JP2008158769A - 基板処理システム、制御装置、設定情報監視方法および設定情報監視プログラムを記憶した記憶媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】インターロック装置および制御装置に保持された設定情報の整合性を監視する。
【解決手段】基板処理システム１０は、上位ＰＣ１００と安全ＰＬＣ３００とを有する。安全ＰＬＣ３００は、Ｉ／Ｏテーブル３００５およびインターロック条件テーブル３０１０にインターロック機能を作動させるための設定情報を記憶し、通信部３０１５は、それらの設定情報を送信する。上位ＰＣ１００は、受信された設定情報のうち、システムの起動前に受信された設定情報をＩ／Ｏテーブル１０１０およびインターロック条件テーブル１０１５に記憶する。一時記憶部１０２０は、システムの起動後に受信された設定情報を一時的に記憶する。照合部１０２５は、一時記憶部１０２０に記憶された各テーブルの設定情報と各テーブルに記憶された設定情報とを照合する。警告部１０３５は、照合した両設定情報に不一致があった場合、警告する。
【選択図】図１０

Description

本発明は、インターロック装置を備えた基板処理システムおよびインターロック装置に保持された設定情報を監視する制御装置、インターロック装置に保持された設定情報を監視するための方法およびインターロック装置に保持された設定情報を監視するためのプログラムを記憶した記憶媒体に関する。

半導体製造工場では、工場内に配設された複数の基板処理装置にて基板に所望の処理が施される。各基板処理装置には、ネットワークを介して制御装置が接続されていて、制御装置から所定のタイミングに制御信号が出力され、この制御信号にしたがって、たとえば、各種バルブの開閉、ポンプを動かすモータの回転角、ＡＰＣ（Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ：自動圧力調整器）の弁体の開度などの各種機器が駆動される。

このようにして、制御信号に基づき正常に機器を駆動することにより、基板処理装置内にて基板に所望の処理が施される。よって、制御装置から出力された制御信号が誤った信号である場合、基板処理装置内の機器が誤動作し、基板処理装置内を所望の雰囲気に保つことができない。この結果、基板に所望の処理を施すことができないだけでなく、たとえば、搬送中の基板が機器に衝突するなど、事故の発生原因ともなる。

そこで、従来から、インターロック装置を用いて、機器の誤動作を防止する仕組みが考案されている。インターロック装置は、制御装置から出力された制御信号と基板処理装置内の各機器の状態を検知するセンサからの出力信号とを入力し、入力した信号がインターロック条件を満たす場合、制御信号を出力しないように機能する（インターロック機能）。

このようなインターロック装置のうち、ハードインターロック装置は、インターロック条件を回路（ハードウエア）により構築するため、回路設計時の負担が大きい。特に、近年、工場内の基板処理システムが多様化および複雑化していることに伴い、設計時の負担はより増大し、回路の変更、追加も困難となっている。

そこで、システムの保全性を高めるために、回路（ハードウエア）にて構築されていたインターロック条件をプログラム化（ソフトウエア）して制御することが可能なソフトインターロック装置が開発されている（たとえば、特許文献１を参照。）。このソフトインターロック装置のうち、安全ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）は、安全認証されたソフトインターロック装置である。

特開平５−１２０００６号公報

しかし、ハードインターロック装置では、誤った制御信号に応じて各機器が駆動されることを回避することにより、無用な事故を防止して工場内の作業員の安全を確保することはできるものの、誤った制御信号の出力が禁止された原因を瞬時に発見する手段はなかった。よって、どの機器に不具合が生じているのかをつきとめるには、基板処理装置の各機器に取り付けられたセンサ、スイッチの値を人間の目で確認する必要があった。基板処理装置に設けられた機器は、たとえば、バルブだけでも２００個以上であることを考えると、各機器の状態を人間の目でひとつひとつ確認する作業は、システム管理者にとって非常に骨が折れかつミスも生じやすい。

また、ハードインターロック装置またはソフトインターロック装置のいずれの場合であっても、装置がバージョンアップされた場合、インターロック装置自体の変更に伴い、制御装置側のインターロック機能に関する設定情報も変更する必要がある。しかし、これらの更新作業は人手によるため、インターロック装置自体のバージョンアップだけ行い、制御装置側の設定情報の更新を忘れることがある。このような場合、制御装置側の設定情報とインターロック装置側の設定情報との整合性が取れていないので、インターロック装置が正しく機能しない。このような状況においても、システム管理者は、何が問題なのかをつきとめるためにセンサやスイッチの値をひとつひとつ確認する必要があり、非常に負担が大きかった。

これに対して、インターロック回路をチェックする測定器を新たに設けることにより、人手によっていた確認作業を自動化することも考えられる。しかし、この場合、既存の機器だけで確認作業を自動化することができず、測定器を既存のシステムに組み込むために時間と費用を費やすだけでなく、一時的にではあってもシステムの稼働状況を不安定な状態にするという問題があった。

さらに、従前のインターロック装置では、インターロック機能を働かせないように選択することができるが、このような選択をした後、正常状態（インターロック機能が働く状態）に戻すことを忘れる場合がある。この場合、インターロック装置から誤った制御信号が出力される可能性があり、この結果、基板処理装置のいずれかの機器にて誤動作が生じる。

そこで、本発明では、インターロック装置に保持された設定情報の整合性を監視する制御装置を備えた基板処理システムおよびその制御装置、インターロック装置に保持された設定情報の整合性を監視する方法およびその監視プログラムを記憶した記憶媒体を提供する。

すなわち、上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、基板処理装置を制御するための制御信号を出力する制御装置と、前記制御装置に接続され、前記制御装置から出力された制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するソフトインターロック装置と、を備える基板処理システムが提供される。

この基板処理システムでは、前記ソフトインターロック装置は、前記インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を記憶する第１の条件テーブルと、少なくとも前記基板処理システムの起動後、前記第１の条件テーブルに記憶された設定情報を送信する第１の通信部とを有している。前記制御装置は、前記第１の通信部により送信された設定情報を受信する第２の通信部と、前記受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動前に受信された設定情報を記憶する第２の条件テーブルと、前記受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動後に受信された設定情報を一時的に記憶する一時記憶部と、前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する照合部と、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する警告部とを有する。

これによれば、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報は、ソフトインターロック装置から送信され、制御装置にて予め登録されている。このような状況において、基板処理システムの起動後、再びソフトインターロック装置から送信された設定情報は、一時的に一時記憶部に記憶され、基板処理システムの起動前に予め登録されていた第２のテーブルの設定情報と照合される。照合した結果、両設定情報に不一致があった場合、警告が出力される。

この警告は、第１の条件テーブルと第２の条件テーブルの設定情報に違いがあることを知らせるためのものであり、これにより、基板処理の実行を開始する前に、メンテナンスを実行することをシステム管理者に促すことができる。この結果、システム管理者は、インターロック機能の不具合または設定情報の不具合を解消する作業を基板の処理が実行される前に行うことができる。これにより、基板処理時のスループットを上げることができる。また、インターロック装置から誤った制御信号が出力されるために生じる機器の誤動作により、思わぬ事故が発生することを防止することができる。

また、上記動作はすべて自動にて行われるため、従来に比べ、手動によるミスを防ぐことができる。さらに、これによれば、設定情報が適正であるか否かは、既存の基板処理システムの機器だけを用いて自動的に判定され、新たな測定器を必要としない、これにより、かかる機能を低コストかつ容易に基板処理システムに導入することができる。

前記制御装置は、複数の基板処理装置に対応して設けられた複数のソフトインターロック装置に接続され、前記第２の通信部は、各ソフトインターロック装置により送信された第１の条件テーブルの設定情報をそれぞれ受信し、前記第２の条件テーブルは、前記それぞれ受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動前に受信された設定情報を各ソフトインターロック装置に関連付けて記憶し、前記一時記憶部は、前記それぞれ受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動後に受信された設定情報を前記各ソフトインターロック装置に関連付けて一時的に記憶し、前記照合部は、前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記条件テーブルに記憶された設定情報とをソフトインターロック装置毎に照合し、前記警告部は、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、不一致があった設定情報の送信元のソフトインターロック装置に対応する基板処理装置を特定して警告するようにしてもよい。

これによれば、インターロック装置側の設定情報と制御装置側の設定情報に不一致があるか否かが、複数のインターロック装置に対してそれぞれ実行される。これにより、複数の基板処理装置の各機器に誤った制御信号が送出されることを防ぐことができる。

また、これによれば、インターロック装置側の設定情報と制御装置側の設定情報に不一致が合った場合、不一致があった部分の設定情報に基づき基板処理装置が自動的に特定され、警告時に通知される。これにより、システム管理者は、警告された基盤処理装置の機器に不具合があると予測しながら、不具合の原因を確認する作業を行うことができる。この結果、従来に比べ、メンテナンス作業の負荷を軽減することができる。

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、入力した制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するソフトインターロック装置に接続され、前記ソフトインターロック装置に基板処理装置を制御するための前記制御信号を出力する制御装置が提供される。

上記制御装置は、前記ソフトインターロック装置に保持された第１の条件テーブルに記憶され、少なくとも前記制御装置の起動後、前記ソフトインターロック装置に設けられた第１の通信部により送信された、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を受信する第２の通信部と、前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動前に受信された設定情報を記憶する第２の条件テーブルと、前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動後に受信された設定情報を一時的に記憶する一時記憶部と、前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する照合部と、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する警告部とを備える。

これによれば、一時記憶部に記憶された設定情報と基板処理システムの起動前に予め登録されていた第２のテーブルの設定情報と照合し、その結果、両設定情報に不一致があった場合、警告が出力される。

このような機能を有する制御装置を提供することにより、システム管理者は、インターロック機能の不具合を解消する作業を基板の処理が実行される前に行うことができる。これにより、基板処理時のスループットを上げることができるとともに、インターロック装置から誤った制御信号が出力されるために生じる機器の誤動作により、思わぬ事故が発生することを防止することができる。

