JP2743299B2 - 半導体用ウェハの管理装置 - Google Patents
半導体用ウェハの管理装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体用ウェハの管理装
置の改良に関する。特に、半導体用ウェハの管理装置に
誤動作が発生した場合のウェハの管理・処理を簡易化す
ることができ、生産効率を向上することができる半導体
用ウェハの管理装置を提供することを目的とする改良に
関する。
置の改良に関する。特に、半導体用ウェハの管理装置に
誤動作が発生した場合のウェハの管理・処理を簡易化す
ることができ、生産効率を向上することができる半導体
用ウェハの管理装置を提供することを目的とする改良に
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術に係る半導体用ウェハの管理装
置について以下、図面を参照して説明する。
置について以下、図面を参照して説明する。
【０００３】図４は半導体製造工程のうち例えばエッチ
ング工程における半導体製造装置とウェハ管理装置の構
成説明図である。 図４参照 図において、３はエッチング工程全般におけるウェハ処
理・搬送状況の監視とウェハの処理結果の集積とを行う
総合マイクロコンピュータであり、４はそれぞれの処理
装置及び搬送装置に設けられ、それぞれ各個のプログラ
ムにもとづいて制御されるマイクロコンピュータであ
る。５はエッチング処理装置であり、６はウェット処理
装置である。７は上記のエッチング処理装置５とウェッ
ト処理装置６との中間に設置されるウェハ搬送装置であ
る。
ング工程における半導体製造装置とウェハ管理装置の構
成説明図である。 図４参照 図において、３はエッチング工程全般におけるウェハ処
理・搬送状況の監視とウェハの処理結果の集積とを行う
総合マイクロコンピュータであり、４はそれぞれの処理
装置及び搬送装置に設けられ、それぞれ各個のプログラ
ムにもとづいて制御されるマイクロコンピュータであ
る。５はエッチング処理装置であり、６はウェット処理
装置である。７は上記のエッチング処理装置５とウェッ
ト処理装置６との中間に設置されるウェハ搬送装置であ
る。
【０００４】つぎに、上記の総合マイクロコンピュータ
とそれぞれの処理装置・搬送装置に設けられるマイクロ
コンピュータについて詳細する。図５は従来技術に係る
半導体ウェハの管理装置の構成と総合マイクロコンピュ
ータ及びそれぞれのマイクロコンピュータが管理する管
理内容を示す図である。
とそれぞれの処理装置・搬送装置に設けられるマイクロ
コンピュータについて詳細する。図５は従来技術に係る
半導体ウェハの管理装置の構成と総合マイクロコンピュ
ータ及びそれぞれのマイクロコンピュータが管理する管
理内容を示す図である。
【０００５】図に示すように、それぞれの処理装置・搬
送装置に設けられるマイクロコンピュータは、設置され
た装置の管理テーブルにもとづき装置の動作状況を管理
する装置管理と、それぞれの装置におけるウェハ処理の
パラメータ管理テーブルにもとづくウェハ処理管理と、
ウェハの状態（処理前にあるか、処理中にあるか、処理
完了状態か）管理テーブルにもとづくウェハ状態管理と
を管理内容とし、また、総合マイクロコンピュータは、
上記の個々のマイクロコンピュータから転送される管理
情報にもとづき、工程全般における各装置の動作状況の
総括的管理（装置管理）と、工程全般における各装置の
ウェハ処理パラメータの総括的管理（ウェハ処理管理）
と、それぞれのウェハの所在及び状態の総括的管理（ウ
ェハ状態管理）とを管理内容とする。上記のウェハ状態
管理は、どの番号のウェハがどの装置にあるかを示す管
理テーブル（図６）と各装置内ウェハの状態（処理前か
処理中か処理された後か）を示す状態管理テーブル（図
７）とウェハが搬送途上どの位置にあるかを示す搬送管
理テーブル（図８）とにもとづいて実行される。
送装置に設けられるマイクロコンピュータは、設置され
た装置の管理テーブルにもとづき装置の動作状況を管理
