JP5280638B2

JP5280638B2 - 基板処理システムおよびデータ転送方法

Info

Publication number: JP5280638B2
Application number: JP2007061813A
Authority: JP
Inventors: 裕幸岩倉
Original assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Current assignee: Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority date: 2007-03-12
Filing date: 2007-03-12
Publication date: 2013-09-04
Anticipated expiration: 2027-03-12
Also published as: JP2008227066A

Description

本発明は、基板処理システムに関し、例えば、半導体集積回路装置（以下、ＩＣという。）や液晶表示装置（以下、ＬＣＤという。）の製造工場のＣＩＭ（computer integrated manufacturing ）に利用して有効なものに関する。

ＩＣ製造工場のＣＩＭで使用されている従来の基板処理システムにおいては、各半導体製造装置毎の生産レシピ（以下、レシピという。）を群管理装置および基板処理装置の双方で保持し、かつ、群管理装置で管理することにより、双方でのレシピの不整合が発生しないように構築されている。
例えば、基板処理装置側においてレシピの内容が変更（書き換え）された場合には、レシピが変更された旨が基板処理装置から群管理装置に対して通知され、当該通知を受け取った群管理装置は、当該レシピのデータを基板処理装置から吸い上げることにより、群管理装置の記憶領域内において保持しているレシピの内容を更新する。例えば、特許文献１参照。
特開２００６−７３８４５号公報

このような基板処理システムにおいて、基板処理装置の操作装置を汎用オペレーティングシステム（以下、ＯＳという。）上で構築した場合には、汎用ソフトウエア（以下、市販ソフトという。）やＯＳの機能を利用して、基板処理装置の操作装置以外のパーソナルコンピュータ（以下、パソコンという。）上に操作画面を表示したり、ＯＳの使用環境を提供することができる。
これを利用すると、遠隔のパソコン上で、基板処理装置の操作機能を提供可能であることから、基板処理装置の遠隔監視・操作システムとして利用することができる。

しかしながら、遠隔操作によって基板処理装置を操作して参照しているデータや編集したデータは、遠隔のパソコンではなく、基板処理装置側に保持されているために、遠隔のパソコンの記憶装置への保存や外部メディア出力、基板処理装置間のコピーや管理システムでの世代管理等のデータ管理機能を提供することができない。

本発明の目的は、基板処理装置の操作装置以外の操作装置の詳細な参照機能や編集機能を作ることなく、基板処理装置データを管理する機能を提供することにある。

本願が開示する発明のうち代表的なものは、次の通りである。
（１）複数の基板処理装置と、各基板処理装置の各操作装置と接続された群管理装置とによって構成される基板処理システムにおいて、
前記各基板処理装置の各操作装置にて、前記各基板処理装置のデータの転送先が指定されることにより、該データの転送指示があった時に、該データが前記各操作装置によって指定された転送先に前記群管理装置を介して転送されることを特徴とする基板処理システム。
（２）前記群管理装置が、前記各操作装置からのデータ転送要求を受信すると、前記転送先の操作装置へ該データ転送要求を送信し、前記転送先の操作装置での処理を監視することを特徴とする前記（１）に記載の基板処理システム。
（３）複数の基板処理装置と、各基板処理装置の各操作装置と接続された群管理装置とによって構成される基板処理システムにおいて、
前記各基板処理装置の各操作装置にて、前記各基板処理装置のデータの転送先およびデータ処理を示すパラメータが予め指定されており、前記各操作装置によって該パラメータ転送指示があった時に、前記群管理装置は、
データ処理が上書き保存である場合には、上書き保存した後に、転送先に前記データを転送し、該転送先の前記データをそのまま更新するように要求し、該転送先で更新されたことを確認して処理を終了し、
データ処理が名前を付けて保存である場合には、前記群管理装置内に前記データに名前を付けて保存することを特徴とする基板処理システム。

前記（１）〜（３）の手段によれば、基板処理装置の操作装置以外の操作装置の詳細な参照機能や編集機能を作ることなく、基板処理装置データを管理する機能を提供し、基板処理装置および群管理装置（遠隔パソコンを含む）の操作装置間でデータのやり取りを可能とすることにより、複数の操作装置で、恰も、データを保持しているように操作部機能を使用することができる。

以下、本発明の一実施の形態を図面に即して説明する。

本実施の形態に係る基板処理システムは、ＩＣ製造工場の前工程を制御するものとして構成されており、図１に示されているように、複数の基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎと、群管理装置１０とを備えており、複数の基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎと群管理装置１０とはネットワークＮによって接続されている。