前記ソフトインターロック装置の第１の条件テーブルと前記制御装置の第２の条件テーブルとは、同一形式により設定情報を記憶していてもよい。

これによれば、一時記憶部にコピーされた第１の条件テーブルの内容と第２の条件テーブルの内容との照合をより精度よく行うことができる。これにより、設定情報の不一致部分をより正確に検出することができる。この結果、設定情報の不一致部分に基づき、不具合が生じている原因をより正確かつ迅速に把握することができる。

前記第１および第２の条件テーブルは、前記基板処理装置を構成する複数の機器に対するインターロック条件を示した設定情報が各機器に関連付けられて記憶された第１および第２のインターロック条件テーブルをそれぞれ含み、前記照合部は、前記一時記憶部に保持された第１のインターロック条件テーブルの設定情報と前記第２のインターロック条件テーブルに記憶された設定情報とを照合し、前記警告部は、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力するようにしてもよい。

さらに、前記警告部は、前記照合する両設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている設定情報に関連付けられて前記一時記憶部または第２のインターロック条件テーブルに記憶された基板処理装置の機器を特定して警告するようにしてもよい。

これによれば、インターロック条件テーブルの不一致部分に基づき、基板処理装置の機器を特定した警告が出力される。これにより、システム管理者は、不具合が生じていると予測される基板処理装置のいずれかの機器を中心にセンサやスイッチの値を確認することができる。この結果、数百個程度の機器をひとつひとつ確認していた従来に比べ、システム管理者による確認作業を著しく軽減することができるとともに確認ミスを減らすことができる。これにより、本来業務である基板処理を遂行する基板処理装置をより安定的に稼働させることができる。

前記第１および第２の条件テーブルは、前記ソフトインターロック装置に入力される複数の入力信号の属性情報を示した設定情報が記憶された第１および第２の入出力テーブルをそれぞれ含み、前記照合部は、前記一時記憶部に保持された第１の入出力テーブルの設定情報と前記第２の入出力テーブルに記憶された設定情報とを照合し、前記警告部は、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力するようにしてもよい。

さらに、前記警告部は、前記照合する両設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている設定情報により示された入力信号の属性情報から予測される基板処理装置の機器を特定して警告するようにしてもよい。

これによっても、システム管理者は、いずれの機器に不具合が生じているかを予測することができ、その機器を中心としてその周辺のセンサやスイッチの値を確認することができる。これにより、システム管理者の確認作業を著しく軽減することができる。なお、入力信号の属性情報としては、各センサや各スイッチに付けられた名称やＩＤ（識別情報）が挙げられる。

前記第１および第２の条件テーブルは、制御信号の出力を禁止するか否かを判断するためのインターロック条件をプログラム化した設定情報を記憶した第１および第２のインターロック回路プログラムテーブルをそれぞれ含み、前記照合部は、前記一時記憶部に保持された第１のインターロック回路プログラムテーブルの設定情報と前記第２のインターロック回路プログラムテーブルに記憶された設定情報とを照合し、前記警告部は、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力するようにしてもよい。

また、前記一時記憶部に保持された第１のインターロック回路プログラムテーブルの設定情報から、インターロック条件を示す回路構成および各回路への入出力信号を示す設定情報を回路条件設定情報として生成する情報生成部と、前記生成された回路条件設定情報のうち、前記制御装置の起動前に生成された回路条件設定情報を記憶する回路条件テーブルとをさらに備え、前記一時記憶部は、前記生成された回路条件設定情報のうち、前記制御装置の起動後に生成された回路条件設定情報を一時的に記憶し、前記照合部は、前記一時記憶部に記憶された回路条件設定情報と前記回路条件テーブルに記憶された回路条件設定情報とを照合し、前記警告部は、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力するようにしてもよい。

さらに、前記警告部は、前記不一致があった場合、不一致が生じているプログラム化されたインターロック条件設定情報または不一致が生じている回路条件設定情報から予測される回路を特定して警告するようにしてもよい。

これによっても、システム管理者は、不具合が生じていると予測される基板処理装置のいずれかの機器を中心にセンサやスイッチの値を確認することができる。この結果、数百個程度の機器をひとつひとつ確認していた従来に比べ、システム管理者による確認作業を著しく軽減することができる。

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、入力した制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するハードインターロック装置に接続され、前記ハードインターロック装置に基板処理装置を制御するための前記制御信号を出力する制御装置が提供される。

上記制御装置は、前記ハードインターロック装置に保持された第１の条件テーブルに記憶され、少なくとも前記制御装置の起動後、前記ハードインターロック装置に設けられた第１の通信部により送信された、インターロック機能を作動させるために用いる論理回路数および各回路への入出力点数に関する設定情報を受信する第２の通信部と、前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動前に受信された設定情報を記憶する第２の条件テーブルと、前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動後に受信された設定情報を一時的に記憶する一時記憶部と、前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する照合部と、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する警告部とを備える。

これによれば、ハードインターロック装置のたとえばバッファ領域にインターロック機能を作動させるために用いる論理回路数および各回路への入出力点数に関する設定情報（ハードウエアの情報）を保持しておくことにより、ハードインターロック装置側の設定情報と制御装置側の設定情報とが一致しているか否かを照合する。

これにより、ハードインターロック装置を構成するハードウエア自体を照合することができる。この結果、システム管理者は、両設定情報に不一致があった場合に出力される警告に基づき、インターロック機能の不具合を解消する作業を基板の処理が実行される前にメンテナンスを実行することができる。

前記警告部は、前記照合する両設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている論理回路数および各回路への入出力点数に関する設定情報から予測される基板処理装置の機器を特定して警告するようにしてもよい。

また、前記照合する両設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている設定情報に基づき予測される不具合の状況を示すメッセージを動的に生成するメッセージ生成部をさらに備え、前記警告部は、前記メッセージ生成部により生成されたメッセージを出力するようにしてもよい。

これによれば、システム管理者は、不具合の状況を示すメッセージ等を利用して、不具合が生じていると予測される機器をさらに正確に把握することができる。これにより、メンテナンス作業の負荷をさらに軽減することができる。

前記照合した両設定情報が一致した場合、前記基板処理装置を用いた基板の処理を開始するように制御する処理実行制御部をさらに備えていてもよい。

これによれば、両設定情報が不一致の場合、インターロック機能の不具合を解消する作業は、基板の処理が実行される前に行われていて、両設定情報が一致した場合、基板の処理が開始される。これにより、インターロック装置を正常に機能させることにより基板処理装置を安定的に稼働することができる。

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、入力した制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するソフトインターロック装置に接続され、前記ソフトインターロック装置に基板処理装置を制御するための前記制御信号を出力する制御装置を用いて前記ソフトインターロック装置に保持された設定情報を監視する方法が提供される。

上記設定情報監視方法では、前記ソフトインターロック装置に保持された第１の条件テーブルに記憶され、少なくとも前記制御装置の起動後、前記ソフトインターロック装置により送信された、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を前記ソフトインターロック装置から受信し、前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動前に受信された設定情報を第２の条件テーブルに記憶し、前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動後に受信された設定情報を一時的に一時記憶部に記憶し、前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合し、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する。

さらに、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、入力した制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するソフトインターロック装置に接続され、前記ソフトインターロック装置に基板処理装置を制御するための前記制御信号を出力する制御装置を用いて前記ソフトインターロック装置に保持された設定情報を監視する処理をコンピュータに実行させるための設定情報監視プログラムを記憶した記憶媒体が提供される。

上記設定情報監視プログラムを記憶した記憶媒体では、前記ソフトインターロック装置に保持された第１の条件テーブルに記憶され、少なくとも前記制御装置の起動後、前記ソフトインターロック装置により送信された、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を前記ソフトインターロック装置から受信する処理と、前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動前に受信された設定情報を第２の条件テーブルに記憶する処理と、前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動後に受信された設定情報を一時的に一時記憶部に記憶する処理と、前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する処理と、前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する処理とをコンピュータに実行させる。

これらによれば、ソフトインターロック装置側の設定情報と制御装置側の設定情報とが一致しているか否かを照合し、その結果、両設定情報に不一致があった場合、警告が出力される。この警告により、システム管理者は、基板処理の実行を開始する前にメンテナンスを実行することができる。この結果、インターロック機能の不具合を解消する作業を基板の処理が実行される前に終わらせることにより、基板処理時のスループットを向上させることができる。

以上説明したように、本発明によれば、インターロック装置に保持された設定情報の整合性を監視することができる。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明及び添付図面において、同一の構成及び機能を有する構成要素については、同一符号を付することにより、重複説明を省略する。

（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態にかかる基板処理システムについて、図１および図２を参照しながら説明する。図１は、基板処理システムの概略図であり、図２は、基板処理システムを構成する各機器の配置図である。

（基板処理システム）
基板処理システム１０は、上位ＰＣ１００、下位ＰＣ２００ａ〜２００ｅ、安全ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）３００ａ〜３００ｅ、ＴＭ（Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｍｏｄｕｌｅ）、ＰＭ（Ｐｒｏｃｅｓｓ Ｍｏｄｕｌｅ）１〜ＰＭ４を有している。各機器は、たとえば、Ｅｔｈｅｒｎｅｔ（登録商標）等のネットワーク４００によりそれぞれ接続されている。また、上位ＰＣ１００は、ＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）５００を経由してホストコンピュータ６００に接続されている。

図２に示したように、下位ＰＣ２００ｂ〜２００ｅは、ＰＭ１〜ＰＭ４が配設されたクリーンルームＣｌｎ内であって、ＰＭ１〜ＰＭ４の近傍にそれぞれ配置されている。下位ＰＣ２００ａは、クリーンルームＣｌｎ内部の各ＰＭの中央に設けられたＴＭの近傍に配置されている。

上位ＰＣ１００（制御装置に相当）は、クリーンルームＣｌｎから隔離された室外に配置されている。上位ＰＣ１００は、下位ＰＣ２００との間で制御信号を送受信することにより、ＴＭおよびＰＭ１〜ＰＭ４をそれぞれ遠隔制御する。具体的には、上位ＰＣ１００は、ＴＭにて基板を搬送する処理を遠隔操作するとともに、ＰＭ１〜ＰＭ４にて施される所望の処理を遠隔操作する。これにより、クリーンルーム内への人の出入りを極力抑え、クリーンルーム内の汚染を最小限に留めることができる。ただし、上位ＰＣ１００は、クリーンルームＣｌｎ内に配置されていてもよい。

