JP2002207505A - 物流制御装置、物流制御方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
物流制御装置、物流制御方法および半導体装置の製造方法Info
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- FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N benzyl N-[2-hydroxy-4-(3-oxomorpholin-4-yl)phenyl]carbamate Chemical compound OC1=C(NC(=O)OCC2=CC=CC=C2)C=CC(=C1)N1CCOCC1=O FFBHFFJDDLITSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 自工程と前工程との間の連携を行うことがで
き、物流制御のためのシステムの運用が簡便である物流
制御装置及び方法を提供し、当該物流制御装置を使用し
た半導体装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 製造装置群別の基準仕掛回転量により、
当製造装置群に仕掛っている被処理品群の内、次工程が
基準仕掛回転量を下回っている製造装置群に流れる製品
の優先順位を上げて処理するように前工程に対して優先
処理要求を行うことができる。このため、工場内の全体
仕掛を抑制しても、各製造装置群には常に製品待ちが発
生しない状況を作ることができ、製造装置能力を最大限
に発揮させることが可能となるため、工期短縮および棚
卸資産の縮減を図ることができる。さらに、システム化
により省人化及び処理の高速化を図ることもできる。
き、物流制御のためのシステムの運用が簡便である物流
制御装置及び方法を提供し、当該物流制御装置を使用し
た半導体装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 製造装置群別の基準仕掛回転量により、
当製造装置群に仕掛っている被処理品群の内、次工程が
基準仕掛回転量を下回っている製造装置群に流れる製品
の優先順位を上げて処理するように前工程に対して優先
処理要求を行うことができる。このため、工場内の全体
仕掛を抑制しても、各製造装置群には常に製品待ちが発
生しない状況を作ることができ、製造装置能力を最大限
に発揮させることが可能となるため、工期短縮および棚
卸資産の縮減を図ることができる。さらに、システム化
により省人化及び処理の高速化を図ることもできる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物流制御装置、物
流制御方法および半導体装置の製造方法に関し、特にロ
ットの物流を制御する物流制御装置、物流制御方法およ
び半導体装置の製造方法に関する。
流制御方法および半導体装置の製造方法に関し、特にロ
ットの物流を制御する物流制御装置、物流制御方法およ
び半導体装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、複数の加工処理工程によって製品
を製造する場合、ロットの物流は先入れ先出し方法また
は特急品割込み方法等を基本とした方法により制御され
ていた。これらの従来の制御方法は、自工程の処理優先
順位を決定または制御する方法であった。さらに、製造
する製品により異なる処理時間を予め登録しておく必要
があった。
を製造する場合、ロットの物流は先入れ先出し方法また
は特急品割込み方法等を基本とした方法により制御され
ていた。これらの従来の制御方法は、自工程の処理優先
順位を決定または制御する方法であった。さらに、製造
する製品により異なる処理時間を予め登録しておく必要
があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述のように、従来の
方法は自工程の処理優先順位を決定または制御する方法
であったため、自工程と前工程との間の連携が困難であ
るという問題があった。さらに製造する製品により異な
る処理時間を予め登録しておく必要があったため、物流
制御のためのシステムの運用が複雑になるという問題が
あった。
方法は自工程の処理優先順位を決定または制御する方法
であったため、自工程と前工程との間の連携が困難であ
るという問題があった。さらに製造する製品により異な
る処理時間を予め登録しておく必要があったため、物流
制御のためのシステムの運用が複雑になるという問題が
あった。
【０００４】そこで、本発明の目的は、上記問題を解決
するためになされたものであり、自工程と前工程との間
の連携を行うことができ、物流制御のためのシステムの
運用が簡便である物流制御装置及び方法を提供すること
にある。
するためになされたものであり、自工程と前工程との間
の連携を行うことができ、物流制御のためのシステムの
運用が簡便である物流制御装置及び方法を提供すること
にある。
【０００５】さらに本発明の目的は、本発明の物流制御
装置を使用した半導体製造装置の製造方法を提供するこ
とにある。
装置を使用した半導体製造装置の製造方法を提供するこ
とにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の物流制御装置
は、被処理製品の識別子と、該被処理製品に対して処理
を行う製造装置の識別子とを工程毎に記録した工程フロ
ー記録部と、工程毎に製造装置について、製造装置が所
定の期間内に処理可能な被処理製品の量を示す処理能力
と、工程の仕掛量と処理能力との比を示す基準仕掛回転
量とを記録した基準仕掛回転量記録部と、ロット毎に、
該ロットのロット番号と、該ロットの被処理製品の識別
子と、該ロットが仕掛中の仕掛工程と、該仕掛工程に仕
掛中の最新の仕掛量とを記録した仕掛データ記録部と、
前記仕掛データ記録部から所定の仕掛工程に仕掛中のロ
