JP2000260676A - 基板処理装置および通信制御プログラムを記録した記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ホストコンピュータとの通信において変数の
変更を容易に行うことができる通信機能を備えた基板処
理装置を提供することである。 【解決手段】 メインコトローラ２０の装置制御モジュ
ール２２０は、スレーブコントローラ２１からイベント
が発生した場合に、イベントおよびポート番号を通信制
御モジュール２１０に転送し、イベントに付随する変数
の値をデータベース管理ソフトウェア２３０を介してデ
ータベース２４０に格納する。通信制御モジュール２１
０は、装置制御モジュール２２０から与えられたポート
番号に基づいてデータベース２４０に格納された変数の
値を取得し、イベントおよび変数の値をメッセージとし
てホストコンピュータ３０に送信する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板に所定の処理
を行う基板処理装置および基板処理装置においてホスト
コンピュータとの間での通信を制御する通信制御プログ
ラムを記録した記録媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基
板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が
用いられている。例えば、半導体デバイスの製造プロセ
スでは、生産効率を高めるために一連の処理の各々をユ
ニット化し、複数のユニットを統合した基板処理装置が
用いられている。

【０００３】このような基板処理装置は、複数のユニッ
ト、それらの複数のユニットの動作を制御する複数のス
レーブコントローラ、および複数のユニットを協調動作
させるために複数のスレーブコントローラを統括制御す
るメインコントローラを備える。メインコントローラ
は、各スレーブコントローラに各種指令を与えるととも
に、各スレーブコントローラからの状態報告を受け、複
数のユニットの動作タイミングを統括的に管理および制
御する。

【０００４】また、この基板処理装置のメインコントロ
ーラは、製造プロセスの自動化のために通信ラインを介
して工場内のホストコンピュータに接続される。メイン
コントローラは、ホストコンピュータから送信される各
種指令および各種データを受信するとともに、各スレー
ブコントローラからの状態報告に基づいてホストコンピ
ュータに各種メッセージを送信する。

【０００５】特に、半導体製造装置の分野では、ホスト
コンピュータの通信リンクから見た装置動作の定義がＳ
ＥＭＩ Ｅ３０「ＳＥＭＩ製造装置の通信およびコント
ロールのための包括的モデル（ＧＥＭ）」として国際標
準化されている。

【０００６】従来、このＧＥＭ規格に従う通信機能を実
現するために、図９に示すメインコントローラ５０の構
成が採用されている。図９において、メインコントロー
ラ５０は、通信制御モジュール５１０および装置制御モ
ジュール５２０を備える。装置制御モジュール５２０は
ユーザインタフェース５３０を含む。

【０００７】通信制御モジュール５１０は、通信ライン
５０１を介してホストコンピュータに接続される。ま
た、装置制御モジュール５２０は、通信ライン５０２を
介して複数のスレーブコントローラに接続される。ユー
ザインタフェース５３０は各種指令および各種データを
入力および表示するためのメインパネルに接続される。

【０００８】装置制御モジュール５２０は、通信制御モ
ジュール５１０から転送される各種指令および各種デー
タに基づいて複数のユニットを協調動作させるために複
数のスレーブコントローラを統括制御する。また、この
装置制御モジュール５２０は、各スレーブコントローラ
から与えられる状態報告（以下、イベントと呼ぶ）を予
め定められた変数の値（パラメータ）とともに通信制御
モジュール５１０に転送する。ここでは、変数とは、装
置定数、状態変数および離散型データの総称である。ま
た、装置制御モジュール５２０は、イベントおよび変数
の値をユーザインタフェース５３０を介してメインパネ
ルに表示させる。

【０００９】通信制御モジュール５１０は、ホストコン
ピュータからの各種指令および各種データを受信して装
置制御モジュール５２０に転送するとともに、装置制御
モジュール５２０から与えられるイベントに変数の値を
付加してメッセージとしてホストコンピュータに送信す
る。

【００１０】上記のＧＥＭ規格には、通信制御モジュー
ル５１０でイベントに付加して送信すべき変数をホスト
コンピュータから動的に変更することができる動的イベ
ントレポート機能が規定されている。

【００１１】図１０は上記の動的イベントレポート機能
を実現するための方法を示す図である。通信制御モジュ
ール５１０は、図１０に示すイベントリストＥＬ、レポ
ートリストＲＬおよび変数リストＶＬＯを保有する。

【００１２】イベントリストＥＬには、イベント識別子
ＣＥＩＤ、イベント名およびレポート識別子ＲＰＴＩＤ
が格納される。イベントの種類としては、例えば「状態
遷移」および「搬入完了」がある。「状態遷移」は、例
えばポートの状態が変化したことを表す。ポートとは、
基板を収納するカセットの搬入または搬出位置を表す。
「搬入完了」は、例えば基板を収納するカセットがポー
トに搬入されたことを表す。

【００１３】「状態遷移」には、イベント識別子ＣＥＩ
Ｄとして１００１が付され、レポート識別子ＲＰＴＩＤ
として１００１が付されている。また、「搬入完了」に
は、イベント識別子ＣＥＩＤとして４００３が付され、
レポート識別子ＲＰＴＩＤとして００００および０１０
０が付されている。

