JP2001093791A - 真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法 - Google Patents

真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法

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中元　　茂
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昌司 沖口
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秀樹 山▲崎▼
Koji Nishihata
廣治 西畑
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】異常状況発生時の真空処理装置の運転方法及び
ウエハの処理方法を提供する。 【解決手段】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置２−１，２，３，４
と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置１と、前記各
プロセス処理装置３及び搬送処理装置を制御する制御装
置とで構成された真空処理装置の運転方法またはウエハ
の処理方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行
う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも２組のウエ
ハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法におい
て、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス
処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、
該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、
運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプ
ロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運
転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハの処
理を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロセス処理を行
うプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装
置で構成され、少なくとも２つ以上のプロセス処理装置
を使ってウェハ処理する真空処理装置の運転方法及びウ
エハの処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空処理装置は、例えば、特開昭
６３−１３３５３２号公報のように搬送室に処理室を接
続したシステムにおいて、正常な運転状態で試料処理が
実施される場合、別々のウェハを別々の処理室で同時に
実行したり、又はウェハを順次２つ以上の処理室を経由
して処理することのできる装置及びその搬送に関するも
のであった。
【０００３】また他の従来の真空処理装置は、特開平３
−２７４７４６号公報のように２つの経路のプロセス処
理を同時に行う運転で、一つの経路に含まれる処理室に
メンテナンス作業を実施する場合は、他の経路の処理室
を過渡的に２つの経路のプロセス処理に共用する装置の
運転方法に関するものであった。
【０００４】さらに、特開平１１−６７８６９号公報に
は、各プロセス処理装置の運転有効又は運転無効である
ことを示す各運転情報信号を発生する運転情報信号発生
手段を各プロセス処理装置毎に設け、その各運転情報信
号を記憶する運転情報信号記憶手段を設け、各運転情報
信号を元にして運転無効である該プロセス処理装置を使
用せず、他の運転有効なプロセス処理装置を使って運転
続行する装置制御手段を設けたものが開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記特開昭６３−１３
３５３２号公報や特開平３−２７４７４６号公報の真空
処理装置では、２つ以上の処理室を処理経路として使っ
て運転している運転中に、どれかの処理室が故障等で使
用できなくなった時に正常な処理室を使って処理を続行
する運転及び復旧処置については、考慮されていなかっ
た。又、２つ以上の処理室を処理経路として使って運転
中にその運転を一時中断させ、中断させる迄にその運転
の処理経路に使っていなかった処理室を処理経路として
使った割り込み処理を優先的に実行し、その割り込み処
理が終了した後は一時中断させていた処理を続行させる
運転する方法、手順についても考慮されていなかった。
【０００６】一方、特開平１１−６７８６９号公報に
は、各ウエハに対して一連の異なるプロセス処理を行う
複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送を行う搬
送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬送処理装
置を制御する制御装置とで構成された真空処理装置の運
転方法であって、各々前記一連のプロセス処理を行う複
数のプロセス処理装置を含む少なくとも２組のウエハの
処理経路を有し、前記プロセス処理を複数並行して行い
ウェハを処理する真空処理装置の運転方法において、運
転開始時修復する必要のある処理室がある場合に、正常
な処理室の組を使って、装置を運転する方法、手順につ
いて記載されている。しかし、組を構成する処理室の中
に正常なものがある場合でも、その組を構成する処理室
全体を切り離していた。
【０００７】例えば、同種の処理室が接続されている場
合、運転中に他方の正常な処理室を使って運転を続行す
るという装置の運転方法については考慮されておらず、
稼働率の低い装置であった。
【０００８】また、プロセス処理装置内の異物を除去す
るために行うクリーニング処理や、ウエハ処理を行う前
にプロセス処理装置内をウエハ処理状態にするために行
うエージング処理に関しても、稼働率を高めるという観
点で十分な配慮がなされていなかった。
【０００９】本発明の目的は、少なくとも２組以上のプ
ロセス処理装置を使って処理する真空処理装置により運
転中に、どれかの処理室が故障等で使用できなくなった
時に、各２組を構成するプロセス処理装置の関係に拘束
されず、正常な処理室を処理経路として使って運転して
より稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方
法及びウエハの処理方法を提供することにある。
【００１０】本発明の他の目的は、クリーニング処理や
エージング処理に関しても、稼働率を高めることのでき
る真空処理装置の運転方法及びウエハの処理方法を提供
することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、各ウエハに対して一連の異なるプロセス
処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬
送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び
搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処
理装置の運転方法であって、各々前記一連のプロセス処
理を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも２組
のウエハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法に
おいて、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロ
セス処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行
い、該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放
し、運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連
のプロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、
該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハ
の処理を行うことを特徴とする。
【００１２】本発明の他の特徴は、前記一連の異なるプ
ロセス処理を行う複数のプロセス処理装置の２組が、そ
れぞれウエハの第一の処理(例えばエッチング処理)及び
第二の処理(例えば後処理)を行うプロセス処理装置を含
み、前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス
処理装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行
い、該判断で１組のプロセス処理装置のうち第二の処理
を行うプロセス処理装置が運転無効の場合、該第二の処
理を行うプロセス処理装置のみを切り放し、２つの第一
の処理を行うプロセス処理装置と１つの第二の処理を行
うプロセス処理装置とを使用して、前記一連のプロセス
処理を行うための２組の処理経路を再構築し、該２組の
処理経路を使って前記ウェハの処理を行うことにある。
【００１３】本発明の他の特徴は、各ウエハに対して一
連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置
と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プ
ロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置と
で構成された真空処理装置の運転方法において、前記各
プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理装置が
運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、前記プロセ
ス処理装置に運転無効が発生した場合、該プロセス処理
装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、残存ウエハ
がある場合、予め設定された複数の処理条件のいずれか
を選択可能とし、該選択された処理条件に従って前記残
存ウエハの処理を行うことにある。
【００１４】本発明の他の特徴は、各ウエハに対して一
連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置
と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プ
ロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置と
で構成された真空処理装置の運転方法であって、前記各
プロセス処理を行うための自動運転条件を設定した後、
自動運転をスタートするものにおいて、前記自動運転条
件の設定において、カセットと処理室に関して複数のペ
ア関係を固定してウエハを搬送するパラレル処理経路ま
たは、前記カセットと処理室の対応関係を固定せずウエ
ハを空いている方の処理室へ搬送する処理経路を設定可
能としたことにある。
【００１５】本発明の他の特徴は、プロセス処理を行う
複数のプロセス処理装置と、ウェハの搬送を行う搬送処
理装置と、これらを制御する制御装置とで構成され、少
なくとも２つ以上のプロセス処理装置が搬送処理装置に
取り付けられ、該２つ以上のプロセス処理装置を使って
ウェハ処理する真空処理装置の運転方法であって、前記
カセット内のウエハ処理を開始する前に、２つのプロセ
ス処理装置にダミ−ウエハを同時に２枚搬送して、エー
ジング処理を並行に行うことにある。
【００１６】本発明の他の特徴は、各ウエハに対して一
連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置
と、前記ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、前記各プ
ロセス処理装置及び搬送処理装置を制御する制御装置と
で構成された真空処理装置によるウエハの処理方法であ
って、各々前記一連のプロセス処理を行う複数のプロセ
ス処理装置を含む少なくとも２組のウエハの処理経路を
有する真空処理装置によるウエハの処理方法において、
前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、該判
断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、運転
有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプロセ
ス処理を行うための前記処理経路を再構築し、該運転有
効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハを処理す
ることにある。
【００１７】本発明によれば、２組以上のプロセス処理
装置を使って処理する真空処理装置により運転中に、ど
れかの処理室が故障等で使用できなくなった時に、各２
組を構成するプロセス処理装置の関係に拘束されず、正
常なプロセス処理装置を処理経路として使って運転して
より稼働率を高めることのできる真空処理装置の運転方
法及びウエハの処理方法を提供することができる。
【００１８】また、クリーニング処理やエージング処理
に関しても、稼働率を高めることのできる真空処理装置
の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができ
る。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜
図１５に示す。図１は、本発明の一実施例になる真空処
理装置一実施例の構成図である。この実施例の真空処理
装置では、４室のプロセス処理装置が１つの搬送処理装
置に接続され、処理装置にウエハを搬入する為のカセッ
トは処理装置本体の前に設置した大気搬送装置に設置
し、該カセットから１枚ずつ取り出し処理装置に搬入し
処理する装置構成を示している。なお、プロセス処理装
置は、４室より多く接続されても構わない。
【００２０】図１において、２−１〜２−４は、ウェハ
のプロセス処理を行うプロセス処理装置である。この処
理装置としては、エッチング処理、後処理、成膜、スパ
ッタ、ＣＶＤ、水処理等、ウエハのプロセス処理を行う
処理であれば、何であっても良い。１はウェハの搬送を
行う搬送処理装置であり、ロードロック室３のウエハを
ウエハの搬送スケジュールに従ってプロセス処理装置２
−１〜２−４に搬送し、あるプロセス処理装置で処理終
了したウエハを次のプロセス処理装置に搬送し、全ての
プロセス処理が終了したウエハをアンロードロック４室
に搬送する。
【００２１】ロードロック室３は大気搬送装置６にある
ウエハを搬送処理装置に搬入する室、アンロードロック
室４は真空処理室にあるウエハを大気搬送装置６に搬出
する室である。５は搬送処理装置内に設置されウェハの
搬送を行う真空ロボット、６はウェハを収納したカセッ
トを設置するための大気搬送装置、７は処理するウェハ
を収納したカセットであり製品用ウエハを収納したカセ
ットやクリーニング用ウエハを収納したカセットであ
る。８は大気ロボットであり、大気搬送装置上のカセッ
ト内のウェハをカセットから搬出し、ロードロック室３
に搬入し、またアンロードロック室４のウエハを元のカ
セットに戻す。１１は、装置全体を制御する主制御部で
あり、表示手段１３、入力手段１４を備えている。オペ
レーターは、この表示手段１３、入力手段１４を使って
主制御部１１に対して運転条件の設定を行った後運転の
開始指示を行う。
【００２２】１９−１〜１９−４は、プロセス処理装置
２−１〜２−４の運転有効／無効であることを示す運転
情報信号を発生する運転情報信号発生手段である。本実
施例では、プロセス処理装置に設けているが、どこにあ
っても良い。
【００２３】また、補助操作盤２２内にある表示手段２
６、入力手段２５を使って、真空処理装置を保守、メン
テナンスするための操作をすることができる。この補助
操作盤２２は可搬型の操作端末（例えばノートハ゜ソコ
ン）であり、真空処理装置の近くまで持ち運び、装置状
態を目視しながら表示手段２６に表示される装置情報
（例えば入出力ビットのＯＮ／ＯＦＦ情報、エラー情報
等）を保守、メンテナンスの操作に活用でき、保守、メ
ンテナンスの操作性を向上させているものである。この
補助操作盤２２では、主制御部１１と同じ機能を有して
いるが、オペレータに対する安全性を確保する為に主制
御部１１と補助操作盤２２とで同時に操作する場合は、
片方しか操作入力できないように誤操作防止機能を設け
てある。
【００２４】図２は、本実施例の制御装置の構成図を示
す。本実施例は、装置全体の主制御装置１１が搬送処理
装置１に搭載されている場合を示す。制御手段として
は、本発明の特徴に関係する部分のみを抜き出して記述
しており、装置を動かす上での必要な入出力制御部分
（ＤＩ／Ｏ、ＡＩ／Ｏ）については、記述していない。
尚、装置全体の主制御部１１は、搬送処理装置以外にあ
っても構わない。また表示手段１３、入力手段１４は主
制御部１１とは別の制御ユニットとして構成しても良
い。
【００２５】１２は、中央制御手段であり例えば、ＣＰ
Ｕ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕｎｉｔ）
である。１３は、運転状態、運転条件の設定内容、運転
の開始指示／終了の表示を行う表示手段であり、例えば
ＣＲＴである。１４は、運転条件の設定、運転の開始指
示入力、プロセス処理条件、保守やメンテナンスの操作
入力等を行う入力手段であり、例えばキーホ゛ート゛で
ある。１６は、真空処理装置内でのウェハの処理順序を
記憶する処理順序情報記憶手段であり、例えばＲＡＭ
（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）であ
る。このウェハの処理順序は、運転開始前に表示手段１
３、入力手段１４とを使ってオペレータによって入力さ
れたテ゛ータが記憶される。１７は、プロセス処理装置
２−１〜２−４の運転有効／無効であることを示す運転
情報信号を記憶する運転情報信号記憶手段であり、例え
ばＲＡＭである。
【００２６】１５は装置制御手段であり、上記プロセス
処理装置２−１〜２−４の運転有効／無効であることを
示す運転情報信号状態を判断し、自動運転中にプロセス
処理装置２−１〜２−４のどれかが運転不可となっても
該プロセス処理装置を使用せず、他のプロセス処理装置
を使って運転続行する処理手順を記憶する手段であり、
例えばＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）で
ある。上記１３〜１７は、中央制御手段１２により制御
される。
【００２７】運転情報信号を発生する運転情報信号発生
手段１９−１〜１９−４として、 １）プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる、
あるいは ２）プロセス処理装置の使用の有効／無効を設定する運
転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ）を用い
る、あるいは ３）プロセス処理装置の使用の有効／無効を示す運転制
御信号として、オペレータが設定入力した入力情報を用
いる、ことができる。
【００２８】２０と２１は、装置全体を制御する主制御
部１１と補助操作盤２２とを接続する通信手段である。
補助操作盤２２、２５、２６は上述した用途に使用する