なお、ＴＭおよびＰＭ１〜ＰＭ４は、基板を処理する基板処理装置に相当する。より具体的には、ＴＭは、図示しない搬送アームにより基板を搬送し、ＰＭは、ＴＭから搬入された基板に所定の処理を施す。各ＰＭにて実行される所定の処理の一例としては、ＰＭ１内のスパッタ機器により実行されるスパッタリング処理、ＰＭ２内のエッチャー機器により実行されるエッチング処理、ＰＭ３内のＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：化学蒸着薄膜成膜法）機器により実行される成膜処理、ＰＭ４内の有機ＥＬ機器により実行される６層有機ＥＬ膜蒸着処理が挙げられる。

ＴＭ、ＰＭ１〜ＰＭ４には、各内部機器の状態を検知するセンサ群ＴＭｓ、ＰＭ１ｓ、ＰＭ２ｓ、ＰＭ３ｓ、ＰＭ４ｓがそれぞれ取り付けられていて、その検出値は、安全ＰＬＣ３００ａ〜３００ｅにそれぞれ入力されるようになっている。安全ＰＬＣ３００は、ハードインターロック装置においてハードウエア（安全回路）にて構築されていたインターロック条件をプログラム化し、ソフトウエアにて制御することが可能な安全認証されたソフトインターロック装置に相当する。

これらの安全ＰＬＣ３００には、上位ＰＣ１００から送信された、ＴＭまたは各ＰＭを制御するための制御信号も入力される。このようにして、安全ＰＬＣ３００は、上位ＰＣ１００からの制御信号とセンサ群からの出力信号とを入力し、センサ群からの出力信号がインターロック条件を１つでも満たす場合には、制御信号を下位ＰＣ２００に送出しないように制御する。これにより、下位ＰＣ２００は、誤った制御信号をトリガーとして各モジュール（ＴＭ、ＰＭ１〜ＰＭ４）内の各機器が駆動されることにより発生する誤動作、たとえば、混合すると危険な各種ガスを供給するタイミングの誤りや基板を搬送するタイミングの誤りなどを回避することができる。これにより、基板が機器に衝突するなどの危険性を回避してＴＭやＰＭ内部の機器を保護するとともに工場内の作業員の安全を確保することができる。

ホストコンピュータ６００は、上位ＰＣ１００とデータを送受信することにより、データ管理など基板処理システム１０全体を管理する。

つぎに、ＰＭ１〜ＰＭ４の内部構成の一例として、ＣＶＤ処理を実行するＰＭ３および６層連続有機ＥＬ蒸着膜処理を実行するＰＭ４の内部構成について、ＰＭ３に内臓されたマイクロ波プラズマ処理装置（ＣＤＶ機器）の縦断面図を模式的に示した図３およびＰＭ４に内臓された６層連続有機ＥＬ蒸着装置の要部斜視図を模式的に示した図４をそれぞれ参照しながら説明する。

（ＰＭ３の内部構成）
ＰＭ３のマイクロ波プラズマ処理装置は、天井面および底面中央が開口した有底立方体形状の処理容器Ｃを有している。処理容器Ｃの天井面には、蓋体３０２が取り付けられている。処理容器Ｃの側壁上部と蓋体３０２との接面にはＯリング３０４が設けられ、これにより処理室内の気密が保持されている。処理容器Ｃおよび蓋体３０２は、たとえば、アルミニウム等の金属からなり、電気的に接地されている。

処理容器Ｃには、その内部にてガラス基板（以下「基板」という）Ｇを載置するためのサセプタ３０６が設けられている。サセプタ３０６は、たとえば窒化アルミニウムからなり、その内部には、給電部３０８およびヒータ３１０が設けられている。

給電部３０８には、整合器３１２（たとえば、コンデンサ）を介して高周波電源３１４が接続されている。また、給電部３０８には、コイル３１６を介して高圧直流電源３１８が接続されている。高周波電源３１４および高圧直流電源３１８は、接地されている。

給電部３０８は、高周波電源３１４から出力された高周波電力により処理容器Ｃの内部に所定のバイアス電圧を印加するようになっている。また、給電部３０８は、高圧直流電源３１８から出力された直流電圧により基板Ｇを静電吸着するようになっている。ヒータ３１０には、交流電源３２０が接続されていて、交流電源３２０から出力された交流電圧により基板Ｇを所定の温度に保持するようになっている。

処理容器Ｃの底面中央に設けられた開口周縁にはベローズ３２２の一端が装着されている。また、ベローズ３２２の他端は昇降プレート３２４に固着されている。このようにして、処理容器Ｃ底面の開口部分は、ベローズ３２２および昇降プレート３２４により密閉されている。

サセプタ３０６は、昇降プレート３２４上に配置された筒体３２６に支持されていて、昇降プレート３２４および筒体３２６と一体となって昇降する。これにより、サセプタ３０６は、処理プロセスに応じた高さに調整されるようになっている。サセプタ３０６の周囲には、処理室のガスの流れを好ましい状態に制御するためのバッフル板３２８が設けられている。

蓋体３０２には、６本の導波管３３０、スロットアンテナ３３２およびタイル上に形成された複数枚の誘電体パーツ３３４が設けられている。各導波管３３０は、その断面形状が矩形状であり、蓋体３０２の内部にて平行に並んで設けられている。その内部は、フッ素樹脂（たとえばテフロン（登録商標））、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、石英などの誘電部材３３６で充填されていて、その誘電部材３３６により、λｇ_１＝λｃ／（ε_１）^１／２の式に従って各導波管３３０の管内波長λｇ_１が制御される。ここで、λｃは自由空間の波長、ε_１は誘電部材３３６の誘電率である。

各導波管３３０は、上部にて開口し、その開口には可動部３３８が昇降自在に挿入されている。可動部３３８は、アルミニウムなどの非磁性体である導電性材料から形成されている。蓋体３０２の外部であって、各可動部３３８の上面には、昇降機構３４０がそれぞれ設けられていて、可動部３３８を昇降移動させるようになっている。かかる構成により、各導波管３３０は、その高さを誘電部材３３６の上面を限度として任意に変えることができる。

スロットアンテナ３３２は、蓋体３０２の下方にて蓋体３０２と一体的に形成されている。スロットアンテナ３０は、アルミニウムなどの非磁性体である金属から形成されている。スロットアンテナ３０には、各導波管３３０の下面にてスロット（開口）が空けられている。各スロット内には、フッ素樹脂、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、石英などの誘電部材が充填されていて、その誘電部材により、λｇ_２＝λｃ／（ε_２）^１／２の式に従って各導波管３３０の管内波長λｇ_２が制御される。ここで、λｃは自由空間の波長、ε_２はスロット内の誘電部材の誘電率である。

かかる構成により、図示しないマイクロ波発生器から出力されたマイクロ波は、各導波管３３０を伝播してスロットアンテナ３３２のスロットに通され、各誘電体パーツ３３４を透過して処理容器Ｃの内部に入射される。各誘電体パーツ３３４には、基板Ｇと対向する面にて凹凸が形成されている。これにより、各誘電体パーツ３３４を透過したマイクロ波により生成される表面波が、各誘電体パーツ３３４下面の表面を伝播する際、電界エネルギーの損失が増加し、これにより、表面波の伝播を抑止することができる。この結果、定在波の発生を抑制して、均一なプラズマを生成することができる。

スロットアンテナ３３２は、その下面にて各誘電体パーツ３３４を支持するために格子状に形成された梁３４２に支持されている。梁３４２は、アルミニウムなどの非磁性体にて形成されている。

梁３４２には、その下面にて短ガスノズル３４４および長ガスノズル３４６が梁３４２から垂れ下がる状態で交互に固定されている。短ガスノズル３４４は、キノコ状であって、金属から形成され、短ガスノズル３４４の側面からガスが横に噴き出されるようにその内部をガス管３４４ａが貫通している。長ガスノズル３４６は、外形が棒状（筒状）であって、金属から形成され、長ガスノズル３４６の下端からガスが真下に噴き出されるようにその内部をガス管３４６ａが貫通している。

ガス管３４４ａには、ガスライン３４４ｂを介してガス供給部３４８が接続されていて、ガス供給部３４８から供給されるアルゴンガスをガスライン３４４ｂおよびガス管３４４ａに通すことにより、アルゴンガスを処理室の比較的上方に噴射するようになっている。また、ガス管３４６ａには、ガスライン３４６ｂを介してガス供給部３４８が接続されていて、ガス供給部３４８から供給されるシランガスおよび窒素ガス（またはＮＨ_３ガス）をガスライン３４６ｂおよびガス管３４６ａに通すことにより、シランガスおよび窒素ガス（またはＮＨ_３ガス）を処理室の比較的下方に噴射するようになっている。

冷却水配管３５０には、冷却水供給源３５２が接続されていて、冷却水供給源３５２から供給された冷却水が冷却水配管３５０内を循環して冷却水供給源３５２に戻ることにより、蓋体３０２を所望の温度に保つようになっている。

ＡＰＣ３５４は、処理室内部の圧力を自動調節し、ＤＲＰ（Ｄｒｙ Ｐｕｍｐ）３５６は、処理室内部を粗引きし、ＴＭＰ（Ｔｕｒｂｏ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｐｕｍｐ）３５８は、処理室内部を真空引きする。これらにより、処理室内部は、所定の真空度に保持される。ゲートバルブ３６０は、処理室内の気密を保ちながら、基板Ｇを搬入、搬出するための開閉口である。

かかる構成により、下位ＰＣ２００ｄから送信された駆動信号にしたがって各機器（たとえば、マイクロ波発生器（図示せず）、高周波電源３１４、高圧直流電源３１８、ガス供給部３４８のバルブやマスフローコントローラ（いずれも図示せず）、ＡＰＣ３５４、ＤＲＰ３５６、ＴＭＰ３５８、ゲートバルブ３６０などが所定のタイミングに駆動する。この結果、処理容器内を所望の真空度に保ちながら、基板Ｇがサセプタ３０６に搬送された状態にて処理容器内部に供給されたアルゴンガス、シランガスおよび窒素ガス（またはＮＨ_３ガス）が、処理容器内に入射されたマイクロ波の電界エネルギーによりプラズマ化され、生成されたプラズマの作用により基板Ｇにシリコン窒化膜が形成される。

