JP3512594B2 - 制御システム - Google Patents
制御システムInfo
- Publication number
- JP3512594B2 JP3512594B2 JP16428897A JP16428897A JP3512594B2 JP 3512594 B2 JP3512594 B2 JP 3512594B2 JP 16428897 A JP16428897 A JP 16428897A JP 16428897 A JP16428897 A JP 16428897A JP 3512594 B2 JP3512594 B2 JP 3512594B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- process data
- control
- host computer
- data
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシス
テムに係り、特に複数の基板処理装置を一元管理する機
能を持った制御システムに関する。
装置、液晶パネル製造装置等の製造装置を制御するシス
テムに係り、特に複数の基板処理装置を一元管理する機
能を持った制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体ウエハや液晶パネル等の製
造システムの大規模化により、被処理基板に対して成膜
処理、エッチング処理、熱酸化処理等の処理（プロセ
ス）を行う多数の処理装置を一元管理する要求が益々高
まっている。
造システムの大規模化により、被処理基板に対して成膜
処理、エッチング処理、熱酸化処理等の処理（プロセ
ス）を行う多数の処理装置を一元管理する要求が益々高
まっている。
【０００３】図５にこのような複数処理装置の一元管理
機能を持った制御システムの構成を示す。
機能を持った制御システムの構成を示す。
【０００４】同図において、３１（３１-1〜３１-N）は
被処理基板に対する各種処理を行う処理装置、３２（３
２-1〜３２-N）は各処理装置３１を個別に制御するＥＣ
Ｃ制御部である。ＥＣＣ制御部３２は、ホストコンピュ
ータ３５との論理的なインターフェイス手段であるＨＣ
Ｉ（Host Communication Interface）３３を有し、この
ＨＣＩ３３によって、ホストコンピュータ３５との間で
の各種データのやりとりがＴＣＰ／ＩＰ等のデータ伝送
系３４を通じて行われる。ホストコンピュータ３５は、
各処理装置３１のＥＣＣ制御部３２との間での各種デー
タをやりとりを通じて各処理装置３１のトラッキング処
理を行うとともに、各処理装置３１より受信したプロセ
スデータをデータベース３５ａに履歴として蓄積し、そ
の内容をモニタに表示したり、そのプロセスデータに基
づいて処理装置３１の各種パラメータ補正や異常検出等
を行う。
被処理基板に対する各種処理を行う処理装置、３２（３
２-1〜３２-N）は各処理装置３１を個別に制御するＥＣ
Ｃ制御部である。ＥＣＣ制御部３２は、ホストコンピュ
ータ３５との論理的なインターフェイス手段であるＨＣ
Ｉ（Host Communication Interface）３３を有し、この
ＨＣＩ３３によって、ホストコンピュータ３５との間で
の各種データのやりとりがＴＣＰ／ＩＰ等のデータ伝送
系３４を通じて行われる。ホストコンピュータ３５は、
各処理装置３１のＥＣＣ制御部３２との間での各種デー
タをやりとりを通じて各処理装置３１のトラッキング処
理を行うとともに、各処理装置３１より受信したプロセ
スデータをデータベース３５ａに履歴として蓄積し、そ
の内容をモニタに表示したり、そのプロセスデータに基
づいて処理装置３１の各種パラメータ補正や異常検出等
を行う。
【０００５】各処理装置３１のＥＣＣ制御部３２からホ
ストコンピュータ３５へのプロセスデータ転送の際、Ｈ
ＣＩ３３は、ＥＣＣ制御部３２にて生成された全プロセ
スデータの中からトラッキング処理、パラメータ補正、
異常検出等に最低限必要とされる一部の種類のデータだ
けを選択してホストコンピュータ３５に送信する。
ストコンピュータ３５へのプロセスデータ転送の際、Ｈ
ＣＩ３３は、ＥＣＣ制御部３２にて生成された全プロセ
スデータの中からトラッキング処理、パラメータ補正、
異常検出等に最低限必要とされる一部の種類のデータだ
けを選択してホストコンピュータ３５に送信する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな制御システムによる一元管理方式では、ホストコン
ピュータに蓄積されるプロセスデータが限定されること
になり、モニタに表示されたプロセスデータから各処理
装置の状態として獲得できる情報も制限されたものとな
る。また、処理装置の経年的な特性の劣化状態を反映し
たプロセスデータの変化等は、モニタに表示されたプロ
セスデータを単に参照しただけでは発見できない場合が
多い。このような事情から、処理装置の異常や特性劣化
を確実且つ早期に発見することは現実的に難しいという
問題があった。
うな制御システムによる一元管理方式では、ホストコン
ピュータに蓄積されるプロセスデータが限定されること
になり、モニタに表示されたプロセスデータから各処理
装置の状態として獲得できる情報も制限されたものとな
る。また、処理装置の経年的な特性の劣化状態を反映し
たプロセスデータの変化等は、モニタに表示されたプロ
セスデータを単に参照しただけでは発見できない場合が
多い。このような事情から、処理装置の異常や特性劣化
を確実且つ早期に発見することは現実的に難しいという
問題があった。
【０００７】本発明はこのような事情によりなされたも
のであり、各処理装置のより詳細な一元管理を実現して
保守性の向上を図れる制御システムの提供を目的として
いる。 また、本発明は、プロセスデータの解析結果を
通しての各処理装置の詳細な一元管理を実現して、処理
装置の異常や特性劣化の早期発見に寄与することのでき
る制御システムの提供を目的としている。
のであり、各処理装置のより詳細な一元管理を実現して
保守性の向上を図れる制御システムの提供を目的として
いる。 また、本発明は、プロセスデータの解析結果を
通しての各処理装置の詳細な一元管理を実現して、処理
装置の異常や特性劣化の早期発見に寄与することのでき
る制御システムの提供を目的としている。
【０００８】加えて、本発明は、各処理装置のプロセス