ものである。２４は補助操作盤での端末機能を制御する
処理手順を記憶した端末制御手段である。２３は上記２
１、２４から２６を制御する中央制御手段であり、例え
ば、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒ Ｕ
ｎｉｔ）である。
【００２９】通常の運転にあたっては、オペレータは、
製品用ウエハを収納したカセット７−１（又は７−２）
とクリーニング用ウエハを収納したカセット７−３を大
気搬送装置６に設置する。表示手段１３、入力手段１４
を使って運転条件の設定を行った後運転の開始指示を行
う。運転が開始されるとウェハの搬送が開始しプロセス
処理装置２−１（２−２〜２−４も含む）に搬送され、
プロセス処理を行って元のカセットに戻される。元のカ
セット内のウェハが全て処理されるとそのカセットの回
収の為にこの図に示していないフ゛サ゛ーを鳴らし、オ
ペレータにカセット回収要求を通報し、オペレータがカ
セットを取り除く。
【００３０】製品用ウエハを収納したカセットの処理が
終了すると、カセット７−３からクリーニング用ウエハ
をプロセス処理装置２−１、２−２、２−３、２−４に
搬出し、クリーニング処理を行ってカセット７−３に戻
す。この場合、１枚のクリーニング用ダミーウエハを使
って順次プロセス処理装置２−１、２−２、２−３、２
−４に搬出し、クリーニング処理を行うことも可能であ
り、また別の方法としてプロセス処理装置２−１、２−
２、２−３、２−４に１枚づつ搬送し、クリーニング処
理を同時に行うことも可能である。また前述のクリーニ
ング処理は製品用ウエハを収納したカセットの処理が終
了すると、カセット７−３からクリーニング用ダミーウ
エハをプロセス処理装置２−１、２−２、２−３、２−
４に搬出し、クリーニング処理を行ったが、クリーニン
グ用ダミーウエハをプロセス処理装置２−１、２−２、
２−３、２−４に搬出しないでクリーニング処理を行う
ことも可能である。
【００３１】また、以上のように１カセット分の製品用
ウエハの処理終了後にクリーニング処理を行うことに加
えて、クリーニング周期として処理した製品ウエハの枚
数毎（この枚数は適宜設定可能)にカセット７−３から
クリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置２−
１、２−２、２−３、２−４に搬出し、クリーニング処
理を行うことも可能である。またクリーニング周期とし
て処理した製品ウエハの枚数毎（この枚数は適宜設定可
能)にカセット７−３からクリーニング用ダミーウエハ
をプロセス処理装置２−１、２−２、２−３、２−４に
搬出しないで、クリーニング処理を行うことも可能であ
る。また、製品用ウエハを収納したカセットの処理が予
め設定されたカセット数実施後に、カセット７−３から
クリーニング用ダミーウエハをプロセス処理装置２−
１、２−２、２−３、２−４に搬出し、クリーニング処
理を行うことも可能である。
【００３２】次に、製品ウエハを収納したカセットの処
理開始前にカセット７−３からダミーウエハをプロセス
処理装置２−１、２−２、２−３、２−４に搬出しない
でエージング処理後に上記ウエハ処理を行うことも可能
である。また、製品ウエハを収納したカセットの処理開
始前にカセット７−３からダミーウエハをプロセス処理
装置２−１、２−２、２−３、２−４に搬出し、エージ
ング処理した後ダミーウエハをカセット７−３に戻し、
本エージング処理を予め設定したウエハ枚数分実施後に
上記ウエハ処理を行うことも可能である。
【００３３】尚、運転条件設定の１部である処理経路の
設定においては、その処理に使用するプロセス処理装置
をウェハの処理する順序にプロセス処理装置の記号等を
使って設定する。
【００３４】図３は、本実施例の運転情報の信号図であ
る。各プロセス処理装置毎に運転の有効／無効を示す情
報が記憶される。この場合では、有効な場合は、１を、
無効な場合は、０を示すが区別できる内容であれば、記
号や数字であっても良い。この情報は、運転情報信号発
生手段１９−１〜１９−４の信号状態が反映されたもの
であり、運転情報信号記憶手段１７に記憶される。
【００３５】図４は、本実施例の処理順序情報図であ
る。運転条件設定の一つとして、オペレータが運転開始
前に表示手段１３、入力手段１４とを使ってウェハの処
理する順序を設定した情報である。この情報は処理順序
情報記憶手段に記憶される。
【００３６】このウエハの処理順序の一例を、運転モー
ドとして図５に示す。以下のこの運転モードの説明では
プロセス処理装置２−２と２−３は同一のプロセス処理
を（この実施例ではエッチング処理とする）、プロセス
処理装置２−１と２−４は同一のプロセス処理を（この
実施例では後処理とする）するものとして説明する。ま
たプロセス処理の実施例としては、プロセス処理装置２
−２又は２−３を使ったエッチング処理を行った後、プ
ロセス処理装置２−１又は２−４を使った後処理を行う
ものとする。尚、１カセット分の製品用ウエハの処理の
後にカセット７−３からクリーニング用ウエハをプロセ
ス処理装置２−３（又２−２）からプロセス処理装置２
−４（又は２−１）に搬送し、クリーニング処理を行う
クリーニング処理を行う運転について説明する。
【００３７】ただし、本発明は、図５の運転モードに限
定されるものではなく、ウエハの処理条件によってはエ
ッチング処理のみであっても良い。また、プロセス処理
装置２−２と２−３及びプロセス処理装置２−１と２−
４は、エッチング処理、後処理、成膜、スパッタ、ＣＶ
Ｄ、水処理等、ウエハのプロセス処理を行う処理であれ
ば、どのような組み合わせであっても良い。また、同一
のプロセス処理を行う処理室の数も、実施例のものに限
定する必要は無い。
【００３８】１）１カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（以下では、プロセス処理条件
をレシピと称する）で処理するウエハが収納されたカセ
ット内の最下段もしくは最上段のウエハから、順番にカ
セットから抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理
をするものである。ウエハは、プロセス処理装置２−２
でエッチング処理した後プロセス処理装置２−１で後処
理をして元のカセットに戻す経路（この経路Ａという）
と、プロセス処理装置２−３でエッチング処理した後プ
ロセス処理装置２−４で後処理をして元のカセットに戻
す経路（この経路Ｂという）の両方を使って処理され
る。
【００３９】この実施例での処理順序は、 経路Ａ：カセット７−１→プロセス処理装置２−２→プ
ロセス処理装置２−１→カセット７−１ 経路Ｂ：カセット７−１→プロセス処理装置２−３→プ
ロセス処理装置２−４→カセット７−１ の組み合わせとしたが、 経路Ｃ：カセット７−１→プロセス処理装置２−２→プ
ロセス処理装置２−４→カセット７−１ 経路Ｄ：カセット７−１→プロセス処理装置２−３→プ
ロセス処理装置２−１→カセット７−１ の組み合わせであっても良い。
【００４０】ウエハの処理は、１枚目のウエハは経路
Ａ、２枚目は経路Ｂ、３枚目のウエハは経路Ａ、４枚目
は経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。
【００４１】図６は、本実施例の装置運転フロー図を示
す。オペレータは運転開始前に処理装置として構成され
ているプロセス処理装置の内、故障等で運転に使用でき
ない、又は保守（プラズマクリーニングも含む）の為使
用しないプロセス処理装置があるか否かを判断する（３
０）。使用できない（又は、使用しない）プロセス処理
装置があれば、運転情報信号発生手段１９を用いて図３
に記述した状態になるように設定する（３２）。この設
定の方法の一つとして、 １）プロセス処理装置の装置電源の遮断信号を用いる場
合は、該プロセス処理装置の装置電源供給用電磁開閉器
をＯＦＦする。これにより、遮断信号が発生し、運転情
報信号記憶手段１７に伝えられ、図３に記載された情報
として記憶される。
【００４２】２）プロセス処理装置の使用の有無を設定
する運転切り替え信号（例えば、切り替えスイッチ）を
用いる場合は、該プロセス処理装置に割り当てられた切
り替えスイッチを有効又は無効の状態に設定する。これ
により、切り替え信号が確定し、運転情報信号記憶手段
１７に伝えられ、図３に記載された情報として記憶され
る。
【００４３】３）プロセス処理装置の使用の有効／無効
を示す運転制御信号として、オペレータが設定入力した
入力情報を用いる場合は、オペレータは、該プロセス処
理装置に割り当てられた設定情報を入力手段１４より入
力する。これにより、設定情報が確定し、運転情報信号
記憶手段１７に伝えられ、図３に記載された情報として
記憶される。装置接続構成を決定した後、自動運転条件
を設定し（３４）、自動運転をスタートする（３６）。
【００４４】自動運転条件の設定（３４）では、ウェハ
の処理する順序を、以下のように製品処理条件として設
定する。
【００４５】１）ウエハの運転モードを選択する。
【００４６】「１カセット１レシピ並列」、「２カセッ
ト１レシピ並列」、「２カセット２レシピ並列」、「１
カセット１レシピ直列」のいずれかを選択 ２）ウエハの搬送経路を設定する。
【００４７】カセット毎にウエハの処理経路をプロセス
処理装置の記号を使ってパラレルまたはシリーズ処理を
設定する。代表的な設定例を以下に示す。（ウエハ処理
経路は、前述のように組み合わせが可能である） ２−１）パラレル処理の場合： カセット７−１：Ｅ１→Ａ１、カセット７−１：Ｅ２→
Ａ２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１、カセット７ー２：Ｅ２→
Ａ２ Ｅ１：プロセス処理装置２−２、Ｅ２：プロセス処理装
置２−３ Ａ１：プロセス処理装置２−１、Ａ２：プロセス処理装
置２−４ ２−２）シリーズ処理の場合： カセット７−１：Ｅ１→Ｅ２→Ａ１ カセット７−２：Ｅ２→Ｅ１→Ａ２ ３）プロセス処理室毎にプロセス処理条件（プロセスレ
シピともいう）を設定する。
【００４８】図７は、自動運転条件の設定（３４）の一
