KR101264455B1 - 웨이퍼 이동 제어 매크로 - Google Patents

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Abstract

복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법이 개시된다. 이 방법은, 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서, 각각, 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 1 사용자-제공 위치 표시자 및 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계를 포함한다. 이 방법은, 제 1 사용자-제공 위치 표시자와 제 2 사용자-제공 위치 표시자 사이의 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계를 더 포함한다. 이 방법은, 그 경로에 관한 데이터에 응답하는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 형성하는 단계를 더 포함한다. 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 웨이퍼 보유 위치들의 세트를 따라 전달하도록 구성된다.
웨이퍼 보유 위치, 플라즈마 클러스터 툴, 너비-우선 횡단 알고리즘

Description

웨이퍼 이동 제어 매크로{WAFER MOVEMENT CONTROL MACROS}
발명의 배경
플라즈마 클러스터 툴 환경 내에서의 웨이퍼의 전달을 제어하는 것은 복잡하고 장황한 프로세스일 수 있다. 여기에 설명된 바와 같이, 플라즈마 클러스터 툴은 통합된 멀티 모듈 플라즈마 프로세싱 시스템에 관련된다. 일반적으로, 웨이퍼는, 그 웨이퍼가 에칭 사이클을 완료할 때까지 다양한 웨이퍼 보유 위치들에서 일련의 프로세스 단계들을 경험한다.
여기에 설명된 바와 같이, 웨이퍼 보유 위치는 소정의 모듈 내의 소정의 노드에 관련된다. 모듈의 예는, 프로세스 모듈, 에어록 (airlock) 모듈, 진공 전달 모듈, 대기 (atmospheric) 전달 모듈, 및 포트를 포함하지만 이에 한정되지는 않는다. 각각의 모듈은 1 로부터 n 번째 수의 노드들까지의 복수의 노드들 (즉, 슬롯들) 을 가질 수도 있다. 예를 들어, 프로세스 모듈은 일반적으로 1 개의 노드를 갖지만, 에어록 모듈은 일반적으로 2 개의 노드를 갖는다. 따라서, 웨이퍼 보유 위치의 일 예는 에어록 모듈 1 의 노드 1 이다.
일반적으로, 웨이퍼 보유 위치들 사이에서의 웨이퍼의 전달은 중앙집중형 핸들링 모듈에 의해 처리된다. 중앙집중형 핸들링 모듈에서, 사용자는, 웨이퍼 이동을 가능하게 하기 위해, 메뉴, 버튼 및 아이콘의 조합을 수반할 수도 있는 웨이퍼 전달 명령들 (즉, 매크로 커맨드들 또는 시퀀스들) 을 생성한다. 또한, 개시 웨이퍼 보유 위치 (origination wafer-holding location; 즉, 소스 노드를 갖는 소스 모듈) 로부터 목적지 웨이퍼 보유 위치 (destination wafer-holding location) 로 웨이퍼를 이동시키는 것은, 다수의 중간 웨이퍼 전달 명령들을 수반할 수도 있다. 따라서, 성공적인 웨이퍼 이동은 사용자의 기량 및 신뢰도에 의존할 수도 있다. 그러나, 사용자가 웨이퍼 전달 명령들의 생성에 숙련되더라도, 웨이퍼 이동을 완료하기 위해 사용자가 제공해야 할 수도 있는 파라미터들의 수만으로도, 에러가 발생할 가능성이 증대된다.
설명을 용이하게 하고 웨이퍼 전달 명령들을 생성 및 실행하는 가능한 복잡도를 설명하기 위해, 도 1 은, 플라즈마 클러스터 툴의 현재 상태의 애니메이트 (animate) 된 그래픽 개관과 커플링되는 메뉴-구동형 (menu-driven) 인터페이스를 도시한다. 섹션 (100) 은 플라즈마 클러스터 툴 (101) 의 현재 상태의 애니메이트된 그래픽 개관을 도시한다. 섹션 (119) 은, 사용자가 플라즈마 클러스터 툴 (101) 내의 웨이퍼들을 이동시키기 위한 웨이퍼 전달 명령들을 생성하기 위해 이용하는 메뉴-구동형 인터페이스를 도시한다. 일반적으로, 플라즈마 클러스터 툴 (101) 은, 웨이퍼가 포트로부터 대기 전달 모듈 (ATM) 을 통하여 진공 전달 모듈 (VTM) 내지 하나 이상의 프로세스 모듈들로, 및 최종적으로는 포트로 되돌아가도록 이동할 때, 그 웨이퍼가 프로세싱될 수 있게 하는 다양한 웨이퍼 보유 위치들로 구성된다.
웨이퍼가 포트들 (110, 112, 114) 중 하나의 포트에 위치된다. 로봇 아암 (robotic arm) 일 수도 있는 ATM (125) 은 웨이퍼를 얼라이너 (107) 로 이동시킨다. 얼라이너 (107) 는 웨이퍼가 에칭되기 전에 그 웨이퍼를 적절하게 중앙에 위치시킨다. 일단 중앙에 위치되면, 웨이퍼는 ATM (125) 에 의해 에어록 모듈들 (121 및 123) 중 하나의 모듈로 이동된다. 에어록 모듈들이 대기 전달 모듈과 진공 전달 모듈 사이의 환경을 매칭시키는 능력을 갖기 때문에, 웨이퍼는 손상없이 2 개의 입력 환경들 사이에서 이동할 수 있다.
에어록 모듈로부터, 웨이퍼는, 진공 전달 모듈 (VTM; 108) 에서의 로봇 이펙터들 (109 및 111) 중 하나에 의해 프로세스 모듈들 (102, 103, 104 및 105) 중 하나로 이동된다. 프로세스 모듈들 사이에서 이동시키기 위해, VTM (108) 에서의 로봇 이펙터들 중 하나가 사용된다. 예를 들어, 프로세스 모듈 (PM; 102) 로부터 PM (104) 으로 이동시키기 위해, 웨이퍼는 PM (102) 으로부터 VTM (108) 으로 이동된다. VTM (108) 으로부터, 웨이퍼는 PM (104) 으로 이동된다.
일단 웨이퍼가 프로세싱되면, 웨이퍼는 VTM (108) 에서의 로봇 이펙터들 (109 및 111) 중 하나에 의해 프로세스 모듈들 (102 및 104) 로부터 에어록 모듈들 (121 및 123) 중 하나로 이동된다. 에어록 모듈 (즉, 123) 에서, 웨이퍼는 ATM (125) 을 통해 포트들 (110, 112, 114) 중 하나의 포트로 또는 얼라이너 (107) 로 이동될 수도 있다.
