재개한다. 이것은 자동운전중에 이상이 발생한 시점에서는 처리장치내의 모든 웨이퍼의 반송·처리의 스케줄이 확정되어 있기 때문에 이상이 발생한 기기에 있는 웨이퍼를 인출한 카세트(7)에 되돌리지 않으면 웨이퍼의 반송·처리의 스케줄이 틀려져 자동운전의 일시 중단상태로부터의 재개, 자동운전속행을 할 수 없게 되기 때문이다.
장치내에 잔존하고 있는 웨이퍼를 그대로 하여 운전을 계속하는 경우는 상기 웨이퍼를 원래의 카세트로 반출하도록 웨이퍼정보의 변경을 행한다(77). 즉, 이상이 발생한 기기내에 잔존하고 있는 웨이퍼를 원래의 카세트로 반출하지 않고 상기 웨이퍼를 이상이 발생한 기기내에 잔존시킨 채로 상기 웨이퍼를 원래의 카세트로 반출하도록 웨이퍼정보의 변경을 행한다. 예를 들어 이상발생으로 처리장치내에 잔존하고 있는 웨이퍼를 그대로 하여 두고, 상기 웨이퍼를 원래의 카세트로 반출하도록 웨이퍼정보의 변경을 행한 다음에 중도의 웨이퍼에 대하여 일시 중단상태로부터의 재개, 자동운전을 속행시켜 일괄(1 로트)처리를 종료시켜 자동운전을 종료시킨 후, 잔존하고 있는 웨이퍼를 원래의 카세트로 되돌리는 경우에 사용된다. 또한 다른 실시예로서 이상이 발생한 기기내에 잔존하고 있는 웨이퍼를 원래의 카세트로 반출하지 않고 상기 웨이퍼를 이상이 발생한 기기내에 잔존시킨 채로 중도의 웨이퍼에 대하여 일시 중단상태로부터의 재개, 자동운전을 속행시켜 일괄처리를 종료시켜 자동운전을 종료시킨 후, 잔존하고 있는 웨이퍼를 원래의 카세트로 되돌리는 것도 가능하다.
장치내에 잔존하고 있는 웨이퍼를 그대로 하여 운전을 계속하지 않는 경우는 잔존하고 있는 웨이퍼중 에칭처리를 할 지의 여부를 판단한다(74).
에칭처리를 하는 경우에는 잔존 웨이퍼의 처리조건을 선택한다(75). 잔존 웨이퍼의 처리조건으로서는 예를 들어 도 9에 나타내는 바와 같이 미리 5개의 선택지를 준비하여 둔다.
(1) 처리중단시간으로부터 재시도(retry)하여 처리를 계속한다.
(2) 이상이 발생한 웨이퍼에 대해서만 복구용 레시피로 처리하고, 다음 웨이퍼부터는 원래의 레시피로 처리를 계속한다.
(3) 이상이 발생한 웨이퍼를 반출하고, 다음 웨이퍼를 반입하여 처리를 계속한다.
(4) 이상이 발생한 웨이퍼를 반출하여 원래의 카세트로 회수한 후, 이상이 발생한 처리경로를 자동운전으로부터 분리하여 처리를 계속한다.
(5) 메인티넌스모드로 하여 운전을 중단한다.
도 8로 되돌아가 처리실내에 잔존하고 있는 웨이퍼중 에칭처리의 도중에서 이상이 발생한 경우는, 나머지 에칭처리를 실시한 후(76), 웨이퍼를 원래의 카세트로 되돌린다(78).
이것은 될 수 있는 한 웨이퍼를 구제하기 위하여 행하는 것이다. 또 진공로봇의 웨이퍼 핸드상에 웨이퍼가 남아 있는 경우나, 로드록실 언로드록실에 웨이퍼가 남아 있는 경우는 기기 개별의 조작(록실의 배기/리크, 웨이퍼의 반송)을 행하여, 그 웨이퍼를 원래의 카세트로 되돌린다(78).
이상과 같이 이상이 발생한 기기에 있던 웨이퍼는 필요한 처치를 실시하여 원래의 카세트로 되돌린 후, 일시 중단하고 있는 자동운전을 재개하는 조작을 행한다. 이와 같이 함으로써 이상이 발생한 기기(처리실이나 진공로봇 등)에 있던 웨이퍼의 트랙킹 정보는 정상적인 경로로 처리된 것과 동등하게 되어 자동운전을 재개할 수 있게 된다. 이상과 같은 처리장치내에 잔존하고 있는 웨이퍼의 처치를 행한 후, 사용하지 않은 공정처리장치에 대하여 도 6의 (32)로 나타낸 내용과 동일한 운전정보신호 발생수단의 전환조작(80)을 행한다. 이상발생 정보를 리세트하고 (82) 자동운전을 속행한다.
정상적인 운전상태에서는 다음 웨이퍼의 반송경로를 처리순서정보 기억수단(16)에 기억되어 있는 정보를 판독하고(44), 운전정보신호 기억수단(17)에 기억되어 있는 정보와 정합처리하여 반송순서로를 결정한다(46). 결정한 반송순서로는 카세트로부터 반출하는 웨이퍼마다 반송순서로 데이터를 가져도 좋고, 처리순서정보 기억수단(16)과는 별도의 처리순서정보 테이블을 작성하여 웨이퍼를 반송할 때는 이 테이블을 참조하도록 하여도 좋다. 반송순서로가 결정되면 대기로봇(8)은 카세트(7)로부터 웨이퍼를 반출하여(48), 상기 결정한 반송순서로 등록되어 있는 공정처리장치에 반송하여(50) 웨이퍼의 처리를 행한다(52).
