JP6907508B2 - 検査システム、検査装置の制御方法及びプログラム - Google Patents

Description

本発明は、部品が搭載される物品の検査に係る技術分野に属する。

基板に対する部品の実装状態などを検査する装置として、自動外観検査装置が広く使われている。このような装置では、部品が実装された基板（はんだ付けの前の状態のものも含む）の外観情報がセンサにより取得され、部品毎にその部品に応じた項目の計測が行われる。そして、得られた計測値を所定の基準値と照合することにより、良品・不良品の判別が行われる。

このため、検査の実施に先立ち、部品品番毎に、検査項目やその項目についての基準値を設定し、これを検査装置が参照可能な状態で登録しておく必要がある。

ここで、設定される検査項目、基準値が適切なもので無ければ、実際には良品であるものを不良品と判断する「見過ぎ」や、実際には不良品であるものを良品と判断する「見逃し」が発生する。

「見過ぎ」は検査効率の悪化を招き、「見逃し」は後工程における作業効率を悪化させ、いずれも製造工程の費用を増大させる原因となるため、「見過ぎ」及び「見逃し」はいずれも最小化させることが望ましい。

しかしながら、「見逃し」を減少させるために検査内容を厳しくすると「見過ぎ」が増加し、「見過ぎ」を減少させるために検査内容を緩くすると「見逃し」が増加することになるため、適切な検査項目及び検査基準を設定する必要がある。

そして、このような検査基準の設定に関し、ユーザー負担の軽減を目的とした発明が従来から提示されている。例えば、特許文献１には次のような検査基準の設定方法が開示されている。即ち、検査基準データの設定対象の部品毎に、当該部品と基板との間の色彩の関係または画像上の当該部品の近傍における色彩の特徴を表す外観情報と、その外観情報に適合する検査基準データとの組み合わせを、予め複数パターン登録しておき、処理対象の部品の良品画像を画面に表示すると共に、同じ画面上に処理対象の部品について登録された外観情報による選択肢を表示し、ユーザーが選択操作をすると、選択された肢に対応する検査基準データが読み出される。

このようにすると、実際の良品モデルの画像から確認できる外観に対応する選択肢を選択することによって、その外観に適合する検査基準データを設定できるので、設定処理に関する知識や経験が乏しいユーザーでも、適切な検査基準データを簡単に設定することができる。

しかしながら、上記の方法によっても、良品の外観情報に適合し、かつ「見過ぎ」の発生を防止し得る適切な検査基準データを得るためには、結局は長期間に渡って（特に不良品の）データ収集をする必要があり、検査基準データの最適化には時間がかかる。

また、同じ品番の部品であっても、製造されたロットによっては、全体もしくは一部の色味が異なっていたり、印字されている文字のフォントやサイズ（太さを含む）が異なっていたりすることがある。さらに、実際の製品には何ら違いはないものの、光源の劣化など検査環境の変化によって、取得される検査画像が検査基準設定当初とは異なるものとな
る場合もある。これらのような場合には検査基準データを、随時修正しなければならない。

特開２００８−３２５２５号公報（特許第４７８８５１７号公報）

以上のことから、検査項目及び検査基準のデータの修正は日常的に行われており、例えばデータに変更が加えられたことによって明らかに「見過ぎ」が増えたような場合には、取り急ぎ設定を元に戻すことが考えられる。ところが現状では、そのような場合でも、はじめから検査基準データを設定し直さなければならず、また変更前の設定を容易に確認することもできないため、「見過ぎ」の対応に時間を要するという問題がある。

また、「見過ぎ」や「見逃し」の原因となる検査基準データの設定（更新）は、誰が、いつ、どのような観点・意図で行ったのか、履歴を追って確認したいというニーズがあるが、従来技術ではこのような確認ができないという問題がある。

また、後工程で不良品が発見された場合には、それを見逃した際の設定を確認し、「見逃し」の原因となった項目・基準は何か、その基準を用いた検査が行われていた期間はいつか、等を追跡する必要があるが、現状ではこのような情報の確認に手間がかかるという問題がある。

本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、物品の検査に用いられる、部品毎の検査項目及び／又は検査基準の設定内容の履歴を容易に確認可能にする技術を提供することにある。

前記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用する。

本発明に係る検査システムは、部品が搭載された物品の検査を行う検査システムであって、前記検査は、前記部品の部品品番毎に設定された検査項目及び／又は検査基準を含む検査内容データ、及び／又は前記検査内容データに基づいて物品の品質を判定する検査プログラム、を用いて行われ、前記検査内容データ及び／又は検査プログラムをリビジョン毎に蓄積して保持する記憶部と、前記記憶部から、任意のリビジョンの前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムを読み出す処理部と、前記読み出された検査内容データ及び／又は検査プログラム、を出力する出力部と、を備えることを特徴とする、検査システムである。

このような構成によって、蓄積されたリビジョン毎の検査内容データ・検査プログラム（以下、単に検査内容・プログラムともいう）を任意に読み出すことが可能であるため、過去の検査設定を容易に確認できる検査システムを提供することが可能となる。

また、前記記憶部には、前記リビジョン毎のコメントが保持されており、前記処理部は、任意のリビジョンのコメントを読み出し、前記出力部は該読み出された任意のリビジョンのコメントを出力するものであってもよい。