（センサ群）
ＰＭ３には、ＰＭ３の内部機器の状態を検知するセンサ群ＰＭ３ｓとして、センサＳ１〜Ｓ５が取り付けられていて、その検出値（出力信号）は、安全ＰＬＣ３００ｄに送出されるようになっている。

具体的には、センサＳ１は、オン／オフスイッチである。センサＳ１のスイッチは、蓋体３０２が閉められ、処理容器Ｃの天井面が閉口している場合、蓋体３０２の押力により投入される（スイッチオン）。また、センサＳ１のスイッチは、蓋体３０２が開けられ、処理容器Ｃの天井面が開口している場合、蓋体３０２の押力から開放されることにより切断される（スイッチオフ）。このようにして、センサＳ１は、処理容器Ｃの天井面の開閉状態を検出し、その結果を安全ＰＬＣ３００ｄに送出する。

センサＳ２は、ゲートバルブ３６０に組み込まれた開口度センサであり、ゲートバルブ３６０の開口度を検出することによりゲートバルブ３６０の開閉の状態を検知し、その結果を安全ＰＬＣ３００ｄに送出する。

センサＳ３は、ＤＲＰ３５６に取り付けられたアラーム装置であり、ＤＲＰ３５６の電源のオン／オフを検出し、所定のタイミングにＤＲＰ３５６が動作していない場合（電源オフ）、アラームを安全ＰＬＣ３００ｄに出力する。

センサＳ４は、センサＳ１と同様にオン／オフスイッチであり、基板Ｇの有無によりスイッチをオン／オフすることによって基板Ｇがステージ上に置かれているか否かを検知し、その結果を安全ＰＬＣ３００ｄに送出する。

センサＳ５は、真空ゲージであり、蓋部Ｔによりその外周を固定された状態で処理容器Ｃの側壁を貫通するように取り付けられている。センサＳ５は、処理室内の真空圧を測定し、その値（アナログ値）を安全ＰＬＣ３００ｄに送出する。

（ＰＭ４の内部構成）
つぎに、ＰＭ４の６層連続有機ＥＬ蒸着装置の内部構成について、図４を参照しながら説明する。ＰＭ４では、基板Ｇ上に有機ＥＬ層を含む６層が連続的に蒸着される。

ＰＭ４内には、６つの蒸着源４１０ａ〜４１０ｆが内蔵されている。６つの蒸着源４１０ａ〜４１０ｆには、異なる種類の成膜材料が納められていて、各蒸着源４１０に納められたるつぼを、たとえば、２００〜５００℃程度の高温にすることにより、各種成膜材料を気化させるようになっている。

６つの蒸着源４１０ａ〜４１０ｆには、６つの連結管４２０ａ〜４２０ｆを介して、６つの吹き出し容器４３０ａ〜４３０ｆが連結されている。６つの蒸着源４１０ａ〜４１０ｆにて気化された各種成膜材料は、６つの連結管４２０ａ〜４２０ｆをそれぞれ通過して、６つの吹き出し容器４３０ａ〜４３０ｆの上面に設けられた開口ＯＰ（吹き出し口）から吹き出される。

各吹き出し容器４３０の間には隔壁４４０が設けられていて、これら７つの隔壁４４０のよって各吹き出し容器４３０を仕切ることにより、各吹き出し容器４３０から吹き出される成膜材料の気体分子が隣りの吹き出し容器４３０から吹き出される成膜材料の気体分子に混入することを防ぐようになっている。

基板Ｇは、ＰＭ４の天井面近傍にて、スライド機構を備えたステージ（ともに図示せず）に静電吸着していて、７つの隔壁４４０にて仕切られた各吹き出し容器４３０ａ〜４３０ｆのわずかに上方を、第１の吹き出し器４３０ａ→第２の吹き出し器４３０ｂ→第３の吹き出し器４３０ｃ→第４の吹き出し器４３０ｄ→第５の吹き出し器４３０ｅ→第６の吹き出し器４３０ｆの順に所定の速度で移動する。これにより、基板Ｇには、各吹き出し容器４３０ａ〜４３０ｆからそれぞれ吹き出される成膜材料によって、所望の異なる膜が６層連続的に積層されるようになっている。

なお、ＰＭ４にも、ＰＭ２と同様に、ＰＭ４の内部機器の状態を検知するセンサ群ＰＭ４ｓが取り付けられていて、その検出値（出力信号）は、安全ＰＬＣ３００ｅに送出されるようになっているが、ここでは説明を省略する（図４への図示も省略）。

（ＰＣのハードウエア構成）
つぎに、ＰＣのハードウエア構成について、図５を参照しながら説明する。なお、下位ＰＣ２００のハードウエア構成は上位ＰＣ１００と同様であるためここでは上位ＰＣ１００のみについて説明する。

上位ＰＣ１００は、ＲＯＭ１０５、ＲＡＭ１１０、ＣＰＵ１１５、バス１２０、内部インタフェース（内部Ｉ／Ｆ）１２５および外部インタフェース（外部Ｉ／Ｆ）１３０を有している。

ＲＯＭ１０５には、上位ＰＣ１００にて実行される基本的なプログラムや、異常時に起動するプログラム、各種レシピ等が記録されている。ＲＡＭ１１０には、安全ＰＬＣ３００に記憶された設定情報と上位ＰＣ１００に記憶された設定情報とを照合するための処理手順を定めたプログラムなどの各種プログラムやデータが蓄積されている。なお、ＲＯＭ１０５およびＲＡＭ１１０は、記憶装置の一例であり、ＥＥＰＲＯＭ、光ディスク、光磁気ディスクなどの記憶装置であってもよい。

ＣＰＵ１１５は、各種レシピにしたがって基板の処理を制御するとともに、安全ＰＬＣ３００に記憶された設定情報と上位ＰＣ１００に記憶された設定情報との照合を制御する。バス１２０は、ＲＯＭ１０５、ＲＡＭ１１０、ＣＰＵ１１５、内部インタフェース１２５および外部インタフェース１３０の各機器間でデータをやりとりする経路である。

内部インタフェース１２５は、データを入力し、必要なデータを図示しないモニタやスピーカ等に出力するようになっている。外部インタフェース１３０は、ネットワーク４００を介して接続されている機器との間でデータを送受信するようになっている。

（安全ＰＬＣの機能構成）
つぎに、安全ＰＬＣ３００の機能構成について、安全ＰＬＣ３００の各機能をブロックにて示した図６を参照しながら説明する。安全ＰＬＣ３００は、ＰＬＣ側のＩ／Ｏテーブル３００５、ＰＬＣ側のインターロック条件テーブル３０１０、通信部３０１５およびインターロック制御部３０２０により示される各機能を有している。

図７に示したように、Ｉ／Ｏテーブル３００５は、安全ＰＬＣ３００に入力される各入力信号の出力元（たとえば、センサ名）の名前情報３００５ａ、各入力信号の種類情報３００５ｂ、各入力信号のステータス（状態）情報を格納したアドレス３００５ｃを記憶している。

たとえば、入力信号の持つ名前情報３００５ａが「Ｌｉｄ Ｏｐｅｎ」のとき、その種類３００５ｂ「ＢＯＯＬ」は、１ビットを示し、アドレス３００５ｃの（アドレス．ビット位置）が（１．０）であるから、アドレス「１」のＯビットの位置にセンサＳ１（図３参照）からの出力値が格納される。たとえば、蓋体３０２が開口しているときセンサＳ１は「１」を出力し、蓋体３０２が閉口しているときセンサＳ１は「０」を出力すると仮定すると、アドレス「１」のＯビットの位置に「１」が格納されていれば、蓋体３０２が開口しているというステータスを示し、アドレス「１」のＯビットの位置に「０」が格納されていれば、蓋体３０２が閉口しているというステータスを示す。

また、たとえば、入力信号の持つ名前情報３００５ａが、図７の最終行で示した「Ｖａｃｕｕｍ Ｓｅｎｓｏｒ」のとき、その種類３００５ｂ「ＣＨＡＮＮＥＬ」は、１６ビットを示し、アドレス３００５ｃのアドレスが１０であるから、アドレス「１０」の１６ビットにセンサＳ５が検出した処理室内の圧力値（アナログ値）が格納される。

なお、名前情報３００５ａ、種類情報３００５ｂおよびアドレス３００５ｃは、入力信号の属性情報の一例であり、センサ名の他、たとえば、スイッチに付けられた名称やＩＤ（識別情報）であってもよい。

図８に示したように、インターロック条件テーブル３０１０には、インターロック条件を示した設定情報が各機器に関連付けられて記憶されている。図８には、マイクロ波発生器を「ＯＮ」する制御信号の出力を禁止するか否かのインターロック条件３０１０ａとして、つぎの５条件が設定されている。たとえば、「Ｌｉｄ Ｏｐｅｎ（１．０）＝＝ＯＮ」は、蓋体３０２の状態（ステータス）が記憶されたアドレス「１」の０ビット目がＯＮ（すなわち、開口）している場合、マイクロ波発生器を「ＯＮ」する制御信号を下位ＰＣ２００に出力することを禁止する、というインターロック条件を意味する。蓋体３０２の状態が、「ＯＮ（開口）」しているか「ＯＦＦ（閉口）」しているかは、図３のセンサＳ１から送出された出力信号により随時更新される。

「ＧＶ Ｏｐｅｎ（１．１）＝＝ＯＮ」は、ゲートバルブ３６０の状態が記憶されたアドレス「１」の１ビット目がＯＮ（すなわち、開口）している場合、マイクロ波発生器を「ＯＮ」する制御信号を下位ＰＣ２００に出力することを禁止する、というインターロック条件を意味する。ゲートバルブ３６０の状態が、ＯＮ（開口）かＯＦＦ（閉口）かは、図３のセンサＳ２から送出された出力信号により随時更新される。