이 웨이퍼 반송처리 및 공정처리에서 이상이 발생한 경우는 계속해서 자동운전을 계속하기 위하여 처리속행 가능한 처리는 그 하나하나의 처리를 종료시킬 때까지 실행한 후, 자동운전을 일시 중단상태로 한다. 예를 들어 N 매째의 웨이퍼의 에칭처리중이면 그 N 매째의 웨이퍼의 에칭처리가 종료할 때까지 에칭처리를 계속하고 종료한 시점에서 자동운전을 일시 중단한다. 또 진공로봇(5)에 의한 웨이퍼반송중에 다른 처리에서 이상이 발생하면 진공로봇(5)은 소정의 장소로의 웨이퍼 반송을 종료한 시점에서 자동운전을 일시 중단한다. 이후 이상이 발생한 것을 나타내는 이상발생정보(도시 생략)를 기억시킨 후, 장치를 일시 중단상태로 오퍼레이터에게 중단한 것을 표시수단(13)에 표시함과 더불어 도시 생략한 버저를 울린다. 이후 (42)로 되돌아가 소정의 플로우로 처리한다.
다음으로 도 10에서 본 발명에 의한 클리닝운전의 플로우를 설명한다. 최종웨이퍼를 카세트(7-1)에 반입하면 클리닝용 웨이퍼가 카세트(7-3)로부터 로드록실 (3)에 반입된다(도 10-A). 다음으로 공정처리장치(2-2)내에 있던 최종 웨이퍼가 공정처리장치(2-1)에 반송되어 있으면 클리닝용 웨이퍼를 공정처리장치(2-2)로 반송하여 클리닝처리를 개시시킨다(도 10-B).
공정처리장치(2-3)에서의 클리닝처리가 종료하면 클리닝용 웨이퍼를 공정처리장치(2-3)로부터 공정처리장치(2-4)에 반송하여 클리닝처리를 행한다. 이때까지 다음의 제품용 카세트(7-1)가 설치되어 있으면 카세트(7-1)로부터 제품용 웨이퍼의 2 매째를 공정처리장치(2-2)에 반송하여 공정처리를 행한다. 공정처리장치(2-4)에서의 클리닝처리가 종료하면 클리닝용 웨이퍼를 로드록실(4)로 되돌린다(도 10-C). 또 카세트(7-1)내의 모든 웨이퍼를 처리종료하면 카세트(7-1)의 처리종료와 카세트교환을 오퍼레이터에게 통보하기 위하여 이 도면에는 도시 생략한 버저를 울린다.
카세트(7-1)의 처리가 모두 종료하면 카세트(7-2)의 처리를 행한다. 또 공정처리장치(2-2)에서의 클리닝처리가 종료하면 클리닝용 웨이퍼를 공정처리장치(2-2)로부터 공정처리장치(2-1)에 반송하여 클리닝처리를 행한다. 클리닝처리가 종료하면 클리닝용 웨이퍼를 카세트(7-3)로 되돌린다.
이상과 같이 카세트(7-2)에 대해서도 카세트(7-1)의 경우와 동일한 순서로 처리를 행하여 카세트(7-2)내의 모두를 처리종료하면 카세트(7-2)의 처리종료와 카세트교환을 오퍼레이터에게 통보하기 위하여 이 도면에는 생략한 버저를 울린다(도 10-D).
이후 이 운전사이클을 반복하여 행한다. 이 운전을 종료하는 경우는 주제어부 (11)로부터 운전종료의 조작입력을 행함으로써 운전이 종료한다.
처리를 종료하는 방법으로서, 이하의 5 가지 모드가 있다.
가) 웨이퍼공급정지 : 처리중인 카세트로부터의 웨이퍼인출을 중지한다.
(2 카세트를 1 로트로 하여 운전하고 있는 경우는, 지정한 쪽의 카세트로부터의 웨이퍼인출을 중지한다.)
나) 카세트공급정지 : 현재 처리중인 카세트내의 웨이퍼를 모두 처리종료한 후, 그 처리종료까지 설치되어 있던 카세트의 처리를 중지한다.
(2 카세트를 1 로트로 하여 운전하고 있는 경우는, 지정한 쪽의 카세트내의 웨이퍼를 모두 처리종료한 후, 그 때까지 설치되어 있던 카세트의 처리를 중지한다.)
다) 사이클정지 : 현재 실행중의 공정처리, 배기, 리크, 반송 등의 동작종료후 그 자리에서 정지한다.
라) 처리실 일시정지 : 지정처리실에 대하여 현재 처리중인 공정처리종료후 정지한다. 이 경우는 운전의 재개조작에 의해 일시 정지한 상태로부터 운전을 재개할 수 있다. 또 그 처리실만 수동조작은 가능하다.
마) 즉시 정지 : 실행중의 모든 동작을 즉시 정지한다.
처리종료에 있어서는 어느 방법에 의하더라도 좋다.