する装置管理と、それぞれの装置におけるウェハ処理の
パラメータ管理テーブルにもとづくウェハ処理管理と、
ウェハの状態（処理前にあるか、処理中にあるか、処理
完了状態か）管理テーブルにもとづくウェハ状態管理と
を管理内容とし、また、総合マイクロコンピュータは、
上記の個々のマイクロコンピュータから転送される管理
情報にもとづき、工程全般における各装置の動作状況の
総括的管理（装置管理）と、工程全般における各装置の
ウェハ処理パラメータの総括的管理（ウェハ処理管理）
と、それぞれのウェハの所在及び状態の総括的管理（ウ
ェハ状態管理）とを管理内容とする。上記のウェハ状態
管理は、どの番号のウェハがどの装置にあるかを示す管
理テーブル（図６）と各装置内ウェハの状態（処理前か
処理中か処理された後か）を示す状態管理テーブル（図
７）とウェハが搬送途上どの位置にあるかを示す搬送管
理テーブル（図８）とにもとづいて実行される。
【０００６】上記の従来技術に係るウェハ管理装置にお
いては、万一、搬送エラーか障害等が発生して、ウェハ
が割れる等の異常状態が起きた場合には、一旦、装置を
停止し、割れたウェハの代わりに新しいウェハを入れ換
えて、当初、予定していた装置内ウェハの枚数を維持
し、健全なウェハの順番を崩さぬようにしてウェハの管
理を行うか、または、装置内でウェハを逆搬送させてウ
ェハ全てを回収し、最初から遣り直す等の処理を行って
いる。
いては、万一、搬送エラーか障害等が発生して、ウェハ
が割れる等の異常状態が起きた場合には、一旦、装置を
停止し、割れたウェハの代わりに新しいウェハを入れ換
えて、当初、予定していた装置内ウェハの枚数を維持
し、健全なウェハの順番を崩さぬようにしてウェハの管
理を行うか、または、装置内でウェハを逆搬送させてウ
ェハ全てを回収し、最初から遣り直す等の処理を行って
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来技
術に係る半導体用ウェハの管理装置においては、搬送エ
ラーか障害等が発生して、ウェハに異常状態が起きた場
合、処理を一旦停止し、この異常状態が起きたウェハを
新しいウェハと入れ換えるか、ウェハを逆搬送させてウ
ェハ全てを回収し最初から遣り直す等の処理を行わなけ
れば製造続行が不可能であり、この異常解消の処理に長
時間を要し、生産効率が著しく低下すると云う欠点があ
る。
術に係る半導体用ウェハの管理装置においては、搬送エ
ラーか障害等が発生して、ウェハに異常状態が起きた場
合、処理を一旦停止し、この異常状態が起きたウェハを
新しいウェハと入れ換えるか、ウェハを逆搬送させてウ
ェハ全てを回収し最初から遣り直す等の処理を行わなけ
れば製造続行が不可能であり、この異常解消の処理に長
時間を要し、生産効率が著しく低下すると云う欠点があ
る。
【０００８】本発明の目的は、この欠点を解消すること
にあり、半導体用ウェハの管理装置に誤動作が発生した
場合のウェハの管理・処理を簡易化することができ、生
産効率を向上することができる半導体用ウェハの管理装
置を提供することにある。
にあり、半導体用ウェハの管理装置に誤動作が発生した
場合のウェハの管理・処理を簡易化することができ、生
産効率を向上することができる半導体用ウェハの管理装
置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的は、下記いず
れの手段をもっても達成される。
れの手段をもっても達成される。
【００１０】第１の手段は、それぞれが各個プログラム
にもとづいて制御されるマイクロコンピュータによって
制御される複数の処理装置または搬送装置が順次動作す
るように設置され、総合プログラムにもとづいて制御さ
れる総合マイクロコンピュータによって総合制御されて
いる半導体用ウェハの管理装置において、誤動作が発生
した場合は、一旦、前記の半導体用ウェハの管理装置の
動作を停止させ、作業員が手動操作をもって前記の半導
体用ウェハの管理装置の異常状態を解消させ、さらにこ
の異常状態が存在し解消されたウェハの番号を総合マイ
