JPH11237933A - 生産管理システム - Google Patents

生産管理システム

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JPH11237933A
JPH11237933A JP3843198A JP3843198A JPH11237933A JP H11237933 A JPH11237933 A JP H11237933A JP 3843198 A JP3843198 A JP 3843198A JP 3843198 A JP3843198 A JP 3843198A JP H11237933 A JPH11237933 A JP H11237933A
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JP
Japan
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devices
controller
management system
production
air conditioning
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JP3843198A
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English (en)
Inventor
Takashi Omura
隆司 大村
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P80/00—Climate change mitigation technologies for sector-wide applications
    • Y02P80/10—Efficient use of energy, e.g. using compressed air or pressurized fluid as energy carrier
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラント内の生産ラインを構成する複数の装
置の運転を、生産計画に基づいて効率的に制御して、装
置の信頼性を保ちながらエネルギの効率的使用を可能に
して省エネルギ化を図る。 【解決手段】 各装置６に電源供給を制御するコントロ
ーラ１３を備え、このコントローラ１３により各装置６
をＬＡＮ７を介してホストコンピュータ８と接続し、ホ
ストコンピュータ８からの各装置６の稼動計画時間割を
示すスケジュール情報１８を受けて、コントローラ１３
で各装置６の電源ＯＮ／ＯＦＦを制御することにより、
エネルギを効率的に使用する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プラント内の生
産ラインを構成する複数の装置の運転を制御する生産管
理システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の半導体装置の大規模な生産ライン
では、個々の製造装置の大型化に伴い、電力消費が大き
なものになっている。また、多量少品種のものより少量
多品種のものが増大し、製造装置の稼働率も低下してい
る。これらの状況下では、無駄なエネルギを低減させる
省エネルギ対策は、重要な課題である。図４は従来のプ
ラント内の生産ラインを、例えば半導体装置を検査する
自動テスト装置を複数個有して構成したラインについて
示したブロック図である。図において、１ａ〜１ｄ、２
ａ〜２ｄ、３ａ〜３ｄ、４ａ〜４ｄは、自動テスト装置
であり、斜線を記すものは電源ＯＦＦ状態、斜線の無い
ものは電源ＯＮ状態を示す。従来は、生産ラインの量産
計画に基づいて、作業者５が経験によって各自動テスト
装置１〜４の電源操作を行い、省エネルギ対策を行って
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の生産ラインで
は、上記のように作業者５の人手によって各自動テスト
装置の電源操作が行われていたため、生産ラインの規模
が大きくなって、自動テスト装置１〜４の台数が増大す
ると、作業者５に過大な負担が課せられる。また、各自
動テスト装置１〜４はＯＮ／ＯＦＦの電源操作に伴うス
トレスの回復や環境温度の変動による調整のため、電源
ＯＮ後に、正常動作するためのキャリブレーション（校
正）および診断を行っていたが、電源操作を作業員５が
経験によって行っていたため、自動テスト装置１〜４の
立ち上げが遅れて量産計画に支障が発生したり、逆に立
ち上げ後の待機状態が長引くこともあり、効率的な省エ
ネルギ対策を行うことは困難であった。
【０００４】この発明は、上記のような問題点を解消す