2) 2 카세트 1 레시피 병렬운전
동일한 공정처리조건(레시피)으로 처리하는 웨이퍼가 수납된 카세트내의 최하단 또는 최상단의 웨이퍼로부터 순서대로 뽑아 내어 반송처리장치에 반입하여 공정처리를 하는 것이다. 이 경우 카세트로부터 뽑아 내어 반송처리장치에 반입하여 공정처리를 하는 운전이 상기한「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 다르다.
상기한 「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우는 동일카세트로부터 순서대로 웨이퍼를 뽑아 내어 반송처리장치에 반입하여 공정처리를 실시하고, 그 카세트의 웨이퍼를 모두 종료한 후, 다음 카세트의 웨이퍼처리로 옮겨갔으나, 본 「2 카세트 1 레시피 병렬운전」에서는 카세트(7-1)와 카세트(7-2)로부터 교대로 웨이퍼를 뽑아 내어 반송처리장치에 반입하여 공정처리를 실시한다. 웨이퍼의 처리경로는 상기한「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 마찬가지로 공정처리장치(2-2)에서 에칭처리한 후, 공정처리장치(2-1)에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 A라 함)와, 공정처리장치(2-3)에서 에칭처리한 후 공정처리장치 (2-4)에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 B라 함)의 양쪽을 사용하여 처리한다.
이 실시예에서의 처리순서의 경로(A, B) 또는 경로(C, D)에 있어서는 상기 「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다.
웨이퍼의 처리는 1 매째의 웨이퍼는 카세트(7-1)로부터의 1 매째를 경로(A), 2 매째는 카세트(7-2)로부터의 1 매째를 경로(B), 3 매째의 웨이퍼는 카세트(7-1)로부터의 2 매째를 경로(A), 4 매째는 카세트(7-2)로부터의 2 매째를 경로(B, …)라는 순서로 카세트내의 최종 웨이퍼까지 처리를 행한다. 카세트(7-1) 또는 카세트(7-2)내의 모든 웨이퍼를 처리종료하면 카세트(7-1)(또는 7-2)의 처리종료와 카세트교환을 오퍼레이터에게 통보하기 위하여 이 도면에는 도시 생략한 버저를 울린다. 이 종료한 카세트가 제거되고 새로운 카세트가 설치될 때까지는 다른쪽의 카세트측의 처리만 계속되고 있다. 새로운 카세트가 설치되면 상기한 바와 같이 카세트(7-1와 7-2)로부터 교대로 웨이퍼를 뽑아 내어 반송처리장치에 반입하여 공정처리를 실시한다. 이후 이 운전사이클 반복을 행한다. 이 운전을 종료하는 경우는 주제어부(11)로부터 운전종료의 조작입력을 행하는 것으로 운전이 종료한다. 종료방법은 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다. 또한 클리닝처리에 대해서는 상기 1)과 동일하다.
3) 2 카세트 2 레시피 병렬운전
이 운전에서는 카세트(7-1)와 카세트(7-2)의 웨이퍼처리 레시피가 다른 것에 의해 공정처리장치에서의 처리시간이 다른 것이 있다. 이 경우 카세트(7-1)와 카세트(7-2)로부터의 웨이퍼반출은 교대가 아니라 공정처리장치에서의 처리가 끝나고, 다른 공정처리장치에 웨이퍼를 반송한 후, 다음 웨이퍼를 상기 공정처리장치로 반송하는 처리 이외는 상기「2 카세트 1 레시피 병렬운전」과 동일하다. 상기 웨이퍼의 클리닝처리에 대해서는 상기 1)과 동일하다.
4) 1 카세트 1 레시피 직렬운전
이 운전에서는 동일한 공정처리조건(레시피)으로 처리하는 웨이퍼가 수납된 카세트내의 최하단 또는 최상단의 웨이퍼로부터 순서대로 카세트로부터 뽑아 내어 반송처리장치에 반입하여 공정처리를 하는 것은 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다. 그런데 웨이퍼의 처리경로는 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 다르다. 본 「1 카세트 1 레시피 직렬운전」에서는 웨이퍼는 공정처리장치(2-2)[또는 공정처리장치(2-3)]에서 에칭처리한 후, 다시 공정처리장치(2-3)[또는 공정처리장치(2-2)]에서 에칭처리한 후, 공정처리장치(2-1)[또는 공정처리장치(2-4)]에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 E 라함)로 처리한다.
웨이퍼의 처리는 1 매째의 웨이퍼는 경로(E), 2 매째는 경로(E), 3매째의 웨이퍼는 경로(E), 4 매째는 경로(E, …)라는 순서로 카세트내의 최종 웨이퍼까지 처리를 행한다. 카세트(7-1)내의 모두를 처리종료하면 카세트(7-1)의 처리종료와 카세트교환을 오퍼레이터에게 통보하기 위하여 이 도면에는 도시 생략한 버저를 울린다.
이 때까지 카세트(7-2)가 설치되어 있으면, 카세트(7-1)의 처리종료에 계속해서 카세트(7-2)의 처리로 옮긴다. 카세트(7-2)에 대해서도 카세트(7-1)의 경우와 동일한 순서로 처리를 행하고, 카세트(7-2)내의 모두 웨이퍼를 처리종료하면 카세트(7-2)의 처리종료와 카세트교환을 오퍼레이터에게 통보하기 위하여 이 도면에는 도시 생략한 버저를 울린다. 이 때까지 카세트(7-1)가 설치되어 있으면 카세트(7-2)의 처리종료에 계속해서 카세트(7-1)의 처리로 옮긴다. 이후, 이 운전사이클 반복을 행한다. 이 운전을 종료하는 경우는 주제어부(11)로부터 운전종료의 조작입력을 행하는 것으로 운전이 종료한다. 종료방법은 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다. 또 클리닝처리에 있어서는 상기 1)과 동일하다.
