JP5192122B2 - 基板処理装置の検査方法及び検査プログラム - Google Patents
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Description
また、基板処理装置の検査後、自動的に製品用基板の処理を開始することができ、もって、オペレータの工数をより削減することができる。
また、基板処理装置の検査後、自動的に製品用基板の処理を開始することができ、もって、オペレータの工数をより削減することができる。
10,60 基板処理装置
11 プロセスユニット
12 搬送アーム
12a 支持部
13 ロード・ロック室
14 プロセスシップ
15 フープ載置台
16 オリエンタ
17 制御部
18 ローダーユニット
19 搬送アーム機構
20 第1のバッファ
21 第2のバッファ
22 オペレーションコントローラ
23 フープ
24 ロードポート
25 AGV
26 ホスト
27 表示部
28 ポップアップウィンドウ
29 「通常」ボタン
30 「AUTO SETUP」ボタン
31 レシピ表示部
32 レシピ編集ポップアップウィンドウ
61 IMS
Claims (8)
- 外部制御装置と互いに通信を行う基板処理装置の検査方法であって、所定の検査項目の検査を実行する基板処理装置の検査方法において、
前記基板処理装置の清掃時期に、前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、前記基板処理装置の清掃前から清掃後においても搬入禁止の解除が指示されるまでは該基板処理装置内への製品用基板の搬入を禁止するよう指示する製品用基板搬入禁止指示ステップと、
前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記所定の検査項目の検査内容に応じた種類及び枚数の検査用基板の搬送の要求を通知する検査用基板通知ステップと、
前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、前記検査用基板の準備完了を通知する検査用基板準備完了通知ステップと、
前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記検査項目の検査終了を通知する検査終了通知ステップと、
前記検査終了の通知に応じて、前記外部制御装置が、前記検査用基板の状態を確認する測定の結果を前記基板処理装置から受けて、前記基板処理装置が正常に復帰したと判定できた場合に、前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、該基板処理装置内への前記製品用基板の前記搬入禁止の解除を指示する製品用基板搬入禁止解除指示ステップとを有することを特徴とする基板処理装置の検査方法。 - 前記検査項目の検査の実行の際、該検査に用いる検査用基板の準備がされていない場合、前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、警告を通知する警告通知ステップを有することを特徴とする請求項1記載の基板処理装置の検査方法。
- 前記基板処理装置が、編集された検査項目を前記所定の検査項目として記憶する編集検査項目記憶ステップを有することを特徴とする請求項1又は2記載の基板処理装置の検査方法。
- 外部制御装置と互いに通信を行う基板処理装置の検査方法であって、所定の検査項目の検査を実行する基板処理装置の検査方法において、
前記基板処理装置への入力に応じて、前記基板処理装置の清掃前から清掃後においても搬入禁止の解除が指示されるまでは前記基板処理装置が該基板処理装置内への製品用基板の搬入を禁止する製品用基板搬入禁止ステップと、
前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記所定の検査項目の検査内容に応じた種類及び枚数の検査用基板の搬送の要求を通知する検査用基板通知ステップと、
前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、前記検査用基板の準備完了を通知する検査用基板準備完了通知ステップと、
前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記検査項目の検査終了を通知する検査終了通知ステップと、
前記検査終了の通知に応じて、前記外部制御装置が、前記検査用基板の状態を確認する測定の結果を前記基板処理装置から受けて、前記基板処理装置が正常に復帰したと判定できた場合に、前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、該基板処理装置内への前記製品用基板の前記搬入禁止の解除を指示する製品用基板搬入禁止解除指示ステップとを有することを特徴とする基板処理装置の検査方法。 - 前記検査項目の検査の実行の際、該検査に用いる検査用基板の準備がされていない場合、前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、警告を通知する警告通知ステップを有することを特徴とする請求項4記載の基板処理装置の検査方法。
- 前記基板処理装置が、編集された検査項目を前記所定の検査項目として記憶する編集検査項目記憶ステップを有することを特徴とする請求項4又は5記載の基板処理装置の検査方法。
- 外部制御装置と互いに通信を行う基板処理装置の検査方法であって、所定の検査項目の検査を実行する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、
前記基板処理装置の清掃時期に、前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、前記基板処理装置の清掃前から清掃後においても搬入禁止の解除が指示されるまでは該基板処理装置内への製品用基板の搬入を禁止するよう指示する製品用基板搬入禁止指示モジュールと、
前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記所定の検査項目の検査内容に応じた種類及び枚数の検査用基板の搬送の要求を通知する検査用基板通知モジュールと、
前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、前記検査用基板の準備完了を通知する検査用基板準備完了通知モジュールと、
前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記検査項目の検査終了を通知する検査終了通知モジュールと、
前記検査終了の通知に応じて、前記外部制御装置が、前記検査用基板の状態を確認する測定の結果を前記基板処理装置から受けて、前記基板処理装置が正常に復帰したと判定できた場合に、前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、該基板処理装置内への前記製品用基板の前記搬入禁止の解除を指示する製品用基板搬入禁止解除指示モジュールとを有することを特徴とする検査プログラム。 - 外部制御装置と互いに通信を行う基板処理装置の検査方法であって、所定の検査項目の検査を実行する基板処理装置の検査方法をコンピュータに実行させる検査プログラムであって、
前記基板処理装置への入力に応じて、前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記基板処理装置の清掃前から清掃後においても搬入禁止の解除が指示されるまでは該基板処理装置内への製品用基板の搬入を禁止するよう通知する製品用基板搬入禁止通知モジュールと、
前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記所定の検査項目の検査内容に応じた種類及び枚数の検査用基板の搬送の要求を通知する検査用基板通知モジュールと、
前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、前記検査用基板の準備完了を通知する検査用基板準備完了通知モジュールと、
前記基板処理装置が前記外部制御装置へ、前記検査項目の検査終了を通知する検査終了通知モジュールと、
前記検査終了の通知に応じて、前記外部制御装置が、前記検査用基板の状態を確認する測定の結果を前記基板処理装置から受けて、前記基板処理装置が正常に復帰したと判定できた場合に、前記外部制御装置が前記基板処理装置へ、該基板処理装置内への前記製品用基板の前記搬入禁止の解除を指示する製品用基板搬入禁止解除指示モジュールとを有することを特徴とする検査プログラム。
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