るために成されたものであって、プラント内の生産ライ
ンを構成する複数の装置の運転を、生産計画に合わせて
効率的に制御し、装置の信頼性を保ちながらエネルギの
効率的使用を可能にした、省エネルギに適した生産管理
システムを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる請求項
１記載の生産管理システムは、被処理物に加工、検査な
どの処理を施す装置本体と、該装置本体が正常動作する
ように温度環境の変化に追従して校正、診断する校正装
置と、該装置本体内部の温度上昇を抑制する冷却装置と
から成る装置を複数個有してプラント内に構成される生
産ラインを管理するシステムであって、上記装置本体、
上記校正装置および上記冷却装置への電源供給を制御す
るコントローラを上記各装置に備え、該コントローラに
より上記各装置をネットワークを介して管理用コンピュ
ータと接続し、該管理用コンピュータからの上記各装置
の稼動計画時間割を示すスケジュール情報を受けて、上
記各装置の上記コントローラを駆動し、上記各装置の電
源ＯＮ／ＯＦＦを制御するものである。
【０００６】この発明に係わる請求項２記載の生産管理
システムは、請求項１において、プラント内の空調を制
御する空調制御装置が、管理用コンピュータと生産ライ
ンを構成する複数の装置とを接続するネットワークに接
続され、上記管理用コンピュータが、格納された上記各
装置のスケジュール情報に基づいて上記プラント内の温
度状況を判断して、上記空調制御装置を制御するもので
ある。
【０００７】この発明に係わる請求項３記載の生産管理
システムは、請求項２において、生産ラインを構成する
複数の装置が、プラント内に区分された複数のエリアに
分布して配置され、空調制御装置が、上記エリア別に空
調を制御するものであり、管理用コンピュータが、格納
された各装置のスケジュール情報に基づいて上記各エリ
ア内の温度状況を判断して、上記空調制御装置を制御す
るものである。
【０００８】この発明に係わる請求項４記載の生産管理
システムは、請求項１〜３のいずれかにおいて、管理用
コンピュータからの各装置のスケジュール情報に基づい
て、コントローラが、上記各装置の自己および周辺装置
の電源ＯＮ／ＯＦＦに伴う温度環境の状況を判断して、
校正装置および冷却装置を制御するものである。
【０００９】この発明に係わる請求項５記載の生産管理
システムは、請求項１〜４のいずれかにおいて、各装置
の校正装置による装置本体の診断結果情報をコントロー
ラを介して管理用コンピュータに転送し、転送された情
報を記録および表示することにより上記各装置および生
産ラインの保守管理を行うものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
実施の形態１を図について説明する。図１は、この発明
によるプラント内の生産ラインを管理する生産管理シス
テムを示す全体ブロック図である。プラント内では生産
ラインを構成する複数の自動テスト装置（以下、装置と
称す）６ａａ〜６ａｄ、６ｂａ〜６ｂｄ、６ｃａ〜６ｃ
ｄ、６ｄａ〜６ｄｄが、プラント内の４つのエリアＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄに分かれて配置され、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ
Ａｒｅａ Ｎｅｔｒｗｏｒｋ）７を介して、各装置を監
視、制御する管理用コンピュータとしてのホストコンピ
ュータ８に接続される。また、プラント内の各エリア
Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄにおける空調をそれぞれ制御してプラン
ト内全体の空調制御を行う空調制御装置９も同一ＬＡＮ
７に接続される。なお、装置６（６ａａ〜６ａｄ、６ｂ
ａ〜６ｂｄ、６ｃａ〜６ｃｄ、６ｄａ〜６ｄｄ）のう
ち、斜線を記すものは電源ＯＦＦ状態、斜線の無いもの
は電源ＯＮ状態を示すものである。
【００１１】次に、各装置６について図２に基づいて以
下に示す。各装置６は、その装置の機能を実現する装置
本体としてのハードウェア１０、このハードウェア１０
が正常動作するためのキャリブレーション（校正）およ
び診断を行う校正装置１１、およびハードウェア１０内
部の温度上昇を抑制する冷却装置１２、外部のＬＡＮ７
とインターフェースを持つコントローラ１３、電源１４
および電源シーケンス回路１５を有し、コントローラ１
３によりＬＡＮ７を介して、ホストコンピュータ８に接
続される。装置６内では、コントローラ１３はバス１６
を介してハードウェア１０、校正装置１１、冷却装置１
２および電源シーケンス回路１５に接続されて、それぞ
れを制御し、電源シーケンス回路１５の制御により電源
１４を動作させ、電源ライン１７を介してハードウェア