섹션 (100) 에서의 애니메이트된 그래픽 개관의 도움으로, 사용자는 웨이퍼 전달 명령들을 생성하기 위해 섹션 (119) 을 이용할 수 있다. 섹션 (119) 은 2 개의 메인 섹션들, VTM 커맨드 (171) 및 ATM 커맨드 (173) 로 분할된다. 웨이퍼가 PM (102) 에 있다고 가정하면, 사용자는 그 웨이퍼를 포트 (110) 로 이동시키는 것을 원한다. 상술된 예를 위한 웨이퍼 이동을 실행하는 웨이퍼 전달 명령들을 생성하기 위해, 사용자는 2 개의 상이한 세트의 웨이퍼 전달 명령들을 생성해야 한다. VTM 커맨드 (171) 에서 정의되는 웨이퍼 전달 명령들의 제 1 세트는 웨이퍼를 PM (102) 으로부터 에어록 모듈들 중 하나의 모듈로 이동시킨다. ATM 커맨드 (173) 에서 정의되는 웨이퍼 전달 명령들의 제 2 세트는 웨이퍼를 에어록 모듈들 중 하나의 모듈로부터 포트 (110) 로 이동시킨다.
웨이퍼 전달 명령들의 제 1 세트를 생성하기 위해, 사용자는 개시 웨이퍼 보유 위치, 중간 목적지 웨이퍼 보유 위치, 및 웨이퍼를 개시 웨이퍼 보유 위치로부터 중간 목적지 웨이퍼 보유 위치로 이동시킬 로봇 이펙터를 식별한다. 먼저, 필드 (120 및 122) 에서, 사용자는, 개시 웨이퍼 보유 위치에 대해, 각각, 모듈 및 노드를 식별해야 한다 (즉, PM (102) 의 노드 1).
그 후, 사용자는 중간 목적지 웨이퍼 보유 위치를 정의해야 한다. 중간 목적지 웨이퍼 보유 위치는 다른 PM (PM (104), PM (103), 또는 PM (105)) 일 수도 있거나 또는 에어록 모듈들 (121 또는 123) 중 하나일 수도 있다. 예를 들어, 필드 (124 및 126) 에 대한 파라미터들은 에어록 모듈 (123) 의 노드 1 일 수도 있다. 마지막으로, VTM 커맨드 (171) 를 완성하기 위해, 사용자는 VTM (108) 의 어떤 로봇 이펙터 (즉, 로봇 이펙터 (109)) 가 사용될지를 필드 (136) 에서 식별해야 한다.
포트 (110) 에서 웨이퍼를 그의 최종 목적지 웨이퍼 보유 위치로 이동시키기 위해, 사용자는 ATM 커맨드 (173) 에서 중간 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치를 식별한다. 먼저, 필드 (152 및 154) 에서, 사용자는 중간 개시 웨이퍼 보유 위치에 대해, 각각, 모듈 및 노드를 식별한다 (즉, 에어록 모듈 (123) 의 노드 1). ATM 커맨드 (173) 에서 정의된 중간 개시 웨이퍼 보유 위치는 VTM 커맨드 (171) 에서 식별된 동일한 중간 목적지 웨이퍼 보유 위치일 수도 있다. 그 후, 사용자는 필드 (156 및 158) 에 대한 목적지 웨이퍼 보유 위치 파라미터들을 식별한다 (즉, 포트 (110) 의 노드 1). 그 커맨드를 실행하기 위해, 사용자는 버튼 (174) 을 누른다.
상기 예는 모듈로부터 포트로의 웨이퍼 전달을 설명한다. 그러나, 웨이퍼 이동은 양방향적이다. 예를 들어, 포트 (110) 에서의 웨이퍼는 프로세싱되기 위해 PM (102) 으로 이동될 필요가 있다. 이 상황에서, 웨이퍼를 ATM 을 통하여 포트로부터 이동시키기 위해, 사용자는 먼저 ATM 커맨드 (173) 에서 웨이퍼 전달 명령들을 생성해야 한다. 그 후, 사용자는 웨이퍼를 지정된 프로세스 모듈로 이동시키기 위해, VTM 커맨드 (171) 에서 웨이퍼 전달 명령들을 생성한다.
다른 예에서, 사용자는 단지 웨이퍼를 중간 웨이퍼 보유 위치로 이동시키는 것만을 원할 수도 있다. 예를 들어, 사용자는 PM (102) 에서의 웨이퍼를 VTM (108) 으로 이동시키는 것을 원한다. 이러한 전달을 달성하기 위해, 사용자는, 필드 (132 및 134) 에서 개시 웨이퍼 보유 위치 (모듈 및 노드 각각) 를 식별하고 필드 (136) 에서 로봇 이펙터를 결정할 것을 사용자에게 요구하는 "픽 (pick)" 옵션을 이용할 수도 있다.
마찬가지로, 사용자가 웨이퍼를 VTM (108) 으로부터 PM (102) 으로 이동시키는 것을 원한다면, 사용자는, 필드 (128 및 130) 에서 목적지 웨이퍼 보유 위치 (모듈 및 노드 각각) 를 식별하고 필드 (136) 에서 로봇 이펙터를 결정할 것을 사용자에게 요구하는 "배치 (place)" 옵션을 이용할 수도 있다. 유사한 "픽" (필드 (172 및 168)) 옵션 및 "배치" (필드 (170 및 166)) 옵션은 ATM 커맨드 (173) 에 존재한다.
도 2a 및 도 2b 양자는, 웨이퍼를 원하는 웨이퍼 보유 위치로 이동시키기 위해 사용자가 행할 수도 있는 단계들의 흐름도를 제공한다. 도 2a 및 도 2b 는, 사용자가 웨이퍼를 PM (102) 으로부터 포트 (110) 로 이동시키는 것을 원한다고 가정하여, 도 1 을 참조하여 설명한다. 도 2a 는 사용자가 VTM 커맨드 (171) 에서 행하는 단계를 설명하고, 도 2b 는 ATM 커맨드 (173) 에서 사용자가 행하는 단계를 설명한다.
단계 204 에서, 사용자는 VTM 커맨드 (171) 를 선택한다. 단계 206 에서, 사용자는 소스 모듈을 선택한다 (즉, PM (102) 을 필드 (120) 에 대한 파라미터로서 입력한다). 그 후, 단계 208 에서, 사용자는 소스 노드를 선택한다 (즉, 필드 (122) 에서 1 을 입력한다). 단계 210 에서, 사용자는 중간 목적지 모듈을 선택한다 (즉, 필드 (124) 에서 에어록 모듈 (123) 을 입력한다). 단계 212 는 중간 목적지 노드를 선택할 것을 사용자에게 요구한다 (즉, 필드 (126) 에서 2 를 입력한다). 단계 214 에서, 사용자는 로봇 이펙터를 선택한다 (즉, 필드 (136) 에서 로봇 아암 A 를 선택한다). 단계 216 에서, 사용자는 웨이퍼 전달 명령들이 완료되도록 실행 및 대기한다. 단계 218 에서, 웨이퍼가 중간 목적지 웨이퍼 보유 위치에 있지 않은 경우에, 사용자가 다른 웨이퍼 전달 명령들을 생성하는 것을 원한다면, 프로세스는 단계 206 에서 다시 시작할 수도 있다.