이상, 1) 내지 4)의 운전방법은 대표사례에 대하여 설명한 것으로 카세트, 레시피와 병렬/직렬운전의 조합에 의해 다른 운전방법을 생각할 수 있고, 본 발명은 상기 1) 내지 4)의 운전방법에 한정되는 것이 아니다.
도 11은 이상발생후의 자동경로변경의 처리도를 나타낸다. 도 11의 A는 도 5의「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 운전모드이며, 웨이퍼의 반송경로가 다음과 같이 되어 있다.
카세트(7-1) : E1 → A1 및 E2 → A2
카세트(7-2) : E1 → A1 및 E2 → A2
여기서 E2 에서는 (N)매째의 웨이퍼가 에칭처리중이고, A1에서는 (N-1)매째의 웨이퍼가 후처리중일 때에 도 11의 B에 나타내는 바와 같이 A2 에서 이상이 발생하면 이후는 운전모드의 처리경로로부터 A2 를 사용하지 않고 운전을 속행한다. 즉, 도 11의 C에 나타내는 바와 같이 웨이퍼의 후처리는 모두 A1 에서 처리한다.
카세트(7-1) : E1 → A1 및 E2 → A1
카세트(7-2) : E1 → A1 및 E2 → A1로 운전할 수 있다.
이 실시예에 의하면「1 카세트 1 레시피 병렬운전」시에 1 레시피운전을 구성하는 1개의 페어의 처리실중 어느 하나가 고장난 경우, 페어관계를 해제하고 1개의 페어를 구성하고 있는 유효한 처리실을 다른 페어를 구성하고 있는 처리실과 조합시켜 새로운 반송경로를 구성하여 처리하기 때문에 고장시의 효율저하를 낮게 억제할 수 있다.
예를 들어 고장난 처리실이 후처리실이고, 에칭처리와 비교하여 후처리의 소요시간이 1/2 이었다고 하면 고장나지 않은 2개의 처리실과 1개의 후처리실을 사용함으로써 전체의 처리시간에 거의 영향을 미치는 일 없이 처리를 행할 수 있다.
또 상기 판단으로 1 세트의 공정처리장치의 에칭처리를 행하는 공정처리장치와, 다른 1 세트의 공정처리장치중 후처리를 행하는 공정처리장치가 운전무효인 경우, 운전무효의 공정처리장치를 분리하고, 다른 1 세트의 에칭처리를 행하는 공정처리장치와, 1 세트의 후처리를 행하는 공정처리장치를 사용하여 일련의 공정처리를 행하기 위한 1 세트의 처리경로를 재구축하여 이 1 세트의 처리경로를 사용하여 상기 웨이퍼의 처리를 행하도록 하여도 좋다.
또한 도 12는 복구레시피의 재시도를 설명하는 도면이다. 도 12의 A는 도 5의「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 운전모드이다. 도 12의 B에 나타내는 바와 같이 처리실(E2)에 이상이 발생한 경우, 오퍼레이터는 다음의 잔존웨이퍼의 처리조건중 어느 하나를 선택하여 다음과 같은 재시도를 행한다.
(1) 처리중단시간으로부터 재시도하여 처리를 계속한다.
(2) 이상이 발생한 웨이퍼에 대해서만 복구용 레시피로 처리하고, 다음 웨이퍼부터는 원래의 레시피로 처리를 계속한다.
(3) 이상이 발생한 웨이퍼를 반출하고, 다음 웨이퍼를 반입하여 처리를 계속한다.
(4) 이상이 발생한 웨이퍼를 반출하여 원래의 카세트로 회수한 후, 이상이 발생한 처리경로를 자동운전으로부터 분리하고 처리를 계속한다.
(5) 메인티넌스모드, 운전을 중단한다.
이와 같이 이상발생시 기계적으로 처리하는 것은 아니고, 오퍼레이터가 에러가 없도록 알맞게 잔존 웨이퍼의 처리조건을 선택할 수 있기 때문에, 장치의 상황에 의거한 적절한 회복처치를 채용할 수 있다.
오퍼레이터의 판단을 돕기 위하여 이상발생시에 진공처리장치의 상태에 관한 될 수 있는 한 많은 정보를 표시수단(13, 26)에 표시하는 것이 바람직하다.
또한 잔존 웨이퍼의 처리조건은 상기한 5 가지에 한정되는 것이 아니라, 필요에 따라 적절히 변경하면 좋다.
다음으로 도 13은 병렬처리시에 A2 에서 이상이 발생한 것에 따르는, 번거로운 웨이퍼의 회수를 설명하는 도면이다. 도 13의 A는 도 5의「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 운전모드이다. 도 13의 B에 있어서 카세트(7-1)로부터 이상이 발생한 처리실(E2)에 반송예정의 웨이퍼는 진공로봇(5)을 사용하여 도 13의 C에 나타내는 바와 같이 언로드록실(4)을 경유하여 원래의 카세트(7-1)로 되돌려진다. 그리고 도 13의 D에 나타내는 바와 같이 운전모드의 처리경로로부터 처리실(E2 와 A2)을 분리한 상태에서 운전을 계속한다.