１０、校正装置１１および冷却装置１２に電力供給を行
う。
【００１２】一方、ホストコンピュータ８では、生産管
理のためのソフトウェアがインストールされており、そ
のソフトウェア上で動くスケジュールプログラムエディ
タを用いて、予め、生産計画に基づく各装置６の稼動計
画時間割が作成されて、その各装置６の稼動計画時間割
を示すスケジュール情報が格納されている。図３は、各
装置６のスケジュール情報１８を示すもので、ＲＵＮ
は、装置６の電源１４がＯＮされた運転状態で被処理物
に加工、検査などの処理を施している状態、あるいは、
処理可能の待機状態を示し、ＳＬＥＥＰは、装置６の電
源１４がＯＦＦされた休止状態を示し、ＯＮは装置６の
電源ＯＮ、ＯＦＦは装置６の電源ＯＦＦ、ＣＡＬはハー
ドウェア１０のキャリブレーション（校正）、Ｄはハー
ドウェア１０の診断（Ｄｉａｇ．）を示す。
【００１３】ホストコンピュータ８は格納された上記ス
ケジュール情報１８を、ＬＡＮ７を介して各装置６に伝
送する。各装置６では、送られてきたスケジュール情報
１８をコントローラ１３で受けて、スケジュール情報１
８に従い電源シーケンス回路１５へ電源ＯＮ／ＯＦＦの
指示を送り、電源シーケンス回路１５では、予め設定さ
れたシーケンスで、例えば電源ＯＮの指示を受けると、
冷却装置１２、校正装置１１、ハードウェア１０の順に
電源１４をＯＮにし、電源ＯＦＦの指示を受けると、逆
にハードウェア１０、校正装置１１、冷却装置１２の順
に電源１４をＯＦＦにする。
【００１４】電源ＯＮの場合、冷却装置１２、校正装置
１１およびハードウェア１０に電源１４をＯＮした後、
校正装置１１で、ハードウェア１０が正常動作するため
のキャリブレーションを行い、続いて良好な状態である
かどうかを診断する。このキャリブレーションは、ＯＮ
／ＯＦＦの電源操作に伴うストレスの回復や環境温度の
変動による調整のために行う。プラント内の温度は、空
調制御装置９によって、設定された規格値、例えば２５
℃±５℃でエリア毎に制御されているが、装置６（ハー
ドウェア１０）自身は比較的温度変動には厳格な制御が
必要であり、例えば、空調制御の規格値の範囲内で±２
℃程度の幅を持って制御する。このため、環境温度が変
動すると、キャリブレーションによりその温度変動に追
従して温度制御の設定値を変更し、ハードウェア１０内
部を設定値に合うように調整して設定値±２℃の制御を
可能にする。冷却装置１２はハードウェア１０の温度上
昇を抑制して、設定値±２℃になるように制御する。校
正装置１１による診断後は、自動的にＲＵＮ状態（運転
状態）になる。
【００１５】この実施の形態では、プラント内に生産ラ
インを構成する複数の装置６を、各装置６に備えられた
コントローラ１３によりＬＡＮ７を介してホストコンピ
ュータ８と接続し、ホストコンピュータ８に予め格納さ
れた各装置６の稼動計画時間割を示すスケジュール情報
１８を受けて、コントローラ１３が各装置６の電源ＯＮ
／ＯＦＦを制御するようにした。これにより、従来、人
が経験によって行っていた電源操作を、生産計画に基づ
いて自動制御することができ、作業員に過大な負担をか
けることなく、また、立ち上げが遅れて生産計画に支障
が発生したり、立ち上げ後の待機状態が長引いたりする
ことなく、安定的に効率的なエネルギ使用が可能にな
り、省エネルギ対策に非常に有効である。
【００１６】実施の形態２．次に、空調制御装置９をホ
ストコンピュータ８で制御する場合について説明する。
上記実施の形態１で示した様に、空調制御装置９は、ホ
ストコンピュータ８と各装置６とを接続するＬＡＮ７に
接続され、プラント内に区分された４つのエリアＡ、
Ｂ、Ｃ、Ｄ内の空調をそれぞれ制御する。生産ラインを
構成する複数の装置６は、４つのエリアに分布して配置
されるものとする。プラント内の温度は、空調制御装置
９によって、設定された規格値、例えば２５℃±５℃で
エリア毎に制御されているが、エリア内の装置６の電源
ＯＮ／ＯＦＦ状況が、それぞれ異なる。装置６が電源０
Ｎ状態であれば、その装置６周辺の温度は高くなり、ま
た、電源ＯＮ／ＯＦＦ操作によっても装置６周辺の温度
は変動する。このため、ホストコンピュータ８は、上記
実施の形態１で示した様な各装置６の稼動計画時間割を
示すスケジュール情報１８から、そのときの各エリア内
の温度状況を判断して、ＬＡＮ７を介して空調制御装置
９に指示を伝送し、空調制御を行う。
【００１７】例えば、４つのエリアのうち、エリアＡ内
の全装置６が休止状態（電源ＯＦＦ状態）で、その他の
エリアでは全装置６が運転状態（電源ＯＮ状態）である
とすれば、エリアＡ内の温度は、他のエリアに比べて低
いのが正常であるため、通常の規格値２５℃±５℃内で
あっても、その時点において規格上限値を低めに設定し
た（例えば２５℃＋２℃）判断によって制御を行う。ま
