JP4212133B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に一連の処理を行う基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。例えば、半導体デバイスの製造プロセスでは、生産効率を高めるために一連の処理の各々をユニット化し、複数の処理ユニットを統合した基板処理装置が用いられている。
【０００３】
図４は従来の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。基板処理装置１００は、インデクサユニット（基板搬入搬出装置）１１、搬送ユニット１２、薬液温調ユニット１３、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５を備える。
【０００４】
インデクサユニット１１は、搬送ユニット１２への基板の搬入および搬出を行う。搬送ユニット１２は、インデクサユニット１１と回転処理ユニット１４とベークユニット１５との間で基板を搬送する。薬液温調ユニット１３は、回転処理ユニット１４で用いられる薬液（処理液）の温度調整を行う。
【０００５】
回転処理ユニット１４は、基板を回転させながら基板に所定の処理を行う。この回転処理ユニット１４としては、基板上にフォトレジスト液等の処理液を塗布する回転式塗布ユニット、基板に現像処理を行う回転式現像ユニット、基板を洗浄する回転式洗浄ユニット等がある。ベークユニット１５は、基板に加熱、冷却等の温度処理を行う。このベークユニット１５としては、基板を加熱する加熱ユニット（ホットプレート）、基板を冷却する冷却ユニット（クーリングプレート）等がある。
【０００６】
この基板処理装置の制御系は、メインコントローラ６０、インデクサユニット用のスレーブコントローラ６１、搬送ユニット用のスレーブコントローラ６２、薬液温調ユニット用のスレーブコントローラ６３、回転処理ユニット用のスレーブコントローラ６４、ベークユニット用のスレーブコントローラ６５、およびホストコントローラ７０を含む。
【０００７】
複数のスレーブコントローラ６１〜６５は、通信ライン２００によりメインコントローラ６０に接続されている。メインコントローラ６０は、通信ライン２０１によりホストコントローラ７０に接続されている。
【０００８】
スレーブコントローラ６１〜６５は、それぞれオペレーティングシステム（ＯＳ）を記憶する記憶部を内蔵し、各オペレーティングシステム上で実行される制御プログラムに従ってそれぞれインデクサユニット１１、搬送ユニット１２、薬液温調ユニット１３、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５の動作を制御する。この場合、各スレーブコントローラ６１〜６５は、予め記憶されたレシピ（処理手順）に従って各ユニット１１〜１５を制御する。
【０００９】
メインコントローラ６０は、オペレーティングシステムを記憶する記憶部を内蔵し、インデクサユニット１１、搬送ユニット１２、薬液温調ユニット１３、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５を協調動作させるために、オペレーティングシステム上で実行される制御プログラムに従ってスレーブコントローラ６１〜６５を統括制御する。
【００１０】
この場合、メインコントローラ６０は、通信ライン２００を介して各スレーブコントローラ６１〜６５に各種指令を与えるとともに、各スレーブコントローラ６１〜６５から状態報告を受け、複数のユニット１１〜１５の動作タイミングを統括的に管理および制御する。
【００１１】
ホストコントローラ７０は、通常、工場内のホストコンピュータに接続され、ホストコンピュータからの各種指令およびレシピ等のデータを通信ライン２０１を介してメインコントローラ６０に与えるとともに、メインコントローラ６０を介して個々のユニット１１〜１５の状態を管理する。
【００１２】
メインコントローラ６０には、各種指令、データ等の情報の入力および表示を行うためのメインパネル４０が接続されている。また、各スレーブコントローラ６１〜６５には、各種指令、データ等の情報の入力および表示を行うための可搬式パネル５０を接続することができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来の基板処理装置においては、ホストコントローラ７０が各ユニット１１〜１５の状態を管理する際に、各ユニット１１〜１５に対応するスレーブコントローラ６１〜６５からメインコントローラ６０を介して情報を受け取る。
【００１４】
この場合、メインコントローラ６０は個々のスレーブコントローラ６１〜６５を統括制御することに加えて、ホストコントローラ７０と各スレーブコントローラ６１〜６５との間で情報の中継を行う。それにより、メインコントローラ６０の負荷が大きくなるとともに、情報通信の応答性が悪くなる。
【００１５】
本発明の目的は、ホストコントローラ（管理用制御部）と各スレーブコントローラ（処理ユニット）との間での情報通信によるメインコントローラ（主制御部）の負荷の増大が防止され、かつ情報通信の応答性が向上した基板処理装置を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
第１の発明に係る基板処理装置は、ホストコンピュータに接続される基板処理装置であって、基板に関する処理を行う複数の処理ユニットと、複数の処理ユニットの各々に基板を搬送する搬送ユニットと、ホストコンピュータに接続される管理用制御部と、主制御部と、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットにそれぞれ対応して設けられる複数のユニット用制御部とを備え、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部はネットワークにより相互に接続され、管理用制御部が主制御部を介さずにネットワークを介して複数のユニット用制御部とデータを共有することができるように管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部が制御系統における同一階層レベルに属し、管理用制御部は、ホストコンピュータからの指令および処理手順に関するデータを主制御部に与えるとともに、主制御部を介さずに各ユニット用制御部から複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータを取得し、主制御部は、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットを協調動作させるためのプログラムに従って、基板に一連の処理が行われるように管理用制御部から与えられた指令およびデータに基づき指令を各ユニット用制御部に与えるとともに、各ユニット用制御部から複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータを受け、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの動作タイミングを統括的に制御し、複数のユニット用制御部は、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの動作をそれぞれ制御するプログラムに従って、主制御部からの指令により複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの動作をそれぞれ制御するとともに、主制御部に複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータを与えるものである。
【００１７】