条件の自動的な最適化を実現した制御システムの提供を
目的としている。
条件の自動的な最適化を実現した制御システムの提供を
目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の制御システムは、請求項１に記載されるよ
うに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の
処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、前記各制
御装置より受信したプロセスデータに基づいて前記各制
御装置を制御するホストコンピュータと、前記各制御装
置より受信したプロセスデータを収集する手段、前記収
集したプロセスデータを解析する手段、および前記解析
の結果を出力する手段を有するコントロール装置とを具
備し、前記個々の制御装置は、プロセスデータを生成す
る手段、前記生成されたプロセスデータの中から予め設
定された一部のプロセスデータを前記ホストコンピュー
タに送信する手段、および前記生成された全てのプロセ
スデータを前記コントロール装置に送信する手段を有す
ることを特徴とする。
に、本発明の制御システムは、請求項１に記載されるよ
うに、被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の
処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、前記各制
御装置より受信したプロセスデータに基づいて前記各制
御装置を制御するホストコンピュータと、前記各制御装
置より受信したプロセスデータを収集する手段、前記収
集したプロセスデータを解析する手段、および前記解析
の結果を出力する手段を有するコントロール装置とを具
備し、前記個々の制御装置は、プロセスデータを生成す
る手段、前記生成されたプロセスデータの中から予め設
定された一部のプロセスデータを前記ホストコンピュー
タに送信する手段、および前記生成された全てのプロセ
スデータを前記コントロール装置に送信する手段を有す
ることを特徴とする。
【００１０】すなわち、この発明において、コントロー
ル装置は各処理装置の制御装置で生成された全てのプロ
セスデータを解析してその結果を出力するので、従来の
ホストコンピュータ上で一部のプロセスデータを集中モ
ニタリングする方式に比べ、各処理装置の状態として掴
み得る情報の幅が広がり、各処理装置の状態の経時的な
変化も早期に発見することができる。
ル装置は各処理装置の制御装置で生成された全てのプロ
セスデータを解析してその結果を出力するので、従来の
ホストコンピュータ上で一部のプロセスデータを集中モ
ニタリングする方式に比べ、各処理装置の状態として掴
み得る情報の幅が広がり、各処理装置の状態の経時的な
変化も早期に発見することができる。
【００１１】また、本発明の制御システムは、請求項２
に記載されるように、被処理基板に対する所定のプロセ
スを行う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御装
置と、前記各制御装置より受信したプロセスデータに基
づいて前記各制御装置を制御するホストコンピュータ
と、前記各制御装置より受信したプロセスデータを収集
する手段、前記収集したプロセスデータを解析する手
段、および前記解析の結果に基づいて前記各処理装置の
プロセス条件を更新する手段を有するコントロール装置
とを具備し、前記個々の制御装置は、プロセスデータを
生成する手段、前記生成されたプロセスデータの中から
予め設定された一部のプロセスデータを前記ホストコン
ピュータに送信する手段、および前記生成された全ての
プロセスデータを前記コントロール装置に送信する手段
を有することを特徴とする。
に記載されるように、被処理基板に対する所定のプロセ
スを行う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御装
置と、前記各制御装置より受信したプロセスデータに基
づいて前記各制御装置を制御するホストコンピュータ
と、前記各制御装置より受信したプロセスデータを収集
する手段、前記収集したプロセスデータを解析する手
段、および前記解析の結果に基づいて前記各処理装置の
プロセス条件を更新する手段を有するコントロール装置
とを具備し、前記個々の制御装置は、プロセスデータを
生成する手段、前記生成されたプロセスデータの中から
予め設定された一部のプロセスデータを前記ホストコン
ピュータに送信する手段、および前記生成された全ての
プロセスデータを前記コントロール装置に送信する手段
を有することを特徴とする。
【００１２】この発明は、各制御装置にて生成された全
てのプロセスデータの解析結果に基づいてプロセス条件
を更新する手段をさらに設けたことによって、各処理装
置の経時的な特性の変動をも考慮した様々な観点から最
適なプロセス条件を自動的に得ることが可能となり、プ
ロセス条件設定のための人為的な試行錯誤を不要なもの
とすることができる。
てのプロセスデータの解析結果に基づいてプロセス条件
を更新する手段をさらに設けたことによって、各処理装
置の経時的な特性の変動をも考慮した様々な観点から最
適なプロセス条件を自動的に得ることが可能となり、プ
ロセス条件設定のための人為的な試行錯誤を不要なもの
とすることができる。
【００１３】さらに、本発明の制御システムは、請求項
３に記載されるように、被処理基板に対する所定のプロ
セスを行う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御
装置と、前記各制御装置より受信した一部のプロセスデ
ータに基づいて前記各制御装置を制御するホストコンピ
ュータと、前記各制御装置より受信したプロセスデータ
を収集する手段、前記収集したプロセスデータを解析す
る手段、前記解析の結果を出力する手段、および前記収
集したプロセスデータで前記ホストコンピュータのプロ
セスデータ受信不能期間の欠落プロセスデータを補填す
る手段を有するコントロール装置とを具備し、前記個々
の制御装置は、プロセスデータを生成する手段、前記生
成されたプロセスデータの中から予め設定された一部の
プロセスデータを前記ホストコンピュータに送信する手
段、および前記生成された全てのプロセスデータを前記
コントロール装置に送信する手段を有することを特徴と