【００１４】レポートリストＲＬには、レポート識別子
ＲＰＴＩＤ、レポート名および変数識別子ＶＩＤが格納
される。レポートの種類としては、例えば「クロッ
ク」、「状態遷移」および「材料情報」がある。

【００１５】「クロック」には、レポート識別子ＲＰＴ
ＩＤとして００００が付され、変数識別子ＶＩＤとして
００００が付されている。「状態遷移」には、レポート
識別子ＲＰＴＩＤとして１００１が付され、変数識別子
ＶＩＤとして００００および１０１０が付与されてい
る。「材料情報」には、レポート識別子ＲＰＴＩＤとし
て０１００が付され、変数識別子ＶＩＤとして２４０
０、２４０９および２５０７が付されている。

【００１６】変数リストＶＬＯには、変数識別子ＶＩＤ
および変数名が格納される。変数の種類としては、例え
ば「クロック」、「制御状態」、「ポートＩＤ」、「ロ
ットＩＤ」および「ウエハ情報」がある。「クロック」
は現在の時刻を表す変数であり、「制御状態」はホスト
コンピュータからの制御であるかオペレータによる単体
制御であるかを表す変数である。「ポートＩＤ」はポー
トを識別するための変数である。「ロットＩＤ」は基板
を収納するカセットの処理単位を識別するための変数で
ある。「ウエハ情報」はカセット内での基板の収納位置
および収納枚数を表す変数である。

【００１７】「クロック」には、変数識別子ＶＩＤとし
て００００が付され、「制御状態」には、変数識別子Ｖ
ＩＤとして１０１０が付されている。また、「ポートＩ
Ｄ」には、変数識別子ＶＩＤとして２４００が付され、
「ロットＩＤ」には、変数識別子ＶＩＤとして２４０９
が付されている。さらに、「ウエハ情報」には、変数識
別子ＶＩＤとして２５０７が付されている。

【００１８】レポート識別子ＲＰＴＩＤおよび変数識別
子ＶＩＤが、イベントリストＥＬのイベント名、レポー
トリストＲＬのレポート名および変数リストＶＬＯの変
数名を関連付けるポインタとなる。

【００１９】例えば、図９の通信制御モジュール５１０
は、装置制御モジュール５２０からイベント識別子ＣＥ
ＩＤとして１００１および変数の値を受け取ると、その
イベント識別子ＣＥＩＤに基づいてイベントリストＥＬ
をサーチし、変数名として「状態遷移」を検出し、レポ
ート識別子ＲＰＴＩＤとして１００１を検出する。次
に、レポート識別子ＲＰＴＩＤに基づいてレポートリス
トＲＬをサーチし、レポート名として「状態遷移」を検
出し、変数識別子ＶＩＤとして００００および１０１０
を検出する。次に、変数識別子ＶＩＤに基づいて変数リ
ストＶＬＯをサーチし、変数名として「クロック」およ
び「制御状態」を検出する。

【００２０】このようにして、イベント名「状態遷移」
に対して変数名「クロック」および「制御状態」が関連
付けられる。そこで、通信制御モジュール５１０は、イ
ベント「状態遷移」に変数の現在値として現在の時刻お
よび現在の制御状態の値を設定し、メッセージとしてホ
ストコンピュータに送信する。

【００２１】また、装置制御モジュール５２０は、イベ
ント「状態遷移」および変数の現在値をユーザインタフ
ェース５３０を介してメインパネルに表示させる。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】上記のメインコントロ
ーラ５０においては、ホストコンピュータからの要求に
従って、図１０のイベントリストＥＬ、レポートリスト
ＲＬおよび変数リストＶＬＯを関連付けるレポート識別
子ＲＰＴＩＤおよび変数識別子ＶＩＤを変更する機能を
備える。それにより、各イベントに付加して送信する変
数の種類を更新することができる。

【００２３】しかしながら、上記の従来の動的イベント
レポート機能の実現方法では、通信制御モジュール５１
０からホストコンピュータに送信すべき変数の種類を追
加したり、変数の内容を変更する場合、装置制御モジュ
ール５２０から通信制御モジュール５１０にイベントと
ともに転送する変数自体も変更する必要がある。そのた
め、通信制御モジュール５１０と装置制御モジュール５
２０との間の通信フォーマットを変更する必要が生じ
る。また、ユーザインターフェース５３０を介してメイ
ンパネルに表示する表示内容も変更する必要があるた
め、ユーザインターフェース５３０のデータ取得方法も
変更する必要が生じる。これらの結果、ホストコンピュ
ータに送信する変数の変更を容易に行うことができな
い。

【００２４】本発明の目的は、ホストコンピュータとの
通信において変数の変更を容易に行うことができる通信
機能を備えた基板処理装置を提供することである。

【００２５】本発明の他の目的は、基板処理装置におい
てホストコンピュータに送信する変数の変更を容易に行
うことができる通信制御プログラムを記録した記録媒体
を提供することである。