ットについて該ロットの被処理製品の識別子を読み出
し、前記処理工程フロー記録部から該所定の仕掛工程に
おける該被処理製品の識別子に対応する製造装置の識別
子を読み出し、前記仕掛データ記録部から、該所定の仕
掛工程に仕掛中のロットであって該製造装置の識別子が
同一のロットにつき最新の仕掛量を加算し、前記基準仕
掛回転量記録部から該所定の仕掛工程における該製造装
置の識別子に対応する処理能力を読み出し、加算された
該最新の仕掛量を該処理能力で除して最新の仕掛回転量
を求める最新仕掛回転量計算手段と、前記基準仕掛回転
量記録部から該所定の仕掛工程における該製造装置の識
別子に対応する基準仕掛回転量を読み出し、前記最新仕
掛回転量計算手段により求められた最新の仕掛回転量が
該基準仕掛回転量より低い場合、該所定の仕掛工程の前
工程における、該所定の工程で該製造装置を用いること
になるロットに対して優先処理要求を提示する優先要求
提示手段とを備えたものである。
は、被処理製品の識別子と、該被処理製品に対して処理
を行う製造装置の識別子とを工程毎に記録した工程フロ
ー記録部と、工程毎に製造装置について、製造装置が所
定の期間内に処理可能な被処理製品の量を示す処理能力
と、工程の仕掛量と処理能力との比を示す基準仕掛回転
量とを記録した基準仕掛回転量記録部と、ロット毎に、
該ロットのロット番号と、該ロットの被処理製品の識別
子と、該ロットが仕掛中の仕掛工程と、該仕掛工程に仕
掛中の最新の仕掛量とを記録した仕掛データ記録部と、
前記仕掛データ記録部から所定の仕掛工程に仕掛中のロ
ットについて該ロットの被処理製品の識別子を読み出
し、前記処理工程フロー記録部から該所定の仕掛工程に
おける該被処理製品の識別子に対応する製造装置の識別
子を読み出し、前記仕掛データ記録部から、該所定の仕
掛工程に仕掛中のロットであって該製造装置の識別子が
同一のロットにつき最新の仕掛量を加算し、前記基準仕
掛回転量記録部から該所定の仕掛工程における該製造装
置の識別子に対応する処理能力を読み出し、加算された
該最新の仕掛量を該処理能力で除して最新の仕掛回転量
を求める最新仕掛回転量計算手段と、前記基準仕掛回転
量記録部から該所定の仕掛工程における該製造装置の識
別子に対応する基準仕掛回転量を読み出し、前記最新仕
掛回転量計算手段により求められた最新の仕掛回転量が
該基準仕掛回転量より低い場合、該所定の仕掛工程の前
工程における、該所定の工程で該製造装置を用いること
になるロットに対して優先処理要求を提示する優先要求
提示手段とを備えたものである。
【０００７】ここで、この発明の物流制御装置におい
て、前記優先要求提示手段が提示する優先処理要求は、
前記基準仕掛仮回転量に前記処理能力を乗じた値から前
記最新の仕掛回転量を減算した処理要求必要量とするこ
とができる。
て、前記優先要求提示手段が提示する優先処理要求は、
前記基準仕掛仮回転量に前記処理能力を乗じた値から前
記最新の仕掛回転量を減算した処理要求必要量とするこ
とができる。
【０００８】ここで、この発明の物流制御装置におい
て、前記仕掛データ記録部はロット毎に仕掛工程に投入
された投入時刻をさらに記録しており、前記優先要求提
示手段は優先要求を提示するロットが複数存在する場
合、投入時刻が最も早いロットに対して優先要求を提示
することができる。
て、前記仕掛データ記録部はロット毎に仕掛工程に投入
された投入時刻をさらに記録しており、前記優先要求提
示手段は優先要求を提示するロットが複数存在する場
合、投入時刻が最も早いロットに対して優先要求を提示
することができる。
【０００９】ここで、この発明の物流制御装置におい
て、前記優先要求提示手段は、前記最新の仕掛回転量が
前記基準仕掛回転量より低くない場合、優先要求を提示
しないことができる。
て、前記優先要求提示手段は、前記最新の仕掛回転量が
前記基準仕掛回転量より低くない場合、優先要求を提示
しないことができる。
【００１０】この発明の物流制御方法は、被処理製品の
識別子と、該被処理製品に対して処理を行う製造装置の
識別子とを工程毎に記録した工程フロー記録部と、工程
毎に製造装置について、製造装置が所定の期間内に処理
可能な被処理製品の量を示す処理能力と、工程の仕掛量
と処理能力との比を示す基準仕掛回転量とを記録した基
準仕掛回転量記録部と、ロット毎に、該ロットのロット
番号と、該ロットの被処理製品の識別子と、該ロットが
仕掛中の仕掛工程と、該仕掛工程に仕掛中の最新の仕掛
量とを記録した仕掛データ記録部とを用いてロットの物
流を制御する物流制御方法であって、前記仕掛データ記
録部から所定の仕掛工程に仕掛中のロットについて該ロ
ットの被処理製品の識別子を読み出し、前記処理工程フ
ロー記録部から該所定の仕掛工程における該被処理製品
の識別子に対応する製造装置の識別子を読み出し、前記
仕掛データ記録部から、該所定の仕掛工程に仕掛中のロ
ットであって該製造装置の識別子が同一のロットにつき
最新の仕掛量を加算し、前記基準仕掛回転量記録部から
該所定の仕掛工程における該製造装置の識別子に対応す
る処理能力を読み出し、加算された該最新の仕掛量を該
処理能力で除して最新の仕掛回転量を求める最新仕掛回
転量計算ステップと、前記基準仕掛回転量記録部から該
所定の仕掛工程における該製造装置の識別子に対応する
基準仕掛回転量を読み出し、前記最新仕掛回転量計算ス
テップで求められた最新の仕掛回転量が該基準仕掛回転
量より低い場合、該所定の仕掛工程の前工程における、
該所定の工程で該製造装置を用いることになるロットに
対して優先処理要求を提示する優先要求提示ステップと
を備えたものである。
識別子と、該被処理製品に対して処理を行う製造装置の
識別子とを工程毎に記録した工程フロー記録部と、工程
毎に製造装置について、製造装置が所定の期間内に処理
可能な被処理製品の量を示す処理能力と、工程の仕掛量
と処理能力との比を示す基準仕掛回転量とを記録した基
準仕掛回転量記録部と、ロット毎に、該ロットのロット