「ＤＲＰ Ａｌａｒｍ（２．１）＝＝ＯＮ」は、ＤＲＰ３５６の警報装置の状態が記憶されたアドレス「２」の１ビット目がＯＮしている（すなわち、アラームが出ている）場合、マイクロ波発生器を「ＯＮ」する制御信号を下位ＰＣ２００に出力することを禁止する、というインターロック条件を意味する。ＤＲＰ３５６の警報装置の状態が、ＯＮ（アラーム出ている）かＯＦＦ（アラーム出ていない）かは、図３のセンサＳ３から送出された出力信号により随時更新される。

「Ｗｏｒｋ Ｓｔａｔｕｓ（１．２）＝＝ＯＮ」は、基板Ｇの静電吸着の状態が記憶されたアドレス「１」の２ビット目がＯＮしている（除電されている、すなわち、基板Ｇが静電吸着されていない）場合、マイクロ波発生器を「ＯＮ」する制御信号を下位ＰＣ２００に出力することを禁止する、というインターロック条件を意味する。基板Ｇの静電吸着の状態が、ＯＮ（除電されている）かＯＦＦ（静電吸着されている）かは、図３のセンサＳ４から送出された出力信号により随時更新される。

「Ｖａｃｕｕｍ Ｓｅｎｓｏｒ＜＝１００ｍＴｏｒｒ」は、処理室内の真空状態が記憶されたアドレス「１０」の１６ビットが１００ｍＴｏｒｒ以下であれば、マイクロ波発生器を「ＯＮ」する制御信号を下位ＰＣ２００に出力することを禁止する、というインターロック条件を意味する。処理室内の真空状態が、１００ｍＴｏｒｒ以下か否かは、図３のセンサＳ５から送出された出力信号により随時更新される。

以上に説明したように、５つのインターロック条件の少なくともいずれか１つを満たしている場合、安全ＰＬＣ３００は、マイクロ波発生器を「ＯＮ」する制御信号を下位ＰＣ２００に出力することを禁止する。

なお、Ｉ／Ｏテーブル３００５に記憶された機器の名前３００５ａ、種類３００５ｂおよびアドレス３００５ｃ、並びに、インターロック条件テーブル３０１０のインターロック条件３０１０ａおよび動作３０１０ｂは、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報の一例である。また、Ｉ／Ｏテーブル３００５およびインターロック条件テーブル３０１０は、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を記憶する第１の条件テーブルの一例である。

通信部３０１５は、安全ＰＬＣ３００をバージョンアップさせる等、基板処理システム１０の起動前であって、ＰＬＣ自体を取り替えた時点および基板処理システム１０の起動後、Ｉ／Ｏテーブル３００５およびインターロック条件テーブル３０１０に記憶された設定情報を上位ＰＣ１００に送信する。なお、通信部３０１５は、第１の通信部に相当する。

インターロック制御部３０２０は、上位ＰＣ１００、下位ＰＣ２００および各ＰＭ（およびＴＭ）にそれぞれ設けられたセンサ群に接続され、上位ＰＣ１００から出力された制御信号およびセンサ群から出力された出力信号（センサ値）を入力する。インターロック制御部３０２０は、入力したセンサ値に基づきインターロック条件が満たされているか否かを判定し、インターロック条件が１つでも満たされている場合、入力した制御信号が下位ＰＣ２００に出力されることを禁止する。

（上位ＰＣの機能構成）
つぎに、上位ＰＣ１００の機能構成について、上位ＰＣ１００の各機能をブロックにて示した図９を参照しながら説明する。上位ＰＣ１００は、通信部１００５、Ｉ／Ｏテーブル（上位ＰＣ）１０１０、インターロック条件テーブル（上位ＰＣ）１０１５、一時記憶部１０２０、照合部１０２５、メッセージ生成部１０３０、警告部１０３５、入力部１０４０、記憶部１０４５および処理実行制御部１０５０により示される各機能を有している。

通信部１００５は、安全ＰＬＣ３００により送信されたＩ／Ｏテーブル（ＰＬＣ）３００５およびインターロック条件テーブル（ＰＬＣ）３０１０に記憶された設定情報を受信する。なお、通信部１００５は、第２の通信部に相当する。

Ｉ／Ｏテーブル（上位ＰＣ）１０１０は、たとえば、安全ＰＬＣ３００をバージョンアップさせたときなど、安全ＰＬＣ３００の取り替えに伴って安全ＰＬＣ３００の内部に保持されたＩ／Ｏテーブルの設定情報が変更になったとき、基板処理システム１０の起動前に通信部３０１５により送信されたＩ／Ｏテーブル（ＰＬＣ）３００５を記憶する。

インターロック条件テーブル（上位ＰＣ）１０１５は、Ｉ／Ｏテーブル（上位ＰＣ）１０１０と同様に、安全ＰＬＣ３００の取り替えに伴って安全ＰＬＣ３００の内部に保持されたインターロック条件テーブルの設定情報が変更になったとき、基板処理システム１０の起動前に通信部３０１５により送信されたインターロック条件テーブル（ＰＬＣ）３０１０を記憶する。

なお、Ｉ／Ｏテーブル（上位ＰＣ）１０１０およびインターロック条件テーブル（上位ＰＣ）１０１５は、基板処理システム１０の起動前に受信された各テーブルの設定情報を記憶する第２の条件テーブルの一例である。Ｉ／Ｏテーブル（上位ＰＣ）１０１０は、第２の入出力テーブルに相当し、インターロック条件テーブル（上位ＰＣ）１０１５は、第２のインターロック条件テーブルに相当する。

一時記憶部１０２０は、基板処理システム１０（上位ＰＣ１００）の起動後に、通信部３０１５により送信されたＩ／Ｏテーブル（ＰＬＣ）３００５およびインターロック条件テーブル（ＰＬＣ）３０１０をＩ／Ｏテーブル（ＰＬＣのコピー）１０２０ａおよびインターロック条件テーブル（ＰＬＣのコピー）１０２０ｂとして一時的に記憶する。Ｉ／Ｏテーブル（ＰＬＣのコピー）１０２０ａおよびインターロック条件テーブル（ＰＬＣのコピー）１０２０ｂは、第１の入出力テーブルおよび第１のインターロック条件テーブルに相当する。

照合部１０２５は、一時記憶部１０２０に記憶された各テーブルの設定情報と第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する。具体的には、照合部１０２５は、一時記憶部１０２０に保持されたＩ／Ｏテーブル（ＰＬＣのコピー）１０２０ａの設定情報とＩ／Ｏテーブル（上位ＰＣ）１０１０に記憶された設定情報とを照合する。また、照合部１０２５は、一時記憶部１０２０に保持されたインターロック条件テーブル（ＰＬＣのコピー）１０２０ｂの設定情報とインターロック条件テーブル（上位ＰＣ）１０１５に記憶された設定情報とを照合する。

照合する両Ｉ／Ｏテーブルおよび照合する両インターロック条件テーブルには、同一形式により設定情報が記憶されている。よって、照合は、先頭データから順にマッチングする方法を用いればよい。

メッセージ生成部１０３０は、照合する両テーブルの設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている設定情報に基づき予測される不具合の状況を示すメッセージを動的に生成する。たとえば、図８のインターロック条件テーブル３０１０において、「ＤＲＰ Ａｌａｒｍ（２．１）」に不一致があった場合、メッセージ生成部１０３０は、不具合の状況を示すメッセージとして「ドライポンプに不具合あり。ドライポンプの駆動を禁止中」というメッセージを生成してもよい。

警告部１０３５は、照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する。警告の出力方法としては、たとえば、警告部１０３５は、不一致があった設定情報に基づき、不一致が生じた原因となる送信元の安全ＰＬＣ３００を予測し、予測された安全ＰＬＣ３００に対応するＰＭまたはＴＭを特定して警告する。ＰＭまたはＴＭの特定は、各テーブルに記憶された各機器の名前およびアドレスなどから予測することができる。

より具体的には、警告部１０３５は、不一致が生じている設定情報に関連付けられて一時記憶部１０２０またはインターロック条件テーブル（上位ＰＣ）１０１５に記憶されたインターロック条件３０１０ａおよび動作３０１０ｂに基づき予測されるＰＭまたはＴＭの機器を特定して警告してもよい。また、警告部１０３５は、不一致が生じている設定情報により示された入力信号の属性情報（図７の各機器の名前３００５ａ、種類３００５ｂおよびアドレス３００５ｃ）に基づき予測されるＰＭ内の機器を特定して警告してもよい。

入力部１０４０は、たとえば、オペレータが基板処理システム１０の上位ＰＣ１００を起動させ、ロット処理の開始を指示する情報など、オペレータの操作により入力される情報を取り入れる。

記憶部１０４５には、ＰＭ１〜ＰＭ４にて実行されるプロセス制御に用いられる各種レシピ（スパッタリング用レシピ、エッチング用レシピ、ＣＶＤ用レシピ、有機ＥＬ用レシピ）が記憶されている。

処理実行制御部１０５０は、オペレータからの指示（入力情報）にしたがい、記憶部１０４５から選択したいずれかのレシピに示された処理手順に基づき、各ＰＭにて基板Ｇに所望の処理が施されるように制御信号を出力する。

なお、以上に説明した上位ＰＣ１００の各部の機能は、実際には、図５のＣＰＵ１１５が、これらの機能を実現する処理手順を記述したプログラム（レシピを含む）を記憶したＲＯＭ１０５やＲＡＭ１１０などの記憶媒体から該当プログラムを読み出し、そのプログラムを解釈して実行することにより達成される。

（各ＰＣの動作）
つぎに、以上に説明した上位ＰＣ１００の各部の機能を用いた照合処理について、図１０の照合処理を示したフローチャートを参照しながら説明する。なお、Ｉ／Ｏテーブル（上位ＰＣ）１０１０およびインターロック条件テーブル（上位ＰＣ）１０１５には、上位ＰＣ１００の起動前に安全ＰＬＣ３００に保持された各テーブルの設定情報と同じ情報が予め登録されている。