그러나, 단계 218 에서, 웨이퍼가 중간 목적지 모듈에 있다면, 사용자는 단계 250 으로 진행한다. 단계 250 에서, 사용자는 ATM 커맨드 (173) 를 선택한다. 단계 252 에서, 사용자는 중간 소스 모듈을 선택한다 (즉, 필드 (152) 에서 에어록 모듈 (123) 을 입력한다). 그 후, 사용자는 중간 소스 노드를 선택한다 (즉, 필드 (154) 에서 2 를 입력한다). 단계 252 및 단계 254 에 대한 파라미터들은, 각각, 단계 210 및 단계 212 에서의 파라미터들과 동일할 수도 있다. 단계 256 에서, 사용자는 목적지 모듈을 선택한다 (즉, 필드 (156) 에서 포트 (110) 를 입력한다). 그 후, 단계 258 에서, 사용자는 목적지 노드를 선택한다 (즉, 필드 (158) 에서 1 을 입력한다). 단계 260 에서, 사용자는 버튼 (174) 을 누름으로써 실행한다.
단계 260 에서, 웨이퍼 이동이 완료되면 (단계 262), 사용자는 단계 264 로 진행하며, 모든 프로세스가 종료된다. 그러나, 웨이퍼 이동이 완료되지 않으면, 사용자는 단계 250 으로 복귀하여, 웨이퍼가 그의 최종 목적지 웨이퍼 보유 위치에 있을 때까지 단계들을 다시 거치도록 진행한다.
상술된 바와 같이, 웨이퍼를 모듈로부터 포트로 이동시키는 것은 다수의 웨이퍼 전달 명령들을 수반하며, 그 명령들은 다수의 입력들을 행할 것을 사용자에게 요구한다. 단지 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치를 정의할 것만을 사용자에게 요구하는 것이 아니라, 사용자는 또한 그 전달이 달성될 메커니즘을 선택해야 할 수도 있다. 그 결과, 사용자는, 웨이퍼 전달 명령들의 생성이 성공적인 웨이퍼 이동을 보장한다는 것을 확실히 하기 위해, 정통하고 있을 필요가 있다.
웨이퍼 이동에 대한 현재의 방법은 여러 문제가 있다. 첫번째는, 웨이퍼 전달 명령들을 생성하기 위해, 사용자에게 특정 파라미터들의 입력을 요구한다는 것이다. 따라서, 사용자는 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치를 알아야 할 필요가 있을 뿐만 아니라, 사용자는 전달 메커니즘 및 중간 목적지 웨이퍼 보유 위치를 정의해야 할 수도 있다. 사용자가 웨이퍼 전달 명령들을 생성하기 위해 다양한 파라미터들을 입력해야 하기 때문에, 에러의 확률이 증가한다.
두번째는, 사용자가 플라즈마 클러스터 툴의 현재 상태를 사용자에게 제공할 수도 있는 그래픽 개관에 의해 한정된다는 것이다. 웨이퍼가 현재 플라즈마 클러스터 툴의 웨이퍼 보유 위치들 중 하나의 위치를 점유한다고 가정한다 (즉, 사용자는 에어록 모듈 (121) 이 웨이퍼에 의해 점유되는 것을 관측한다). 그러나, 그래픽 개관은 단지 사용자로 하여금 모듈이 점유되는 것만을 관측할 수 있게 하고, 어느 노드가 점유되는지를 식별하지 않는다 (즉, 사용자는 웨이퍼가 노드 1 에 있는지 또는 노드 2 에 있는지를 판정할 수 없다). 하나의 웨이퍼가 점유된 노드로 이동하려고 시도할 때 2 개의 웨이퍼들이 파괴될 위험을 방지하기 위해, 숙련된 사용자는 점유된 에어록 모듈 (즉, 에어록 모듈 (121)) 을 다음의 웨이퍼 보유 위치로서 사용할 확률을 제거하고, 대신에 다른 에어록 모듈을 선택해야 할 수도 있다. 그러나, 사용자가 웨이퍼를 점유된 노드에 배치하는 것을 선택하면, 2 개의 웨이퍼는 파괴될 것이고, 플라즈마 클러스터 툴은 웨이퍼 보유 위치로부터 파괴된 조각들을 청소하기 위해 셧다운 (shut down) 되어야 할 것이다.
긴급상황이 발생하여 복수의 웨이퍼들이 적절한 시기에 제거되어야 할 때 존재하는 세번째 문제가 발생한다. 예를 들어, 정전이 발생하여, 플라즈마 클러스터 툴로부터 모든 웨이퍼들을 제거하기 위해 5 분의 시간이 있다고 사용자에게 통지한다. 사용자는 플라즈마 클러스터 툴로부터 웨이퍼들을 물리적으로 제거하거나, 또는 플라즈마 클러스터 툴로부터 각각의 웨이퍼를 제거하는 웨이퍼 전달 명령들을 생성하는 옵션을 갖는다. 어느 경우이든, 사용자는, 짧은 시간 범위 내에 플라즈마 클러스터 툴로부터 웨이퍼들을 신속하게 제거하려고 시도함에 따라, 실수를 저지르고 머신에 손상을 야기할 위험에 노출된다.
발명의 요약
일 실시형태에서, 본 발명은, 복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법에 관한 것이다. 이 방법은, 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 개시 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 1 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은, 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 목적지 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계를 포함한다. 이 방법은, 제 1 사용자-제공 위치 표시자와 제 2 사용자-제공 위치 표시자 사이의 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계를 더 포함한다. 또한, 이 방법은, 경로에 관한 데이터에 응답하는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 형성하는 단계를 더 포함한다. 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 웨이퍼 보유 위치들의 세트를 따라 전달하도록 구성된다.
또 다른 실시형태에서, 본 발명은, 복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법에 관한 것이다. 이 방법은, 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 개시 웨이퍼 보유 위치를 식별하는 제 1 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은, 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 목적지 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계를 포함한다. 이 방법은, 제 1 사용자-제공 위치 표시자와 제 2 사용자-제공 위치 표시자 사이의 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계를 더 포함한다. 상기 경로는, 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치 이외에 적어도 하나의 다른 웨이퍼 보유 위치를 횡단한다. 또한, 상기 경로는 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치들 사이의 웨이퍼 보유 위치들의 아이덴티티들을 포함한다. 또한, 이 방법은, 상기 경로에 관한 데이터에 응답하는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 형성하는 단계를 더 포함한다. 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 웨이퍼 보유 위치들을 따라 전달하도록 구성된다.
또 다른 실시형태에서, 본 발명은, 복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법에 관한 것이다. 이 방법은 개시 웨이퍼 보유 위치를 확인하는 단계를 포함한다. 또한, 이 방법은 목적지 웨이퍼 보유 위치를 확인하는 단계를 포함한다. 이 방법은 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이의 경로에 관한 데이터를 자동적으로 확인하는 단계를 더 포함한다. 상기 경로는, 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치 이외에 적어도 하나의 다른 웨이퍼 보유 위치를 횡단한다. 또한, 상기 경로는 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치들 사이의 웨이퍼 보유 위치들의 아이덴티티들을 포함한다. 또한, 이 방법은, 상기 경로에 관한 데이터에 응답하는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 자동적으로 형성하는 단계를 더 포함한다. 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 웨이퍼 보유 위치들을 따라 전달하도록 구성된다.