番号と、該ロットの被処理製品の識別子と、該ロットが
仕掛中の仕掛工程と、該仕掛工程に仕掛中の最新の仕掛
量とを記録した仕掛データ記録部とを用いてロットの物
流を制御する物流制御方法であって、前記仕掛データ記
録部から所定の仕掛工程に仕掛中のロットについて該ロ
ットの被処理製品の識別子を読み出し、前記処理工程フ
ロー記録部から該所定の仕掛工程における該被処理製品
の識別子に対応する製造装置の識別子を読み出し、前記
仕掛データ記録部から、該所定の仕掛工程に仕掛中のロ
ットであって該製造装置の識別子が同一のロットにつき
最新の仕掛量を加算し、前記基準仕掛回転量記録部から
該所定の仕掛工程における該製造装置の識別子に対応す
る処理能力を読み出し、加算された該最新の仕掛量を該
処理能力で除して最新の仕掛回転量を求める最新仕掛回
転量計算ステップと、前記基準仕掛回転量記録部から該
所定の仕掛工程における該製造装置の識別子に対応する
基準仕掛回転量を読み出し、前記最新仕掛回転量計算ス
テップで求められた最新の仕掛回転量が該基準仕掛回転
量より低い場合、該所定の仕掛工程の前工程における、
該所定の工程で該製造装置を用いることになるロットに
対して優先処理要求を提示する優先要求提示ステップと
を備えたものである。
【００１１】ここで、この発明の物流制御方法におい
て、前記優先要求提示ステップで提示される優先処理要
求は、前記基準仕掛仮回転量に前記処理能力を乗じた値
から前記最新の仕掛回転量を減算した処理要求必要量と
することができる。
て、前記優先要求提示ステップで提示される優先処理要
求は、前記基準仕掛仮回転量に前記処理能力を乗じた値
から前記最新の仕掛回転量を減算した処理要求必要量と
することができる。
【００１２】ここで、この発明の物流制御方法におい
て、前記仕掛データ記録部はロット毎に仕掛工程に投入
された投入時刻をさらに記録しており、前記優先要求提
示ステップは優先要求を提示するロットが複数存在する
場合、投入時刻が最も早いロットに対して優先要求を提
示することができる。
て、前記仕掛データ記録部はロット毎に仕掛工程に投入
された投入時刻をさらに記録しており、前記優先要求提
示ステップは優先要求を提示するロットが複数存在する
場合、投入時刻が最も早いロットに対して優先要求を提
示することができる。
【００１３】ここで、この発明の物流制御方法におい
て、前記優先要求提示ステップは、前記最新の仕掛回転
量が前記基準仕掛回転量より低くない場合、優先要求を
提示しないことができる。
て、前記優先要求提示ステップは、前記最新の仕掛回転
量が前記基準仕掛回転量より低くない場合、優先要求を
提示しないことができる。
【００１４】この発明の半導体装置の製造方法は、本発
明の物流制御装置（請求項１ないし４のいずれかに記載
された物流制御装置）を使用したことを特徴とするもの
である。
明の物流制御装置（請求項１ないし４のいずれかに記載
された物流制御装置）を使用したことを特徴とするもの
である。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を詳細に説明する。
実施の形態を詳細に説明する。
【００１６】図１は、本発明の実施の形態における物流
制御装置またはシステム全体の構成を示す。この物流制
御装置またはシステムはコンピュータを用いて構成する
ことができる。図１において、符号１は製品処理の優先
順位の判断等を処理する情報処理部、２は物流制御に必
要な工程フロー情報、装置データ、仕掛データおよび基
準仕掛回転量（後述）情報を記録する記録部、１０は物
流制御の情報処理を行うために必要な記録部２に記録さ
れた各種のデータ等の登録または変更を行う際にデータ
等を入力する入力部、１１は情報処理部１で処理された
結果を表示する表示部、１２は情報処理部１で処理され
た結果に基づいて被処理品群の中から製造装置１３まで
被処理品を自動搬送する搬送装置、１３は被処理品を処
理する製造装置である。記録部２は、製品名と各処理工
程で用いられる製造装置１３とを記録した工程フロー記
録部３、製造装置１３が所定の期間内に処理可能な被処
理品の量を示す処理能力等を記録した装置データ記録部
４、ロット毎に仕掛工程および仕掛量等を記録した仕掛
データ記録部５、工程の仕掛量と処理能力との比を示す
基準仕掛回転量等を記録した基準仕掛回転量記録部６の
４個のファイルで構成されている。
制御装置またはシステム全体の構成を示す。この物流制
御装置またはシステムはコンピュータを用いて構成する
ことができる。図１において、符号１は製品処理の優先
順位の判断等を処理する情報処理部、２は物流制御に必
要な工程フロー情報、装置データ、仕掛データおよび基
準仕掛回転量（後述）情報を記録する記録部、１０は物
流制御の情報処理を行うために必要な記録部２に記録さ
れた各種のデータ等の登録または変更を行う際にデータ
等を入力する入力部、１１は情報処理部１で処理された
結果を表示する表示部、１２は情報処理部１で処理され
た結果に基づいて被処理品群の中から製造装置１３まで
被処理品を自動搬送する搬送装置、１３は被処理品を処
理する製造装置である。記録部２は、製品名と各処理工
程で用いられる製造装置１３とを記録した工程フロー記
録部３、製造装置１３が所定の期間内に処理可能な被処
理品の量を示す処理能力等を記録した装置データ記録部
４、ロット毎に仕掛工程および仕掛量等を記録した仕掛
データ記録部５、工程の仕掛量と処理能力との比を示す
基準仕掛回転量等を記録した基準仕掛回転量記録部６の
４個のファイルで構成されている。
【００１７】図２は、図１の工程フロー記録部３の内容
を示す。図２に示されるように、工程フロー記録部３
は、被処理品名または製品形名等の識別子を示す製品型
名欄３０、製品型名毎に工程１で用いられる製造装置１
３を示す工程１欄３２、製品型名毎に工程２で用いられ
る製造装置１３を示す工程２欄３４、製品型名毎に工程
３で用いられる製造装置１３を示す工程３欄３６から構