（照合処理）
オペレータが、上位ＰＣ１００の電源をオンすると、図１０のステップ１０００から照合処理が開始され、ステップ１００５に進んで、入力部１０４０は、上位ＰＣ１００に電源が投入されたか否かを判定する。上位ＰＣ１００に電源が投入されていない場合、直ちにステップ１０９５に進んで本処理を終了する。しかし、この時点では、上位ＰＣ１００の電源は投入されているので、ステップ１０１０に進み、一時記憶部１０２０は、通信部１００５により（上位ＰＣの起動後に）受信されたＰＬＣ側のインターロック条件テーブル３０１０をインターロック条件テーブル（ＰＬＣコピー）１０２０ｂとして一時的に記憶する。

つぎに、ステップ１０１５に進んで、一時記憶部１０２０は、通信部１００５により（上位ＰＣの起動後に）受信したＰＬＣ側のＩ／Ｏテーブル３００５をＩ／Ｏテーブル（ＰＬＣコピー）１０２０ａとして一時的に記憶し、ステップ１０２０に進む。

照合部１０２５は、ステップ１０２０にて、インターロック条件テーブル（上位ＰＣ）１０１０とインターロック条件テーブル（ＰＬＣコピー）１０２０ｂとが一致しているか否かを照合する。照合の結果、両テーブルの設定情報に不一致があった場合、ステップ１０２５に進んで、メッセージ生成部１０３０は、両テーブルの差分（不一致部分のデータ）に基づき、不具合が生じていると予測される機器を特定したメッセージを生成する。

ついで、ステップ１０３０に進み、警告部１０３５は、生成されたメッセージをディスプレイやスピーカに出力することにより、不具合が生じていることをオペレータに警告し、ステップ１０９５に進んで本処理を終了する。

一方、ステップ１０２０にて、両条件テーブルのデータが一致すると判定されると、ステップ１０３５に進み、照合部１０２５により、両Ｉ／Ｏテーブルのデータが一致しているか否かが照合される。一致すると判定された場合、ステップ１０４０に進み、処理実行制御部１０５０は、オペレータの指示により選択されたレシピにしたがって、所定のタイミングに各ＰＭまたはＴＭに設けられた各機器を制御するための信号（制御信号）を出力し、ステップ１０９５に進んで本処理を終了する。これにより、オペレータにより指示された所望の処理が基板Ｇに施される。

以上に説明した上位ＰＣ１００による照合処理は、複数のＰＭ（ＰＭ１〜ＰＭ４）およびＴＭに対応して設けられた複数の安全ＰＬＣ００ａ〜３００ｅ毎に実行される。具体的には、通信部１００５は、５つの安全ＰＬＣ３００ａ〜３００ｅによりそれぞれ送信されたＩ／Ｏテーブル３００５およびインターロック条件テーブル３０１０に記憶された設定情報をそれぞれ受信する。

一時記憶部１０２０には、受信された設定情報のうち、上位ＰＣ１００（基板処理システム１０）の起動後に受信された設定情報が各安全ＰＬＣ３００に関連付けられて記憶され、Ｉ／Ｏテーブル１０１０およびインターロック条件テーブル１０１５には、受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動後に受信された設定情報が各安全ＰＬＣ３００に関連付けられて一時的に記憶されている。照合部１０２５は、一時記憶部１０２０に記憶された両テーブルの設定情報とＩ／Ｏテーブル１０１０およびインターロック条件テーブル１０１５の両テーブルに記憶された設定情報とを安全ＰＬＣ毎に照合する。

最後に、警告部１０３５は、照合した両テーブルの設定情報に不一致があった場合、不一致があった設定情報の送信元の安全ＰＬＣ３００に対応するＰＭまたはＴＭを特定して警告する。

以上に説明した本実施形態に係る基板処理システム１０によれば、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報は、安全ＰＬＣ３００から送信され、Ｉ／Ｏテーブル１０１０およびインターロック条件テーブル１０１５の両テーブルに予め登録される。このような状況において、上位ＰＣ１００の起動後、再び、安全ＰＬＣ３００から送信された設定情報は、一時的に一時記憶部１０２０に記憶され、上位ＰＣ１００の起動前に予め登録されたＩ／Ｏテーブル１０１０およびインターロック条件テーブル１０１５の両テーブルの設定情報と照合される。照合した結果、両設定情報に不一致があった場合、警告が出力される。

この警告により、基板Ｇの処理の実行を開始する前に、システム管理者にメンテナンスを実行することを促すことができる。この結果、システム管理者は、インターロック機能の不具合または設定情報の不具合を解消する作業を基板の処理が実行される前に行うことができる。これにより、基板の処理時においてスループットを上げることができる。また、安全ＰＬＣ３００から誤った制御信号が出力されたために生じる機器の誤動作により、思わぬ事故が発生することを防止することができる。

また、上記動作はすべて自動にて行われるため、従来に比べ、手動によるミスを防ぐことができる。さらに、これによれば、設定情報が適正であるか否かは、既存の基板処理システム１０に設けられた機器のみを用いて自動的に判定され、新たな測定器を必要としない。これにより、かかる機能を低コストかつ容易に基板処理システム１０に導入することができる。

また、本実施形態に係る基板処理システム１０によれば、安全ＰＬＣ３００側の設定情報と上位ＰＣ１００側の設定情報に不一致があるか否かは、複数の安全ＰＬＣ３００に対してそれぞれ実行される。そして、安全ＰＬＣ３００側の設定情報と上位ＰＣ１００側の設定情報に不一致が合った場合、不一致部分のデータに基づきＰＭまたはＴＭを特定した警告が自動的に出力される。これにより、システム管理者は、不具合があると予測されるＰＭまたはＴＭを中心に、発生している不具合の確認作業を実行することができる。この結果、従来に比べ、メンテナンス作業の負荷を著しく軽減することができる。

（第２実施形態）
つぎに、第２実施形態にかかる基板処理システム１０について説明する。第２実施形態では、安全ＰＬＣ３００に保持されたインターロック回路プログラムと上位ＰＣ１００に転送されたインターロック回路プログラムとを照合する点で、照合対象がＩ／Ｏテーブルおよびインターロック条件テーブルである第１実施形態にかかる基板処理システム１０と相違する。よって、この相違点を中心に本実施形態にかかる基板処理システム１０について図１１〜図１４を参照しながら説明する。

（安全ＰＬＣの機能構成）
図１１に示したように、本実施形態にかかる安全ＰＬＣ３００は、通信部３０１５、インターロック制御部３０２０に加え、図６の第１実施形態にかかる安全ＰＬＣ３００が有していたＩ／Ｏテーブルおよびインターロック条件テーブルに代えてインターロック回路プログラムテーブル３０２５を有している。

図１２に示したように、インターロック回路プログラムテーブル３０２５には、インターロック機能を作動させるために設計された回路をプログラム化したインターロック回路プログラム３０２５ａが保存されている。すなわち、インターロック回路プログラムテーブル３０２５には、制御信号の出力を禁止するか否かを判断するためのインターロック条件を回路で構成する代わりにプログラム化した設定情報としてインターロック回路プログラム３０２５ａが記憶されている。なお、インターロック回路プログラムテーブル３０２５は、第１のインターロック回路プログラムテーブルに相当する。第１のインターロック回路プログラムテーブルは、第１の条件テーブルの一例である。

（上位ＰＣの機能構成）
つぎに、上位ＰＣ１００の機能構成について、上位ＰＣ１００の各機能をブロックにて示した図１３を参照しながら説明する。本実施形態にかかる上位ＰＣ１００は、第１実施形態にかかる安全ＰＬＣ３００が有していたＩ／Ｏテーブルおよびインターロック条件テーブルに代えてインターロック回路プログラムテーブル１０５５を有している。また、本実施形態にかかる上位ＰＣ１００は、図９の第１実施形態にかかる上位ＰＣ１００の各機能に加え、情報生成部１０６０のブロックにて示した新機能が追加されている。

インターロック回路プログラムテーブル１０５５には、基板処理システム１０（上位ＰＣ１００）の起動前（たとえば、バージョンアップ時）に、安全ＰＬＣ３００の通信部３０１５により送信されたインターロック回路プログラムテーブル３０２５の設定情報が記憶される。なお、インターロック回路プログラムテーブル１０５５は、第２のインターロック回路プログラムテーブルに相当する。第２のインターロック回路プログラムテーブルは、第２の条件テーブルの一例である。

情報生成部１０６０は、図１２に示したように、通信部１００５により受信されたインターロック回路プログラム３０２５の設定情報から、インターロック条件を示す回路構成および各回路への入出力信号を示す設定情報を回路条件設定情報１０２０ｄ１として生成する。たとえば、情報生成部１０６０は、インターロック回路プログラム３０２５から、インターロック条件を示す回路構成として、「ＡＮＤ」、「ＯＲ」、「ＯＵＴ」を解析して抽出するとともに、各回路への入力信号として「ＬＤアラーム」、「動作中」、「センサ１」、［センサ２］、「動作要求」を抽出し、各回路からの出力信号として「出力」を抽出し、回路条件設定情報として生成する。
」

一時記憶部１０２０では、基板処理システム１０（上位ＰＣ１００）の起動後に、通信部３０１５により送信されたインターロック回路プログラムテーブル３０２５の設定情報がインターロック回路プログラムテーブル１０２０ｃに一時的に記憶される。また、一時記憶部１０２０では、情報生成部１０６０により生成された回路条件設定情報が回路条件テーブル１０２０ｄに一時的に記憶される。

（照合処理）
つぎに、本実施形態にかかる照合処理について、図１４の照合処理を示したフローチャートを参照しながら説明する。なお、インターロック回路プログラムテーブル（上位ＰＣ）１０５５には、上位ＰＣ１００の起動前に安全ＰＬＣ３００に保持されたインターロック回路プログラムテーブル（ＰＬＣ）３０２５の設定情報と同じ情報が予め記憶されている。