또 다른 실시형태에서, 본 발명은, 복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 장치에 관한 것이다. 이 장치는 제 1 사용자-제공 위치 표시자 및 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 수단을 포함한다. 제 1 사용자-제공 위치 표시자는 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 개시 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별한다. 제 2 사용자-제공 위치 표시자는 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 목적지 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별한다. 또한, 이 장치는 제 1 사용자-제공 위치 표시자와 제 2 사용자-제공 위치 표시자 사이의 경로에 관한 데이터를 확인하는 수단을 포함한다. 이 장치는 상기 경로에 관한 데이터에 응답하는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 형성하는 수단을 더 포함한다. 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 웨이퍼 보유 위치들의 세트를 따라 전달하도록 구성된다.
도면의 간단한 설명
본 발명은 첨부한 도면에서 제한이 아닌 일 예로 설명되며, 도면에서, 동일한 참조부호는 유사한 엘리먼트를 지칭한다.
도 1 은 플라즈마 클러스터 툴의 현재 상태의 애니메이트된 그래픽 개관과 커플링된 메뉴-구동형 인터페이스를 도시한다.
도 2a 는 진공 전달 모듈에서 웨이퍼를 원하는 웨이퍼 보유 위치로 이동시키기 위해 사용자가 행할 수도 있는 단계들의 흐름도를 도시한다.
도 2b 는 대기 전달 모듈에서 웨이퍼를 원하는 웨이퍼 보유 위치로 이동시키기 위해 사용자가 행할 수도 있는 단계들의 흐름도를 도시한다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태에서, 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현을 도시한다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태에서, 웨이퍼 이동을 달성하기 위해 드래그-앤-드롭 (drag-and-drop) 을 이용하여 웨이퍼가 이동될 수도 있는 방법을 도시한다.
도 5a 는 본 발명의 일 실시형태에서, 다양한 모듈들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴을 도시한다.
도 5b 는 본 발명의 일 실시형태에서, 도 5a 에 도시된 플라즈마 클러스터 툴의 노드 개관을 도시한다.
도 6 은 본 발명의 일 실시형태에서, 도 5a 및 도 5b 에 적용된 바와 같은 웨이퍼 전달 명령들을 생성하는데 이용될 수도 있는 너비-우선 횡단 알고리즘 (breadth-first traversal algorithm) 의 흐름도를 도시한다.
도 7 은 본 발명의 일 실시형태에서, 도 5a 및 도 5b 에 적용된 바와 같은 도 6 의 흐름도의 그래픽도를 도시한다.
실시형태들의 상세한 설명
다음으로, 본 발명은 첨부 도면에 도시된 바와 같이 본 발명의 몇몇 실시형태를 참조하여 상세히 설명될 것이다. 다음의 설명에서, 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해, 다수의 특정 상세들이 기술된다. 그러나, 본 발명이 이들 특정 상세들의 일부 또는 전부 없이도 실시될 수도 있다는 것이 당업자에게 명백할 것이다. 다른 경우에, 본 발명을 불필요하게 모호하지 않게 하기 위하여 잘 알려진 프로세스 단계들 및/또는 구조들은 상세히 설명되지 않는다.
이하, 방법들 및 기술들을 포함하는 다양한 실시형태들이 설명된다. 본 발명이, 본 발명의 기술의 실시형태들을 수행하는 컴퓨터 판독가능 명령들이 저장된 컴퓨터 판독가능 매체를 포함하는 제품들을 또한 커버할 수도 있다는 것을 유념해야 한다. 컴퓨터 판독가능 매체는, 예를 들어, 반도체, 자기, 광자기, 광학, 또는 컴퓨터 판독가능 코드를 저장하기 위한 다른 형태의 컴퓨터 판독가능 매체를 포함할 수도 있다. 또한, 본 발명은 본 발명의 실시형태들을 실시하는 장치들을 커버할 수도 있다. 이러한 장치는, 본 발명의 실시형태들에 관한 태스크들을 수행하기 위해 전용 및/또는 프로그램가능한 회로를 포함할 수도 있다. 이러한 장치의 예는, 적절히 프로그램된 경우 범용 컴퓨터 및/또는 전용 컴퓨팅 디바이스를 포함하고, 본 발명의 실시형태들에 관한 다양한 태스크들에 적합한 컴퓨터/컴퓨팅 디바이스 및 전용/프로그램가능한 회로들의 조합을 포함할 수도 있다.
본 발명의 실시형태들에 따르면, 사용자로부터 최소의 입력을 요구하는 플라즈마 클러스터 툴에 위치된 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이에서 웨이퍼를 전달하기 위한 웨이퍼 전달 명령들 (즉, 매크로들) 의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법들이 제공된다. 여기에 설명된 바와 같이, 플라즈마 클러스터 툴은 복수의 웨이퍼 보유 위치들을 가질 수도 있다.
일 실시형태에서, 사용자는, 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치를 식별하고, 시스템은 성공적인 웨이퍼 이동을 가능하게 하는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 자동적으로 생성한다. 이러한 웨이퍼 이동을 달성하기 위한 일 방법은 드래그-앤-드롭 방법을 이용하는 것이다. 예를 들어, 사용자는, 개시 웨이퍼 보유 위치에서 웨이퍼 상을 마우스 포인터를 이동시킴으로써 제 1 사용자-제공 위치 표시자를 제공한다. 제 2 사용자-제공 표시자는 웨이퍼를 목적지 웨이퍼 보유 위치로 드래그하고 그 웨이퍼를 스크린상에 드롭함으로써 식별된다. 다른 실시형태에서, 사용자는, 각각, 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치를 스크린상의 2 개의 필드에서 타이핑함으로써, 제 1 사용자-제공 위치 표시자 및 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 제공한다.
웨이퍼 이동을 가능하게 하는데 사용될 수도 있는 방법에 관계없이, 본 발명의 실시형태는, 모든 중간 웨이퍼 전달 명령들을 포함하는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하기 위해, 2 개의 입력, 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치를 제공할 것을 사용자에게 요구할 수도 있다. 사용자는, 웨이퍼 전달 명령들의 완전한 세트를 생성하는데 필요한 부가적인 데이터 (즉, 웨이퍼가 전달되는 메커니즘, 또는 웨이퍼가 목적지 웨이퍼 보유 위치에 도달하기 전에 그 웨이퍼가 거쳐야 할 수도 있는 중간 목적지 웨이퍼 보유 위치) 를 더 이상 제공하지 않아도 된다. 대신에, 시스템은, 제 1 사용자-제공 위치 표시자와 제 2 사용자-제공 위치 표시자 사이의 경로에 관한 데이터를 결정할 수 있으며, 그 데이터에 응답하고 웨이퍼를 그 경로에 따라 목적지 웨이퍼 보유 위치로 전달할 수 있는 웨이퍼 전달 명령들을 생성할 수 있다.