このようにリビジョン毎に、その変更時のコメントを蓄積し、任意のリビジョンについてのコメントを参照するようにしておくことで、過去にどのような意図で検査内容・プロ
グラムが更新されたのかを、容易に確認することができる。

また、前記処理部は、任意の複数の前記リビジョンにおける、前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムを読み出し、前記出力部は、該複数のリビジョンの前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラム、を同時に出力するようにしてもよい。

このような構成にすることで、選択されているリビジョン間の検査内容・プログラムの違いを、その違いの程度を含めて、より明確に把握することが可能になる。

また、前記処理部は、複数のリビジョン間における前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムの差分を検出し、前記出力部は、該差分を視認可能に出力するようにしてもよい。このような構成にすることで、リビジョン間で異なっている項目及びその基準を迅速かつ容易に把握できる。

また、前記処理部は、前記読み出された任意のリビジョンにおける検査内容データ及び／又は検査プログラム、によるシミュレーション検査を実施し、前記出力部は、該シミュレーション検査の結果を出力するようにしてもよい。

このようにすることで、実際の検査を行わなくても過去の各リビジョンの検査内容・プログラムで、特定の対象について「見過ぎ」や「見逃し」が発生しないかを調べることが可能になる。

また、前記処理部は前記読み出された任意の複数のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムの内容、による複数のシミュレーション検査を実施し、前記出力部は、該複数のシミュレーション検査の結果を同時に出力するようにしてもよい。

このようにしておけば、異なる条件でのシミュレーションを効率よく行うことができ、さらにシミュレーション結果の比較も容易に行うことができる。

また、前記検査システムは、入力部をさらに備え、前記処理部は、前記読み出された一つ以上の任意のリビジョンのうちいずれかの検査内容データ及び／又は検査プログラムの全部又は一部、及び／又は、前記入力部から入力された内容、に基づいて、検査内容データ、検査プログラム、コメントのうち少なくとも一つを編集可能とし、該編集された内容を前記記憶部に登録するものであってもよい。

このようにすれば、過去のリビジョンの検査内容・プログラムを参照するだけでなく、これらを入力又は編集したうえで記憶部に登録することができる。また、過去のリビジョンの検査内容・プログラムに基づいて編集を行えることで、検査内容・プログラムを人の手ではじめから設定し直さなくても、必要最小限の作業で検査内容・プログラムを更新することができる。

また、前記処理部は、編集中の検査内容データ及び／又は検査プログラムと、任意のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムとの差分を検出し、前記出力部は、該差分を視認可能に出力するようにしてもよい。

このようにすることで、編集中の誤操作による変更がないか、必要な変更は全てなされているか等を、容易に確認することができる。

本発明に係る検査装置の制御方法は、部品が搭載された物品の検査に用いられる検査装置の制御方法であって、前記部品の部品品番毎に設定された検査項目及び／又は検査基準
を含む検査内容データ、及び／又は前記検査内容データに基づいて物品の品質を識別する検査プログラム、をリビジョン毎に蓄積しているデータベースから、任意のリビジョンの前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムを読み出す、設定読み出しステップと、前記読み出された任意のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムを出力する出力ステップと、を有することを特徴とする。

なお、前記制御方法は、前記設定読み出しステップにおいて、任意の複数のリビジョンの前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムを読み出し、前記出力ステップにおいて、該読み出された複数のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムを同時に出力するようにしてもよい。

また、前記制御方法は、前記読み出された任意の複数のリビジョン間における検査内容データ及び／又は検査プログラムの差分を検出する、差分検出ステップをさらに有し、前記出力ステップにおいて、該差分を視認可能に出力するようにしてもよい。

また、前記制御方法は、前記読み出された任意のリビジョンにおける検査内容データ及び／又は検査プログラム、によるシミュレーション検査を実施する、シミュレーションステップと、該シミュレーション検査の結果を出力する、シミュレーション結果出力ステップと、をさらに有していてもよい。

また、前記制御方法は、前記シミュレーションステップにおいて、前記読み出された任意の複数のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラム、による複数のシミュレーション検査を実施し、前記シミュレーション結果出力ステップにおいて、該複数のシミュレーション検査の結果を同時に出力するようにしてもよい。

また、前記制御方法は、前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムについての入力を受け付ける設定入力受付ステップと、前記設定読み出しステップで読み出された一つ以上の任意のリビジョンのうちいずれかの検査内容データ及び／又は検査プログラムの全部又は一部、及び／又は、前記設定入力受付ステップで受け付けられた情報に基づいて、検査内容データ、検査プログラム、コメントのうち少なくとも一つを編集する、設定編集ステップと、前記設定編集ステップで編集された情報を前記データベースに登録する、検査設定登録ステップをさらに有していてもよい。

また、前記制御方法は、前記設定編集ステップにおいて、編集中の検査内容データ及び／又は検査プログラムと、任意のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムとの差分を検出し、該差分を視認可能に出力するようにしてもよい。

