JP2009141289A

JP2009141289A - ユーザカスタム定義データの送信方式および送信方法

Info

Publication number: JP2009141289A
Application number: JP2007319040A
Authority: JP
Inventors: Takao Hagiwara; 隆生萩原
Original assignee: Meidensha Corp; Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Meidensha Corp; Meidensha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2007-12-11
Filing date: 2007-12-11
Publication date: 2009-06-25
Anticipated expiration: 2027-12-11
Also published as: JP5326268B2

Abstract

【課題】ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、かつシステム予約データへの影響を無くす。
【解決手段】現場側装置では、システム予約データの送信処理Ｓ１が、事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成とするシステム予約データを通信メッセージ編集機能を使用してメッセージを作成する。
ユーザカスタム定義データに対するアイテム名は、システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義し、通信メッセージ編集にはユーザカスタム定義データのアイテム名とシステム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、現場側装置からホストコンピュータにデータ送信するシステムにおけるユーザカスタム定義データの送信方式および送信方法に関する。

半導体製造装置における炉内温度や不純物ガス濃度を管理した装置運転など、各種システムの現場側機器／装置の運転や制御には、現場側で各種のデータを収集・管理し、これらデータを基にした運転・制御がなされ、さらには研究・開発データとして利用される（例えば、特許文献１参照）。

例えば、半導体製造装置において発生した事象をホストコンピュータに通知すること（イベントレポート）を目的に、半導体製造装置から予め規格化されたフォーマットを使用してホストコンピュータにストリーム通信を行っている。

このイベントレポートのフォーマットを構成する要素には３種類があり、これら要素は、図３に定義例を示すように、事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）から構成されている。ＲＰＴＩＤは１つ以上のＶＩＤから構成され、ＣＥＩＤは１つ以上のＲＰＴＩＤから構成される。

上記のイベントレポートは、システム予約データとしてカスタマイズされており（規格上で必須として予め規定されており）、これとは別のデフォルトデータとしてのユーザカスタム定義データをホストコンピュータに送信するには新たに定義した別のフォーマット（ただし、イベントレポートのフォーマットに類似させたフォーマット）でデータを送信している。

図４はイベントレポート（システム予約データ）とユーザカスタム定義データの送信処理を示す。イベントレポートの送信処理（Ｓ１）は、ホスト通信パッケージコア機能が管理するシステム予約のデータアイテム領域にデータを生成し、この領域のデータをホストコンピュータに送信する場合にはホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域に前記のフォーマット要素を使ったメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。

ユーザカスタム定義データの送信処理（Ｓ２）は、ユーザカスタム定義のデータアイテム領域にユーザカスタム定義データを作成し、この領域のデータをホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域に前記のフォーマット要素を使ったカスタムメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。
特開平１０−２５６１０９号公報

ユーザが新たなイベントレポートを追加するために、例えば半導体製造システムにおいて、処理する材料を識別するＩＤ（ウエハＩＤ）をレポート対象にしようとしても、「ウエハＩＤ」を意味するＶＩＤがデフォルトデータとしてすでに定義されている場合には、ユーザが追加するイベントレポートではＶＩＤ「ウエハＩＤ」を使用できない。

例えば、図５に手順例を示すように、「ウエハＩＤ」の実体であるアイテム値をホスト通信パッケージは参照・更新しており、ユーザによる追加イベントレポートによって参照・更新されることは、このアイテム値を使用した既存のロジックの処理結果に障害が発生するなどのおそれがある。

このように、ユーザはイベントレポートを追加する際に、例え同じ内容を意味するＶＩＤであっても、既存のものを流用することはできないため、ＶＩＤから別途に追加定義するという作業が必要になる。一方、最終ユーザである半導体デバイスメーカ側の要求仕様によっては、別々のＶＩＤであることが認められないこともある。

本発明の目的は、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、かつシステム予約データへの影響を無くしたユーザカスタム定義データの送信方式および送信方法を提供することにある。

本発明は、前記の課題を解決するため、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタム定義メッセージ作成で使用するものに分けて定義するようにしたもので、以下の方式および方法を特徴とする。

（１）事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方式において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義する手段と、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成する手段を備えたことを特徴とする。