する。
３に記載されるように、被処理基板に対する所定のプロ
セスを行う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御
装置と、前記各制御装置より受信した一部のプロセスデ
ータに基づいて前記各制御装置を制御するホストコンピ
ュータと、前記各制御装置より受信したプロセスデータ
を収集する手段、前記収集したプロセスデータを解析す
る手段、前記解析の結果を出力する手段、および前記収
集したプロセスデータで前記ホストコンピュータのプロ
セスデータ受信不能期間の欠落プロセスデータを補填す
る手段を有するコントロール装置とを具備し、前記個々
の制御装置は、プロセスデータを生成する手段、前記生
成されたプロセスデータの中から予め設定された一部の
プロセスデータを前記ホストコンピュータに送信する手
段、および前記生成された全てのプロセスデータを前記
コントロール装置に送信する手段を有することを特徴と
する。
【００１４】本発明は、コントロール装置で収集したプ
ロセスデータでホストコンピュータのプロセスデータ受
信不能期間の欠落プロセスデータを補填する手段をさら
に設けたことで、ホストコンピュータはダウン状態から
復旧した直後より、各各処理装置の制御装置に対する制
御を直ちに再開することができる。
ロセスデータでホストコンピュータのプロセスデータ受
信不能期間の欠落プロセスデータを補填する手段をさら
に設けたことで、ホストコンピュータはダウン状態から
復旧した直後より、各各処理装置の制御装置に対する制
御を直ちに再開することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を実施する場合の形
態について図面に基づいて説明する。
態について図面に基づいて説明する。
【００１６】本発明に係る制御システムは、例えば次の
ような複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置等に適用
される。
ような複合プロセス型の半導体ウエハ製造装置等に適用
される。
【００１７】図１に示すように、この半導体ウエハ製造
装置は、半導体ウエハに対して各種の処理例えば成膜処
理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数例えば３
つののプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚例えば25
枚のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容す
るカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、
２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受
け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各
チャンバ間はゲートバルブＧを介して開閉自在に連結さ
れている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動
作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられて
おり、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷ
の搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２はカセットチャ
ンバ４、５内に取り込まれる際に90度反転されると共に
そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ
６内の中心を向くように回転され、以て搬送アーム７に
よるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。
装置は、半導体ウエハに対して各種の処理例えば成膜処
理やエッチング処理や熱酸化処理等を行う複数例えば３
つののプロセスチャンバ１、２、３と、多数枚例えば25
枚のウエハＷを収納できるカセットＣ１、Ｃ２を収容す
るカセットチャンバ４、５と、プロセスチャンバ１、
２、３とカセットチャンバ４、５との間でウエハＷの受
け渡しを行う搬送チャンバ６とを備えて構成される。各
チャンバ間はゲートバルブＧを介して開閉自在に連結さ
れている。搬送チャンバ６内には、屈伸動作及び回転動
作が可能な例えば多関節式の搬送アーム７が設けられて
おり、この搬送アーム７によりチャンバ間でのウエハＷ
の搬送が行われる。カセットＣ１、Ｃ２はカセットチャ
ンバ４、５内に取り込まれる際に90度反転されると共に
そのカセットＣ１、Ｃ２のウエハ挿脱口が搬送チャンバ
６内の中心を向くように回転され、以て搬送アーム７に
よるウエハＷの出し入れが可能な姿勢に設置される。
【００１８】図２は本発明の第１の実施形態である制御
システムの全体的な構成を示すブロック図である。
システムの全体的な構成を示すブロック図である。
【００１９】同図において、１１（１１-1〜１１-N）は
例えば成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処
理基板に対する各種処理を行う処理装置、１２（１２-1
〜１２-N）は各処理装置１１の上位制御系であるＥＣＣ
制御部、１０（１０-1〜１０-N）は各処理装置１１の下
位制御系であるＭＣ（マシンコントローラ）である。図
３に示すように、ＥＣＣ制御部１２は、ホストコンピュ
ータ１５との論理的なインターフェイス手段であるＨＣ
Ｉ（Host Communication Interface）１３を有し、この
ＨＣＩ１３によって、ホストコンピュータ１５との間で
の各種データのやりとりがＴＣＰ／ＩＰ等のデータ伝送
系１４を通じて行われる。また、ＥＣＣ制御部１２は、
アドバンスド・グループ・コントローラ（以下、ＡＧＣ
と称す。）１７との論理的なインターフェイス手段であ
るＲＡＰ（Remote Agent Process）１６を有し、このＲ
ＡＰ１６によってＡＧＣ１７との間での各種データのや
りとりがデータ伝送系１４を通じて行われる。
例えば成膜処理、エッチング処理、熱酸化処理等の被処
理基板に対する各種処理を行う処理装置、１２（１２-1
〜１２-N）は各処理装置１１の上位制御系であるＥＣＣ