本発明に係るプログラムは、前記の検査装置の制御方法における各ステップを、検査装置に実行させるためのプログラムである。

なお、本発明は、上記構成ないし機能の少なくとも一部を有する検査システムとして捉えることができる。また、本発明は、上記処理の少なくとも一部を含む検査システムの制御方法、又は、かかる方法をコンピュータ（プロセッサ）に実行させるためのプログラム、又は、そのようなプログラムを非一時的に記録したコンピュータ読取可能な記録媒体として捉えることもできる。また、本発明において、前記部品は電子部品であって、前記物品は基板とすることができる。さらに、上記構成及び処理の各々は技術的な矛盾が生じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。

本発明によれば、基板検査に用いられる、部品毎の検査項目及び／又は検査基準の設定
内容の履歴を容易に確認することが可能となる。

実施例１に係る基板検査システムのハードウェア構成を示す図。 実施例１に係る基板検査システムにおける機能を示すブロック図。 実施例１に係る基板検査システムにより見過ぎの多発に対応する処理の流れを示すフローチャート。 ＵＩ制御部により出力部に表示される、部品品番リストウィンドウの一例を示す図。 実施例１に係る基板検査システムにおいて、特定の部品品番が選択され、品番内容編集ウィンドウで部品情報タブが選択されている状態の表示画面を表す図である。 実施例１に係る基板検査システムにおいて、特定の部品品番が選択され、品番内容編集ウィンドウで検査内容タブが選択されている状態の表示画面を表す図である。 選択されたリビジョンの検査内容と、最新の検査内容との間に差分のある項目の内容が強調表示されている状態の表示画面の一例を表す図である。 実施例１の変形例による表示画面を表す図である。 実施例２に係る基板検査システムにおける機能を示すブロック図。 実施例２に係る基板検査装置によって、不良見逃しの検査期間を特定する処理流れを示すフローチャート。 実施例２のティーチング端末において品番内容編集ウィンドウのシミュレーションタブを選択した際の表示画面を表す図である。 図１０のチャートにおける、サブルーチンを表すフローチャート。 図１０のチャートにおける、サブルーチンを表すフローチャート。

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。なお、以下では電子部品が搭載される基板の検査システムについて説明するが、本発明の対象は基板の検査に限られず、他の物品を検査の対象とするものであっても構わない。また、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

＜実施例１＞
図１は、本実施例に係る基板検査システム９のハードウェア構成例を示す。この実施例の基板検査システム９は、ティーチング端末１、データ管理用サーバ２、基板検査装置３、が通信回線を介して相互に接続された構成のものである。

ティーチング端末１は、典型的にはディスプレイモニタなどの出力部１０１、キーボードやマウスなどの入力部１０２、ＲＡＭなどのメモリ１０３、ＣＰＵなどの処理部１０４を備えた据え置き型の端末であるが、モバイル型、タブレット型の端末であっても構わないし、検査装置３と一体に構成されていてもよい。

ティーチング端末１は検査装置３で使用する、検査プログラムの作成（修正を含む、以下同じ）や検査内容データの設定（変更を含む、以下同じ）の他、データ管理用サーバ２に保存される、基板情報、部品情報、品番情報の登録、といった作業に用いられる。

データ管理用サーバ２には、複数種類のデータが記憶されており、上記の検査プログラムや部品毎の検査項目及び検査基準を定めた検査内容データが保存されるほか、ティーチング端末１での処理に必要な様々な情報が登録される。

基板検査装置３（以下、単に「検査装置３」という。）は、部品実装工程又はリフロー工程を経た部品実装基板を撮像し、生成された画像をあらかじめ登録された検査プログラムを用いて処理することにより、基板上の部品の実装状態の良・不良を判定する。そのためのハードウェア構成として、基板保持部、撮像センサ、照明装置、ＲＡＭ、ＣＰＵなどを含む。また、モニタなどの出力部や、マウスなどの入力部を備えていてもよい。

図２は、上記の検査内容データの作成に関わるティーチング端末１、データ管理用サーバ２および検査装置３の機能を示す機能ブロック図である。
データ管理用サーバ２には、基板情報記憶部２１、部品情報記憶部２２、検査プログラム記憶部２３、検査内容データ記憶部２４、検査履歴記憶部２５などが設けられる。

基板情報記憶部２１には、基板色、搭載部品、部品位置などの情報を含む基板情報リスト２１１、基板の良品モデル画像、不良品実績画像を含む基板画像データベース２１２などが保存されている。
部品情報記憶部２２には、部品品番、部品種、色、形状、電極情報、使用基板などの情報を含む部品情報リスト２２１、部品の品番毎の良品モデル画像、不良品実績画像を含む部品画像データベース２２２などが保存されている。
検査プログラム記憶部２３には、基板毎の検査プログラムリスト２３１、検査プログラムの変更履歴をリビジョン毎に蓄積する、検査プログラム履歴データベース２３２などが保存されている。
検査内容データ記憶部２４には、部品の品番毎に設定された検査項目及び検査基準を含む検査内容データリスト２４１、部品の品番毎の検査内容データの設定履歴とそれに対応するコメントを、リビジョン毎に蓄積する、検査内容履歴データベース２４２などが保存されている。
検査履歴記憶部２５には、検査装置３により実施された検査結果、検査画像などが保存されている。
そして、これらの各種情報は相互に参照・連動可能である、いわゆる関係データベースとして機能する。

