JP2015156105A - 制御方法および基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】制御コントローラと制御対象となる処理ブロックとの関係を動的に変更でき、制御コントローラの設定作業を軽減できる制御方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】この基板処理装置１は、複数の処理ブロック１０と、処理ブロック１０を制御する複数の制御コントローラ３０と、複数の制御コントローラ３０を統括するメインコントローラ４０と、を備えている。制御コントローラ３０と、制御対象となる処理ブロック１０との関係は、固定されていない。メインコントローラ４０は、送信要求に応じて、制御コントローラ３０へ、アドレスを所定の順序に従って送信する。これにより、当該制御コントローラ３０が担当する処理ブロック１０が決定される。このため、各制御コントローラ３０に、状況に応じて異なる処理ブロック１０の制御を担当させることができる。また、基板処理装置１の立ち上げ時における制御コントローラ３０の設定作業を軽減できる。
【選択図】図２

Description

本発明は、複数の処理ブロックを複数のコントローラを用いて制御する制御方法および基板処理装置に関する。

従来、半導体ウェハ、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、カラーフィルタ用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板などの精密電子装置用基板の製造工程では、基板の処理を行う処理ブロックを複数組み合わせて構成された基板処理装置が知られている。このような基板処理装置では、処理ブロック毎に制御コントローラが用意され、複数の処理ブロックが各制御コントローラにより個別に制御される。

従来の基板処理装置については、例えば、特許文献１に記載されている。特許文献１の基板処理装置は、複数のスレーブコントローラと、スレーブコントローラを統括制御する１つのメインコントローラとを有する。そして、複数の処理ユニットを各スレーブコントローラで個別に制御する。

特開平１１−２１４４６９号公報

しかしながら、従来の基板処理装置では、制御コントローラと制御対象となる処理ブロックとの関係が、固定されていた。このため、基板処理装置の立ち上げ時などに、制御コントローラ毎に個別にＩＰアドレスを設定する作業が必要であった。また、一部の制御コントローラが故障すると、故障した制御コントローラが担当していた処理ブロックを、他のコントローラが代わりに制御することはできなかった。

また、一部の制御コントローラを新しい制御コントローラに交換するときには、交換の前後において制御コントローラの状態が同一となるように、新しい制御コントローラに対して、ＩＰアドレスの設定やデータのコピーなどの作業を行う必要がある。当該作業を行う間は、制御対象となる処理ブロックだけではなく、その前後の処理ブロックにおいても、基板の処理を中断せざるを得ない。

特に、半導体ウェハ等の基板の製造工程では、極めて高い防塵性が求められる。このため、基板を装置の外部に搬出することなく、基板に対して多くの処理を連続して行いたいという要求から、装置の大型化・複雑化が特に進んでいる。このような基板処理装置では、一部の処理ブロックを担当する制御コントローラが故障するたびに装置の全体を長時間にストップさせると、装置全体の処理能力が著しく低下する。

本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、制御コントローラと制御対象となる処理ブロックとの関係を動的に変更でき、制御コントローラの設定作業を軽減できる制御方法および基板処理装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本願の第１発明は、それぞれに個別のアドレスが割り当てられた複数の処理ブロックを有する基板処理装置を、複数の制御コントローラと、前記複数の制御コントローラを統括するメインコントローラとを用いて制御する制御方法であって、前記メインコントローラに、前記複数の制御コントローラのうちのいずれか１つを送信先とする前記アドレスの送信要求を行うアドレス要求工程と、前記送信要求に応じて、前記メインコントローラから前記送信先の制御コントローラへ、前記アドレスを所定の順序に従って送信するアドレス送信工程と、前記メインコントローラから前記送信先の制御コントローラへ、前記アドレスに対応する処理ブロックにおいて必要なデータを送信するデータ送信工程と、を有し、前記必要なデータは、前記処理ブロックにおける処理の進行によって変化しない設定データを含む。

本願の第２発明は、第１発明の制御方法であって、前記アドレス要求工程では、起動された前記制御コントローラが、前記メインコントローラに、前記アドレスの送信要求を示す信号を送信する。

本願の第３発明は、第１発明または第２発明の制御方法であって、前記必要なデータは、前記処理ブロックにおける処理の進行によって変化する状態データをさらに含む。

本願の第４発明は、第３発明の制御方法であって、前記制御コントローラによる前記処理ブロックの制御を停止するときに、前記制御コントローラから前記メインコントローラへ前記状態データを転送し、前記メインコントローラに前記状態データを保存する状態データ保存工程をさらに有する。

本願の第５発明は、第１発明ないし第４発明のいずれか１つの制御方法であって、前記メインコントローラは、前記複数の処理ブロックに対応する前記複数のアドレスが記述されたテーブルデータを有し、前記テーブルデータは、前記複数のアドレスのうち、送信対象とするアドレスまたは送信対象から除外するアドレスを指定する情報を含み、前記アドレス送信工程では、前記メインコントローラが、前記テーブルデータ内の送信対象のアドレスのみを送信する。

本願の第６発明は、第１発明ないし第５発明のいずれか１つの制御方法であって、前記複数の処理ブロックは、複数の基板を並列に処理する複数の並列処理ブロックと、全ての基板が通過する直列処理ブロックと、を含み、前記アドレス送信工程では、前記直列処理ブロックに対応するアドレスを優先的に送信する。

本願の第７発明は、基板処理装置であって、基板の処理を行う複数の処理ブロックと、前記処理ブロックを制御する複数の制御コントローラと、前記複数の制御コントローラを統括するメインコントローラと、を備え、前記複数の処理ブロックのそれぞれに、個別のアドレスが割り当てられ、前記メインコントローラは、前記複数の制御コントローラのうちのいずれか１つを送信先とする前記アドレスの送信要求を受けると、前記送信先の制御コントローラへ、前記アドレスを所定の順序に従って送信するアドレス送信手段と、前記アドレスに対応する処理ブロックにおいて必要なデータを、前記送信先の制御コントローラへ送信するデータ送信手段と、を有し、前記必要なデータは、前記処理ブロックにおける処理の進行によって変化しない設定データを含む。

本願の第８発明は、第７発明の基板処理装置であって、前記制御コントローラは、起動後に、前記メインコントローラに対して、前記アドレスの送信要求を示す信号を送信するアドレス要求手段を有する。

本願の第９発明は、第７発明または第８発明の基板処理装置であって、前記必要なデータは、前記処理ブロックにおける処理の進行によって変化する状態データをさらに含む。

本願の第１０発明は、第９発明の基板処理装置であって、前記制御コントローラは、前記処理ブロックの制御を停止するときに、前記メインコントローラへ前記状態データを転送する状態データ転送手段を有する。

本願の第１１発明は、第７発明ないし第１０発明のいずれか１つの基板処理装置であって、前記メインコントローラは、前記複数の処理ブロックに対応する前記複数のアドレスが記述されたテーブルデータを有し、前記テーブルデータは、前記複数のアドレスのうち、送信対象とするアドレスまたは送信対象から除外するアドレスを指定する情報を含み、前記アドレス送信手段は、前記テーブルデータ内の送信対象のアドレスのみを送信する。

本願の第１２発明は、第７発明ないし第１１発明のいずれか１つの基板処理装置であって、前記複数の処理ブロックは、複数の基板を並列に処理する複数の並列処理ブロックと、全ての基板が通過する直列処理ブロックと、を含み、前記アドレス送信手段は、前記直列処理ブロックに対応するアドレスを優先的に送信する。

本願の第１３発明は、第７発明ないし第１２発明のいずれか１つの基板処理装置であって、前記制御コントローラの数は、前記処理ブロックの数よりも多い。

本願の第１発明〜第１３発明によれば、制御コントローラと制御対象となる処理ブロックとの関係が固定されていない。メインコントローラは、送信要求に応じて、制御コントローラへ、アドレスを所定の順序に従って送信する。これにより、当該制御コントローラが担当する処理ブロックを決定する。このため、各制御コントローラに、状況に応じて異なる処理ブロックの制御を担当させることができる。また、基板処理装置の立ち上げ時における制御コントローラの設定作業を軽減できる。

特に、本願の第２発明および第８発明によれば、制御コントローラを起動させたときに、制御コントローラが自ら送信要求を発する。これにより、制御コントローラの設定作業がより軽減される。

特に、本願の第３発明および第９発明によれば、状態データを取得した制御コントローラが、担当する処理ブロックを、状態データが示す処理の進行状態に応じて制御することができる。

特に、本願の第４発明および第１０発明によれば、制御停止時点の状態データに基づいて、当該処理ブロックを新たに担当する制御コントローラが、当該処理ブロックの制御を再開することができる。

特に、本願の第５発明および第１１発明によれば、テーブルデータにより、制御対象とする処理ブロックを指定できる。このため、例えば、正常に動作する制御コントローラの数が処理ブロックの数よりも少ないときに、優先度の高い処理ブロックのみを制御対象とすることができる。

特に、本願の第６発明および第１２発明によれば、全ての基板が通過する直列処理ブロックを、優先的に動作させることができる。これにより、基板処理装置の全体を停止させることなく、いわゆる縮退運転を行うことができる。

特に、本願の第１３発明によれば、予備の制御コントローラを確保できる。したがって、一部の制御コントローラが故障したときに、全ての処理ブロックにおいて基板の処理を迅速に再開させることができる。

基板処理装置の構成を示す平面図である。 基板処理装置の制御系の構成を示したブロック図である。 コントローラネットワークの一部分を示したブロック図である。 テーブルデータの例を示した図である。 制御コントローラの起動時における処理の流れを示したフローチャートである。 制御コントローラの停止時における処理の流れを示したフローチャートである。 変形例に係る基板処理装置の制御系の構成を示したブロック図である。 変形例に係るテーブルデータの例を示した図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

＜１．基板処理装置の処理部の構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置１の構成を示す平面図である。この基板処理装置１は、半導体の製造工程において、シリコンウェハである基板９の表面にレジスト液を塗布するとともに、露光後の基板に対して現像処理を行う、いわゆるコータ・デベロッパ装置である。図１に示すように、基板処理装置１は、第１処理ブロック１１、第２処理ブロック１２、第３処理ブロック１３、第４処理ブロック１４、および制御部２０を備えている。

第１処理ブロック１１は、複数枚（例えば２５枚）の基板９が収容されたキャリアケースであるＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）９０から処理前の基板９を取り出すとともに、処理後の基板９をＦＯＵＰ９０へ収納するための処理部である。第１処理ブロック１０の前面側には、ＦＯＵＰ９０を載置する複数のロードポート１１１が配置されている。第１処理ブロック１１は、ＦＯＵＰ９０の蓋を開閉するための開閉機構（図示省略）や、基板９を１枚ずつ搬送する第１搬送機構１１２などの、複数のデバイスを有する。これらのデバイスは、制御部２０内の後述する４つの制御コントローラ３０のいずれか１つによって、動作制御される。

第２処理ブロック１２は、基板９に対して、レジスト液の塗布および現像処理を行うための処理部である。第２処理ブロック１２は、レジスト液の塗布、現像液の塗布、加熱、冷却等の各処理を行う複数の処理ユニット１２１を有する。これらの処理ユニット１２１は、中央の通路１２２を挟んで両側に配置されている。各処理ユニット１２１は、基板９を水平に保持しつつ回転させるスピンチャック、基板９の表面に向けてレジスト液や現像液を吐出する吐出機構、基板９を加熱または冷却する温調機構などの、複数のデバイスを有する。また、第２処理ブロック１２は、中央の通路１２２を移動しながら基板９を搬送するためのデバイスである第２搬送機構１２３を有する。これらのデバイスは、制御部２０内の後述する４つの制御コントローラ３０のいずれか１つによって、動作制御される。

第３処理ブロック１３は、第２処理ブロック１２と同一の構成を有する。すなわち、第３処理ブロック１３は、中央の通路１３２と、その両側に配置された複数の処理ユニット１３１とを有する。第３処理ブロック１３は、第２処理ブロック１２と同様に、基板９に対して、レジスト液の塗布および現像処理を行うことができる。第３処理ブロック１３内の各処理ユニット１３１は、第２処理ブロック１２内の処理ユニット１２１と同等の、複数のデバイスを有する。これらのデバイスや、通路１３２に配置された第３搬送機構１３３は、制御部２０内の後述する４つの制御コントローラ３０のいずれか１つによって、動作制御される。

第４処理ブロック１４は、基板９の裏面を洗浄するための処理部である。第４処理ブロック１４は、洗浄処理を行う複数の処理ユニット１４１を有する。これらの処理ユニット１４１は、中央の通路１４２を挟んで両側に配置されている。各処理ユニット１４１は、基板９を水平に保持しつつ回転させるスピンチャック、基板９の裏面に向けて洗浄液を吐出する吐出機構、基板９の裏面にブラシを接触させるブラシ機構などの、複数のデバイスを有する。また、第４処理ブロック１４は、中央の通路１４２を移動しながら基板９を搬送するためのデバイスである第４搬送機構１４３を有する。これらのデバイスは、制御部２０内の後述する４つの制御コントローラ３０のいずれか１つによって、動作制御される。

以上の４つの処理ブロック１１〜１４のうち、第２処理ブロック１２および第３処理ブロック１３は、複数の基板９を並列に処理することができる。基板９は、第２処理ブロック１２と第３処理ブロック１３のいずれか一方を通過する。これに対し、第１処理ブロック１１および第４処理ブロック１４は、第２処理ブロック１２および第３処理ブロック１３の前後に、直列に配置されている。したがって、全ての基板９は、第１処理ブロック１１および第４処理ブロック１４を、必ず通過する。このように、本実施形態の４つの処理ブロック１１〜１４は、並列処理ブロックである第２処理ブロック１２および第３処理ブロック１３と、直列処理ブロックである第１処理ブロック１１および第４処理ブロック１４と、を含んでいる。

＜２．基板処理装置における基板処理について＞
この基板処理装置１において基板９の処理を行うときには、まず、自動搬送車両等により搬送されたＦＯＵＰ９０が、ロードポート１１１上に載置される。次に、図示しない開閉機構により、ＦＯＵＰ９０の蓋が開放される。そして、第１搬送機構１１２が、ＦＯＵＰ９０から未処理の基板９を１枚ずつ取り出し、第２処理ブロック１２の手前側に設けられたパスユニット１２４または第３処理ブロック１３の手前側に設けられたパスユニット１３４へ、基板９を移載する。

第２搬送機構１２３は、パスユニット１２４から基板９を取り出して、複数の処理ユニット１２１の中のいずれか１つに、基板９を搬送する。処理ユニット１２１内では、基板９の表面にレジスト液が塗布されるとともに、塗布されたレジスト液の加熱乾燥が行われる。これにより、基板９の表面にレジスト膜が形成される。その後、第２搬送機構１２３が、処理ユニット１２１から基板９を取り出し、第２処理ブロック１２の奥側に設けられたパスユニット１２５へ、基板９を移載する。

一方、第３処理ブロック１３においても、第２処理ブロック１２と同様の処理が並行して行われる。すなわち、第３搬送機構１３３が、パスユニット１３４から基板９を取り出して、複数の処理ユニット１３１の中のいずれか１つに、基板９を搬送する。処理ユニット１３１内では、基板９の表面にレジスト膜を形成する処理が行われる。その後、第３搬送機構１３３が、処理ユニット１３１から基板９を取り出し、第３処理ブロック１３の奥側に設けられたパスユニット１３５へ、基板９を移載する。

なお、本実施形態の第２処理ブロック１２および第３処理ブロック１３では、１つの処理ユニットにおいて、基板９へのレジスト液の塗布と、塗布されたレジスト液の加熱乾燥とを行ったが、本発明の実施に関してはこれに限られず、複数の処理ユニットがそれぞれ別々の構成や機能を有していてもよい。例えば、第２処理ブロック１２内のいずれか１つの処理ユニット１２１において基板９へのレジスト液の塗布を行った後、第２搬送機構１２３により基板９を当該処理ユニット１２１から搬出して、他の処理ユニット１２１へ搬入し、そこで基板９に塗布されたレジスト液の加熱乾燥を行ってもよい。

続いて、第４搬送機構１４３が、パスユニット１２５またはパスユニット１３５から基板９を取り出して、複数の処理ユニット１４１の中のいずれか１つに、基板９を搬送する。処理ユニット１４１内では、基板９の裏面が、洗浄液の供給およびブラシの摺接によって洗浄される。その後、第４搬送機構１４３が、処理ユニット１４１から基板９を取り出し、第４処理ブロック１４の奥側に接続された露光装置２へ、基板９を投入する。

露光装置２における露光処理が完了すると、第４搬送機構１４３は、露光装置２から返却される基板９を受け取る。そして、第４搬送機構１４３は、複数の処理ユニット１４１の中のいずれか１つに、基板９を搬送する。処理ユニット１４１内では、基板９に対して、露光後の洗浄が行われる。その後、第４搬送機構１４３が、処理ユニット１４１から基板９を取り出し、パスユニット１２５またはパスユニット１３５へ、基板９を移載する。

第２搬送機構１２３は、パスユニット１２５から基板９を取り出して、複数の処理ユニット１２１の中のいずれか１つに、基板９を搬送する。処理ユニット１２１内では、基板９の表面に現像液が塗布される。これにより、基板９の表面に形成されたレジスト膜の露光部分または未露光部分がエッチングされる。その結果、基板９の表面にパターンが形成される。その後、第２搬送機構１２３が、処理ユニット１２１から基板９を取り出し、基板９をパスユニット１２４へ移載する。

一方、第３処理ブロック１３においても、第２処理ブロック１２と同様の処理が並行して行われる。すなわち、第３搬送機構１３３が、パスユニット１３５から基板９を取り出して、複数の処理ユニット１３１の中のいずれか１つに、基板９を搬送する。処理ユニット１３１内では、基板９の表面に現像液が塗布される。これにより、基板９の表面に形成されたレジスト膜の露光部分または未露光部分がエッチングされる。その結果、基板９の表面にパターンが形成される。その後、第３搬送機構１３３が、処理ユニット１３１から基板９を取り出し、基板９をパスユニット１３４へ移載する。

最後に、第１搬送機構１１２が、パスユニット１２４またはパスユニット１３４から、処理後の基板９を取り出す。そして、ロードポート１１１上のＦＯＵＰ９０の蓋部が、図示しない開閉機構により開放され、第１搬送機構１１２が、ＦＯＵＰ９０内へ基板９を収納する。なお、この基板処理装置１は、多数の基板９を順次に搬送しながら、各基板９に対して、上述した一連の処理を行う。したがって、稼働中の基板処理装置１内においては、複数枚の基板９が同時に搬送または処理されている。

＜３．基板処理装置のネットワーク構成＞
図２は、基板処理装置１の制御に関わるネットワーク構成を示したブロック図である。図２に示すように、基板処理装置１の制御部２０は、４つの制御コントローラ３０と、これらを統括する１つのメインコントローラ４０と、を有する。制御コントローラ３０およびメインコントローラ４０には、それぞれ、ＣＰＵやメモリを有するコンピュータが用いられる。４つの制御コントローラ３０と、メインコントローラ４０とは、ＬＡＮ（Local Area Network）を介して、互いに通信可能に接続されている。以下では、４つの制御コントローラ３０と、メインコントローラ４０とを繋ぐネットワークを、「コントローラネットワーク５０」と称する。

４つの制御コントローラ３０は、ルータ６１を介して、上述した第１処理ブロック１１、第２処理ブロック１２、第３処理ブロック１３、および第４処理ブロック１４（以下、これらの４つの処理ブロックうちのいずれか１つを指して「処理ブロック１０」と称する）と接続されている。ただし、この基板処理装置１では、制御コントローラ３０と、制御対象となる処理ブロック１０との対応関係が、固定されていない。各制御コントローラ３０は、担当する処理ブロック１０を示すＩＰアドレスを取得することで、当該処理ブロック１０と、ルータ６１を介して通信可能となる。したがって、ＩＰアドレスを変更すれば、制御コントローラ３０と、制御対象となる処理ブロック１０との対応関係を、動的に変更することができる。

既述の通り、各処理ブロック１０の中には、制御対象となる複数のデバイス（以下、「デバイス１０１」と称する）が存在する。複数のデバイス１０１には、予め固定のＩＰアドレスであるデバイスネットワークアドレスＤＡが、割り当てられている。同一の処理ブロック１０に属するデバイス１０１のデバイスネットワークアドレスＤＡは、上位の桁に共通部分（例えば、「192.168.1」の部分）を有する。そして、これらの共通部分をもつデバイス１０１同士が、ルータ６１を介して互いに通信可能なデバイスネットワーク６０を形成する。このように、この基板処理装置１では、処理ブロック１０ごとに、ローカルなデバイスネットワーク６０が形成されている。

図３は、コントローラネットワーク５０の一部分を示したブロック図である。図３中に概念的に示したように、各制御コントローラ３０は、アドレス要求部３１、データ要求部３２、および状態データ転送部３３を有する。アドレス要求部３１は、制御コントローラ３０の起動後に、メインコントローラ４０に対して、ＩＰアドレスの送信要求を示す信号Ｓ１を送信する。データ要求部３２は、ＩＰアドレスの取得後に、メインコントローラ４０に対して、必要なデータの送信要求を示す信号Ｓ２を送信する。なお、ＩＰアドレスおよび必要なデータの送信先は、送信要求を発する制御コントローラ３０自身とされる。また、状態データ転送部３３は、制御コントローラ３０が停止（シャットダウン）するときに、その時点における処理ブロック１０の状態を示す状態データＤ２を、メインコントローラ４０へ転送する。

なお、アドレス要求部３１、データ要求部３２、および状態データ転送部３３の各機能は、制御コントローラ３０にインストールされたコンピュータプログラムＰ１に従って、制御コントローラ３０内のＣＰＵが動作することにより、実現される。

一方、図３中に概念的に示したように、メインコントローラ４０は、アドレス送信部４１と、データ送信部４２とを有する。アドレス送信部４１は、制御コントローラ３０からの送信要求に応じて、要求元の制御コントローラ３０に、ＩＰアドレス（後述するコントローラネットワークアドレスＣＡおよびデバイスネットワークアドレスＤＡ）を送信する。データ送信部４２は、制御コントローラ３０からの送信要求に応じて、要求元の制御コントローラ３０に、担当する処理ブロック１０の制御に必要なデータ（設定データＤ１および状態データＤ２）を送信する。

なお、ＩＰアドレス送信部４１およびデータ送信部４２の各機能は、メインコントローラ４０にインストールされたコンピュータプログラムＰ０に従って、メインコントローラ４０内のＣＰＵが動作することにより実現される。

また、図２および図３に示すように、メインコントローラ４０は、記憶部４３を有する。記憶部４３は、メインコントローラ４０となるコンピュータに内蔵されたハードディスクドライブであってもよく、コンピュータに接続される外付けの記憶装置であってもよい。図２に示すように、記憶部４３内には、設定データＤ１、状態データＤ２、およびテーブルデータＤ３を含む多数のデータが、記憶されている。

設定データＤ１は、制御コントローラ３０による処理ブロック１０の制御に必要なパラメータデータである。設定データＤ１には、各デバイス１０１のハードウエア構成を記述したデータや、ハードウエアの動作を指定する設定値が含まれる。設定データＤ１の内容は、処理ブロック１０における基板処理の進行状態に拘わらず一定である。

記憶部４３内には、４つの処理ブロック１０のそれぞれに対応する設定データＤ１が、個別に記憶されている。例えば、記憶部４３内に処理ブロック１０毎に固有のフォルダが用意され、各フォルダ内に設定データＤ１が保存される。これにより、処理ブロック１０と設定データＤ１との対応関係が定められている。ただし、処理ブロック１０と設定データＤ１との対応関係は、他の方法で定められていてもよい。例えば、設定データＤ１のファイル名に、処理ブロック１０を示す文字列を含めるようにしてもよい。

設定データＤ１は、制御コントローラ３０の起動時に、制御コントローラ３０からの送信要求に応じて、要求元の制御コントローラ３０へ送信される。４つの制御コントローラ３０には、あらかじめ共通の制御プログラム（アプリケーションソフトウエア）Ｐ２がインストールされている。制御コントローラ３０は、当該制御プログラムＰ２と、メインコントローラ４０から受信する設定データＤ１とを参照することによって、処理ブロック１０内の複数のデバイス１０１を動作制御する。

状態データＤ２は、処理ブロック１０の状態を示すデータである。状態データＤ２には、処理した基板９のカウント数や、処理液の流量積算値などが含まれる。状態データＤ２は、処理ブロック１０における基板処理の進行に伴って変化する。

状態データＤ２は、制御コントローラ３０の停止時に、制御コントローラ３０からメインコントローラ４０へ転送され、記憶部４３に保存される。記憶部４３には、処理ブロック１０毎に個別に状態データＤ２を保存することができる。例えば、記憶部４３内に処理ブロック毎に固有のフォルダが用意され、各フォルダ内に状態データＤ２を保存する。これにより、処理ブロック１０と状態データＤ２との対応関係が定められる。ただし、処理ブロック１０と状態データＤ２との対応関係は、他の方法で定められていてもよい。例えば、状態データＤ２のファイル名に、処理ブロック１０を示す文字列を含めるようにしてもよい。

また、記憶部４３内に保存された状態データＤ２は、制御コントローラ３０の起動時に、制御コントローラ３０からの送信要求に応じて、制御コントローラ３０へ送信される。制御コントローラ３０は、メインコントローラ４０から送信される状態データＤ２を参照することによって、処理ブロック１０における基板９の処理を、中断時の状態から再開させことができる。

図４は、テーブルデータＤ３の例を示した図である。図４に示すように、テーブルデータＤ３には、４つのコントローラネットワークアドレスＣＡ（192.168.0.2〜192.168.0.5）が、記述されている。コントローラネットワークアドレスＣＡは、コントローラネットワーク５０において各制御コントローラ３０を特定するためのＩＰアドレスである。また、テーブルデータＤ３には、各コントローラネットワークアドレスＣＡに対応する処理ブロック１０が、それぞれ記述されている。すなわち、このテーブルデータＤ３は、コントローラネットワークアドレスＣＡと、当該アドレスが付与された制御コントローラ３０が制御を担当する処理ブロック１０と、の対応関係を規定している。

また、図４のテーブルデータＤ３には、各コントローラネットワークアドレスＣＡに対応するデバイスネットワークアドレスＤＡも、記述されている。デバイスネットワークアドレスＤＡは、制御コントローラ３０の起動時に、コントローラネットワークアドレスＣＡとともに制御コントローラ３０に付与される。制御コントローラ３０は、デバイスネットワークアドレスＤＡを取得することにより、当該デバイスネットワークアドレスＤＡと共通部分が一致するデバイスネットワークアドレスＤＡをもつデバイス１０１群と、ルータ６１を介して通信可能となる。すなわち、制御コントローラ３０は、デバイスネットワークアドレスＤＡを取得することにより、担当する処理ブロック１０のデバイスネットワーク６０に参加することができる。

また、図４のテーブルデータＤ３は、「アドレス送信対象／除外」の列を有する。この列には、ＩＰアドレス（コントローラネットワークアドレスＣＡおよびデバイスネットワークアドレスＤＡ）の制御コントローラ３０への送信を、許可するか否かが設定されている。「対象」となっている場合は、同じ行のＩＰアドレスが、制御コントローラ３０からの送信要求に応じて、制御コントローラ３０へ送信される。「除外」となっている場合は、同じ行のＩＰアドレスが、制御コントローラ３０への送信対象から除外される。

「アドレス送信対象／除外」の列は、ユーザの入力操作によって、書き換えることができる。したがって、ユーザは、テーブルデータＤ３に記述された複数のＩＰアドレスのうち、送信対象とするアドレスまたは送信対象から除外するアドレスを、任意に指定することができる。

また、図４のテーブルデータＤ３は、「アドレス送信済／未送信」の列を有する。この列には、ＩＰアドレスが制御コントローラ３０に付与されているか否かが、規定される。「送信済」となっている場合は、同じ行のＩＰアドレスが、制御コントローラ３０に現在付与中であることを示す。「未送信」となっている場合は、同じ行のＩＰアドレスが、いずれの制御コントローラ３０にも現在付与されていないことを示す。

「アドレス送信済／未送信」の列は、メインコントローラ４０自身によって書き換えられる。「送信済」となっている行のＩＰアドレスは、制御コントローラ３０への送信対象から除外される。これにより、２つ以上の制御コントローラ３０に同一のＩＰアドレスを送信することが、防止される。

＜４．制御コントローラの起動時の動作について＞
図５は、制御コントローラ３０を起動させたときに、当該制御コントローラ３０とメインコントローラ４０との間で行われる処理の流れを示したフローチャートである。以下では、図３および図５を参照しつつ、制御コントローラ３０およびメインコントローラ４０の動作について説明する。

まず、制御コントローラ３０を起動させる（ステップＳ１１）。この時点では、制御コントローラ３０にＩＰアドレスは設定されていない。したがって、制御コントローラ３０が制御を担当する処理ブロック１０は決まっていない。起動した制御コントローラ３０は、メインコントローラ４０に、ＩＰアドレスの送信要求を示す信号Ｓ１を送信する（ステップＳ１２）。この信号Ｓ１の送信は、上述したアドレス要求部３１により行われる。

メインコントローラ４０は、信号Ｓ１を受信すると、記憶部４３からテーブルデータＤ３を読み出す。そして、テーブルデータＤ３に基づいて、制御コントローラ３０へ送信すべきＩＰアドレスを決定する。ここでは、テーブルデータＤ３を先頭の行から順番に参照し、「アドレス送信対象／除外」が「対象」となっており、かつ、「アドレス送信済／未送信」が「未送信」となっている最初の行に記述されたコントローラネットワークアドレスＣＡおよびデバイスネットワークアドレスＤＡを、送信すべきＩＰアドレスとして決定する。そして、これらのＩＰアドレスを、メインコントローラ４０から要求元の制御コントローラ３０へ、送信する（ステップＳ２１）。このＩＰアドレスの送信は、上述したアドレス送信部４１により行われる。

制御コントローラ３０は、これらのＩＰアドレスを受信すると、受信したＩＰアドレスを、ネットワークアダプタに設定する（ステップＳ１３）。これにより、当該制御コントローラ３０が制御を担当する処理ブロック１０が決定される。また、当該制御コントローラ３０は、担当する処理ブロック１０のデバイスネットワーク６０に参加し、処理ブロック１０内の複数のデバイス１０１と、ルータ６１を介して通信可能となる。一方、メインコントローラ４０は、テーブルデータＤ３内の当該ＩＰアドレスに対応する「アドレス送信済／未送信」の欄を「送信済」に変更する（ステップＳ２２）。

次に、制御コントローラ３０は、担当する処理ブロック１０の制御に必要なデータの送信要求を示す信号Ｓ２を、メインコントローラ４０に送信する（ステップＳ１４）。この信号Ｓ２の送信は、上述したデータ要求部３２により行われる。

メインコントローラ４０は、信号Ｓ２を受信すると、記憶部４３から設定データＤ１と状態データＤ２とを読み出す。ここでは、メインコントローラ４０が、要求元の制御コントローラ３０のＩＰアドレスを参照し、当該ＩＰアドレスに対応する処理ブロック１０の設定データＤ１および状態データＤ２を、記憶部４３から読み出す。そして、当該設定データＤ１および状態データＤ２を、メインコントローラ４０から要求元の制御コントローラ３０へ、送信する（ステップＳ２３）。この設定データＤ１および状態データＤ２の送信は、上述したデータ送信部４２により行われる。

制御コントローラ３０は、設定データＤ１および状態データＤ２を受信すると、受信した設定データＤ１を所定の記憶領域に保存する（ステップＳ１５）。その後、制御コントローラ３０は、制御プログラムＰ２を起動させる。制御コントローラ３０は、メインコントローラ４０から取得した設定データＤ１および状態データＤ２を参照しつつ、制御プログラムＰ２に従って、担当する処理ブロック１０内の各デバイス１０１を動作制御する（ステップＳ１６）。

以上のように、この基板処理装置１では、制御コントローラ３０と制御対象となる処理ブロック１０との関係が固定されていない。制御コントローラ３０が制御を担当する処理ブロック１０は、制御コントローラ３０の起動時に、メインコントローラ４０から所定の順序で送信されるＩＰアドレスによって、決定される。このため、各制御コントローラ３０に、状況に応じて異なる処理ブロック１０の制御を担当させることができる。また、ＩＰアドレスの設定処理が自動的に行われるため、基板処理装置１の立ち上げ時などにおける制御コントローラ３０の設定作業を軽減できる。

＜５．制御コントローラの停止時の動作について＞
図６は、制御コントローラ３０を停止（シャットダウン）させる前に、当該制御コントローラ３０とメインコントローラ４０との間で行われる処理の流れを示したフローチャートである。以下では、図３および図６を参照しつつ、制御コントローラ３０およびメインコントローラ４０の動作について説明する。

制御コントローラ３０は、まず、制御プログラムＰ２を停止させる（ステップＳ３１）。これにより、担当する処理ブロック１０の動作制御が停止し、当該処理ブロック１０における基板９の処理が中断する。次に、その時点における処理ブロック１０の状態データＤ２が、制御コントローラ３０からメインコントローラ４０へ転送される（ステップＳ３２）。この状態データＤ２の転送は、上述した状態データ転送部３３により行われる。メインコントローラ４０は、状態データＤ２を受信すると、受信した状態データＤ２を、記憶部４３内の所定の記憶領域に保存する（ステップＳ４１）。

次に、制御コントローラ３０は、メインコントローラ４０に対して、ＩＰアドレスの返却を通知する（ステップＳ３３）。メインコントローラ４０は、当該通知を受けると、テーブルデータＤ３内の該当するＩＰアドレスの「アドレス送信済／未送信」の欄を、「送信済」から「未送信」に変更する（ステップＳ４２）。

その後、制御コントローラ３０は、オペレーティングシステム（ＯＳ）を停止し、電源をシャットダウンする（ステップＳ３４）。

以上のように、この基板処理装置１では、制御コントローラ３０の停止時点における状態データＤ２を、メインコントローラ４０に保存する。保存された状態データＤ２は、上述したステップＳ２３において、当該処理ブロック１０を新たに担当する制御コントローラ３０に送信される。このため、状態データＤ２を取得した制御コントローラ３０は、当該処理ブロック１０の制御を、中断時の状態から再開することができる。

＜６．一部の制御コントローラが故障した場合＞
４つの制御コントローラ３０のうちの１つが故障した場合、故障した制御コントローラ３０を、新しい制御コントローラ３０と交換する。故障した制御コントローラ３０をシャットダウンさせるときには、制御コントローラ３０が上述したステップＳ３１〜Ｓ３４を実行し、メインコントローラ４０が上述したステップＳ４１〜Ｓ４２を実行する。また、新しい制御コントローラ３０を起動させるときには、制御コントローラ３０が上述したステップＳ１１〜Ｓ１６を実行し、メインコントローラ４０が上述したＳ２１〜Ｓ２３の動作を実行する。これにより、新しい制御コントローラ３０に、故障した制御コントローラ３０と同一のＩＰアドレスが付与される。また、新しい制御コントローラ３０は、故障した制御コントローラ３０と同一の設定データＤ１および状態データＤ２を取得する。したがって、故障した制御コントローラ３０が制御していた処理ブロック１０を、新しい制御コントローラ３０が、引き続き制御することができる。

ここで、制御コントローラ３０の故障時に、応急措置として縮退運転を行う場合について、説明する。

例えば、第４処理ブロック１４を担当している制御コントローラ３０が故障などで使用できなくなった場合を想定する。第４処理ブロック１４は、直列処理ブロックであるため、そのままでは基板９の処理を進行させることができない。この場合、基板処理装置１のユーザは、メインコントローラ４０を操作して、テーブルデータＤ３内の第３処理ブロック１３に対応する「アドレス送信対象」を「除外」に設定する。その後、故障した制御コントローラ３０以外の３つの制御コントローラ３０を再起動する。

そうすると、再起動した３つの制御コントローラ３０には、第１処理ブロック１１、第２処理ブロック１２、および第４処理ブロック１４に対応するＩＰアドレスが送信される。すなわち、再起動前に第１処理ブロック１１、第２処理ブロック１２、および第３処理ブロック１３を制御していた３つの制御コントローラ３０が、再起動後に、第１処理ブロック１１、第２処理ブロック１２、および第４処理ブロック１４を、それぞれ制御することとなる。これにより、第１処理ブロック１１、第２処理ブロック１２、および第４処理ブロック１４を用いて、基板９の処理を進行させることが可能となる。

このように、本実施形態では、テーブルデータＤ３内の「アドレス送信対象」の列を書き換えることで、送信対象となるＩＰアドレスまたは送信対象から除外するＩＰアドレスを指定することができる。テーブルデータＤ３を書き換えるときには、直列処理ブロックに対応するＩＰアドレスが優先的に送信されるよう、一対の並列処理ブロックのいずれか一方に対応するＩＰアドレスを「除外」とすればよい。このようにすれば、正常に動作する制御コントローラ３０の数が処理ブロック１０の数よりも少ないときに、全ての基板９が通過する直列処理ブロックを、優先的に動作させることができる。したがって、基板処理装置１の全体を停止させることなく、一部の処理ブロック１０のみを用いて、いわゆる縮退運転を行うことができる。

＜７．変形例＞
以上、本発明の主たる実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。

図７は、一変形例に係る基板処理装置１の制御系の構成を示したブロック図である。図７の例では、処理ブロック１０の数が４つであるのに対し、それよりも多い５つの制御コントローラ３０が、予めルータ６１に接続されている。５つの制御コントローラ３０のうちの４つは、それぞれ、処理ブロック１０の制御を担当する。そして、残りの１つの制御コントローラ３０は、予備の制御コントローラ３０として待機する。

図７の例において、処理ブロック１０を制御する４つの制御コントローラ３０のうちの１つが故障した場合、当該制御コントローラ３０をシャットダウンして、予備の制御コントローラ３０を起動させる。そうすると、予備の制御コントローラ３０に、故障した制御コントローラ３０と同一のＩＰアドレス、設定データＤ１、および状態データＤ２が付与される。したがって、故障した制御コントローラ３０が制御していた処理ブロック１０を、予備の制御コントローラ３０が引き続き制御できる。

このようにすれば、縮退運転を行うことなく、基板処理装置１の全ての処理ブロック１０において、基板９の処理を迅速に再開させることができる。

図８は、他の変形例に係るテーブルデータＤ３の例を示した図である。図８のテーブルデータＤ３では、予め優先度の高いものから順に、ＩＰアドレスが記述されている。すなわち、直列処理ブロックである第１処理ブロック１１および第４処理ブロック１４に対応するＩＰアドレスを、先頭から１行目と２行目に記述し、並列処理ブロックである第２処理ブロック１２および第３処理ブロック１３に対応するＩＰアドレスを、３行目と４行目に記述している。

このようにすれば、正常に動作する制御コントローラの数が処理ブロックの数よりも少ないときに、テーブルデータＤ３の先頭から順にＩＰアドレスを送信すれば、縮退運転が可能となる。したがって、送信対象とするＩＰアドレスまたは送信対象から除外するＩＰアドレスを、ユーザが指定する必要はない。すなわち、テーブルデータＤ３内の「アドレス送信対象／除外」の列が不要となる。

また、上記の実施形態では、メインコントローラ４０が、コントローラネットワークアドレスＣＡおよびデバイスネットワークアドレスＤＡの双方を、制御コントローラ３０へ送信していた。しかしながら、メインコントローラ４０は、コントローラネットワークアドレスＣＡのみを、制御コントローラ３０へ送信してもよい。その場合、各制御コントローラ３０に、予めコントローラネットワークアドレスＣＡとデバイスネットワークアドレスＤＡとの対応関係を記憶させておき、制御コントローラ３０は、取得したコントローラネットワークアドレスＣＡに基づいて、それに対応するデバイスネットワークアドレスＤＡを、自身に設定するようにすればよい。

また、上記の実施形態では、制御コントローラ３０起動させたときに、ＩＰアドレスの要求・送信の動作（ステップＳ１２，Ｓ２１）が行われていた。しかしながら、制御コントローラ３０の起動時とは別のタイミングで、ＩＰアドレスの要求・送信の動作を行うようにしてもよい。また、メインコントローラ４０は、ＩＰアドレスを送信した後、制御コントローラ３０からのデータの送信要求を待たずに、制御コントローラ３０に必要なデータを送信するようにしてもよい。

また、上記の実施形態では、基板処理装置１が、４つの処理ブロック１０を有していた。しかしながら、基板処理装置１が有する処理ブロック１０の数は、２〜３つであってもよく、５つ以上であってもよい。

また、上記の基板処理装置１は、半導体ウェハの製造工程に用いられるものであったが、本発明の制御方法および基板処理装置は、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、カラーフィルタ用基板、記録ディスク用基板、太陽電池用基板などの他の精密電子装置用基板の製造工程に用いられるものであってもよい。

また、基板処理装置の細部の構成については、本願の各図に示された構成と、相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。

１ 基板処理装置
９ 基板
１０ 処理ブロック
１１ 第１処理ブロック
１２ 第２処理ブロック
１４ 第４処理ブロック
２０ 制御部
３０ 制御コントローラ
３１ アドレス要求部
３２ データ要求部
３３ 状態データ転送部
４０ メインコントローラ
４１ アドレス送信部
４２ データ送信部
４３ 記憶部
５０ コントローラネットワーク
６０ デバイスネットワーク
６１ ルータ
９０ ＦＯＵＰ
１０１ デバイス
ＣＡ コントローラネットワークアドレス
ＤＡ デバイスネットワークアドレス
Ｄ１ 設定データ
Ｄ２ 状態データ
Ｄ３ テーブルデータ
Ｐ０ コンピュータプログラム
Ｐ１ コンピュータプログラム
Ｐ２ 制御プログラム
Ｓ１ ＩＰアドレスの送信要求を示す信号
Ｓ２ 必要なデータの送信要求を示す信号

Claims (13)

1. それぞれに個別のアドレスが割り当てられた複数の処理ブロックを有する基板処理装置を、複数の制御コントローラと、前記複数の制御コントローラを統括するメインコントローラとを用いて制御する制御方法であって、
   前記メインコントローラに、前記複数の制御コントローラのうちのいずれか１つを送信先とする前記アドレスの送信要求を行うアドレス要求工程と、
   前記送信要求に応じて、前記メインコントローラから前記送信先の制御コントローラへ、前記アドレスを所定の順序に従って送信するアドレス送信工程と、
   前記メインコントローラから前記送信先の制御コントローラへ、前記アドレスに対応する処理ブロックにおいて必要なデータを送信するデータ送信工程と、
   を有し、
   前記必要なデータは、前記処理ブロックにおける処理の進行によって変化しない設定データを含む、制御方法。
2. 請求項１に記載の制御方法であって、
   前記アドレス要求工程では、起動された前記制御コントローラが、前記メインコントローラに、前記アドレスの送信要求を示す信号を送信する、制御方法。
3. 請求項１または請求項２に記載の制御方法であって、
   前記必要なデータは、前記処理ブロックにおける処理の進行によって変化する状態データをさらに含む、制御方法。
4. 請求項３に記載の制御方法であって、
   前記制御コントローラによる前記処理ブロックの制御を停止するときに、前記制御コントローラから前記メインコントローラへ前記状態データを転送し、前記メインコントローラに前記状態データを保存する状態データ保存工程
   をさらに有する、制御方法。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の制御方法であって、
   前記メインコントローラは、前記複数の処理ブロックに対応する前記複数のアドレスが記述されたテーブルデータを有し、
   前記テーブルデータは、前記複数のアドレスのうち、送信対象とするアドレスまたは送信対象から除外するアドレスを指定する情報を含み、
   前記アドレス送信工程では、前記メインコントローラが、前記テーブルデータ内の送信対象のアドレスのみを送信する、制御方法。
6. 請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の制御方法であって、
   前記複数の処理ブロックは、
   複数の基板を並列に処理する複数の並列処理ブロックと、
   全ての基板が通過する直列処理ブロックと、
   を含み、
   前記アドレス送信工程では、前記直列処理ブロックに対応するアドレスを優先的に送信する、制御方法。
7. 基板の処理を行う複数の処理ブロックと、
   前記処理ブロックを制御する複数の制御コントローラと、
   前記複数の制御コントローラを統括するメインコントローラと、
   を備え、
   前記複数の処理ブロックのそれぞれに、個別のアドレスが割り当てられ、
   前記メインコントローラは、
   前記複数の制御コントローラのうちのいずれか１つを送信先とする前記アドレスの送信要求を受けると、前記送信先の制御コントローラへ、前記アドレスを所定の順序に従って送信するアドレス送信手段と、
   前記アドレスに対応する処理ブロックにおいて必要なデータを、前記送信先の制御コントローラへ送信するデータ送信手段と、
   を有し、
   前記必要なデータは、前記処理ブロックにおける処理の進行によって変化しない設定データを含む、基板処理装置。
8. 請求項７に記載の基板処理装置であって、
   前記制御コントローラは、起動後に、前記メインコントローラに対して、前記アドレスの送信要求を示す信号を送信するアドレス要求手段を有する、基板処理装置。
9. 請求項７または請求項８に記載の基板処理装置であって、
   前記必要なデータは、前記処理ブロックにおける処理の進行によって変化する状態データをさらに含む、基板処理装置。
10. 請求項９に記載の基板処理装置であって、
    前記制御コントローラは、前記処理ブロックの制御を停止するときに、前記メインコントローラへ前記状態データを転送する状態データ転送手段を有する、基板処理装置。
11. 請求項７ないし請求項１０のいずれか１項に記載の基板処理装置であって、
    前記メインコントローラは、前記複数の処理ブロックに対応する前記複数のアドレスが記述されたテーブルデータを有し、
    前記テーブルデータは、前記複数のアドレスのうち、送信対象とするアドレスまたは送信対象から除外するアドレスを指定する情報を含み、
    前記アドレス送信手段は、前記テーブルデータ内の送信対象のアドレスのみを送信する、基板処理装置。
12. 請求項７ないし請求項１１のいずれか１項に記載の基板処理装置であって、
    前記複数の処理ブロックは、
    複数の基板を並列に処理する複数の並列処理ブロックと、
    全ての基板が通過する直列処理ブロックと、
    を含み、
    前記アドレス送信手段は、前記直列処理ブロックに対応するアドレスを優先的に送信する、基板処理装置。
13. 請求項７ないし請求項１２のいずれか１項に記載の基板処理装置であって、
    前記制御コントローラの数は、前記処理ブロックの数よりも多い、基板処理装置。

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