成されている。図２では工程は３工程までしか記載され
ていないが、これは説明の都合上のものであって工程の
数に制限があるわけではない。
を示す。図２に示されるように、工程フロー記録部３
は、被処理品名または製品形名等の識別子を示す製品型
名欄３０、製品型名毎に工程１で用いられる製造装置１
３を示す工程１欄３２、製品型名毎に工程２で用いられ
る製造装置１３を示す工程２欄３４、製品型名毎に工程
３で用いられる製造装置１３を示す工程３欄３６から構
成されている。図２では工程は３工程までしか記載され
ていないが、これは説明の都合上のものであって工程の
数に制限があるわけではない。
【００１８】図２に示されるように、製品型名欄３０で
示される製品または被処理品は工程１から順番に処理工
程を進んで行く。各処理工程で使用される製造装置１３
群の情報は製品型名毎に記録されている。例えば製品型
名が「Ｍ３４００１」の製品は工程１で「Ｃ−ＳＩ−Ａ
４」の製造装置１３により処理され、次に工程２で「８
０Ｐ６Ｓ」の製造装置１３により処理され、最後に工程
３で「１００ＭＨｚ」の製造装置１３により処理されて
いく。
示される製品または被処理品は工程１から順番に処理工
程を進んで行く。各処理工程で使用される製造装置１３
群の情報は製品型名毎に記録されている。例えば製品型
名が「Ｍ３４００１」の製品は工程１で「Ｃ−ＳＩ−Ａ
４」の製造装置１３により処理され、次に工程２で「８
０Ｐ６Ｓ」の製造装置１３により処理され、最後に工程
３で「１００ＭＨｚ」の製造装置１３により処理されて
いく。
【００１９】図３は、図１の装置データ記録部４および
基準仕掛回転量記録部６の内容を併せて示す。図３に示
されるように、製造装置１３の処理能力（１日につき処
理可能な被処理品の個数）と基準仕掛回転量とを示す製
造処理群欄４０、工程１で用いられる製造装置１３の処
理能力と基準仕掛回転量とを示す工程１欄４２、工程２
で用いられる製造装置１３の処理能力と基準仕掛回転量
とを示す工程２欄４４、工程３で用いられる製造装置１
３の処理能力と基準仕掛回転量とを示す工程３欄４６か
ら構成されている。図３に示されるように、工程毎およ
び製造装置群毎に処理能力と基準仕掛回転量とが記録さ
れている。例えば、工程１で用いられる製造装置１３の
１つである「Ｃ−ＳＩ−Ａ４」は処理能力が１００（個
／日）であり基準仕掛回転量は２．０である。図３では
工程は３工程までしか記載されていないが、これは説明
の都合上のものであって工程の数に制限があるわけでは
ない。図３では装置データ記録部４および基準仕掛回転
量記録部６の内容を併せた構成を示したが、別個に構成
してもよいことはもちろんである。
基準仕掛回転量記録部６の内容を併せて示す。図３に示
されるように、製造装置１３の処理能力（１日につき処
理可能な被処理品の個数）と基準仕掛回転量とを示す製
造処理群欄４０、工程１で用いられる製造装置１３の処
理能力と基準仕掛回転量とを示す工程１欄４２、工程２
で用いられる製造装置１３の処理能力と基準仕掛回転量
とを示す工程２欄４４、工程３で用いられる製造装置１
３の処理能力と基準仕掛回転量とを示す工程３欄４６か
ら構成されている。図３に示されるように、工程毎およ
び製造装置群毎に処理能力と基準仕掛回転量とが記録さ
れている。例えば、工程１で用いられる製造装置１３の
１つである「Ｃ−ＳＩ−Ａ４」は処理能力が１００（個
／日）であり基準仕掛回転量は２．０である。図３では
工程は３工程までしか記載されていないが、これは説明
の都合上のものであって工程の数に制限があるわけでは
ない。図３では装置データ記録部４および基準仕掛回転
量記録部６の内容を併せた構成を示したが、別個に構成
してもよいことはもちろんである。
【００２０】図４は、図１の仕掛データ記録部５の内容
を示す。図４に示されるように、ロット毎に付けた名前
または識別子であるロット番号（ロットＮｏ）欄５０、
被処理品名または製品形名等の識別子を示す製品型名欄
５２、現在の仕掛工程を示す仕掛工程欄５４、現在の仕
掛量を示す仕掛量欄５６、ロット番号欄５０で示される
ロットが仕掛工程欄５４で示される仕掛工程に投入され
た日時を示す仕掛工程投入時刻欄５８から構成されてい
る。仕掛工程投入時刻欄５８は分離して設けて置くこと
もできる。例えば、ロット番号が「Ａ００１」のロット
は製品型名が「Ｍ３４００１」であり、現在の仕掛は
「工程１」、仕掛量は「１２０（個）」、工程１に投入
された時刻は「‘００−１−１９ ２０：２０（２００
０年１月１９日２０時２０分を示す）」である。
を示す。図４に示されるように、ロット毎に付けた名前
または識別子であるロット番号（ロットＮｏ）欄５０、
被処理品名または製品形名等の識別子を示す製品型名欄
５２、現在の仕掛工程を示す仕掛工程欄５４、現在の仕
掛量を示す仕掛量欄５６、ロット番号欄５０で示される
ロットが仕掛工程欄５４で示される仕掛工程に投入され
た日時を示す仕掛工程投入時刻欄５８から構成されてい
る。仕掛工程投入時刻欄５８は分離して設けて置くこと
もできる。例えば、ロット番号が「Ａ００１」のロット
は製品型名が「Ｍ３４００１」であり、現在の仕掛は
「工程１」、仕掛量は「１２０（個）」、工程１に投入
された時刻は「‘００−１−１９ ２０：２０（２００
０年１月１９日２０時２０分を示す）」である。
【００２１】図５は、本発明の実施の形態における物流
制御方法をフローチャートで示す。図５で図１と同じ符
号を付した箇所は同じ要素を示すため説明は省略する。
図５に示されるように、物流制御方法を示すフローチャ
ートは図１に示された各記録部、詳しくは図２ないし図
４に示された各データ等を使用して製造装置１３群毎の
仕掛ロットからロット選択を行うことが示されている。
制御方法をフローチャートで示す。図５で図１と同じ符
号を付した箇所は同じ要素を示すため説明は省略する。
図５に示されるように、物流制御方法を示すフローチャ
ートは図１に示された各記録部、詳しくは図２ないし図
４に示された各データ等を使用して製造装置１３群毎の