例としての、ウエハの搬送経路を指定する方法の説明図
である。図７のＡは、カセットと処理室に関して２組の
ペア関係を固定してウエハを搬送するパラレル処理を設
定したものである。図７のＢは、カセットと処理室の対
応関係を固定せず、ウエハを空いている方の処理室へ搬
送する場合を示している。
【００４９】なお、自動運転条件の設定において、処理
経路の指定が無い場合、一連の異なるプロセス処理を行
う複数のプロセス処理装置の組として、それぞれウエハ
のエッチング及び後処理を行うプロセス処理装置のペア
を含む処理経路を自動設定するようにしても良い。
【００５０】また、それぞれウエハのエッチング及び後
処理を行うプロセス処理装置の１組または２組のペアに
ついて、１回の処理ごとに、使用するプロセス処理装置
を交互に切り替え、各プロセス処理装置の消耗度を揃え
るようにしても良い。
【００５１】以上の製品処理条件を設定した後、自動運
転をスタートする（３６）。図８は、本実施例の自動運
転のフロー図を示す。自動運転を開始すると、処理すべ
きウェハを全て搬送したかを判断し、搬送済であれば処
理が終了し、搬送が必要であれば、自動運転処理に進む
（４０）。自動運転中に異常等が発生し、運転が一時中
断した状態にあるか否かを判断する（４２）。異常が無
ければ、運転を続行する（４４へ）。運転に使用できな
いプロセス処理装置がある場合は、該プロセス処理装置
を使わないで運転続行が可能か否かをオペレータが判断
する（７０）。続行が不可能な場合は、オペレータが自
動運転の中止設定を行うことにより、装置は自動運転停
止処理を行う（９０）。続行が可能な場合でも、プロセ
ス処理装置にウェハが残っている場合、真空ロボットの
ハント゛上にウェハが残っている場合、ロート゛ロック
室やアンロート゛ロック室にウェハが残っている場合等
がある。
【００５２】処理装置内に残存しているウェハの処置例
を以下に示す。まず、装置内に残存ウェハがあるか否か
判断する（７２）。装置内に残存しているウエハをその
ままにして運転を継続するか否かを判断する（７３）。
【００５３】すなわち、オペレーターは、次の（１）、
（２）のいずれかを選択する。
【００５４】（１）装置内に残存しているウエハをその
ままにして運転を継続する。
【００５５】（２）装置内に残存しているウエハをその
ままにして運転を継続することはせず、必要な処置を行
って運転を再開する。これは自動運転中に異常が発生し
た時点では処理装置内の全ウェハの搬送・処理のスケシ
゛ュールが確定しているため、異常が発生した機器にあ
るウェハを取り出したカセット７に戻さないとウェハの
搬送・処理のスケシ゛ュールが狂ってしまい、自動運転
の一時中断状態からの再開、自動運転続行ができなくな
るためである。
【００５６】装置内に残存しているウエハをそのままに
して運転を継続する場合は、該ウエハを該ウエハを元の
カセットに搬出したようにウエハ情報の変更を行う（７
７）。すなわち、異常が発生した機器内に残存している
ウェハを元のカセットに搬出しないで該ウエハを異常が
発生した機器内に残存させたまま、該ウエハを元のカセ
ットに搬出したようにウエハ情報の変更を行なう。例え
ば、異常発生で処理装置内に残存しているウエハをその
ままにしておき、該ウエハを元のカセットに搬出したよ
うにウエハ情報の変更を行なった上で、仕掛かりのウエ
ハについて一時中断状態からの再開、自動運転を続行さ
せひとまとまり（１ロット）処理を終了させ、自動運転
を終了させた後、残存しているウエハを元のカセットに
戻す場合に用いられる。なお。他の実施例として、異常
が発生した機器内に残存しているウェハを元のカセット
に搬出しないで該ウエハを異常が発生した機器内に残存
させたまま仕掛かりのウエハについて一時中断状態から
の再開、自動運転を続行させひとまとまりの処理を終了
させ、自動運転を終了させた後、残存しているウエハを
元のカセットに戻すことも可能である。
【００５７】装置内に残存しているウエハをそのままに
して運転を継続しない場合は、残存しているウェハのう
ちエッチンク゛処理をするか否かを判断する（７４）。
【００５８】エッチンク゛処理をする場合には、残存ウ
エハの処理条件を選択する（７５）。残存ウエハの処理
条件としては、例えば図９に示すように、予め５つの選
択肢を用意しておく。
【００５９】（１）処理中断時間からリトライして、処
理を継続する。
【００６０】（２）異常発生したウエハについてのみ、
復旧用のレシピで処理し、次のウエハからは、元のレシ
ピで処理を継続する。
【００６１】（３）異常の発生したウエハを搬出し、次
のウエハを搬入して処理を継続する。
【００６２】（４）異常の発生したウエハを搬出し、元
のカセットに回収した後、異常の発生した処理経路を自
動運転から切り離して処理を継続する。
【００６３】（５）メンテナンスモードにして、運転を
中断する。
【００６４】図８に戻って、処理室内に残存しているウ
ェハのうち、エッチンク゛処理の途中で異常が発生した
場合は、残りのエッチンク゛処理を実施した後（７
６）、ウェハを元のカセットに戻す（７８）。
【００６５】これは。できうる限りウェハを救済するた
めに行なうものである。また真空ロボットのウェハハン
ト゛上にウェハが残っている場合や、ロート゛ロック室
アンロート゛ロック室にウェハが残っている場合は、機
器個別の操作（ロック室の排気／リーク、ウェハの搬
送）を行なって、そのウェハを元のカセットに戻す（７
８）。
【００６６】以上のように、異常の発生した機器にあっ
たウェハは必要な処置を実施し元のカセットに戻した
後、一時中断していた自動運転を再開する操作を行な
う。このようにすることで異常が発生した機器（処理室
や真空ロボット等）にあったウェハのトラッキンク゛情
報は、正常な経路で処理されたのと同等となり、自動運
転が再開できることになる。以上のような処理装置内に
残存していたウェハの処置を行なった後、使用しないプ
ロセス処理装置に対して図６の（３２）にて示した内容
と同じ運転情報信号発生手段の切り替え操作（８０）を
行う。異常発生情報をリセットし（８２）、自動運転を
続行する。
【００６７】正常な運転状態では、次のウェハの搬送経
路を処理順序情報記憶手段１６に記憶されてある情報を
読み出し（４４）、運転情報信号記憶手段１７に記憶さ
れてある情報と整合処理し搬送順路を決定する（４
６）。決定した搬送順路はカセットより搬出するウェハ
毎に搬送順路テ゛ータを持っても良いし、処理順序情報
記憶手段１６とは別の処理順序情報テーフ゛ルを作成
し、ウェハを搬送する際には、このテーフ゛ルを参照す
るようにしても良い。搬送順路が決定すると大気ロボッ
ト８はカセット７よりウェハを搬出し（４８）、上記決
定した搬送順路に登録されてあるプロセス処理装置に搬
送し（５０）、ウェハの処理を行う（５２）。
【００６８】このウェハ搬送処理及びプロセス処理で異
常が発生した場合は、引き続き自動運転を継続する為に
処理続行可能な処理はその個々の処理を終了させるまで
実行した後、自動運転を一時中断状態にする。例えばＮ
枚目のウェハのエッチンク゛処理中であれば、そのＮ枚
目のウェハのエッチンク゛処理が終了するまでエッチン
ク゛処理を継続し、終了した時点で自動運転を一時中断
する。また真空ロボット５によるウェハ搬送中に他の処
理で異常が発生したら、真空ロボット５は、所定の場所
へのウェハ搬送を終了した時点で自動運転を一時中断す
る。この後異常発生したことを示す異常発生情報（図示
せず）を記憶させた後、装置を一時中断状態にオペレー
タに中断したことを表示手段１３に表示するとともに図
示しないフ゛サ゛ーを鳴らす。この後（４２）に戻り、
所定のフローで処理する。
【００６９】次に、図１０で本発明によるクリーニング
運転のフローを説明する。最終ウエハをカセット７−１
に搬入されると、クリーニング用ウエハがカセット７−
３からロードロック室３に搬入される（図１０−Ａ）。
次に、プロセス処理装置２−２内にあった最終ウエハが
プロセス処理装置２−１に搬送されてあれば、クリーニ
ング用ウエハをプロセス処理装置２−２に搬送し、クリ
ーニング処理を開始させる（図１０−Ｂ）。
【００７０】プロセス処理装置２−３でのクリーニング
処理が終了すると、クリーニング用ウエハをプロセス処
理装置２−３からプロセス処理装置２−４に搬送し、ク
リーニング処理を行う。この時迄に次の製品用カセット
７−１が設置されてあれば、カセット７−１から製品用
ウエハの２枚目をプロセス処理装置２−２に搬送し、プ
ロセス処理を行う。プロセス処理装置２−４でのクリー
ニング処理が終了すると、クリーニング用ウエハをロー
ドロック室４に戻す。（図１０−Ｃ）。又、カセット７
−１内の全てのウエハの処理終了するとカセット７−１
の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為に
この図に示していないブザーを鳴らす。
【００７１】カセット７−１の処理が全て終了したら、
カセット７−２の処理を行う。また、プロセス処理装置
２−２でのクリーニング処理が終了すると、クリーニン
グ用ウエハをプロセス処理装置２−２からプロセス処理
装置２−１に搬送し、クリーニング処理を行う。クリー
ニング処理が終了すると、クリーニング用ウエハをカセ
ット７−３に戻す。
【００７２】以上のようにカセット７−２についてもカ
セット７−１の場合と同じ順序で処理を行い、カセット
７−２内の全てを処理終了するとカセット７−２の処理
終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図
に示していないブザーを鳴らす（図１０−Ｄ）。
【００７３】以降この運転サイクル繰り返しを行う。こ
の運転を終了する場合は、主制御部１１から運転終了の
操作入力を行うことで運転が終了する。
【００７４】処理を終了する方法として、以下の５モー
ドがある。
【００７５】ア）ウエハ供給停止：処理中のカセットか
らのウエハ取り出しを中止する。
【００７６】（２カセットを１ロットとして運転してい
る場合は、指定した方のカセットからのウエハ取り出し
を中止する。） イ）カセット供給停止：現在処理中のカセット内のウエ
