JP5280522B2 - 識別情報設定装置、および識別情報設定方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板処理システム内の搬送チャンバに、搬送チャンバの設置位置に応じた識別情報を設定する識別情報設定装置、および識別情報設定方法に関する。

特許文献１には、コアモジュール（搬送装置）およびプロセスモジュール（処理装置）を増設可能なクラスターシステム（基板処理システム）が記載されている。クラスターシステムの制御装置には、各モジュール（各チャンバ）を指定するために、各モジュールのアドレス（識別情報）が設定される。

特開２００１−２２４１号公報

特許文献１に記載のクラスターシステムなどで使用される各モジュールのアドレス等の識別情報は、クラスターシステムの構成が確定するごとに、システム作成者によって独自に設定されていた。このため、各モジュールの識別情報の設定に手間を要していた。

本発明の目的は、搬送チャンバに識別情報を容易に設定可能な識別情報設定装置、および識別情報設定方法を提供することにある。

このような目的を達成するために、本発明は、基板搬送手段を有する搬送チャンバ、および処理チャンバを所定の配置関係で配置する際に、前記搬送チャンバおよび処理チャンバの各々にアドレスを付与する識別情報設定装置であって、複数の領域を含む領域群であって、前記所定の配置関係を仮想的に展開するための領域群を表示させる表示手段と、前記領域群の複数の領域の各々を特定するための識別情報を格納する第１格納手段と、前記表示手段により表示された領域群において、前記搬送チャンバの配置位置、および前記処理チャンバの配置位置をユーザに指定させる手段と、前記指定させる手段によりユーザにて指定された、前記領域群における前記搬送チャンバの配置位置、前記前記領域群における前記処理チャンバの配置位置、および前記第１格納手段に格納された前記領域群が含む複数の領域の各々についての識別情報により、前記搬送チャンバおよび前記処理チャンバの各々に対してアドレスを付与する手段とを備えることを特徴とする。

また、本発明は、基板搬送手段を有する搬送チャンバ、および処理チャンバを所定の配置関係で配置する際に、前記搬送チャンバおよび処理チャンバの各々にアドレスを付与する識別情報設定方法であって、複数の領域を含む領域群であって、前記所定の配置関係を仮想的に展開するための領域群を表示する工程と、前記表示された領域群において、前記搬送チャンバの配置位置、および前記搬送チャンバの接続ポートのうち前記処理チャンバが接続される接続ポートをユーザに指定させる工程と、前記ユーザにて指定された、前記領域群における前記搬送チャンバの配置位置、および前記領域群の複数の領域の各々を特定するための識別情報により、前記領域群における前記搬送チャンバの配置位置に対応する識別情報を取得し、該取得された識別情報から前記搬送チャンバのアドレスを決定し、かつ該決定された搬送チャンバのアドレス、および前記ユーザにて指定された、前記搬送チャンバの接続ポートのうち前記処理チャンバが接続される接続ポートから前記処理チャンバのアドレスを決定する工程とを有することを特徴とする。

さらに、本発明は、基板搬送手段を有する搬送チャンバ、および処理チャンバを所定の配置関係で配置する際に、前記搬送チャンバおよび処理チャンバの各々にアドレスを付与する識別情報設定方法であって、複数の領域を含む領域群であって、前記所定の配置関係を仮想的に展開するための領域群を表示する工程と、前記表示された領域群において、前記搬送チャンバの配置位置、および前記搬送チャンバの配置位置をユーザに指定させる工程と、前記ユーザにて指定された、前記領域群における前記搬送チャンバの配置位置、前記領域群における前記処理チャンバの配置位置、および前記領域群の複数の領域の各々を特定するための識別情報により、前記領域群における前記搬送チャンバの配置位置に対応する識別情報および前記領域群における前記処理チャンバの配置位置に対応する識別情報を取得し、該取得された識別情報から前記搬送チャンバおよび前記処理チャンバのアドレスを決定する工程とを有することを特徴とする。

なお、「各位置に対し予め設定した識別情報」には、予め定めた識別情報付与ルールにより、各位置に対し識別情報が設定される場合を含む。

本発明によれば、搬送チャンバに識別情報を容易に設定することが可能になる。

本発明の一実施形態に係る基板処理システムを示した説明図である。 本発明の一実施形態に係る仮想フィールドの一例を示した説明図である。 本発明の一実施形態に係る、システム情報の一例を示した説明図である。 本発明の一実施形態に係る、コアアイコンの各辺の識別値の一例を示した説明図である。 本発明の一実施形態に係る対応テーブルの一例を示した説明図である。 本発明の一実施形態に係るアドレス設定動作を説明するためのフローチャートである。 本発明の一実施形態に係る仮想フィールドの領域の形状とコアアイコンの形状とが一致していない場合を説明するための図である。

図１は、基板処理システムを示した説明図である。図１において、基板処理システムは、基板処理装置１ａ〜１ｎと、システム制御装置２と、を含む。各基板処理装置１ａ〜１ｎは、プロセスモジュール１１〜１３と、コアモジュール１４と、ロードロック（Ｌｏａｄ Ｌｏｃｋ）１５と、ＥＦＥＭ（Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ Ｆｒｏｎｔ Ｅｎｄ Ｍｏｄｕｌｅ）１６と、モジュール制御装置１７を含む。コアモジュール１４には、搬送ロボットＴｒ１〜Ｔｒ２と、アライナ（ＡＬＧＩＮＥＲ）１８とが配置されている。なお、各基板処理装置１ａ〜１ｎ内のプロセスモジュールの数は、３台に限らない。また、ロードロック１５、ＥＦＥＭ１６およびアライナ１８は、それぞれ省略されてもよい。また、搬送ロボットの数は、２台に限らない。また、各基板処理装置１ａ〜１ｎが有するプロセスモジュール、ロードロック１５、ＥＦＥＭ１６、搬送ロボットおよびアライナの数は、基板処理装置同士で同じでなくてもよい。