図２に示されているように、群管理装置１０は操作装置としての端末装置１１を備えている。端末装置１１は入力装置１２、データ表示部１３、市販ソフト１４、ＯＳ１５、データ保持部１６、管理装置通信部１７および通信制御部１８を備えている。
入力装置１２はシステム管理者等からの入力を受け付け、入力データを市販ソフト１４に出力する。データ表示部１３は市販ソフト１４から出力されたデータを表示画面（図示せず）に表示する。データ保持部１６はＯＳ１５から出力されたデータを格納し、また、格納しているデータをＯＳ１５に出力する。通信制御部１８はネットワークＮに接続されており、各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎとのデータの入出力を制御する。

管理装置通信部１７には通信制御部１９を介して制御部２０が接続されている。制御部２０は入力装置２１、データ表示部２２およびデータ保持部２３を備えている。
制御部２０は通信制御部１９を介して各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎにそれぞれ接続されている。

各基板処理装置Ｍ１〜Ｍｎ（以下、区別する必要が無い場合にはＭとする。）は、図３に示されているように、操作装置３１を備えている。操作装置３１は入力装置３２、データ表示部３３、市販ソフト３４、ＯＳ３５、データ保持部３６、表示制御部３７および通信制御部３８を備えている。通信制御部３８はネットワークＮに接続されており、各群管理装置１０とのデータの入出力を制御する。
操作装置３１には制御部４０が通信制御部３８、３９を介して接続されている。制御部４０にはＩ／Ｏ制御部４１および機械制御部４２を備えている。
Ｉ／Ｏ制御部４１は反応炉４３内の温度や圧力等を調整する調整装置（例えば、ヒータやガス流量バルブ等）に対して制御データを出力し、また、反応炉４３内の状態を検出する複数のセンサからの検出データ（例えば、温度やガス流量および圧力等に関するデータ）を受け付ける。
機械制御部４２は駆動機械（例えば、ボートエレベータやウエハ移載装置）の作動を制御する。

次に、前記構成に係る基板処理システムによるデータの転送方法を説明する。
転送は基板処理装置Ｍで保持しているデータ、群管理装置１０で保持しているデータを転送する。
転送方法には操作装置の表示画面で行なうマニュアル方法と、予め決められた動作を行なう自動方法とがある。また、転送方向として、データを送る場合と、データを受信する場合とがある。

（１）基板処理装置間のデータのマニュアル転送方法について
1) データ送信の場合（図４参照）
第一基板処理装置Ｍ１から第二基板処理装置Ｍ２に転送する場合について説明する。
図４に示されているように、第一基板処理装置Ｍ１のデータ表示部３３でデータを表示中（ステップＡ１）に、データ転送機能を選択する（ステップＡ２）。
次に、データ転送先と転送するデータを選ぶと（ステップＡ３）と、データを読み込んだ後に（ステップＡ４）、群管理装置１０にデータ転送要求を送る（ステップＡ５）。
群管理装置１０はデータ転送要求を受け取ると、データ転送要求を第二基板処理装置Ｍ２に送る（ステップＡ６）。
第二基板処理装置Ｍ２はデータ転送要求のデータをデータ保持部３６に保存する（ステップＡ７）。データの保存に失敗した場合には、データ転送応答でエラーを通知する（ステップＡ８）。
群管理装置１０はデータ転送応答を受け取ると、データ転送応答を第一基板処理装置Ｍ１に通知する（ステップＡ９）。

2) データ受信の場合（図５参照）
第一基板処理装置Ｍ１から第二基板処理装置Ｍ２にデータ転送を要求する場合について説明する。
図５に示されているように、第一基板処理装置Ｍ１のデータ表示部３３でデータを表示中（ステップＢ１）に、データ転送機能を選択する（ステップＢ２）。
次に、データ転送元と転送するデータを選ぶと（ステップＢ３）と、群管理装置１０にデータ転送要求を送る（ステップＢ４）。
群管理装置１０はデータ転送要求を受け取ると、データ転送要求を第二基板処理装置Ｍ２に送る（ステップＢ５）。
第二基板処理装置Ｍ２はデータ転送要求のデータを読み込み（ステップＢ６）、群管理装置１０にデータ転送要求を送る（ステップＢ７）。
群管理装置１０はデータ転送要求を受け取ると、データ転送要求を第一基板処理装置Ｍ１に送る（ステップＢ８）。
第一基板処理装置Ｍ１はデータ転送要求のデータをデータ保持部３６に保存する（ステップＢ９）。