ハを全て処理終了した後、その処理終了迄に設置されて
あったカセットの処理を中止する。
【００７７】（２カセットを１ロットとして運転してい
る場合は、指定した方のカセット内のウエハを全て処理
終了した後、その時迄に設置されてあったカセットの処
理を中止する。） ウ）サイクル停止：現在実行中のプロセス処理、排気、
リーク、搬送等の動作終了後その場で停止する。
【００７８】エ）処理室一時停止：指定処理室につい
て、現在処理中のプロセス処理終了後停止する。この場
合は、運転の再開操作により一時停止した状態から運転
を再開することができる。またその処理室のみ手動操作
は可能である。
【００７９】オ）即停止：実行中の全ての動作を即時停
止する。
【００８０】処理終了に当たってはいずれの方法によっ
ても良い。
【００８１】２） ２カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（レシピ）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番に抜き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理
をするものである。この場合、カセットから抜き出し搬
送処理装置に搬入しプロセス処理をする運転が前記の
「１カセット１レシピ並列運転」の場合と異なる。前記
の「１カセット１レシピ並列運転」の場合は、同一カセ
ットから順次ウエハを抜き出し搬送処理装置に搬入しプ
ロセス処理を実施し、そのカセットのウエハを全て終了
した後次のカセットのウエハの処理に移ったが、本「２
カセット１レシピ並列運転」では、カセット７−１とカ
セット７−２から交互にウエハを抜き出し搬送処理装置
に搬入しプロセス処理を実施する。ウエハの処理経路は
前記の「１カセット１レシピ並列運転」の場合と同様
に、プロセス処理装置２−２でエッチング処理した後プ
ロセス処理装置２−１で後処理をして元のカセットに戻
す経路（この経路Ａという）と、プロセス処理装置２−
３でエッチング処理した後プロセス処理装置２−４で後
処理をして元のカセットに戻す経路（この経路Ｂとい
う）の両方を使って処理する。
【００８２】この実施例での処理順序の経路Ａ、Ｂもし
くは経路Ｃ、Ｄについては前記「１カセット１レシピ並
列運転」の場合と同じである。
【００８３】ウエハの処理は、１枚目のウエハはカセッ
ト７−１からの１枚目を経路Ａ、２枚目はカセット７−
２からの１枚目を経路Ｂ、３枚目のウエハはカセット７
−１からの２枚目を経路Ａ、４枚目はカセット７−２か
らの２枚目を経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の
最終ウエハ迄処理を行う。カセット７−１もしくはカセ
ット７−２内の全てのウエハを処理終了するとカセット
７−１（または７−２）の処理終了とカセット交換をオ
ペレータに通報する為にこの図に示していないブザーを
鳴らす。この終了したカセットが取り除かれ新しいカセ
ットが設置されるまでは、他方のカセット側の処理のみ
継続されている。新しいカセットが設置されると前記の
ようにカセット７−１と７−２から交互ににウエハを抜
き出し搬送処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。
以降この運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了
する場合は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行
う事で運転が終了する。終了方法は前記「１カセット１
レシピ並列運転」の場合と同じである。又、クリーニン
グ処理については、上記１）と同様である。
【００８４】３）２カセット２レシピ並列運転 この運転では、カセット７−１とカセット７−２とのウ
エハ処理レシピが異なる事によりプロセス処理装置での
処理時間が異なることがある。この場合、カセット７−
１とカセット７−２からのウエハ搬出は交互ではなく、
プロセス処理装置での処理が終わり、他のプロセス処理
装置へウエハを搬送した後次のウエハを該プロセス処理
装置に搬送する処理以外は前記「２カセット１レシピ並
列運転」と同じある。該ウエハの又、クリーニング処理
については、上記１）と同様である。
【００８５】４）１カセット１レシピ直列運転 この運転では、同一のプロセス処理条件（レシピ）で処
理するウエハが収納されたカセット内の最下段もしくは
最上段のウエハから順番にカセットから抜き出し搬送処
理装置に搬入しプロセス処理をすることは前記「１カセ
ット１レシピ並列運転」の場合と同じである。ところが
ウエハの処理経路は前記「１カセット１レシピ並列運
転」の場合と異なる。本「１カセット１レシピ直列運
転」では、ウエハはプロセス処理装置２−２（もしくは
プロセス処理装置２−３）でエッチング処理した後、更
にプロセス処理装置２−３（もしくはプロセス処理装置
２−２）でエッチング処理した後、プロセス処理装置２
−１（もしくはプロセス処理装置２−４）で後処理をし
て元のカセットに戻す経路（この経路Ｅという）で処理
する。
【００８６】ウエハの処理は、１枚目のウエハは経路
Ｅ、２枚目は経路Ｅ、３枚目のウエハは経路Ｅ、４枚目
は経路Ｅ、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。カセット７−１内の全てを処理終了する
とカセット７−１の処理終了とカセット交換をオペレー
タに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴ら
す。
【００８７】この時迄にカセット７−２が設置されてあ
れば、カセット７−１の処理終了に引き続きカセット７
−２の処理に移る。カセット７−２についてもカセット
７−１の場合と同じ順序で処理を行い、カセット７−２
内の全てウエハを処理終了するとカセット７−２の処理
終了とカセット交換をオペレータに通報する為にこの図
に示していないブザーを鳴らす。この時迄にカセット７
−１が設置されてあれば、カセット７−２の処理終了に
引き続きカセット７−１の処理に移る。以降この運転サ
イクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合は、主
制御部１１から運転終了の操作入力を行う事で運転が終
了する。終了方法は前記「１カセット１レシピ並列運
転」の場合と同じである。又、クリーニング処理につい
ては、上記１）と同様である。
【００８８】以上、１）から４）の運転方法は、代表事
例について説明したもので、カセット、レシピと、並列
／直列運転の組み合わせとにより他の運転方法が考えら
れ、本発明は上記１）から４）の運転方法に限定される
ものではない。
【００８９】図１１は、異常発生後の自動経路変更の処
理図を示す。図１１のＡは図５の「１カセット１レシピ
並列運転」の運転モードであり、ウエハの搬送経路が次
の様になっている。
【００９０】カセット７−１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ
２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ ここで、Ｅ２では（Ｎ）枚目のウエハがエッチング処理
中でＡ１では（Ｎ−１）枚目のウエハが後処理中の時
に、図１１のＢに示すようにＡ２で異常が発生すると、
以降は運転モードの処理経路からＡ２を使用しないで、
運転を続行する。すなわち、図１１のＣに示すようにウ
エハの後処理はすべてＡ１で処理する。
【００９１】カセット７−１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ
１ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ１にて運転で
きる。
【００９２】この実施例によれば、「１カセット１レシ
ピ並列運転」時に、１レシピ運転を構成する１つのペア
の処理室のいずれか１つが故障した場合、ペア関係を解
除し、１つのペアを構成していた有効な処理室を、他の
ペアを構成していた処理室と組み合わせて、新たな搬送
経路を構成して処理するので、故障時の効率低下を低く
抑えることが出来る。
【００９３】たとえば、故障した処理室が後処理室であ
り、エッチング処理に比べて後処理の所要時間が１／２
であったとすると、故障していない２つの処理室と１つ
の後処理室を使うことで、全体の処理時間に殆ど影響を
及ぼすことなく、処理を行うことが出来る。
【００９４】また、前記判断で１組のプロセス処理装置
のエッチング処理を行うプロセス処理装置と、他の１組
のプロセス処理装置のうち後処理を行うプロセス処理装
置が運転無効の場合、運転無効のプロセス処理装置を切
り放し、他の１組のエッチング処理を行うプロセス処理
装置と、１組の後処理を行うプロセス処理装置とを使用
して、一連のプロセス処理を行うための１組の処理経路
を再構築し、この１組の処理経路を使って前記ウェハの
処理を行うようにしても良い。
【００９５】さらに、図１２は、復旧レシピのリトライ
を説明する図である。図１２のＡは図５の「１カセット
１レシピ並列運転」の運転モードである。図１２のＢに
示すように、処理室（Ｅ２）に異常が発生した場合、オ
ペレーターは、次の残存ウエハの処理条件のいずれかを
選択し、次の様なリトライを行う。
【００９６】（１）処理中断時間からリトライして、処
理を継続する。
【００９７】（２）異常発生したウエハについてのみ、
復旧用のレシピで処理し、次のウエハからは、元のレシ
ピで処理を継続する。
【００９８】（３）異常の発生したウエハを搬出し、次
のウエハを搬入して処理を継続する。
【００９９】（４）異常の発生したウエハを搬出し、元
のカセットに回収した後、異常の発生した処理経路を自
動運転から切り離して処理を継続する。
【０１００】（５）メンテナンスモードにして、運転を
中断する。
【０１０１】このように、異常発生時、機械的に処理す
るのではなく、オペレーターがエラーのないように応じ
て残存ウエハの処理条件を選択できるため、装置の状況