【００２６】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板処理装置は、ホストコンピュータとの間
で通信を行う機能を有する基板処理装置であって、基板
に所定の処理を行う基板処理部と、記憶手段と、ホスト
コンピュータとの通信を制御する第１の制御手段と、基
板処理部の処理に基づく情報およびその情報に関連する
変数の値のうち情報を第１の制御手段に与えるとともに
変数の値を記憶手段にデータベースとして記憶させる第
２の制御手段とを備え、第１の制御手段は、情報と変数
との対応関係を保有するとともに、第２の制御手段から
与えられた情報に対応する変数の値を対応関係に基づい
て記憶手段のデータベースから取得し、第２の制御手段
から与えられた情報およびデータベースから取得した変
数の値をホストコンピュータに送信するものである。

【００２７】本発明に係る基板処理装置においては、基
板処理部により基板に所定の処理が行われるとともに、
基板処理部の処理に基づく情報およびその情報に関連す
る変数の値が第２の制御手段に与えられる。第２の制御
手段により情報および変数の値のうち情報が第１の制御
手段に与えられるとともに変数の値が記憶手段にデータ
ベースとして記憶される。

【００２８】そして、第１の制御手段により情報と変数
との対応関係が保有されるとともに、その対応関係に基
づいて、第２の制御手段から与えられた情報に対応する
変数の値が記憶手段のデータベースから取得され、第２
の制御手段から与えられた情報およびデータベースから
取得された変数の値がホストコンピュータに送信され
る。

【００２９】このように、基板処理部の処理に基づく情
報に関連する変数の値がデータベースとして記憶される
ので、第１の制御手段により保有される情報と変数との
対応関係の追加または変更を行うことにより、第１の制
御手段と第２の制御手段との間での情報および変数の値
の転送方法を変更することなく、情報とともにホストコ
ンピュータに送信する変数の種類の追加および変数の内
容の変更を容易に行うことができる。

【００３０】第２の発明に係る基板処理装置は、第１の
発明に係る基板処理装置の構成において、第２の制御手
段は、記憶手段にデータベースとして記憶された変数の
値を検索するための識別子を情報とともに第１の制御手
段に与えるものである。

【００３１】この場合、第１の制御手段は、第２の制御
手段から与えられた識別子に基づいて第２の制御手段か
ら与えられた情報に対応する変数の値を記憶手段のデー
タベースから容易に取得することが可能となる。

【００３２】第３の発明に係る基板処理装置は、第１ま
たは第２の発明に係る基板処理装置の構成において、対
応関係は、各変数ごとに定義されかつ第２の制御手段か
ら与えられた識別子を用いてデータベースから該当する
変数の値を取得するための取得処理を含むものである。

【００３３】この場合、第１の制御手段は、第２の制御
手段から与えられた情報に基づいて対応関係から取得処
理を選択し、第２の制御手段から与えられた識別子およ
び選択された取得処理を用いて情報に対応する変数の値
をデータベースから容易に取得することが可能となる。

【００３４】また、対応関係の取得処理を追加または変
更することにより、ホストコンピュータに送信する変数
の種類の追加または変数の内容の変更を容易に行うこと
ができる。

【００３５】第４の発明に係る基板処理装置は、第１〜
第３のいずれかの発明に係る基板処理装置の構成におい
て、表示手段と、第２の制御手段から情報を受け、情報
と変数との対応関係に基づいて情報に対応する変数の値
を記憶手段のデータベースから取得し、第２の制御手段
から受けた情報およびデータベースから取得した変数の
値を表示手段に表示させる表示用インタフェースとをさ
らに備えたものである。

【００３６】この場合、第２の制御手段から表示用イン
タフェースに情報が与えられると、与えられた情報に対
応する変数の値が記憶手段のデータベースから取得さ
れ、第２の制御手段から与えられた情報およびデータベ
ースから取得された変数の値が表示手段に表示される。

【００３７】このように、情報に対応する変数の値がデ
ータベースから取得されて表示されるので、情報ととも
にホストコンピュータに送信される変数の種類の追加お
よび変数の内容の変更を行った場合でも、第２の制御手
段と表示用インタフェースとの間の情報および変数の値
の転送方法を変更する必要がない。

【００３８】第５の発明に係る通信制御プログラムを記
録した記録媒体は、基板処理部、第１の制御手段および
第２の制御手段および記憶手段を備えた基板処理装置に
おいてホストコンピュータとの間での通信を制御する通
信制御プログラムを記録した記録媒体であって、通信制
御プログラムは、基板処理部の処理に基づく情報および
その情報に関連する変数の値のうち情報を第１の制御手
段に与える処理と、変数の値を記憶手段にデータベース
として記憶させる処理とを第２の制御手段に実行させる
とともに、情報と変数との対応関係を保有するととも
に、第２の制御手段から与えられた情報に対応する変数
の値を対応関係に基づいて記憶手段のデータベースから
取得する処理と、第２の制御手段から与えられた情報お
よびデータベースから取得した変数の値をホストコンピ
ュータに送信する処理とを第１の制御手段に実行させる
ものである。