（２）群管理装置との転送について
1) データ送信の場合（図６参照）
第一基板処理装置Ｍ１から群管理装置１０に転送する場合について説明する。
図６に示されているように、第一基板処理装置Ｍ１のデータ表示部３３でデータを表示中（ステップＣ１）に、データ転送機能を選択する（ステップＣ２）。
次に、データ転送先である群管理装置１０と転送するデータを選ぶと（ステップＣ３）と、データを読み込んだ後に（ステップＣ４）、群管理装置１０にデータ転送要求を送る（ステップＣ５）。
群管理装置１０はデータ転送要求を受け取ると、データ転送要求のデータをデータ保持部２３に保存する（ステップＣ６）。データの保存に失敗した場合には、データ転送応答でエラーを通知する（ステップＣ７）。

2) データ受信の場合（図７参照）
第一基板処理装置Ｍ１から群管理装置１０にデータ転送を要求する場合について説明する。
図７に示されているように、第一基板処理装置Ｍ１のデータ表示部３３でデータを表示中（ステップＤ１）に、データ転送機能を選択する（ステップＤ２）。
次に、データ転送元である群管理装置１０と転送するデータを選ぶと（ステップＤ３）と、群管理装置１０にデータ転送要求を送る（ステップＤ４）。
群管理装置１０はデータ転送要求を受け取ると、データ転送要求のデータを読み込み（ステップＤ５）、データ転送応答を第一基板処理装置Ｍ１に送る（ステップＤ６）。
第一基板処理装置Ｍ１はデータ転送応答のデータをデータ保持部３６に保存する（ステップＤ７）。

（３）自動転送方法について（図８）
第一基板処理装置Ｍ１から群管理装置１０に転送する場合について説明する。
予め、自動転送に使用するパラメータ（ＯＳや市販ソフト等のコマンドについて、コマンドに続けて入力し、実行の対象や方法を指示するためのデータ）を準備しておく。
図９に自動転送に使用するパラメータの一例を示す。
図８に示されているように、予め準備した自動転送パラメータを第一基板処理装置Ｍ１の操作装置３１の起動時に読み込んでおく（ステップＥ１）。
第一基板処理装置Ｍ１の操作装置３１において特定の操作を実行した時に、データ表示部３３でデータの表示中（ステップＥ２）に、データ転送機能を自動的に選択し（ステップＥ３）、転送要求イベントを発生させ（ステップＥ４）、表示制御部３７で該当するイベントに従って、データの転送処理を実行し（ステップＥ５）、データ転送要求を送る（ステップＥ６）。
例えば、レシピ編集画面で弊習終了ボタン押下時に、図９に示されたイベント１００を表示制御部３７に送ると、表示制御部３７が「￥ｔｅｍｐ￥ｒｅｃｉｐｅ￥プロセスレシピ名．ｄａｔ」を自身（第一基板処理装置Ｍ１）のデータ保持部３６から読み込み、データ転送要求を群管理装置１０に送信する。
このとき、上書き／自動名前割り付け指定（名前を付けて保存）を一緒に転送することにより、群管理装置１０側での動作を指定することができる。
1) 上書きの場合は、同一名称で保存する。
2) 自動名前割り付け指定の場合は、同一の名前がある場合には名前が重複しないように、拡張子を付けることにより、過去のデータも保持することができるので、過去のデータの世代保存が可能となる。
群管理装置１０はデータ転送要求を受け取ると、データ転送要求のデータをデータ保持部２３に保存する（ステップＥ７）。データの保存に失敗した場合には、データ転送応答でエラーを通知する（ステップＥ８）。

前記実施の形態によれば、次の効果が得られる。

1) 複数の基板処理装置および群管理装置において、ＯＳや市販ソフトの機能を利用して基板処理装置の操作装置と同じ操作機能を提供する場合に、表示するだけでなく、データ出力や世代管理等を効果的に管理するシステムを構築することができる。

2) マニュアル転送方法によれば、データの転送先を群管理装置や基板処理装置を指定することができるので、転送先をフレキシブルに指定することができる。

3) 自動転送方法によれば、転送時の指定の手間を省略することができる。また、画面毎に転送機能を組み込む必要がなく、画面からはイベントを発行するだけでパラメータに従ったデータ転送を実行することができる。