本発明に係る基板処理装置においては、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部がネットワークにより相互に接続され、管理用制御部が主制御部を介さずにネットワークを介して複数のユニット用制御部とデータを共有することができるように管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部が制御系統における同一階層レベルに属する。それにより、主制御部が管理用制御部と各ユニット用制御部との間で情報の中継を行う必要がなくなる。
【００１８】
この場合、複数のユニット用制御部により複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの動作がそれぞれ制御され、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットを協調動作させるために主制御部により複数のユニット用制御部が統括制御され、管理用制御部によりホストコンピュータからの指令および処理手順に関するデータが主制御部に与えられるとともに主制御部を介さずに各ユニット用制御部から複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータが取得される。
【００１９】
したがって、主制御部の負荷が軽減されるとともに、管理用制御部と各ユニット用制御部との間での情報通信の応答性が向上する。
【００２０】
第２の発明に係る基板処理装置は、第１の発明に係る基板処理装置の構成において、複数のユニット用制御部は、同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って複数の処理ユニットの動作をそれぞれ制御し、主制御部は、複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って複数のユニット用制御部を統括制御し、管理用制御部は、複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って主制御部に指令および処理手順に関するデータを与えるとともに複数のユニット用制御部から複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータを取得し、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部はローカルエリアネットワークにより相互に接続されたことを特徴する。
【００２１】
この場合、複数のユニット用制御部による制御動作を行うプログラムが同じ種類のオペレーティングシステム上で実行され、主制御部による統括制御動作を行うプログラムが複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステム上で実行され、管理用制御部により主制御部へ指令および処理手順に関するデータを与えるとともに各ユニット用制御部から状態を示すデータを取得するプログラムが複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステム上で実行され、かつ管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部がローカルエリアネットワークにより相互に接続されている。すなわち、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部が同一のプラットホーム上に構成される。したがって、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部がデータを共有することができる。
【００２２】
これにより、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部の間で直接データの送受信を行うことができるので、主制御部と各ユニット用制御部との間および管理用制御部と各ユニット用制御部との間で各種指令やデータの送受信を行うために管理用制御部、主制御部および各ユニット用制御部でプログラムの作成および改良が不要となる。また、通信プロトコルを新たに定めたり、運用規則を作成するために、プログラムを新たに作成する必要もなくなる。その結果、プログラムが単純化する。
【００２３】
また、管理用制御部および主制御部が各ユニット用制御部のデータを直接参照することができるので、特定の処理ユニットの機構部の追加を行った場合でも、管理用制御部および主制御部のプログラムを改良する必要が少なくなる。
【００２４】
さらに、特定の機能を実現する場合には、主制御部および個々のユニット用制御部の両方でプログラムを作成する必要がなく、主制御部または複数のユニット用制御部のいずれかで作成したプログラムを他のユニット用制御部または主制御部で使用することができる。そのため、プログラムの作成工数が削減される。
【００２５】
また、主制御部および個々のユニット用制御部が他のユニット用制御部または主制御部のアプリケーションプログラムを直接実行することができるので、他のユニット用制御部または主制御部のアプリケーションプログラムを使用する場合にアプリケーションプログラムをダウンロードする必要がなくなる。
【００２６】
これらの結果、基板処理装置の制御系における不具合が少なくなるとともに、基板処理装置用のソフトウエアを短い時間および少ない労力で作成および改良することが可能となる。
【００２７】
第３の発明に係る基板処理装置は、第２の発明に係る基板処理装置の構成において、オペレーティングシステムがローカルエリアネットワークに対応する通信機能を有するネットワークオペレーティングシステムであることを特徴とする。
【００２８】
この場合、ローカルエリアネットワークに関する通信用ソフトウェアを作成することなく、ローカルエリアネットワークを介して主制御部と各ユニット用制御部との間および管理用制御部と各ユニット用制御部との間で容易にデータおよびプログラムの送受信を行うことが可能となる。
【００２９】
第４の発明に係る基板処理装置は、第２または第３の発明に係る基板処理装置の構成において、ローカルエリアネットワークがイーサネット（登録商標）規格に従うことを特徴とする。この場合、ローカルエリアネットワークを介して主制御部と複数のユニット用制御部との間および管理用制御部と複数のユニット用制御部との間で高速にデータおよびプログラムの送受信を行うことが可能となる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例における基板処理装置の平面図、図２は図１の基板処理装置の正面図である。また、図３は図１の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【００３１】
図１の基板処理装置１において、搬送ユニット１２の周囲を取り囲むように、複数の回転処理ユニット１４が配置されている。図２に示すように、複数の回転処理ユニット１４の下部には薬液温調ユニット１３が配置され、複数の回転処理ユニット１４の上部には複数のベークユニット１５が複数段に配置されている。また、複数の回転処理ユニット１４の一端部側にはインデクサユニット（基板搬入搬出装置）１１が配置されている。インデクサユニット１１の側面には後述するメインパネル４０が設けられている。
【００３２】
搬送ユニット１２は、基板Ｗを保持する基板保持部１２１を有し、鉛直軸方向に移動可能かつθ軸方向（鉛直軸を中心とする回転方向）に回転可能に設けられている。基板保持部１２１は、Ｘ軸方向（水平面内で前進および後退する方向）に移動可能に設けられている。
【００３３】