に即した適切な回復処置を採用することができる。
【０１０２】オペレーターの判断を助けるために、異常
発生時に真空処理装置の状態に関する出来るだけ多くの
情報を、表示手段１３、２６に表示するのが望ましい。
【０１０３】なお、残存ウエハの処理条件は、上記した
５つに限定されるものではなく、必要に応じて適宜変更
すればよい。
【０１０４】次に、図１３は、パラレル処理時にＡ２で
異常が発生したことに伴う、邪魔なウエハーの回収を説
明する図である。図１３のＡは図５の「１カセット１レ
シピ並列運転」の運転モードである。図１３のＢにおい
て、カセット７−１から異常が発生した処理室（Ｅ２）
に搬送予定のウエハは、真空ロボット５を使って、図１
３のＣに示すように、アンロードロック室４を経由して
元のカセットカセット７−１に戻される。そして、図１
３のＤに示すように、運転モードの処理経路から処理室
Ｅ２とＡ２を切り離した状態で、運転継続する。
【０１０５】次に、図１４は、メンテナンスモードから
の自動運転復帰を説明する図である。図１４のＡは図５
での「１カセット１レシピ並列運転」の運転モードであ
り、ウエハの搬送経路が次の様になっている。
【０１０６】カセット７−１：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ
２ カセット７−２：Ｅ１→Ａ１及びＥ２→Ａ２ ここで、Ｅ２では（Ｎ）枚目のウエハがエッチング処理
中であり、Ａ１では（Ｎ−１）枚目のウエハが後処理中
の時に、図１４のＢに示すように処理室Ｅ２で異常が発
生したものとする。この状態で、エッチング処理は終了
し、Ａ１の（Ｎ−１）枚目のウエハは後処理終了後、ア
ンロードロック室４に搬出しないで自動運転を一時中断
する。
【０１０７】その後、図１４のＣに示すように、異常が
発生した処理室Ｅ２のウエハをカセット７−２に回収す
る。そして、Ｅ２、Ａ２については図８の運転情報信号
発生手段による切替操作（ステップ８０）を行い、図３
で示したようにプロセス処理装置４（Ａ２）の運転情報
を「無効：０」とする。この後異常発生情報をリセット
（図８の８２）し、自動運転を継続する。
【０１０８】再開後は、図１４のＤのようにＡ２の（Ｎ
−１）枚目のウエハはアンロードロック室４に搬送さ
れ、以降は運転モードの処理経路からＥ２、Ａ２を使用
しないで、運転を続行する。
【０１０９】次に、運転情報を「無効：０」としたプロ
セス処理装置４（Ａ２）については、補助操作盤２２を
使って異常原因を究明する為に、プロセス処理装置４
（Ａ２）に対して機器動作を行う為の操作入力が行え
る。例えば、プロセス処理装置４（Ａ２）内の本図に示
していないウエハ押し上げ操作を行い動作を確認する。
【０１１０】このような操作により異常原因を対策で
き、「無効：０」としたプロセス処理装置４（Ａ２）を
ウエハの処理経路に復帰させる。
【０１１１】上記実施例では、自動運転中にＥ２とＡ２
を自動運転処理経路から切り離す手段として運転停止操
作により停止指示を出すことで切り離しを行ったが、別
の方法として処理装置内に組み込んだ検出器の機能によ
って停止指示を出すこともできる。一例としては、処理
装置内に組み込んだ異物モニタ装置からの異物測定モニ
タ値が運転前に設定した設定値を超過したことを検知
し、この超過した信号をもって自動運転中にＥ２とＡ２
に停止指示を出すことで運転停止操作と同じ機能を行え
る。
【０１１２】次に、図１５は、シリーズエージングを説
明する図である。エージングウエハは、図１５のＡに示
すとおりシリーズに搬送してエージングを進めても良い
し、Ｂに示すとおり同時に２枚、搬送してエージングを
並行して進めても良い。エージングを並行して行うこと
により、エージングの時間を短縮することができる。
【０１１３】以上述べたとおり、本発明の実施例によれ
ば、自動運転中にその処理に使用していない処理室を使
った処理、及びその処理室への操作ができ片肺運転を実
行することができる。
【０１１４】図１６は、本発明の別の一実施例あり、プ
ロセス処理装置が搬送処理装置に４室接続され、処理装
置にウエハを搬入する為のカセットは処理装置本体内の
ロードロック室３Ａに設置し、カセットから１枚ずつ取
り出し処理装置に搬入し処理する装置構成図を示す。プ
ロセス処理装置がこれ以上接続されても構わない。装置
構成としては図１に示す構成からウェハを収納したカセ
ットを設置するための大気搬送装置６、大気ロボット８
を削除したものである。ウエハのカセットからの搬出が
ロードロック室３Ａからとなり、カセットへの収納がア
ンロードロック室４Ａとなる以外の各機器の機能及び構
成は図１と同じである。
【０１１５】また、クリーニング処理としては、クリー
ニング用ウエハを収納したカセットをロードロック室３
Ａ（又はアンロードロック室４Ａ）に設置し、クリーニ
ング用ウエハをプロセス処理装置２−１、２−２、２−
３、２−４に搬出し、クリーニング処理を行って元のカ
セットに戻す。
【０１１６】また運転モードにおいては、 １）１カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（レシピ）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬
入しプロセス処理をするものである。ウエハは、プロセ
ス処理装置２−２でエッチング処理した後プロセス処理
装置２−１で後処理をして元のカセットに戻す経路（こ
の経路Ａという）と、プロセス処理装置２−３でエッチ
ング処理した後プロセス処理装置２−４で後処理をして
元のカセットに戻す経路（この経路Ｂという）の両方を
使って処理する。
【０１１７】この実施例での処理順序は 経路Ａ：ロードロック室３Ａ内カセット７−１Ａ→プロ
セス処理装置２−２→プロセス処理装置２−１→アンロ
ードロック室４Ａ内カセット７−２Ａ 経路Ｂ：ロードロック室３Ａ内カセット７−１Ａ→プロ
セス処理装置２−３→プロセス処理装置２−４→アンロ
ードロック室４Ａ内カセット７−２Ａ 又は、 経路Ｃ：ロードロック室３Ａ内カセット７−１Ａ→プロ
セス処理装置２−２→プロセス処理装置２−４→アンロ
ードロック室４Ａ内カセット７−２Ａ 経路Ｄ：ロードロック室３Ａ内カセット７−１Ａ→プロ
セス処理装置２−３→プロセス処理装置２−１→アンロ
ードロック室４Ａ内カセット７−２Ａ の組み合わせであっても良い。また上記処理順序では処
理したウエハはアンロードロック室４Ａ内カセット７−
２Ａに戻したがウエハを取り出したロードロック室３Ａ
内カセット７−１Ａに戻すこともできる。
【０１１８】本実施例では経路Ａと経路Ｂを並行してロ
ードロック室３Ａ内のカセット７−１Ａから抜き出した
ウエハはアンロードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａ
に戻す処理の例を示す。ウエハの処理は、１枚目のウエ
ハは経路Ａ、２枚目は経路Ｂ、３枚目のウエハは経路
Ａ、４枚目は経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の
最終ウエハ迄処理を行う。ロードロック室３Ａ内カセッ
ト７−１Ａ内の全てを処理終了するとロードロック室内
カセットとアンロードロック４Ａ室内カセット７−２Ａ
の処理終了とカセット交換をオペレータに通報する為に
この図に示していないブザーを鳴らす。次に新たな未処
理ウエハの入ったカセットをロードロック室３Ａに、空
のカセットをアンロードロック室４Ａ設置して、以降こ
の運転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場
合は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行う事で
運転が終了する。終了方法は前記「１カセット１レシピ
並列運転」の場合と同じである。
【０１１９】２）２カセット１レシピ並列運転 同一のプロセス処理条件（以下では、プロセス処理条件
をレシピと称する）で処理するウエハが収納されたカセ
ット内の最下段もしくは最上段のウエハから順番にカセ
ットから抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処
理をするものである。
【０１２０】前記の「１カセット１レシピ並列運転」の
場合は、同一カセットから順次ウエハを抜き出しプロセ
ス処理装置に搬入しプロセス処理を実施し、そのカセッ
トのウエハを全て終了した後次のカセットのウエハの処
理に移ったが、本「２カセット１レシピ並列運転」で
は、ロードロック室３Ａ内のカセット７−１Ａとアンロ
ードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａから交互にウエ
ハを抜き出しプロセス処理装置に搬入しプロセス処理を
実施する。ウエハの処理経路は前記の「１カセット１レ
シピ並列運転」の場合と同様に、プロセス処理装置２−
２でエッチング処理した後プロセス処理装置２−１で後
処理をして元のカセットに戻す経路（この経路Ａとい
う）と、プロセス処理装置２−３でエッチング処理した
後、プロセス処理装置２−４で後処理をして元のカセッ
トに戻す経路（この経路Ｂという）の両方を使って処理
する。
【０１２１】この実施例での処理順序の経路Ａ、Ｂもし
くは経路Ｃ、Ｄについては前記前記「１カセット１レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。
【０１２２】ウエハの処理は、１枚目のウエハはロード
ロック室３Ａ内のカセット７−１Ａからの１枚目を経路
Ａ、２枚目はアンロードロック室内のカセットからの１
枚目を経路Ｂ、３枚目のウエハはロードロック室３Ａ内
のカセット７−１Ａからの２枚目を経路Ａ、４枚目はア
ンロードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａからの２枚
目を経路Ｂ、・・・という順序でカセット内の最終ウエ
ハ迄処理を行う。ロードロック室３Ａ内もしくはアンロ
ードロック室４Ａカセット７−２Ａ内の全てのウエハを
処理終了するとロードロック室３Ａ内（またはアンロー