クロコンピュータに手動入力し、その後、前記の総合マ
イクロコンピュータは、前記の作業員によって異常が解
消された状態に、自己の記録データを変更し、この変更
された記録データにもとづいて、前記の総合プログラム
を再開して完了する半導体用ウェハの管理装置である。
にもとづいて制御されるマイクロコンピュータによって
制御される複数の処理装置または搬送装置が順次動作す
るように設置され、総合プログラムにもとづいて制御さ
れる総合マイクロコンピュータによって総合制御されて
いる半導体用ウェハの管理装置において、誤動作が発生
した場合は、一旦、前記の半導体用ウェハの管理装置の
動作を停止させ、作業員が手動操作をもって前記の半導
体用ウェハの管理装置の異常状態を解消させ、さらにこ
の異常状態が存在し解消されたウェハの番号を総合マイ
クロコンピュータに手動入力し、その後、前記の総合マ
イクロコンピュータは、前記の作業員によって異常が解
消された状態に、自己の記録データを変更し、この変更
された記録データにもとづいて、前記の総合プログラム
を再開して完了する半導体用ウェハの管理装置である。
【００１１】第２の手段は、それぞれが各個プログラム
にもとづいて制御されるマイクロコンピュータによって
制御される複数の処理装置または搬送装置が順次動作す
るように設置され、総合プログラムにもとづいて制御さ
れる総合マイクロコンピュータによって総合制御されて
いる半導体用ウェハの管理装置において、この動作が発
生した場合は、一旦、前記の半導体用ウェハの管理装置
の動作を停止させ、作業員が手動操作をもって前記の半
導体用ウェハの管理装置の異常状態を解消させ、その
後、前記の総合マイクロコンピュータは、前記の作業員
によって異常が解消された状態に、自己の記録データを
自動変更し、この変更された記録データにもとづいて、
前記の総合プログラムを再開して完了する半導体用ウェ
ハの管理装置である。
にもとづいて制御されるマイクロコンピュータによって
制御される複数の処理装置または搬送装置が順次動作す
るように設置され、総合プログラムにもとづいて制御さ
れる総合マイクロコンピュータによって総合制御されて
いる半導体用ウェハの管理装置において、この動作が発
生した場合は、一旦、前記の半導体用ウェハの管理装置
の動作を停止させ、作業員が手動操作をもって前記の半
導体用ウェハの管理装置の異常状態を解消させ、その
後、前記の総合マイクロコンピュータは、前記の作業員
によって異常が解消された状態に、自己の記録データを
自動変更し、この変更された記録データにもとづいて、
前記の総合プログラムを再開して完了する半導体用ウェ
ハの管理装置である。
【００１２】
【作用】本発明に係る半導体用ウェハの管理装置におい
ては、総合マイクロコンピュータに自己の有する管理デ
ータを補正する機能が追加して付与されており、また、
それぞれの処理装置・搬送装置のマイクロコンピュータ
には、総合マイクロコンピュータから転送される補正さ
れた管理データにしたがって自己の有する管理データを
補正する機能が追加して付与されている。そして、万
一、搬送エラーか障害が発生して、ウェハが割れる等の
異常状態が起きたときに、この異常状態が作業員等によ
って解消された後、上記の異常状態が発生したウェハの
番号を総合マイクロコンピュータに手動または自動で入
力し、総合マイクロコンピュータは上記の異常状態が解
消された新たな状態に自己の管理データを補正する（例
えば異常状態が発生したウェハの番号を欠番扱いとす
る）。そして、この補正された管理データはそれぞれの
処理装置・搬送装置のマイクロコンピュータに伝送さ
れ、この伝送された管理データにしたがって上記の各装
置のマイクロコンピュータの管理データが補正され、ウ
ェハの処理・搬送が再開される。
ては、総合マイクロコンピュータに自己の有する管理デ
ータを補正する機能が追加して付与されており、また、
それぞれの処理装置・搬送装置のマイクロコンピュータ
には、総合マイクロコンピュータから転送される補正さ