回転処理ユニット１４は、基板を回転させながら基板に所定の処理を行う。この回転処理ユニット１４としては、基板上にフォトレジスト液等の処理液を塗布する回転式塗布ユニット、基板に現像処理を行う回転式現像ユニット、基板を洗浄する回転式洗浄ユニット等がある。ベークユニット１５は、基板に加熱、冷却等の温度処理を行う。このベークユニット１５としては、基板を加熱する加熱ユニット（ホットプレート）、基板を冷却する冷却ユニット（クーリングプレート）等がある。薬液温調ユニット１３は、回転処理ユニット１４で用いられる薬液（処理液）の温度調整を行う。
【００３４】
インデクサユニット１１は、移載ロボット１１２を有する。移載ロボット１１２は、矢印Ｕの方向に移動し、カセット１１１から基板Ｗを取り出して搬送ユニット１２に渡し、逆に一連の処理が施された基板Ｗを搬送ユニット１２から受け取ってカセット１１１に戻す。
【００３５】
搬送ユニット１２は、インデクサユニット１１の移載ロボット１１２との間で基板Ｗの受け渡しを行い、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５への基板の搬入および搬出を行う。
【００３６】
図３に示すように、本実施例の基板処理装置１の制御系は、メインコントローラ２０、インデクサユニット用のスレーブコントローラ２１、搬送ユニット用のスレーブコントローラ２２、薬液温調ユニット用のスレーブコントローラ２３、回転処理ユニット用のスレーブコントローラ２４、ベークユニット用のスレーブコントローラ２５、およびホストコントローラ３０を含む。
【００３７】
メインコントローラ２０、複数のスレーブコントローラ２１〜２５およびホストコントローラ３０は、イーサネット（登録商標）（ethernet) 規格に従うＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）８０により相互に接続されている。
【００３８】
メインコントローラ２０は記憶部Ｍ０を内蔵し、スレーブコントローラ２１〜２５はそれぞれ記憶部Ｍ１〜Ｍ５を内蔵し、ホストコントローラ３０は記憶部Ｍ１０を内蔵する。メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０、スレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５およびホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０には、同じ種類のオペレーティングシステム（ＯＳ）が記憶される。このオペレーティングシステムとしては、イーサネット（登録商標）規格に従うＬＡＮに対応する通信機能を有するネットワークオペレーティングシステムが用いられる。
【００３９】
メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０には、複数のユニット１１〜１５を協調動作させるための制御プログラム、各種データおよび各種アプリケーションプログラム、各ユニット１１〜１５のレシピ（処理手順）を示すデータが格納される。
【００４０】
メインコントローラ２０は、オペレーティングシステム上で実行される制御プログラムに従ってスレーブコントローラ２１〜２５を統括制御する。この場合、メインコントローラ２０はＬＡＮ８０を介して各スレーブコントローラ２１〜２５に各ユニット１１〜１５のレシピ（処理手順）を示すデータに基づき各種指令を与えるとともに、各スレーブコントローラ２１〜２５から状態報告を受け、複数のユニット１１〜１５の動作タイミングを統括的に管理および制御する。
【００４１】
また、スレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５には、それぞれユニット１１〜１５の動作を制御するための制御プログラム、各ユニット１１〜１５の状態を示すデータ、特定のユニットのみを部分的に動作させる手動機能や位置合わせ時のティーチング機能を実現するためのアプリケーションプログラム等が格納される。
【００４２】
各スレーブコントローラ２１〜２５は、それぞれのオペレーティングシステム上で実行される制御プログラムに従ってそれぞれユニット１１〜１５の動作を制御する。この場合、各スレーブコントローラ２１〜２５は、メインコントローラ２０からの指令に従って各ユニット１１〜１５を制御する。
【００４３】
ホストコントローラ３０は、工場内のホストコンピュータに接続され、メインコントローラ２０にホストコンピュータからの各種指令やレシピ等のデータを与えるとともに、個々のユニット１１〜１５の状態を管理する。
【００４４】
メインコントローラ２０には、各種指令、データ等の情報の入力および表示を行うためのメインパネル４０が接続されている。また、任意のスレーブコントローラ２１〜２５に、各種指令、データ等の情報の入力および表示を行うための可搬式パネル５０を接続することができる。
【００４５】
本実施例では、インデクサユニット１１、薬液温調ユニット１３、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５が処理ユニットに相当し、スレーブコントローラ２１〜２５がユニット用制御部に相当し、メインコントローラ２０が主制御部に相当する。また、ホストコントローラ３０が管理用制御部に相当する。
【００４６】
本実施例の基板処理装置１においては、複数スレーブコントローラ２１〜２５により複数のユニット１１〜１５の動作が制御され、複数のユニット１１〜１５を協調動作させるためにメインコントローラ２０により複数のスレーブコントローラ２１〜２５が統括制御され、ホストコントローラ３０によりメインコントローラ２０に指令が与えられるとともに複数のユニット１１〜１５の状態が管理される。
【００４７】
この場合、ホストコントローラ３０、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５の制御プログラムが同じ種類のオペレーティングシステム上で実行され、かつホストコントローラ３０、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５がＬＡＮ８０により相互に接続されている。すなわち、ホストコントローラ３０、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５が同一のプラットフォーム上に構成され、ホストコントローラ３０およびメインコントローラ２０が制御系統における同一階層レベルに属する。それにより、ホストコントローラ３０、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５がデータおよびプログラムを共有することができる。
【００４８】
したがって、ホストコントローラ３０が各スレーブコントローラ２１〜２５の状態を管理する際に、各スレーブコントローラ２１〜２５からＬＡＮ８０を介して直接情報を受け取ることができ、メインコントローラ２０がホストコントローラ３０と各スレーブコントローラ２１〜２５との間で情報の中継を行う必要がなくなる。
【００４９】
たとえば、ホストコントローラ３０がスレーブコントローラ２４の記憶部Ｍ４に格納される回転処理ユニット１４の回転数のデータを直接読み出すことができる。
【００５０】
したがって、メインコントローラ２０の負荷が軽減されるとともに、ホストコントローラ３０と各スレーブコントローラ２１〜２５との間での情報通信の応答性が向上する。
【００５１】
また、メインコントローラ２０および個々のスレーブコントローラ２１〜２５が同一のプラットホーム上に構成されているので、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５の間で直接データの送受信を行うことができる。
【００５２】