処理装置、および、基板の搬送先としてのプロセスモジュール１１〜１３は、基板に対し処理を行うチャンバ、例えば、ドライエッチングなどが可能なエッチングチャンバ、加熱や冷却が可能な温度調整チャンバ、または、成膜チャンバを有する。成膜チャンバは、例えば、スパッタリング法またはＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法による成膜が可能なチャンバである。各プロセスモジュール１１〜１３には、自モジュール内のチャンバの種類に応じて、排気ポンプ、プラズマ生成用の電源、ガス導入系などの各基板処理用部材が設けられている。また、各プロセスモジュール１１〜１３には、自モジュール内の各基板処理用部材を制御して、基板に対し予め定められた処理を実行させるためのＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）などの制御装置が設けられている。

搬送装置としてのコアモジュール１４は、基板搬送手段としての搬送ロボットＴｒ１、Ｔｒ２とアライナ１８とが配置された搬送チャンバを有する。搬送チャンバは、接続可能箇所としての複数の接続ポートを有する。本実施形態では、搬送チャンバは、４個の接続ポートを有している。なお、搬送チャンバが有する接続ポートの数は４個に限定されないことは言うまでもない。

コアモジュール１４は、接続ポートを介して、プロセスモジュール１１〜１３と接続される。複数の接続ポートのうち、プロセスモジュールが接続された接続ポートが、接続箇所となる。また、コアモジュール１４は、接続ポートを介して、他の基板処理装置内のコアモジュールと接続可能である。コアモジュール１４には、排気ポンプやアライナ１８の駆動源などの各構成要素が設けられている。また、コアモジュール１４には、各構成要素を制御して、基板搬送動作を実行させるためのＰＬＣなどの制御装置が設けられている。コアモジュール１４は、搬送ロボットＴｒ１およびＴｒ２を用いて、各プロセスモジュール１１〜１３に基板を搬送する。搬送ロボットＴｒ１およびＴｒ２は、本実施形態では、回転および伸縮自在なアームを有しており、指定されたプロセスモジュール１１〜１３に基板を搬送する。アライナ１８は、搬送ロボットＴｒ１およびＴｒ２間での基板の受け渡しや基板の位置ずれの補正を行う。また、コアモジュール１４は、ロードロック１５を介して、入出力ポートであるＥＦＥＭ１６と接続可能である。ロードロック１５は、基板を、コアモジュール１４に設けられた搬送ラインに導入したり、基板を搬送ラインから離脱させるための装置である。ＥＦＥＭ１６は、大気側から基板を搬送ラインまたはロードロック１５に導入したり、基板を大気側に搬送するための装置である。

モジュール制御装置１７は、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）、ＰＬＣ等により構成される。モジュール制御装置１７は、プロセスモジュール１１〜１３と、コアモジュール１４と、ロードロック１５と、ＥＦＥＭ１６と、搬送ロボットＴｒ１〜Ｔｒ２と、アライナ１８と、を制御する。モジュール制御装置１７は、搬送手順取得部１７ａと、搬送先判定部１７ｂと、ローカル搬送部１７ｃと、装置間搬送部１７ｄと、を含む。

搬送手順取得部１７ａは、基板の搬送順序および搬送先を指定した搬送手順データを、システム制御装置２から取得する。なお、搬送手順データについては後述する。搬送手順取得部１７ａは、システム制御装置２から取得した搬送手順データを、搬送先判定部１７ｂに提供する。

搬送先判定部１７ｂは、搬送手順データを受け付けると、搬送手順データに示された基板の搬送先が、自己が属する基板処理装置内のモジュールか、他の基板処理装置内のモジュールかを判定する。基板の搬送先が、自己が属する基板処理装置内のモジュールである場合、搬送先判定部１７ｂは、ローカル搬送部１７ｃに、搬送手順データを提供する。一方、基板の搬送先が、他の基板処理装置内のモジュールである場合、搬送先判定部１７ｂは、装置間搬送部１７ｄに、搬送手順データを提供する。

ローカル搬送部１７ｃは、搬送手順データを受け付けると、搬送手順データに示された搬送先のモジュールに基板を搬送する動作を、自己が属する基板処理装置内の搬送ロボットＴｒ１またはＴｒ２に実行させる。装置間搬送部１７ｄは、搬送手順データを受け付けると、搬送手順データに搬送先として示された他の基板処理装置内のコアモジュールに基板を搬送する動作を、自己が属する基板処理装置内の搬送ロボットＴｒ１またはＴｒ２に実行させる。

システム制御装置２は、例えば、ユーザＩ／Ｆ（インタフェース）を備えたＰＣにより構成され、基板処理装置１ａ〜１ｎを制御する。なお、システム制御装置２は、２台以上のＰＣにより構成されてもよい。ユーザＩ／Ｆは、キーボード等の入力装置と、表示装置と、を備える。システム制御装置２と基板処理装置１ａ〜１ｎ間は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）またはＲＳ−２３２Ｃなどの規格によるネットワークを介して接続され、データ通信が可能になっている。システム制御装置２は、本発明の一実施形態であるアドレス設定装置３と、レシピ情報取得部４と、工程経路判定部５と、搬送手順送信部６と、を含む。

アドレス設定装置３は、各基板処理装置１ａ〜１ｎを適宜組み合わせて所定の配置関係で配置する際に、各基板処理装置１ａ〜１ｎ内のプロセスモジュール１１〜１３およびコアモジュール１４のそれぞれにアドレスを設定する。アドレス設定装置３は、第１格納手段および第２格納手段としての格納部３１と、受付手段としての受付部３２と、設定手段としての設定部３３と、を含む。

なお、システム制御装置２は、ＣＰＵ（不図示）やメモリ部（不図示）等を有している。該ＣＰＵは、メモリ部に記憶されたプログラム（例えば、図５に示すプログラム等）等に基づいて、システム全体を制御すると共に、アドレス設定装置３内部で行われる各種処理についても統括的に制御する。上記メモリ部は、格納部３１、ＣＰＵが動作するためのシステムワークメモリであるＲＡＭ、および上記プログラムやシステムソフトウェア等を格納するＲＯＭ、ハードディスクドライブ等を有する。本実施形態では、ＣＰＵが、ＲＯＭやハードディスクドライブに記憶された本実施形態に係る処理などの制御プログラムに従って、種々の演算、制御、判別などの処理動作を実行することができる。