制御部、１０（１０-1〜１０-N）は各処理装置１１の下
位制御系であるＭＣ（マシンコントローラ）である。図
３に示すように、ＥＣＣ制御部１２は、ホストコンピュ
ータ１５との論理的なインターフェイス手段であるＨＣ
Ｉ（Host Communication Interface）１３を有し、この
ＨＣＩ１３によって、ホストコンピュータ１５との間で
の各種データのやりとりがＴＣＰ／ＩＰ等のデータ伝送
系１４を通じて行われる。また、ＥＣＣ制御部１２は、
アドバンスド・グループ・コントローラ（以下、ＡＧＣ
と称す。）１７との論理的なインターフェイス手段であ
るＲＡＰ（Remote Agent Process）１６を有し、このＲ
ＡＰ１６によってＡＧＣ１７との間での各種データのや
りとりがデータ伝送系１４を通じて行われる。
【００２０】ここで、プロセステータ転送に係るＨＣＩ
１３とＲＡＰ１６の機能の違いについて説明する。
１３とＲＡＰ１６の機能の違いについて説明する。
【００２１】ＨＣＩ１３は、ＥＣＣ制御部１２にて処理
装置１１から得た全てのプロセスデータの中から予め設
定された一部の種類のプロセスデータだけを選択してホ
ストコンピュータ１５に送信する。すなわち、図３にお
いて、１８はＥＣＣ制御部１２にて生成された全プロセ
スデータが一時的に蓄積されるメモリであり、ＨＣＩ１
３は、このメモリ１８から予め設定された一部の種類の
プロセスデータ（データ１，３）を取り出してＨＣＩ送
信バッファ１９に書き込み、ＨＣＩ送信バッファ１９の
内容をまとめてホストコンピュータ１５に送信する。ま
た、ＥＣＣ制御部１２で生成されたステータスデータ等
も送信される。
装置１１から得た全てのプロセスデータの中から予め設
定された一部の種類のプロセスデータだけを選択してホ
ストコンピュータ１５に送信する。すなわち、図３にお
いて、１８はＥＣＣ制御部１２にて生成された全プロセ
スデータが一時的に蓄積されるメモリであり、ＨＣＩ１
３は、このメモリ１８から予め設定された一部の種類の
プロセスデータ（データ１，３）を取り出してＨＣＩ送
信バッファ１９に書き込み、ＨＣＩ送信バッファ１９の
内容をまとめてホストコンピュータ１５に送信する。ま
た、ＥＣＣ制御部１２で生成されたステータスデータ等
も送信される。
【００２２】ＲＡＰ１６は、ＥＣＣ制御部１２にて処理
装置１１から得た全てのプロセスデータを無条件にＡＧ
Ｃ１７に送信する。すなわち、ＲＡＰ１６は、ＥＣＣ制
御部１２内のプロセスデータ蓄積用メモリ１８に蓄積さ
れたプロセスデータを先頭から順次読み出し、そのデー
タ構造のままＡＧＣ１７に転送する。但し、データの順
番を並び換えたり、ごく一部のデータを排除する程度の
操作をここで行ってもよい。
装置１１から得た全てのプロセスデータを無条件にＡＧ
Ｃ１７に送信する。すなわち、ＲＡＰ１６は、ＥＣＣ制
御部１２内のプロセスデータ蓄積用メモリ１８に蓄積さ
れたプロセスデータを先頭から順次読み出し、そのデー
タ構造のままＡＧＣ１７に転送する。但し、データの順
番を並び換えたり、ごく一部のデータを排除する程度の
操作をここで行ってもよい。
【００２３】ホストコンピュータ１５は、各処理装置１
１のＥＣＣ制御部１２との間での各種データをやりとり
を通じて各処理装置１１のトラッキング処理を行うなど
各処理装置１１の全体的な動作制御を行う。
１のＥＣＣ制御部１２との間での各種データをやりとり
を通じて各処理装置１１のトラッキング処理を行うなど
各処理装置１１の全体的な動作制御を行う。
【００２４】ＡＧＣ１７は、各処理装置毎のレシピ（プ
ロセス条件値）の集中管理やレシピに基づく各処理装置
１１のプロセスコントロールをはじめとして、各処理装
置１１から得られる全てのプロセスデータを対象に、そ
の解析処理、統計処理、プロセスデータやその解析／統
計結果の集中モニタリング処理、更には解析／統計結果
をレシピに反映させる処理等を行う。
ロセス条件値）の集中管理やレシピに基づく各処理装置
１１のプロセスコントロールをはじめとして、各処理装
置１１から得られる全てのプロセスデータを対象に、そ
の解析処理、統計処理、プロセスデータやその解析／統
計結果の集中モニタリング処理、更には解析／統計結果
をレシピに反映させる処理等を行う。
【００２５】ＡＧＣ１７はＡＧＣサーバ１７ａとＡＧＣ
クライアント１７ｂから構成されている。ＡＧＣサーバ
１７ａの通信Ｉ／Ｆ（インターフェース部）２１は、各
処理装置１１のＥＣＣ制御部１２およびＡＧＣクライア
ント１７ｂとの間でデータ伝送系１４を通じて各種テー
タを送受信する。ＥＱＭ制御部２２は、予め定義された
プロセス条件と各処理装置１１から得られるプロセスデ
ータに基づいて処理装置毎のプロセスの各種パラメータ
補正を行うとともに、受信したパラメータのデータベー
ス２３への格納、およびＡＧＣクライアント１７ｂに転
送すべきプロセスデータをデータベース２３から検索す
る処理等を主に行う。
クライアント１７ｂから構成されている。ＡＧＣサーバ
１７ａの通信Ｉ／Ｆ（インターフェース部）２１は、各
処理装置１１のＥＣＣ制御部１２およびＡＧＣクライア
ント１７ｂとの間でデータ伝送系１４を通じて各種テー
タを送受信する。ＥＱＭ制御部２２は、予め定義された
プロセス条件と各処理装置１１から得られるプロセスデ
ータに基づいて処理装置毎のプロセスの各種パラメータ
補正を行うとともに、受信したパラメータのデータベー
ス２３への格納、およびＡＧＣクライアント１７ｂに転
送すべきプロセスデータをデータベース２３から検索す
る処理等を主に行う。
【００２６】ＡＧＣクライアント１７ｂには、ＡＧＣサ
ーバ１７ａより転送されてきたプロセスデータの解析処
理および統計処理を行うデータ解析部２５と、取り込ん
だプロセスデータやその解析結果等をクライアントユー
ザの利用・加工可能な形式のデータに変換するデータ変
換部２６と、変換データをモニタ等に表示するデータ表
示部２７と、被処理基板上の膜厚等の測定データを含む
プロセスデータの解析結果に基づいてレシピ（プロセス
条件）を最適化するように更新するレシピ修正部２８等
の機能が用意されている。
ーバ１７ａより転送されてきたプロセスデータの解析処
理および統計処理を行うデータ解析部２５と、取り込ん
だプロセスデータやその解析結果等をクライアントユー
ザの利用・加工可能な形式のデータに変換するデータ変
換部２６と、変換データをモニタ等に表示するデータ表