れた管理データにしたがって自己の有する管理データを
補正する機能が追加して付与されている。そして、万
一、搬送エラーか障害が発生して、ウェハが割れる等の
異常状態が起きたときに、この異常状態が作業員等によ
って解消された後、上記の異常状態が発生したウェハの
番号を総合マイクロコンピュータに手動または自動で入
力し、総合マイクロコンピュータは上記の異常状態が解
消された新たな状態に自己の管理データを補正する（例
えば異常状態が発生したウェハの番号を欠番扱いとす
る）。そして、この補正された管理データはそれぞれの
処理装置・搬送装置のマイクロコンピュータに伝送さ
れ、この伝送された管理データにしたがって上記の各装
置のマイクロコンピュータの管理データが補正され、ウ
ェハの処理・搬送が再開される。
【００１３】したがって、搬送エラーか障害が発生して
ウェハに異常状態が起きても、従来技術における、新し
いウェハと入れ換えるとか、ウェハを逆搬送させてウェ
ハ全てを回収し最初から遣り直す等の処理をする必要が
ないので、従来技術に比べ極めて短時間でウェハの処理
・搬送を再開することができる。
ウェハに異常状態が起きても、従来技術における、新し
いウェハと入れ換えるとか、ウェハを逆搬送させてウェ
ハ全てを回収し最初から遣り直す等の処理をする必要が
ないので、従来技術に比べ極めて短時間でウェハの処理
・搬送を再開することができる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照しつゝ、本発明の１実施例
に係る半導体用ウェハの管理装置について説明する。
に係る半導体用ウェハの管理装置について説明する。
【００１５】本実施例は半導体製造工程のうち例えばエ
ッチング工程における半導体用ウェハの管理装置であ
る。エッチング工程においては、半導体用ウェハはエッ
チング処理装置においてエッチング処理された後、第１
の搬送装置によって搬送されてウェット処理装置に搬入
され、ウェット処理装置においてウェット処理された
後、第２の搬送装置によって搬送されて再びエッチング
処理装置に戻る。この工程は図４に示す従来技術の場合
と同一である。そして、上記の処理装置・搬送装置には
それぞれ各個のプログラムにもとづいて制御されるマイ
クロコンピュータが設けられ、また、これらマイクロコ
ンピュータの上位に総合マイクロコンピュータが設けら
れ、この総合マイクロコンピュータと上記の個々のコン
ピュータをもって半導体用ウェハの管理装置を構成して
いる。
ッチング工程における半導体用ウェハの管理装置であ
る。エッチング工程においては、半導体用ウェハはエッ
チング処理装置においてエッチング処理された後、第１
の搬送装置によって搬送されてウェット処理装置に搬入
され、ウェット処理装置においてウェット処理された
後、第２の搬送装置によって搬送されて再びエッチング
処理装置に戻る。この工程は図４に示す従来技術の場合
と同一である。そして、上記の処理装置・搬送装置には
それぞれ各個のプログラムにもとづいて制御されるマイ
クロコンピュータが設けられ、また、これらマイクロコ
ンピュータの上位に総合マイクロコンピュータが設けら
れ、この総合マイクロコンピュータと上記の個々のコン
ピュータをもって半導体用ウェハの管理装置を構成して
いる。
【００１６】図１は本発明の１実施例に係る半導体用ウ
ェハの管理装置の構成と総合マイクロコンピュータ及び
それぞれのマイクロコンピュータが管理する管理内容を
示す図である。
ェハの管理装置の構成と総合マイクロコンピュータ及び
それぞれのマイクロコンピュータが管理する管理内容を
示す図である。
【００１７】図１参照 図において、１は総合マイクロコンピュータであり、２
はそれぞれの処理装置・搬送装置のマイクロコンピュー
タである。
はそれぞれの処理装置・搬送装置のマイクロコンピュー
タである。
【００１８】図に示すように、それぞれの処理装置・搬
送装置に設けられるマイクロコンピュータ２は、各個プ
ログラムにもとづいて、それが設置された装置の管理テ
ーブルにより装置の動作状況を管理する装置管理と、そ