検査装置３では、検査プログラム記憶部２３から、検査対象の基板に対応する検査プログラムを、検査内容データ記憶部２４から、検査対象の基板に対応する検査内容データを読み出して、検査を実行する。一連の検査の結果や検査の際に生成された画像などは、検査装置３からデータ管理用サーバ２に送信されて、検査履歴記憶部２５に格納される。

ティーチング端末１には、ユーザーインターフェース（以下、ＵＩ）制御部１１、読出処理部１２、品番履歴処理部１３、登録処理部１４、検査プログラム処理部１５などの機能が設定される。

ＵＩ制御部１１は、作業画面を表示してユーザーの操作を受け付け、他の処理部１２〜１４と協働して操作に応じた処理を実行する。
読出処理部１２は、ＵＩ制御部１１及び検査プログラム処理部１５の処理に必要な情報を基板情報記憶部２１、部品情報記憶部２２から読み出して、ＵＩ制御部１１及び検査プログラム処理部１５に提供する。
品番履歴処理部１３は、ＵＩ制御部１１の処理に必要な情報を検査内容履歴データベース２４２から読み出して提供し、登録処理部１４から情報を受け取って検査内容履歴データベース２４２の情報を変更する。
登録処理部１４は、ＵＩ制御部１１から設定情報を受け取って、品番履歴処理部１３及び検査プログラム処理部１５に渡すと共に、検査内容データリスト２４１の情報を変更する。
検査プログラム処理部１５は、読出処理部１２から必要な情報を、登録処理部１４から
設定情報を受け取り、これらに基づいて基板の検査プログラムを作成したうえで、検査プログラム記憶部２３に当該情報を登録する。なお、本実施例における検査プログラムは、基板に実装される部品の位置情報に、部品の品番毎に設定された検査内容データを紐付けた検査ロジックに基づいて基板の良・不良の判定を行うものである。

以下に、検査の「見過ぎ」の多発に対応して、直近で変更した検査内容データを過去のリビジョンの設定に戻す場合の例を用いて、本実施例に係る基板検査装置における処理の流れ及び、表示画面構成例を説明する。

図３は、本実施例に係る基板検査装置を用いて、検査の「見過ぎ」の多発に対応して、直近で変更した検査内容データを過去のリビジョンの設定に戻す際の処理の流れを表すフローチャートである。図４はＵＩ制御部１１により出力部１０１に表示される、部品品番リスト画面の一例である。図５は特定の部品品番が選択された場合に表示される初期画面の一例である。図６は、図５の表示から、品番内容編集ウィンドウの表示を検査内容タブのものに切り替えた画面の一例である。

まず、ＵＩ制御部１１は、部品品番リスト５１を出力部１０１であるモニタに表示する（ステップＳ１０１）（図４参照）。そしてユーザーによって検査内容を設定することが可能な部品品番が指定されると（ステップＳ１０２）、ＵＩ制御部１１は指定された部品品番用の検査内容履歴リスト５２および品番内容編集ウィンドウ５３を作成し、これを出力部１０１に表示する（ステップＳ１０３）（図５参照）。なお、初期状態の表示画面では、最新のリビジョンの内容が自動で選択されており、品番内容編集ウィンドウ５３には、その内容が反映されて表示される。

図５に示すように、検査内容履歴リスト５２には、該品番の検査内容のリビジョン数に応じて、リビジョン番号、該リビジョンの内容が設定された日時、該リビジョンの設定を行ったユーザー名、該リビジョン設定時のコメント、リビジョン選択用ラジオボタンの各項目が表示される。

また、品番内容編集ウィンドウ５３は、部品情報タブ５３１と、検査内容タブ５３２の切り替えによって表示される内容が変化し、部品情報タブ５３１を選択している時には、図５に示すように、部品種、部品色などの部品情報、当該部品が有する電極の情報を電極グループごとに表す電極情報および当該部品の良品モデルの画像等が表示される。そして、検査内容タブ５３２を選択している時には、品番内容編集ウィンドウ５３には、当該部品品番に対する検査項目、項目に応じた検査基準値、良品モデルの計測値、良品モデル画像等が表示される。

次に、ＵＩ制御部１１は、表示画面に対するユーザー操作を受け付け、ユーザーが、検査内容履歴リスト５２から、最新のリビジョンの一つ前のリビジョンのラジオボタンをクリックする（ステップ１０４）。そしてＵＩ制御部１１は当該選択情報を品番履歴処理部１３に渡し、品番履歴処理部１３は検査内容履歴データベース２４２から該当するリビジョンの検査内容データを読み出す（ステップＳ１０５）。そして、品番履歴処理部１３は、読み出したリビジョンの検査内容データと最新のリビジョンの検査内容データを比較し、差分を検出する（ステップＳ１０６）。そのうえで、読み出したリビジョンの検査内容データと、検出された差分の内容を、ＵＩ制御部１１に渡し、ＵＩ制御部１１は品番履歴処理部１３から受け取ったデータの内容を出力部１０１に表示する（ステップＳ１０７）。

このとき、品番内容編集ウィンドウ５３に表示される各項目のうち、最新のリビジョンの内容と差分のある項目の内容が強調表示される（図７参照）。なお強調表示の方法は、
図７のように太字表示による他、フォントの色の変更、網掛けなどを用いても良いし、これらを併用してもよい。