たとえば、スレーブコントローラ２４が回転処理ユニット１４による回転処理を開始する指令をメインコントローラ２０から受けたときに、メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０に格納される薬液温調ユニット１３の温度のデータを直接参照することができる。
【００５３】
したがって、メインコントローラ２０と個々のスレーブコントローラ２１〜２５との間で各種指令やデータの送受信を行うためにメインコントローラ２０および各スレーブコントローラ２１〜２５でプログラムの作成および改良が不要となる。また、通信プロトコルを新たに定めたり、運用規則を作成するためにプログラムを新たに作成する必要もなくなる。その結果、制御プログラムが単純化する。
【００５４】
さらに、メインコントローラ２０およびホストコントローラ３０が各スレーブコントローラ２１〜２５のデータを直接参照することができるので、特定のユニットの機構部の追加を行った場合でも、メインコントローラ２０およびホストコントローラ３０の制御プログラムを改良する必要がなくなる。
【００５５】
また、特定のユニットのみを部分的に動作させる手動機能や位置合わせ時のティーチング機能を実現する場合には、メインコントローラ２０および個々のスレーブコントローラ２１〜２５の両方でプログラムを作成する必要がなく、メインコントローラ２０またはスレーブコントローラ２１〜２５のいずれかで作成したプログラムを他のスレーブコントローラ２１〜２５またはメインコントローラ２０で使用することができる。なお、ティーチング機能とは、例えば搬送ユニット１２と他のユニット１１，１４，１５との位置合わせの際に、搬送ユニット１２と他のユニット１１，１４，１５との位置関係をメインコントローラ２０に記憶させることである。したがって、プログラムの作成工数が削減される。
【００５６】
また、メインコントローラ２０、ホストコントローラ３０および個々のスレーブコントローラ２１〜２５が他のスレーブコントローラ２１〜２５、メインコントローラ２０またはホストコントローラ３０のアプリケーションプログラムを直接実行することができるので、他のスレーブコントローラ２１〜２５、メインコントローラ２０またはホストコントローラ３０のアプリケーションプログラムを使用する場合に、アプリケーションプログラムをダウンロードする必要がなくなる。
【００５７】
これらの結果、基板処理装置１の制御系における不具合が少なくなるとともに、基板処理装置１用のソフトウェアを短い時間および少ない労力で作成および改良することが可能となる。
【００５８】
また、メインパネル４０を用いて、各種指令、データ等の情報をメインコントローラ２０の記憶部Ｍ０に入力することができるとともに、ＬＡＮ８０を介して任意のスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５またはホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０に入力することもできる。また、任意のスレーブコントローラ２１〜２５に接続された可搬式パネル５０を用いて、情報をそのスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５に入力することができるとともに、ＬＡＮ８０を介して他のスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５、メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０またはホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０に入力することもできる。
【００５９】
さらに、メインパネル４０を用いて、メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０内の情報を表示することができるとともに、ＬＡＮ８０を介して任意のスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５またはホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０内の情報を表示することもできる。また、任意のスレーブコントローラ２１〜２５に接続された可搬式パネル５０を用いて、そのスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５内の情報を表示することができるとともに、ＬＡＮ８０を介して他のスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５、メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０またはホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０内の情報を表示することもできる。
【００６０】
なお、本発明に係る基板処理装置の処理ユニットとしては、上記実施例のユニット１１〜１５に限らず、基板に関する処理を行うその他の処理ユニットを用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における基板処理装置の平面図である。
【図２】図１の基板処理装置の正面図である。
【図３】図１の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【図４】従来の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
１１ インデクサユニット
１２ 搬送ユニット
１３ 薬液温調ユニット
１４ 回転処理ユニット
１５ ベークユニット
２０ メインコントローラ
２１〜２５ スレーブコントローラ
３０ ホストコントローラ
４０ メインパネル
５０ 可搬式パネル
Ｍ０〜Ｍ５，Ｍ１０ 記憶部
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に一連の処理を行う基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基板等の基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。例えば、半導体デバイスの製造プロセスでは、生産効率を高めるために一連の処理の各々をユニット化し、複数の処理ユニットを統合した基板処理装置が用いられている。
【０００３】
図４は従来の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。基板処理装置１００は、インデクサユニット（基板搬入搬出装置）１１、搬送ユニット１２、薬液温調ユニット１３、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５を備える。
【０００４】
インデクサユニット１１は、搬送ユニット１２への基板の搬入および搬出を行う。搬送ユニット１２は、インデクサユニット１１と回転処理ユニット１４とベークユニット１５との間で基板を搬送する。薬液温調ユニット１３は、回転処理ユニット１４で用いられる薬液（処理液）の温度調整を行う。
【０００５】
回転処理ユニット１４は、基板を回転させながら基板に所定の処理を行う。この回転処理ユニット１４としては、基板上にフォトレジスト液等の処理液を塗布する回転式塗布ユニット、基板に現像処理を行う回転式現像ユニット、基板を洗浄する回転式洗浄ユニット等がある。ベークユニット１５は、基板に加熱、冷却等の温度処理を行う。このベークユニット１５としては、基板を加熱する加熱ユニット（ホットプレート）、基板を冷却する冷却ユニット（クーリングプレート）等がある。