다음으로 도 14는 메인티넌스모드로부터의 자동운전복귀를 설명하는 도면이다. 도 14의 A는 도 5에서의「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 운전모드이며, 웨이퍼의 반송경로가 다음과 같이 되어 있다.
카세트(7-1) : E1 → A1 및 E2 → A2
카세트(7-2) : E1 → A1 및 E2 → A2
여기서 E2 에서는 (N)매째눈의 웨이퍼가 에칭처리중이고, A1 에서는 (N-1)매째의 웨이퍼가 후처리중일 때 도 14의 B에 나타내는 바와 같이 처리실(E2)에서 이상이 발생한 것으로 한다. 이 상태에서 에칭처리는 종료하고 A1의 (N-1)매째의 웨이퍼는 후처리 종료후 언로드록실(4)로 반출하지 않고 자동운전을 일시 중단한다.
그 후 도 14의 C에 나타내는 바와 같이 이상이 발생한 처리실(E2)의 웨이퍼를 카세트(7-2)에 회수한다. 그리고 E2, A2 에 있어서는 도 8의 운전정보신호 발생수단에 의한 전환조작(스텝 80)을 행하여 도 3에서 나타내는 바와 같이 공정처리장치(4)(A2)의 운전정보를「무효 : 0」로 한다. 이후 이상발생정보를 리세트(도 8의 82)하고 자동운전을 계속한다.
재개후는 도 14의 D와 같이 A2의 (N-1)매째의 웨이퍼는 언로드록실(4)로 반송되고, 이후는 운전모드의 처리경로로부터 E2, A2를 사용하지 않고 운전을 속행한다.
다음으로 운전정보를「무효 : 0」으로 한 공정처리장치(4)(A2)에 있어서는 보조 조작반(22)을 사용하여 이상원인을 구명하기 위하여 공정처리장치(4)(A2)에 대하여 기기동작을 행하기 위한 조작입력을 행할 수 있다. 예를 들어 공정처리장치(4)(A2)중 본 도면에 도시 생략한 웨이퍼 밀어 올림 조작을 행하여 동작을 확인한다.
이와 같은 조작에 의해 이상원인을 대책할 수 있고, 「무효 : 0」으로 한 공정처리장치(4)(A2)를 웨이퍼의 처리경로로 복귀시킨다.
상기 실시예에서는 자동운전중에 E2 와 A2를 자동운전처리경로로부터 분리하는 수단으로서 운전정지조작에 의해 정지지시를 냄으로써 분리를 행하였으나, 다른 방법으로서 처리장치내에 조립한 검출기의 기능에 의해 정지지시를 낼 수도 있다. 일예로서는 처리장치내에 조립한 이물 모니터장치로부터의 이물측정 모니터치가 운전전에 설정한 설정치를 초과한 것을 검지하여 이 초과한 신호를 가지고 자동운전중에 E2 와 A2에 정지지시를 냄으로써 운전정지조작과 동일한 기능을 행할 수 있다.
다음으로 도 15는 직렬에이징을 설명하는 도면이다. 에이징 웨이퍼는 도 15의 A에 나타내는 바와 같이 직렬로 반송하여 에이징을 진행시켜도 좋고, B에 나타내는 바와 같이 동시에 2 매 반송하여 에이징을 병행하여 진행시켜도 좋다. 에이징을 병행하여 행함으로써 에이징의 시간을 단축할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의하면 자동운전중에 그 처리에 사용하지 않는 처리실을 사용한 처리 및 그 처리실에 대한 조작을 할 수 있어 편측운전을 실행할 수 있다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예로서, 공정처리장치가 반송처리장치에 4실 접속되고 처리장치에 웨이퍼를 반입하기 위한 카세트는 처리장치 본체내의 로드록실 (3A)에 설치하여 카세트로부터 1 매씩 인출하여 처리장치에 반입하여 처리하는 장치구성도를 나타낸다. 공정처리장치가 이것 이상 접속되어도 상관없다. 장치구성으로서는 도 1에 나타내는 구성으로부터 웨이퍼를 수납한 카세트를 설치하기 위한 대기반송장치(6), 대기로봇(8)을 삭제한 것이다. 웨이퍼의 카세트로부터의 반출이 로드록실(3A)로 이루어지고 카세트에 대한 수납이 언로드록실(4A)이 되는 이외의 각 기기의 기능 및 구성은 도 1과 동일하다.
또 클리닝처리로서는 클리닝용 웨이퍼를 수납한 카세트를 로드록실(3A)[또는 언로드록실(4A)]에 설치하고, 클리닝용 웨이퍼를 공정처리장치(2-1, 2-2, 2-3, 2-4)에 반출하여 클리닝처리를 행하여 원래의 카세트로 되돌린다.
또 운전모드에 있어서는,
1) 1 카세트 1 레시피 병렬운전
동일한 공정처리조건(레시피)으로 처리하는 웨이퍼가 수납된 카세트내의 최하단 또는 최상단의 웨이퍼로부터 순서대로 카세트로부터 뽑아 내어 공정처리장치에 반입하여 공정처리를 하는 것이다. 웨이퍼는 공정처리장치(2-2)에서 에칭처리한 후 공정처리장치(2-1)에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 A라 함)와, 공정처리장치(2-3)에서 에칭처리한 후 공정처리장치(2-4)에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 B라 함)의 양쪽을 사용하여 처리한다.
