JP5138322B2 - 処理システムの制御装置、処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 - Google Patents
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Description
処理システム10は、EC(Equipment Controller:装置コントローラ)200、4つのMC(Machine Controller:マシーンコントローラ)300a〜300d、2つのPM1(Process Module:プロセスモジュール),PM2および2つのLLM1(Load Lock Module:ロードロックモジュール)、LLM2を有している。
つぎに、処理システム10の内部構成について、図2を参照しながら説明する。処理システム10は、第1のプロセスシップPS1、第2のプロセスシップPS2、搬送ユニットTR、位置合わせ機構ALおよびカセットステージCSを有している。
つぎに、EC200のハードウエア構成について、図3を参照しながら説明する。なお、MC300のハードウエア構成はEC200と同様であるためここでは説明を省略する。
つぎに、ECの機能構成について、EC200の各機能をブロックにて示した図4を参照しながら説明する。EC200は、搬送/処理制御部250、通信部255、ログ管理部260およびバックアップ部265の各ブロックにより示された機能を有している。
つぎに、EC200により実行されるウエハ搬送/エッチング処理、ログ管理処理およびバックアップ処理について図7〜9に示した各フローチャートを参照しながら説明する。図7のフローチャートに示された搬送/エッチング処理および図8のフローチャートに示されたログ管理処理は、所定時間経過毎に別々に起動され、図9のフローチャートに示されたバックアップ処理は、想定外のアラーム発生時に割込処理として起動される。
オペレータが、レシピとロット番号とを指定してロットスタートボタンを「オン」すると、該当ロットが投入され、そのロットに含まれるウエハを順に搬送する準備が整う。このタイミングに連動して図7のステップ700からウエハ搬送/エッチング処理が開始され、搬送/処理制御部250は、ステップ705にて未処理ウエハがあるか否かを判定する。この時点では、未処理ウエハが存在するので、搬送/処理制御部250はステップ710にて該当ウエハを搬送先(PM1またはPM2)に搬送するための信号を出力する。この指示信号は、通信部255からMC300に伝えられる。MC300の制御により各PMの搬送機構が駆動し、これにより、各ウエハの搬送が開始される。
次に、このようにしてシステムの稼動状態によって発生する各事象をログ情報として管理するログ管理処理について説明する。ログ管理処理は、図8のステップ800から開始され、ステップ805にてログ管理部260は、新しいログ情報が発生しているかを判定する。新しいログ情報が発生している場合、ステップ810にて発生したログ情報の種類に応じて保存先のログファイルを特定する。たとえば、システムログ情報に対しては、ログファイル1が特定される。
バックアップ処理は900から開始され、ステップ905にて、バックアップ部265は想定外のアラームが発生したかを判定する。ここで、図6(a)の想定外のアラームAAAが発生した場合、図10のログファイル2に示したように、ログ管理部260によって、想定外のアラームAAAの事象「8/9 4:00PM AAA」がログファイル2(アラームログ)に新たに登録される。
処理システム10は、ウエハに所定の処理を施す複数のPMと、ウエハを収容するカセット容器(カセットチャンバ)と、前記複数のPMと前記カセット容器との間にてウエハを所定の搬送先に搬送する搬送機構と、を有したクラスタ型のシステムであってもよい。
たとえば、上述した処理システム10は、図13に示した構成であってもよい。処理システム10は、カセットチャンバ(C/C)400u1、400u2、トランスファチャンバ(T/C)400u3、プリアライメント(P/A)400u4、プロセスチャンバ(P/C)(=PM)400u5、400u6を有している。
また、処理システム10は、図14に示した構成であってもよい。処理システム10は、ウエハWを搬送する搬送システムHとウエハWに対して成膜処理またはエッチング処理等の処理を行う処理システムSとを有している。搬送システムHと処理システムSとは、LLM400t1、400t2を介して連結されている。
Mechanical Polishing:化学的機械的研磨)装置、PVD(Physical Vapor Deposition:物理気相成長法)装置、露光装置、イオンインプランタなどが挙げられる。これらの装置は、マイクロ波プラズマ処理装置、誘導結合型プラズマ処理装置および容量結合型プラズマ処理装置などによって具現化されてもよい。
105 管理サーバ
130 ディスプレイ
135 フレキシブルディスク
140 光磁気ディスク
200 EC
215 HDD
250 搬送/処理制御部
255 通信部
260 ログ管理部
265 バックアップ部
300、300a〜300d MC
Claims (17)
- 被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御装置であって、
前記処理システムにて生じた所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶し、前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合には前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書するログ管理部と、