【０００６】
この基板処理装置の制御系は、メインコントローラ６０、インデクサユニット用のスレーブコントローラ６１、搬送ユニット用のスレーブコントローラ６２、薬液温調ユニット用のスレーブコントローラ６３、回転処理ユニット用のスレーブコントローラ６４、ベークユニット用のスレーブコントローラ６５、およびホストコントローラ７０を含む。
【０００７】
複数のスレーブコントローラ６１〜６５は、通信ライン２００によりメインコントローラ６０に接続されている。メインコントローラ６０は、通信ライン２０１によりホストコントローラ７０に接続されている。
【０００８】
スレーブコントローラ６１〜６５は、それぞれオペレーティングシステム（ＯＳ）を記憶する記憶部を内蔵し、各オペレーティングシステム上で実行される制御プログラムに従ってそれぞれインデクサユニット１１、搬送ユニット１２、薬液温調ユニット１３、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５の動作を制御する。この場合、各スレーブコントローラ６１〜６５は、予め記憶されたレシピ（処理手順）に従って各ユニット１１〜１５を制御する。
【０００９】
メインコントローラ６０は、オペレーティングシステムを記憶する記憶部を内蔵し、インデクサユニット１１、搬送ユニット１２、薬液温調ユニット１３、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５を協調動作させるために、オペレーティングシステム上で実行される制御プログラムに従ってスレーブコントローラ６１〜６５を統括制御する。
【００１０】
この場合、メインコントローラ６０は、通信ライン２００を介して各スレーブコントローラ６１〜６５に各種指令を与えるとともに、各スレーブコントローラ６１〜６５から状態報告を受け、複数のユニット１１〜１５の動作タイミングを統括的に管理および制御する。
【００１１】
ホストコントローラ７０は、通常、工場内のホストコンピュータに接続され、ホストコンピュータからの各種指令およびレシピ等のデータを通信ライン２０１を介してメインコントローラ６０に与えるとともに、メインコントローラ６０を介して個々のユニット１１〜１５の状態を管理する。
【００１２】
メインコントローラ６０には、各種指令、データ等の情報の入力および表示を行うためのメインパネル４０が接続されている。また、各スレーブコントローラ６１〜６５には、各種指令、データ等の情報の入力および表示を行うための可搬式パネル５０を接続することができる。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
上記の従来の基板処理装置においては、ホストコントローラ７０が各ユニット１１〜１５の状態を管理する際に、各ユニット１１〜１５に対応するスレーブコントローラ６１〜６５からメインコントローラ６０を介して情報を受け取る。
【００１４】
この場合、メインコントローラ６０は個々のスレーブコントローラ６１〜６５を統括制御することに加えて、ホストコントローラ７０と各スレーブコントローラ６１〜６５との間で情報の中継を行う。それにより、メインコントローラ６０の負荷が大きくなるとともに、情報通信の応答性が悪くなる。
【００１５】
本発明の目的は、ホストコントローラ（管理用制御部）と各スレーブコントローラ（処理ユニット）との間での情報通信によるメインコントローラ（主制御部）の負荷の増大が防止され、かつ情報通信の応答性が向上した基板処理装置を提供することである。
【００１６】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
第１の発明に係る基板処理装置は、ホストコンピュータに接続される基板処理装置であって、基板に関する処理を行う複数の処理ユニットと、複数の処理ユニットの各々に基板を搬送する搬送ユニットと、ホストコンピュータに接続される管理用制御部と、主制御部と、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットにそれぞれ対応して設けられる複数のユニット用制御部とを備え、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部はネットワークにより相互に接続され、管理用制御部が主制御部を介さずにネットワークを介して複数のユニット用制御部とデータを共有することができるように管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部が制御系統における同一階層レベルに属し、管理用制御部は、ホストコンピュータからの指令および処理手順に関するデータを主制御部に与えるとともに、主制御部を介さずに各ユニット用制御部から複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータを取得し、主制御部は、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットを協調動作させるためのプログラムに従って、基板に一連の処理が行われるように管理用制御部から与えられた指令およびデータに基づき指令を各ユニット用制御部に与えるとともに、各ユニット用制御部から複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータを受け、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの動作タイミングを統括的に制御し、複数のユニット用制御部は、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの動作をそれぞれ制御するプログラムに従って、主制御部からの指令により複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの動作をそれぞれ制御するとともに、主制御部に複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータを与えるものである。
【００１７】
本発明に係る基板処理装置においては、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部がネットワークにより相互に接続され、管理用制御部が主制御部を介さずにネットワークを介して複数のユニット用制御部とデータを共有することができるように管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部が制御系統における同一階層レベルに属する。それにより、主制御部が管理用制御部と各ユニット用制御部との間で情報の中継を行う必要がなくなる。
【００１８】
この場合、複数のユニット用制御部により複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの動作がそれぞれ制御され、複数の処理ユニットおよび搬送ユニットを協調動作させるために主制御部により複数のユニット用制御部が統括制御され、管理用制御部によりホストコンピュータからの指令および処理手順に関するデータが主制御部に与えられるとともに主制御部を介さずに各ユニット用制御部から複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータが取得される。
【００１９】
したがって、主制御部の負荷が軽減されるとともに、管理用制御部と各ユニット用制御部との間での情報通信の応答性が向上する。
【００２０】