格納部３１は、予め設定された複数の領域のそれぞれに対し予め設定した識別情報（以下、「フィールド識別情報」とも呼ぶ）を格納する。本実施形態では、複数の領域（領域群）は、予め設定されたフィールド（以下「仮想フィールド」と称する）が分割されて形成されたものであり、該複数の領域上に、搬送チャンバとしてのコアモジュールおよび処理チャンバとしてのプロセスモジュールを仮想的に展開することができる。各領域は、搬送チャンバを配置可能な位置である。フィールド識別情報は、複数の搬送チャンバを相互に接続した場合に各搬送チャンバが配置される各位置に対する識別情報である。すなわち、仮想フィールドのフィールド（領域）の各々の場所を、フィールド識別情報にて特定している。従って、実際のコアモジュールとプロセスモジュールとの配置関係を仮想フィールド上にて展開することによって、所定の規則に従って各モジュールに所定の番号を割り振ることができる。

図２は、本実施形態に係る仮想フィールドの一例を示した説明図である。図２では、正方形の仮想フィールド２００が分割されて、６行６列の正方形の各領域２０１が形成されている。各領域２０１の面積は等しい。なお、仮想フィールドの形状は、各領域２０１が格子状に配置された格子状領域にて形成される正方形に限らない。また、領域２０１の形状も正方形に限らず、コアモジュールの構成（例えば、コアモジュールが有する接続ポートの数）に応じて適宜変更可能であり、例えば、正六角形でもよい。また、領域２０１の数も３６個に限らない。格納部３１は、各領域２０１のフィールド識別情報として、領域２０１の行番号と列番号とで表された番号（以下「行列番号」と称する）を格納している。例えば、図２の仮想フィールド２００内の領域２０１ａの位置は、５行６列であるため、領域２０１ａの行列番号は「５６」となる。このため、格納部３１内の各領域２０１のフィールド識別情報は、各領域２０１の仮想フィールド内での位置（行方向と列方向の位置関係）も示すことになる。

このように、格納部３１には、コアモジュールおよびプロセスモジュールを仮想的に配置するための領域を複数配置した仮想フィールドが格納されており、該仮想フィールドが有する領域を特定するためのフィールド識別情報も格納されている。

なお、仮想フィールドの領域の形状は、上述のように図２のように四角形に限らず、例えば六角形、八角形等いずれの形状であっても良い。上記仮想フィールドの領域の形状は、配置対象となるコアモジュールの形状に合わせることが好ましい。例えば、配置対象となるコアモジュールの形状が四角形である場合は仮想フィールドの領域の形状も四角形であることが好ましく、コアモジュールの形状が六角形である場合は仮想フィールドの領域の形状も六角形であることが好ましいのである。

よって、四角形、六角形、八角形など、想定されるコアモジュールの形状の各々毎に、それぞれの多角形の単位格子を格子状に配列させ、該単位格子（領域）を所定数有する仮想フィールドを用意し、それらを格納部３１に格納しておいても良い。

また、上記単位格子の所定数を段階的に変化させた仮想フィールドを用意しても良い。例えば、四角形の単位格子（領域）について、図２に示すような３６個（＝６×６）の領域に加えて、１６個（＝４×４）の領域を有する仮想フィールド、１００個（＝１０×１０）の領域を有する仮想フィールド等を用意し、それらを格納部３１に格納しても良い。このように、領域の数を変化させた仮想フィールドを用意しておくことにより、フットプリントに応じて適切なサイズの仮想フィールドを用いたアドレス設定を行うことができる。

なお、仮想フィールドについては、代表的な仮想フィールド（例えば、図２に示すような仮想フィールド）を出荷時から予め格納部３１に格納しても良いし、インターネットといったネットワークを介してダウンロードしても良い。さらには、ユーザがシステム制御装置２上にて直接作成しても良い。この場合は、例えば、システム制御装置２が備える表示装置上に仮想フィールド形成用の画面を表示させ、システム制御装置２が備える入力装置を介して、ユーザが所定形状の領域を配置することにより、仮想フィールドを構築しても良い。このようにユーザが仮想フィールドを設定する場合は、構築された仮想フィールドの各領域に対して、それぞれの位置を特定するためのフィールド識別情報を割り当てれば良い。

受付部３２は、実際に搬送チャンバ（コアモジュール）を配置させる領域およびその搬送チャンバ（コアモジュール）の情報（該搬送チャンバのどの接続ポートにプロセスモジュールが接続されるかを示す情報）を指定情報として受け付ける。本実施形態では、受付部３２は、複数の領域２０１のうちコアモジュール１４に対応づけられた対応領域と、コアモジュール１４が有する複数の接続ポートのうちプロセスモジュール１１〜１３が接続された接続ポート（接続箇所）と、を示す構成情報を受け付ける。受付部３２は、表示手段としての表示部３２ａと、指示取得手段としての構成情報受付部３２ｂと、を含む。

表示部３２ａは、複数の領域２０１を示す設定画面をシステム制御装置２が備える表示装置に表示する。本実施形態では、表示部３２ａは、図２に示した仮想フィールド２００を示す設定画面を表示する。

構成情報受付部３２ｂは、設定画面に対する位置の指定を基に、搬送チャンバとしてのコアモジュールを配置させる位置の指定情報、および該コアモジュールのどの接続ポートにプロセスモジュールを接続するのかを示す情報を取得する。すなわち、構成情報受付部３２ｂは、システム制御装置２が備える入力装置を介してユーザが入力したユーザ入力（図２に示す設定画面上でユーザが行ったコアモジュールおよびプロセスモジュールの位置指定）に基づいて、構成情報を取得する。本実施形態では、構成情報受付部３２ｂは、コアモジュール１４に対応づけられた正方形のコアアイコンと、プロセスモジュール１１〜１３にそれぞれ対応づけられた正方形のプロセスアイコンと、を用いて設定画面上に設定されたシステム情報を、構成情報として受け付ける。システム情報は、対応領域を、コアアイコンが設定された設定画面上の領域（以下「設定領域」と称する）で示す。また、システム情報は、接続箇所を、プロセスアイコンが有する接続箇所指示部と設定領域との隣接箇所で示す。