オペレータが、上位ＰＣ１００の電源をオンすると、図１４のステップ１４００から照合処理が開始され、ステップ１００５に進んで、入力部１０４０は、上位ＰＣ１００に電源が投入されていると判定し、ステップ１４０５に進む。ついで、一時記憶部１０２０は、通信部１００５により受信されたＰＬＣ側のインターロック回路プログラムテーブル３０２５をインターロック回路プログラムテーブル（ＰＬＣコピー）１０２０ｃとして一時的に記憶する。

つぎに、ステップ１４１０に進んで、情報生成部１０６０は、インターロック回路プログラムテーブル（ＰＬＣコピー）１０２０ｃに記憶されたインターロック回路プログラムから回路条件設定情報を条件データとして生成する。

ついで、ステップ１４１５に進んで、照合部１０２５は、インターロック回路プログラムテーブル（上位ＰＣ）１０５５に記憶された設定情報とインターロック回路プログラムテーブル（ＰＬＣコピー）１０２０ｃに記憶された設定情報とが一致しているか否かを照合する。なお、照合部１０２５は、インターロック回路プログラムテーブル（上位ＰＣ）１０５５に記憶された設定情報と回路条件テーブル１０２０ｄの設定情報とが一致しているか否かを照合するようにしてもよい。

照合の結果、両テーブルのデータに不一致があった場合、ステップ１０２５に進んで、メッセージ生成部１０３０は、両テーブルの差分（不一致部分のデータ）に基づき、不具合が生じていると予測される機器を特定したメッセージを生成し、ついで、ステップ１０３０に進み、警告部１０３５は、生成されたメッセージをディスプレイやスピーカに出力することにより、不具合が生じていることをオペレータに警告し、ステップ１４９５に進んで本処理を終了する。

一方、ステップ１４１５にて、照合部１０２５により両インターロック回路プログラムテーブルのデータが一致すると判定された場合、ステップ１０４０に進み、処理実行制御部１０５０は、オペレータにより指示されたレシピにしたがって、所定のタイミングに各ＰＭまたはＴＭに設けられた各機器を制御するための信号（制御信号）を出力し、ステップ１４９５に進んで本処理を終了する。これにより、オペレータにより選択された所望の処理が基板Ｇに施される。

以上に説明した本実施形態に係る基板処理システム１０によれば、インターロック回路プログラムを照合し。この結果、両プログラムに不一致があった場合、警告が出力される。これにより、システム管理者に基板Ｇの処理の実行を開始する前にメンテナンスを実行することを促すことができる。この結果、システム管理者は、インターロック機能の不具合または設定情報の不具合を解消する作業を基板の処理が実行される前に行うことができ、これにより、基板処理時のスループットを上げることができる。

（第３実施形態）
つぎに、第３実施形態にかかる基板処理システム１０について説明する。第３実施形態では、安全ＰＬＣ３００に代えてハードインターロック装置が用いられる点で第１または第２実施形態にかかる基板処理システム１０と相違する。また、ハードインターロック装置に記憶されたハードインターロック回路判定データ（すなわち、ハードウエア（回路）自体）を照合する点で、照合対象がソフトウエア（プログラムやデータ）である第２実施形態にかかる基板処理システム１０と相違する。よって、この相違点を中心に本実施形態にかかる基板処理システム１０について、図１５〜図１８を参照しながら説明する。

（ハードインターロック装置の機能構成）
ハードインターロック装置の機能構成について、ハードインターロック装置の各機能をブロックにて示した図１５を参照しながら説明する。ハードインターロック装置は、通信部３０１５およびハードインターロック回路３０３０により示される各機能を有している。

図１６に示したように、ハードインターロック回路３０３０は、内部バッファ３０３０ａを有している。内部バッファ３０３０ａには、インターロック機能を作動させるために用いる論理回路数および各回路への入出力点数を反映した判定用データ（ハードインターロック回路判定データ）が記憶されている。たとえば、図１６に示した内部バッファ３０３０ａには、各回路への入出力点数として、入力が「４」であること、論理回路数として、ＮＯＲ回路が１つ、ＡＮＤ回路が４つ、ＯＲ回路が３つであることを示す判定用データが記憶されている。内部バッファ３０３０ａは、第１の条件テーブルの一例である。

（上位ＰＣの機能構成）
つぎに、本実施形態にかかる上位ＰＣ１００の機能構成について、上位ＰＣ１００の各機能をブロックにて示した図１７を参照しながら説明する。本実施形態にかかる上位ＰＣ１００は、第１実施形態にかかる安全ＰＬＣ３００が有していたＩ／Ｏテーブルおよびインターロック条件テーブルに代えてハードインターロック回路判定データテーブル１０６５を有する。

通信部１００５は、少なくとも上位ＰＣ１００の起動後、ハードインターロック装置７００に設けられた通信部３０１５により送信されたハードインターロック回路判定データを受信する。ハードインターロック回路判定データテーブル１０６５は、受信されたハードインターロック回路判定データのうち、上位ＰＣ１００の起動前に受信されたハードインターロック回路判定データを記憶する。ハードインターロック回路判定データテーブル１０６５は、第２の条件テーブルの一例である。

一時記憶部１０２０は、受信された設定情報のうち、上位ＰＣ１００の起動後に受信されたハードインターロック回路判定データをハードインターロック回路判定データテーブル１０２０ｅに一時的に記憶する。照合部１０２５は、一時記憶部１０２０に記憶された回路判定データとハードインターロック回路判定データテーブル１０６５に記憶された回路判定データとを照合する。警告部１０３５は、照合した回路判定データに不一致があった場合、警告を出力する。

（照合処理）
つぎに、本実施形態にかかる照合処理について、図１８の照合処理を示したフローチャートを参照しながら説明する。なお、ハードインターロック回路判定データテーブル（上位ＰＣ）１０６５には、上位ＰＣ１００の起動前にハードインターロック装置７００に保持されたハードインターロック回路判定テーブル３０３０ａの設定情報と同じ情報が予め記憶されている。

オペレータが、上位ＰＣ１００の電源をオンすると、図１８のステップ１８００から照合処理が開始され、ステップ１００５に進んで、入力部１０４０は、上位ＰＣ１００に電源が投入されていると判定し、ステップ１８０５に進む。ついで、一時記憶部１０２０は、通信部１００５により受信されたハードインターロック装置側のハードインターロック回路判定データをハードインターロック回路判定データテーブル（コピー）１０２０ｅとして一時的に記憶する。

つぎに、ステップ１８１０に進んで、照合部１０２５は、ハードインターロック回路判定データテーブル１０６５に記憶された回路判定データとハードインターロック回路判定データテーブル（コピー）１０２０ｅに記憶された回路判定データとが一致しているか否かを照合する。

照合の結果、両テーブルのデータに不一致があった場合、ステップ１０２５に進んで、メッセージ生成部１０３０は、両テーブルの差分（不一致部分のデータ）に基づき、不具合が生じていると予測される機器を特定したメッセージを作成し、ついで、ステップ１０３０に進み、警告部１０３５は、生成されたメッセージをディスプレイやスピーカに出力することにより、不具合が生じていることをオペレータに警告し、ステップ１８９５に進んで本処理を終了する。

一方、ステップ１８１０にて、照合部１０２５により、両ハードインターロック回路判定データテーブルのデータが一致すると判定された場合、ステップ１０４０に進み、処理実行制御部１０５０は、オペレータにより指示されたレシピにしたがって、所定のタイミングに各ＰＭまたはＴＭに設けられた各機器を制御するための信号（制御信号）を出力し、ステップ１８９５に進んで本処理を終了する。これにより、オペレータにより指示された所望の処理が基板Ｇに施される。

以上に説明した本実施形態に係る基板処理システム１０によれば、両ハードインターロック回路判定データ（すなわち、回路自体）を照合した結果、両回路に不一致があった場合、警告が出力される。これにより、システム管理者に基板Ｇの処理の実行を開始する前にメンテナンスを実行することを促すことができる。この結果、システム管理者は、インターロック機能の不具合または設定情報の不具合を解消する作業を基板の処理が実行される前に行うことができ、これにより、基板処理時のスループットを上げることができる。

上記実施形態において、各部の動作はお互いに関連しており、互いの関連を考慮しながら、一連の動作として置き換えることができ、これにより、インターロック装置に保持された設定情報の整合性を監視する制御装置の実施形態を、同設定情報の整合性を監視する方法の実施形態とすることができる。また、上記制御装置の各部の動作を、各部の処理と置き換えることにより、インターロック装置に保持された設定情報の整合性を監視する制御装置の実施形態を、同設定情報の整合性を監視するプログラムの実施形態とすることができる。また、同設定情報の整合性を監視するプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶させることにより、同設定情報の整合性を監視するプログラムの実施形態を、そのプログラムに記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体の実施形態とすることができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

たとえば、本発明に用いられる基板は、ガラス基板に限られず、たとえばシリコンウエハであってもよい。すなわち、本発明に用いられる基板は、有機ＥＬディスプレイやプラズマディスプレイ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）に用いられる基板であればよく、本発明にかかる基板処理装置は、このような基板やウエハ等の被処理体に所望の処理を施すことができる半導体処理装置であればよい。

また、本発明にかかる基板処理装置（ＰＭ）としては、エッチング装置、ＣＶＤ装置等の他に、コータデベロッパ、洗浄装置、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨）装置、ＰＶＤ（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：物理気相成長法）装置、露光装置、イオンインプランタなどがある。また、本発明にかかる基板処理装置では、熱拡散処理、アッシング処理等を実行してもよい。

本発明の第１および第２実施形態にかかる基板処理システムの概略図である。 同実施形態にかかるクリーンルーム内の各機器の配置図である。 同実施形態にかかるＰＭ２の縦断面である。 同実施形態にかかるＰＭ４の斜視図である。 同実施形態にかかるＰＣのハードウエア構成図である。 第１実施形態にかかるＰＬＣの機能構成図である。 Ｉ／Ｏテーブルの一例を示した図である。 インターロック条件テーブルの一例を示した図である。 第１実施形態にかかる上位ＰＣの機能構成図である。 第１実施形態にかかる照合処理を示したフローチャートである。 第２実施形態にかかるＰＬＣの機能構成図である。 インターロック回路プログラムの模式および回路条件設定情報の一例を示した図である。 第２実施形態にかかる上位ＰＣの機能構成図である。 第２実施形態にかかる照合処理を示したフローチャートである。 第３実施形態にかかるハードインターロック装置の機能構成図である。 ハードインターロック回路の判定用データの一例を示した図である。 第３実施形態にかかる上位ＰＣの機能構成図である。 第３実施形態にかかる照合処理を示したフローチャートである。