본 발명의 특징 및 이점은 후속할 도면 및 설명을 참조하여 더 잘 이해될 수도 있다. 도 3 은 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현을 도시한다. 종래 기술과는 달리, 섹션 (300) 은 웨이퍼 전달 명령들을 형성하기 위한 인터페이스 및 머신 상태의 개관 양자이다. 섹션 (301) 의 메인 기능은 다양한 모듈들 및 노드들에 대한 상태 데이터를 주로 제공하는 것이다.
일 실시형태에서, 섹션 (300) 은 플라즈마 클러스터 툴의 애니메이트된 그래픽 개관이다. 이 다이어그램에서, 플라즈마 클러스터 툴은 4 개의 프로세스 모듈들 (302, 304, 306 및 308) 을 갖는다. 또한, 플라즈마 클러스터 툴은 2 개의 로봇 이펙터 (312 및 314) 를 갖는 진공 전달 모듈 (310) 을 포함한다. 또한, 각각의 모듈 (320, 322, 324 및 326) 에서 2 개의 노드들을 갖는 2 개의 에어록 모듈 (316 및 318), 대기 전달 모듈 (328), 얼라이너 (330), 및 3 개의 포트 (332, 334 및 336) 가 도시되어 있다.
예를 들어, 사용자는 웨이퍼를 프로세스 모듈 (PM; 302) 로부터 포트 (332) 로 이동시키는 것을 원한다. 사용자는 단지 PM (302) 인 개시 웨이퍼 보유 위치 및 포트 (322) 인 목적지 웨이퍼 보유 위치를 식별해야 할 수도 있다. 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치에 의하여, 시스템은, 웨이퍼 이동을 완료하기 위해, 웨이퍼 전달 명령들을 생성할 수 있다. 일 실시형태에서, 웨이퍼 전달 명령들의 세트의 생성에 관한 데이터는 섹션 (301) 상의 시스템에 의해 제공된다.
도 4 는, 일 실시형태에서, 웨이퍼 이동을 달성하기 위해 드래그-앤-드롭 방법을 이용하여 웨이퍼가 이동될 수도 있는 방법을 도시한다. 이 다이어그램에서, PM (402) 은 도 3 의 PM (302) 과 동등하고, 포트 (404) 는 도 3 의 포트 (332) 와 동등하다. 사용자는 개시 웨이퍼 보유 위치 (즉, PM (402)) 상에 마우스 포인터를 배치함으로써 제 1 사용자-제공 위치 표시자를 제공하며, 웨이퍼를 목적지 웨이퍼 보유 위치 (즉, 포트 (404)) 로 드래그하고 그 웨이퍼를 목적지 웨이퍼 보유 위치에 드롭함으로써 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 식별한다. 드래그 경로는 도 4 에 도시된 경로와는 다를 수도 있으며, 즉, 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치가 제공되는 한, 필요하다면, 시스템은 중간 위치들을 채울 수 있다.
다른 실시형태에서, 스크린상의 애니메이트된 그래픽 개관 상에서의 2 개의 필드에서, 사용자는 개시 웨이퍼 보유 위치 (즉, PM (402)) 를 표시하는 제 1 사용자-제공 위치 표시자 및 목적지 웨이퍼 보유 위치 (즉, PM (404)) 를 표시하는 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 타이핑할 수도 있다. 사용된 방법에 관계없이, 시스템은, 웨이퍼 이동을 달성하기 위하여 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하기 위해, 단지 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치만을 필요로 할 수도 있다.
웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하기 위해, 시스템은 각각의 후보 노드를 평가하여 그 노드의 이용가능성 및 수용가능성을 결정하여, 웨이퍼를 그 노드의 개시 웨이퍼 보유 위치로부터 그 노드의 목적지 웨이퍼 보유 위치로 이동시키기 위한 가장 짧은 경로를 생성한다. 여기에 설명된 바와 같이, 노드가 현재 점유되지 않으면, 그 노드는 이용가능하다. 수용가능성은, 노드가 전달을 위한 웨이퍼를 수용하는데 문제를 가질 수도 있는지 여부에 관련있다. 후보 노드가 이용가능하지 않거나 수용가능하지 않으면, 시스템은 그 후보 노드를 배제가능한 것으로 플래그 (flag) 하고, 그 후보 노드는 웨이퍼 이동을 위한 경로를 생성하는데 시스템이 사용하는 노드들이 리스트에 포함되지 않는다.
웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는데 이용될 수도 있는 다양한 알고리즘들이 존재한다. 본 발명의 일 실시형태에서, 너비-우선 횡단 알고리즘이 사용된다. 사용되는 너비-우선 횡단 알고리즘은 2 개의 조건을 충족한다. 첫째로, 너비-우선 횡단 알고리즘은 최적의 상태를 복귀시켜야 한다 (즉, 너비-우선 횡단 알고리즘은 최적의 경로를 복귀시켜야 한다). 둘째로, 너비-우선 횡단 알고리즘은 완료되어야 한다 (즉, 너비-우선 알고리즘은 철저한 탐색을 행해야 한다).
너비-우선 횡단 알고리즘에 의하여, 3 개의 동일-길이 경로가 존재한다면, 너비-우선 횡단 알고리즘은 직면할 제 1 경로를 복귀시킨다. 마찬가지로, 3 개의 상이한 경로가 존재한다면, 너비-우선 횡단 알고리즘은 가장 짧은 경로를 복귀시킨다.
다음의 몇몇 다이어그램은, 너비-우선 횡단 알고리즘이 웨이퍼 명령들의 세트를 생성하는데 이용될 수도 있는 방법을 도시한다. 도 5a 는, 프로세스 모듈 (PM1, PM2, PM3 및 PM4), 2 개의 로봇 이펙터 (VTM1 및 VTM2) 를 갖는 진공 전달 모듈, 각각 2 개의 노드들 (AL1-1, AL1-2, AL2-1 및 AL2-2) 을 포함할 수도 있는 2 개의 에어록 모듈 (AL-1 및 AL-2), 대기 전달 모듈 (ATM1), 얼라이너 (A1) 및 다수의 포트들 (포트 1, 포트 2, 및 포트 3) 을 갖는 플라즈마 클러스터 툴을 도시한다.
도 5b 는 동일한 플라즈마 클러스터 툴의 노드 개관을 도시한다. 여기에 설명된 바와 같이, 모듈은 2 개 이상의 노드를 가질 수도 있다. 각각의 프로세스 모듈에 대해 1 개의 노드만이 존재하기 때문에, 각각의 프로세스 모듈은 1 개의 노드 (PM1, PM2, PM3 및 PM4) 를 갖는 것으로 도시된다. 마찬가지로, 2 개의 로봇 이펙터가 존재하기 때문에, 진공 전달 모듈은 2 개의 노드들 (VTM1 및 VTM2) 을 갖는 것으로 도시된다. 2 개의 에어록 모듈은 각각 2 개의 노드들 (AL1-1, AL1-2, AL2-1 및 AL2-2) 을 갖는 것으로 도시된다. 대기 전달 모듈은 하나의 노드 (ATM1) 를 갖는 것으로 도시되고, 얼라이너 (A1) 및 포트들 (포트 1, 포트 2, 포트 3 및 포트 4) 은 각각 하나의 노드로서 도시된다.