【００３９】本発明に係る通信制御プログラムを記録し
た記録媒体によれば、基板処理装置の基板処理部の処理
に基づく情報およびその情報に関連する変数の値が第２
の制御手段に与えられた場合に、第２の制御手段により
情報および変数の値のうち情報が第１の制御手段に与え
られ、変数の値が記憶手段にデータベースとして記憶さ
れる。

【００４０】そして、第１の制御手段により情報と変数
との対応関係が保有されるとともに、その対応関係に基
づいて、第２の制御手段から与えられた情報に対応する
変数の値が記憶手段のデータベースから取得され、第２
の記憶手段から与えられた情報およびデータベースから
取得された変数の値がホストコンピュータに送信され
る。

【００４１】このように、基板処理部の処理に基づく情
報に関連する変数の値がデータベースとして記憶される
ので、第１の制御手段により保有される情報と変数との
対応関係の追加または変更を行うことにより、第１の制
御手段と第２の制御手段との間での情報および変数の値
の転送方法を変更することなく、情報とともにホストコ
ンピュータに送信する変数の種類の追加および変数の内
容の変更を容易に行うことができる。

【００４２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例における
基板処理装置の構成を示すブロック図、図２は図１の基
板処理装置の正面図、図３は図１の基板処理装置の制御
系の構成を示すブロック図である。

【００４３】図１の基板処理装置１において、搬送ユニ
ット１２の周囲を取り囲むように、複数の回転処理ユニ
ット１４が配置されている。図２に示すように、複数の
回転処理ユニット１４の下部には薬液温調ユニット１３
が配置され、複数の回転処理ユニット１４の上部には複
数のベークユニット１５が複数段に配置されている。ま
た、複数の回転処理ユニット１４の一端部側にはインデ
クサユニット（基板搬入搬出装置）１１が配置されてい
る。インデクサユニット１１の側面にはメインパネル４
０が設けられている。

【００４４】搬送ユニット１２は、基板Ｗを保持する基
板保持部１２１を有し、鉛直軸方向に移動可能かつθ軸
方向（鉛直軸を中心とする回転方向）に回転可能に設け
られている。基板保持部１２１は、Ｘ軸方向（水平面内
で前進および後退する方向）に移動可能に設けられてい
る。

【００４５】回転処理ユニット１４は、基板を回転させ
ながら基板に所定の処理を行う。この回転処理ユニット
１４としては、基板上にフォトレジスト液等の処理液を
塗布する回転式塗布ユニット、基板に現像処理を行う回
転式現像ユニット、基板を洗浄する回転式洗浄ユニット
等がある。ベークユニット１５は、基板に加熱、冷却等
の温度処理を行う。このベークユニット１５としては、
基板を加熱する加熱ユニット（ホットプレート）、基板
を冷却する冷却ユニット（クーリングプレート）等があ
る。薬液温調ユニット１３は、回転処理ユニット１４で
用いられる薬液（処理液）の温度調整を行う。

【００４６】インデクサユニット１１は、カセット載置
台１１０および移載ロボット１１２を備える。カセット
載置台１１０には複数のカセット１１１が載置される。
カセット載置台１１０の各カセット載置位置をポートと
呼ぶ。本実施例では、インデクサユニット１１が４つの
ポートを有する。カセット載置台１１０にカセット１１
１が載置されると、基板検出装置（図示せず）がカセッ
ト１１１内に収納される基板Ｗの収納位置および収納枚
数を検出し、ウエハ情報として記憶する。移載ロボット
１１２は、矢印Ｕの方向に移動し、ウエハ情報に基づい
てカセット１１１から基板Ｗを取り出して搬送ユニット
１２に渡し、逆に一連の処理が施された基板Ｗを搬送ユ
ニット１２から受け取ってカセット１１１に戻す。

【００４７】搬送ユニット１２は、インデクサユニット
１１の移載ロボット１１２との間で基板Ｗの受け渡しを
行い、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５
への基板の搬入および搬出を行う。

【００４８】図３に示すように、本実施例の基板処理装
置１の制御系は、メインコントローラ２０、インデクサ
ユニット用のスレーブコントローラ２１、搬送ユニット
用のスレーブコントローラ２２、薬液温調ユニット用の
スレーブコントローラ２３、回転処理ユニット用のスレ
ーブコントローラ２４およびベークユニット用のスレー
ブコントローラ２５を含む。

【００４９】複数のスレーブコントローラ２１〜２５
は、通信ライン２００を介してメインコントローラ２０
に接続され、メインコントローラ２０は通信ライン２０
１を介してホストコンピュータ３０に接続されている。
また、メインコントローラ２０には、各種指令および各
種データの入力および表示を行うためのメインパネル４
０が接続されている。

【００５０】各スレーブコントローラ２１〜２５は、そ
れぞれの制御プログラムに従って動作し、メインコント
ローラ２０からの指令に従って各ユニット１１〜１５の
動作を制御する。