仕掛ロットからロット選択を行うことが示されている。
【００２２】工程の処理要求が起きると、情報処理部１
に工程フロー記録部３からのデータ、装置データ記録部
４からのデータ、仕掛データ記録部５からのデータ、基
準仕掛回転量記録部６からのデータ等が渡される。情報
処理部１は以下の式１により装置群単位で最新仕掛回転
量を算出する（ステップＳ１０）。
に工程フロー記録部３からのデータ、装置データ記録部
４からのデータ、仕掛データ記録部５からのデータ、基
準仕掛回転量記録部６からのデータ等が渡される。情報
処理部１は以下の式１により装置群単位で最新仕掛回転
量を算出する（ステップＳ１０）。
【数１】
【００２３】例えば、図４の仕掛工程欄５４で示される
「工程２」に仕掛中のロット番号「Ａ００４」から「Ａ
００７」までの４ロットを取り上げる。これらのロット
は製品型名が各々「Ｍ３４００１」、「Ｍ３４００
２」、「Ｍ３５００１」および「Ｍ形３５００２」であ
り、これらの製品を「工程２」で処理する製造装置は、
図２により各々「８０Ｐ６Ｓ」、「８０Ｐ６Ｓ」、「１
００Ｐ６Ｑ」および「１００Ｐ６Ｑ」である。したがっ
て製造装置１３毎に仕掛量欄５６から得られる仕掛量を
まとめると、
「工程２」に仕掛中のロット番号「Ａ００４」から「Ａ
００７」までの４ロットを取り上げる。これらのロット
は製品型名が各々「Ｍ３４００１」、「Ｍ３４００
２」、「Ｍ３５００１」および「Ｍ形３５００２」であ
り、これらの製品を「工程２」で処理する製造装置は、
図２により各々「８０Ｐ６Ｓ」、「８０Ｐ６Ｓ」、「１
００Ｐ６Ｑ」および「１００Ｐ６Ｑ」である。したがっ
て製造装置１３毎に仕掛量欄５６から得られる仕掛量を
まとめると、
【００２４】ロット番号「Ａ００４」：製造装置群が
「８０Ｐ６Ｓ」で仕掛量「１２０」
「８０Ｐ６Ｓ」で仕掛量「１２０」
【００２５】ロット番号「Ａ００５」：製造装置群が
「８０Ｐ６Ｓ」で仕掛量「７０」
「８０Ｐ６Ｓ」で仕掛量「７０」
【００２６】ロット番号「Ａ００６」：製造装置群が
「１００Ｐ６Ｑ」で仕掛量「８０」
「１００Ｐ６Ｑ」で仕掛量「８０」
【００２７】ロット番号「Ａ００７」：製造装置群が
「１００Ｐ６Ｑ」で仕掛量「２００」となる。
「１００Ｐ６Ｑ」で仕掛量「２００」となる。
【００２８】製造装置群が「８０Ｐ６Ｓ」の最新仕掛量
は１９０（＝１２０＋７０）であり、処理能力は図３の
工程２欄４４より１００である。したがって最新仕掛回
転量は式１より、１９０÷１００＝１．９となる。一
方、製造装置群１００Ｐ６Ｑの最新仕掛量は２８０（＝
８０＋２００）であり、処理能力は図３の工程２欄４４
より８０である。したがって最新仕掛回転量は式１よ
り、２８０÷８０＝３．５となる（ステップＳ１０）。
は１９０（＝１２０＋７０）であり、処理能力は図３の
工程２欄４４より１００である。したがって最新仕掛回
転量は式１より、１９０÷１００＝１．９となる。一
方、製造装置群１００Ｐ６Ｑの最新仕掛量は２８０（＝
８０＋２００）であり、処理能力は図３の工程２欄４４
より８０である。したがって最新仕掛回転量は式１よ
り、２８０÷８０＝３．５となる（ステップＳ１０）。
【００２９】次に、上述の最新仕掛回転量と図３の基準
仕掛回転量とを比較する（ステップＳ１２）。上述の例
の場合、製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」の基準仕掛回転量は
２．０であるため１．９＜２．０となり、最新仕掛回転
量は基準仕掛回転量を下回る。したがって工程２の前工
程（工程１）に対して処理要求を行う対象となる。一
方、製造装置群「１００Ｐ６Ｑ」の基準仕掛回転量は
１．５であるため３．５＞１．５となり、最新仕掛回転
量は基準仕掛回転量を上回る。したがって工程２の前工
程（工程１）に対して処理要求を行う対象とはしない
（ステップＳ１２）。
仕掛回転量とを比較する（ステップＳ１２）。上述の例
の場合、製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」の基準仕掛回転量は
２．０であるため１．９＜２．０となり、最新仕掛回転
量は基準仕掛回転量を下回る。したがって工程２の前工
程（工程１）に対して処理要求を行う対象となる。一
方、製造装置群「１００Ｐ６Ｑ」の基準仕掛回転量は
１．５であるため３．５＞１．５となり、最新仕掛回転
量は基準仕掛回転量を上回る。したがって工程２の前工
程（工程１）に対して処理要求を行う対象とはしない
（ステップＳ１２）。
【００３０】ステップＳ１２で最新仕掛回転量が基準仕
掛回転量を下回る場合、製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」に該
当する被処理品ロットの前工程（工程１）での仕掛の有
無を確認する（ステップＳ１４）。具体的には、図４の
仕掛工程欄５４が「工程１」に仕掛中のロットは、ロッ
ト番号が「Ａ００１」から「Ａ００３」までの３ロット
であり、これらのロットの製品形名は各々「Ｍ３４００
１」、「Ｍ３５００２」および「Ｍ３６００１」であ
る。図２に示されるように、製品形名が「Ｍ３４００
１」の被処理品は工程２で製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」を
用いており、製品形名が「Ｍ３５００２」の被処理品は
工程２で製造装置群「１００Ｐ６Ｑ」を用いており、製
品形名が「Ｍ３６００１」の被処理品は工程２で製造装
置群「８０Ｐ６Ｓ」を用いている。したがって、上述の
３つのロット中で製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」を用いてい
るロットは、ロット番号が「Ａ００１」と「Ａ００３」
との２ロットであることが判明する（ステップＳ１
４）。
掛回転量を下回る場合、製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」に該