示部２７と、被処理基板上の膜厚等の測定データを含む
プロセスデータの解析結果に基づいてレシピ（プロセス
条件）を最適化するように更新するレシピ修正部２８等
の機能が用意されている。
【００２７】次に、このシステムの動作をＡＧＣの関与
する動作を中心に説明する。
する動作を中心に説明する。
【００２８】まず各処理装置１１のＥＣＣ制御部１２
は、ＡＧＣ１７よるプロセスコントロールの下、対応す
る処理装置１１を制御して被処理基板に対する処理を実
行させる。
は、ＡＧＣ１７よるプロセスコントロールの下、対応す
る処理装置１１を制御して被処理基板に対する処理を実
行させる。
【００２９】個々のＥＣＣ制御部１２にて処理装置１１
から得たプロセスデータは、図３に示したプロセスデー
タ蓄積用メモリ１８に書き込まれる。プロセスデータ蓄
積用メモリ１８に書き込まれたプロセスデータは、その
外部転送に係る論理的なインターフェイス手段であるＨ
ＣＩ１３とＲＡＰ１６によって、ＴＣＰ／ＩＰ等のデー
タ伝送系１４の独立したチャンネルを通じてホストコン
ピュータ１５とＡＧＣ１７に転送される。
から得たプロセスデータは、図３に示したプロセスデー
タ蓄積用メモリ１８に書き込まれる。プロセスデータ蓄
積用メモリ１８に書き込まれたプロセスデータは、その
外部転送に係る論理的なインターフェイス手段であるＨ
ＣＩ１３とＲＡＰ１６によって、ＴＣＰ／ＩＰ等のデー
タ伝送系１４の独立したチャンネルを通じてホストコン
ピュータ１５とＡＧＣ１７に転送される。
【００３０】ここで、ＨＣＩ１３は、プロセスデータ蓄
積用メモリ１８に保持されたすべてのプロセスデータの
中から予め設定された一部の種類のプロセスデータだけ
を引き出してＨＣＩ送信バッファ１９に書き込み、ＨＣ
Ｉ送信バッファ１９の内容をデータ伝送系１４を通じて
ホストコンピュータ１５に送信する。一方、ＲＡＰ１６
は、プロセスデータ蓄積用メモリ１８から全てのプロセ
スデータを読み出してＡＧＣ１７に転送する。
積用メモリ１８に保持されたすべてのプロセスデータの
中から予め設定された一部の種類のプロセスデータだけ
を引き出してＨＣＩ送信バッファ１９に書き込み、ＨＣ
Ｉ送信バッファ１９の内容をデータ伝送系１４を通じて
ホストコンピュータ１５に送信する。一方、ＲＡＰ１６
は、プロセスデータ蓄積用メモリ１８から全てのプロセ
スデータを読み出してＡＧＣ１７に転送する。
【００３１】ＡＧＣ１７（ＡＧＣサーバ１７ａ）は、各
処理装置のＥＣＣ制御部１２のＲＡＰ１６によって送信
されたプロセスデータを受信し、このプロセスデータを
データベース２３に蓄積するとともに、このプロセスデ
ータとレシピデータから各処理装置のパラメータ補正値
を生成してこれをＥＣＣ制御部１２に送信することによ
ってプロセスコントロールを行う。
処理装置のＥＣＣ制御部１２のＲＡＰ１６によって送信
されたプロセスデータを受信し、このプロセスデータを
データベース２３に蓄積するとともに、このプロセスデ
ータとレシピデータから各処理装置のパラメータ補正値
を生成してこれをＥＣＣ制御部１２に送信することによ
ってプロセスコントロールを行う。
【００３２】また、ＡＧＣサーバ１７ａは、ＡＧＣクラ
イアント１７ｂからプロセステータ転送要求を受ける
と、データベース２３から該当するプロセスデータを読
み出し、通信Ｉ／Ｆ２１を通じてＡＧＣクライアント１
７ｂに送信する。ＡＧＣクライアント１７ｂに転送され
たプロセスデータは、データ変換部２６にてクライアン
トユーザの利用・加工可能な形式のデータに変換され、
データ表示部２７によってモニタに表示される。さら
に、ＡＧＣクライアント１７ｂに転送されたプロセスデ
ータは、データ解析部２５にて解析および統計処理さ
れ、その解析結果はデータ変換部２６にてプロセスデー
タと同様にユーザ利用可能な形式のデータに変換され、
モニタに表示される。これによりＡＧＣクライアント１
７ｂ上での基板処理システム全体の一元管理が実現され
る。
イアント１７ｂからプロセステータ転送要求を受ける
と、データベース２３から該当するプロセスデータを読
み出し、通信Ｉ／Ｆ２１を通じてＡＧＣクライアント１
７ｂに送信する。ＡＧＣクライアント１７ｂに転送され
たプロセスデータは、データ変換部２６にてクライアン
トユーザの利用・加工可能な形式のデータに変換され、
データ表示部２７によってモニタに表示される。さら
に、ＡＧＣクライアント１７ｂに転送されたプロセスデ
ータは、データ解析部２５にて解析および統計処理さ
れ、その解析結果はデータ変換部２６にてプロセスデー
タと同様にユーザ利用可能な形式のデータに変換され、
モニタに表示される。これによりＡＧＣクライアント１
７ｂ上での基板処理システム全体の一元管理が実現され
る。
【００３３】また、ＡＧＣクライアント１７ｂのデータ
解析部２５は、プロセスデータの解析結果から処理装置
の異常検出や異常予測を行い、異常を検出した場合およ
び予測した場合は、その旨をデータ表示部２７を通して
モニタに出力するとともにＡＧＣサーバ１７ａに通知す
る。この通知に従ってＡＧＣサーバ１７ａは、例えば、
異常検出或いは異常予測された処理装置１１を制御して
いるＥＣＣ制御部１２に対して処理装置の停止を指示す
るなどの制御を行う。
解析部２５は、プロセスデータの解析結果から処理装置
の異常検出や異常予測を行い、異常を検出した場合およ
び予測した場合は、その旨をデータ表示部２７を通して
モニタに出力するとともにＡＧＣサーバ１７ａに通知す
る。この通知に従ってＡＧＣサーバ１７ａは、例えば、
異常検出或いは異常予測された処理装置１１を制御して
いるＥＣＣ制御部１２に対して処理装置の停止を指示す
るなどの制御を行う。
【００３４】さらに、ＡＧＣクライアント１７ｂのレシ
ピ修正部２８は、基板上の膜厚測定結果等の測定データ
を含むプロセスデータに対する解析結果からレシピ（プ
ロセス条件）を最適化するための更新処理を行う。
ピ修正部２８は、基板上の膜厚測定結果等の測定データ
を含むプロセスデータに対する解析結果からレシピ（プ
ロセス条件）を最適化するための更新処理を行う。
【００３５】また、本実施形態では、ホストコンピュー
タ１５がダウンした場合にＡＧＣ１７によるプロセスデ
ータのスプーリング処理が行われる。すなわち、ホスト
コンピュータ１５は、復旧後、ダウン期間のプロセスデ
ータをＡＧＣ１７から直ちに取り込むことができる。こ
れにより、ホストコンピュータ１５による各処理装置１