第２の発明に係る基板処理装置は、第１の発明に係る基板処理装置の構成において、複数のユニット用制御部は、同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って複数の処理ユニットの動作をそれぞれ制御し、主制御部は、複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って複数のユニット用制御部を統括制御し、管理用制御部は、複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って主制御部に指令および処理手順に関するデータを与えるとともに複数のユニット用制御部から複数の処理ユニットおよび搬送ユニットの各々の状態を示すデータを取得し、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部はローカルエリアネットワークにより相互に接続されたことを特徴する。
【００２１】
この場合、複数のユニット用制御部による制御動作を行うプログラムが同じ種類のオペレーティングシステム上で実行され、主制御部による統括制御動作を行うプログラムが複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステム上で実行され、管理用制御部により主制御部へ指令および処理手順に関するデータを与えるとともに各ユニット用制御部から状態を示すデータを取得するプログラムが複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステム上で実行され、かつ管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部がローカルエリアネットワークにより相互に接続されている。すなわち、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部が同一のプラットホーム上に構成される。したがって、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部がデータを共有することができる。
【００２２】
これにより、管理用制御部、主制御部および複数のユニット用制御部の間で直接データの送受信を行うことができるので、主制御部と各ユニット用制御部との間および管理用制御部と各ユニット用制御部との間で各種指令やデータの送受信を行うために管理用制御部、主制御部および各ユニット用制御部でプログラムの作成および改良が不要となる。また、通信プロトコルを新たに定めたり、運用規則を作成するために、プログラムを新たに作成する必要もなくなる。その結果、プログラムが単純化する。
【００２３】
また、管理用制御部および主制御部が各ユニット用制御部のデータを直接参照することができるので、特定の処理ユニットの機構部の追加を行った場合でも、管理用制御部および主制御部のプログラムを改良する必要が少なくなる。
【００２４】
さらに、特定の機能を実現する場合には、主制御部および個々のユニット用制御部の両方でプログラムを作成する必要がなく、主制御部または複数のユニット用制御部のいずれかで作成したプログラムを他のユニット用制御部または主制御部で使用することができる。そのため、プログラムの作成工数が削減される。
【００２５】
また、主制御部および個々のユニット用制御部が他のユニット用制御部または主制御部のアプリケーションプログラムを直接実行することができるので、他のユニット用制御部または主制御部のアプリケーションプログラムを使用する場合にアプリケーションプログラムをダウンロードする必要がなくなる。
【００２６】
これらの結果、基板処理装置の制御系における不具合が少なくなるとともに、基板処理装置用のソフトウエアを短い時間および少ない労力で作成および改良することが可能となる。
【００２７】
第３の発明に係る基板処理装置は、第２の発明に係る基板処理装置の構成において、オペレーティングシステムがローカルエリアネットワークに対応する通信機能を有するネットワークオペレーティングシステムであることを特徴とする。
【００２８】
この場合、ローカルエリアネットワークに関する通信用ソフトウェアを作成することなく、ローカルエリアネットワークを介して主制御部と各ユニット用制御部との間および管理用制御部と各ユニット用制御部との間で容易にデータおよびプログラムの送受信を行うことが可能となる。
【００２９】
第４の発明に係る基板処理装置は、第２または第３の発明に係る基板処理装置の構成において、ローカルエリアネットワークがイーサネット（登録商標）規格に従うことを特徴とする。この場合、ローカルエリアネットワークを介して主制御部と複数のユニット用制御部との間および管理用制御部と複数のユニット用制御部との間で高速にデータおよびプログラムの送受信を行うことが可能となる。
【００３０】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例における基板処理装置の平面図、図２は図１の基板処理装置の正面図である。また、図３は図１の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【００３１】
図１の基板処理装置１において、搬送ユニット１２の周囲を取り囲むように、複数の回転処理ユニット１４が配置されている。図２に示すように、複数の回転処理ユニット１４の下部には薬液温調ユニット１３が配置され、複数の回転処理ユニット１４の上部には複数のベークユニット１５が複数段に配置されている。また、複数の回転処理ユニット１４の一端部側にはインデクサユニット（基板搬入搬出装置）１１が配置されている。インデクサユニット１１の側面には後述するメインパネル４０が設けられている。
【００３２】
搬送ユニット１２は、基板Ｗを保持する基板保持部１２１を有し、鉛直軸方向に移動可能かつθ軸方向（鉛直軸を中心とする回転方向）に回転可能に設けられている。基板保持部１２１は、Ｘ軸方向（水平面内で前進および後退する方向）に移動可能に設けられている。
【００３３】
回転処理ユニット１４は、基板を回転させながら基板に所定の処理を行う。この回転処理ユニット１４としては、基板上にフォトレジスト液等の処理液を塗布する回転式塗布ユニット、基板に現像処理を行う回転式現像ユニット、基板を洗浄する回転式洗浄ユニット等がある。ベークユニット１５は、基板に加熱、冷却等の温度処理を行う。このベークユニット１５としては、基板を加熱する加熱ユニット（ホットプレート）、基板を冷却する冷却ユニット（クーリングプレート）等がある。薬液温調ユニット１３は、回転処理ユニット１４で用いられる薬液（処理液）の温度調整を行う。
【００３４】
インデクサユニット１１は、移載ロボット１１２を有する。移載ロボット１１２は、矢印Ｕの方向に移動し、カセット１１１から基板Ｗを取り出して搬送ユニット１２に渡し、逆に一連の処理が施された基板Ｗを搬送ユニット１２から受け取ってカセット１１１に戻す。
【００３５】
搬送ユニット１２は、インデクサユニット１１の移載ロボット１１２との間で基板Ｗの受け渡しを行い、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５への基板の搬入および搬出を行う。
【００３６】
図３に示すように、本実施例の基板処理装置１の制御系は、メインコントローラ２０、インデクサユニット用のスレーブコントローラ２１、搬送ユニット用のスレーブコントローラ２２、薬液温調ユニット用のスレーブコントローラ２３、回転処理ユニット用のスレーブコントローラ２４、ベークユニット用のスレーブコントローラ２５、およびホストコントローラ３０を含む。
【００３７】
メインコントローラ２０、複数のスレーブコントローラ２１〜２５およびホストコントローラ３０は、イーサネット（登録商標）（ethernet) 規格に従うＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）８０により相互に接続されている。
【００３８】