すなわち、構成情報受付部３２ｂは、仮想フィールド２００上で行われるユーザ入力に基づいて、用いられる仮想フィールド２００におけるコアモジュールの配置位置、および該コアモジュールのどの接続ポートにプロセスモジュールが接続されるのかを示す情報を構成情報として取得する。なお、後述するように、該コアモジュールのどの接続ポートにプロセスモジュールが接続されるのかを示す情報は、仮想フィールド２００におけるプロセスモジュールの配置位置に基づいて取得される。従って、構成情報受付部３２ｂは、ユーザ入力に従って、仮想フィールド２００上で配置されたプロセスモジュールの配置位置から、上記コアモジュールのどの接続ポートにプロセスモジュールが接続されるのかを示す情報を取得することになる。

図３Ａは、システム情報の一例を示した説明図である。図３Ａにおいて、コアアイコン３０１は、基板処理装置１ａ内のコアモジュール１４に対応づけられているとする。コアアイコン３０２は、基板処理装置１ｎ内のコアモジュール１４に対応づけられているとする。コアアイコンの各辺は、コアモジュール１４上の接続ポートの設置位置を示す。コアアイコンの各辺には、その辺を識別するための識別値が予め設定されている。本実施形態では、図３Ｂに示すように、コアアイコンの各辺に識別値（Ｓｔａｔｉｏｎ番号）が設定されているとする。格納部３１は、コアアイコンの辺ごとに、この識別値を格納する。

なお、図３Ａでは、実際に配置するコアモジュールの形状が四角形なので、コアアイコンの形状を四角形にしているが、コアアイコンの形状は四角形に限らず、例えば六角形、八角形等、実際に配置するコアモジュールの形状に応じた形状にすることができる。例えば、六角形のコアモジュールを配置する場合は、六角形のコアアイコンを用いればよい。このとき、図３Ｂに示す形態と同様に、六角形の角辺に識別値（Ｓｔａｔｉｏｎ番号）を設定すれば良い。

コアアイコンについては、代表的なコアアイコン（例えば、図３Ｂに示すようなコアアイコン）を出荷時から予め格納部３１に格納しても良いし、インターネットといったネットワークを介してダウンロードしても良い。さらには、ユーザがシステム制御装置２上にて直接作成しても良い。ユーザによりコアアイコンを作成する場合は、該作成されたコアアイコンの各辺に対して、識別値（Ｓｔａｔｉｏｎ番号）を割り当てれば良い。

プロセスアイコン３０３〜３０５は、それぞれ、基板処理装置１ａ内のプロセスモジュール１１〜１３に対応づけられているとする。プロセスアイコン３０６〜３０７は、それぞれ、基板処理装置１ｎ内のプロセスモジュール１１〜１２に対応づけられているとする。各プロセスアイコンには、コアモジュールとの接続箇所を示す接続箇所指示部が設けられている。図３Ａでは、プロセスアイコンが有する辺のうち、台形の斜線部の辺の中で最短の辺が存在する辺が、接続箇所指示部として用いられる。

図３Ａでは、例えば、コアアイコン３０１は、フィールド識別情報としての行列番号「２４」の領域２０１に配置されている。このため、行列番号「２４」の領域２０１は、基板処理装置１ａ内のコアモジュール１４の対応領域となる。また、例えば、プロセスアイコン３０３は、行列番号「２３」の領域２０１に配置され、プロセスアイコン３０３の接続箇所指示部３０３ａが、基板処理装置１ａ内のコアモジュール１４の対応領域（行列番号「２４」の領域２０１）と隣接している。このため、接続箇所指示部３０３ａと行列番号「２４」の領域２０１との隣接箇所が、基板処理装置１ａ内のコアモジュール１４およびプロセスモジュール１１の接続箇所となる。このように、本実施形態では、プロセスアイコンに接続箇所指示部を設けているので、ユーザが図３Ａのように仮想フィールド２００上に所望の配置を展開して構成情報を作成する際に、コアモジュールのどの接続ポートにどのプロセスモジュールが接続されているのかを、ユーザが視覚的に確認することができる。よって、プロセスモジュールのアドレス割り当てに必要な、構成情報のうちの、コアモジュールにおける、プロセスモジュールとの接続が起こる接続ポートの指定を正確に行うことができる。

設定部３３は、受付部３２が構成情報を受け付けた場合、その構成情報と格納部３１に格納されているフィールド識別情報とを参照して、各コアモジュールと各プロセスモジュールとのアドレスを設定する。設定部３３は、まず、各コアモジュールのアドレスを、そのコアモジュールの対応領域の識別情報を用いて設定する。本実施形態では、設定部３３は、各コアモジュールのアドレスとして、そのコアモジュールの対応領域の識別情報を設定する。設定部３３は、続いて、各プロセスモジュールのアドレスを、そのプロセスモジュールが接続されているコアモジュールのアドレスと、構成情報に示された、コアモジュールとプロセスモジュールとの接続箇所と、に基づいて設定する。本実施形態では、設定部３３は、各プロセスモジュールのアドレスとして、そのプロセスモジュールが接続されているコアモジュールのアドレスに、接続箇所となった接続ポートに対して予め設定されている値（Ｓｔａｔｉｏｎ番号）を付加した情報を設定する。設定部３３は、また、各プロセスモジュールのアドレスを示した対応テーブルを作成し、その対応テーブルを格納部３１に格納する。

図４は、対応テーブルの一例を示した説明図である。図４において、モジュールＩＤ（モジュール識別情報）とモジュールＮａｍｅ（モジュール種別情報）とＰｒｏｆｉｌｅ Ｐａｔｈ（入力したデータ等を格納している場所）は、システム制御装置２内のユーザＩ／Ｆで受け付けられ対応テーブルに登録される。なお、設定部３３にて設定された各プロセスモジュールおよび各プロセスモジュールのアドレスは、各基板処理装置１ａ〜１ｎにも設定される。各基板処理装置１ａ〜１ｎへの設定は、設定部３３が行ってもよいし、システム管理者が行ってもよい。また、設定部３３は、構成情報を格納部３１に格納する。