이 실시예에서의 처리순서는
경로 A : 로드록실(3A)내 카세트(7-1A) → 공정처리장치(2-2) → 공정처리장치(2-1) → 언로드록실(4A)내 카세트(7-2A)
경로 B : 로드록실(3A)내 카세트(7-1A) → 공정처리장치(2-3) → 공정처리장치(2-4) → 언로드록실(4A)내 카세트(7-2A) 또는,
경로 C : 로드록실(3A)내 카세트(7-1A) → 공정처리장치(2-2) → 공정처리장치(2-4) → 언로드록실(4A)내 카세트(7-2A)
경로 D : 로드록실(3A)내 카세트(7-1A) → 공정처리장치(2-3) → 공정처리장치(2-1) → 언로드록실(4A)내 카세트(7-2A)의 조합이어도 좋다. 또 상기 처리순서에서는 처리한 웨이퍼는 언로드록실(4A)내 카세트(7-2A)로 되돌렸으나 웨이퍼를 인출한 로드록실(3A)내 카세트(7-1A)로 되돌릴 수도 있다.
본 실시예에서는 경로 A와 경로 B를 병행하여 로드록실(3A)내의 카세트(7-1A)로부터 뽑아 낸 웨이퍼는 언로드록실(4A)내의 카세트(7-2A)로 되돌리는 처리의 예를 나타낸다. 웨이퍼의 처리는 1 매째의 웨이퍼는 경로(A), 2 매째는 경로(B), 3 매째의 웨이퍼는 경로(A), 4 매째는 경로(B, …)라는 순서로 카세트내의 최종 웨이퍼까지 처리를 행한다. 로드록실(3A)내 카세트(7-1A)내의 모두를 처리종료하면 로드록실내 카세트와 언로드록(4A)실내 카세트(7-2A)의 처리종료와 카세트교환을 오퍼레이터에게 통보하기 위하여 이 도면에는 도시 생략한 버저를 울린다. 다음으로 새로운 미처리웨이퍼가 들어 간 카세트를 로드록실(3A)에 빈 카세트를 언로드록실(4A)설치하여 이후의 운전사이클 반복을 행한다. 이 운전을 종료하는 경우는 주제어부(11)로부터 운전종료의 조작입력을 행함으로써 운전이 종료한다. 종료방법은 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다.
2) 2 카세트 1 레시피 병렬운전
동일한 공정처리조건(이하에서는 공정처리조건을 레시피라 함)으로 처리하는 웨이퍼가 수납된 카세트내의 최하단 또는 최상단의 웨이퍼로부터 순서대로 카세트로부터 뽑아 내어 공정처리장치에 반입하여 공정처리를 하는 것이다.
상기한 「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우는, 동일 카세트로부터 순서대로 웨이퍼를 뽑아 내어 공정처리장치에 반입하여 공정처리를 실시하고, 그 카세트의 웨이퍼를 모두 종료한 후, 다음 카세트의 웨이퍼의 처리로 옮겼으나, 본 「2카세트 1 레시피 병렬운전」에서는 로드록실(3A) 내의 카세트(7-1A)와 언로드록실 (4A)내의 카세트(7-2A)로부터 교대로 웨이퍼를 뽑아 내어 공정처리장치에 반입하여 공정처리를 실시한다. 웨이퍼의 처리경로는 상기한「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 마찬가지로 공정처리장치(2-2)에서 에칭처리한 후, 공정처리장치(2-1)에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 A라 함)와 공정처리장치(2-3)에서 에칭처리한 후, 공정처리장치(2-4)에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 B라 함)의 양쪽을 사용하여 처리한다.
이 실시예에서의 처리순서의 경로(A, B) 또는 경로(C, D)에 있어서는 상기 「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다.
웨이퍼의 처리는 1 매째의 웨이퍼는 로드록실(3A)내의 카세트(7-1A)로부터의 1 매째를 경로(A), 2 매째는 언로드록실내의 카세트로부터의 1 매째를 경로(B), 3매째의 웨이퍼는 로드록실(3A)내의 카세트(7-1A)로부터의 2 매째를 경로(A), 4 매째는 언로드록실(4A)내의 카세트(7-2A)로부터의 2 매째를 경로(B, …)라는 순서로 카세트내의 최종 웨이퍼까지 처리를 행한다. 로드록실(3A)내 또는 언로드록실(4A) 카세트(7-2A)내의 모든 웨이퍼를 처리종료하면 로드록실(3A)내[또는 언로드록실 (4A)내] 카세트의 처리종료와 카세트교환을 오퍼레이터에게 통보하기 위하여 이 도면에는 도시 생략한 버저를 울린다. 이 종료한 카세트가 제거되고 새로운 카세트가 설치될 때까지는 다른쪽 카세트측의 처리만 계속되고 있다. 새로운 카세트가 설치되면 상기한 바와 같이 로드록실(3A)내와 언로드록실(4A)내 카세트로부터 교대로 웨이퍼를 뽑아 내어 공정처리장치로 반입하여 공정처리를 실시한다. 이후 이 운전사이클 반복을 행한다. 이 운전을 종료할 경우는 주제어부(11)로부터 운전종료의 조작입력을 행함으로써 운전이 종료한다. 종료방법은 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다.