ここで、見過ぎの発生している項目が強調表示されているか否かの判定を行い（ステップＳ１０８）、当該項目が強調表示されていない場合、即ち最新のリビジョンと選択されたリビジョンの間で、見過ぎの発生している項目に差分が無い場合には、ユーザーは、検査内容履歴リスト５２からさらに一つ前のリビジョンのラジオボタンをクリックする（ステップＳ１０９）。このユーザーの操作を受けつけたＵＩ制御部１１は、当該情報を品番履歴処理部１３に渡し、品番履歴処理部１３は検査内容履歴データベース２４２から該当するリビジョンの検査内容データを読み出し、該検査内容と最新のリビジョンとの差分を検出し、これらの情報をＵＩ制御部１１に渡す（ステップＳ１０５〜Ｓ１０７）。

このようにして、ステップＳ１０８において見過ぎの発生している項目が強調表示されるようになるまで、即ち最新のリビジョンと選択されたリビジョンの間で、見過ぎの発生している項目に差分が現れるまでは、ステップＳ１０５からＳ１０９の処理を繰り返し行う。

一方、ステップＳ１０８において、見過ぎの発生している項目が強調表示された場合には、ユーザーは表示画面右下の「確定」ボタンをクリックする（ステップＳ１１０）。ここで、ＵＩ制御部１１は、ダイアログボックスを表示する等して、ユーザーに検査内容変更に対する備考（コメント）の入力を求めるようにしてもよい。

すると、ＵＩ制御部１１は選択された過去のリビジョンの検査内容データと、先のステップでユーザーがコメントを入力した場合にはコメントデータを登録処理部１４に渡し、登録処理部１４は受け取った当該情報に基づき、検査内容データリスト２４１の情報を変更する（ステップＳ１１１）。

次に、登録処理部１４はステップＳ１１１で受け取った情報を品番履歴処理部１３及び検査プログラム処理部１５に渡す。そして、これに基づいて、登録履歴管理部１３による検査内容履歴データ更新処理（ステップＳ１１２）、および検査プログラム処理部１５による検査プログラム更新処理が行われ（ステップＳ１１３）、フローを終了する。

本実施例のような構成により、部品品番毎の検査内容について、過去の任意のリビジョンを容易に参照することができ、必要に応じて過去の検査内容の設定に戻すことができる基板検査用の装置を提供することが可能となる。また、リビジョンの更新毎にその日時や担当者を記録し、コメントにより更新の意図などを記録可能にしているため、いつ、誰が、どのような目的で、検査内容を変更したかを容易に把握することができ、検査内容の設定に有用である。

＜変形例＞
なお、上記のステップＳ１１１では、選択されたリビジョンの検査内容データをそのまま最新のリビジョンの検査内容データとして更新するようにしたが、必ずしもこのようにする必要はなく、見過ぎの発生している項目の値のみを選択されたリビジョンの内容で更新してもよい。即ち、当該項目以外の検査内容データは最新のリビジョンの内容で維持されるようにしてもよい。

このようにすれば、見過ぎの発生している項目以外の検査内容を過去のリビジョンの設定に戻してしまうことで生じる不具合（例えば、別の原因による見過ぎの発生や、見逃しの発生など）の発生を防止することができる。

また、上記のステップＳ１１０において、確認ボタンのクリックに先立って、ユーザーは表示された検査内容データを任意に編集するようにしてもよい。このようにすれば、過去のリビジョンの検査内容データをそのまま用いるよりも、細やかな設定の変更が可能になる。

また、このような編集作業の際には、編集中の検査内容データと任意のリビジョンの検査内容データとの差異を強調表示するようにしてもよい。ここで、任意のリビジョンとは、呼び出されているリビジョンに限らず、例えば最新のリビジョンであってもよい。

このようにすれば、誤操作による変更がないか、又は必要な変更はなされているかについて、容易に確認することが可能になる。

また、本実施例においては、選択可能な検査内容のリビジョンは一つであり、出力部１０１に表示される品番内容編集ウィンドウも当該リビジョンの検査内容に対応したものであったが、これを図８に示すように、複数選択して同時に表示できるようにしても構わない。そして、表示される複数のリビジョンの検査内容は、最新のものと任意のリビジョンのものであっても構わないし、過去の任意のリビジョン同士の対比表示であっても構わない。

このような構成であると、選択されているリビジョン間の検査内容の違いを、その違いの程度を含めて、より明確に把握することが可能になる。

また、本実施例の基板検査システム９は、ティーチング端末１、データ管理用サーバ２、基板検査装置３、が通信回線を介して相互に接続された構成であったが、基板検査装置３は本発明に必須の構成ではなく、これと独立した構成であっても構わない。さらに、データ管理用サーバ２の機能を、ティーチング端末１内部に設けた記憶装置に統合したものであってもよい。

また、本実施例においては基板検査システム９の出力部１０１としてモニタを採用しているが、これと併せて、或いはこれに代えて例えばプリンタ―などを用いてもよい。

＜実施例２＞
本発明に係る基板検査システム９の他の実施例を、図９〜図１３に基づいて説明する。なお、本実施例に係る基板検査システム９は、上記実施例１の基板検査システム９と基本的な構成は同様であり、共通する部分が多くあるため、そのような部分については同じ符号を付して説明を省略する。