レシピ情報取得部４は、基板に対する処理の手順を記述したレシピ情報を、ユーザＩ／Ｆからの入力等により取得する。レシピ情報は、例えば、ＰＰＩＤ＝Ｃｈ−Ａ→Ｃｈ−Ｃ→Ｃｈ−Ｂである。このレシピ情報（ＰＰＩＤ）では、基板が搬送されるモジュールのＩＤ（モジュール識別情報）が、搬送先指定データとして用いられている。また、レシピ情報（ＰＰＩＤ）では、モジュール間の工程経路が、矢印で示されている。このため、このレシピ情報（ＰＰＩＤ）は、基板を、Ｃｈ−Ａで識別されるモジュール、Ｃｈ−Ｃで識別されるモジュール、Ｃｈ−Ｂで識別されるモジュールの順に搬送して処理する旨（基板の搬送順序および搬送先）を示している。本実施形態では、搬送先指定データとして、基本的にプロセスモジュール識別情報（Ｃｈ−ＩＤ）が用いられる。ただし、搬送先を特定できるデータであれば、その形式は限定されず、例えば、プロセスモジュール種別情報（Ｃｈ−Ｎａｍｅ）と他の情報との組み合わせでもよい。

工程経路判定部５は、格納部３１内の対応テーブルに基づいて、レシピ情報中の搬送先指定データ（モジュールＩＤ）を、搬送先となるモジュールのアドレスに変換する。また、工程経路判定部５は、搬送先指定データがアドレスに変換されたレシピ情報と、格納部３１内の構成情報および領域のフィールド識別情報と、に基づいて、工程経路を決定する。搬送手順送信部６は、工程経路判定部５にて決定された工程経路に基づいて、搬送手順データを作成し、モジュール制御装置に送信する。

次に、図５を参照してアドレス設定動作を説明する。

表示部３２ａは、格納部３１に格納された仮想フィールド２００をシステム制御装置２が備える表示装置に表示する（ステップＳ１０１）。この状況で、ユーザが、システム制御装置２が備える入力装置を操作して、コアアイコンとプロセスアイコンとを用いてシステム情報（図３Ａ参照）を作成すると、構成情報受付部３２ｂは、システム情報（構成情報）を受け付ける（ステップＳ１０２）。構成情報受付部３２ｂは、システム情報を設定部３３に提供する。

例えば、基板処理装置１ａのコアモジュール１４のＳｔａｔｉｏｎ番号１と基板処理装置１ｎのコアモジュール１４のＳｔａｔｉｏｎ番号３とを接続し、基板処理装置１ａのコアモジュール１４のＳｔａｔｉｏｎ番号２〜４にそれぞれモジュールＩＤＣｈ−Ｂ〜Ｃｈ−Ｄのプロセスモジュールを接続し、基板処理装置１ｎのコアモジュール１４のＳｔａｔｉｏｎ番号２，４にそれぞれモジュールＩＤＣｈ−Ａ、Ｃｈ−Ｅのプロセスモジュールを接続する場合については以下のように構成情報が生成される。
すなわち、ユーザが上記入力装置を操作して、２行４列にコアアイコン３０１を配置し、１行４列にコアアイコン３０２を配置する。このようなユーザ入力により、構成情報受付部３２ｂは、仮想フィールド２００の２行４列目の領域および１行４列目の領域がコアモジュールの配置領域（対応領域）であることを受け付ける。すなわち、構成情報受付部３２ｂは、仮想フィールド２００での、コアモジュールに対応するコアアイコン３０１、３０２の配置位置をユーザに指定させ、仮想フィールド２００におけるコアモジュールが対応する対応領域をユーザに指定させる。

次に、ユーザが上記入力装置を操作して、プロセスアイコン３０３の接続箇所指示部３０３ａが２行目４列目に配置されたコアアイコン３０１のＳｔａｔｉｏｎ番号２にて特定される辺と隣接するように、プロセスアイコン３０３を仮想フィールド２００の２行目３列目の領域に配置する。同様にして、ユーザは、プロセスアイコン３０４、３０５をコアアイコン３０１のＳｔａｔｉｏｎ番号３、４にて特定される辺と隣接する領域に配置し、プロセスアイコン３０６、３０７をコアアイコン３０２のＳｔａｔｉｏｎ番号２、４にて特定される辺と隣接する領域に配置する。このようなユーザ入力により、構成情報受付部３２ｂは、プロセスアイコン３０３〜３０７の配置位置を取得し、これらプロセスアイコン３０３〜３０７の各々の接続箇所指示部により、コアアイコン３０１、３０２のどの辺がプロセスアイコンとの接続箇所なのか（すなわち、コアモジュールのどの接続ポートにプロセスモジュールが接続されるのか）に関する情報を受け付ける。すなわち、構成情報受付部３２ｂは、仮想フィールド２００での、プロセスモジュールに対応するプロセスアイコン３０３〜３０７の配置位置をユーザに指定させ、コアモジュール３０１、３０２のどの接続ポートにコアモジュールが接続されるのかをユーザに指定させる。

このようにして、構成情報受付部３２ｂは、図３Ａに示すシステム情報（構成情報）を受け付ける。

設定部３３は、システム情報を受け付けると、システム情報と格納部３１内のフィールド識別情報とを参照して、まず、各コアモジュールのアドレスとして、そのコアモジュールの対応領域の行列番号を設定する（ステップＳ１０３）。例えば、システム情報が図３Ａに示したものの場合、設定部３３は、コアアイコン３０１に対応するコアモジュールのアドレスとして「２４」を設定し、コアアイコン３０２に対応するコアモジュールのアドレスとして「１４」を設定する。

続いて、設定部３３は、上記システム情報および格納部３１に格納されたコアモジュールの各接続ポートに割り当てられた識別値（例えば、図３Ｂに示すようなＳｔａｔｉｏｎ番号）に基づいて、各プロセスモジュールのアドレスとして、そのプロセスモジュールが接続されているコアモジュールのアドレスに、接続箇所となった接続ポートに対して予め設定されている識別値を付加した情報を設定する（ステップＳ１０４）。システム情報が図３Ａに示したものの場合、設定部３３は、例えば、プロセスアイコン３０３に対応するプロセスモジュールのアドレスとして「２４２」を設定し、プロセスアイコン３０４に対応するプロセスモジュールのアドレスとして「２４３」を設定する。設定部３３は、各コアモジュールのアドレスと各プロセスモジュールのアドレスとシステム情報とを、格納部３１に格納する。