メインコントローラ２０は記憶部Ｍ０を内蔵し、スレーブコントローラ２１〜２５はそれぞれ記憶部Ｍ１〜Ｍ５を内蔵し、ホストコントローラ３０は記憶部Ｍ１０を内蔵する。メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０、スレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５およびホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０には、同じ種類のオペレーティングシステム（ＯＳ）が記憶される。このオペレーティングシステムとしては、イーサネット（登録商標）規格に従うＬＡＮに対応する通信機能を有するネットワークオペレーティングシステムが用いられる。
【００３９】
メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０には、複数のユニット１１〜１５を協調動作させるための制御プログラム、各種データおよび各種アプリケーションプログラム、各ユニット１１〜１５のレシピ（処理手順）を示すデータが格納される。
【００４０】
メインコントローラ２０は、オペレーティングシステム上で実行される制御プログラムに従ってスレーブコントローラ２１〜２５を統括制御する。この場合、メインコントローラ２０はＬＡＮ８０を介して各スレーブコントローラ２１〜２５に各ユニット１１〜１５のレシピ（処理手順）を示すデータに基づき各種指令を与えるとともに、各スレーブコントローラ２１〜２５から状態報告を受け、複数のユニット１１〜１５の動作タイミングを統括的に管理および制御する。
【００４１】
また、スレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５には、それぞれユニット１１〜１５の動作を制御するための制御プログラム、各ユニット１１〜１５の状態を示すデータ、特定のユニットのみを部分的に動作させる手動機能や位置合わせ時のティーチング機能を実現するためのアプリケーションプログラム等が格納される。
【００４２】
各スレーブコントローラ２１〜２５は、それぞれのオペレーティングシステム上で実行される制御プログラムに従ってそれぞれユニット１１〜１５の動作を制御する。この場合、各スレーブコントローラ２１〜２５は、メインコントローラ２０からの指令に従って各ユニット１１〜１５を制御する。
【００４３】
ホストコントローラ３０は、工場内のホストコンピュータに接続され、メインコントローラ２０にホストコンピュータからの各種指令やレシピ等のデータを与えるとともに、個々のユニット１１〜１５の状態を管理する。
【００４４】
メインコントローラ２０には、各種指令、データ等の情報の入力および表示を行うためのメインパネル４０が接続されている。また、任意のスレーブコントローラ２１〜２５に、各種指令、データ等の情報の入力および表示を行うための可搬式パネル５０を接続することができる。
【００４５】
本実施例では、インデクサユニット１１、薬液温調ユニット１３、回転処理ユニット１４およびベークユニット１５が処理ユニットに相当し、スレーブコントローラ２１〜２５がユニット用制御部に相当し、メインコントローラ２０が主制御部に相当する。また、ホストコントローラ３０が管理用制御部に相当する。
【００４６】
本実施例の基板処理装置１においては、複数スレーブコントローラ２１〜２５により複数のユニット１１〜１５の動作が制御され、複数のユニット１１〜１５を協調動作させるためにメインコントローラ２０により複数のスレーブコントローラ２１〜２５が統括制御され、ホストコントローラ３０によりメインコントローラ２０に指令が与えられるとともに複数のユニット１１〜１５の状態が管理される。
【００４７】
この場合、ホストコントローラ３０、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５の制御プログラムが同じ種類のオペレーティングシステム上で実行され、かつホストコントローラ３０、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５がＬＡＮ８０により相互に接続されている。すなわち、ホストコントローラ３０、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５が同一のプラットフォーム上に構成され、ホストコントローラ３０およびメインコントローラ２０が制御系統における同一階層レベルに属する。それにより、ホストコントローラ３０、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５がデータおよびプログラムを共有することができる。
【００４８】
したがって、ホストコントローラ３０が各スレーブコントローラ２１〜２５の状態を管理する際に、各スレーブコントローラ２１〜２５からＬＡＮ８０を介して直接情報を受け取ることができ、メインコントローラ２０がホストコントローラ３０と各スレーブコントローラ２１〜２５との間で情報の中継を行う必要がなくなる。
【００４９】
たとえば、ホストコントローラ３０がスレーブコントローラ２４の記憶部Ｍ４に格納される回転処理ユニット１４の回転数のデータを直接読み出すことができる。
【００５０】
したがって、メインコントローラ２０の負荷が軽減されるとともに、ホストコントローラ３０と各スレーブコントローラ２１〜２５との間での情報通信の応答性が向上する。
【００５１】
また、メインコントローラ２０および個々のスレーブコントローラ２１〜２５が同一のプラットホーム上に構成されているので、メインコントローラ２０および複数のスレーブコントローラ２１〜２５の間で直接データの送受信を行うことができる。
【００５２】
たとえば、スレーブコントローラ２４が回転処理ユニット１４による回転処理を開始する指令をメインコントローラ２０から受けたときに、メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０に格納される薬液温調ユニット１３の温度のデータを直接参照することができる。
【００５３】
したがって、メインコントローラ２０と個々のスレーブコントローラ２１〜２５との間で各種指令やデータの送受信を行うためにメインコントローラ２０および各スレーブコントローラ２１〜２５でプログラムの作成および改良が不要となる。また、通信プロトコルを新たに定めたり、運用規則を作成するためにプログラムを新たに作成する必要もなくなる。その結果、制御プログラムが単純化する。
【００５４】
さらに、メインコントローラ２０およびホストコントローラ３０が各スレーブコントローラ２１〜２５のデータを直接参照することができるので、特定のユニットの機構部の追加を行った場合でも、メインコントローラ２０およびホストコントローラ３０の制御プログラムを改良する必要がなくなる。
【００５５】
また、特定のユニットのみを部分的に動作させる手動機能や位置合わせ時のティーチング機能を実現する場合には、メインコントローラ２０および個々のスレーブコントローラ２１〜２５の両方でプログラムを作成する必要がなく、メインコントローラ２０またはスレーブコントローラ２１〜２５のいずれかで作成したプログラムを他のスレーブコントローラ２１〜２５またはメインコントローラ２０で使用することができる。なお、ティーチング機能とは、例えば搬送ユニット１２と他のユニット１１，１４，１５との位置合わせの際に、搬送ユニット１２と他のユニット１１，１４，１５との位置関係をメインコントローラ２０に記憶させることである。したがって、プログラムの作成工数が削減される。
【００５６】