도 5a 및 도 5b 에 더하여, 도 6 및 도 7 은, 또한, 너비-우선 횡단 알고리즘이 웨이퍼 전달 명령들을 생성하는데 이용될 수도 있는 방법을 도시한다. 도 6 은 너비-우선 횡단 알고리즘이 후속할 수도 있는 흐름도를 제공하고, 도 7 은 그 흐름도의 그래픽도의 일 예를 도시한다.
사용자가 웨이퍼를 PM1 로부터 포트 1 로 이동시키는 것을 원한다고 가정한다. 일단 사용자가 포트 1 에 웨이퍼를 드롭하면, 시스템은 단계 602 에서 너비-우선 횡단 알고리즘을 시작한다. 단계 604 에서, 비어있는 큐가 생성된다. 여기에 설명된 바와 같이, 큐는 후보 노드가 목적지 웨이퍼 보유 위치인지 여부를 판정하기 위해 각 후보 노드가 조사될 수도 있는 순차적 방법이다. 그 큐는 선입-선출 (first-in-first-out) 타입의 큐이다 (즉, 아이템들은 큐의 후면에 부가되고 큐의 전면에서 제거된다).
단계 605 에서, 노드 방문 사전 (node visit dictionary; NVD) 이 생성된다. NVD 는, 시스템이 각각의 후보 노드를 평가하고 있을 때 직면되는 노드들을 보유하는 변수이다. 또한, 그 노드들 사이의 관계가 NVD 에 저장된다.
단계 606 에서, 개시 웨이퍼 보유 위치 노드 (즉, PM1) 가 NVD 에 부가된다. 단계 608 에서, 개시 웨이퍼 보유 위치 노드가 큐에 부가된다. 여기에 설명된 바와 같이, 큐의 전면에서의 임의의 노드는 부모 노드 (parent node) 인 것으로 간주된다.
단계 610 에서, 큐가 비어있다면, 프로세스는 단계 612 에서 종료한다. 어떤 목적지 웨이퍼 보유 위치 노드도 발견될 수 없고 웨이퍼 전달 명령들의 세트가 생성되지 않기 때문에, 프로세스는 단계 612 에서 종료한다.
이 예에서는, 큐가 비어있지 않기 때문에, 단계 614 에서, 시스템은 전면 큐 노드를 그랩 (grab) 한다. 전면 큐 노드를 이용하여, 시스템은 모든 이용가능한 자식 노드들 (VTM1 및 VTM2) 을 식별할 수 있다. 자식 노드가 이용가능하지 않거나 (즉, 자식 노드가 다른 웨이퍼에 의해 점유되거나), 수용가능하지 않다면 (즉, 자식 노드가 경고 조건을 갖는다면), 자식 노드는 이용가능한 후보 노드로서는 제거되며, 따라서, 그 자식 노드는 NVD 또는 큐에 부가되지 않는다. 그 결과, 그 노드는 웨이퍼 전달 명령들의 세트의 생성 시에 고려되지 않는다.
단계 618 에서, 시스템은, 자식 노드들의 수가 1 이상인지를 관측하도록 체크한다. 자식 노드가 없다면, 시스템은 단계 636 으로 진행하여 큐의 전면으로부터 부모 노드를 제거한다. 단계 610 에서, 큐가 비어있기 때문에, 시스템은 단계 612 에서 프로세스를 종료하며, 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 생성되지 않는다.
그러나, 이 예에서, 자식 노드의 수는 1 보다 크다. 시스템은 단계 620 으로 진행하여 제 1 자식 노드를 획득한다. 단계 622 에서, 자식 노드는 NVD 에 대해 체크되어 그 노드가 이미 사전에 있는지 여부를 판정한다. 자식 노드가 아직 NVD 에 있지 않기 때문에, 시스템은 단계 624 로 진행하여 그 자식 노드를 NVD 에 부가한다. 자식 노드가 이미 NVD 에 있는 경우, 자식 노드는 NVD 에 다시 부가되지 않는다.
단계 626 에서, 시스템은, 자식 노드가 목적지 웨이퍼 보유 위치 (포트 1) 와 동일한지 여부를 판정하도록 체크한다. VTM1 이 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에, 시스템은 단계 630 으로 진행하여 자식 노드를 큐에 부가한다.
단계 632 에서, 시스템은 임의의 부가적인 자식 노드가 있는지를 관측하도록 체크한다. 부가적인 자식 노드들이 있다면, 시스템은 단계 634 로 진행하여 다음의 자식 노드를 획득하고, 단계 622 로 복귀하여, 현재의 부모 노드의 모든 자식 노드들이 NVD 에 부가될 때까지 그 프로세스를 다시 시작한다. 단계 622 에서, 자식 노드가 이미 NVD 에 있다면, 시스템은 단계 632 로 진행하여 부가적인 자식 노드들을 체크한다. 일단 모든 자식 노드들이 식별되면, 시스템은 단계 636 으로 진행하여 큐의 전면으로부터 부모 노드를 제거한다. 단계 636 으로부터, 시스템은 단계 610 으로 복귀하여, 목적지 웨이퍼 보유 위치에 도달될 때까지 프로세스를 다시 시작한다.
도 7 은 도 5a 및 도 5b 의 예시적인 플라즈마 클러스터 툴에 적용되는 바와 같은 너비-우선 횡단 알고리즘 흐름도의 그래픽도이다. 섹션 (798) 은 큐들을 도시하고, 섹션 (799) 은 NVD 를 도시한다. NVD (799) 는 블록 701 에서 개시 웨이퍼 보유 위치 PM1 을 도시한다. 큐 700 에서, PM1 은 큐에서의 유일한 노드로서 도시된다.
NVD 의 블록 701 아래에, 부모-자식 관계가 저장된다. 블록 703 에서, PM1 은 2 개의 자식 노드들 (VTM1 및 VTM2) 을 갖는 부모 노드로서 도시된다. 큐 702 에서, VTM1 및 VTM2 는 큐의 후면에 부가되고, PM1 이 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에, 그 PM1 은 드롭된다. 다음으로, VTM1 이 새로운 부모 노드이다.
NVD 의 블록 705 에서, VTM1 은 부모 노드로서 도시되고, 에어록 노드들 (AL1-1, AL1-2, AL2-1 및 AL2-2) 및 다른 프로세스 모듈들 (PM2, PM3 및 PM4) 은 자식 노드이다. 대응하여, 큐 (704) 는, 그 큐의 후면에 부가되는 VTM1 의 자식 노드들 (AL1-1, AL1-2, AL2-1, AL2-2, PM2, PM3 및 PM4) 을 도시하며, VTM1 이 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에 그 VTM1 은 드롭된다.