このように、本実施形態では、仮想フィールドと構成情報とを用いているので、該仮想フィールド上に、実際の配置と対応するようにコアモジュールを配置することにより、コアモジュールのアドレスを一意に自動的に割り付けることができる。また、コアモジュールにおける、プロセスモジュールとの接続対象の接続ポートを特定できれば、その配置におけるプロセスモジュールに対して一意のアドレスを自動的に付与することができる。

このように、本実施形態では、少なくとも仮想フィールド上でコアモジュールの位置を正確に特定し、該コアモジュールのどの接続ポートにプロセスモジュールが接続されているのかをユーザが指定さえすれば、実際に配置されているコアモジュールおよびプロセスモジュールに対して自動的にアドレスを割り付けることができる。

次に、搬送手順データを生成する処理を説明する。レシピ情報取得部４は、レシピ情報（ＰＰＩＤ）を受け付けると、そのレシピ情報を工程経路判定部５に提供する。工程経路判定部５は、レシピ情報を受け付けると、格納部３１内の対応テーブルに基づいて、レシピ情報中の搬送先指定データ（モジュールＩＤ）を、搬送先となるモジュールのアドレスに変換する。工程経路判定部５は、例えば、レシピ情報「ＰＰＩＤ＝Ｃｈ−Ａ→Ｃｈ−Ｃ→Ｃｈ−Ｂ」を受け付けると、そのレシピ情報を、「ＰＰＩＤ＝１４２→２４３→２４２」のレシピ情報に変換する。

続いて、工程経路判定部５は、搬送先指定データがアドレスに変換されたレシピ情報と、格納部３１内の構成情報および領域のフィールド識別情報と、に基づいて、工程経路を決定する。工程経路判定部５は、例えば、レシピ情報「ＰＰＩＤ＝１４２→２４３→２４２」内の「１４２→２４３」を実行するための経路として、列番号「４」の列の方向につながっているコアモジュール間で基板を搬送する工程経路を決定する。さらに言えば、工程経路判定部５は、アドレスが「１４」のコアモジュールからアドレスが「２４」のコアモジュールに基板を搬送する工程経路を決定する。工程経路判定部５は、その工程経路と、搬送先指定データがアドレスに変換されたレシピ情報とを、搬送手順送信部６に提供する。

搬送手順送信部６は、工程経路とレシピ情報とを受け付けると、搬送手順データを作成し、その搬送手順データをモジュール制御装置に送信する。搬送手順送信部６は、例えば、レシピ情報内の１４２→２４３に対応する搬送手順データとして、「１４Ｃｏｒｅ２ｏｕｔ→１４Ｃｏｒｅ３ｉｎ→２４Ｃｏｒｅ１ｏｕｔ→２４Ｃｏｒｅ３ｉｎ」の搬送手順データを作成してモジュール制御装置に送信する。

モジュール制御装置では、搬送手順取得部１７ａは、搬送手順データをシステム制御装置２から取得すると、その搬送手順データを、搬送先判定部１７ｂに提供する。搬送先判定部１７ｂは、搬送手順データを受け付けると、搬送手順データに示された基板の搬送先が、自己が属する基板処理装置内のモジュールか、他の基板処理装置内のモジュールかを判定する。基板の搬送先が、自己が属する基板処理装置内のモジュールである場合、搬送先判定部１７ｂは、ローカル搬送部１７ｃに、搬送手順データを提供する。一方、基板の搬送先が、他の基板処理装置内のモジュールである場合、搬送先判定部１７ｂは、装置間搬送部１７ｄに、搬送手順データを提供する。

ローカル搬送部１７ｃは、搬送手順データを受け付けると、搬送手順データに示された搬送先のモジュールに基板を搬送する動作を、自己が属する基板処理装置内の搬送ロボットＴｒ１またはＴｒ２に実行させる。装置間搬送部１７ｄは、搬送手順データを受け付けると、搬送手順データに搬送先として示された他の基板処理装置内のコアモジュールに基板を搬送する動作を、自己が属する基板処理装置内の搬送ロボットＴｒ１またはＴｒ２に実行させる。

本実施形態によれば、ユーザが、構成情報を受付部に入力するだけで、設定部３３は、プロセスモジュールのアドレスとコアモジュールのアドレスとを、自動的に設定する。したがって、プロセスモジュールのアドレスとコアモジュールのアドレスを容易に設定することが可能になる。

本実施形態では、仮想フィールドを格子状に構成している。従って、領域のそれぞれの識別情報（フィールド識別情報）として、領域の位置を示す情報である行列番号を用いることができる。この場合、コアモジュールおよびプロセスモジュールのアドレスが、仮想フィールドにおけるモジュールの位置も示すことになり、アドレスに基づいて、モジュール間の接続関係を判定することが可能になる。

また、本実施形態では、構成情報受付手段としての構成情報受付部３２ｂは、搬送装置アイコンとしてのコアアイコンと、処理装置アイコンとしてのプロセスアイコンと、を用いたシステム情報を、構成情報として受け付ける。この場合、構成情報を、各モジュールの接続状態を視覚的に認識しやすい情報にすることができ、構成情報の作成を容易にすることが可能になる。

以上、実施形態について説明したが、本発明の適用は上記実施形態に限定されない。

例えば、仮想フィールドは、搬送チャンバの接続方式、接続数に応じ、搬送チャンバに対応する単位格子が多角形からなる２次元格子（三角格子、四角格子、六角格子など）、単位格子が立体からなる３次元格子（例えば、搬送チャンバを上下方向にも接続する場合など）とすることもできる。このとき、例えば、仮想フィールドは、例えば、単位格子が接続ポート数と同じ数の辺を有する多角形からなる２次元格子、又は、単位格子が接続ポート数と同じ数の面を有する立体からなる３次元格子（三角柱格子、立方格子、六角柱格子など）とすることができる。