前記所定の事象のうち、特定の事象が発生したタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップするバックアップ部と、を備え、
前記バックアップ部は、前記処理システムを制御するためのプログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラーム処理が実行されたときに生じるアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする、処理システムの制御装置。 - 前記ログ情報は、
前記処理システムにて発生したシステム全般のログ情報、アラームのログ情報、他の装置との通信のログ情報および前記処理システムを構成する各装置の駆動状態を示したマシンのログ情報の少なくともいずれかである請求項1に記載された処理システムの制御装置。 - 前記アラームは、
被処理体を処理する際に、予め定められた処理室以外に当該被処理体が搬送されたときに生じる請求項2に記載された処理システムの制御装置。 - 前記システムログ情報は第1のログファイルに記憶され、前記アラームログ情報は第2のログファイルに記憶され、前記通信ログ情報は第3のログファイルに記憶され、前記マシンログ情報は第4のログファイルに記憶され、
前記バックアップ部は、
前記第1のログファイル、前記第2のログファイル、前記第3のログファイルおよび前記第4のログファイルの少なくともいずれかに記憶されたログ情報を対応するバックアップファイルにそれぞれ一括してバックアップする請求項2または3に記載された処理システムの制御装置。 - 前記第1〜4のログファイルと各ログファイルに対応する第1〜4のバックアップファイルとは、同サイズである請求項4に記載された処理システムの制御装置。
- 前記第1〜4のバックアップファイルは、前記第1〜4のログファイルが記憶されているハードディスクドライブと同じハードディスクドライブに記憶されている請求項5に記載された処理システムの制御装置。
- 前記バックアップ部は、
前記一括してバックアップしたログ情報を前記所定のアラーム処理の内容から抽出したキーワードを用いて並べ替えて保存する請求項1〜6のいずれかに記載された処理システムの制御装置。 - 前記バックアップ部は、
前記一括してバックアップしたログ情報とともに付加情報をバックアップする請求項1〜7のいずれかに記載された処理システムの制御装置。 - 前記付加情報には、
前記アラーム発生時の前記プログラム内部の状態、前記所定のログファイルのメモリ内部の状態、前記処理システムにて実行されるプロセス内部の状態の少なくともいずれかを示す情報が含まれる請求項8に記載された処理システムの制御装置。 - 前記所定のログファイルは、
前記バックアップしたログ情報をログ情報利用者に渡すために、任意の記憶媒体一枚の容量または一通のメールにて送信可能な容量に設定されている請求項1〜9のいずれかに記載された処理システムの制御装置。 - 前記ログ管理部は、
前記所定のログファイルに記憶されたログ情報のうち、最先に記憶されたログ情報を新たなログ情報にて上書きする請求項1〜10のいずれかに記載された処理システムの制御装置。 - 前記ログ情報は、
少なくとも前記所定の事象が発生した時刻の情報を含む請求項1〜11のいずれかに記載された処理システムの制御装置。 - 前記ログ情報は、
前記所定の事象が発生した時刻に処理していた被処理体に関する情報を含む請求項12に記載された処理システムの制御装置。 - 前記処理システムは、ウエハまたは基板を処理するシステムである請求項1〜13のいずれかに記載された処理システムの制御装置。
- 前記処理システムは、
被処理体に所定の処理を施す複数の処理室と、被処理体を収容する被処理体収容ポートと、前記複数の処理室と前記被処理体収容ポートとの間にて被処理体を所定の搬送先に搬送する搬送機構と、を有する請求項1〜14のいずれかに記載された処理システムの制御装置。 - 被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御装置により実行される当該処理システムの制御方法であって、
前記処理システムにて生じた所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶し、
前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合、前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書きし、
前記所定の事象のうち、プログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする処理システムの制御方法。 - 被処理体を処理室に搬入し、前記処理室にて被処理体に所定の処理を施す処理システムの制御をコンピュータに実行させる制御プログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記処理システムにて生じた所定の事象をログ情報として所定のログファイルに記憶する処理と、
前記所定のログファイルの空き領域が新たなログ情報を記憶するのに不足している場合、前記記憶されたいずれかのログ情報を新たなログ情報にて上書きする処理と、
前記所定の事象のうち、プログラムを使用して前記処理システムを制御する際に実行されるはずがない箇所に挿入されているアラームが発生し、前記アラームに対してオペレータによりバックアップ操作が行われたタイミングに連動して、前記所定のログファイルに記憶されたログ情報を一括してバックアップする処理と、を含む制御プログラムを記憶した記憶媒体。
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