１のトラッキング処理を復旧後直ちに再開することがで
きる。
タ１５がダウンした場合にＡＧＣ１７によるプロセスデ
ータのスプーリング処理が行われる。すなわち、ホスト
コンピュータ１５は、復旧後、ダウン期間のプロセスデ
ータをＡＧＣ１７から直ちに取り込むことができる。こ
れにより、ホストコンピュータ１５による各処理装置１
１のトラッキング処理を復旧後直ちに再開することがで
きる。
【００３６】以上説明したように、本実施形態の制御シ
ステムによれば、各処理装置から得られる全て或いはほ
ぼ全ての詳細なプロセスデータをＡＧＣ１７に取り込ん
で集中モニタリングすることができるので、各処理装置
の状態として掴むことのできる情報の幅が広がり、処理
装置の異常や劣化状態をより詳細かつ早期に発見するこ
とができる。また、各処理装置から得られる全て或いは
ほぼ全ての詳細なプロセスデータを解析してその解説結
果を集中モニタリングすることができるので、各処理装
置の状態の経時的な変化を早期に発見することができ
る。これにより、多数の処理装置からなる製造システム
の保守信頼性を高めることが可能となる。また、本実施
形態では、基板上の膜厚測定結果等の測定データを含む
詳細なプロセスデータに対する解析結果や統計結果から
レシピにおける各データをより好ましい値に更新するこ
とによって、各処理装置の経時的な特性の変動をも考慮
した様々な観点から最適なプロセス条件を自動的に得る
ことが可能となり、信頼性の向上を図ることができる。
ステムによれば、各処理装置から得られる全て或いはほ
ぼ全ての詳細なプロセスデータをＡＧＣ１７に取り込ん
で集中モニタリングすることができるので、各処理装置
の状態として掴むことのできる情報の幅が広がり、処理
装置の異常や劣化状態をより詳細かつ早期に発見するこ
とができる。また、各処理装置から得られる全て或いは
ほぼ全ての詳細なプロセスデータを解析してその解説結
果を集中モニタリングすることができるので、各処理装
置の状態の経時的な変化を早期に発見することができ
る。これにより、多数の処理装置からなる製造システム
の保守信頼性を高めることが可能となる。また、本実施
形態では、基板上の膜厚測定結果等の測定データを含む
詳細なプロセスデータに対する解析結果や統計結果から
レシピにおける各データをより好ましい値に更新するこ
とによって、各処理装置の経時的な特性の変動をも考慮
した様々な観点から最適なプロセス条件を自動的に得る
ことが可能となり、信頼性の向上を図ることができる。
【００３７】さらに、ＡＧＣ１７をハード的にプロセス
データ収集用のＡＧＣサーバ１７ａと、そのプロセスデ
ータを実際に運用するＡＧＣクライアント１７ｂとに別
けたことで、各々の制御負荷が分散され、より多数の処
理装置を接続した構成においても性能が低下することが
なくなる。
データ収集用のＡＧＣサーバ１７ａと、そのプロセスデ
ータを実際に運用するＡＧＣクライアント１７ｂとに別
けたことで、各々の制御負荷が分散され、より多数の処
理装置を接続した構成においても性能が低下することが
なくなる。
【００３８】なお、以上説明した実施形態において、Ａ
ＧＣ１７は一台のＡＧＣサーバ１７ａと一台のＡＧＣク
ライアント１７ｂとで構成したが、処理装置の接続数が
さらに増大した場合、ＡＧＣサーバ１７ａの負荷が非常
に大きくなることが予想される。そこで、図４に示すよ
うに、機能例えばレシピの種類毎にＡＧＣサーバ１７ａ
（１７ａ-1〜１７ａ-M）を設ける形態をとる方式が考え
られる。このような形態をとった場合、個々のＡＧＣサ
ーバの機能をバージョンアップしたり保守点検を行う際
に、他のＡＧＣサーバの管理下にある処理装置群の動作
を止める必要がなくなり、システム全体の処理効率を高
めることが可能となる。
ＧＣ１７は一台のＡＧＣサーバ１７ａと一台のＡＧＣク
ライアント１７ｂとで構成したが、処理装置の接続数が
さらに増大した場合、ＡＧＣサーバ１７ａの負荷が非常
に大きくなることが予想される。そこで、図４に示すよ
うに、機能例えばレシピの種類毎にＡＧＣサーバ１７ａ
（１７ａ-1〜１７ａ-M）を設ける形態をとる方式が考え
られる。このような形態をとった場合、個々のＡＧＣサ
ーバの機能をバージョンアップしたり保守点検を行う際
に、他のＡＧＣサーバの管理下にある処理装置群の動作
を止める必要がなくなり、システム全体の処理効率を高
めることが可能となる。
【００３９】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１の
制御システムによれば、コントロール装置は各処理装置
の制御装置で生成された全てのプロセスデータを解析し
てその結果を出力するので、従来のホストコンピュータ
上で一部のプロセスデータを集中モニタリングする方式
に比べ、各処理装置の状態として掴み得る情報の幅が広
がり、各処理装置の状態の経時的な変化も早期に発見す
ることができる。
制御システムによれば、コントロール装置は各処理装置
の制御装置で生成された全てのプロセスデータを解析し
てその結果を出力するので、従来のホストコンピュータ
上で一部のプロセスデータを集中モニタリングする方式
に比べ、各処理装置の状態として掴み得る情報の幅が広
がり、各処理装置の状態の経時的な変化も早期に発見す
ることができる。
【００４０】また、本発明の請求項２の制御システムに
よれば、各制御装置にて生成された全てのプロセスデー
タの解析結果に基づいてプロセス条件を更新する手段を
さらに設けたことによって、各処理装置の経時的な特性
の変動をも考慮した様々な観点から最適なプロセス条件
を自動的に得ることが可能となり、プロセス条件設定の
ための人為的な試行錯誤を不要なものとすることができ
る。
よれば、各制御装置にて生成された全てのプロセスデー
タの解析結果に基づいてプロセス条件を更新する手段を
さらに設けたことによって、各処理装置の経時的な特性
の変動をも考慮した様々な観点から最適なプロセス条件
を自動的に得ることが可能となり、プロセス条件設定の
ための人為的な試行錯誤を不要なものとすることができ
る。
【００４１】さらに、本発明の請求項３の制御システム
によれば、コントロール装置で収集したプロセスデータ
でホストコンピュータのプロセスデータ受信不能期間の
欠落プロセスデータを補填する手段をさらに設けたこと
で、ホストコンピュータはダウン状態から復旧した直後
より、各各処理装置の制御装置に対する制御を直ちに再