図９に示すように、本実施例に係る基板検査システム９は、実施例１の基板検査装置の構成に加えて、ティーチング端末１の処理部に、シミュレーション検査処理部１６が設定される。シミュレーション検査処理部１６は、任意に選択されたリビジョンの検査内容データに基づいて、与えられた画像データに対するシミュレーション検査を実施し、検査結果をＵＩ制御部１１に提供する機能である。

当該機能によれば、実際の検査を行わずとも、与えられた画像データと同等の基板が、各リビジョンの検査内容に基づく検査をパスできるか否かを知ることができる。これを利用し、例えば「見逃し」による不良返品があった場合に、当該不良品の画像を用いて、不良品の「見逃し」が発生した時期及びその前後の時期のリビジョンによるシミュレーション検査を行うことで、どの期間において当該不良品と同等の基板を「見逃し」ていたのかを知ることができる。なお、シミュレーション検査結果のこのような応用は、シミュレーション検査の活用方法の一例であり、多数の画像をシミュレーション検査させて分析目的
に利用するなど、その活用方法は様々である。

以下に、本実施例に係る基板検査装置によって、不良を見逃していた期間及び、不良原因の特定を行う事例に基づいて、当該処理の流れと、当該処理を行う際の基板検査装置の表示画面構成例を説明する。

図１０は、本実施例に係る基板検査装置によって、不良見逃しの検査期間及び、不良原因の特定を行う処理を表すフローチャートである。図１１は、ティーチング端末１において品番内容編集ウィンドウ５３のシミュレーションタブ５３３を選択した際の表示画面の図である。

まず、シミュレーション検査に先立ち、不良返品された基板の不良箇所（部品）を特定し、検査装置３によって基板を撮像する（ステップＳ２０１）。撮像された不良品の画像データは、基板検査装置３からデータ管理用サーバ２に送られ、基板画像データベース２１２、および部品画像データベース２２２に登録される（ステップＳ２０２）。

ユーザーはティーチング端末１を操作し、ＵＩ制御部１１により出力部１０１に部品品番リスト５１を表示させて（ステップＳ２０３）、不良部品の部品品番を選択する（ステップＳ２０４）。

ＵＩ制御部１１は選択された部品品番用の検査内容履歴リスト５２および品番内容編集ウィンドウ５３を作成し、これを出力部１０１に表示する（ステップＳ２０５）。なお、本実施例においては、品番内容編集ウィンドウ５３にシミュレーションタブ５３３が表示される（図１１参照）。

次に、ユーザーは検査内容履歴リスト５２から、対象となる不良品の見逃しが発生した当時のリビジョンのラジオボタンをクリックして選択すると（ステップＳ２０６）、ＵＩ制御部１１は品番履歴処理部１３を通じて検査内容履歴データベース２４２から該当するリビジョンの検査内容データを読み出しＵＩ制御部１１は、選択されたリビジョンの検査内容データを表示画面に反映させるとともに、ティーチング端末１のメモリ１０３内に保存する（ステップＳ２０７）。

次に、ユーザーが品番内容編集ウィンドウ５３のシミュレーションタブ５３３をクリックすると（ステップＳ２０８）、読出処理部１２は、部品画像データベース２２２から、当該品番に対応する不良品の画像データを読み出して、ＵＩ制御部１１に渡し、ＵＩ制御部１１は、受け取った画像データのリストを品番内容編集ウィンドウ５３に表示する（ステップＳ２０９）（図１１参照）。

ユーザーが画像データのリストから、今回の不良品に対応する画像データを選択すると（ステップＳ２１０）、シミュレーション検査処理部１６は、メモリ１０３に保持されている（即ち、現在選択されているリビジョンの）検査内容データに基づいて、当該画像データに対するシミュレーション検査を行う（Ｓ２１１）。

当該シミュレーション検査では、与えられた画像データでエラーが検出可能か否かを判定する（Ｓ２１２）。なお、検査の結果はシミュレーション検査処理部１６からＵＩ制御部１１に渡され、ＵＩ制御部１１によって品番内容編集ウィンドウ５３に表示される。

ステップＳ２１２において、エラーが検出できた場合には、時間の経過等による基板の外観の変化が生じていると考えられ、見逃しが発生した当時の結果を再現できないため、処理を終了する。一方、ステップＳ２１２においてエラーを検出できなかった場合には、
見逃し当時の検査結果が再現されていると考えられ、当該不良品（と同等品）についての見逃しがどれくらいの期間発生していたのかを特定する処理に移る。

ステップＳ２１３では、「いつまで」見逃しが発生していたのかを特定する処理を行い、続けてステップＳ２１４において、「いつから」見逃しが発生していたのかを特定する処理を行い、これによって見逃しが発生していた期間を特定し（ステップＳ２１５）、フローを終了する。