当する被処理品ロットの前工程（工程１）での仕掛の有
無を確認する（ステップＳ１４）。具体的には、図４の
仕掛工程欄５４が「工程１」に仕掛中のロットは、ロッ
ト番号が「Ａ００１」から「Ａ００３」までの３ロット
であり、これらのロットの製品形名は各々「Ｍ３４００
１」、「Ｍ３５００２」および「Ｍ３６００１」であ
る。図２に示されるように、製品形名が「Ｍ３４００
１」の被処理品は工程２で製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」を
用いており、製品形名が「Ｍ３５００２」の被処理品は
工程２で製造装置群「１００Ｐ６Ｑ」を用いており、製
品形名が「Ｍ３６００１」の被処理品は工程２で製造装
置群「８０Ｐ６Ｓ」を用いている。したがって、上述の
３つのロット中で製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」を用いてい
るロットは、ロット番号が「Ａ００１」と「Ａ００３」
との２ロットであることが判明する（ステップＳ１
４）。
【００３１】さらに、必要な量のみ優先処理要求を行う
ために、基準仕掛回転量、処理能力および最新仕掛量よ
り以下の式２を用いて処理要求必要量を算出する（ステ
ップＳ１６）。
ために、基準仕掛回転量、処理能力および最新仕掛量よ
り以下の式２を用いて処理要求必要量を算出する（ステ
ップＳ１６）。
【数２】
【００３２】上述の例の場合、処理要求必要量は２．０
×１００−１９０＝１０と求められる。一方、ロット番
号「Ａ００１」の仕掛量は１２０、ロット番号「Ａ００
３」の仕掛量は１５０であり何れかのロットのみ優先処
理を要求すればすむことになる。このように優先処理を
要求可能なロットが複数個存在する場合、仕掛工程に投
入された日時の早いロットに対して優先要求を出す。例
えば、図４の仕掛工程投入時刻欄５８より、ロット番号
が「Ａ００１」のロットの仕掛工程投入時刻は「‘００
−１−１９ ２０：２０（２０００年１月１９日２０時
２０分を示す）」であり、ロット番号が「Ａ００３」の
ロットの仕掛工程投入時刻は「‘００−１−１９ ０
５：３８（２０００年１月１９日５時３８分を示す）」
である。したがって、工程１に仕掛中のロット番号「Ａ
００３」のロットが製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」に対して
優先要求ロットとなる（ステップＳ１６）。
×１００−１９０＝１０と求められる。一方、ロット番
号「Ａ００１」の仕掛量は１２０、ロット番号「Ａ００
３」の仕掛量は１５０であり何れかのロットのみ優先処
理を要求すればすむことになる。このように優先処理を
要求可能なロットが複数個存在する場合、仕掛工程に投
入された日時の早いロットに対して優先要求を出す。例
えば、図４の仕掛工程投入時刻欄５８より、ロット番号
が「Ａ００１」のロットの仕掛工程投入時刻は「‘００
−１−１９ ２０：２０（２０００年１月１９日２０時
２０分を示す）」であり、ロット番号が「Ａ００３」の
ロットの仕掛工程投入時刻は「‘００−１−１９ ０
５：３８（２０００年１月１９日５時３８分を示す）」
である。したがって、工程１に仕掛中のロット番号「Ａ
００３」のロットが製造装置群「８０Ｐ６Ｓ」に対して
優先要求ロットとなる（ステップＳ１６）。
【００３３】以上の処理結果を表示部１を介して作業者
等に伝えることができる。あるいは図５に示されるよう
に、自動化されている工程においては搬送を制御してい
るコンピュータ（不図示）へ自動搬送を指示することも
できる（ステップＳ１８）。
等に伝えることができる。あるいは図５に示されるよう
に、自動化されている工程においては搬送を制御してい
るコンピュータ（不図示）へ自動搬送を指示することも
できる（ステップＳ１８）。
【００３４】以上より、本実施の形態によれば、製造装
置群別の基準仕掛回転量により、当製造装置群に仕掛っ
ている被処理品群の内、次工程が基準仕掛回転量を下回
っている製造装置群に流れる製品の優先順位を上げて処
理するように前工程に対して優先処理要求を行うことが
できる。このため、工場内の全体仕掛を抑制しても、各
製造装置群には常に製品待ちが発生しない状況を作るこ
とができ、製造装置能力を最大限に発揮させることが可
能となるため、工期短縮および棚卸資産の縮減を図るこ
とができる。さらに、システム化により省人化及び処理
の高速化を図ることもできる。
置群別の基準仕掛回転量により、当製造装置群に仕掛っ
ている被処理品群の内、次工程が基準仕掛回転量を下回
っている製造装置群に流れる製品の優先順位を上げて処
理するように前工程に対して優先処理要求を行うことが
できる。このため、工場内の全体仕掛を抑制しても、各
製造装置群には常に製品待ちが発生しない状況を作るこ
とができ、製造装置能力を最大限に発揮させることが可
能となるため、工期短縮および棚卸資産の縮減を図るこ
とができる。さらに、システム化により省人化及び処理
の高速化を図ることもできる。
【００３５】上述された本発明の物流制御装置を使用し
た半導体装置の製造方法を提供することもできる。この
場合、例えば、被処理品は半導体装置であり製造装置は
半導体装置の製造装置となる。本発明の物流制御装置を
使用した半導体装置の製造方法によれば、半導体製造装
置群別の基準仕掛回転量により、当半導体製造装置群に
仕掛っている半導体装置群の内、次工程が基準仕掛回転
量を下回っている半導体製造装置群に流れる半導体装置
の優先順位を上げて処理するように前工程に対して優先
処理要求を行うことができる。このため、工場内の全体
仕掛を抑制しても、各半導体製造装置群には常に半導体
装置待ちが発生しない状況を作ることができ、半導体製
造装置能力を最大限に発揮させることが可能となるた
め、工期短縮および棚卸資産の縮減を図ることができ
る。さらに、システム化により省人化及び処理の高速化
を図ることもできる。
