JP2006203003A - 基板搬送処理装置及び基板搬送処理装置における障害対策方法並びに基板搬送処理装置における障害対策用プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハに処理を施す複数のプロセスモジュール20〜23,40と、ウエハを搬送する搬送モジュール31〜34と、搬送モジュールとの間でウエハを受け渡しする退避ジュール30と、プロセスモジュールで発生した障害を検知し、その検知信号に基づいて各モジュールを統括して制御するCPU60とを具備し、制御手段によりいずれかのプロセスモジュールで発生した障害を検知した場合、障害が発生したプロセスモジュールに搬送するウエハを退避モジュールに搬送すると共に、障害が発生したプロセスモジュール以前のウエハの搬送を一旦停止し、それ以外のウエハの搬送、処理を続行させ、その後、障害が発生したプロセスモジュール以前のウエハの搬送、処理を行う。
【選択図】 図1
Description
2 搬出用カセットモジュール
4 処理部
4A 第1の処理ブロック
4B 第2の処理ブロック
5 露光部
6 第1のインターフェース部
7 第2のインターフェース部
11 第1の受け渡しモジュール
12 第2の受け渡しモジュール
13 第3の受け渡しモジュール
20 塗布モジュール(プロセスモジュール)
21 第1のオーブンモジュール(プロセスモジュール)
22 第2のオーブンモジュール(プロセスモジュール)
23 現像モジュール(プロセスモジュール)
30 退避モジュール
31 第1の搬送モジュール
32 第2の搬送モジュール
33 第3の搬送モジュール
34 第4の搬送モジュール
40 周辺露光モジュール(プロセスモジュール)
50 バッファモジュール
60 CPU(制御手段)
Claims (9)
- 未処理の被処理基板を複数枚収容する搬入用カセットモジュールと、被処理基板に所定の処理を施す複数のプロセスモジュールと、処理済みの被処理基板を収容する搬出用カセットモジュールと、被処理基板を各モジュール間で搬送する搬送モジュールとを具備し、上記搬送モジュールによって上記搬入用カセットモジュールからの被処理基板を各プロセスモジュールに分散させて搬送し、各複数のプロセスモジュールで被処理基板を分散処理する、基板搬送処理装置であって、
上記搬送モジュールとの間で被処理基板を受け渡しする退避ジュールと、
上記プロセスモジュールで発生した障害を検知し、その検知信号に基づいて各モジュールを統括して制御する制御手段とを具備し、
上記制御手段によりいずれかのプロセスモジュールで発生した障害を検知した場合、障害が発生したプロセスモジュールに搬送する被処理基板を上記退避モジュールに搬送すると共に、障害が発生したプロセスモジュール以前の被処理基板の搬送を一旦停止し、それ以外の被処理基板の搬送、処理を続行させ、その後、障害が発生したプロセスモジュール以前の被処理基板の搬送、処理を行うるように形成してなる、ことを特徴とする基板搬送処理装置。 - 請求項1記載の基板搬送処理装置において、
上記退避モジュールが、複数のモジュールを具備するブロック間に配置され、隣接するブロック内の被処理基板を受け渡しする受け渡しモジュールである、ことを特徴とする基板搬送処理装置。 - 請求項1記載の基板搬送処理装置において、
上記退避モジュールが、複数のモジュールを具備するブロック内に配置され、ブロック内の被処理基板を受け渡し可能なバッファモジュールである、ことを特徴とする基板搬送処理装置。 - 請求項1記載の基板搬送処理装置において、
上記退避モジュールが、使用されていない空きのモジュールである、ことを特徴とする基板搬送処理装置。 - 未処理の被処理基板を複数枚収容する搬入用カセットモジュールと、被処理基板に所定の処理を施す複数のプロセスモジュールと、処理済みの被処理基板を収容する搬出用カセットモジュールと、被処理基板を各モジュール間で搬送する搬送モジュールとを具備し、上記搬送モジュールによって上記搬入用カセットモジュールからの被処理基板を各プロセスモジュールに分散させて搬送し、各複数のプロセスモジュールで被処理基板を分散処理する、基板搬送処理装置における障害対策方法であって、
上記各モジュールを統括して制御する制御手段によって、いずれかのプロセスモジュールで発生した障害を検知し、
上記制御手段が検知した信号に基づいて障害が発生したプロセスモジュールに搬送する被処理基板を上記搬送モジュールとの間で被処理基板を受け渡しする退避モジュールに搬送し、
障害が発生したプロセスモジュール以前の被処理基板の搬送を一旦停止し、
障害が発生したプロセスモジュール以降の被処理基板の搬送、処理を続行させ、
その後、障害が発生したプロセスモジュール以前の被処理基板の搬送、処理を行う、ことを特徴とする基板搬送処理装置における障害対策方法。 - 請求項5記載の基板搬送処理装置における障害対策方法において、
上記退避モジュールが、複数のモジュールを具備するブロック間に配置され、隣接するブロック内の被処理基板を受け渡しする受け渡しモジュールである、ことを特徴とする基板搬送処理装置における障害対策方法。 - 請求項5記載の基板搬送処理装置における障害対策方法において、
上記退避モジュールが、複数のモジュールを具備するブロック内に配置され、ブロック内の被処理基板を受け渡し可能なバッファモジュールである、ことを特徴とする基板搬送処理装置における障害対策方法。 - 請求項5記載の基板搬送処理装置における障害対策方法において、
上記退避モジュールが、使用されていない空きのモジュールである、ことを特徴とする基板搬送処理装置における障害対策方法。 - 未処理の被処理基板を複数枚収容する搬入用カセットモジュールと、被処理基板に所定の処理を施す複数のプロセスモジュールと、処理済みの被処理基板を収容する搬出用カセットモジュールと、被処理基板を各モジュール間で搬送する搬送モジュールとを具備し、上記搬送モジュールによって上記搬入用カセットモジュールからの被処理基板を各プロセスモジュールに分散させて搬送し、各複数のプロセスモジュールで被処理基板を分散処理する、基板搬送処理装置における障害対策用プログラムであって、
コンピュータに、
いずれかのプロセスモジュールで発生した障害を検知する手順と、
上記検知信号に基づいて障害が発生したプロセスモジュールに搬送する被処理基板を上記搬送モジュールとの間で被処理基板を受け渡しする退避モジュールに搬送する手順と、
障害が発生したプロセスモジュール以前の被処理基板の搬送を一旦停止する手順と、
障害が発生したプロセスモジュール以降の被処理基板の搬送、処理を続行させる手順と、
その後、障害が発生したプロセスモジュール以前の被処理基板の搬送、処理を行う手順と、
を実行させることを特徴とする基板搬送処理装置における障害対策用プログラム。
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