【００５１】図４は図３の基板処理装置１のメインコン
トローラ２０の構成を示すブロック図である。

【００５２】図４に示すように、メインコントローラ２
０は、通信制御モジュール２１０、装置制御モジュール
２２０、データベース管理ソフトウェア２３０、データ
ベース２４０およびユーザインタフェース２６０を含
む。データベース２４０は例えばリレーショナルデータ
ベースである。ユーザインタフェース２６０は、図２の
メインパネル４０に接続されている。

【００５３】通信制御モジュール２１０は、ＣＰＵ（中
央演算処理装置）、およびメモリ等の一次記憶装置を含
み、通信ライン２０１を介してホストコンピュータ３０
に接続される。また、装置制御モジュール２２０は、Ｃ
ＰＵ、およびメモリ等の一次記憶装置を含み、通信ライ
ン２００を介して複数のスレーブコントローラ２１〜２
５に接続される。データベース管理ソフトウェア２３０
およびデータベース２４０はハードディスク装置等の二
次記憶装置２５０に格納される。

【００５４】装置制御モジュール２２０は、通信制御プ
ログラムに従って動作し、通信制御モジュール２１０か
ら転送される各種指令および各種データに基づいて複数
のユニット１１〜１５を協調動作させるために複数のス
レーブコントローラ２１〜２５を統括制御する。また、
この装置制御モジュール２２０は、各スレーブコントロ
ーラ２１〜２５から与えられる状態報告（以下、イベン
トと呼ぶ）を通信制御モジュール２１０に転送するとと
もに、そのイベントに関連する変数の値（パラメータ）
を後述するようにデータベース管理ソフトウェア２３０
を介してデータベース２４０に格納する。

【００５５】通信制御モジュール２１０は、通信制御プ
ログラムに従って動作し、ホストコンピュータ３０から
の各種指令および各種データを受信して装置制御モジュ
ール２２０に転送するとともに、装置制御モジュール２
２０からイベントを受信したときにそのイベントに対応
する変数の値をデータベース管理ソフトウェア２３０を
介してデータベース２４０から取得し、イベントに取得
した変数の値を付加してメッセージとしてホストコンピ
ュータ３０に送信する。この通信制御モジュール２１０
は、動的イベントレポート機能を実現するために、後述
するイベントリスト、レポートリストおよび変数リスト
を内部に保持している。

【００５６】通信制御プログラムは、二次記憶装置２５
０に保存され、通信制御モジュール２１０および装置制
御モジュール２２０の一次記憶装置に呼び出されて実行
される。

【００５７】図５は図４のデータベース２４０の構造の
一例を示す図である。データベース２４０は１組の装置
情報ＵＩおよび複数組のポート情報ＰＩにより構成され
る。１組の装置情報ＵＩおよび各組のポート情報ＰＩが
データベース２４０のレコードをそれぞれ構成する。本
実施例では、１組の装置情報ＵＩに対してｎ個のポート
情報ＰＩが準備されている。ｎは任意の整数である。

【００５８】装置情報ＵＩには、変数の値として「クロ
ック」、「装置状態」および「制御状態」が含まれる。
また、各ポート情報ＰＩには、変数の値として「ポート
番号」、「ポートＩＤ」、「ロットＩＤ」、「カセット
ＩＤ」および「ウエハ情報」が含まれる。

【００５９】ここで、「クロック」は現在の時刻を表す
変数、「装置状態」は基板処理装置が動作中か否かを表
す変数、「制御状態」はホストコンピュータからの制御
であるかオペレータによる単体制御であるかを表す変数
である。「ポート番号」はメインコントローラ２０が内
部的にポートを識別するための変数である。「ポートＩ
Ｄ」はユーザがポートを識別するための変数である。
「ロットＩＤ」はカセット１１１の処理単位を表す変数
である。「カセットＩＤ」は複数のカセット１１１に１
つのロットＩＤを割り付けた場合に各カセット１１１を
識別するための変数である。「ウエハ情報」はカセット
１１１内での基板Ｗの収納位置および収納枚数を表す変
数である。

【００６０】本実施例では、ユニット１１〜１５および
スレーブコントローラ２１〜２５が基板処理部を構成
し、二次記憶装置２５０が記憶手段に相当し、通信制御
モジュール２１０が第１の制御手段に相当し、装置制御
モジュール２２０が第２の制御手段に相当する。また、
メインパネル４０が表示手段に相当し、ユーザインタフ
ェース２６０が表示用インタフェースに相当する。

【００６１】図６〜図８は図４の通信制御モジュール２
１０による動的イベントレポート機能の実現方法を示す
図である。

【００６２】通信制御モジュール２１０は、図６に示す
イベントリストＥＬ、レポートリストＲＬおよび変数リ
ストＶＬを保有する。

【００６３】イベントリストＥＬおよびレポートリスト
ＲＬの構成は、図１０のイベントリストＥＬおよびレポ
ートリストＲＬの構成と同様である。すなわち、イベン
トリストＥＬには、イベント識別子ＣＥＩＤ、イベント
名およびレポート識別子ＲＰＴＩＤが格納される。イベ
ントの種類としては、例えば「状態遷移」および「搬入
完了」がある。「状態遷移」には、イベント識別子ＣＥ
ＩＤとして１００１が付され、レポート識別子ＲＰＴＩ
Ｄとして１００１が付されている。また、「搬入完了」
には、イベント識別子ＣＥＩＤとして４００３が付さ
れ、レポート識別子ＲＰＴＩＤとして００００および０
１００が付されている。