符号の説明

１０ 基板処理システム
１００ 上位ＰＣ
２００、２００ａ〜２００ｅ 下位ＰＣ
３００、３００ａ〜３００ｅ 安全ＰＬＣ
３０２ 蓋体
３１４ 高周波電源
３１８ 高圧直流電源
３５４ ＡＰＣ
３５６ ＤＲＰ
３５８ ＴＭＰ
３６０ ゲートバルブ
４００ ネットワーク
５００ ＬＡＮ
６００ ホストコンピュータ
７００ ハードインターロック装置
１００５、３０１５ 通信部
１０１０、１０２０ａ、３００５ Ｉ／Ｏテーブル
１０１５、１０２０ｂ、３０１０ インターロック条件テーブル
１０２０ 一時記憶部
１０２５ 照合部
１０３０ メッセージ生成部
１０３５ 警告部
１０４０ 入力部
１０４５ 記憶部
１０５０ 処理実行制御部
１０５５、３０２５ インターロック回路プログラムテーブル
１０６０ 情報生成部
１０６５ ハードインターロック回路判定データテーブル
３０２０ インターロック制御部
３０３０ ハードインターロック回路
３０３０ａ ハードインターロック回路判定データ

Claims (17)

1. 基板処理装置を制御するための制御信号を出力する制御装置と、前記制御装置に接続され、前記制御装置から出力された制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するソフトインターロック装置と、を備える基板処理システムであって、
   前記ソフトインターロック装置は、
   前記インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を記憶する第１の条件テーブルと、
   少なくとも前記基板処理システムの起動後、前記第１の条件テーブルに記憶された設定情報を送信する第１の通信部とを有し、
   前記制御装置は、
   前記第１の通信部により送信された設定情報を受信する第２の通信部と、
   前記受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動前に受信された設定情報を記憶する第２の条件テーブルと、
   前記受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動後に受信された設定情報を一時的に記憶する一時記憶部と、
   前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する照合部と、
   前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する警告部とを有する基板処理システム。
2. 前記制御装置は、
   複数の基板処理装置に対応して設けられた複数のソフトインターロック装置に接続され、
   前記第２の通信部は、
   各ソフトインターロック装置により送信された第１の条件テーブルの設定情報をそれぞれ受信し、
   前記第２の条件テーブルは、
   前記それぞれ受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動前に受信された設定情報を各ソフトインターロック装置に関連付けて記憶し、
   前記一時記憶部は、
   前記それぞれ受信された設定情報のうち、前記基板処理システムの起動後に受信された設定情報を前記各ソフトインターロック装置に関連付けて一時的に記憶し、
   前記照合部は、
   前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記条件テーブルに記憶された設定情報とをソフトインターロック装置毎に照合し、
   前記警告部は、
   前記照合した両設定情報に不一致があった場合、不一致があった設定情報の送信元のソフトインターロック装置に対応する基板処理装置を特定して警告する請求項１に記載された基板処理システム。
3. 入力した制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するソフトインターロック装置に接続され、前記ソフトインターロック装置に基板処理装置を制御するための前記制御信号を出力する制御装置であって、
   前記ソフトインターロック装置に保持された第１の条件テーブルに記憶され、少なくとも前記制御装置の起動後、前記ソフトインターロック装置に設けられた第１の通信部により送信された、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を受信する第２の通信部と、
   前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動前に受信された設定情報を記憶する第２の条件テーブルと、
   前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動後に受信された設定情報を一時的に記憶する一時記憶部と、
   前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する照合部と、
   前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する警告部とを備える制御装置。
4. 前記ソフトインターロック装置の第１の条件テーブルと前記制御装置の第２の条件テーブルとは、同一形式により設定情報を記憶する請求項３に記載された制御装置。
5. 前記第１および第２の条件テーブルは、
   前記基板処理装置を構成する複数の機器に対するインターロック条件を示した設定情報が各機器に関連付けられて記憶された第１および第２のインターロック条件テーブルをそれぞれ含み、
   前記照合部は、
   前記一時記憶部に保持された第１のインターロック条件テーブルの設定情報と前記第２のインターロック条件テーブルに記憶された設定情報とを照合し、
   前記警告部は、
   前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する請求項３または請求項４のいずれかに記載された制御装置。
6. 前記警告部は、
   前記照合する両設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている設定情報に関連付けられて前記一時記憶部または第２のインターロック条件テーブルに記憶された基板処理装置の機器を特定して警告する請求項５に記載された制御装置。
7. 前記第１および第２の条件テーブルは、
   前記ソフトインターロック装置に入力される複数の入力信号の属性情報を示した設定情報が記憶された第１および第２の入出力テーブルをそれぞれ含み、
   前記照合部は、
   前記一時記憶部に保持された第１の入出力テーブルの設定情報と前記第２の入出力テーブルに記憶された設定情報とを照合し、
   前記警告部は、
   前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する請求項３〜６のいずれかに記載された制御装置。
8. 前記警告部は、
   前記照合する両設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている設定情報により示された入力信号の属性情報から予測される基板処理装置の機器を特定して警告する請求項７に記載された制御装置。
9. 前記第１および第２の条件テーブルは、
   制御信号の出力を禁止するか否かを判断するためのインターロック条件をプログラム化した設定情報を記憶した第１および第２のインターロック回路プログラムテーブルをそれぞれ含み、
   前記照合部は、
   前記一時記憶部に保持された第１のインターロック回路プログラムテーブルの設定情報と前記第２のインターロック回路プログラムテーブルに記憶された設定情報とを照合し、
   前記警告部は、
   前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する請求項３〜８のいずれかにに記載された制御装置。
10. 前記一時記憶部に保持された第１のインターロック回路プログラムテーブルの設定情報から、インターロック条件を示す回路構成および各回路への入出力信号を示す設定情報を回路条件設定情報として生成する情報生成部と、
    前記生成された回路条件設定情報のうち、前記制御装置の起動前に生成された回路条件設定情報を記憶する回路条件テーブルとをさらに備え、
    前記一時記憶部は、
    前記生成された回路条件設定情報のうち、前記制御装置の起動後に生成された回路条件設定情報を一時的に記憶し、
    前記照合部は、
    前記一時記憶部に記憶された回路条件設定情報と前記回路条件テーブルに記憶された回路条件設定情報とを照合し、
    前記警告部は、
    前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する請求項９に記載された制御装置。
11. 前記警告部は、
    前記不一致があった場合、不一致が生じているプログラム化されたインターロック条件設定情報または不一致が生じている回路条件設定情報から予測される回路を特定して警告する請求項１０に記載された制御装置。
12. 入力した制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するハードインターロック装置に接続され、前記ハードインターロック装置に基板処理装置を制御するための前記制御信号を出力する制御装置であって、
    前記ハードインターロック装置に保持された第１の条件テーブルに記憶され、少なくとも前記制御装置の起動後、前記ハードインターロック装置に設けられた第１の通信部により送信された、インターロック機能を作動させるために用いる論理回路数および各回路への入出力点数に関する設定情報を受信する第２の通信部と、
    前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動前に受信された設定情報を記憶する第２の条件テーブルと、
    前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動後に受信された設定情報を一時的に記憶する一時記憶部と、
    前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する照合部と、
    前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する警告部とを備える制御装置。
13. 前記警告部は、
    前記照合する両設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている論理回路数および各回路への入出力点数に関する設定情報から予測される基板処理装置の機器を特定して警告する請求項１２に記載された制御装置。
14. 前記照合する両設定情報に不一致があった場合、不一致が生じている設定情報に基づき予測される不具合の状況を示すメッセージを動的に生成するメッセージ生成部をさらに備え、
    前記警告部は、
    前記メッセージ生成部により生成されたメッセージを出力する請求項３〜１３のいずれかに記載された制御装置。
15. 前記照合した両設定情報が一致した場合、前記基板処理装置を用いた基板の処理を開始するように制御する処理実行制御部をさらに備える請求項１〜１４のいずれかに記載された制御装置。
16. 入力した制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するソフトインターロック装置に接続され、前記ソフトインターロック装置に基板処理装置を制御するための前記制御信号を出力する制御装置を用いて前記ソフトインターロック装置に保持された設定情報を監視する方法であって、
    前記ソフトインターロック装置に保持された第１の条件テーブルに記憶され、少なくとも前記制御装置の起動後、前記ソフトインターロック装置により送信された、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を前記ソフトインターロック装置から受信し、
    前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動前に受信された設定情報を第２の条件テーブルに記憶し、
    前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動後に受信された設定情報を一時的に一時記憶部に記憶し、
    前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合し、
    前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する設定情報監視方法。
17. 入力した制御信号のうち所定の条件を満たす制御信号の出力を禁止するインターロック機能を有するソフトインターロック装置に接続され、前記ソフトインターロック装置に基板処理装置を制御するための前記制御信号を出力する制御装置を用いて前記ソフトインターロック装置に保持された設定情報を監視する処理をコンピュータに実行させるための設定情報監視プログラムを記憶した記憶媒体であって、
    前記ソフトインターロック装置に保持された第１の条件テーブルに記憶され、少なくとも前記制御装置の起動後、前記ソフトインターロック装置により送信された、インターロック機能を作動させるために用いる設定情報を前記ソフトインターロック装置から受信する処理と、
    前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動前に受信された設定情報を第２の条件テーブルに記憶する処理と、
    前記受信された設定情報のうち、前記制御装置の起動後に受信された設定情報を一時的に一時記憶部に記憶する処理と、
    前記一時記憶部に記憶された設定情報と前記第２の条件テーブルに記憶された設定情報とを照合する処理と、
    前記照合した両設定情報に不一致があった場合、警告を出力する処理とをコンピュータに実行させる設定情報監視プログラムを記憶した記憶媒体。

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