た、スケジュール情報１８により、その時点だけでなく
近い将来の温度変動も予測して対応させることもでき
る。
【００１８】この実施の形態では、プラント内を複数の
エリアに区分して、空調制御装置９が、エリア別に空調
を制御する際、ホストコンピュータ８が、格納された各
装置６のスケジュール情報１８に基づいて各エリア内の
温度状況を判断し、ＬＡＮ７を介して空調制御装置９を
制御する。このため、生産計画に基づいた電源操作の自
動制御を行う際、電源操作の回数が増大してもプラント
内の温度環境が変動するのが効果的に抑制でき、装置６
の環境変動を抑制して高い信頼性を保持しながら、安定
的に効率的なエネルギ使用を可能にする。
【００１９】なお、空調制御装置９は、プラント内に区
分されたエリア別に空調制御するものに限らず、プラン
ト内全体を一括して制御するものでも良い。
【００２０】実施の形態３．次に、上記実施の形態１で
は、コントローラ１３が各装置６の電源ＯＮ／ＯＦＦを
制御するものを説明したが、コントローラ１３により装
置６の電源１４だけでなく校正装置１１および冷却装置
１２を制御するものについて説明する。上記実施の形態
１で示した様に、校正装置１１によるキャリブレーショ
ンは、ハードウェア１０が正常動作するために、ＯＮ／
ＯＦＦの電源操作に伴うストレスの回復や環境温度の変
動による調整のために行う。この環境温度は、この装置
６自身および周辺装置の電源操作、電源ＯＮ／ＯＦＦ状
態によって変動するもので、これら環境温度の変動要因
は、ホストコンピュータ８に格納された各装置６のスケ
ジュール情報１８から知ることができる。
【００２１】この実施の形態では、各装置６のコントロ
ーラ１３が、ホストコンピュータ８から各装置６のスケ
ジュール情報１８を受けて、自己と周辺装置６の電源操
作および電源ＯＮ／ＯＦＦ状態から、その時点だけでな
く近い将来の温度変動も予測して各装置６の温度環境の
状況を判断し、校正装置１１を制御してキャリブレーシ
ョンを行う。また、このキャリブレーションに合わせた
温度設定により冷却装置１２によって各装置６内部の温
度をある範囲内で一定に保つ。これにより、生産計画に
基づいた電源操作の自動制御を行う際、電源操作の回数
が増大しても、各装置６の温度環境の変動がハードウェ
ア１０に悪影響を及ぼすのが効果的に防止でき、高い信
頼性を保持しながら、安定的に効率的なエネルギ使用を
可能にする。
【００２２】実施の形態４．上記実施の形態１〜３にお
いて、校正装置１１によるキャリブレーションの後診断
し、その診断結果をＬＡＮ７を介してホストコンピュー
タ８に転送し、転送された情報を記録し、診断結果がＮ
Ｇであればアラームを表示させる。これにより、記録さ
れた各装置６の診断結果を加工して生産ラインの保守管
理に用いることも可能になり、生産ラインの信頼性が向
上する。
【００２３】
【発明の効果】以上の様にこの発明に係わる請求項１記
載の生産管理システムは、装置本体、校正装置および冷
却装置への電源供給を制御するコントローラを各装置に
備え、該コントローラにより上記各装置をネットワーク
を介して管理用コンピュータと接続し、該管理用コンピ
ュータからの上記各装置の稼動計画時間割を示すスケジ
ュール情報を受けて、上記各装置の上記コントローラを
駆動し、上記各装置の電源ＯＮ／ＯＦＦを制御する様に
したため、各装置の電源操作を、生産計画に基づいて人
手や経験に頼ることなく自動制御することができ、作業
員に過大な負担をかけることなく、安定的に効率的なエ
ネルギ使用が可能になり、生産ラインの省エネルギ化を
推進できる。
【００２４】またこの発明に係わる請求項２記載の生産
管理システムは、請求項１において、プラント内の空調
を制御する空調制御装置が、管理用コンピュータと生産
ラインを構成する複数の装置とを接続するネットワーク
に接続され、上記管理用コンピュータが、格納された上
記各装置のスケジュール情報に基づいて上記プラント内
の温度状況を判断して、上記空調制御装置を制御する様
にしたため、生産計画に基づいた電源操作の自動制御を
行う際、プラント内の温度環境が変動するのが効果的に
抑制でき、各装置の環境変動を抑制して、生産ラインの
高い信頼性を保持しながら、安定的に効率的なエネルギ
使用を可能にした省エネルギ化を推進できる。
【００２５】またこの発明に係わる請求項３記載の生産
管理システムは、請求項２において、生産ラインを構成
する複数の装置が、プラント内に区分された複数のエリ
アに分布して配置され、空調制御装置が、上記エリア別
に空調を制御するものであり、管理用コンピュータが、
格納された各装置のスケジュール情報に基づいて上記各
エリア内の温度状況を判断して、上記空調制御装置を制
御するようにしたため、各装置の環境変動をさらに効果