【００６４】レポートリストＲＬには、レポート識別子
ＲＰＴＩＤ、レポート名および変数識別子ＶＩＤが格納
される。レポートの種類としては、例えば「クロッ
ク」、「状態遷移」および「材料情報」がある。「クロ
ック」には、レポート識別子ＲＰＴＩＤとして００００
が付され、変数識別子ＶＩＤとして００００が付されて
いる。「状態遷移」には、レポート識別子ＲＰＴＩＤと
して１００１が付され、変数識別子ＶＩＤとして０００
０および１０１０が付されている。「材料情報」には、
レポート識別子ＲＰＴＩＤとして０１００が付され、変
数識別子ＶＩＤとして２４００、２４０９および２５０
７が付されている。

【００６５】変数リストＶＬには、変数識別子ＶＩＤ、
変数名および取得処理（読み込み関数）が格納される。
ここで、変数は、装置定数、状態変数および離散型デー
タを含む。変数の種類としては、例えば「クロック」、
「制御状態」、「ポートＩＤ」、「ロットＩＤ」および
「ウエハ情報」がある。取得処理は、データベース２４
０を検索するための関数である。

【００６６】「クロック」には、変数識別子ＶＩＤとし
て００００が付され、取得処理として「Get ＿Clock
( )」が定義されている。「制御状態」には、変数識別
子ＶＩＤとして１０１０が付され、取得処理として「Ge
t ＿Controlstate( ) 」が定義されている。「ポートＩ
Ｄ」には、変数識別子ＶＩＤとして２４００が付され、
取得処理として「Get ＿PortID( ) 」が定義されてい
る。「ロットＩＤ」には、変数識別子ＶＩＤとして２４
０９が付され、取得処理として「Get ＿LotID( )」が定
義されている。「ウエハ情報」には、変数識別子ＶＩＤ
として２５０７が付され、取得処理として「Get ＿Wafe
rInf( ) 」が定義されている。

【００６７】レポート識別子ＲＰＴＩＤおよび変数識別
子ＶＩＤが、イベントリストＥＬのイベント名、レポー
トリストＲＬのレポート名、変数リストＶＬの変数名お
よび取得処理を関連付けるポインタとなる。

【００６８】図１の基板処理装置のポートにカセット１
１１が搬入され、メインパネル４０からロットＩＤが入
力されると、インデクサユニット１１の基板検出装置
（図示せず）が搬入されたカセット１１１内の基板Ｗの
収納位置および収納枚数を検出するウエハマッピングを
行う。

【００６９】例えばカセット１１１が２５段のスロット
を有する場合、カセット１１１内の第１段目のスロット
から第２５段目のスロットまで順に基板Ｗの有無を示す
ウエハ情報がスレーブコントローラ２１から装置制御モ
ジュール２２０に与えられるとともに、イベント「搬入
完了」が発生する。この「搬入完了」には、変数の値と
してポート番号、ポートＩＤおよびウエハ情報の値が付
随する。また、装置制御モジュール２２０は、メインパ
ネル４０からユーザインターフェース２６０を介して入
力されたロットＩＤを読み込む。

【００７０】そして、装置制御モジュール２２０は、ポ
ート番号をキー項目としてデータベース２４０内の該当
するポート情報ＰＩを検索し、そのポート情報ＰＩの
「ポートＩＤ」、「ロットＩＤ」および「ウエハ情報」
に変数の値を書き込み、通信制御モジュール２１０およ
びユーザインターフェース２６０にイベント「搬送完
了」を転送する。このとき、通信制御モジュール２１０
には、「搬入完了」を示すイベント識別子ＣＥＩＤにポ
ート番号のみが付随して転送される。

【００７１】通信制御モジュール２１０は、装置制御モ
ジュール２２０からイベント識別子ＣＥＩＤとして４０
０３およびポート番号を受け取ると、そのイベント識別
子ＣＥＩＤに基づいてイベントリストＥＬをサーチし、
イベント名として「搬入完了」を検出し、レポート識別
子ＲＰＴＩＤとして００００および０１００を検出す
る。次に、レポート識別子ＲＰＴＩＤに基づいてレポー
トリストＲＬをサーチし、レポート名として「クロッ
ク」を検出し、変数識別子ＶＩＤとして００００を検出
し、さらにレポート名として「材料情報」を検出し、変
数識別子ＶＩＤとして２４００、２４０９および２５０
７を検出する。次に、変数識別子ＶＩＤに基づいて変数
リストＶＬをサーチし、変数名として「クロック」、
「ポートＩＤ」、「ロットＩＤ」および「ウエハ情報」
を検出するとともに取得処理として「Get ＿Clock
( )」、「Get ＿PortID( ) 」、「Get ＿LotID( )」お
よび「Get ＿WaferInf( ) 」を検出する。