れぞれの装置におけるウェハ処理のパラメータ管理テー
ブルによるウェハ処理管理と、ウェハの状態（処理前に
あるか、処理中にあるか、処理された後か）管理テーブ
ルによるウェハ状態管理と、搬送エラーか障害等の異常
状態が発生したときに総合マイクロコンピュータから転
送される補正データにしたがって自己の管理データを補
正する補正処理とを実行する。また、総合マイクロコン
ピュータ１は、総合プログラムにもとづいて、上記の個
々のマイクロコンピュータ２から転送される管理情報に
より工程全般における各装置の動作状況を総括的に管理
する装置管理と、工程全般における各装置のウェハ処理
パラメータを総括的に管理するウェハ処理管理と、それ
ぞれのウェハの所在及び状態を総括的に管理するウェハ
状態管理と、搬送エラーか障害等が発生してウェハが割
れる等の異常状態が起きたときに、手動または自動で入
力される異常状態発生ウェハの番号にもとづいて自己の
有する管理データを補正し、異常状態が解消した新たな
状態に管理データを変更して各装置のマイクロコンピュ
ータに転送する補正処理とを実行する。
送装置に設けられるマイクロコンピュータ２は、各個プ
ログラムにもとづいて、それが設置された装置の管理テ
ーブルにより装置の動作状況を管理する装置管理と、そ
れぞれの装置におけるウェハ処理のパラメータ管理テー
ブルによるウェハ処理管理と、ウェハの状態（処理前に
あるか、処理中にあるか、処理された後か）管理テーブ
ルによるウェハ状態管理と、搬送エラーか障害等の異常
状態が発生したときに総合マイクロコンピュータから転
送される補正データにしたがって自己の管理データを補
正する補正処理とを実行する。また、総合マイクロコン
ピュータ１は、総合プログラムにもとづいて、上記の個
々のマイクロコンピュータ２から転送される管理情報に
より工程全般における各装置の動作状況を総括的に管理
する装置管理と、工程全般における各装置のウェハ処理
パラメータを総括的に管理するウェハ処理管理と、それ
ぞれのウェハの所在及び状態を総括的に管理するウェハ
状態管理と、搬送エラーか障害等が発生してウェハが割
れる等の異常状態が起きたときに、手動または自動で入
力される異常状態発生ウェハの番号にもとづいて自己の
有する管理データを補正し、異常状態が解消した新たな
状態に管理データを変更して各装置のマイクロコンピュ
ータに転送する補正処理とを実行する。
【００１９】上記の異常状態発生時の管理データ補正の
フローチャートを図２・図３に示す。 図２・図３参照 図２は、総合マイクロコンピュータにおける補正のフロ
ーチャートであり、図３は、各装置のマイクロコンピュ
ータにおける補正のフローチャートである。
フローチャートを図２・図３に示す。 図２・図３参照 図２は、総合マイクロコンピュータにおける補正のフロ
ーチャートであり、図３は、各装置のマイクロコンピュ
ータにおける補正のフローチャートである。
【００２０】総合マイクロコンピュータにおける補正の
フローチャートは下記のとおりである。異常状態が解消
された状態におけるウェハの状態管理情報を収集する
（ａ）。
フローチャートは下記のとおりである。異常状態が解消
された状態におけるウェハの状態管理情報を収集する
（ａ）。
【００２１】異常状態発生以前に記憶されていた各装置
毎のウェハ状態管理情報を上記の収集した管理情報にも
とづいて補正し、補正した管理データを作業領域に作成
する（ｂ）。
毎のウェハ状態管理情報を上記の収集した管理情報にも
とづいて補正し、補正した管理データを作業領域に作成
する（ｂ）。
【００２２】作業領域のデータを各装置のマイクロコン
ピュータに転送し、修正要求する（ｃ）。再度、各装置
のマイクロコンピュータのウェハ状態管理情報を収集す
る（ｄ）。
ピュータに転送し、修正要求する（ｃ）。再度、各装置
のマイクロコンピュータのウェハ状態管理情報を収集す
る（ｄ）。
【００２３】各装置のマイクロコンピュータのウェハ状
態管理情報が補正されたか判断し、補正されていなけれ
ば工程（ａ）以降を繰り返す（ｅ）。補正されているな