さらには、本実施形態では、コアモジュールの形状（コアアイコンの形状）と仮想フィールドの領域の形状とが一致していなくても良い。例えば図６に示すように、コアモジュールが六角形であり、コアアイコン６０１を六角形とし、コアアイコン６０１の辺６０１ａに対応する接続ポートにプロセスアイコン６０２に対応するプロセスモジュールを接続する場合、以下のように処理すれば良い。すなわち、ユーザが入力装置を操作して、コアアイコン６０１の辺６０１ａと、プロセスアイコン６０２の接続箇所指示部６０２ａとが対向するように、仮想フィールド２００の２行目６列目の領域にプロセスアイコン６０２を配置する。このとき、コアアイコンの各辺において、プロセスアイコンの接続箇所指示部と対向する辺をプロセスモジュールとの接続箇所として認識するように構成情報受付部３２ｂを構成する。よって、図６のようなユーザ入力がある場合に、構成情報受付部３２ｂは、仮想フィールド２００の１行目５列目がコアモジュールの配置位置であり、該１行目５列目に配置されたコアアイコン６０１の辺６０１ａに対応する接続ポートが接続箇所であることを受け付ける。

また、上述の実施形態では、搬送チャンバの周囲にプロセスチャンバが接続するコア型の基板処理装置に適用されているが、これに限らず、搬送手段を有する搬送チャンバにさらに処理用部材が設けられ、搬送とプロセスが共に実行可能であるタイプ（例えば、インライン型）の基板処理装置にも本発明を適用可能である。

また、アドレス設定装置として使用しているが、アドレス設定に限らず、基板処理装置における構成情報の設定装置として用いてもよい。つまり、複数の搬送チャンバを相互に接続した場合に各搬送チャンバが配置される各位置を画像表示し、これに対し、実際に配置させる搬送チャンバやプロセスチャンバの位置の指定と、搬送チャンバやプロセスチャンバの情報を取得し、搬送チャンバやプロセスチャンバの情報と識別情報との対応を格納する装置として構成してもよい。

また、上記アドレスとして、プロセスチャンバに対しては搬送チャンバの位置情報に接続ポートの識別番号を付加したものを用いているが、プロセスチャンバに対しても位置情報をアドレスとして設定してもよい。すなわち、本実施形態では、構成情報には、その一要素として、コアモジュールのどの接続ポートにプロセスモジュールが接続されるのかを示す情報が含まれているが、該情報の代わりに、仮想フィールド上のプロセスモジュールの配置位置を構成情報に含ませても良い。本実施形態では、フィールド識別情報を予め格納部３１に格納しているので、仮想フィールド上のプロセスモジュールの配置位置が特定できれば、該配置位置に対応するフィールド識別情報を取得することができる。よって、該フィールド識別情報を対応するプロセスモジュールのアドレスに設定すれば良い。

以上説明したように、本実施形態では、アドレス設定装置３は、ユーザに対して仮想フィールドを提示し、ユーザに、該仮想フィールド上において、実際の配置状況に応じてコアモジュールとプロセスモジュールとに対応する領域を指定させる。次いで、アドレス設定装置３は、ユーザにより指定された、該コアモジュールとプロセスモジュールとが対応する対応領域、および格納部３１に格納されたフィールド識別情報に基づいて、コアモジュールおよびプロセスモジュールのアドレスを決定する。

なお、仮想フィールド上における、コアモジュールおよびプロセスモジュールの配置箇所の指定は、図３Ａ、Ｂに示すようなアイコンを用いて行うことに限定されず、ユーザがシステム制御装置２の入力装置を介して、直接入力するようにしても良い。この場合は、例えば、図２に示す仮想フィールドにおいて、仮想フィールド２００の２行目４列目および１行目４列目にコアモジュールを配置し、１行目３列目、２行目３列目、３行目４列目、２行目５列目、および１行目５列目にそれぞれ、プロセスモジュールを配置することをユーザが上記入力装置を介して入力するようにしても良い。格納部３１には、仮想フィールド２００の各領域に対するフィールド識別情報が格納されているので、設定部３３が、上記ユーザ入力により指定された領域のフィールド識別情報を抽出することにより、コアモジュールおよびプロセスモジュールのアドレスを設定することができる。

（その他の実施形態）
上述の実施形態では、図１に示すように、システム制御装置２を、各基板処理装置１ａ〜１nと別個に用意しているが、アドレス設定装置３の機能を、基板処理装置１ａ〜１nの少なくとも１つに組み込んでも良い。すなわち、本発明では、アドレス設定装置３の配置位置が問題ではなく、上述の実施形態のようにしてコアモジュールやプロセスモジュールのアドレスを生成するようにアドレス設定装置３を構成することが重要なのである。

また、前述した実施形態の機能を実現するように前述した実施形態の構成を動作させるプログラムを記憶媒体に記憶させ、該記憶媒体に記憶されたプログラムをコードとして読み出し、コンピュータにおいて実行する処理方法も上述の実施形態の範疇に含まれる。即ちコンピュータ読み取り可能な記憶媒体も実施例の範囲に含まれる。また、前述のコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体はもちろんそのコンピュータプログラム自体も上述の実施形態に含まれる。

かかる記憶媒体としてはたとえばフロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、磁気テープ、不揮発性メモリカード、ＲＯＭを用いることができる。

また前述の記憶媒体に記憶されたプログラム単体で処理を実行しているものに限らず、他のソフトウエア、拡張ボードの機能と共同して、ＯＳ上で動作し前述の実施形態の動作を実行するものも前述した実施形態の範疇に含まれる。

Claims (9)