開することができる。
によれば、コントロール装置で収集したプロセスデータ
でホストコンピュータのプロセスデータ受信不能期間の
欠落プロセスデータを補填する手段をさらに設けたこと
で、ホストコンピュータはダウン状態から復旧した直後
より、各各処理装置の制御装置に対する制御を直ちに再
開することができる。
【図１】本発明に係る制御システムの制御対象である複
合プロセス型の半導体ウエハ製造装置の構成を示す図
合プロセス型の半導体ウエハ製造装置の構成を示す図
【図２】本発明の第１の実施形態である制御システムの
構成を示すブロック図
構成を示すブロック図
【図３】図２のＥＣＣ制御部におけるプロセステータ転
送に係る部分の構成を示す図
送に係る部分の構成を示す図
【図４】本発明の第２の実施形態である制御システムの
構成を示すブロック図
構成を示すブロック図
【図５】従来の制御システムの全体的な構成を示すブロ
ック図
ック図
１１（１１-1〜１１-N）……処理装置
１２（１２-1〜１２-N）……ＥＣＣ制御部
１３……ＨＣＩ
１４……データ伝送路
１５……ホストコンピュータ
１６……ＲＡＰ
１７……ＡＧＣ
１７ａ……ＡＧＣサーバ
１７ｂ……ＡＧＣクライアント
２１……通信Ｉ／Ｆ
２２……ＥＱＭ制御部
２３……データベース
２５……データ解析部
２６……データ変換部
２７……データ表示部
２８……レシピ修正部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平９−251304（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−335193（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−249328（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/02
G06F 17/60
G05B 23/02
Claims (3)
- 【請求項１】 被処理基板に対する所定のプロセスを行
う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、 前記各制御装置より受信したプロセスデータに基づいて
前記各制御装置を制御するホストコンピュータと、 前記各制御装置より受信したプロセスデータを収集する
手段、前記収集したプロセスデータを解析する手段、お
よび前記解析の結果を出力する手段を有するコントロー
ル装置とを具備し、 前記個々の制御装置は、プロセスデータを生成する手
段、前記生成されたプロセスデータの中から予め設定さ
れた一部のプロセスデータを前記ホストコンピュータに
送信する手段、および前記生成された全てのプロセスデ
ータを前記コントロール装置に送信する手段を有するこ
とを特徴とする制御システム。 - 【請求項２】 被処理基板に対する所定のプロセスを行
う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、 前記各制御装置より受信したプロセスデータに基づいて
前記各制御装置を制御するホストコンピュータと、 前記各制御装置より受信したプロセスデータを収集する
手段、前記収集したプロセスデータを解析する手段、お
よび前記解析の結果に基づいて前記各処理装置のプロセ
ス条件を更新する手段を有するコントロール装置とを具
備し、 前記個々の制御装置は、プロセスデータを生成する手
段、前記生成されたプロセスデータの中から予め設定さ
れた一部のプロセスデータを前記ホストコンピュータに
送信する手段、および前記生成された全てのプロセスデ
ータを前記コントロール装置に送信する手段を有するこ
とを特徴とする制御システム。 - 【請求項３】 被処理基板に対する所定のプロセスを行
う複数の処理装置を個別に制御する複数の制御装置と、 前記各制御装置より受信した一部のプロセスデータに基
づいて前記各制御装置を制御するホストコンピュータ
と、 前記各制御装置より受信したプロセスデータを収集する
手段、前記収集したプロセスデータを解析する手段、前
記解析の結果を出力する手段、および前記収集したプロ
セスデータで前記ホストコンピュータのプロセスデータ
受信不能期間の欠落プロセスデータを補填する手段を有
するコントロール装置とを具備し、 前記個々の制御装置は、プロセスデータを生成する手
段、前記生成されたプロセスデータの中から予め設定さ
れた一部のプロセスデータを前記ホストコンピュータに
送信する手段、および前記生成された全てのプロセスデ
ータを前記コントロール装置に送信する手段を有するこ
とを特徴とする制御システム。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16428897A JP3512594B2 (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 制御システム |
| US09/102,009 US6269279B1 (en) | 1997-06-20 | 1998-06-22 | Control system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16428897A JP3512594B2 (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 制御システム |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002356725A Division JP3920206B2 (ja) | 2002-12-09 | 2002-12-09 | 制御システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1116797A JPH1116797A (ja) | 1999-01-22 |