らば、作業領域のデータを管理テーブルにコピーし、補
正を完了して、ウェハの処理・搬送を再開する（ｆ）。
態管理情報が補正されたか判断し、補正されていなけれ
ば工程（ａ）以降を繰り返す（ｅ）。補正されているな
らば、作業領域のデータを管理テーブルにコピーし、補
正を完了して、ウェハの処理・搬送を再開する（ｆ）。
【００２４】各装置のマイクロコンピュータにおける補
正のフローチャートは下記のとおりである。異常状態が
解消された状態におけるウェハの状態管理情報を総合マ
イクロコンピュータに転送する（ａ）。
正のフローチャートは下記のとおりである。異常状態が
解消された状態におけるウェハの状態管理情報を総合マ
イクロコンピュータに転送する（ａ）。
【００２５】総合マイクロコンピュータから補正された
管理データを受信する（ｂ）。自己のウェハ状態管理情
報と受信した管理データが一致するか判断する（ｃ）。
管理データを受信する（ｂ）。自己のウェハ状態管理情
報と受信した管理データが一致するか判断する（ｃ）。
【００２６】一致していれば、総合マイクロコンピュー
タから転送されて来た補正データをウェハ状態管理テー
ブルにコピーする（ｄ）。一致していない場合及び上記
の（ｄ）工程でコピーが終了したら、総合マイクロコン
ピュータにウェハの管理情報を転送する（ｅ）。
タから転送されて来た補正データをウェハ状態管理テー
ブルにコピーする（ｄ）。一致していない場合及び上記
の（ｄ）工程でコピーが終了したら、総合マイクロコン
ピュータにウェハの管理情報を転送する（ｅ）。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る半導
体用ウェハの管理装置は、それぞれの各個プログラムに
もとづいてウェハ処理装置または搬送装置を制御するマ
イクロコンピュータと、この上位にあって総合プログラ
ムにもとづいて制御される総合マイクロコンピュータと
よりなり、それぞれの装置に設けられたマイクロコンピ
ュータは、それぞれ装置管理とウェハ処理管理とウェハ
状態管理に追加して、異常状態発生時に自己のウェハ状
態管理テーブルのデータを補正する補正処理を実行し、
また、総合マイクロコンピュータは当該工程全般にわた
る総括的な装置管理と総括的なウェハ処理管理と総括的
なウェハ状態管理に追加して、異常状態発生時に自己の
総括的管理テーブルのデータを補正する補正処理を実行
することゝされているので、異常状態発生時に、従来技
術における、割れ等の異常が発生したウェハを新しいウ
ェハと入れ換えるとか、ウェハを逆搬送させてウェハ全
てを回収し最初から遣り直す等の処理をする必要がな
く、単に管理テーブルのデータを補正するのみで、ウェ
ハ処理工程を円滑に再開することが可能である。
体用ウェハの管理装置は、それぞれの各個プログラムに
もとづいてウェハ処理装置または搬送装置を制御するマ
イクロコンピュータと、この上位にあって総合プログラ
ムにもとづいて制御される総合マイクロコンピュータと
よりなり、それぞれの装置に設けられたマイクロコンピ
ュータは、それぞれ装置管理とウェハ処理管理とウェハ
状態管理に追加して、異常状態発生時に自己のウェハ状
態管理テーブルのデータを補正する補正処理を実行し、
また、総合マイクロコンピュータは当該工程全般にわた
る総括的な装置管理と総括的なウェハ処理管理と総括的
なウェハ状態管理に追加して、異常状態発生時に自己の
総括的管理テーブルのデータを補正する補正処理を実行
することゝされているので、異常状態発生時に、従来技
術における、割れ等の異常が発生したウェハを新しいウ
ェハと入れ換えるとか、ウェハを逆搬送させてウェハ全
てを回収し最初から遣り直す等の処理をする必要がな
く、単に管理テーブルのデータを補正するのみで、ウェ
ハ処理工程を円滑に再開することが可能である。
【００２８】したがって、本発明は、半導体用ウェハの
管理装置に誤動作が発生した場合のウェハの管理・処理
を簡易化することができ、生産効率を向上することがで
きる半導体用ウェハの管理装置を提供することができ