的に抑制し、生産ラインの高い信頼性を保持しながら、
安定的に効率的なエネルギ使用を可能にした省エネルギ
化を推進できる。
【００２６】この発明に係わる請求項４記載の生産管理
システムは、請求項１〜３のいずれかにおいて、管理用
コンピュータからの各装置のスケジュール情報に基づい
て、コントローラが、上記各装置の自己および周辺装置
の電源ＯＮ／ＯＦＦに伴う温度環境の状況を判断して、
校正装置および冷却装置を制御するようにしたため、、
生産計画に基づいた電源操作の自動制御を行う際、各装
置の温度環境の変動が装置本体に悪影響を及ぼすのが効
果的に防止でき、高い信頼性を保持しながら、安定的に
効率的なエネルギ使用を可能にした省エネルギ化を推進
できる。
【００２７】またこの発明に係わる請求項５記載の生産
管理システムは、請求項１〜４のいずれかにおいて、各
装置の校正装置による装置本体の診断結果情報をコント
ローラを介して管理用コンピュータに転送し、転送され
た情報を記録および表示することにより上記各装置およ
び生産ラインの保守管理を行うようにしたため、上述し
た請求項１〜４の効果に加え、容易に保守管理が実施で
き生産ラインの信頼性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明によるプラント内の生産ラインを管
理する生産管理システムを示す全体ブロック図である。
【図２】 この発明による生産ラインを構成する装置の
構成を示すブロック図である。
【図３】 この発明による管理用コンピュータに格納さ
れたスケジュール情報を示す図である。
【図４】 従来の生産ラインの構成を示すブロック図で
ある。
【符号の説明】
６，６ａａ〜６ａｄ 装置、７ ネットワークとしての
ＬＡＮ、８ 管理用コンピュータとしてのホストコンピ
ュータ、９ 空調制御装置、１０ 装置本体としてのハ
ードウェア、１１ 校正装置、１２ 冷却装置、１３
コントローラ、１４ 電源、１８ スケジュール情報。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 被処理物に加工、検査などの処理を施す
    装置本体と、該装置本体が正常動作するように温度環境
    の変化に追従して校正、診断する校正装置と、該装置本
    体内部の温度上昇を抑制する冷却装置とから成る装置を
    複数個有してプラント内に構成される生産ラインを管理
    する生産管理システムにおいて、上記装置本体、上記校
    正装置および上記冷却装置への電源供給を制御するコン
    トローラを上記各装置に備え、該コントローラにより上
    記各装置をネットワークを介して管理用コンピュータと
    接続し、該管理用コンピュータからの上記各装置の稼動
    計画時間割を示すスケジュール情報を受けて、上記各装
    置の上記コントローラを駆動し、上記各装置の電源ＯＮ
    ／ＯＦＦを制御することを特徴とする生産管理システ
    ム。
  2. 【請求項２】 プラント内の空調を制御する空調制御装
    置が、管理用コンピュータと生産ラインを構成する複数
    の装置とを接続するネットワークに接続され、上記管理
    用コンピュータが、格納された上記各装置のスケジュー
    ル情報に基づいて上記プラント内の温度状況を判断し
    て、上記空調制御装置を制御することを特徴とする請求
    項１記載の生産管理システム。
  3. 【請求項３】 生産ラインを構成する複数の装置が、プ
    ラント内に区分された複数のエリアに分布して配置さ
    れ、空調制御装置が、上記エリア別に空調を制御するも
    のであり、管理用コンピュータが、格納された各装置の
    スケジュール情報に基づいて上記各エリア内の温度状況
    を判断して、上記空調制御装置を制御することを特徴と
    する請求項２記載の生産管理システム。
  4. 【請求項４】 管理用コンピュータからの各装置のスケ
    ジュール情報に基づいて、コントローラが、上記各装置
    の自己および周辺装置の電源ＯＮ／ＯＦＦに伴う温度環
    境の状況を判断して、校正装置および冷却装置を制御す
    ることを特徴とする上記請求項１〜３のいずれかに記載
    の生産管理システム。
  5. 【請求項５】 各装置の校正装置による装置本体の診断
    結果情報をコントローラを介して管理用コンピュータに
    転送し、転送された情報を記録および表示することによ
    り上記各装置および生産ラインの保守管理を行うことを
    特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の生産管理シ
    ステム。
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