図１２はステップＳ２１３についてのサブルーチンを示す図であり、図１３はステップＳ２１４のサブルーチンを示す図である。図１２に示すように、ステップＳ２１３では、現在設定されている検査内容のリビジョンから、ひとつ後のリビジョン（即ちひとつ数値の大きいリビジョン）の検査内容を読み出して（ステップＳ３０１）、該検査内容でシミュレーション検査を実施し（ステップＳ３０２）、エラーが検出できるか否かを判定する（ステップＳ３０３）。ここでエラーが検出できれば、当該リビジョンに更新されるまでが見逃しの発生していた期間であると特定し（ステップＳ３０４）、サブルーチンのフローを終了する。一方、ステップＳ３０３において、エラーが検出できなければ、更にひとつ後のリビジョンの検査内容を読み出し（ステップＳ３０５）、シミュレーション検査を実施してエラーが検出できるまで、同様の処理を繰り返す。

また、ステップＳ２１４では、図１３に示すように、見逃しが発見された当時の検査内容のリビジョンから、ひとつ前のリビジョン（即ちひとつ数値の小さいリビジョン）の検査内容を読み出して（ステップＳ４０１）、該検査内容でシミュレーション検査を実施し（ステップＳ４０２）、エラーが検出できるか否かを判定する（ステップＳ４０３）。ここでエラーが検出できれば、当該リビジョンの検査内容で検査を行っている期間までは見逃しが発生していなかったとして見逃し期間を特定し（ステップＳ４０４）、サブルーチンのフローを終了する。一方、ステップＳ４０３において、エラーが検出できなければ、更にひとつ前のリビジョンの検査内容を読み出し（ステップＳ４０５）、シミュレーション検査を実施しエラーが検出できるまで、同様の処理を繰り返す。

このようにして見逃しが発生している期間を特定できれば、見逃し期間とその前後のリビジョンの検査内容を比較することで、見逃しの原因となっていた検査項目及びその基準も特定することができる。また、この際、比較する複数のリビジョン間の差分を検出したうえで強調表示するようにしておくことで、容易に見逃し原因の項目・基準を把握できる。

以上のように、本実施例によれば、「見逃し」による不良返品があった場合に、「見逃し」を発生させた検査内容による検査が行われていた期間はいつか、「見逃し」の原因となった検査項目・基準は何であるか、を容易に特定することが可能な基板検査システム９を提供することができる。

＜変形例＞
なお、本実施例においては、選択可能な検査内容のリビジョンはひとつであり、出力部１０１に表示される品番内容編集ウィンドウも当該ひとつのリビジョンの検査内容に対応したものであったが、これを複数選択して同時に表示できるようにしても構わない。さらに、このように選択された複数のリビジョンの検査内容により、同時にシミュレーション検査を実施するようにしてもよく、該複数のシミュレーション結果を同時に表示するようにしてもよい。

このようにすれば、異なる条件でのシミュレーションを効率よく行うことができ、さらにシミュレーション結果の比較も容易に行えるため、問題が発生した場合に原因となって
いる検査項目・基準の特定を迅速に行うことが可能になる。

また、本実施例においては、シミュレーション検査の実施に当たり、先に見逃し当時の検査内容データを読み出してティーチング端末１のメモリ１０３内に保存し、後に不良画像データを読み出して検査を実施したが、この順序が逆であっても構わない。

＜その他＞
上記実施例は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な形態には限定されない。本発明は、その技術的思想の範囲内で種々の変形が可能である。例えば、上記実施例では、ティーチング端末１はひとつの構成であったが、ネットワークを介して通信可能な複数かつ多様な端末を用いてシステムを構築してもよい。

１・・・ティーチング端末、
２・・・データ管理サーバ、
３・・・基板検査装置、
１１・・・ユーザーインターフェース制御部、１２・・・読出処理部、１３・・・品番履歴処理部、１４・・・登録処理部、１５・・・検査プログラム処理部、１６・・・シミュレーション処理部
２１・・・基板情報記憶部、２２・・・部品情報記憶部、２３・・・検査プログラム記憶部、２４・・・検査内容データ記憶部、２５・・・検査履歴記憶部

Claims (18)