る。
管理装置に誤動作が発生した場合のウェハの管理・処理
を簡易化することができ、生産効率を向上することがで
きる半導体用ウェハの管理装置を提供することができ
る。
【図１】本発明の１実施例に係る半導体用ウェハの管理
装置の構成と管理内容説明図である。
装置の構成と管理内容説明図である。
【図２】異常状態発生時の総合マイクロコンピュータに
おける管理データ補正のフローチャートである。
おける管理データ補正のフローチャートである。
【図３】異常状態発生時の各装置のマイクロコンピュー
タにおける管理データ補正のフローチャートである。
タにおける管理データ補正のフローチャートである。
【図４】エッチング工程における半導体製造装置とウェ
ハ管理装置の構成説明図である。
ハ管理装置の構成説明図である。
【図５】従来技術に係る半導体用ウェハの管理装置の構
成と管理内容説明図である。
成と管理内容説明図である。
【図６】総合マイクロコンピュータにおけるウェハ管理
テーブル（ウェハ枚数とウェハ番号）である。
テーブル（ウェハ枚数とウェハ番号）である。
【図７】総合マイクロコンピュータにおけるウェハ状態
管理テーブルである。
管理テーブルである。
【図８】総合マイクロコンピュータにおける各装置間ウ
ェハ搬送管理テーブルである。
ェハ搬送管理テーブルである。
１ 総合マイクロコンピュータ（本発明） ２ 各装置のマイクロコンピュータ（本発明） ３ 総合マイクロコンピュータ（従来技術） ４ 各装置のマイクロコンピュータ（従来技術） ５ エッチング処理装置 ６ ウェット処理装置 ７ ウェハ搬送装置
Claims (2)
- 【請求項１】 それぞれが各個プログラムにもとづいて
制御されるマイクロコンピュータによって制御される複
数の処理装置または搬送装置が順次動作するように設置
され、総合プログラムにもとづいて制御される総合マイ
クロコンピュータによって総合制御されてなる半導体用
ウェハの管理装置において、 誤動作が発生した場合は、一旦、前記半導体用ウェハの
管理装置の動作を停止させ、作業員が手動操作をもって
前記半導体用ウェハの管理装置の異常状態を解消させ、
さらに該異常状態が存在し解消されたウェハの番号を総
合マイクロコンピュータに手動入力し、 その後、前記総合マイクロコンピュータは、前記作業員
によって異常が解消された状態に、自己の記録データを
変更し、該変更された記録データにもとづいて、前記総
合プログラムを再開して完了することを特徴とする半導
体用ウェハの管理装置。 - 【請求項２】 それぞれが各個プログラムにもとづいて
制御されるマイクロコンピュータによって制御される複
数の処理装置または搬送装置が順次動作するように設置
され、総合プログラムにもとづいて制御される総合マイ
クロコンピュータによって総合制御されてなる半導体用
ウェハの管理装置において、 誤動作が発生した場合は、一旦、前記半導体用ウェハの
管理装置の動作を停止させ、作業員が手動操作をもって
前記半導体用ウェハの管理装置の異常状態を解消させ、 その後、前記総合マイクロコンピュータは、前記作業員
によって異常が解消された状態に、自己の記録データを
自動変更し、該変更された記録データにもとづいて、前
記総合プログラムを再開して完了することを特徴とする
半導体用ウェハの管理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12067792A JP2743299B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 半導体用ウェハの管理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12067792A JP2743299B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 半導体用ウェハの管理装置 |
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