【００７２】このようにして、イベント名「搬送完了」
に対して変数名「クロック」、「ポートＩＤ」、「ロッ
トＩＤ」および「ウエハ情報」が関連付けられるととも
に、各変数名に対応する取得処理が選択される。

【００７３】通信制御モジュール２１０は、イベントに
付随するポート番号を引数として選択された取得処理を
実行する。各取得処理では、データベース２４０の装置
情報ＵＩの「クロック」の値を読み出すとともに、ポー
ト番号に基づいて該当するポート情報ＰＩの「ポートＩ
Ｄ」、「ロットＩＤ」および「ウエハ情報」の値をそれ
ぞれ読み出す。

【００７４】その後、通信制御モジュール２１０は、イ
ベント「搬入完了」に変数の現在値として読み出した
「クロック」、「ポートＩＤ」、「ロットＩＤ」および
「ウエハ情報」の値を設定し、メッセージとしてホスト
コンピュータ３０に送信する。

【００７５】ユーザインタフェース２６０も、通信制御
モジュール２１０と同様のイベントリストＥＬ、レポー
トリストＲＬおよび変数リストＶＬを保有している。ユ
ーザインターフェース２６０は、装置制御モジュール２
２０からイベント識別子ＣＥＩＤとして４００３を受け
取ると、通信制御モジュール２１０と同様にイベント識
別子ＣＥＩＤに基づいてイベントリストＥＬ、レポート
リストＲＬおよび変数リストＶＬをサーチし、変数名お
よび取得処理を検出し、検出した取得処理を実行するこ
とによりデータベース２４０から該当する変数の値を読
み出し、イベント名および変数の現在値をメインパネル
４０に表示させる。

【００７６】なお、ユーザインタフェース２６０は、通
信制御モジュール２１０が保有するイベントリストＥ
Ｌ、リポートリストＲＬおよび変数リストＶＬを利用し
てもよい。

【００７７】通信制御モジュール２１０とホストコンピ
ュータ３０との間の通信において例えば変数として「カ
セットＩＤ」を追加する必要が生じた場合には、レポー
トリストＲＬおよび変数リストＶＬに変数識別子ＶＩＤ
を追加するとともに、変数リストＶＬに変数名および取
得処理を追加する。

【００７８】図７の例では、レポートリストＲＬのレポ
ート名「材料情報」に変数識別子ＶＩＤとして２４０８
を追加し、変数リストＶＬに変数識別子ＶＩＤとして２
４０８を追加するとともに、変数名として「カセットＩ
Ｄ」を追加し、さらに取得処理として「Get ＿CassetID
( )」を追加する。

【００７９】この場合、装置制御モジュール２２０から
通信制御モジュール２１０およびユーザインタフェース
２６０に対するイベントの転送のフォーマットを変更す
る必要はない。

【００８０】また、通信制御モジュール２１０とホスト
コンピュータ３０との間の通信において例えば「ウエハ
情報」の内容を変更する必要が生じた場合には、変数リ
ストＶＬの取得処理「Get ＿WaferInf」の内容を変更す
るか、または変数リストＶＬの取得処理「Get ＿WaferI
nf」を別の取得処理と差し替える。

【００８１】図８の例では、レポートリストＲＬの変数
識別子ＶＩＤの２５０７を２５０８に変更し、変数リス
トＶＬの変数識別子ＶＩＤの２５０７を２５０８に変更
するとともに、取得処理「Get ＿WaferInf( ) 」を取得
処理「Get ＿WaferOpt( ) 」に差し替えている。ここ
で、取得処理「Get ＿WaferInf( ) 」は、カセット１１
１内の第１段目のスロットから第２５段目のスロットま
で順に基板Ｗの有無を示すウエハ情報を変数の値として
取得する処理であり、取得処理「Get ＿WaferOpt( ) 」
はカセット１１１内の第２５段目のスロットから第１段
目のスロットまで順に基板Ｗの有無を示すウエハ情報を
変数の値として取得する処理である。

【００８２】この場合にも、装置制御モジュール２２０
から通信制御モジュール２１０およびユーザインタフェ
ース２６０に対するイベントの転送のフォーマットを変
更する必要はない。

【００８３】なお、ホストコンピュータ３０へのイベン
トの送信およびメインパネル４０でのイベントの表示に
限らず、ホストコンピュータ３０からの指令またはメイ
ンパネル４０の操作により装置定数を更新する際にも、
変数リストＶＬに更新処理を定義し、引数として更新値
を設定することにより、装置制御モジュール２２０と通
信制御モジュール２１０およびユーザインタフェース２
６０との間の転送のフォーマットを変更することなく、
装置定数を更新することができる。

【００８４】本実施例の基板処理装置においては、通信
制御モジュール２１０からホストコンピュータ３０へ送
信される変数の種類の追加および変数の内容の変更を装
置制御モジュール２２０と通信制御モジュール２１０と
の間の転送方法に影響を与えることなく容易に行うこと
ができる。