4) 自動転送方法によれば、パラメータを変更することにより、転送データや転送先を容易に変更することができる。

5) 転送先の処理を指定することにより、データの上書きによる一元管理と、名前を付けて保存による世代管理との振り分けが可能となる。

なお、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。

前記実施の形態においてはＩＣの製造工場における複数の基板処理装置の基板処理システム（ＣＩＭ）について説明したが、本発明はこれに限らず、ガラス基板に処理を施す複数のＬＣＤ装置の基板処理システム（ＣＩＭ）についても適用することができる。

基板処理装置はバッチ式や枚葉式および縦型や横型に限定されることはなく、本発明は複数の基板処理装置を群制御する基板処理システム全般に適用することができる。

さらに、基板処理装置の用途（機能）にも限定はなく、成膜や酸化や拡散、アニール等の熱処理（thermal treatment ）、さらには、ドライエッチングやリソグラフィー等を実施するものであってもよい。

本発明の一実施の形態である基板処理システムを示すブロック図である。群管理装置を示すブロック図である。基板処理装置を示すブロック図である。基板処理装置間マニュアル転送方法のデータ送信を示すフローチャートである。同じくデータ受信を示すフローチャートである。基板処理装置と群管理装置間マニュアル転送方法のデータ送信を示すフローチャートである。同じくデータ受信を示すフローチャートである。自動転送方法のデータ送信を示すフローチャートである。自動転送に使用するパラメータの一例を示す模式図である。

符号の説明

１０…群管理装置（群管理装置）、１１…端末装置、１２…入力装置、１３…データ表示部、１４…市販ソフト、１５…ＯＳ、１６…データ保持部、１７…管理装置通信部、１８…通信制御部、１９…通信制御部、２０…制御部、２１…入力装置、２２…データ表示部、２３…データ保持部、
Ｍ１〜Ｍｎ…基板処理装置、３１…操作装置、３２…入力装置、３３…データ表示部、３４…市販ソフト、３５…ＯＳ、３６…データ保持部、３７…表示制御部、３８、３９…通信制御部、
４０…制御部、４１…Ｉ／Ｏ制御部、４２…機械制御部、４３…反応炉。

Claims

複数の基板処理装置が、各基板処理装置の各操作装置と接続された群管理装置を介して接続される基板処理システムにおいて、
前記各基板処理装置の各操作装置にて、前記各基板処理装置のデータの転送先が指定されることにより、該データの転送指示があった時に、前記群管理装置が、前記各操作装置からのデータ転送要求を受信すると、前記転送先の操作装置へ該データ転送要求を送信し、前記転送先の操作装置での処理を監視し、前記転送先の操作装置からデータ転送応答を受け取ると、前記データ転送応答を転送元の操作装置に通知することにより、該データが前記各操作装置によって指定された転送先に前記群管理装置を介して転送され、
前記各基板処理装置の各操作装置にて、前記各基板処理装置のデータの転送元が指定されることにより、該データの転送指示があった時に、前記群管理装置が、前記各操作装置からのデータ転送要求を受信すると、前記転送元の操作装置へ該データ転送要求を送信し、前記転送元の操作装置での処理を監視し、前記転送元の操作装置からデータ転送応答を受け取ると、前記データ転送応答を前記各操作装置に通知することにより、該データが前記各操作装置によって指定された転送元の操作装置から前記群管理装置を介して転送される、
ことを特徴とする基板処理システム。
複数の基板処理装置が各基板処理装置の各操作装置と接続された群管理装置を介して接続される基板処理システムのデータ転送方法であって、
前記各基板処理装置の各操作装置にて、前記各基板処理装置のデータの転送先が指定されることにより、該データの転送指示があった時に、前記群管理装置が、前記各操作装置からのデータ転送要求を受信すると、前記転送先の操作装置へ該データ転送要求を送信し、前記転送先の操作装置での処理を監視し、前記転送先の操作装置からデータ転送応答を受け取ると、前記データ転送応答を転送元の操作装置に通知することにより、該データが前記各操作装置によって指定された転送先に前記群管理装置を介して転送され、
前記各基板処理装置の各操作装置にて、前記各基板処理装置のデータの転送元が指定されることにより、該データの転送指示があった時に、前記群管理装置が、前記各操作装置からのデータ転送要求を受信すると、前記転送元の操作装置へ該データ転送要求を送信し、前記転送元の操作装置での処理を監視し、前記転送元の操作装置からデータ転送応答を受け取ると、前記データ転送応答を前記各操作装置に通知することにより、該データが前記各操作装置によって指定された転送元の操作装置から前記群管理装置を介して転送される、
ことを特徴とするデータ転送方法。