3) 2 카세트 2 레시피 병렬운전
이 운전에서는 로드록실(3A)내의 카세트(7-1A)와 언로드록실(4A)내의 카세트 (7-2A)의 웨이퍼처리 레시피가 다른 일이 있다. 이 경우 카세트(7-1)와 카세트(7-2)로부터의 웨이퍼반출은 교대가 아니라 공정처리장치에서의 처리가 끝나 다른 공정처리장치로 웨이퍼를 반송한 후, 다음 웨이퍼를 상기 공정처리장치에 반송하는 처리 이외는 상기「2 카세트 1 레시피 병렬운전」과 동일하다. 상기 웨이퍼의 클리닝처리에 있어서는 상기 1)과 동일하다.
4) 1 카세트 1 레시피 직렬운전
이 운전에서는 동일한 공정처리조건(이하에서는 공정처리조건을 레시피라 함)으로 처리하는 웨이퍼가 수납된 카세트내의 최하단 또는 최상단의 웨이퍼로부터 순서대로 카세트로부터 뽑아 내어 공정처리장치에 반입하여 공정처리를 하는 것은 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다. 그런데 웨이퍼의 처리경로는 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 다르다．
본 「1 카세트 1 레시피 직렬운전」에서는 웨이퍼는 공정처리장치(2-2）[또는 공정처리장치(2-3)]에서 에칭처리한 후, 다시 공정처리장치(2-3)[또는 공정처리장치(2-2)]에서 에칭처리한 후, 공정처리장치(2-1)[또는 공정처리장치(2-4)]에서 후처리를 하여 원래의 카세트로 되돌리는 경로(이 경로 E라 함)로 처리한다.
본 실시예에서는 경로(E)에서 로드록실(3A)내의 카세트(7-1A)로부터 뽑아 낸 웨이퍼는 언로드록실(4A)내의 카세트(7-2A)로 되돌리는 처리의 예를 나타낸다.
웨이퍼의 처리는 1 매째의 웨이퍼는 경로(E), 2 매째는 경로(E), 3 매째의 웨이퍼는 경로(E), 4 매째는 경로(E, …)라는 순서로 카세트내의 최종 웨이퍼까지 처리를 행한다. 카세트내의 모두를 처리종료하면 로드록실(3A)내 카세트(7-1A)와 언로드록실(4A)내 카세트(7-2A)의 처리종료와 교환을 오퍼레이터에게 통보하기 위하여 이 도면에는 도시 생략한 버저를 울린다. 다음으로 새로운 미처리웨이퍼가 들어 간 카세트를 로드록실(3A)에, 빈 카세트를 언로드록실(4A)에 설치하고, 이후이 운전사이클 반복을 행한다. 이 운전을 종료하는 경우는 주제어부(11)로부터 운전종료의 조작입력을 행함으로써 운전이 종료한다. 종료방법은 상기「1 카세트 1 레시피 병렬운전」의 경우와 동일하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 2 세트 이상의 공정처리장치를 사용하여 처리하는 진공처리장치에 의해 운전중에 어느 것인가의 처리실이 고장 등으로 사용할 수 없게 되었을 때 각 2 세트를 구성하는 공정처리장치의 관계에 구속되지 않고 정상적인 처리실을 처리경로로서 사용하여 운전하여 가동율을 높일 수 있는 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법을 제공할 수 있다.
또 클리닝처리나 에징처리에 관해서도 가동율을 높일 수 있는 진공처리장치의 운전방법 및 웨이퍼의 처리방법을 제공할 수 있다.

Claims (12)

  1. 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와,
    상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와,
    상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법으로서, 각각 상기 일련의 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치를 포함하는 적어도 2 세트의 웨이퍼의 처리경로를 가지는 진공처리장치의 운전방법에 있어서,
    상기 각 공정처리를 행하기위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여, 이 판단으로 운전무효의 공정처리장치만을 분리하고,
    운전유효의 공정처리장치를 사용하여 상기 일련의 공정처리를 행하기 위한 상기 처리경로를 재구축하고,
    상기 운전유효한 공정처리장치만을 사용하여 상기 웨이퍼의 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치의 2 세트가 각각 웨이퍼의 제 1 처리 및 제 2 처리를 행하는 공정처리장치를 포함하고,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여, 이 판단으로 1 세트의 공정처리장치중 제 2 처리를 행하는 공정처리장치가 운전무효인 경우, 상기 제 2 처리를 행하는 공정처리장치만을 분리하고,
    2개의 제 1 처리를 행하는 공정처리장치와 1개의 제 2 처리를 행하는 공정처리장치를 사용하여 상기 일련의 공정처리를 행하기 위한 2 세트의 처리경로를 재구축하고,
    상기 2 세트의 처리경로를 상기 웨이퍼의 처리에 사용하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치의 2 세트가 각각 웨이퍼의 제 1 처리 및 제 2 처리를 행하는 공정처리장치를 포함하고,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여,
    상기 판단으로 1 세트의 공정처리장치의 제 1 처리를 행하는 공정처리장치와, 다른 1 세트의 공정처리장치중, 제 2 처리를 행하는 공정처리장치가 운전무효인 경우, 상기 운전무효의 공정처리장치를 분리하고,
    상기 다른 1 세트의 제 1 처리를 행하는 공정처리장치와, 상기 1 세트의 제 2 처리를 행하는 공정처리장치를 사용하여 상기 일련의 공정처리를 행하기 위한 1세트의 처리경로를 재구축하고,
    상기 1 세트의 처리경로를 상기 웨이퍼의 처리에 사용하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  4. 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와,
    상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법에 있어서,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여,
    상기 공정처리장치에 운전무효가 발생한 경우, 상기 공정처리장치에 잔존 웨이퍼가 있는 지의 여부의 판단을 행하여,
    잔존 웨이퍼가 있는 경우, 미리 설정된 복수의 처리조건중 어느 하나를 선택가능하게 하여 상기 선택된 처리조건에 따라 상기 잔존 웨이퍼의 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 잔존 웨이퍼의 처리조건의 선택지의 하나로서, 이상이 발생한 웨이퍼를 반출하여 원래의 카세트에 회수한 후, 이상이 발생한 처리경로를 자동운전으로부터 분리하고 처리를 계속하는 처리조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  6. 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와,
    상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법에 있어서,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여,
    상기 공정처리장치에 운전무효가 발생한 경우, 상기 공정처리장치에 잔존 웨이퍼가 있는 지의 여부의 판단을 행하고,
    잔존 웨이퍼가 있는 경우, 상기 잔존 웨이퍼의 처리조건으로서 다음 (1) 내지 (5)를 선택가능하게 한 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
    (1) 처리중단시간으로부터 재시도하여 처리를 계속한다.