1. 基板搬送手段を有する搬送チャンバ、および処理チャンバを所定の配置関係で配置する際に、前記搬送チャンバおよび処理チャンバの各々にアドレスを付与する識別情報設定装置であって、
   複数の領域を含む領域群であって、前記所定の配置関係を仮想的に展開するための領域群を表示させる表示手段と、
   前記領域群の複数の領域の各々を特定するための識別情報を格納する第１格納手段と、
   前記表示手段により表示された領域群において、前記搬送チャンバに対応し、接続ポートの位置に対応する複数の辺を有する第１のアイコンと、前記処理チャンバに対応し、搬送チャンバとの接続箇所を示すための接続箇所指示部を有する第２のアイコンとにより、前記搬送チャンバの配置位置、および前記処理チャンバの配置位置をユーザに指定させる手段と、
   前記第１のアイコンにより前記領域群上で指定された搬送チャンバの配置位置、および前記第２のアイコンにより前記領域群上で指定された処理チャンバの配置位置により、前記領域群のうち前記搬送チャンバが対応づけられた対応領域と、該搬送チャンバが有する複数の接続ポートのうち処理チャンバが接続された接続ポートを示す情報とを含む構成情報を取得する手段と、
   前記構成情報、および前記第１格納手段に格納された前記領域群が含む複数の領域の各々についての識別情報により、前記搬送チャンバおよび前記処理チャンバの各々に対してアドレスを付与する手段と
   を備え、
   前記第１のアイコンの複数の辺の各々には識別値が割り当てられており、
   ある第１のアイコンの複数の辺のうち、ある第２のアイコンの接続箇所指示部が隣接する辺が、前記ある第１のアイコンが対応する搬送チャンバの、前記ある第２のアイコンに対応する処理チャンバとの接続ポートを示し、
   前記取得する手段は、前記領域群において前記第１のアイコンが配置された位置を前記構成情報における前記対応領域と設定し、前記領域群において前記第２のアイコンの接続箇所指示部と隣接する前記第１のアイコンの辺を、前記構成情報における前記処理チャンバが接続された接続ポートと設定し、
   前記付与する手段は、
   前記構成情報と前記識別情報とを参照して、該構成情報に含まれる前記対応領域に対応する識別情報を前記搬送チャンバのアドレスとして設定し、
   前記アドレスが付与された搬送チャンバに接続された処理チャンバの各々について、前記構成情報に含まれる前記接続ポートを示す情報に基づいて、該接続ポートに割り当てられた前記識別値を前記設定された搬送チャンバのアドレスに付加した情報を生成し、該付加された情報を前記接続ポートに接続された処理チャンバのアドレスとして設定することを特徴とする識別情報設定装置。
2. 前記指定させる手段は、前記ユーザにより指定された前記領域群における前記処理チャンバの配置位置から、前記搬送チャンバのどの接続ポートに該処理チャンバが接続されているのかを示す情報を取得し、
   前記アドレスを付与する手段は、
   前記第１格納手段を参照して、前記指定させる手段によりユーザにて指定された前記領域群における前記搬送チャンバの配置位置に対応する前記識別情報を取得し、該取得された識別情報に基づいて前記搬送チャンバのアドレスを設定し、かつ
   前記設定された搬送チャンバのアドレス、および前記搬送チャンバのどの接続ポートに該処理チャンバが接続されているのかを示す情報に基づいて、前記処理チャンバのアドレスを設定することを特徴とする請求項１に記載の識別情報設定装置。
3. 前記アドレスを付与する手段は、
   前記第１格納手段を参照して、前記指定させる手段によりユーザにて指定された、前記領域群における前記搬送チャンバの配置位置および前記領域群における前記処理チャンバの配置位置の各々に対応する前記識別情報を取得し、該取得された識別情報に基づいて前記搬送チャンバおよび前記処理チャンバの各々のアドレスを設定することを特徴とする請求項１に記載の識別情報設定装置。
4. 前記識別情報は、複数の前記搬送チャンバを相互に接続した場合に、各搬送チャンバが配置される各位置に対する識別情報であることを特徴とする請求項１に記載の識別情報設定装置。
5. 前記付与された前記処理チャンバのアドレスの各々と、該処理チャンバの各々とを対応付けて記憶する第２格納手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の識別情報設定装置。
6. 前記表示手段は、前記複数の領域を格子状に配置して前記領域群を表示させることを特徴とする請求項１に記載の識別情報設定装置。
7. 基板搬送手段を有する搬送チャンバ、および処理チャンバを所定の配置関係で配置する際に、前記搬送チャンバおよび処理チャンバの各々にアドレスを付与する識別情報設定方法であって、
   複数の領域を含む領域群であって、前記所定の配置関係を仮想的に展開するための領域群を表示する工程と、
   前記表示された領域群において、前記搬送チャンバに対応し、接続ポートの位置に対応する複数の辺を有する第１のアイコンと、前記処理チャンバに対応し、搬送チャンバとの接続箇所を示すための接続箇所指示部を有する第２のアイコンとにより、前記搬送チャンバの配置位置、および前記搬送チャンバの接続ポートのうち前記処理チャンバが接続される接続ポートをユーザに指定させる工程と、
   前記第１のアイコンにより前記領域群上で指定された搬送チャンバの配置位置、および前記第２のアイコンにより前記領域群上で指定された処理チャンバの配置位置により、前記領域群のうち前記搬送チャンバが対応づけられた対応領域と、該搬送チャンバが有する複数の接続ポートのうち処理チャンバが接続された接続ポートを示す情報とを含む構成情報を取得する工程と、
   前記構成情報、および前記領域群の複数の領域の各々を特定するための識別情報により、前記領域群における前記搬送チャンバの配置位置に対応する識別情報を取得し、該取得された識別情報から前記搬送チャンバのアドレスを決定し、かつ該決定された搬送チャンバのアドレス、および前記構成情報から前記処理チャンバのアドレスを決定する工程とを有し、
   前記第１のアイコンの複数の辺の各々には識別値が割り当てられており、
   ある第１のアイコンの複数の辺のうち、ある第２のアイコンの接続箇所指示部が隣接する辺が、前記ある第１のアイコンが対応する搬送チャンバの、前記ある第２のアイコンに対応する処理チャンバとの接続ポートを示し、
   前記取得する工程は、前記領域群において前記第１のアイコンが配置された位置を前記構成情報における前記対応領域と設定し、前記領域群において前記第２のアイコンの接続箇所指示部と隣接する前記第１のアイコンの辺を、前記構成情報における前記処理チャンバが接続された接続ポートと設定し、
   前記決定する工程は、
   前記構成情報と前記識別情報とを参照して、該構成情報に含まれる前記対応領域に対応する識別情報を前記搬送チャンバのアドレスとして設定し、
   前記アドレスが付与された搬送チャンバに接続された処理チャンバの各々について、前記構成情報に含まれる前記接続ポートを示す情報に基づいて、該接続ポートに割り当てられた前記識別値を前記設定された搬送チャンバのアドレスに付加した情報を生成し、該付加された情報を前記接続ポートに接続された処理チャンバのアドレスとして設定することを特徴とする識別情報設定方法。
8. コンピュータを請求項１に記載の識別情報設定装置として機能させることを特徴とするコンピュータプログラム。
9. コンピュータにより読み出し可能なプログラムを格納した記憶媒体であって、請求項９に記載のコンピュータプログラムを格納したことを特徴とする記憶媒体。

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