また、メインコントローラ２０、ホストコントローラ３０および個々のスレーブコントローラ２１〜２５が他のスレーブコントローラ２１〜２５、メインコントローラ２０またはホストコントローラ３０のアプリケーションプログラムを直接実行することができるので、他のスレーブコントローラ２１〜２５、メインコントローラ２０またはホストコントローラ３０のアプリケーションプログラムを使用する場合に、アプリケーションプログラムをダウンロードする必要がなくなる。
【００５７】
これらの結果、基板処理装置１の制御系における不具合が少なくなるとともに、基板処理装置１用のソフトウェアを短い時間および少ない労力で作成および改良することが可能となる。
【００５８】
また、メインパネル４０を用いて、各種指令、データ等の情報をメインコントローラ２０の記憶部Ｍ０に入力することができるとともに、ＬＡＮ８０を介して任意のスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５またはホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０に入力することもできる。また、任意のスレーブコントローラ２１〜２５に接続された可搬式パネル５０を用いて、情報をそのスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５に入力することができるとともに、ＬＡＮ８０を介して他のスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５、メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０またはホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０に入力することもできる。
【００５９】
さらに、メインパネル４０を用いて、メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０内の情報を表示することができるとともに、ＬＡＮ８０を介して任意のスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５またはホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０内の情報を表示することもできる。また、任意のスレーブコントローラ２１〜２５に接続された可搬式パネル５０を用いて、そのスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５内の情報を表示することができるとともに、ＬＡＮ８０を介して他のスレーブコントローラ２１〜２５の記憶部Ｍ１〜Ｍ５、メインコントローラ２０の記憶部Ｍ０またはホストコントローラ３０の記憶部Ｍ１０内の情報を表示することもできる。
【００６０】
なお、本発明に係る基板処理装置の処理ユニットとしては、上記実施例のユニット１１〜１５に限らず、基板に関する処理を行うその他の処理ユニットを用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における基板処理装置の平面図である。
【図２】図１の基板処理装置の正面図である。
【図３】図１の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【図４】従来の基板処理装置の制御系の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
１１ インデクサユニット
１２ 搬送ユニット
１３ 薬液温調ユニット
１４ 回転処理ユニット
１５ ベークユニット
２０ メインコントローラ
２１〜２５ スレーブコントローラ
３０ ホストコントローラ
４０ メインパネル
５０ 可搬式パネル
Ｍ０〜Ｍ５，Ｍ１０ 記憶部
Claims (4)
- ホストコンピュータに接続される基板処理装置であって、
基板に関する処理を行う複数の処理ユニットと、
前記複数の処理ユニットの各々に基板を搬送する搬送ユニットと、
前記ホストコンピュータに接続される管理用制御部と、
主制御部と、
前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットにそれぞれ対応して設けられる複数のユニット用制御部とを備え、
前記管理用制御部、前記主制御部および前記複数のユニット用制御部はネットワークにより相互に接続され、
前記管理用制御部が前記主制御部を介さずに前記ネットワークを介して前記複数のユニット用制御部とデータを共有することができるように前記管理用制御部、前記主制御部および前記複数のユニット用制御部が制御系統における同一階層レベルに属し、
前記管理用制御部は、前記ホストコンピュータからの指令および処理手順に関するデータを前記主制御部に与えるとともに、前記主制御部を介さずに各ユニット用制御部から前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットの各々の状態を示すデータを取得し、
前記主制御部は、前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットを協調動作させるためのプログラムに従って、基板に一連の処理が行われるように前記管理用制御部から与えられた指令およびデータに基づき指令を各ユニット用制御部に与えるとともに、各ユニット用制御部から前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットの各々の状態を示すデータを受け、前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットの動作タイミングを統括的に制御し、
前記複数のユニット用制御部は、前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットの動作をそれぞれ制御するプログラムに従って、前記主制御部からの指令により前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットの動作をそれぞれ制御するとともに、前記主制御部に前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットの各々の状態を示すデータを与えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記複数のユニット用制御部は、同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記複数の処理ユニットの動作をそれぞれ制御し、
前記主制御部は、前記複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記複数のユニット用制御部を統括制御し、
前記管理用制御部は、前記複数のユニット用制御部と同じ種類のオペレーティングシステムを記憶する記憶部を有し、前記オペレーティングシステム上で実行されるプログラムに従って前記主制御部に指令および処理手順に関するデータを与えるとともに前記複数のユニット用制御部から前記複数の処理ユニットおよび前記搬送ユニットの各々の状態を示すデータを取得し、
前記管理用制御部、前記主制御部および前記複数のユニット用制御部はローカルエリアネットワークにより相互に接続されたことを特徴とする請求項１記載の基板処理装置。 - 前記オペレーティングシステムはローカルエリアネットワークに対応する通信機能を有するネットワークオペレーティングシステムであることを特徴とする請求項２記載の基板処理装置。
- 前記ローカルエリアネットワークはイーサネット（登録商標）規格に従うことを特徴とする請求項２または３記載の基板処理装置。
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