（２）事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方法において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義するステップを有し、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成するステップを有することを特徴とする。

以上のとおり、本発明によれば、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタム定義メッセージ作成で使用するものに分けて定義するようにしたため、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、かつシステム予約データへの影響を無くしたデータ通信ができる。

具体的には、ユーザがイベントレポートを追加実装する際、既存のＶＩＤを使用できる。

また、ＶＩＤは共通であっても、実体となるアイテムは別であるため、通信パッケージの基本動作には影響しない。

また、ユーザは通信パッケージの処理のタイミング等に無関係に、ＶＩＤを更新し、イベントレポートを行うことが可能となる。

図１は、本発明の実施形態を示すシステム予約データとユーザカスタム定義データの送信処理である。

本実施形態では、図４に示す従来の送信処理と同様に、イベントレポートの送信処理（Ｓ１）では、ホスト通信パッケージコア機能が管理するシステム予約のデータアイテム領域にデータを生成し、この領域のデータをホストコンピュータに送信する場合にはホスト通信パッケージ通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域にメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。

また、ユーザカスタム定義データの送信処理（Ｓ２）には、ユーザカスタム定義のデータアイテム領域にユーザカスタム定義データを作成し、この領域のデータをホスト通信パッケージ通信メッセージ編集機能によってメッセージ領域にカスタムメッセージを作成し、ホストコンピュータにメッセージ送信を行う。

ここで、本実施形態では、ユーザカスタム定義データの作成に際し、ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、システム予約メッセージ作成で使用するものと、ユーザカスタムメッセージ作成で使用するものに分けて定義できるようにすることで、フォーマットを同一（共通化）のもので済むようにする。

例えば、図１中に示すように、システム予約データのアイテム領域に格納するデータ値「Ｎａｍｅ１（＝１０）」と規定されるのに対し、ユーザカスタム定義データのアイテム領域に格納するデータ値「ＵｓｅｒＮａｍｅ（＝２０）」とした分けた定義をする。

これにより、処理Ｓ１でのメッセージ作成処理ではＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）の「ＶＩＤ＝１」には「１０」が設定されるのに対し、処理Ｓ２でのカスタムメッセージ作成処理ではＲＰＴＩＤの「ＶＩＤ＝１」には「２０」が設定される。

したがって、システム予約メッセージデータと同一のフォーマットを使ってユーザカスタム定義データが作成しても、システム予約データへの影響を無くした送信ができる。また、ユーザカスタム定義データ用のフォーマット追加を不要にし、同じホスト通信パッケージの通信メッセージ編集機能を利用したメッセージ作成で済む。

図２はＶＩＤ（変数ＩＤ）の定義例を示し、データ型が異なるＶＩＤ１〜５について、同じＶＩＤでもデータ値格納アイテム名がパッケージ仕様とユーザ仕様で異なるものとして定義する。

本発明の実施形態を示すデータの送信処理手順図。ＶＩＤ（変数ＩＤ）の定義例。フォーマット構成要素の定義例。従来のデータの送信処理手順図。アイテム値の使用例。

符号の説明

Ｓ１システム予約データの送信処理
Ｓ２ユーザカスタム定義データの送信処理

Claims

事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方式において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義する手段と、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成する手段を備えたことを特徴とするユーザカスタム定義データの送信方式。
事象を意味するＣＥＩＤ（収集イベントＩＤ）、個別データを意味ある単位でまとめたＲＰＴＩＤ（レポートＩＤ）、および個別データであるＶＩＤ（変数ＩＤ）の各要素で予め規格化されたフォーマット構成のシステム予約データを現場側装置で作成し、このシステム予約データを通信メッセージ編集手段を使用して作成するメッセージをホストコンピュータに送信する方法において、
前記現場側装置で作成し、前記ホストコンピュータに送信するユーザカスタム定義データに対する前記ＶＩＤ（変数ＩＤ）の実体格納領域であるアイテム名を、前記システム予約メッセージ作成で使用するものと分けて定義するステップを有し、
前記通信メッセージ編集手段は、前記ユーザカスタム定義データのアイテム名と、前記システム予約データのアイテム名を区別してそれぞれメッセージとして作成するステップを有することを特徴とするユーザカスタム定義データの送信方法。