    (2) 이상이 발생한 웨이퍼에 대해서만 복구용 레시피로 처리하고, 다음 웨이퍼부터는 원래의 레시피로 처리를 계속한다.
    (3) 이상이 발생한 웨이퍼를 반출하고, 다음 웨이퍼를 반입하여 처리를 계속한다.
    (4) 이상이 발생한 웨이퍼를 반출하여 원래의 카세트로 회수한 후, 이상이 발생한 처리경로를 자동운전으로부터 분리하여 처리를 계속한다.
    (5) 메인티넌스모드로 하여 운전을 중단한다.
  7. 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와,
    상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법으로서,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 자동운전조건을 설정한 후, 자동운전을 개시하는 것에 있어서,
    상기 자동운전조건의 설정에 있어서, 카세트와 처리실에 관하여 복수의 페어관계를 고정하여 웨이퍼를 반송하는 병렬처리경로 또는 상기 카세트와 처리실의 대응관계를 고정하지 않고 웨이퍼를 비어 있는 쪽의 처리실로 반송하는 처리경로를 설정가능하게 한 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  8. 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와,
    상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법으로서,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 자동운전조건을 설정한 후, 자동운전을 개시하는 것에 있어서,
    상기 자동운전조건의 설정에 있어서 처리경로의 지정이 없는 경우, 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치의 세트로서 각각 웨이퍼의 제 1 처리및 제 2 처리를 행하는 공정처리장치의 페어를 포함하는 처리경로를 자동설정하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  9. 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와,
    상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치의 운전방법으로서,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 자동운전조건을 설정한 후, 자동운전을 개시하는 것에 있어서,
    상기 자동운전조건의 설정에 있어서 각각 웨이퍼의 제 1 처리 및 제 2 처리를 행하는 공정처리장치의 1 세트 또는 2 세트의 페어에 대하여 1회의 처리마다 사용하는 공정처리장치를 교대로 전환하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  10. 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와, 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 이들을 제어하는 제어장치로 구성되며, 적어도 2개 이상의 공정처리장치가 반송처리장치에 설치되고, 상기 2개 이상의 공정처리장치를 사용하여 웨이퍼처리하는 진공처리장치의 운전방법으로서,
    상기 카세트내의 웨이퍼처리를 개시하기 전에 2개의 공정처리장치에 더미웨이퍼를 동시에 2 매반송하여 에이징처리를 병행으로 하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치의 운전방법.
  11. 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와,
    상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치에 의한 웨이퍼의 처리방법으로서, 각각 상기 일련의 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치를 포함하는 적어도 2 세트의 웨이퍼의 처리경로를 가지는 진공처리장치에 의한 웨이퍼의 처리방법에 있어서,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하고,
    상기 판단으로 운전무효의 공정처리장치만을 분리하고, 운전유효의 공정처리장치를 사용하여 상기 일련의 공정처리를 행하기 위한 상기 처리경로를 재구축하고,
    상기 운전유효한 공정처리장치만을 사용하여 상기 웨이퍼를 처리하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치에 의한 웨이퍼의 처리방법.
  12. 각 웨이퍼에 대하여 일련의 다른 공정처리를 행하는 복수의 공정처리장치와,
    상기 웨이퍼의 반송을 행하는 반송처리장치와, 상기 각 공정처리장치 및 반송처리장치를 제어하는 제어장치로 구성된 진공처리장치에 의한 웨이퍼의 처리방법에 있어서,
    상기 각 공정처리를 행하기 위한 각 세트의 각 공정처리장치가 운전유효 또는 운전무효인 지의 상태판단을 행하여,
    상기 공정처리장치에 운전무효가 발생한 경우, 상기 공정처리장치에 잔존 웨이퍼가 있는 지의 여부의 판단을 행하여,
    잔존 웨이퍼가 있는 경우, 미리 설정된 복수의 처리조건중 어느 하나를 선택가능하게 하여 상기 선택된 처리조건에 따라 상기 잔존 웨이퍼의 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치에 의한 웨이퍼의 처리방법.
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