【００８５】また、通信制御モジュール２１０からホス
トコンピュータ３０に送信される変数の種類の追加およ
び変数の内容の変更を行った場合でも、装置制御モジュ
ール２２０とユーザインタフェース２６０との間の転送
方法を変更する必要がない。

【００８６】したがって、ＧＥＭ規格で規定される動的
イベントレポート機能が有するカスタマイズ効果に加え
て、さらに細部にわたってメインコントローラ２０の通
信機能に柔軟性を付与することが可能となる。

【００８７】上記実施例では、通信制御プログラムが記
録される記録媒体としてハードディスク装置等の二次記
憶装置２５０が用いられているが、通信制御プログラム
をフロッピィディスク、ＣＤＲＯＭ、光ディスク、半導
体メモリ等の他の記録媒体に記録してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における基板処理装置の平面
図である。

【図２】図１の基板処理装置の正面図である。

【図３】図１の基板処理装置の制御系の構成を示すブロ
ック図である。

【図４】図３の基板処理装置のメインコントローラの構
成を示すブロック図である。

【図５】図４のデータベースの構造の一例を示す図であ
る。

【図６】図４の通信制御モジュールによる動的イベント
レポート機能の実現方法を示す図である。

【図７】図４の通信制御モジュールによる動的イベント
レポート機能の実現方法を示す図である。

【図８】図４の通信制御モジュールによる動的イベント
レポート機能の実現方法を示す図である。

【図９】従来のメインコントローラの構成の一例を示す
図である。

【図１０】従来の動的イベントレポート機能を実現する
ための方法を示す図である。

【符号の説明】 １ 基板処理装置 １１ インデクサユニット １２ 搬送ユニット １３ 薬液温調ユニット １４ 回転処理ユニット １５ ベークユニット ２０ メインコントローラ ２１〜２５ スレーブコントローラ ３０ ホストコンピュータ ４０ メインパネル １１０ カセット載置台 １１１ カセット ２００，２０１ 通信ライン ２１０ 通信制御モジュール ２２０ 装置制御モジュール ２３０ データベース管理ソフトウェア ２４０ データベース ２５０ 二次記憶装置 ２６０ ユーザインタフェース ＵＩ 装置情報 ＰＩ ポート情報

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 秀和 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 吉田 多久司 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 5F031 CA02 CA05 CA07 GA47 GA48 PA04

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ホストコンピュータとの間で通信を行う
   機能を有する基板処理装置であって、 基板に所定の処理を行う基板処理部と、 記憶手段と、 前記ホストコンピュータとの通信を制御する第１の制御
   手段と、 前記基板処理部の処理に基づく情報およびその情報に関
   連する変数の値のうち前記情報を前記第１の制御手段に
   与えるとともに前記変数の値を前記記憶手段にデータベ
   ースとして記憶させる第２の制御手段とを備え、 前記第１の制御手段は、情報と変数との対応関係を保有
   するとともに、前記第２の制御手段から与えられた情報
   に対応する変数の値を前記対応関係に基づいて前記記憶
   手段の前記データベースから取得し、前記第２の制御手
   段から与えられた情報および前記データベースから取得
   した変数の値を前記ホストコンピュータに送信すること
   を特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】 前記第２の制御手段は、前記データベー
   スに記憶された変数の値を検索するための識別子を前記
   情報とともに前記第１の制御手段に与えることを特徴と
   する請求項１記載の基板処理装置。
3. 【請求項３】 前記対応関係は、各変数ごとに定義され
   かつ前記第２の制御手段から与えられた識別子を用いて
   前記データベースから該当する変数の値を取得するため
   の取得処理を含むことを特徴とする請求項１または２記
   載の基板処理装置。
4. 【請求項４】 表示手段と、 前記第２の制御手段から前記情報を受け、情報と変数と
   の前記対応関係に基づいて前記情報に対応する変数の値
   を前記記憶手段の前記データベースから取得し、前記第
   ２の制御手段から受けた情報および前記データベースか
   ら取得した変数の値を前記表示手段に表示させる表示用
   インタフェースとをさらに備えたことを特徴とする請求
   項１〜３のいずれかに記載の基板処理装置。
5. 【請求項５】 基板処理部、第１の制御手段、第２の制
   御手段および記憶手段を備えた基板処理装置においてホ
   ストコンピュータとの間での通信を制御する通信制御プ
   ログラムを記録した記録媒体であって、 前記通信制御プログラムは前記基板処理部の処理に基づ
   く情報およびその情報に関連する変数の値のうち前記情
   報を前記第１の制御手段に与える処理と、 前記変数の値を前記記憶手段にデータベースとして記憶
   させる処理とを前記第２の制御手段に実行させ、 情報と変数との対応関係を保有するとともに、前記第２
   の制御手段から与えられた情報に対応する変数の値を前
   記対応関係に基づいて前記記憶手段の前記データベース
   から取得する処理と、 前記第２の制御手段から与えられた情報および前記デー
   タベースから取得した変数の値を前記ホストコンピュー
   タに送信する処理とを前記第１の制御手段に実行させる
   ことを特徴とする通信制御プログラムを記録した記録媒
   体。