1. 部品が搭載された物品の検査を行う検査システムであって、
   前記検査は、前記部品の部品品番毎に設定された検査項目及び／又は検査基準を含む検査内容データ、及び／又は前記検査内容データに基づいて物品の品質を判定する検査プログラム、を用いて行われ、
   前記検査内容データ及び／又は検査プログラムをリビジョン毎に蓄積して保持する記憶部と、
   前記記憶部から、前記蓄積して保持されている前記検査内容データ及び／又は検査プログラムのリビジョンの一覧情報と、任意のリビジョンの前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムと、を読み出す処理部と、
   前記読み出された前記蓄積して保持されている前記検査内容データ及び／又は検査プログラムのリビジョンの一覧情報と、前記検査内容データ及び／又は検査プログラムの内容、を出力する出力部と、を備え、
   前記出力部において、前記蓄積して保持されている前記検査内容データ及び／又は検査プログラムのリビジョンの一覧情報と、前記検査内容データ及び／又は検査プログラムの内容とが、同時に表示される、
   ことを特徴とする、検査システム。
2. 前記記憶部には、
   前記リビジョン毎のコメントが保持されており、
   前記処理部は、
   任意のリビジョンのコメントを読み出し、前記出力部は該読み出された任意のリビジョンのコメントを出力する
   ことを特徴とする、請求項１に記載の検査システム。
3. 前記処理部は、
   任意の複数の前記リビジョンにおける、前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムを読み出し、
   前記出力部において、
   前記蓄積して保持されている前記検査内容データ及び／又は検査プログラムのリビジョンの一覧情報と、前記読み出された複数のリビジョンの前記検査内容データ及び／又は前
   記検査プログラムの内容、とが同時に表示される、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の検査システム。
4. 前記処理部は、
   複数のリビジョン間における前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムの差分を検出し、
   前記出力部は、
   該差分を視認可能に出力する
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の検査システム。
5. 前記処理部は、
   前記読み出された任意のリビジョンにおける検査内容データ及び／又は検査プログラム、によるシミュレーション検査を実施し、
   前記出力部は、
   該シミュレーション検査の結果を出力する
   ことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の検査システム。
6. 前記処理部は
   前記読み出された任意の複数のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムの内容、による複数のシミュレーション検査を実施し、
   前記出力部は、
   該複数のシミュレーション検査の結果を同時に出力する
   ことを特徴とする請求項５に記載の検査システム。
7. 入力部をさらに備え、
   前記処理部は、
   前記読み出された一つ以上の任意のリビジョンのうちいずれかの検査内容データ及び／又は検査プログラムの全部又は一部、及び／又は、前記入力部から入力された内容、に基づいて、検査内容データ、検査プログラム、コメントのうち少なくとも一つを編集可能とし、
   該編集された内容を前記記憶部に登録する
   ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の検査システム。
8. 前記処理部は、
   編集中の検査内容データ及び／又は検査プログラムと、任意のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムとの差分を検出し、
   前記出力部は、該差分を視認可能に出力する
   ことを特徴とする、請求項７に記載の検査システム。
9. 前記部品は電子部品であって、前記物品は基板である
   ことを特徴とする、請求項１から８のいずれか１項に記載の検査システム。
10. 部品が搭載された物品の検査に用いられる検査装置の制御方法であって、
    前記部品の部品品番毎に設定された検査項目及び／又は検査基準を含む検査内容データ、及び／又は前記検査内容データに基づいて物品の品質を識別する検査プログラム、をリビジョン毎に蓄積して保持しているデータベースから、前記蓄積して保持されている前記検査内容データ及び／又は検査プログラムのリビジョンの一覧情報と任意のリビジョンの前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムとを読み出す、設定読み出しステップと、
    前記読み出された前記蓄積して保持されている前記検査内容データ及び／又は検査プロ
    グラムのリビジョンの一覧情報と任意のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムの内容を出力する、出力ステップとを有しており、
    前記出力ステップにおいて、前記蓄積して保持されている前記検査内容データ及び／又は検査プログラムのリビジョンの一覧情報と、前記検査内容データ及び／又は検査プログラムの内容とが、同時に表示される、
    ことを特徴とする、制御方法。
11. 前記設定読み出しステップにおいて、任意の複数のリビジョンの前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムを読み出し、
    前記出力ステップにおいて、前記蓄積して保持されている前記検査内容データ及び／又は検査プログラムのリビジョンの一覧情報と、前記読み出された複数のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムの内容と、を同時に出力する
    ことを特徴とする、請求項１０に記載の制御方法。
12. 前記読み出された任意の複数のリビジョン間における検査内容データ及び／又は検査プログラムの差分を検出する、差分検出ステップをさらに有し、
    前記出力ステップにおいて、該差分を視認可能に出力する
    ことを特徴とする、請求項１１に記載の制御方法。
13. 前記読み出された任意のリビジョンにおける検査内容データ及び／又は検査プログラム、によるシミュレーション検査を実施する、シミュレーションステップと、
    該シミュレーション検査の結果を出力する、シミュレーション結果出力ステップと、
    をさらに有することを特徴とする、請求項１０から１２のいずれか１項に記載の制御方法。
14. 前記シミュレーションステップにおいて、前記読み出された任意の複数のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラム、による複数のシミュレーション検査を実施し、
    前記シミュレーション結果出力ステップにおいて、該複数のシミュレーション検査の結果を同時に出力する
    ことを特徴とする請求項１３に記載の制御方法。
15. 前記検査内容データ及び／又は前記検査プログラムについての入力を受け付ける設定入力受付ステップと、
    前記設定読み出しステップで読み出された一つ以上の任意のリビジョンのうちいずれかの検査内容データ及び／又は検査プログラムの全部又は一部、及び／又は、前記設定入力受付ステップで受け付けられた情報に基づいて、検査内容データ、検査プログラム、コメントのうち少なくとも一つを編集する、設定編集ステップと、
    前記設定編集ステップで編集された情報を前記データベースに登録する、検査設定登録ステップをさらに有する
    ことを特徴とする。請求項１０から１４のいずれか１項に記載の制御方法。
16. 前記設定編集ステップにおいて、編集中の検査内容データ及び／又は検査プログラムと、任意のリビジョンの検査内容データ及び／又は検査プログラムとの差分を検出し、該差分を視認可能に出力する
    ことを特徴とする、請求項１５に記載の制御方法。
17. 前記部品は電子部品であって、前記物品は基板である
    ことを特徴とする、請求項１０から１６のいずれか１項に記載の制御方法。
18. 請求項１０から１７のいずれか１項に記載の制御方法における各ステップを、検査装置に実行させるためのプログラム。

Images