다음으로, VTM2 가 큐의 전면으로 이동하며, 새로운 부모 노드인 것으로 간주된다. VTM2 가 VTM1 과 동일한 자식 노드들을 갖기 때문에, 어떤 새로운 노드들도 NVD 에 부가되지 않는다. 따라서, VTM2 가 큐의 전면으로부터 드롭되고 AL1-1 이 큐의 전면으로 이동하여 새로운 부모 노드가 될 때, 어떤 부가적인 노드들도 큐 (706) 에 부가되지 않을 것이다.
NVD 의 섹션 (707) 에서, AL1-1 이 부모 노드로서 도시된다. 여기에서, 다른 자식 노드 (즉, VTM2) 가 NVD 에 이미 존재하기 때문에, ATM1 만이 자식 노드로서 도시된다. 대응하여, ATM1 은 큐 (708) 의 후면에 부가되며, AL1-1 이 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에, 그 AL1-1 은 큐로부터 드롭된다.
다음으로, AL1-2 가 큐의 전면으로 이동하며, 새로운 부모 노드인 것으로 간주된다. AL1-2 가 AL1-1 과 동일한 자식 노드들을 갖기 때문에, 어떤 새로운 노드들도 NVD 에 부가되지 않는다. 따라서, 어떤 부가적인 노드들도 부가되지 않을 것이다. AL1-2 가 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에, AL1-2 는 큐로부터 드롭된다.
큐 710 에서, AL2-1 이 새로운 부모 노드이다. 그러나, AL2-1 이 AL1-1 과 동일한 자식 노드를 갖기 때문에, 어떤 새로운 자식 노드도 NVD 또는 큐의 말단에 부가되지 않는다. AL2-1 은 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에, AL2-1 은 큐로부터 드롭된다.
큐 712 에서, AL2-2 가 새로운 부모 노드이다. 그러나, AL2-1 이 AL1-1 과 동일한 자식 노드들을 갖기 때문에, 어떤 새로운 자식 노드도 NVD 또는 큐의 말단에 부가되지 않는다. AL2-2 가 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에, AL2-2 는 큐로부터 드롭되며 PM2 가 큐 (714) 에서 새로운 부모 노드이다. PM2 가 임의의 새로운 자식 노드를 NVD 에 부가하지 않기 때문에, 어떤 부가적인 자식 노드도 큐의 후면에 부가되지 않는다. PM2 가 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에, PM2 는 큐로부터 드롭된다.
큐 (716) 에서, PM3 이 새로운 부모 노드이다. 또한, PM3 은 임의의 새로운 노드들을 부가하지 않기 때문에, 어떤 부가적인 노드도 NVD 또는 큐에 부가되지 않는다. 큐 (718) 에서, PM3 은 큐로부터 드롭되며, PM4 가 새로운 부모 노드가 된다. 또한, 어떤 새로운 자식 노드도 존재하지 않기 때문에, 어떤 부가적인 노드들도 NVD 또는 큐에 부가되지 않는다. 큐 (720) 에서, PM4 는 큐로부터 드롭되며, ATM1 이 새로운 부모 노드가 된다.
섹션 (709) 에서, ATM1 이 부모 노드로서 도시되고, 포트 1, 포트 2, 포트 3 및 A1 은 자식 노드로서 도시된다. 대응하여, 큐 (722) 에서, 포트 1, 포트 2, 포트 3 및 A1 은 큐에 부가되며, ATM1 이 목적지 웨이퍼 보유 위치가 아니기 때문에, ATM1 은 큐로부터 드롭된다. 다음으로, 포트 1 이 새로운 부모 노드이다. 포트 1 이 목적지 웨이퍼 보유 위치이기 때문에, 너비-우선 횡단 알고리즘은 완료되며, 웨이퍼 이동 경로는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하도록 결정될 수 있다.
NVD 에 기초하여, 포트 1 은, AL1-1 의 자식인 ATM1 의 자식이다. AL1-1 은 VTM1 의 자식이고, VTM1 은 PM1 의 자식이다. 따라서, 이 예에서, 최적의 및 완성된 경로는 PM1 - VTM1 - AL1-1 - ATM1 - 포트 1 이다. 이 경로는, 웨이퍼를 PM1 으로부터 포트 1 로 이동시키기 위해, 이 예에서 시스템이 사용할 수도 있는 웨이퍼 전달 명령들의 세트이다.
전술한 것으로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시형태들은, 웨이퍼 전달 명령들이 단지 식별된 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치에만 생성될 것을 허용한다. 사용자가 부가적인 파라미터들을 제공하지 않아도 된다면, 사용자가 중간 웨이퍼 전달 명령들을 생성하는데 필요한 부가적인 파라미터들을 더 이상 제공하지 않아도 되기 때문에, 웨이퍼 전달 명령들의 생성 시에 사용자가 실수할 기회는 실질적으로 제거된다. 대신에, 시스템은, 각각의 후보 노드를 평가하여 웨이퍼를 이동시키기 위한 최상의 경로를 결정하기 위해 프로그램된다.
또한, 시스템이 각각의 후보 노드의 수용가능성 및 이용가능성을 결정하도록 구성될 수도 있기 때문에, 파괴된 웨이퍼들의 수가 감소한다. 예를 들어, 노드가 다른 웨이퍼에 의해 현재 점유되거나 노드가 경고 조건을 가지면, 시스템은 노드 상태를 평가하여 그 노드를 실행가능한 후보로서 제거할 수 있다.
본 발명의 일 실시형태에서, 시스템은 웨이퍼 클린아웃 (cleanout) 을 제공한다. 과거에는, 예를 들어, 블랙아웃 (blackout) 이 발생하고, 플라즈마 클러스터 툴로부터 모든 웨이퍼들을 클리닝하는데 짧은 시간이 사용자에게 주어지면, 사용자는 주어진 제한된 시간에서 각각의 웨이퍼를 제거하기 위한 웨이퍼 전달 명령들을 생성해야 한다. 본 발명의 일 실시형태에서, 사용자는 목적지 웨이퍼 보유 위치 (즉, 포트 1) 를 제공하고 웨이퍼 클린아웃 명령 (즉, 도 3의 도면부호 (338)) 을 발행하기만 하면 된다. 시스템은 각각의 웨이퍼의 현재의 위치 및 그로 인한 각각의 웨이퍼의 개시 웨이퍼 보유 위치를 결정하기 위한 센서를 갖는다. 따라서, 시스템은 각각의 웨이퍼를 목적지 웨이퍼 보유 위치로 이동시키기 위해 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 자체-생성할 수 있다. 일반적으로 포트가 복수의 노드들을 갖기 때문에, 시스템은, 웨이퍼를 점유된 노드에 우연히 배치하지 않고 포트에서의 각각의 미점유된 노드에 웨이퍼를 전달할 수 있다.
본 발명이 수개의 실시형태들의 관점에서 설명되었지만, 수정물, 변경물, 및 등가물이 존재하며, 그것들은 본 발명의 범위 내에 있다. 또한, 본 발명의 방법 및 장치를 구현하는 다수의 대안의 방식들이 존재한다는 것을 알 수 있다. 따라서, 다음의 첨부된 청구항이 본 발명의 본래의 사상 및 범위 내에 있는 그러한 모든 수정물, 변경물, 및 등가물을 포함하는 것으로 해석되는 것을 의도한다.