| JP3512594B2 true JP3512594B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=15790265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16428897A Expired - Fee Related JP3512594B2 (ja) | 1997-06-20 | 1997-06-20 | 制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3512594B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI244603B (en) * | 2001-07-05 | 2005-12-01 | Dainippon Screen Mfg | Substrate processing system for managing device information of substrate processing device |
| US6970758B1 (en) | 2001-07-12 | 2005-11-29 | Advanced Micro Devices, Inc. | System and software for data collection and process control in semiconductor manufacturing and method thereof |
| JP2007536634A (ja) * | 2004-05-04 | 2007-12-13 | フィッシャー−ローズマウント・システムズ・インコーポレーテッド | プロセス制御システムのためのサービス指向型アーキテクチャ |
| JP5465995B2 (ja) * | 2009-01-06 | 2014-04-09 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム、収集ユニット、基板処理装置のデータ処理方法および基板処理装置 |
| JP6973956B2 (ja) | 2019-07-04 | 2021-12-01 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 |
-
1997
- 1997-06-20 JP JP16428897A patent/JP3512594B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1116797A (ja) | 1999-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3771050B2 (ja) | 制御システム | |
| TWI302235B (ja) | ||
| US9678801B2 (en) | Service management modes of operation in distributed node service management | |
| JP4496093B2 (ja) | 高可用性システムの遠隔エンタープライズ管理 | |
| US9436257B2 (en) | Power supply engagement and method therefor | |
| JP6795444B2 (ja) | 異常検知システム、半導体装置の製造システムおよび製造方法 | |
| JP3920206B2 (ja) | 制御システム | |
| JP2009070279A (ja) | 処理システムの制御装置、処理システムの制御方法および制御プログラムを記憶した記憶媒体 | |
| JP3512594B2 (ja) | 制御システム | |
| JPH09292915A (ja) | サーバレスプラント監視・制御装置 | |
| US20080052560A1 (en) | Field bus communication diagnosing device and field bus communication diagnosing method | |
| JP4474166B2 (ja) | 障害検出データを仲介するためのシステム | |
| JP4697878B2 (ja) | プロセス情報管理装置、およびプログラム | |
| US20080056160A1 (en) | Information processing system, information processing apparatus, information processing method and program | |
| CN109639755B (zh) | 关联系统服务器解耦方法、装置、介质及电子设备 | |
| US20100332012A1 (en) | Arrangement for identifying uncontrolled events at the process module level and methods thereof | |
| EP4050487A1 (en) | Method and apparatus for determining collection frequency, computer device, and storage medium | |
| JP5253517B2 (ja) | 真空処理装置のデータ収集システム | |
| KR101997951B1 (ko) | 시맨틱 정보 분석을 지원할 수 있는 IoT 서비스 시스템 및 방법 | |
| GB2355092A (en) | Server monitoring in a semiconductor factory automation system | |
| JP2006093641A (ja) | 半導体製造装置におけるデータ収集システム、データ収集方法及びそのプログラム | |
| JP3916803B2 (ja) | 監視制御システム | |
| US8578215B2 (en) | Method and system for gathering data using automatic appliance failover | |
| JP2001076982A (ja) | 半導体ウェーハを測定する測定装備を制御するための半導体工場自動化システム及び自動化方法 | |
| CN111654401A (zh) | 监控系统的网段切换方法、装置、终端和存储介质 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040106 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040107 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |