JP2009158626A - 処理システム、処理システムの制御方法およびソフトウェアのバージョンアップ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ホットシャットダウン処理を行うように指令が入力されると、処理チャンバ1a〜1dの待機状態における各エンドデバイス201に関するI/O情報がMC401のI/O情報記憶部としての不揮発性メモリ部407に書き込まれる。MC401のCPU403のフラグレジスタ403aには、ホットシャットダウン処理が選択されたことを示すフラグ情報が保存される。ホットシャットダウン処理が選択された場合、処理チャンバ1a〜1dの各エンドデバイス201は待機状態に維持される。
【選択図】 図4
Description
被処理体を処理する一ないし複数の処理装置と、
前記処理装置を制御するコントローラと、
を備え、
前記コントローラの電源を切断する場合、前記処理装置を構成する複数のエンドデバイスをすべて停止させた停止状態と、前記複数のエンドデバイスの一部または全部で被処理体への処理を行う準備がなされた待機状態と、を選択できるように構成した。
被処理体を処理する一ないし複数の処理装置と、
前記処理装置毎に設けられて各処理装置を制御する複数の第1のコントローラと、
前記複数の第1のコントローラに接続され、これらを統括して制御する第2のコントローラと
を備え、
前記第2のコントローラの電源を切断する場合、前記処理装置を構成する複数のエンドデバイスをすべて停止させた停止状態と、前記複数のエンドデバイスの一部または全部で被処理体への処理を行う準備がなされた待機状態と、を選択できるように構成した。
前記ソフトウェアにより、前記第1のコントローラが、前記I/O情報記憶部に保存された前記I/O情報を参照し、参照された前記I/O情報と同じI/O情報を前記複数のエンドデバイスへそれぞれ出力するようにしてもよい。
前記待機状態における前記エンドデバイスに関するI/O情報を前記コントローラに接続されたI/O情報記憶部に保存しておくステップと、
前記待機状態が選択されて前記コントローラの電源が切断され、前記コントローラに新しいソフトウェアがインストールされた後、前記コントローラが起動した際に、前記I/O情報記憶部に保存された前記待機状態における前記エンドデバイスに関するI/O情報を参照するステップと、
を備えている。
前記コントローラにおいて、前記待機状態に関する前記エンドデバイスのI/O情報をI/O情報記憶部に保存しておく工程と、
前記待機状態を選択して前記コントローラの電源を切断する工程と、
前記ソフトウェアをバージョンアップする工程と、
前記コントローラを起動させる工程と、
を備えており、
前記コントローラを起動させる工程は、前記コントローラが起動した際に、前記I/O情報記憶部に保存された前記待機状態における前記エンドデバイスに関するI/O情報を参照するものである。
Claims (19)
- 被処理体に対し所定の処理を行う処理システムであって、
被処理体を処理する一ないし複数の処理装置と、
前記処理装置を制御するコントローラと、
を備え、
前記コントローラの電源を切断する場合、前記処理装置を構成する複数のエンドデバイスをすべて停止させた停止状態と、前記複数のエンドデバイスの一部または全部で被処理体への処理を行う準備がなされた待機状態と、を選択できるように構成したことを特徴とする処理システム。 - 前記コントローラは、前記待機状態における前記エンドデバイスに関するI/O情報を保存しておくI/O情報記憶部を備えていることを特徴とする請求項1に記載の処理システム。
- 前記待機状態が選択されて前記コントローラの電源が切断された後、前記コントローラが次に起動した場合、前記コントローラは前記I/O情報記憶部に保存された前記I/O情報を参照し、参照された前記I/O情報と同じI/O情報を前記複数のエンドデバイスへそれぞれ出力することを特徴とする請求項2に記載の処理システム。
- 前記I/O情報には、固有の管理番号が割り当てられていることを特徴とする請求項3に記載の処理システム。
- 被処理体に対し所定の処理を行う処理システムであって、
被処理体を処理する一ないし複数の処理装置と、
前記処理装置毎に設けられて各処理装置を制御する複数の第1のコントローラと、
前記複数の第1のコントローラに接続され、これらを統括して制御する第2のコントローラと
を備え、
前記第2のコントローラの電源を切断する場合、前記処理装置を構成する複数のエンドデバイスをすべて停止させた停止状態と、前記複数のエンドデバイスの一部または全部で被処理体への処理を行う準備がなされた待機状態と、を選択できるように構成したことを特徴とする処理システム。 - 前記第1のコントローラは、前記待機状態における前記エンドデバイスに関するI/O情報を保存しておくI/O情報記憶部を備えていることを特徴とする請求項1に記載の処理システム。
- 前記待機状態が選択されて前記第2のコントローラの電源が切断された後、前記第2のコントローラが次に起動した場合、前記第2のコントローラは前記第1のコントローラへソフトウェアをロードし、
前記ソフトウェアにより、前記第1のコントローラが、前記I/O情報記憶部に保存された前記I/O情報を参照し、参照された前記I/O情報と同じI/O情報を前記複数のエンドデバイスへそれぞれ出力することを特徴とする請求項6に記載の処理システム。 - 前記I/O情報には、固有の管理番号が割り当てられていることを特徴とする請求項7に記載の処理システム。
- 被処理体が半導体基板であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の処理システム。
- 前記所定の処理が、成膜処理であることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の処理システム。
- 前記エンドデバイスとして、被処理体を載置する載置台に設けられた加熱装置を含むことを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の処理システム。
- 被処理体に対し所定の処理を行う一ないし複数の処理装置と、前記処理装置を制御するコントローラと、を備え、前記コントローラの電源を切断する場合、前記処理装置を構成する複数のエンドデバイスをすべて停止させた停止状態と、前記複数のエンドデバイスの一部または全部で被処理体への処理を行う準備がなされた待機状態と、を選択できるように構成された処理システムにおいて前記コントローラ上で動作するソフトウェアをバージョンアップする際に前記処理システムを制御する処理システムの制御方法であって、
前記待機状態における前記エンドデバイスに関するI/O情報を前記コントローラに接続されたI/O情報記憶部に保存しておくステップと、
前記待機状態が選択されて前記コントローラの電源が切断され、前記コントローラに新しいソフトウェアがインストールされた後、前記コントローラが起動した際に、前記I/O情報記憶部に保存された前記待機状態における前記エンドデバイスに関するI/O情報を参照するステップと、
を備えたことを特徴とする処理システムの制御方法。 - 参照された前記I/O情報に基づき、同じI/O情報を前記複数のエンドデバイスへそれぞれ出力するステップを、さらに含むことを特徴とする請求項12に記載の処理システムの制御方法。
- 前記I/O情報には、固有の管理番号が割り当てられていることを特徴とする請求項12または請求項13に記載の処理システムの制御方法。
- バージョンアップ前の前記ソフトウェアとバージョンアップ後の前記新しいソフトウェアにおいて、共通の前記管理番号を用いることを特徴とする請求項14に記載の処理システムの制御方法。
- 被処理体に対し所定の処理を行う一ないし複数の処理装置と、前記処理装置を制御するコントローラと、を備え、前記コントローラの電源を切断する場合、前記処理装置を構成する複数のエンドデバイスをすべて停止させた停止状態と、前記複数のエンドデバイスの一部または全部で被処理体への処理を行う準備がなされた待機状態と、を選択できるように構成された処理システムにおいて前記コントローラ上で動作するソフトウェアをバージョンアップするソフトウェアのバージョンアップ方法であって、
前記コントローラにおいて、前記待機状態に関する前記エンドデバイスのI/O情報をI/O情報記憶部に保存しておく工程と、
前記待機状態を選択して前記コントローラの電源を切断する工程と、
前記ソフトウェアをバージョンアップする工程と、
前記コントローラを起動させる工程と、
を備えており、
前記コントローラを起動させる工程は、前記コントローラが起動した際に、前記I/O情報記憶部に保存された前記待機状態における前記エンドデバイスに関するI/O情報を参照することを特徴とするソフトウェアのバージョンアップ方法。 - 前記参照されたI/O情報に基づき、前記待機状態の直前に行なわれた処理と同じ内容の処理を前記処理装置に行なわせる工程を、さらに含むことを特徴とする請求項16に記載のソフトウェアのバージョンアップ方法。
- 前記I/O情報には、固有の管理番号が割り当てられていることを特徴とする請求項16または請求項17に記載のソフトウェアのバージョンアップ方法。
- バージョンアップ前の前記ソフトウェアとバージョンアップ後の前記新しいソフトウェアにおいて、共通の前記管理番号を用いることを特徴とする請求項16から請求項18のいずれか1項に記載のソフトウェアのバージョンアップ方法。
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