Claims (23)

  1. 복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치 (origination wafer-holding location) 와 목적지 웨이퍼 보유 위치 (destination wafer-holding location) 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법으로서,
    상기 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 상기 개시 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 1 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계;
    상기 플라즈마 클러스터 툴의 상기 스크린상의 그래픽 표현 상에서 상기 목적지 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계;
    상기 제 1 사용자-제공 위치 표시자와 상기 제 2 사용자-제공 위치 표시자 사이의 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계;
    제 1 웨이퍼 보유 위치와 관련된 센서를 이용하여 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 상기 웨이퍼를 수용하는데 부적합한 것으로서 보고하는 단계;
    상기 플라즈마 클러스터 툴의 적어도 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 배제가능한 것으로 플래그(flag) 하는 단계;
    상기 경로를 형성하는데 사용되는 노드의 목록으로부터 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 배제하는 단계; 및
    상기 경로에 관한 상기 데이터에 응답하는 상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트는, 상기 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 웨이퍼 보유 위치들의 세트를 따라 전달하도록 구성되는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 사용자-제공 위치 표시자 및 상기 제 2 사용자-제공 위치 표시자는, 상기 플라즈마 클러스터 툴의 상기 그래픽 표현 상에서 드래그-앤-드롭 (drag-and-drop) 동작을 이용하는 사용자에 의해 표시되는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계는, "너비-우선 (breadth-first)" 횡단 (traversal) 알고리즘을 이용하는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는컴퓨터 구현 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 매크로들의 세트를 나타내는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 웨이퍼 보유 위치가 상기 웨이퍼를 수용할 수 있는지 결정하는 단계; 및
    상기 결정하는 단계에 기초하여 상기 플래그를 수행하는 단계를 더 포함하는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 웨이퍼 보유 위치는, 상기 플라즈마 클러스터 툴에서의 소정의 모듈의 소정의 노드를 나타내는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  8. 복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치 (origination wafer-holding location) 와 목적지 웨이퍼 보유 위치 (destination wafer-holding location) 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법으로서,
    상기 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서 상기 개시 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 1 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계;
    상기 플라즈마 클러스터 툴의 상기 스크린상의 그래픽 표현 상에서 상기 목적지 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계;
    상기 제 1 사용자-제공 위치 표시자와 상기 제 2 사용자-제공 위치 표시자 사이의 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계로서, 상기 경로는 상기 개시 웨이퍼 보유 위치 및 상기 목적지 웨이퍼 보유 위치 이외에 적어도 하나의 다른 웨이퍼 보유 위치를 횡단하고, 상기 경로는 상기 개시 웨이퍼 보유 위치와 상기 목적지 웨이퍼 보유 위치들 사이의 웨이퍼 보유 위치들의 아이덴티티들을 포함하는, 상기 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계;
    제 1 웨이퍼 보유 위치와 관련된 센서를 이용하여 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 상기 웨이퍼를 수용하는데 부적합한 것으로서 보고하는 단계;
    상기 플라즈마 클러스터 툴의 적어도 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 배제가능한 것으로 플래그(flag) 하는 단계;
    상기 경로를 형성하는데 사용되는 노드의 목록으로부터 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 배제하는 단계; 및
    상기 경로에 관한 상기 데이터에 응답하는 상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트는, 상기 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 상기 웨이퍼 보유 위치들을 따라 전달하도록 구성되는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 사용자-제공 위치 표시자 및 상기 제 2 사용자-제공 위치 표시자는, 상기 플라즈마 클러스터 툴의 상기 그래픽 표현 상에서 드래그-앤-드롭 (drag-and-drop) 동작을 이용하는 사용자에 의해 표시되는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계는, "너비-우선 (breadth-first)" 횡단 (traversal) 알고리즘을 이용하는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 매크로들의 세트를 나타내는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 웨이퍼 보유 위치가 상기 웨이퍼를 수용할 수 있는지 결정하는 단계; 및
    상기 결정하는 단계에 기초하여 상기 플래그를 수행하는 단계를 더 포함하는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  13. 삭제
  14. 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 웨이퍼 보유 위치는, 상기 플라즈마 클러스터 툴에서의 소정의 모듈의 소정의 노드를 나타내는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  15. 복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치 (origination wafer-holding location) 와 목적지 웨이퍼 보유 위치 (destination wafer-holding location) 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법으로서,
    상기 개시 웨이퍼 보유 위치를 확인하는 단계;
    상기 목적지 웨이퍼 보유 위치를 확인하는 단계;
    상기 개시 웨이퍼 보유 위치와 상기 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이의 경로에 관한 데이터를 자동적으로 확인하는 단계로서, 상기 경로는 상기 개시 웨이퍼 보유 위치 및 상기 목적지 웨이퍼 보유 위치 이외에 적어도 하나의 다른 웨이퍼 보유 위치를 횡단하고, 상기 경로는 상기 개시 웨이퍼 보유 위치와 상기 목적지 웨이퍼 보유 위치들 사이의 웨이퍼 보유 위치들의 아이덴티티들을 포함하는, 상기 경로에 관한 데이터를 자동적으로 확인하는 단계;
    제 1 웨이퍼 보유 위치와 관련된 센서를 이용하여 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 상기 웨이퍼를 수용하는데 부적합한 것으로서 보고하는 단계;
    상기 플라즈마 클러스터 툴의 적어도 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 배제가능한 것으로 플래그(flag) 하는 단계;
    상기 경로를 형성하는데 사용되는 노드의 목록으로부터 상기 제 1 웨이퍼 보유 위치를 배제하는 단계; 및
    상기 경로에 관한 상기 데이터에 응답하는 상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 자동적으로 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트는, 상기 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 상기 웨이퍼 보유 위치들을 따라 전달하도록 구성되는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 경로에 관한 데이터를 자동적으로 확인하는 단계는, "너비-우선 (breadth-first)" 횡단 (traversal) 알고리즘을 이용하는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 매크로들의 세트를 나타내는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 제 1 웨이퍼 보유 위치가 상기 웨이퍼를 수용할 수 있는지 결정하는 단계; 및
    상기 결정하는 단계에 기초하여 상기 플래그를 수행하는 단계를 더 포함하는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  19. 삭제
  20. 제 15 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 상기 플라즈마 클러스터 툴로부터 웨이퍼를 배출하도록 구성되며,
    상기 개시 웨이퍼 보유 위치를 확인하는 단계는, 제 1 웨이퍼의 현재 위치를 식별하는 센서 데이터를 획득하는 단계를 포함하고,
    상기 목적지 웨이퍼 보유 위치를 확인하는 단계는, 상기 플라즈마 클러스터 툴과 관련된 출력 포트를 지정하는 단계를 포함하는, 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법.
  21. 삭제
  22. 삭제
  23. 삭제
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