た半導体装置の製造方法を提供することもできる。この
場合、例えば、被処理品は半導体装置であり製造装置は
半導体装置の製造装置となる。本発明の物流制御装置を
使用した半導体装置の製造方法によれば、半導体製造装
置群別の基準仕掛回転量により、当半導体製造装置群に
仕掛っている半導体装置群の内、次工程が基準仕掛回転
量を下回っている半導体製造装置群に流れる半導体装置
の優先順位を上げて処理するように前工程に対して優先
処理要求を行うことができる。このため、工場内の全体
仕掛を抑制しても、各半導体製造装置群には常に半導体
装置待ちが発生しない状況を作ることができ、半導体製
造装置能力を最大限に発揮させることが可能となるた
め、工期短縮および棚卸資産の縮減を図ることができ
る。さらに、システム化により省人化及び処理の高速化
を図ることもできる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の物流制御
装置、物流制御方法および半導体装置の製造方法によれ
ば、製造装置群別の基準仕掛回転量により、当製造装置
群に仕掛っている被処理品群の内、次工程が基準仕掛回
転量を下回っている製造装置群に流れる製品の優先順位
を上げて処理するように前工程に対して優先処理要求を
行うことができる。このため自工程と前工程との間の連
携を行うことができ、物流制御のためのシステムの運用
が簡便である物流制御装置、物流制御方法および半導体
装置の製造方法を提供することができる。
装置、物流制御方法および半導体装置の製造方法によれ
ば、製造装置群別の基準仕掛回転量により、当製造装置
群に仕掛っている被処理品群の内、次工程が基準仕掛回
転量を下回っている製造装置群に流れる製品の優先順位
を上げて処理するように前工程に対して優先処理要求を
行うことができる。このため自工程と前工程との間の連
携を行うことができ、物流制御のためのシステムの運用
が簡便である物流制御装置、物流制御方法および半導体
装置の製造方法を提供することができる。
【図１】 本発明の実施の形態における物流制御装置ま
たはシステム全体の構成を示す図である。
たはシステム全体の構成を示す図である。
【図２】 図１の工程フロー記録部３の内容を示す図で
ある。
ある。
【図３】 図１の装置データ記録部４および基準仕掛回
転量記録部６の内容を併せて示す図である。
転量記録部６の内容を併せて示す図である。
【図４】 図１の仕掛データ記録部５の内容を示す図で
ある。
ある。
【図５】 本発明の実施の形態における物流制御方法を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
１ 情報処理部、 ２ 記録部、 ３ 工程フロー記録
部、 ４ 装置データ記録部４、 ５ 仕掛データ記録
部、 ６ 仕掛回転量記録部、 １０ 入力部、 １１
表示部、 １２ 搬送装置、 １３ 製造装置、 ３
０ 製品型名欄、 ３２，４２ 工程１欄、 ３４，４
４ 工程２欄、 ３６，４６ 工程３欄、 ４０ 製造
処理群欄、 ５０ ロット番号欄、 ５２ 製品形名
欄、 ５４仕掛工程欄、 ５６ 仕掛量欄、 ５８ 仕
掛工程投入時刻欄。
部、 ４ 装置データ記録部４、 ５ 仕掛データ記録
部、 ６ 仕掛回転量記録部、 １０ 入力部、 １１
表示部、 １２ 搬送装置、 １３ 製造装置、 ３
０ 製品型名欄、 ３２，４２ 工程１欄、 ３４，４
４ 工程２欄、 ３６，４６ 工程３欄、 ４０ 製造
処理群欄、 ５０ ロット番号欄、 ５２ 製品形名
欄、 ５４仕掛工程欄、 ５６ 仕掛量欄、 ５８ 仕
掛工程投入時刻欄。
Claims (9)
- 【請求項１】 被処理製品の識別子と、該被処理製品に
対して処理を行う製造装置の識別子とを工程毎に記録し
た工程フロー記録部と、 工程毎に製造装置について、製造装置が所定の期間内に
処理可能な被処理製品の量を示す処理能力と、工程の仕
掛量と処理能力との比を示す基準仕掛回転量とを記録し
た基準仕掛回転量記録部と、 ロット毎に、該ロットのロット番号と、該ロットの被処
理製品の識別子と、該ロットが仕掛中の仕掛工程と、該
仕掛工程に仕掛中の最新の仕掛量とを記録した仕掛デー
タ記録部と、 前記仕掛データ記録部から所定の仕掛工程に仕掛中のロ
ットについて該ロットの被処理製品の識別子を読み出
し、前記処理工程フロー記録部から該所定の仕掛工程に
おける該被処理製品の識別子に対応する製造装置の識別
子を読み出し、前記仕掛データ記録部から、該所定の仕
掛工程に仕掛中のロットであって該製造装置の識別子が
同一のロットにつき最新の仕掛量を加算し、前記基準仕
掛回転量記録部から該所定の仕掛工程における該製造装
置の識別子に対応する処理能力を読み出し、加算された
該最新の仕掛量を該処理能力で除して最新の仕掛回転量
を求める最新仕掛回転量計算手段と、 前記基準仕掛回転量記録部から該所定の仕掛工程におけ
る該製造装置の識別子に対応する基準仕掛回転量を読み
出し、前記最新仕掛回転量計算手段により求められた最
新の仕掛回転量が該基準仕掛回転量より低い場合、該所
定の仕掛工程の前工程における、該所定の工程で該製造
装置を用いることになるロットに対して優先処理要求を
提示する優先要求提示手段とを備えたことを特徴とする
物流制御装置。 - 【請求項２】 前記優先要求提示手段が提示する優先処
理要求は、前記基準仕掛仮回転量に前記処理能力を乗じ
た値から前記最新の仕掛回転量を減算した処理要求必要
量であることを特徴とする請求項１記載の物流制御装
置。 - 【請求項３】 前記仕掛データ記録部はロット毎に仕掛
工程に投入された投入時刻をさらに記録しており、前記
優先要求提示手段は優先要求を提示するロットが複数存
在する場合、投入時刻が最も早いロットに対して優先要
求を提示することを特徴とする請求項１または２記載の
物流制御装置。 - 【請求項４】 前記優先要求提示手段は、前記最新の仕
掛回転量が前記基準仕掛回転量より低くない場合、優先
要求を提示しないことを特徴とする請求項１記載の物流