ドロック室４Ａ内）カセットの処理終了とカセット交換
をオペレータに通報する為にこの図に示していないブザ
ーを鳴らす。この終了したカセットが取り除かれ新しい
カセットが設置されるまでは、他方のカセット側の処理
のみ継続されている。新しいカセットが設置されると前
記のようにロードロック室３Ａ内とアンロードロック室
４Ａ内カセットから交互ににウエハを抜き出しプロセス
処理装置に搬入しプロセス処理を実施する。以降この運
転サイクル繰り返しを行う。この運転を終了する場合
は、主制御部１１から運転終了の操作入力を行う事で運
転が終了する。終了方法は前記「１カセット１レシピ並
列運転」の場合と同じである。
【０１２３】３）２カセット２レシピ並列運転 この運転では、ロードロック室３Ａ内のカセット７−１
Ａとアンロードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａとの
ウエハ処理レシピが異なる事がある。この場合、カセッ
ト７−１とカセット７−２からのウエハ搬出は交互では
なく、プロセス処理装置での処理が終わり、他のプロセ
ス処理装置へウエハを搬送した後次のウエハを該プロセ
ス処理装置に搬送する処理以外は前記「２カセット１レ
シピ並列運転」と同じある。該ウエハの又、クリーニン
グ処理については、上記１）と同様である。
【０１２４】４）１カセット１レシピ直列運転 この運転では、同一のプロセス処理条件（以下では、プ
ロセス処理条件をレシピと称する）で処理するウエハが
収納されたカセット内の最下段もしくは最上段のウエハ
から順番にカセットから抜き出しプロセス処理装置に搬
入しプロセス処理をすることは前記「１カセット１レシ
ピ並列運転」の場合と同じである。ところがウエハの処
理経路は、前記「１カセット１レシピ並列運転」の場合
と異なる。
【０１２５】本「１カセット１レシピ直列運転」では、
ウエハはプロセス処理装置２−２（もしくはプロセス処
理装置２−３）でエッチング処理した後、更にプロセス
処理装置２−３（もしくはプロセス処理装置２−２）で
エッチング処理した後、プロセス処理装置２−１（もし
くはプロセス処理装置２−４）で後処理をして元のカセ
ットに戻す経路（この経路Ｅという）で処理する。
【０１２６】本実施例では、経路Ｅでロードロック室３
Ａ内のカセット７−１Ａから抜き出したウエハはアンロ
ードロック室４Ａ内のカセット７−２Ａに戻す処理の例
を示す。
【０１２７】ウエハの処理は、１枚目のウエハは経路
Ｅ、２枚目は経路Ｅ、３枚目のウエハは経路Ｅ、４枚目
は経路Ｅ、・・・という順序でカセット内の最終ウエハ
迄処理を行う。カセット内の全てを処理終了するとロー
ドロック室３Ａ内カセット７−１Ａとアンロードロック
室４Ａ内カセット７−２Ａの処理終了と交換をオペレー
タに通報する為にこの図に示していないブザーを鳴ら
す。次に新たな未処理ウエハの入ったカセットをロード
ロック室３Ａに、空のカセットをアンロードロック室４
Ａに設置して、以降この運転サイクル繰り返しを行う。
この運転を終了する場合は、主制御部１１から運転終了
の操作入力を行う事で運転が終了する。終了方法は前記
「１カセット１レシピ並列運転」の場合と同じである。
【０１２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
２組以上のプロセス処理装置を使って処理する真空処理
装置により運転中に、どれかの処理室が故障等で使用で
きなくなった時に、各２組を構成するプロセス処理装置
の関係に拘束されず、正常な処理室を処理経路として使
って運転して稼働率を高めることのできる真空処理装置
の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができ
る。
【０１２９】また、クリーニング処理やエージング処理
に関しても、稼働率を高めることのできる真空処理装置
の運転方法及びウエハの処理方法を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による真空処理装置の一実施例を示す平
面図である。
【図２】図１の真空処理装置における装置制御手段の制
御構成図である。
【図３】図１の真空処理装置における装置制御手段の運
転情報信号を示す図である。
【図４】図１の真空処理装置における装置制御手段の処
理順序情報を示す図である。
【図５】図１の真空処理装置における、運転モードの説
明図である。
【図６】図１の真空処理装置における装置制御手段の自
動運転のフロー図である。
【図７】図１の真空処理装置における、経路指定方法の
説明図である。
【図８】図６の自動運転フローの詳細を示すフロー図で
ある。
【図９】図１の真空処理装置における、残存ウエハの処
理条件の例を示す図である。
【図１０】本発明によるクリーニング運転のフロー図で
ある。
【図１１】図１の真空処理装置における、異常発生時の
搬送経路変更の動作状態を示す図である。
【図１２】図１の真空処理装置における、復旧レシピ
の、リトライ処理時の状態を示す図である。
【図１３】図１の真空処理装置における、パラレル処理
時の邪魔ウエハの回収処理の動作状態を示す図である。
【図１４】図１の真空処理装置における、メンテナンス
モードからの自動運転時の状態を示す図である。
【図１５】本発明によるシリーズエージング処理時の状
態を示す図である。
【図１６】本発明による真空処理装置の他の実施例を示
す平面図である。
【符号の説明】
１…搬送処理装置、２−１、２、３、４…プロセス処理
装置、３、３Ａ…ロート゛ロック室、４、４Ａ…アンロ
ート゛ロック室、５…真空ロボット、６…大気搬送装
置、７…カセット、８…大気ロボット、１１…主制御
部、１２…中央制御手段、１３…表示手段、１４…入力
手段、１５…装置制御手段、１６…処理順序情報記憶手
段、１７…運転情報信号記憶手段、１９−１、２、３、
４…運転情報信号発生手段、２０、２１…通信手段、２
２…補助操作盤、２３…中央制御手段、２４…端末制御
手段、２５…入力手段、２６…表示手段、２７、２８…
ブレーカ、２９、３０…手動バルブ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中元 茂 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸事業所内 (72)発明者 沖口 昌司 山口県下松市大字東豊井794番地 日立テ クノエンジニアリング株式会社笠戸事業所 内 (72)発明者 山▲崎▼ 秀樹 山口県下松市大字東豊井794番地 日立テ クノエンジニアリング株式会社笠戸事業所 内 (72)発明者 西畑 廣治 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸事業所内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 MA04 MA06 MA09 MA23 PA04 PA05 5H223 AA05 CC08 DD03 EE06 9A001 BB05 HH34 JJ44 KK54

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
    理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
    を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
    送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
    装置の運転方法であって、各々前記一連のプロセス処理
    を行う複数のプロセス処理装置を含む少なくとも２組の
    ウエハの処理経路を有する真空処理装置の運転方法にお
    いて、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
    装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、 運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプ
    ロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、 該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハ
    の処理を行うことを特徴とする真空処理装置の運転方
    法。
  2. 【請求項２】前記一連の異なるプロセス処理を行う複数
    のプロセス処理装置の２組が、それぞれウエハの第一の
    処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置を含み、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
    装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 該判断で１組のプロセス処理装置のうち第二の処理を行
    うプロセス処理装置が運転無効の場合、該第二の処理を
    行うプロセス処理装置のみを切り放し、 ２つの第一の処理を行うプロセス処理装置と１つの第二
    の処理を行うプロセス処理装置とを使用して、前記一連
    のプロセス処理を行うための２組の処理経路を再構築
    し、 該２組の処理経路を前記ウェハの処理に使用することを
    特徴とする請求項１記載の真空処理装置の運転方法。
  3. 【請求項３】前記一連の異なるプロセス処理を行う複数
    のプロセス処理装置の２組が、それぞれウエハの第一の
    処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置を含み、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
    装置が、運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 該判断で１組のプロセス処理装置の第一の処理を行うプ
    ロセス処理装置と、他の１組のプロセス処理装置のうち
    第二の処理を行うプロセス処理装置が運転無効の場合、
    該運転無効のプロセス処理装置を切り放し、 前記他の１組の第一の処理を行うプロセス処理装置と、
    前記１組の第二の処理を行うプロセス処理装置とを使用
    して、前記一連のプロセス処理を行うための１組の処理
    経路を再構築し、 該１組の処理経路を前記ウェハの処理に使用することを
    特徴とする請求項１記載の真空処理装置の運転方法。
  4. 【請求項４】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
    理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
    を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
    送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
    装置の運転方法において、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
    装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プ
    ロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、 残存ウエハがある場合、予め設定された複数の処理条件
    のいずれかを選択可能とし、該選択された処理条件に従
    って前記残存ウエハの処理を行うことを特徴とする真空
    処理装置の運転方法。
  5. 【請求項５】前記残存ウエハの処理条件の選択肢の１つ
    として、異常の発生したウエハを搬出し元のカセットに
    回収した後異常の発生した処理経路を自動運転から切り
    離して処理を継続する、処理条件を含むことを特徴とす
    る請求項４記載の真空処理装置の運転方法。
  6. 【請求項６】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
    理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
    を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
    送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
    装置の運転方法において、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
    装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プ
    ロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、 残存ウエハがある場合、該残存ウエハの処理条件として
    次の（１）〜（５）を選択可能としたことを特徴とする
    真空処理装置の運転方法。 （１）処理中断時間からリトライして、処理を継続す
    る。 （２）異常発生したウエハについてのみ、復旧用のレシ
    ピで処理し、次のウエハからは、元のレシピで処理を継
    続する。 （３）異常の発生したウエハを搬出し、次のウエハを搬
    入して処理を継続する。 （４）異常の発生したウエハを搬出し、元のカセットに
    回収した後、異常の発生した処理経路を自動運転から切
    り離して処理を継続する。 （５）メンテナンスモードにして、運転を中断する。
  7. 【請求項７】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
    理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
    を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
    送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
    装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うた
    めの自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートす
    るものにおいて、 前記自動運転条件の設定において、カセットと処理室に
    関して複数のペア関係を固定してウエハを搬送するパラ
    レル処理経路または、前記カセットと処理室の対応関係
    を固定せずウエハを空いている方の処理室へ搬送する処
    理経路を設定可能としたことを特徴とする真空処理装置
    の運転方法。
  8. 【請求項８】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
    理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
    を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
    送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
    装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うた
    めの自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートす
    るものにおいて、 前記自動運転条件の設定において、処理経路の指定が無
    い場合、一連の異なるプロセス処理を行う複数のプロセ
    ス処理装置の組として、それぞれウエハの第一の処理及
    び第二の処理を行うプロセス処理装置のペアを含む処理
    経路を自動設定することを特徴とする真空処理装置の運
    転方法。
  9. 【請求項９】各ウエハに対して一連の異なるプロセス処
    理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬送
    を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び搬
    送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処理
    装置の運転方法であって、前記各プロセス処理を行うた
    めの自動運転条件を設定した後、自動運転をスタートす
    るものにおいて、 前記自動運転条件の設定において、それぞれウエハの第
    一の処理及び第二の処理を行うプロセス処理装置の１組
    または２組のペアについて、１回の処理ごとに、使用す
    るプロセス処理装置を交互に切り替えることを特徴とす
    る真空処理装置の運転方法。
  10. 【請求項１０】プロセス処理を行う複数のプロセス処理
    装置と、ウェハの搬送を行う搬送処理装置と、これらを
    制御する制御装置とで構成され、少なくとも２つ以上の
    プロセス処理装置が搬送処理装置に取り付けられ、該２
    つ以上のプロセス処理装置を使ってウェハ処理する真空
    処理装置の運転方法であって、 前記カセット内のウエハ処理を開始する前に、２つのプ
    ロセス処理装置にダミ−ウエハを同時に２枚搬送して、
    エージング処理を並行に行う、ことを特徴とする真空処
    理装置の運転方法。
  11. 【請求項１１】各ウエハに対して一連の異なるプロセス
    処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬
    送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び
    搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処
    理装置によるウエハの処理方法であって、各々前記一連
    のプロセス処理を行う複数のプロセス処理装置を含む少
    なくとも２組のウエハの処理経路を有する真空処理装置
    によるウエハの処理方法において、 前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス処理
    装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 該判断で運転無効のプロセス処理装置のみを切り放し、
    運転有効のプロセス処理装置を使用して、前記一連のプ
    ロセス処理を行うための前記処理経路を再構築し、 該運転有効なプロセス処理装置のみを使って前記ウェハ
    を処理することを特徴とする真空処理装置によるウエハ
    の処理方法。
  12. 【請求項１２】各ウエハに対して一連の異なるプロセス
    処理を行う複数のプロセス処理装置と、前記ウェハの搬
    送を行う搬送処理装置と、前記各プロセス処理装置及び
    搬送処理装置を制御する制御装置とで構成された真空処
    理装置によるウエハの処理方法において、 前記前記各プロセス処理を行うための各組の各プロセス
    処理装置が運転有効又は運転無効かの状態判断を行い、 前記プロセス処理装置に運転無効が発生した場合、該プ
    ロセス処理装置に残存ウエハがある否かの判断を行い、 残存ウエハがある場合、予め設定された複数の処理条件
    のいずれかを選択可能とし、該選択された処理条件に従
    って前記残存ウエハの処理を行うことを特徴とする真空
    処理装置によるウエハの処理方法。
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