制御装置。 - 【請求項５】 被処理製品の識別子と、該被処理製品に
対して処理を行う製造装置の識別子とを工程毎に記録し
た工程フロー記録部と、 工程毎に製造装置について、製造装置が所定の期間内に
処理可能な被処理製品の量を示す処理能力と、工程の仕
掛量と処理能力との比を示す基準仕掛回転量とを記録し
た基準仕掛回転量記録部と、 ロット毎に、該ロットのロット番号と、該ロットの被処
理製品の識別子と、該ロットが仕掛中の仕掛工程と、該
仕掛工程に仕掛中の最新の仕掛量とを記録した仕掛デー
タ記録部とを用いてロットの物流を制御する物流制御方
法であって、 前記仕掛データ記録部から所定の仕掛工程に仕掛中のロ
ットについて該ロットの被処理製品の識別子を読み出
し、前記処理工程フロー記録部から該所定の仕掛工程に
おける該被処理製品の識別子に対応する製造装置の識別
子を読み出し、前記仕掛データ記録部から、該所定の仕
掛工程に仕掛中のロットであって該製造装置の識別子が
同一のロットにつき最新の仕掛量を加算し、前記基準仕
掛回転量記録部から該所定の仕掛工程における該製造装
置の識別子に対応する処理能力を読み出し、加算された
該最新の仕掛量を該処理能力で除して最新の仕掛回転量
を求める最新仕掛回転量計算ステップと、 前記基準仕掛回転量記録部から該所定の仕掛工程におけ
る該製造装置の識別子に対応する基準仕掛回転量を読み
出し、前記最新仕掛回転量計算ステップで求められた最
新の仕掛回転量が該基準仕掛回転量より低い場合、該所
定の仕掛工程の前工程における、該所定の工程で該製造
装置を用いることになるロットに対して優先処理要求を
提示する優先要求提示ステップとを備えたことを特徴と
する物流制御方法。 - 【請求項６】 前記優先要求提示ステップで提示される
優先処理要求は、前記基準仕掛仮回転量に前記処理能力
を乗じた値から前記最新の仕掛回転量を減算した処理要
求必要量であることを特徴とする請求項５記載の物流制
御方法。 - 【請求項７】 前記仕掛データ記録部はロット毎に仕掛
工程に投入された投入時刻をさらに記録しており、前記
優先要求提示ステップは優先要求を提示するロットが複
数存在する場合、投入時刻が最も早いロットに対して優
先要求を提示することを特徴とする請求項５または６記
載の物流制御方法。 - 【請求項８】 前記優先要求提示ステップは、前記最新
の仕掛回転量が前記基準仕掛回転量より低くない場合、
優先要求を提示しないことを特徴とする請求項５記載の
物流制御方法。 - 【請求項９】 請求項１ないし４のいずれかに記載され
た物流制御装置を使用したことを特徴とする半導体装置
の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001005461A JP2002207505A (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | 物流制御装置、物流制御方法および半導体装置の製造方法 |
| US09/875,958 US20020095233A1 (en) | 2001-01-12 | 2001-06-08 | Distribution controlling apparatus and method and method for manufacturing semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001005461A JP2002207505A (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | 物流制御装置、物流制御方法および半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002207505A true JP2002207505A (ja) | 2002-07-26 |
Family
ID=18873506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001005461A Withdrawn JP2002207505A (ja) | 2001-01-12 | 2001-01-12 | 物流制御装置、物流制御方法および半導体装置の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020095233A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002207505A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4975605B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2012-07-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理システム、処理システムの制御方法およびソフトウェアのバージョンアップ方法 |
| US20090287331A1 (en) * | 2009-07-27 | 2009-11-19 | Shoma Inc. | Systems and Methods for Bio-Refinery Application Management and Process Improvement |
-
2001
- 2001-01-12 JP JP2001005461A patent/JP2002207505A/ja not_active Withdrawn
- 2001-06-08 US US09/875,958 patent/US20020095233A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020095233A1 (en) | 2002-07-18 |
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